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KR102446564B1 - 픽커 장치 - Google Patents

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KR102446564B1
KR102446564B1 KR1020220016776A KR20220016776A KR102446564B1 KR 102446564 B1 KR102446564 B1 KR 102446564B1 KR 1020220016776 A KR1020220016776 A KR 1020220016776A KR 20220016776 A KR20220016776 A KR 20220016776A KR 102446564 B1 KR102446564 B1 KR 102446564B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
picker
unit
shaft
elevating
rotation
Prior art date
Application number
KR1020220016776A
Other languages
English (en)
Inventor
한복우
김흥구
Original Assignee
제너셈(주)
한복우
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 제너셈(주), 한복우 filed Critical 제너셈(주)
Priority to KR1020220016776A priority Critical patent/KR102446564B1/ko
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Abstract

픽커 장치가 개시되며, 상기 픽커 장치는, 일 방향으로 서로 이웃하게 배치되는 복수의 픽커 구조체를 포함하되, 상기 픽커 구조체는, 상하 방향으로 연장되는 샤프트; 및 상기 샤프트의 하부에 구비되어 반도체 패키지를 고정 또는 고정 해제하는 픽커부를 포함하고, 상기 픽커부는 흡착부; 및 상하 연장 형성되는 이동 통로가 형성되는 본체 몸체를 포함하고, 상기 샤프트는 상하 방향으로 연장되는 공급 통로가 형성되며, 상기 흡착부는 상기 본체 몸체에 대해 상대적으로 상하 이동 가능하게 상부가 상기 이동 통로에 상향 삽입되고, 상기 샤프트는 상기 공급 통로가 상기 이동 통로와 연통되게 상기 본체 몸체와 결합한다.

Description

픽커 장치{PICKER APPARATUS}
본원은 픽커 장치에 관한 것이다.
패키지 제조 시스템은, 복수개의 패키지들이 형성된 스트립에서 개별 패키지로 절단하는 절단 공정, 절단 공정에서 절단된 패키지를 세척하는 세척 공정, 세척 공정에서 세척된 패키지를 건조하는 건조 공정, 건조가 완료된 패키지의 불량 여부를 검사하는 패키지 검사 공정 및 검사 결과에 따라 불량 여부 검사를 통과한 패키지와 통과하지 못한 패키지를 분류하는 오프로드 공정 등을 순차적으로 수행하여 반도체 패키지를 제조할 수 있다.
이러한 반도체 패키지 제조 과정에는, 패키지를 옮기는(픽업, 이송, 플레이싱 등 수행) 픽커 장치가 사용되는데, 종래의 픽커 장치는 복수의 픽커 구조체가 개별적으로 구동하므로, 반도체 패키지를 옮기는데 비효율적인 측면이 있었다.
본원의 배경이 되는 기술은 한국등록특허공보 제 10-0604098호에 개시되어 있다.
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 패키지를 효율적으로 옮길 수 있는 픽커 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들도 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치는, 일 방향으로 서로 이웃하게 배치되는 복수의 픽커 구조체; 상기 픽커 구조체를 회전시키는 회전 구동부; 및 상기 픽커 구조체를 승하강시키는 승하강 구동부를 포함하되, 상기 픽커 구조체는, 상하 방향으로 연장되는 샤프트; 상기 샤프트의 하부에 구비되어 반도체 패키지를 고정 또는 고정 해제하는 픽커부; 상기 샤프트의 적어도 일부를 감싸는 부쉬; 및 상기 부쉬의 적어도 일부를 감싸는 회전블록을 포함하며, 상기 회전 구동부는, 회전 구동용 모터; 및 상기 픽커 구조체의 회전블록과 상기 픽커 구조체와 이웃하는 이웃 픽커 구조체의 회전블록을 감싸며 상기 회전 구동용 모터에 의해 회주되는 벨트를 포함하고, 상기 승하강 구동부는, 승하강용 모터; 및 상기 승하강 모터로부터 제공받는 동력으로 상기 픽커 구조체의 픽커부를 승하강시키는 승하강 구동 유닛을 포함할 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치에 있어서, 상기 샤프트는 상기 부쉬에 대하여 승하강은 가능하고 상기 부쉬에 대하여 회전은 불가능하게 상기 부쉬와 결합하며, 상기 부쉬는 상기 회전블록에 대하여 승하강이 불가능하고 상기 회전블록에 대하여 회전이 불가능하게 상기 회전블록과 결합할 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치에 있어서, 상기 픽커 구조체는, 상기 벨트에 의해 상기 이웃 픽커 구조체와 연동하여 회전될 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치에 있어서, 상기 픽커부는, 흡착부; 및 상하 연장 형성되는 이동 통로 및 상기 이동 통로의 상측에 상향 개구되는 삽입부가 형성되는 본체 몸체를 포함하고, 상기 샤프트는 상하 방향으로 연장되는 공급 통로가 형성되며, 상기 흡착부는 상기 본체 몸체에 대해 상대적으로 상하 이동 가능하게 상부가 상기 이동 통로에 상향 삽입되고, 상기 샤프트는 상기 공급 통로가 상기 이동 통로와 연통되게 상기 삽입부에 삽입 체결될 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치에 있어서, 상기 픽커부는, 상기 샤프트와 상기 본체 몸체를 체결하는 커플러를 더 포함할 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치에 있어서, 상기 샤프트의 상기 삽입부에 삽입된 부분과 상기 삽입부 사이에는 오링이 개재되고, 상기 오링은, 개재되지 않는 경우 대비 상기 사프트와 상기 본체 몸체의 결속력을 증가시킬 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치는, 일 방향으로 서로 이웃하게 배치되는 복수의 픽커 구조체를 포함하되, 상기 픽커 구조체는, 상하 방향으로 연장되는 샤프트; 및 상기 샤프트의 하부에 구비되어 반도체 패키지를 고정 또는 고정 해제하는 픽커부를 포함하고, 상기 픽커부는 