KR100745421B1 - 다이본딩장치 및 이를 이용한 다이본딩방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 웨이퍼로부터 다이를 픽업하고 다이를 기판에 본딩하는 본딩부와;상기 본딩부와 접촉하며 픽업 또는 본딩시 상기 본딩부가 일정한 가압력을 유지할 수 있도록 유체압력을 이용하는 가압력조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이본딩장치.
- 제1항에 있어서,상기 본딩부는 다이를 흡착하여 웨이퍼로부터 추출하고 다이를 기판에 압착하여 본딩하는 샤프트와;상기 샤프트와 결합되며 상기 가압력조절부에서 유발되는 압력을 상기 샤프트에 전달하는 힘전달블록과;상기 샤프트 내부에 마련되어 다이를 흡착할 수 있도록 진공상태를 형성하는 진공형성관을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이본딩장치.
- 제2항에 있어서,상기 가압력조절부는,공기압을 이용하여 상기 힘전달블록을 가압하는 힘을 발생시키는 공압실린더와, 상기 공압실린더에 이동가능하게 연결되며 상기 힘전달블록을 가압하는 가압블록과; 상기 공압실린더 및 상기 가압블록이 배치되는 프레임과; 상기 공압실린더와 소정의 관으로 연결되어 상기 공압실린더 내부의 공기압이 일정상태로 유지되도록 압축공기량을 조절하는 공압레귤레이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이본딩장치.
- 제3항에 있어서,상기 힘전달블록의 상면과 하면에 마련되어 상기 힘전달블록 및 상기 프레임과 구름접촉을 하는 제1,2볼롤러를 더 포함하되,상기 볼롤러는 상기 샤프트와 상기 힘전달블록이 회전하는 경우 그 회전이 원활히 일어날 수 있도록 상기 가압블록 및 상기 프레임의 접촉면을 따라 구름이동하는 것을 특징으로 하는 다이본딩장치.
- 제3항에 있어서,상기 샤프트의 수평이동을 제한하고 상기 샤프트가 상기 프레임에 회전가능하게 배치되도록 상기 샤프트가 삽입되며 상기 프레임의 상부와 하부에 마련되는 제1,2슬라이드부시를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다이본딩장치.
- 제5항에 있어서,상기 힘전달블록과 접촉하며 상기 힘전달블록을 탄성력있게 지지하는 탄성부재를 더 포함하되, 상기 탄성부재는 상기 샤프트를 감싸는 코일스프링으로 구성되며, 상기 프레임의 하부에 마련되는 제2슬라이드부시의 상면과 상기 힘전달블록의 하면 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 다이본딩장치
- 제2항에 있어서,상기 샤프트에 마련되며 상기 샤프트를 회전시키는 회전부를 더 포함하되,상기 회전부는 상기 샤프트를 회전시키는 회전력을 발생시키는 구동모터와, 상기 구동모터의 모터축에 설치되는 제1회전풀리와, 상기 샤프트의 상단부에 설치되는 제2회전풀리와, 상기 제1회전풀리와 상기 제2회전풀리를 연결하는 연결벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이본딩장치.
- 제4항에 있어서,상기 본딩부를 승강시키는 수직이송부와,상기 본딩부를 수평상태로 이송시키는 수평이송부를 더 포함하며,상기 수직이송부는 상기 프레임에 부착된 연결블록과, 상기 연결블록와 연결되며 상하로 이동하는 이송블록과, 상기 이송블록의 이송을 상하로 안내하는 이송안내블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이본딩장치.
- 본딩부를 이용하여 웨이퍼에서 추출된 다이를 인덱스장치에 놓인 기판으로 이동시키는 이송단계와;상기 기판에 상기 다이가 압착되는데 필요한 상기 본딩부의 가압력을 제공하는 가압력조절부의 공압이 적정범위인지 판단하는 제1공압판단단계와;상기 공압이 적정범위가 아닌 경우, 상기 가압력 조절장치의 압축공기량을 조절하는 제1공기량조절단계와;상기 본딩부를 이용하여 상기 기판에 다이를 압착하는 압착단계와;상기 다이 압착 후 상기 가압력조절부의 공압이 적정범위인지 판단하는 제2공압판단단계와;상기 공압이 적정범위가 아닌경우, 상기 가압력조절부의 압축공기량을 조절하는 제2공기량조절단계와;상기 다이가 상기 기판에 압착되는데 필요한 소정의 압착완료시간이 경과되었는지 판단하는 압착완료시간판단단계와;상기 압착완료시간이 경과하였다면, 상기 본딩부가 상기 기판에 압착된 다이와 이격되며 원위치로 복귀하는 복귀단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이본딩방법.
- 제9항에 있어서,상기 제1,2공압판단계 및 상기 제1,2공기량조절단계에서 각각의 공압의 적정여부 판단과 압축공기의 공급은 압축공기가 수용되는 공압실린더와 연결된 전자식 공압레귤레이터에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 다이본딩방법.
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KR1020060073006A KR100745421B1 (ko) | 2006-08-02 | 2006-08-02 | 다이본딩장치 및 이를 이용한 다이본딩방법 |
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KR1020060073006A KR100745421B1 (ko) | 2006-08-02 | 2006-08-02 | 다이본딩장치 및 이를 이용한 다이본딩방법 |
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KR100745421B1 true KR100745421B1 (ko) | 2007-08-02 |
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ID=38601685
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KR1020060073006A KR100745421B1 (ko) | 2006-08-02 | 2006-08-02 | 다이본딩장치 및 이를 이용한 다이본딩방법 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101649073B1 (ko) * | 2015-03-26 | 2016-08-18 | (주) 예스티 | 반도체 패키지 제조를 위한 본딩 장치 |
KR101975144B1 (ko) * | 2018-04-10 | 2019-05-03 | 주식회사 프로텍 | 다이 본더용 칩 본딩 장치 |
KR102292225B1 (ko) | 2021-03-31 | 2021-08-23 | 주식회사 톱텍 | 다이 본딩헤드 구조 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR960015922B1 (ko) * | 1992-06-24 | 1996-11-23 | 가부시키가이샤 도시바 | 다이본딩장치 |
KR100212018B1 (ko) | 1995-10-24 | 1999-08-02 | 김영환 | 엘오씨 패캐이지 제조용 칩 부착장치 및 칩 부착방법 |
KR200354645Y1 (ko) | 2004-04-14 | 2004-07-05 | 주식회사아이앰 | 다이 본딩 머신의 콜릿 유니트 |
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2006
- 2006-08-02 KR KR1020060073006A patent/KR100745421B1/ko active IP Right Grant
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