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KR102260097B1 - industrial robot - Google Patents

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KR102260097B1
KR102260097B1 KR1020197036760A KR20197036760A KR102260097B1 KR 102260097 B1 KR102260097 B1 KR 102260097B1 KR 1020197036760 A KR1020197036760 A KR 1020197036760A KR 20197036760 A KR20197036760 A KR 20197036760A KR 102260097 B1 KR102260097 B1 KR 102260097B1
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KR
South Korea
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guide rail
arm
rear direction
fixed
hand
Prior art date
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KR1020197036760A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20200007895A (en
Inventor
다카유키 야자와
요시키 시무라
요스케 다카세
Original Assignee
니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Abstract

진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 있어서, 열의 영향에 의한, 암의 상하 좌우 방향으로의 변형을 억제하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다. 이 산업용 로봇에서는, 핸드 지지 부재(7)를 전후 방향으로 안내하는 가이드 레일(29) 및 핸드 지지 부재(8)를 전후 방향으로 안내하는 가이드 레일(30)은 암 프레임(23)의 좌우 방향의 양 단부측에 고정되고, 가이드 레일(30)은 가이드 레일(29)의 상측에 배치되어 있다. 가이드 레일(29)과 가이드 레일(30)은 동일한 금속 재료로 같은 형상으로 형성되고, 암 프레임(23)은, 가이드 레일(29, 30)과 선팽창 계수가 상이한 금속 재료로 형성되어 있다. 암 프레임(23)은, 전후 방향에서 보았을 때에 상하 좌우 방향으로 대략 대칭으로 되도록 형성되고, 가이드 레일(29, 30)은, 전후 방향에서 보았을 때에 암 프레임(23)에 대하여 상하 좌우 방향으로 대칭으로 되는 위치에서 암 프레임(23)에 고정되어 있다.To provide an industrial robot capable of suppressing deformation of an arm in the vertical, horizontal, and vertical directions due to the influence of heat in an industrial robot that transports an object to be transported in a vacuum. In this industrial robot, the guide rail 29 for guiding the hand support member 7 in the front-rear direction and the guide rail 30 for guiding the hand support member 8 in the front-rear direction are in the left and right directions of the arm frame 23 . It is fixed to both end sides, and the guide rail 30 is disposed above the guide rail 29 . The guide rail 29 and the guide rail 30 are formed of the same metal material in the same shape, and the arm frame 23 is formed of a metal material having a linear expansion coefficient different from that of the guide rails 29 and 30 . The arm frame 23 is formed so as to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction, and the guide rails 29 and 30 are symmetrical with respect to the arm frame 23 in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction. It is fixed to the arm frame 23 at the position where it becomes.

Figure R1020197036760
Figure R1020197036760

Description

산업용 로봇industrial robot

본 발명은, 진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot that transports an object to be transported in a vacuum.

종래, 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 암과, 암을 보유 지지하는 암 지지 부재를 구비하고 있다. 암은, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재는 암에 대하여 전후 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능하게 되어 있다. 암은 암 지지 부재에 대하여 전후 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능하게 되어 있다.DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the industrial robot which conveys a glass substrate is known (for example, refer patent document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a first hand and a second hand on which a glass substrate is mounted, a first hand support member to which the first hand is fixed, a second hand support member to which the second hand is fixed, and a second hand support member to which the second hand is fixed; An arm holding the first hand supporting member and the second hand supporting member, and an arm supporting member holding the arm are provided. The arm is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction. The first hand supporting member and the second hand supporting member are linearly reciprocating with respect to the arm in the front-rear direction. The arm can reciprocate linearly in the front-rear direction with respect to the arm support member.

또한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 암에 대하여 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 암에 대하여 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구와, 암 지지 부재에 대하여 암을 왕복 이동시키는 제3 구동 기구를 구비하고 있다. 제1 구동 기구는, 외주면에 수나사가 형성되는 제1 나사 부재와, 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제1 나사 부재에 걸림 결합하는 제1 너트 부재와, 제1 나사 부재를 회전시키는 제1 모터를 구비하고 있다. 제2 구동 기구는, 외주면에 수나사가 형성되는 제2 나사 부재와, 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제2 나사 부재에 걸림 결합하는 제2 너트 부재와, 제2 나사 부재를 회전시키는 제2 모터를 구비하고 있다. 제3 구동 기구는, 외주면에 수나사가 형성되는 제3 나사 부재와, 암 지지 부재에 고정됨과 함께 제3 나사 부재에 걸림 결합하는 제3 너트 부재와, 제3 나사 부재를 회전시키는 제3 모터를 구비하고 있다.Further, the industrial robot described in Patent Document 1 includes a first drive mechanism for reciprocating a first hand support member with respect to an arm, a second drive mechanism for reciprocating a second hand support member with respect to the arm, and an arm support member. A third driving mechanism for reciprocating the arm is provided. The first drive mechanism includes a first screw member having an external thread formed on an outer circumferential surface, a first nut member fixed to the first hand support member and engaged with the first screw member, and a first screw member for rotating the first screw member. motor is provided. The second drive mechanism includes a second screw member having an external thread formed on its outer circumferential surface, a second nut member fixed to the second hand support member and engaged with the second screw member, and a second screw member for rotating the second screw member. motor is provided. The third drive mechanism includes a third screw member having an external thread formed on the outer circumferential surface, a third nut member fixed to the arm support member and engaging the third screw member, and a third motor for rotating the third screw member. are being prepared

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 암의 좌측면에, 제1 핸드 지지 부재를 전후 방향으로 안내하기 위한 2개의 제1 가이드 레일이 고정되고, 암의 우측면에, 제2 핸드 지지 부재를 전후 방향으로 안내하기 위한 2개의 제2 가이드 레일이 고정되어 있다. 또한 암의 하면에는, 암을 전후 방향으로 안내하기 위한 2개의 제3 가이드 레일이 고정되어 있다. 또한 암의 강성을 어느 정도 확보하면서 암을 경량화하기 위하여 암은, 예를 들어 알루미늄 합금으로 형성되어 있다. 또한 가이드 레일의 강성을 확보하기 위하여 제1 내지 제3 가이드 레일은, 예를 들어 스테인리스강으로 형성되어 있다.In the industrial robot described in Patent Document 1, two first guide rails for guiding the first hand supporting member in the front-rear direction are fixed to the left side of the arm, and the second hand supporting member is mounted to the right side of the arm in the front-rear direction. Two second guide rails for guiding the Further, on the lower surface of the arm, two third guide rails for guiding the arm in the front-rear direction are fixed. In addition, in order to lighten the arm while ensuring the rigidity of the arm to some extent, the arm is formed of, for example, an aluminum alloy. In addition, in order to secure the rigidity of the guide rail, the first to third guide rails are formed of, for example, stainless steel.