흡착부; 및 상하 연장 형성되는 이동 통로가 형성되는 본체 몸체를 포함하고, 상기 샤프트는 상하 방향으로 연장되는 공급 통로가 형성되며, 상기 흡착부는 상기 본체 몸체에 대해 상대적으로 상하 이동 가능하게 상부가 상기 이동 통로에 상향 삽입되고, 상기 샤프트는 상기 공급 통로가 상기 이동 통로와 연통되게 상기 본체 몸체와 결합될 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치에 있어서, 상기 공급 통로와 연통되어 상기 공급 통로를 통해 상기 이동 통로에 기체를 공급하는 기체 공급부를 더 포함하되, 상기 기체 공급부는, 상기 픽커부의 대상체에 대한 동작시 추력의 크기가 제어되도록 상기 이동 통로에 기체를 공급할 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치에 있어서, 상기 본체 몸체는, 상기 이동 통로의 상측에 상향 개구되는 삽입부가 형성되고, 상기 샤프트는, 상기 삽입부에 삽입 체결될 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치에 있어서, 상기 샤프트의 상기 삽입부에 삽입된 부분과 상기 삽입부 사이에는 오링이 개재되고, 상기 오링은, 개재되지 않는 경우 대비 상기 사프트와 상기 본체 몸체의 결속력을 증가시킬 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치에 있어서, 상기 픽커부는, 상기 샤프트와 상기 본체 몸체를 체결하는 커플러를 더 포함할 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치는, 상기 픽커 구조체를 회전시키는 회전 구동부; 및 상기 픽커 구조체를 승하강시키는 승하강 구동부를 더 포함하고, 상기 픽커 구조체는, 상기 샤프트의 일부를 감싸는 회전블록을 더 포함하며, 상기 샤프트는 상기 회전블록에 대하여 승하강은 가능하고 회전은 불가능하게 상기 회전블록과 결합하며, 상기 회전 구동부는, 회전 구동용 모터; 및 상기 픽커 구조체의 회전블록과 상기 픽커 구조체와 이웃하는 이웃 픽커 구조체의 회전블록을 감싸며 상기 회전 구동용 모터에 의해 회주되는 벨트를 포함하고, 상기 승하강 구동부는, 승하강용 모터; 및 상기 승하강 모터로부터 제공받는 동력으로 상기 픽커 구조체의 픽커부를 승하강시키는 승하강 구동 유닛을 포함할 수 있다.
본원의 일 구현예에 따른 픽커 장치에 있어서, 상기 픽커 구조체는, 상기 벨트에 의해 상기 이웃 픽커 구조체와 연동하여 회전될 수 있다.
상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 픽커 구조체의 회전블록이 벨트에 의해 이웃 픽커 구조체의 회전블록과 함께 연동하여 회전될 수 있으므로, 두 개의 픽커 구조체의 반도체 패키지 이송이 동시에 이루어질 수 있어 효율적인 반도체 패키지 이송이 이루어질 수 있고, 하나의 회전 구동용 모터에 의해 두 개의 픽커 구조체의 회전이 구현될 수 있어, 전력 소모량이 줄어들 수 있다.
또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 기체 공급부가 이동 통로에 공급하는 기체압 조절에 의해 추력이 조절되는 픽커가 구현될 수 있다. 이에 따라, 디태치 동작 및 어태치 동작 각각에 맞게 패키지에 외력 작용이 이루어질 수 있다.
또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 기체 공급부가 샤프트의 공급 통로에 상측으로부터 기체를 공급하여 이동 통로에 공급할 수 있으므로, 기체 공급이 이동 통로의 측부로부터 이루어지던 종래 대비 기체 공급부의 배치 위치의 자유도가 확보될 수 있다.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 픽커 장치의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 따른 픽커 장치의 픽커 구조체 및 이웃 픽커 구조체의 개략적인 단면도이다.
도 3은 본원의 일 실시예에 따른 픽커 장치의 개략적인 측면도이다.
도 4는 도 2의 A의 확대도이다.
도 5는 본원의 일 실시예에 따른 픽커 장치의 픽커 구조체의 어태치 동작 및 디태치 동작 각각을 설명하는 개략적인 개념 측면도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 상부, 하측, 하부 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 1 내지 도5를 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 12시 방향을 향하는 부분이 상부, 전반적으로 6시 방향이 하측, 전반적으로 6시 방향을 향하는 부분이 하부 등이 될 수 있다.
본원은 픽커 장치에 관한 것이다.
먼저, 본원의 제1 실시예에 따른 픽커 장치(이하 '본 제1 픽커 장치'라 함)에 대해 설명한다. 본 제1 픽커 장치는 대상체를 픽업하여 플레이싱할 수 있다. 이때, 대상체는 반도체 칩 등과 같은 전자 소자의 칩, 전자 소자의 패키지의 제조 공정 과정, 제조 공정 후 등에서 이동이 필요한 다양한 형태의 대상을 포함하는 개념일 수 있다. 이러한 본 제1 픽커 장치가 픽커가 픽업 및 플레이싱 하는 대상체는 상술한 바에 한정되지 않으며, 다양하게 이용될 수 있다.
도 1을 참조하면, 본 제1 픽커 장치는, 복수의 픽커 구조체(1)를 포함한다. 복수의 픽커 구조체(1)는 일 방향으로 서로 이웃하게 배치된다. 복수의 픽커 구조체(1) 각각은 대상체를 흡착하거나 흡착 해제할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 픽커 구조체(1)는 상하 방향으로 연장되는 샤프트(11)를 포함한다.
또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 픽커 구조체(1)는 샤프트(11)의 하부에 구비되어 반도체 패키지를 고정 또는 고정 해제하는 픽커부(12)를 포함한다. 픽커부(12)에 대해서는 후술하기로 한다.
또한, 도 2를 참조하면, 픽커 구조체(1)는 샤프트(11)의 적어도 일부를 감싸는 부쉬(13)를 포함한다. 샤프트(11)는 부쉬(13)에 대하여 승하강은 가능하고, 부쉬(13)에 대하여 회전은 불가능하게 부쉬(13)와 결합할 수 있다. 예를 들어, 이러한 결합은 볼 베어링 등에 의해 이루어질 수 있다. 이는 통상의 기술자에게 자명하므로 상세한 설명은 생략한다. 이에 따라, 샤프트(11)는 부쉬(11)에 대하여 승하강은 가능하다. 또한, 샤프트(11)는 부쉬(11)의 회전시 부쉬(11)의 회전에 연동되어 회전될 수 있다.
또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 픽커 구조체(1)는 부쉬(13)의 적어도 일부를 감싸는 회전블록(14)을 포함한다. 부쉬(13)는 회전블록(14)에 대하여 승하강이 불가능하고 회전블록(14)에 대하여 회전이 불가능하게 회전블록(14)과 결합할 수 있다. 이에 따라, 회전블록(14)의 회전시 부쉬(13)는 회전블록(14)의 회전과 연동되어 회전될 수 있다.
또한, 도 1 및 도 3을 참조하면, 본 제1 픽커 장치는, 픽커 구조체(1)를 회전시키는 회전 구동부(2)를 포함한다. 회전 구동부(2)는 회전 구동용 모터(21)를 포함한다. 또한, 회전 구동부(2)는 픽커 구조체(1)의 회전블록(14)과 이웃 픽커 구조체(1a)(픽커 구조체(1)와 이웃하는 픽커 구조체)의 회전블록(14)을 감싸며 회전 구동용 모터(21)에 의해 회주되는 벨트(22)를 포함한다.
이에 따라, 벨트(22)가 회전 구동용 모터(21)에 의해 회주됨에 따라, 픽커 구조체(1)의 회전블록(14)과 이웃 픽커 구조체(1a)의 회전 블록(14)은 회전될 수 있다. 따라서, 픽커 구조체(1)는 벨트(22)에 의해 이웃 픽커 구조체(1a)와 연동하여 회전될 수 있다.
이에 따라, 본 제1 픽커 장치에 의하면, 하나의 회전 구동부(2)에 의해 두 개의 픽커 구조체(1)가 회전될 수 있다. 이에 따라, 본 제1 픽커 장치가 2n개의 픽커 구조체(1)를 포함하는 경우, 회전 구동부(2)는 n개 포함될 수 있다.
참고로, 벨트(22)의 회주시 회전블록(14)이 벨트(22)의 회주에 의해 작용되는 외력에 의해 용이하게 회전되도록, 벨트(22)와 회전블록(14) 사이의 마찰력이 큼이 바람직한데, 이를 위해, 회전블록(14)에는 외면에 돌기 복수 개가 형성될 수 있다. 이를 테면, 회전블록(14)의 외면에는 톱니 가공이 이루어질 수 있다.
또한, 도 1 및 도 3을 함께 참조하면, 본 제1 픽커 장치는 픽커 구조체(1)를 승하강시키는 승하강 구동부(3)를 포함한다. 승하강 구동부(3)는 승하강용 모터(31)를 포함한다. 또한, 승하강 구동부(3)는 승하강용 모터(31)로부터 제공받는 동력으로 픽커부(12)를 승하강시키는 승하강 구동 유닛(32)을 포함한다. 승하강 구동 유닛(32)에 의한 승하강에 의해 픽커부(12) 및 픽커부(12)와 결합되는 샤프트(11)가 승하강될 수 있다.
예를 들어, 도 3을 참조하면, 승하강 구동 유닛(32)은 승하강용 모터(31)로부터 공급받은 동력을 상하 직선 운동으로 전환하는 캠부(321)를 포함할 수 있다. 또한, 캠부(321)에 승하강 하는 승하강 부재(322)를 포함할 수 있다. 또한, 승하강 부재(322)의 승하강을 가이드하는 가이드 레일부(323)를 포함할 수 있다. 또한, 승하강 구동부(3)는 픽커부(12)의 회전은 허용하며 픽커부(12)와 결합되는 하우징(33)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 승하강용 모터(31) 및 캠부(321)에 의해 승하강 부재(322)가 가이드 레일부(323)를 따라 승하강되고, 하우징(33)이 승하강되며, 픽커부(12)의 승하강이 이루어질 수 있다. 다만, 하우징(33)은 픽커부(12)의 회전은 허용하므로, 픽커부(12)의 회전시 회전 연동되지 않을 수 있다.
또한, 픽커 구조체(1)의 캠부(321)와 이웃 픽커 구조체(1a)의 캠부(321)는 하나의 승하강용 모터(31)에 연결되어 하나의 승하강용 모터(31)에 의해 승하강될 수 있다. 이에 따라, 이에 따라, 본 제1 픽커 장치가 2n개의 픽커 구조체(1)를 포함하는 경우, 승하강용 모터(31)는 n개 포함될 수 있다. 이에 따라, 픽커 구조체(1)는 이웃 픽커 구조체(1a)와 연동하여 승하강될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니면, 다양한 형태의 승하강 구동 유닛(32)에 의해 픽커 구조체(1)는 이웃 픽커 구조체(1a)와 독립적으로 승하강할 수 있다.
참고로, 본원에서, 이웃 픽커 구조체(1a)라 함은, 픽커 구조체(1)의 회전블록(14)를 회전시키는 벨트(22)를 공유하는 픽커 구조체(1)를 의미할 수 있다. 즉, 하나의 벨트(22)에 의해 회전이 연동되는 픽커 구조체(1) 한 쌍이 서로에게 이웃하는 이웃 픽커 구조체(1a)가 되어줄 수 있다.
또한, 도 2를 참조하면, 픽커부(12)는 흡착부(121)를 포함한다. 흡착부(121)는 진공 형성부(5)와 연결되어 내부를 진공 상태로 만들어 대상체(반도체 패키지 등과 같은 다양한 형태의 대상체일 수 있음)를 흡착하거나, 또는 진공 해제 상태로 만들어 대상체에 대한 흡착을 해제할 수 있다. 이러한 픽커부(12)는 통상의 기술자에게 자명하므로 상세한 설명은 생략한다.