또한 종래, 진공 중에서 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 2 참조). 특허문헌 2에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 이 산업용 로봇은, 트랜스퍼 챔버와, 트랜스퍼 챔버를 둘러싸도록 배치되는 복수의 프로세스 챔버를 구비하는 제조 시스템에 편입되어 사용된다. 트랜스퍼 챔버 및 프로세스 챔버의 내부는 진공으로 되어 있다.Moreover, conventionally, the industrial robot which conveys a glass substrate in a vacuum is known (for example, refer patent document 2). The industrial robot described in patent document 2 is equipped with the hand on which a glass substrate is mounted, the arm to which the hand is rotatably connected to the front-end|tip side, and the main body part to which the base-end side of the arm is connected rotatably. This industrial robot is incorporated and used in a manufacturing system including a transfer chamber and a plurality of process chambers disposed to surround the transfer chamber. The inside of the transfer chamber and the process chamber is in a vacuum.

특허문헌 2에 기재된 산업용 로봇의 핸드 및 암은 트랜스퍼 챔버 내에 배치되어 있다. 프로세스 챔버에는 각종 기기가 설치되어 있으며, 프로세스 챔버에서는 유리 기판에 대한 각종 처리가 실행된다. 특허문헌 2에 기재된 산업용 로봇은, 프로세스 챔버로부터의 유리 기판의 반출이나 프로세스 챔버로의 유리 기판의 반입을 행한다. 또한 프로세스 챔버에서는 고온 환경 하에서 유리 기판에 대한 처리가 실행되는 경우가 있으며, 고온 환경 하에서 유리 기판의 처리가 실행되는 프로세스 챔버에서는 그 내부 온도가 높게 되어 있다.The hand and arm of the industrial robot described in patent document 2 are arrange|positioned in the transfer chamber. Various devices are installed in the process chamber, and various processes with respect to the glass substrate are performed in the process chamber. The industrial robot described in patent document 2 carries out carrying out of a glass substrate from a process chamber, and carrying in the glass substrate to a process chamber. Moreover, in a process chamber, the process with respect to a glass substrate may be performed in a high temperature environment, and the internal temperature becomes high in the process chamber in which the process of a glass substrate is performed in a high temperature environment.

일본 특허 공개 제2015-80828호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2015-80828 일본 특허 공개 제2015-139854호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2015-139854

본원 발명자는, 특허문헌 2에 기재된 산업용 로봇과 같이 진공 중에서 유리 기판 등의 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇으로서, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이 암에 대하여 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 갖는 산업용 로봇의 채용을 검토하고 있다.The inventor of this application is an industrial robot which conveys conveyance objects, such as a glass substrate, in a vacuum like the industrial robot described in patent document 2, Comprising: The 1st hand and the 1st hand which reciprocate linearly with respect to an arm like the industrial robot described in patent document 1 are Adoption of an industrial robot with two hands is being considered.

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에 의하여, 고온 환경 하에서 유리 기판의 처리가 실행되는 프로세스 챔버(즉, 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버)에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우, 암이 고온의 프로세스 챔버에 접근하여, 암에 고정되는 제1 내지 제3 가이드 레일, 및 암의 온도가 상승한다. 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 예를 들어 암이 알루미늄 합금으로 형성됨과 함께 제1 내지 제3 가이드 레일이 스테인리스강으로 형성되어 있어서, 암과 제1 내지 제3 가이드 레일의 선팽창 계수가 상이하다. 그 때문에 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 고온의 프로세스 챔버에 접근한 제1 내지 제3 가이드 레일 및 암의 온도가 상승하여 제1 내지 제3 가이드 레일 및 암이 신장되면, 전후 방향에 직교하는 방향(즉, 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향에 직교하는 방향)으로 암이 변형될 우려가 있다.With the industrial robot described in Patent Document 1, when carrying in or taking out an object to be transported to a process chamber in which a glass substrate is processed in a high-temperature environment (that is, a process chamber having a high temperature), the arm moves into a high-temperature process chamber As it approaches, the temperature of the first to third guide rails fixed to the arm, and the arm rises. In the industrial robot described in Patent Document 1, for example, while the arm is formed of an aluminum alloy, the first to third guide rails are formed of stainless steel, and the linear expansion coefficients of the arm and the first to third guide rails are different. . Therefore, in the industrial robot described in Patent Document 1, when the temperature of the first to third guide rails and arms approaching the high-temperature process chamber rises and the first to third guide rails and arms are elongated, orthogonal to the front-rear direction There is a possibility that the arm is deformed in the direction (that is, in a direction orthogonal to the moving directions of the first hand supporting member and the second hand supporting member).

그래서 본 발명의 과제는, 암에 대하여 전후 방향으로 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 가짐과 함께 진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 있어서, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도, 열의 영향에 의한, 암의 상하 좌우 방향으로의 변형을 억제하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데에 있다.Therefore, an object of the present invention is an industrial robot that has a first hand and a second hand that linearly reciprocate in the front-rear direction with respect to an arm, and conveys an object to be conveyed in a vacuum. For example, a process chamber at a high temperature. An object of the present invention is to provide an industrial robot capable of suppressing deformation of the arm in the vertical, horizontal, and vertical directions due to the influence of heat even when carrying in or taking out an object to be transported.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 산업용 로봇은, 진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇이며, 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 제1 핸드 지지 부재와 제2 핸드 지지 부재가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 암과, 암에 대하여 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 암에 대하여 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구를 구비함과 함께, 암에 대한 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향이라 하면, 제1 핸드 지지 부재를 전후 방향으로 안내하는 제1 가이드 기구와, 제2 핸드 지지 부재를 전후 방향으로 안내하는 제2 가이드 기구를 구비하고, 제1 가이드 기구는, 암의 프레임인 암 프레임의 좌우 방향의 양 단부측의 각각에 고정되는 제1 가이드 레일과, 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제1 가이드 레일에 걸림 결합하는 제1 가이드 블록을 구비하고, 제2 가이드 기구는, 암 프레임의 좌우 방향의 양 단부측의 각각에, 또한 제1 가이드 레일의 상측 또는 하측에 고정되는 제2 가이드 레일과, 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제2 가이드 레일에 걸림 결합하는 제2 가이드 블록을 구비하고, 제1 가이드 레일과 제2 가이드 레일은 같은 형상으로 형성됨과 함께 동일한 금속 재료로 형성되고, 암 프레임은, 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일과 선팽창 계수가 상이한 금속 재료로 형성됨과 함께, 전후 방향에서 보았을 때에 상하 좌우 방향으로 대략 대칭으로 되도록 형성되고, 제1 가이드 레일과 제2 가이드 레일은, 전후 방향에서 보았을 때에 암 프레임에 대하여 상하 좌우 방향으로 대칭으로 되는 위치에서 암 프레임에 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, an industrial robot of the present invention is an industrial robot that transports an object to be transported in a vacuum, and includes first and second hands on which the object to be transported is mounted, and a first hand support member on which the first hand is fixed; , a second hand support member to which the second hand is fixed, and the first hand support member and the second hand support member so that the first hand support member and the second hand support member can linearly reciprocate in the same horizontal direction. an arm for holding; a first drive mechanism for reciprocating the first hand support member with respect to the arm; and a second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm; Assuming that the moving directions of the first hand supporting member and the second hand supporting member are referred to as the front-back direction, and the direction perpendicular to the vertical direction and the front-rear direction is referred to as the left-right direction, a first guide mechanism for guiding the first hand supporting member in the front-rear direction; , a second guide mechanism for guiding the second hand support member in the front-rear direction, the first guide mechanism comprising: a first guide rail fixed to each of the left and right ends of the arm frame, which is a frame of the arm; A first guide block fixed to the first hand support member and engaged with the first guide rail is provided, wherein the second guide mechanism is disposed on each of both end sides of the arm frame in the left and right direction, and of the first guide rail. A second guide rail fixed to the upper or lower side, and a second guide block fixed to the second hand support member and engaged with the second guide rail, wherein the first guide rail and the second guide rail have the same shape It is formed of the same metal material as it is formed, and the arm frame is formed of a metal material having a linear expansion coefficient different from that of the first guide rail and the second guide rail, and is formed to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction, , The first guide rail and the second guide rail are fixed to the arm frame at positions symmetrical in the vertical and horizontal directions with respect to the arm frame when viewed from the front-rear direction. is characterized by