또한, 도 2를 참조하면, 픽커부(12)는 상하 연장 형성되는 이동 통로(1222) 및 이동 통로(1222)의 상측에 상향 개구되는 삽입부(1221)가 형성되는 본체 몸체(122)를 포함할 수 있다. 흡착부(121)는 본체 몸체(122)에 대하여 상대적으로 상하 이동 가능하게 상부가 이동 통로(1222)에 상향 삽입될 수 있다.
또한, 도 2를 참조하면, 샤프트(11)는 상하 방향으로 연장되는 공급 통로(111)가 형성될 수 있다.
또한, 도 2를 참조하면, 샤프트(11)는 픽커부(12)와 체결, 연결될 수 있다. 구체적으로, 샤프트(11)는 공급 통로(111)가 이동 통로(1222)와 연통되게 삽입부(1221)에 삽입 체결될 수 있다. 또한, 픽커부(12)는 샤프트(11)와 본체 몸체(122)를 체결하는 커플러(124)를 포함할 수 있다. 즉, 샤프트(11)는 삽입부(1221)에 삽입되며 본체 몸체(122)와 체결될 수 있고, 그에 더해, 커플러(124)에 의해 본체 몸체(122)에 결속될 수 있다.
또한, 도 4를 참조하면, 샤프트(11)의 삽입부(1221)에 삽입된 부분과 삽입부(1221) 사이에는 오링(123)이 개재될 수 있다. 오링(123)이 개재되므로, 오링(123)이 개재되지 않은 경우 대비 샤프트(11)와 본체 몸체(122)의 결속력이 증가될 수 있다. 이는 오링(123)에 의해 샤프트(11)의 외면과 본체 몸체(122)의 삽입부(1221)의 내면 사이의 갭의 적어도 일부가 매워지기 때문일 수 있다. 또한, 오링(123)이 개재되지 않으면, 샤프트(11)와 픽커부(12)가 연결된 픽커 구조체(1)의 길이가 길어서 픽커 구조체(1)가 회전할 때 샤프트(11)의 회전 량과 상대적으로 아래쪽에 위치하는 픽커부(12)의 회전 량에 차이가 있어 연동성이 저하될 수 있다. 반면에, 본원에 의하면 오링(123)이 위치함으로써, 픽커 구조체(1)가 회전할 때 샤프트(11)와 픽커부(12)의 동심을 유지하며 회전할 수 있어서 회전 연동성이 증가할 수 있다.
또한, 픽커 구조체(1)는 대상체를 픽업하여 다른 대상체에 플레이싱하며 부착(어태치)할 수 있다. 또한, 제2 대상체에 부착된 대상체를 다른 대상체로부터 박리하며 픽업(디태치)할 수 있다. 예를 들어, 다른 대상체는 필름일 수 있다.
또한, 본 제1 픽커 장치는, 공급 통로(111)와 연통되어 공급 통로(111)를 통해 이동 통로(1222)에 기체를 공급하는 기체 공급부(6)를 포함할 수 있다. 기체 공급부(6)는 픽커부(12)의 대상체에 대한 동작시 추력의 크기가 제어되도록 이동 통로(1222)에 기체를 공급할 수 있다.
여기에서 픽커부(12)의 대상체에 대한 작용이라 함은 어태치 동작 및 디태치 동작을 의미할 수 있다. 픽커부(12)가 대상체에 대해 어태치 동작을 할 때 픽커부(12)(픽커 구조체(1))는 대상체에 힘을 작용할 수 잇고, 픽커부(12)가 대상체에 디태치 동작을 할 때 픽커부(12)는 대상체와의 사이에서 힘을 작용하거나 관계를 형성할 수 있다. 어태치 동작 및 디태치 동작에 대해서는 자세히 후술한다.
픽커부(12)의 추력에 따라 픽커부(12)가 대상체에 작용하는 외력의 크기가 결정될 수 있다. 이에 따라, 기체 공급부(5)는 픽커부(12)의 추력의 크기가 제어되어 대상체에 작용하거나 대상체와의 관계에서 발생하는 외력의 크기가 제어되도록 이동 통로(1222)에 기체를 공급할 수 있다. 다시 말해, 기체 공급부(5)가 이동 통로(1222)에 공급하는 기체의 기체압에 따라 픽커부(12)의 추력의 크기가 결정되어 대상체에 작용하거나 대상체와의 관계에서 발생하는 외력의 크기가 제어될 수 있다.
구체적으로, 흡착부(121)가 대상체에 대한 어태치 또는 디태치 동작 시, 기체 공급부(5)가 공급하는 기체의 작용에 의해서, 기체 공급부(5)가 생성하는 기체압 및 그에 따른 기체 공급 량에 따라 흡착부(121)가 대상체를 누르는 힘이 제어되도록 이동 통로(1222)에 기체를 공급할 수 있다. 본원의 일 실시예에 따르면, 픽커 구조체(1)가 어태치 동작을 수행할 때, 대상체를 다른 대상체에 안정적으로 붙일 수 있도록, 흡착부(121)가 본체 몸체(122)에 대하여 상대적으로 하향 이동하여 흡착부(121)가 대상체를 누르는 상태에서, 기체 공급부(5)는 흡착부(121)가 대상체를 누르는 힘이 생성되고 조절되도록 이동 통로(1222)에 기체를 공급할 수 있다. 이때, 기체 공급부(5)가 공급하는 기체압이 커지고 기체량이 많을수록(기체압을 높일수록) 흡착부(121)가 대상체를 누르는 힘(외력)이 커지므로 흡착부(121)가 대상체를 안정적으로 누를 수 있다. 이 때, 흡착부(121)가 대상체를 누르는 과정 및 그 정도에 따라 흡착부 (1)의 변형에 의한 흡착부(121)의 상하 방향으로의 미세한 이동량의 변화가 있을 수 있다.