본 발명의 산업용 로봇에서는, 제1 가이드 레일과 제2 가이드 레일은 같은 형상으로 형성됨과 함께 동일한 금속 재료로 형성되어 있다. 그 때문에 본 발명에서는, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일의 온도가 상승하더라도 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일은 전후 방향으로 동일하게 신축한다. 또한 본 발명에서는, 암 프레임의 좌우 방향의 양 단부측의 각각에 고정되는 제1 가이드 레일과, 암 프레임의 좌우 방향의 양 단부측의 각각에, 또한 제1 가이드 레일의 상측 또는 하측에 고정되는 제2 가이드 레일은, 전후 방향에서 보았을 때에 암 프레임에 대하여 상하 좌우 방향으로 대칭으로 되는 위치에서 암 프레임에 고정되어 있다.In the industrial robot of the present invention, the first guide rail and the second guide rail are formed in the same shape and made of the same metal material. Therefore, in the present invention, for example, when carrying in or taking out an object to be transported into or out of a process chamber at a high temperature, even if the temperature of the first guide rail and the second guide rail rises, the first guide rail and the second guide rail stretches equally in the front-rear direction. Further, in the present invention, the first guide rail is fixed to each of both end sides in the left and right direction of the arm frame, and the first guide rail is fixed to each of the both end sides in the left and right direction of the arm frame, and is fixed to the upper side or the lower side of the first guide rail. The 2nd guide rail is being fixed to the arm frame at the position which becomes symmetrical with respect to the arm frame in the up-down, left-right direction when seen from the front-back direction.

즉, 본 발명에서는, 전후 방향에서 보았을 때에 암 프레임에 대하여 상하 좌우 방향으로 대칭으로 되는 위치에서 암 프레임에 고정되어 있는 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일은, 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일의 온도가 상승하면 전후 방향으로 동일하게 신축한다. 또한 본 발명에서는 암 프레임이, 전후 방향에서 보았을 때에 상하 좌우 방향으로 대략 대칭으로 되도록 형성되어 있기 때문에, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에 암 프레임의 온도가 상승하더라도 암 프레임은, 상하 좌우 방향으로는 변형되기 어렵다.That is, in the present invention, the first guide rail and the second guide rail fixed to the arm frame at positions that are symmetrical with respect to the arm frame in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction are the first guide rail and the second guide rail. When the temperature of is increased, it expands and contracts equally in the front-rear direction. Further, in the present invention, since the arm frame is formed to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction, for example, when carrying in or taking out a conveyed object into or out of a high-temperature process chamber, the arm frame Even if the temperature rises, the arm frame is hardly deformed in the vertical and horizontal directions.

따라서 본 발명에서는, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에, 선팽창 계수가 상이한 제1, 제2 가이드 레일 및 암 프레임의 온도가 상승하더라도 암의 프레임인 암 프레임의 상하 좌우 방향으로의 변형을 억제하는 것이 가능해진다. 그 결과, 본 발명에서는, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도, 열의 영향에 의한, 암의 상하 좌우 방향으로의 변형을 억제하는 것이 가능해진다.Therefore, in the present invention, for example, when carrying in or taking out an object to be transported into or out of a process chamber at a high temperature, even if the temperature of the first and second guide rails and the arm frame having different coefficients of linear expansion increases, the arm frame is It becomes possible to suppress the deformation|transformation in the up-down, left-right direction of an arm frame. As a result, in the present invention, it is possible to suppress the deformation of the arm in the vertical, horizontal, and vertical directions due to the influence of heat, even when carrying in or taking out the conveyed object into or out of the process chamber at a high temperature, for example.

본 발명에 있어서 산업용 로봇은, 예를 들어 암이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고, 암의 중심이 본체부에 연결되어 있다. 이 경우에는, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이 암의 하면에 가이드 레일을 고정할 필요가 없게 된다. 또한 본 발명에 있어서, 예를 들어 암 프레임은 알루미늄 합금으로 형성되고, 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일은 스테인리스강으로 형성되어 있다.In the present invention, the industrial robot includes, for example, a main body to which an arm is rotatably connected, and the center of the arm is connected to the main body. In this case, it becomes unnecessary to fix a guide rail to the lower surface of an arm like the industrial robot described in patent document 1. Further, in the present invention, for example, the arm frame is formed of an aluminum alloy, and the first guide rail and the second guide rail are formed of stainless steel.

본 발명에 있어서, 예를 들어 암 프레임은, 암 프레임의 좌우의 측면을 구성하는 평판형의 우측 판부 및 좌측 판부와, 암 프레임의 상하의 측면을 구성하는 평판형의 상측 판부 및 하측 판부를 구비하고, 우측 판부는, 우측 판부의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되고, 좌측 판부는, 좌측 판부의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되고, 상측 판부는, 상측 판부의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고, 하측 판부는, 하측 판부의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고, 제1 가이드 레일은 우측 판부 및 좌측 판부에 고정되고, 제2 가이드 레일은 우측 판부 및 좌측 판부에 고정되고, 전후 방향에서 보았을 때에 우측 판부와 좌측 판부는, 좌우 방향에 있어서의 암 프레임의 중심에 대하여 좌우 대칭으로 배치되고, 상측 판부와 하측 판부는, 상하 방향에 있어서의 암 프레임의 중심에 대하여 상하 대칭으로 배치되고, 우측 판부에 고정되는 제1 가이드 레일과 좌측 판부에 고정되는 제1 가이드 레일은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되고, 우측 판부에 고정되는 제2 가이드 레일과 좌측 판부에 고정되는 제2 가이드 레일은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다.In the present invention, for example, the arm frame includes a flat plate-shaped right and left plate parts constituting the left and right side surfaces of the arm frame, and a flat plate-shaped upper and lower plate parts constituting the upper and lower sides of the arm frame, , the right plate part is arranged so that the thickness direction of the right plate part and the left-right direction coincide, the left plate part is arranged so that the thickness direction of the left plate part and the left-right direction coincide, and the upper plate part has a thickness direction and the vertical direction of the upper plate part and the lower plate part is arranged so that the thickness direction of the lower plate part coincides with the vertical direction, the first guide rail is fixed to the right plate part and the left plate part, and the second guide rail is fixed to the right plate part and the left plate part, and , when viewed from the front-rear direction, the right plate part and the left plate part are arranged symmetrically with respect to the center of the arm frame in the left-right direction, and the upper plate part and the lower plate part are vertically symmetrical with respect to the center of the arm frame in the vertical direction. The first guide rail fixed to the right plate part and the first guide rail fixed to the left plate part are arranged at the same position in the vertical direction, and the second guide rail fixed to the right plate part and the left plate part are arranged as The 2nd guide rail is arrange|positioned in the same position in an up-down direction.

본 발명에 있어서, 예를 들어 제1 가이드 기구는, 전후 방향으로 분할된 복수의 제1 가이드 레일을 구비하고, 제2 가이드 기구는, 전후 방향으로 분할된 복수의 제2 가이드 레일을 구비하고 있다.In the present invention, for example, the first guide mechanism includes a plurality of first guide rails divided in the front-rear direction, and the second guide mechanism includes a plurality of second guide rails partitioned in the front-rear direction. .

본 발명에 있어서 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일은, 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태에서 배치되는 복수의 볼트에 의하여 암 프레임에 고정되고, 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일에는, 볼트의 일부가 배치되는 복수의 배치 구멍이 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태에서 형성되고, 암 프레임에는, 볼트의 축부에 형성된 수나사가 나사 삽입되는 복수의 나사 구멍이 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태에서 형성되고, 복수의 배치 구멍 중 적어도 1개의 배치 구멍의 전후 방향의 폭은, 볼트의 외경보다도 넓게 되어 있고, 전후 방향의 폭이 볼트의 외경보다도 넓게 되어 있는 배치 구멍을 제1 배치 구멍이라 하면, 전후 방향에 있어서의 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일의 길이는, 암의 주위 온도가 변동되어 제1 가이드 레일, 제2 가이드 레일 및 암 프레임이 신축하더라도 전후 방향에 있어서의 제1 배치 구멍의 측면과 볼트 사이에 간극이 형성되는 길이로 설정되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, the first guide rail and the second guide rail are fixed to the arm frame by a plurality of bolts arranged at intervals in the front-rear direction, and the first guide rail and the second guide rail are provided with bolts. A plurality of placement holes partially arranged are formed in a state spaced apart in the front-rear direction, and a plurality of screw holes into which male screws formed in the shaft portion of the bolt are screwed into the female frame are formed in a state spaced apart in the front-rear direction. The width in the front-rear direction of at least one of the plurality of placement holes is wider than the outer diameter of the bolt, and the front-rear direction width is wider than the outer diameter of the bolt. The length of the first guide rail and the second guide rail in the direction is the side surface of the first arrangement hole in the front-rear direction even if the ambient temperature of the arm fluctuates and the first guide rail, the second guide rail, and the arm frame expand and contract It is preferable to set the length to form a gap between the bolt and the bolt.

이와 같이 구성하면, 제1, 제2 가이드 레일의 선팽창 계수와 암 프레임의 선팽창 계수가 상이하더라도, 제1, 제2 가이드 레일 및 암 프레임의 온도가 상승하여 제1, 제2 가이드 레일 및 암 프레임이 전후 방향으로 신축하였을 때의 제1 배치 구멍의 측면과 볼트의 접촉을 방지하는 것이 가능해진다. 따라서 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도, 열의 영향에 의한, 암 프레임의 상하 좌우 방향으로의 변형을 효과적으로 억제하는 것이 가능해진다.With this configuration, even if the linear expansion coefficients of the first and second guide rails and the linear expansion coefficients of the arm frames are different from each other, the temperatures of the first and second guide rails and the arm frames increase to increase the temperature of the first and second guide rails and the arm frames. It becomes possible to prevent the contact between the side surface of the 1st arrangement hole and a bolt when it expands and contracts in this front-back direction. Therefore, for example, even when carrying in or carrying out an object to be transported to or out of a process chamber at a high temperature, it becomes possible to effectively suppress deformation of the arm frame in the vertical, horizontal, and vertical directions due to the influence of heat.

본 발명에 있어서, 예를 들어 배치 구멍은, 볼트의 축부의 일부가 배치되는 축부 배치 구멍과, 볼트의 헤드부가 배치되는 헤드부 배치 구멍으로 구성되고, 제1 배치 구멍의 축부 배치 구멍을 제1 축부 배치 구멍이라 하고 제1 배치 구멍의 헤드부 배치 구멍을 제1 헤드부 배치 구멍이라 하면, 전후 방향에 있어서의 제1 축부 배치 구멍의 폭은, 볼트의 축부의 외경보다도 넓게 되어 있고, 전후 방향에 있어서의 제1 헤드부 배치 구멍의 폭은, 볼트의 헤드부 외경보다도 넓게 되어 있고, 전후 방향에 있어서의 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일의 길이는, 암의 주위 온도가 변동되어 제1 가이드 레일, 제2 가이드 레일 및 암 프레임이 신축하더라도 전후 방향에 있어서의 제1 축부 배치 구멍의 측면과 볼트의 축부 사이에 간극이 형성되고, 또한 전후 방향에 있어서의 제1 헤드부 배치 구멍의 측면과 볼트의 헤드부 사이에 간극이 형성되는 길이로 설정되어 있다.In the present invention, for example, the arrangement hole is composed of a shaft portion arrangement hole in which a part of the shaft portion of the bolt is disposed, and a head portion placement hole in which the head portion of the bolt is disposed, and the shaft portion placement hole of the first placement hole is formed as the first Assuming that the shaft portion arrangement hole and the head portion placement hole of the first placement hole are referred to as the first head portion placement hole, the width of the first shaft portion placement hole in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the shaft portion of the bolt, and in the front-rear direction The width of the first head portion arranging hole is wider than the outer diameter of the head portion of the bolt, and the lengths of the first guide rail and the second guide rail in the front-rear direction change with the arm ambient temperature. Even when the guide rail, the second guide rail, and the arm frame expand and contract, a gap is formed between the side surface of the first shaft portion arrangement hole in the front-rear direction and the shaft portion of the bolt, and the side surface of the first head portion placement hole in the front-rear direction It is set to a length at which a gap is formed between the head and the bolt head.