또한, 도 5의 (a)를 참조하면, 픽커부(12)는 흡착부(121)가 흡착한 대상체를 다른 대상체에 붙이는 어태치 동작을 수행할 수 있다. 예를 들면, 픽커부(12)는 대상체가 적재된 곳에서 대상체를 픽업(흡착)하여 다른 대상체에 붙일 수 있다. 참고로, 대상체는 반도체 칩 등과 같은 칩일 수 있다. 또한, 다른 대상체는 필름일 수 있다. 보다 구체적으로, 다른 대상체는 링프레임에 결합된 필름일 수 있다. 이에 따라, 어태치 동작이라 함은, 흡착부(121)가 대상체를 흡착한 상태에서 대상체가 다른 대상체에 붙도록 흡착부(121)가 대상체의 상면에 접촉한 상태에서 본체 몸체(122)가 하측으로 이동하여 대상체를 다른 대상체측으로 누르는 힘을 작용하는 것을 의미할 수 있다.
또한, 도 5의 (b)를 참조하면, 픽커부(12)는 흡착부(121)가 흡착한 대상체를 다른 대상체로부터 분리하는 디태치 동작을 수행할 수 있다. 예를 들어, 대상체는 다른 대상체 상에 배치되어 있는 상태, 이를 테면, 다른 대상체에 붙은 상태(접착된 상태)일 수 있다. 픽커부(12)는 흡착부(121)가 다른 대상체에 접착된 상태의 대상체를 흡착(픽업)하여 디태치 동작을 함으로써, 대상체를 다른 대상체로부터 박리할 수 있다. 이에 따라, 디태치 동작이라 함은, 흡착부(121)가 대상체를 흡착하는 과정, 대상체를 흡착하고 대상체가 다른 대상체로부터 박리되도록 본체 몸체(122)가 상측으로 이동하는 것 중 하나 이상을 포함하는 의미일 수 있다.
또한, 픽커부(12)의 어태치 동작 수행시, 흡착부(121)가 대상체를 다른 대상체에 가압하는 외력의 크기가 제어되도록, 기체 공급부(5)는 이동 통로(1222)를 통해 흡착부(121)에 작용하게 되는 기체를 공급하고 기체압을 조절할 수 있다. 다시 말해, 픽커부(12)의 어태치 동작 수행시 기체 공급부(5)는 대상체에 다른 대상체 측으로의 외력이 작용되도록, 이동 통로(1222)에 기체를 공급하고 기체압을 조절하여 흡착부(121)가 대상체를 누르는 힘을 제어함으로써, 어태치 동작시 대상체의 크기 등에 따라 대상체가 다른 대상체에 용이하게 어태치될 수 있다.
예를 들어, 픽커부(12)의 어태치 동작시, 픽커의 흡착부(121)가 대상체를 흡착한 상태에서 하향 이동하여 대상체가 다른 대상체에 접촉될 수 있는데, 기체 공급부(5)는 기체압을 높여서 흡착부(121)가 대상체를 누르는 힘을 증가시켜 대상체가 다른 대상체에 안정적으로 붙을 수 있다. 즉, 기체 공급부(5)의 기체압 작용에 의해 누르는 힘이 증가하거나 누르는 힘의 반작용에 의해 흡착부(121)의 본체 몸체(122)에 대한 상대적 상측 이동이 제한되어 대상체가 다른 대상체에 안정적으로 붙을 수 있다.
또한, 기체 공급부(5)는 픽커부(12)의 디태치 동작시, 이동 통로(1222)에 기체를 공급할 수 있다. 이때, 흡착부(121)는 본체 몸체(122)에 대하여 상대적으로 하향 이동하여 디태치 동작시 대상체에 접촉하며 흡착할 수 있다. 픽커부(12)는 디태치 동작시 대상체를 흡착하기 위해 하향 이동하여 대상체에 접촉하여 흡착하고, 대상체를 다른 대상체로부터 탈거하기 위해 진공 흡입하여 상측으로 이동할 수 있는데, 이때, 대상체에는 후술하는 외력 작용 유닛(7)에 의해 상측으로의 외력이 작용할 수 있다. 이러한 상측으로의 외력에 대하여 흡착부(121)는 본체 몸체(122)에 대하여 상대적으로 상향 이동할 수 있다. 이때, 픽커의 흡착부(121)가 외력 작용 유닛(7)에 의한 상측 방향으로의 외력을 흡수하고 버퍼 작용이 가능하도록 기체 공급부(5)는 기체압을 제어하여 미리 설정된 크기 이하의 기체압 또는 최소한의 기체압으로 기체를 공급할 수 있다. 따라서, 디태치 동작시, 외력 작용 유닛(7)에 의한 대상체에 대한 손상이 최소화될 수 있다.
또한, 기체 공급부(5)의 픽커부(12)의 디태치 동작시 이동 통로(1222)에 공급하는 기체압은, 픽커부(12)의 어태치 동작시 이동 통로(1222)에 공급하는 기체압 대비 작을 수 있다. 예를 들어, 도 5의 (b)를 참조하면, 픽커부(12)의 디태치 동작시 다른 대상체의 하측에는 다른 대상체에 상측으로의 외력을 작용하는 외력 작용 유닛(7)이 구비될 수 있고, 픽커부(12)가 대상체에 접촉할 때 외력 작용 유닛(7)은 상측으로 다른 대상체의 대상체가 구비된 부분을 상측으로 밀어올릴 수 있다. 이러한 외력 작용 유닛(7)의 구동을 고려하여, 다시 말해, 다른 대상체 또는 대상체가 외력 작용 유닛(7)에 의해 상측으로 밀어올려지는 것에 대응하여 기체 공급부(5)의 픽커부(12)의 디태치 동작시 이동 통로(1222)에 공급하는 기체압(기체량)은, 픽커부(12)의 어태치 동작시 이동 통로(1222)에 공급하는 기체압(기체량) 대비 작을 수 있다. 외력 작용 유닛(7)이 다른 대상체 및 대상체를 밀어올리면서 대상체를 다른 대상체로로부터 박리시킬 때, 흡착부(121)의 패드는 대상체의 상면에 접촉한 상태이고, 만약, 이때 기체 공급부(5)가 공급하는 기체의 기체압의 증가에 따른 기체 공급량의 증가에 의하여 픽커가 대상체를 누르는 힘이 크다면, 외력 작용 유닛(7)의 선단에 의하여 대상체의 바닥면에 손상을 줄 수 있다. 따라서, 이를 방지하기 위하여, 기체 공급부(5)는 어태치 동작 대비 디태치 동작시 기체압을 축소하고, 최소한의 힘으로만 흡착부(121)가 대상체를 누르고 있을 수 있도록 기체압을 미리 설정된 크기 이하 또는 최소로 공급할 수 있다.