이상과 같이 본 발명에서는, 암에 대하여 전후 방향으로 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 가짐과 함께 진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 있어서, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도, 열의 영향에 의한, 암의 상하 좌우 방향으로의 변형을 억제하는 것이 가능해진다.As described above, according to the present invention, in the industrial robot having the first hand and the second hand reciprocating linearly in the front-rear direction with respect to the arm and conveying the object to be conveyed in a vacuum, for example, a process chamber at a high temperature. It becomes possible to suppress the deformation|transformation of the arm in the up-down, left-right direction by the influence of a heat also in the case of carrying in or carrying out the conveyance object with respect to this.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 배면도이다.
도 4의 (A)는 도 1에 도시하는 암의 내부 구조를 설명하기 위한 평면도이고, (B)는 (A)의 E-E 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 5의 (A)는 도 4의 (A)의 F부의 확대도이고, (B)는 도 4의 (B)의 G부의 확대도이다.
도 6의 (A)는 도 4의 (A)의 H부의 확대도이고, (B)는 도 4의 (A)의 J부의 확대도이다.
도 7의 (A)는 도 4의 (A)의 K-K 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이고, (B)는 도 4의 (A)의 L-L 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 도 4의 (B)의 N-N 방향에서 제1 핸드 지지 부재, 제2 핸드 지지 부재, 암, 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9는 도 4의 (B)의 Q-Q 방향에서 제1 핸드 지지 부재, 제2 핸드 지지 부재, 암, 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 10의 (A)는 도 8의 P-P 단면의 단면도이고, (B)는 (A)의 R부의 확대도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 도 11의 (A)의 W-W 방향에서 제1 핸드 지지 부재, 제2 핸드 지지 부재, 암, 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a plan view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view of the industrial robot shown in FIG. 1 .
Fig. 3 is a rear view of the industrial robot shown in Fig. 1;
Fig. 4(A) is a plan view for explaining the internal structure of the arm shown in Fig. 1, and (B) is a diagram for explaining the internal structure of the arm in the EE direction of (A).
FIG. 5A is an enlarged view of part F of FIG. 4A, and (B) is an enlarged view of part G of FIG. 4B.
FIG. 6A is an enlarged view of part H of FIG. 4A , and (B) is an enlarged view of part J of FIG. 4A .
Figure 7 (A) is a view for explaining the internal structure of the arm in the KK direction of Figure 4 (A), (B) is for explaining the internal structure of the arm in the LL direction of Figure 4 (A) It is a drawing.
FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining the configuration of a first hand support member, a second hand support member, an arm, a first drive mechanism, and a second drive mechanism in the NN direction of FIG. 4B .
9 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the first hand supporting member, the second hand supporting member, the arm, the first driving mechanism, and the second driving mechanism in the QQ direction in FIG. 4B .
Fig. 10 (A) is a cross-sectional view of the PP section of Fig. 8, (B) is an enlarged view of the R portion of (A).
11 is a view for explaining the internal structure of an arm according to another embodiment of the present invention.
12 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the first hand supporting member, the second hand supporting member, the arm, the first driving mechanism, and the second driving mechanism in the WW direction of FIG. 11A .

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.

(산업용 로봇의 개략 구성)(Schematic configuration of industrial robots)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 측면도이다. 도 3은, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 배면도이다.1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG. 1 . FIG. 3 is a rear view of the industrial robot 1 shown in FIG. 1 .

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 반송 대상물인 액정 디스플레이용의 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 함)을 진공 중에서 반송하는 로봇이다. 이 로봇(1)은 액정 디스플레이 장치의 제조 시스템에 편입되어 사용된다. 이 제조 시스템은, 중심에 배치되는 트랜스퍼 챔버(3)(이하, 「챔버(3)」라 함)와, 챔버(3)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 프로세스 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 함)를 구비하고 있다(도 1 참조).Industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this form conveys the glass substrate 2 for liquid crystal displays (henceforth "substrate 2") which is a conveyance object in a vacuum a robot that does This robot 1 is incorporated and used in a manufacturing system of a liquid crystal display device. In this manufacturing system, a transfer chamber 3 (hereinafter, referred to as "chamber 3") arranged at the center and a plurality of process chambers 4 arranged so as to surround the chamber 3 (hereinafter referred to as "chamber ( 4)") is provided (refer to FIG. 1).

챔버(3, 4)의 내부는 진공으로 되어 있다. 즉, 챔버(3, 4)는 진공 챔버이다. 챔버(3)의 내부에는 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)은, 챔버(4)로의 기판(2)의 반입과 챔버(4)로부터의 기판(2)의 반출을 행한다. 챔버(4)의 내부에는 각종 장치 등이 배치되어 있으며, 챔버(4)의 내부에서는 기판(2)에 대하여 각종 처리가 행해진다. 본 형태의 챔버(4)에서는 고온 환경 하에서 기판(2)에 대한 처리가 실행된다. 그 때문에 챔버(4)의 내부 온도는 높게 되어 있다.The interior of the chambers 3 and 4 is in a vacuum. That is, the chambers 3 and 4 are vacuum chambers. A part of the robot 1 is disposed inside the chamber 3 . The robot 1 carries in the board|substrate 2 into the chamber 4, and carries out the board|substrate 2 out of the chamber 4. As shown in FIG. Various devices and the like are arranged inside the chamber 4 , and various processes are performed on the substrate 2 inside the chamber 4 . In the chamber 4 of this form, the process with respect to the board|substrate 2 is performed under a high-temperature environment. Therefore, the internal temperature of the chamber 4 is high.

로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 제1 핸드로서의 핸드(5)와, 기판(2)이 탑재되는 제2 핸드로서의 핸드(6)와, 핸드(5)가 고정되는 제1 핸드 지지 부재로서의 핸드 지지 부재(7)와, 핸드(6)가 고정되는 제2 핸드 지지 부재로서의 핸드 지지 부재(8)와, 핸드 지지 부재(7, 8)를 보유 지지하는 암(9)과, 암(9)이 회동 가능하게 연결되는 본체부(10)를 구비하고 있다.The robot 1 includes a hand 5 serving as a first hand on which the substrate 2 is mounted, a hand 6 serving as a second hand on which the substrate 2 is mounted, and a first hand on which the hand 5 is fixed. a hand supporting member 7 as a supporting member, a hand supporting member 8 as a second hand supporting member to which the hand 6 is fixed, and an arm 9 holding the hand supporting members 7 and 8; The arm 9 is provided with the body part 10 which is connected rotatably.