픽커부(12)는, 이동 통로(1222)의 기체압에 따라 픽커의 추력이 변경될 수 있다. 이에 따라, 어태치 동작시에는 이동 통로(1222) 내의 기체압이 디태치 동작시의 이동 통로(1222) 내의 기체압보다 높도록 형성되어 대상체에 다른 대상체 측으로의 외력이 작용되어 대상체가 다른 대상체에 안정적으로 붙을 수 있다. 이때, 이동 통로(1222) 내의 기체압은 대상체의 규격에 따라 적합한 기체압을 갖도록 조절되어 설정될 수 있다.
또한, 디태치 동작시에는 외력 작용 유닛(7)이 밀어올리는데, 이 때, 흡착부(121)는 대상체의 상면에 접촉된 상태이거나 대상체의 상면에 매우 근접하여 약간 띄워진 상태일 수 있다. 디태치 동작시에는 이동 통로(1222)에 기체가 제한적으로 공급되어 이동 통로(1222) 내의 제한적인 기체압에 따라, 외력 작용 유닛(7)의 상향 동작에 대한 쿠션 역할을 수행할 수 있다. 다시 말해, 디태치 동작시, 외력 작용 유닛(7)의 상향 방향으로의 외력에 대비하고 상쇠를 위하여, 흡착부(121)는 어태치 동작 대비 적은 외력으로(최소한의 힘으로) 대상체를 접촉하고 있을 필요가 있으므로, 픽커부(12)의 디태치 동작시 이동 통로(1222) 내의 기체의 기체압력은, 픽커부(12)의 어태치 동작시 이동 통로(1222) 내의 기체의 기체 압력 대비 작을 수 있고, 그에 따라 공급부(5)의 픽커부(12)의 디태치 동작시 이동 통로(1222)에 공급하는 기체량은, 픽커부(12)의 어태치 동작시 이동 통로(1222)에 공급하는 기체량 대비 작을 수 있다.
또한, 전술한 바에 따르면, 이동 통로(1222) 내의 기압은 조절될 수 있는데, 이 것은 전공 레귤레이터에 의해 수행될 수 있다. 전공 레귤레이터는 프로그램에 의해 이동 통로(1222) 내로 공급되는 기체압을 조절하여, 이동 통로(1222) 내의 기압을 조절할 수 있다. 기체 공급부(5)는 에어압을 조절하는 장치로서 전공 레귤레이터로 프로그램에 의한 압력 변경이 가능한 장치를 포함할 수 있다. 전공 레귤레이터는 통상의 기술자에게 자명하므로 상세한 설명은 생략한다.
또한, 흡착부(121)의 상부는, 상향 연장부(1211) 및 상향 연장부(1211)의 하부에 형성되되 상향 연장부(1211)의 외측으로 돌출되는 하측 단턱이 형성되도록, 상향 연장부(1211)보다 넓은 단면적을 갖는 하측 단턱 형성부(1212)를 포함할 수 있다.
또한, 상향 연장부(121)는 수평 방향으로 평행하는 상면을 가질 수 있다. 다시 말해, 상향 연장부(121)는 상면이 평면일 수 있다. 이에 따라, 이동 통로(1222)에 공급되는 기체에 의해 작용하는 외력은 상면 및 하측 단턱에 작용하여 흡착부(121)를 하측으로 밀 수 있다.
또한, 이동 통로(1222)는 하측 단턱의 적어도 일부와 대향하는 상측 단턱(1223)이 형성되도록, 이동 통로(1222)의 내면으로부터 이동 통로(1222)의 반경 방향 내측으로 돌출되는 돌출부가 형성될 수 있다.
또한, 도 2를 참조하면, 픽커부(12)는 탄성 부재(125)를 포함할 수 있다. 탄성 부재(125)는 적어도 일부가 흡착부(121)의 상향 연장부(1211)를 감싸며 상측 단턱(1223)과 하측 단턱 사이에 개재(배치)될 수 있다. 탄성 부재(125)는 스프링일 수 있다. 또한, 탄성 부재(5)의 하부는 상향 연장부(121)를 감싸되, 상향 연장부(121)를 파지할 수 있다.
이에 따라, 탄성 부재(125)는 흡착부(121)의 본체 몸체(122)에 대한 상대적 하향 이동시 신장(길이 연장)되며, 탄성 변형될 수 있다. 또한, 흡착부(121)의 본체 몸체(122)에 대한 상대적 하향 이동 후 흡착부(121)가 적어도 일부 위치 복원 가능하도록 탄성 복원될 수 있다. 이에 따라, 흡착부(121)는 본체 몸체(122)에 대한 상대적 하향 이동 후 탄성 부재(125)의 탄성 복원에 의해 상측으로 이동(return)되며 위치 복원될 수 있다.
또한, 기체 공급부(6)는 샤프트(11)의 공급 통로(111)를 통해 이동 통로(1222)에 기체를 공급할 수 있고, 공급 통로(111)는 상하로 연장 형성될 수 있다. 이에 따라, 기체 공급부(6)에 의한 기체 주입은 샤프트(11)의 상측으로부터 하측으로 이루어질 수 있다. 바람직하게는 기체 공급부(6)는 샤프트(11)의 상측에 위치할 수 있다.
또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 샤프트(11)의 상부는 공급 통로(111)와 연통되는 통로를 가지고 샤프트(11)와 기체 공급부(6)를 연결하는 연결부(16)와 결합될 수 있다. 이에 따라, 기체 공급부(6)는 연결부(16)의 통로를 통해 공급 통로(111)로 기체를 공급할 수 있다.