본체부(10)는, 암(9)의 중심부가 고정되는 원기둥형의 승강 부재(12)(도 2 참조)와, 승강 부재(12)를 승강시키는 승강 기구와, 승강 부재(12)를 회동시키는 회동 기구와, 이들의 구성이 수용되는 케이스체(13)를 구비하고 있다. 케이스체(13)는, 대략 바닥이 있는 원통형으로 형성되어 있다. 케이스체(13)의 상단부에는, 원판형으로 형성된 플랜지(14)가 고정되어 있다. 플랜지(14)에는, 승강 부재(12)의 상단부측 부분이 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있다.The body portion 10 includes a cylindrical lifting member 12 (see FIG. 2 ) to which the central portion of the arm 9 is fixed, a lifting mechanism for raising and lowering the lifting member 12 , and rotating the lifting member 12 . It is provided with a rotating mechanism to make the swivel, and a case body 13 in which these structures are accommodated. The case body 13 is formed in a substantially bottomed cylindrical shape. A flange 14 formed in a disk shape is fixed to the upper end of the case body 13 . The flange 14 is formed with a through hole in which the upper end side portion of the elevating member 12 is disposed.

핸드(5, 6) 및 암(9)은 본체부(10)의 상측에 배치되어 있다. 상술한 바와 같이 로봇(1)의 일부는 챔버(3)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분이 챔버(3)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분은 진공 영역 VR 중에 배치되어 있고, 핸드(5, 6) 및 암(9)은 진공 챔버 내(진공 중)에 배치되어 있다. 한편, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 하측의 부분은 대기 영역 AR 중(대기 중)에 배치되어 있다.The hands 5 , 6 and the arm 9 are disposed on the upper side of the body portion 10 . As described above, a part of the robot 1 is disposed inside the chamber 3 . Specifically, the portion above the lower end surface of the flange 14 of the robot 1 is disposed inside the chamber 3 . That is, the portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is disposed in the vacuum region VR, and the hands 5 and 6 and the arms 9 are disposed in the vacuum chamber (in a vacuum). have. On the other hand, the part of the robot 1 lower than the lower end surface of the flange 14 is arrange|positioned in the waiting area AR (in waiting|standby).

암(9)은, 핸드 지지 부재(7)와 핸드 지지 부재(8)가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 핸드 지지 부재(7, 8)를 보유 지지하고 있다. 로봇(1)은, 암(9)에 대하여 핸드 지지 부재(7)를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구로서의 구동 기구(17)와, 암(9)에 대하여 핸드 지지 부재(8)를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구로서의 구동 기구(18)를 구비하고 있다(도 4 참조).The arm 9 holds the hand support members 7 and 8 so that the hand support member 7 and the hand support member 8 can linearly reciprocate in the same horizontal direction. The robot 1 has a drive mechanism 17 as a first drive mechanism for reciprocating the hand support member 7 with respect to the arm 9 , and a drive mechanism 17 for reciprocating the hand support member 8 with respect to the arm 9 . The drive mechanism 18 as a 2nd drive mechanism is provided (refer FIG. 4).

이하, 핸드(5, 6), 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구체적인 구성을 설명한다. 또한 이하의 설명에서는, 암(9)에 대한 핸드 지지 부재(7, 8)의 이동 방향인 도 1 등의 X 방향을 「전후 방향」이라 하고, 상하 방향(연직 방향)과 전후 방향에 직교하는 도 1 등의 Y 방향을 「좌우 방향」이라 한다. 또한 전후 방향 중의 X1 방향측을 「전방」측이라 하고 그 반대측인 X2 방향측을 「후방」측이라 한다.Hereinafter, specific configurations of the hands 5 and 6, the hand supporting members 7 and 8, the arms 9 and the driving mechanisms 17 and 18 will be described. In addition, in the following description, the X direction in FIG. 1 etc., which is the movement direction of the hand support members 7 and 8 with respect to the arm 9, is called "front-back direction", and is perpendicular to the vertical direction (vertical direction) and the front-back direction. The Y direction in FIG. 1 and the like is referred to as “left and right direction”. In addition, the X1 direction side of the front-back direction is called a "front" side, and the X2 direction side which is the opposite side is called a "rear" side.

(핸드, 핸드 지지 부재, 암 및 구동 기구의 구성)(Configuration of hand, hand support member, arm and drive mechanism)

도 4의 (A)는, 도 1에 도시하는 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 평면도이고, 도 4의 (B)는, 도 4의 (A)의 E-E 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다. 도 5의 (A)는, 도 4의 (A)의 F부의 확대도이고, 도 5의 (B)는, 도 4의 (B)의 G부의 확대도이다. 도 6의 (A)는, 도 4의 (A)의 H부의 확대도이고, 도 6의 (B)는, 도 4의 (A)의 J부의 확대도이다. 도 7의 (A)는, 도 4의 (A)의 K-K 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이고, 도 7의 (B)는, 도 4의 (A)의 L-L 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다. 도 8은, 도 4의 (B)의 N-N 방향에서 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 도 9는, 도 4의 (B)의 Q-Q 방향에서 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.Fig. 4(A) is a plan view for explaining the internal structure of the arm 9 shown in Fig. 1, and Fig. 4(B) is the arm 9 in the EE direction of Fig. 4(A). It is a drawing for explaining an internal structure. Fig. 5(A) is an enlarged view of part F of Fig. 4(A), and Fig. 5(B) is an enlarged view of part G of Fig. 4(B). Fig. 6(A) is an enlarged view of part H of Fig. 4(A), and Fig. 6(B) is an enlarged view of part J of Fig. 4(A). Fig. 7(A) is a view for explaining the internal structure of the arm 9 in the KK direction in Fig. 4(A), and Fig. 7(B) is the LL direction in Fig. 4(A). It is a figure for explaining the internal structure of the arm 9. As shown in FIG. Fig. 8 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the hand support members 7 and 8, the arms 9, and the drive mechanisms 17 and 18 in the N-N direction in Fig. 4B. Fig. 9 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the hand support members 7 and 8, the arms 9 and the drive mechanisms 17 and 18 in the Q-Q direction in Fig. 4B.

핸드(5)는, 기판(2)이 탑재되는 복수의 포크(20)와, 복수의 포크(20)의 기단부(후단부)가 고정되는 핸드 기부(21)를 구비하고 있다. 핸드(6)는 핸드(5)와 마찬가지로, 기판(2)이 탑재되는 복수의 포크(20)와, 복수의 포크(20)의 기단부(후단부)가 고정되는 핸드 기부(22)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(5, 6)는 6개의 포크(20)를 구비하고 있다. 포크(20)는, 전후 방향으로 가늘고 긴 직선형으로 형성되어 있다. 핸드 기부(21, 22)는, 좌우 방향으로 가늘고 긴 대략 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 핸드 기부(21)의 길이(좌우 방향의 길이)는 핸드 기부(22)의 길이(좌우 방향의 길이)보다도 길게 되어 있다.The hand 5 includes a plurality of forks 20 on which the substrate 2 is mounted, and a hand base 21 to which base ends (rear ends) of the plurality of forks 20 are fixed. The hand 6, like the hand 5, includes a plurality of forks 20 on which the substrate 2 is mounted, and a hand base 22 to which proximal ends (rear ends) of the plurality of forks 20 are fixed, have. The hands 5 and 6 of this form are provided with the six forks 20. The fork 20 is formed in an elongated straight line in the front-rear direction. The hand bases 21 and 22 are formed in a substantially rectangular flat plate shape elongated in the left-right direction. The length (length in the left-right direction) of the hand base 21 is longer than the length (length in the left-right direction) of the hand base 22 .

핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 상하 방향으로 서로 겹쳐지도록 배치되어 있다. 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5)가 상측에 배치되고 핸드(6)가 하측에 배치되어 있다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드 기부(21)가 상측에 배치되고 핸드 기부(22)가 하측에 배치되어 있다. 또한 도 3에 도시한 바와 같이 핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드 기부(21)의 중심과 핸드 기부(22)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다. 즉, 핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5)의 중심과 핸드(6)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다.The hand 5 and the hand 6 are arranged so as to overlap each other in the vertical direction when viewed from the front-rear direction. In this form, when seen from the front-back direction, the hand 5 is arrange|positioned at the upper side, and the hand 6 is arrange|positioned at the lower side. That is, when seen from the front-back direction, the hand base 21 is arrange|positioned at the upper side, and the hand base 22 is arrange|positioned at the lower side. Moreover, as shown in FIG. 3, the hand 5 and the hand 6 are arrange|positioned so that the center of the hand base 21 and the center of the hand base 22 may correspond in the left-right direction when seen from the front-back direction. That is, the hand 5 and the hand 6 are arranged so that the center of the hand 5 and the center of the hand 6 coincide in the left-right direction when viewed from the front-rear direction.

암(9)은 핸드(6)의 하측에 배치되어 있다. 이 암(9)은, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 또한 암(9)은 중공형으로 형성되어 있다. 암(9)의 좌우 방향의 폭은 핸드(5, 6)의 좌우 방향의 폭보다도 좁게 되어 있다. 암(9)은, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5, 6)의 중심과 암(9)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다. 암(9)은, 암(9)의 프레임인 암 프레임(23)과, 암(9)의 상하, 좌우 및 전후의 측면을 구성하는 커버 부재(24)와, 암(9)의 중심부에 배치되는 상자형의 모터 수용 부재(25)와, 모터 수용 부재(25)의 상면에 고정되는 상면 커버(26)를 구비하고 있다. 또한 도 4 내지 도 9에서는 커버 부재(24)의 도시를 생략하고 있다.The arm 9 is disposed below the hand 6 . The arm 9 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction. In addition, the arm 9 is formed in a hollow shape. The width in the left-right direction of the arm 9 is narrower than the width in the left-right direction of the hands 5 and 6 . The arm 9 is arranged so that the center of the hands 5 and 6 and the center of the arm 9 coincide in the left-right direction when viewed from the front-rear direction. The arm 9 is disposed at the center of the arm 9 , an arm frame 23 which is a frame of the arm 9 , a cover member 24 constituting the upper, lower, left, and front and rear sides of the arm 9 , and the arm 9 . A box-shaped motor accommodating member 25 is provided, and an upper surface cover 26 fixed to the upper surface of the motor accommodating member 25 is provided. In addition, illustration of the cover member 24 is abbreviate|omitted in FIGS. 4-9.

암 프레임(23)은 알루미늄 합금으로 형성되어 있다. 또한 암 프레임(23)은, 전후 방향에 있어서의 암(9)의 전역에서 암(9)의 프레임을 구성하고 있다. 이 암 프레임(23)은, 암 프레임(23)의 우측면을 구성하는 우측 판부(23a)와, 암 프레임(23)의 좌측면을 구성하는 좌측 판부(23b)와, 암 프레임(23)의 상측면을 구성하는 상측 판부(23c)와, 암 프레임(23)의 하측면을 구성하는 하측 판부(23d)를 구비하고 있다.The arm frame 23 is formed of an aluminum alloy. Moreover, the arm frame 23 comprises the frame of the arm 9 in the whole area of the arm 9 in the front-back direction. The arm frame 23 includes a right plate part 23a constituting the right side surface of the arm frame 23 , a left plate part 23b constituting the left side surface of the arm frame 23 , and an upper portion of the arm frame 23 . It is provided with the upper plate part 23c which comprises a side surface, and the lower plate part 23d which comprises the lower side surface of the arm frame 23. As shown in FIG.

우측 판부(23a), 좌측 판부(23b), 상측 판부(23c) 및 하측 판부(23d)는 평판 형으로 형성되어 있다. 우측 판부(23a)는, 우측 판부(23a)의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되고, 좌측 판부(23b)는, 좌측 판부(23b)의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 상측 판부(23c)는, 상측 판부(23c)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고, 하측 판부(23d)는, 하측 판부(23d)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다.The right plate part 23a, the left plate part 23b, the upper plate part 23c, and the lower plate part 23d are formed in flat plate shape. The right plate part 23a is arrange|positioned so that the thickness direction of the right plate part 23a and the left-right direction may correspond, and the left plate part 23b is arrange|positioned so that the thickness direction and the left-right direction of the left plate part 23b may correspond. The upper plate part 23c is arrange|positioned so that the thickness direction of the upper plate part 23c may correspond with the up-down direction, and the lower plate part 23d is arrange|positioned so that the thickness direction of the lower plate part 23d may correspond with the up-down direction.

우측 판부(23a)와 좌측 판부(23b)는 좌우 방향으로 간격을 둔 상태에서 배치되어 있다. 우측 판부(23a)의 상단부면과 좌측 판부(23b)의 상단부면은 동일한 높이로 배치되어 있다. 또한 우측 판부(23a)의 하단부면과 좌측 판부(23b)의 하단부면은 동일한 높이로 배치되어 있다. 상측 판부(23c)는 우측 판부(23a)의 상단 및 좌측 판부(23b)의 상단에 나사에 의하여 고정되어 있다. 하측 판부(23d)는 우측 판부(23a)의 하단 및 좌측 판부(23b)의 하단에 나사에 의하여 고정되어 있다.The right plate part 23a and the left plate part 23b are arrange|positioned in the state which spaced apart in the left-right direction. The upper end surface of the right plate part 23a and the upper end surface of the left plate part 23b are arrange|positioned at the same height. Moreover, the lower end surface of the right plate part 23a and the lower end surface of the left plate part 23b are arrange|positioned at the same height. The upper plate part 23c is being fixed to the upper end of the right plate part 23a and the upper end of the left plate part 23b with a screw. The lower plate part 23d is being fixed to the lower end of the right plate part 23a and the lower end of the left plate part 23b with a screw.