또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 연결부(16)와 부쉬(13) 사이에는 샤프트(11)를 감싸는 탄성부재(17)가 배치될 수 있다. 샤프트(11)의 하강시, 샤프트(11)와 결합된 연결부(16)도 하강될 수 있고, 이에 따라, 샤프트(11)의 하강시 샤프트(11)와 부쉬(13) 사이의 간격이 줄어들며 탄성 부재(17)가 압축될 수 있다. 이에 따라, 샤프트(11)의 승강시 탄성 부재(17)의 탄성 복원력이 상측으로 작용될 수 있어, 샤프트(11)의 빠른 승강이 가능할 수 있다.
전술한 바에 따르면, 본 제1 픽커 장치에 의하면, 흡착부(11)가 승하강 구동부(3)에 의해 승하강될 수 있고, 회전 구동부(2)에 의해 회전될 수 있다. 또한, 흡착부(11)는 대상체를 흡착하거나 흡착 해제할 수 있다. 이러한 흡착부(11)에 의해 픽커 구조체(1)는 대상체를 픽업하거나 이송하거나 플레이싱할 수 있다.
또한, 전술한 바에 따르면, 픽커 구조체(1)는 벨트(22)에 의해 이웃 픽커 구조체(1a)와 연동하여 회전될 수 있다. 이에 따라, 본 제1 픽커 장치에 의하면, 하나의 회전 구동부(2)에 의해 두 개의 픽커 구조체(1)가 회전될 수 있다. 이에 따라, 본 제1 픽커 장치가 2n개의 픽커 구조체(1)를 포함하는 경우, 회전 구동부(2)는 n개 포함될 수 있다.
또한, 전술한 바에 따르면, 기체 공급부(6)가 이동 통로(1222)에 공급하는 기체압 조절에 의해 추력이 조절되는 픽커 구조체(1)가 구현될 수 있다. 이에 따라, 디태치 동작 및 어태치 동작 각각에 맞게 대상체에 외력 작용이 이루어질 수 있다.
이하에서는, 본원의 제2 실시예에 따른 픽커 장치(이하 '본 제2 픽커 장치'라 함)에 관해 설명한다. 다만, 본 제2 픽커 장치는 전술한 본 제1 픽커 장치와 동일하거나 상응하는 기술적 특징 및 구성을 공유한다. 따라서, 본 제1 픽커 장치에서 설명한 내용과 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하며, 동일 내지 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.
도 1을 참조하면, 본 제2 픽커 장치는, 복수의 픽커 구조체(1)를 포함한다. 복수의 픽커 구조체(1)는 일 방향으로 서로 이웃하게 배치된다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 픽커 구조체(1)는 상하 방향으로 연장되는 샤프트(11)를 포함한다.
또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 픽커 구조체(1)는 샤프트(11)의 하부에 구비되어 반도체 패키지를 고정 또는 고정 해제하는 픽커부(12)를 포함한다.
도 2를 참조하면, 픽커부(12)는 흡착부(121)를 포함한다. 흡착부(121)는 진공 형성부(5)와 연결되어 내부를 진공 상태로 만들어 대상체(반도체 패키지 등과 같은 다양한 형태의 대상체일 수 있음)를 흡착하거나, 또는 진공 해제 상태로 만들어 대상체에 대한 흡착을 해제할 수 있다. 이러한 픽커부(12)는 통상의 기술자에게 자명하므로 상세한 설명은 생략한다.
또한, 도 2를 참조하면, 픽커부(12)는 상하 연장 형성되는 이동 통로(1222)가 형성되는 본체 몸체(122)를 포함할 수 있다. 흡착부(121)는 본체 몸체(122)에 대하여 상대적으로 상하 이동 가능하게 상부가 이동 통로(1222)에 상향 삽입될 수 있다.
또한, 도 2를 참조하면, 샤프트(11)는 상하 방향으로 연장되는 공급 통로(111)가 형성될 수 있다.
또한, 도 2를 참조하면, 샤프트(11)는 공급 통로(111)가 이동 통로(1222)와 연통되게 본체 몸체(122)와 결합한다.
예를 들어, 본체 몸체(122)는 이동 통로(1222)의 상측에 상향 개구되는 삽입부(1221)가 형성될 수 있다. 또한, 샤프트(11)는 하부가 삽입부(1221)에 삽입 체결될 수 있다. 또한, 픽커부(12)는 샤프트(11)와 본체 몸체(122)를 체결하는 커플러(124)를 포함할 수 있다. 즉, 샤프트(11)는 삽입부(1221)에 삽입되며 본체 몸체(122)와 체결될 수 있고, 그에 더해, 커플러(124)에 의해 본체 몸체(122)에 결속될 수 있다.
또한, 도 4를 참조하면, 샤프트(11)의 삽입부(1221)에 삽입된 부분과 삽입부(1221) 사이에는 오링(123)이 개재될 수 있다. 오링(123)이 개재되므로, 오링(123)이 개재되지 않은 경우 대비 샤프트(11)와 본체 몸체(122)의 결속력이 증가될 수 있다. 이는 오링(123)에 의해 샤프트(11)의 외면과 본체 몸체(122)의 삽입부(1221)의 내면 사이의 갭의 적어도 일부가 매워지기 때문일 수 있다.
또한, 픽커 구조체(1)는 대상체를 픽업하여 다른 대상체에 플레이싱하며 부착(어태치)할 수 있다. 또한, 제2 대상체에 부착된 대상체를 다른 대상체로부터 박리하며 픽업(디태치)할 수 있다. 예를 들어, 다른 대상체는 필름일 수 있다.
또한, 본 제2 픽커 장치는, 공급 통로(111)와 연통되어 공급 통로(111)를 통해 이동 통로(1222)에 기체를 공급하는 기체 공급부(6)를 포함할 수 있다. 기체 공급부(6)는 픽커부(12)의 대상체에 대한 동작시 추력의 크기가 제어되도록 이동 통로(1222)에 기체를 공급할 수 있다.
또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 픽커 구조체(1)는 부쉬(13)의 적어도 일부를 감싸는 회전블록(14)을 포함한다. 부쉬(13)는 회전블록(14)에 대하여 승하강이 불가능하고 회전블록(14)에 대하여 회전이 불가능하게 회전블록(14)과 결합할 수 있다. 이에 따라, 회전블록(14)의 회전시 부쉬(13)는 회전블록(14)의 회전과 연동되어 회전될 수 있다.
또한, 도 1 및 도 3을 참조하면, 본 제2 픽커 장치는, 픽커 구조체(1)를 회전시키는 회전 구동부(2)를 포함한다. 회전 구동부(2)는 회전 구동용 모터(21)를 포함한다. 또한, 회전 구동부(2)는 픽커 구조체(1)의 회전블록(14)과 이웃 픽커 구조체(1a)(픽커 구조체(1)와 이웃하는 픽커 구조체)의 회전블록(14)을 감싸며 회전 구동용 모터(21)에 의해 회주되는 벨트(22)를 포함한다.
이에 따라, 벨트(22)가 회전 구동용 모터(21)에 의해 회주됨에 따라, 픽커 구조체(1)의 회전블록(14)과 이웃 픽커 구조체(1a)의 회전 블록(14)은 회전될 수 있다. 따라서, 픽커 구조체(1)는 벨트(22)에 의해 이웃 픽커 구조체(1a)와 연동하여 회전될 수 있다.
또한, 도 1 및 도 3을 함께 참조하면, 본 제1 픽커 장치는 픽커 구조체(1)를 승하강시키는 승하강 구동부(3)를 포함한다. 승하강 구동부(3)는 승하강용 모터(31)를 포함한다. 또한, 승하강 구동부(3)는 승하강용 모터(31)로부터 제공받는 동력으로 픽커부(12)를 승하강시키는 승하강 구동 유닛(32)을 포함한다. 승하강 구동 유닛(32)에 의한 승하강에 의해 픽커부(12) 및 픽커부(12)와 결합되는 샤프트(11)가 승하강될 수 있다.
이에 따라, 픽커 구조체(1)는 이웃 픽커 구조체(1a)와 연동하여 승하강될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니면, 다양한 형태의 승하강 구동 유닛(32)에 의해 픽커 구조체(1)는 이웃 픽커 구조체(1a)와 독립적으로 승하강할 수 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 픽커 구조체
11: 샤프트
12: 픽커부
121: 흡착부
1211: 상향 연장부
1212: 하측 단턱 형성부
122: 본체 몸체
1221: 삽입부
1222: 이동 통로
1223: 상측 단턱
123: 오링
124: 커플러
125: 탄성 부재
13: 부쉬
14: 회전블록
16: 연결부
17: 탄성 부재
2: 회전 구동부
21: 회전 구동용 모터
22: 벨트
3: 승하강 구동부
31: 승하강 구동용 모터
32: 승하강 구동 유닛
321: 캠부
322: 승하강 부재
323: 가이드 레일부
33: 하우징
5: 진공 형성부
6: 기체 공급부

Claims (5)

  1. 픽커 장치에 있어서,
    일 방향으로 서로 이웃하게 배치되는 복수의 픽커 구조체를 포함하되,
    상기 픽커 구조체는,
    상하 방향으로 연장되는 샤프트; 및
    상기 샤프트의 하부에 구비되어 반도체 패키지를 고정 또는 고정 해제하는 픽커부를 포함하고,
    상기 픽커부는
    흡착부; 및
    상하 연장 형성되는 이동 통로가 형성되는 본체 몸체를 포함하고,
    상기 샤프트는 상하 방향으로 연장되는 공급 통로가 형성되며,
    상기 흡착부는 상기 본체 몸체에 대해 상대적으로 상하 이동 가능하게 상부가 상기 이동 통로에 상향 삽입되고,
    상기 픽커 장치는, 상기 공급 통로와 연통되어 상기 공급 통로를 통해 상기 이동 통로에 기체를 공급하는 기체 공급부를 더 포함하며,
    상기 픽커부는, 상기 흡착부가 흡착한 제1 대상체를 제2 대상체에 붙이는 어태치 동작 또는 상기 흡착부가 흡착한 제1 대상체를 제2 대상체로부터 분리하는 디태치 동작을 수행하고,
    상기 기체 공급부는, 상기 픽커부의 상기 어태치 동작 및 상기 디태치 동작시 상기 픽커 구조체의 추력의 크기가 제어되어 상기 제1 대상체를 누르는 힘이 제어되도록 상기 이동 통로에 기체를 공급하는 것인, 픽커 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본체 몸체는, 상기 이동 통로의 상측에 상향 개구되는 삽입부가 형성되고,
    상기 샤프트는, 상기 삽입부에 삽입 체결되는 것인, 픽커 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 샤프트의 상기 삽입부에 삽입된 부분과 상기 삽입부 사이에는 오링이 개재되고,
    상기 오링은, 개재되지 않는 경우 대비 상기 사프트와 상기 본체 몸체의 결속력을 증가시키는 것인, 픽커 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 픽커부는,
    상기 샤프트와 상기 본체 몸체를 체결하는 커플러를 더 포함하는 것인, 픽커 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 픽커 구조체를 회전시키는 회전 구동부; 및
    상기 픽커 구조체를 승하강시키는 승하강 구동부를 더 포함하고,
    상기 픽커 구조체는,
    상기 샤프트의 일부를 감싸는 회전블록을 더 포함하며,
    상기 샤프트는 상기 회전블록에 대하여 승하강은 가능하고 회전은 불가능하게 상기 회전블록과 결합하며,
    상기 회전 구동부는,
    회전 구동용 모터; 및
    상기 픽커 구조체의 회전블록과 상기 픽커 구조체와 이웃하는 이웃 픽커 구조체의 회전블록을 감싸며 상기 회전 구동용 모터에 의해 회주되는 벨트를 포함하고,
    상기 승하강 구동부는,
    승하강용 모터; 및
    상기 승하강 모터로부터 제공받는 동력으로 상기 픽커 구조체의 픽커부를 승하강시키는 승하강 구동 유닛을 포함하는 것인, 픽커 장치.
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