상측 판부(23c)의 우단부면 및 하측 판부(23d)의 우단부면은 우측 판부(23a)보다도 우측에 배치되고, 상측 판부(23c)의 좌단부면 및 하측 판부(23d)의 좌단부면은 좌측 판부(23b)보다도 좌측에 배치되어 있다. 또한 상측 판부(23c)의 우단부면과 하측 판부(23d)의 우단부면은 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되고, 상측 판부(23c)의 좌단부면과 하측 판부(23d)의 좌단부면은 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 또한 전후 방향에서 보았을 때에 상측 판부(23c)의 우단부면 및 하측 판부(23d)의 우단부면과, 우측 판부(23a)의 우측면 사이의 좌우 방향의 거리와, 상측 판부(23c)의 좌단부면 및 하측 판부(23d)의 좌단부면과, 좌측 판부(23b)의 좌측면 사이의 좌우 방향의 거리는, 동등하게 되어 있다.The right end surface of the upper plate part 23c and the right end surface of the lower plate part 23d are disposed on the right side of the right plate part 23a, and the left end surface of the upper plate part 23c and the left end surface of the lower plate part 23d are the left plate part ( 23b) is arranged to the left. In addition, the right end surface of the upper plate part 23c and the right end surface of the lower plate part 23d are arranged at the same position in the left-right direction, and the left end surface of the upper plate part 23c and the left end surface of the lower plate part 23d are in the left-right direction. are placed in the same location. Further, when viewed from the front-rear direction, the distance in the left-right direction between the right-end surface of the upper plate part 23c and the right-end surface of the lower plate part 23d and the right surface of the right plate part 23a, and the left-end surface and the lower side of the upper plate part 23c The distance in the left-right direction between the left end surface of the plate part 23d and the left surface of the left plate part 23b is equal.

이와 같이, 전후 방향에서 보았을 때에 우측 판부(23a)와 좌측 판부(23b)는, 좌우 방향에 있어서의 암 프레임(23)의 중심에 대하여 좌우 대칭으로 배치되고, 상측 판부(23c)와 하측 판부(23d)는, 상하 방향에 있어서의 암 프레임(23)의 중심에 대하여 상하 대칭으로 배치되어 있다. 즉, 암 프레임(23)은, 도 8, 도 9에 도시한 바와 같이, 전후 방향에서 보았을 때에 상하 좌우 방향으로 대략 대칭으로 되도록 형성되어 있다.In this way, when viewed from the front-rear direction, the right plate part 23a and the left plate part 23b are arranged symmetrically with respect to the center of the arm frame 23 in the left-right direction, and the upper plate part 23c and the lower plate part ( 23d) is arranged vertically symmetrically with respect to the center of the arm frame 23 in the vertical direction. That is, as shown in FIGS. 8 and 9, the arm frame 23 is formed so that it may become substantially symmetrical in the up-down, left-right direction when seen from the front-back direction.

모터 수용 부재(25)는, 상면측이 개구되는, 대략 직육면체의 상자형으로 형성되어 있다. 또한 모터 수용 부재(25)는, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체의 상자형으로 형성되어 있다. 모터 수용 부재(25)에는, 구동 기구(17)를 구성하는 후술하는 모터(37)와, 구동 기구(18)를 구성하는 후술하는 모터(38)가 수용되어 있다. 모터 수용 부재(25)는 암 프레임(23)의 중심 부분에 고정되어 있다. 즉, 모터 수용 부재(25)는 암(9)의 중심 부분에 배치되어 있다. 모터 수용 부재(25)의 저면의 중심은 승강 부재(12)의 상단부에 고정되어 있다. 즉, 암(9)의 중심은 본체부(10)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한 모터 수용 부재(25)의, 하단부 이외의 대부분의 부분은, 좌우 방향에 있어서 우측 판부(23a)와 좌측 판부(23b) 사이에 배치되어 있다(도 5의 (A), 도 9 참조).The motor accommodating member 25 is formed in a substantially rectangular parallelepiped box shape with an upper surface side open. Moreover, the motor accommodation member 25 is formed in the box shape of a substantially rectangular parallelepiped elongate in the front-back direction. In the motor accommodating member 25 , a motor 37 to be described later constituting the drive mechanism 17 and a motor 38 to be described later constituting the drive mechanism 18 are accommodated. The motor accommodating member 25 is fixed to the central portion of the arm frame 23 . That is, the motor accommodating member 25 is disposed at the central portion of the arm 9 . The center of the bottom surface of the motor accommodating member 25 is fixed to the upper end of the lifting member 12 . That is, the center of the arm 9 is rotatably connected to the main body 10 . Moreover, most parts other than the lower end of the motor accommodation member 25 are arrange|positioned between the right board part 23a and the left board part 23b in the left-right direction (refer FIG.5(A), FIG.9).

상면 커버(26)는 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 상면 커버(26)는, 모터 수용 부재(25)의 상면측에 형성되는 개구부를 막도록 모터 수용 부재(25)의 상면에 고정되어 있다. 암(9)의 중심 부분의 내부에는, 모터 수용 부재(25)와 상면 커버(26)에 의하여 획정되는 내부 공간 S가 형성되어 있다. 모터 수용 부재(25)의 저면부의 중심에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(25a)이 형성되어 있다. 상술한 바와 같이 승강 부재(12)는 원통형으로 형성되어 있다. 승강 부재(12)는, 관통 구멍(25a)을 둘러싸도록 모터 수용 부재(25)의 저면에 고정되어 있으며, 케이스체(13)의 내부와 내부 공간 S가 통하고 있다. 케이스체(13)의 내부 및 내부 공간 S는 대기압으로 되어 있다.The upper cover 26 is formed in a rectangular flat plate shape. The upper surface cover 26 is being fixed to the upper surface of the motor accommodation member 25 so as to close the opening formed on the upper surface side of the motor accommodation member 25 . An inner space S defined by the motor accommodating member 25 and the upper surface cover 26 is formed inside the central portion of the arm 9 . A through hole 25a penetrating in the vertical direction is formed in the center of the bottom surface of the motor accommodating member 25 . As described above, the lifting member 12 is formed in a cylindrical shape. The lifting member 12 is fixed to the bottom surface of the motor housing member 25 so as to surround the through hole 25a, and the inside of the case body 13 and the internal space S communicate with each other. The inside and the internal space S of the case body 13 are atmospheric pressure.

도 8, 도 9에 도시한 바와 같이, 우측 판부(23a)의 우측면 및 좌측 판부(23b)의 좌측면에는, 핸드 지지 부재(7)를 전후 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일(29)이 고정되어 있다. 즉, 암 프레임(23)의 좌우 방향의 양 단부측의 각각에(구체적으로는 암 프레임(23)의 좌우 방향의 양 측면의 각각에) 가이드 레일(29)이 고정되어 있다. 또한 우측 판부(23a)의 우측면 및 좌측 판부(23b)의 좌측면에는, 핸드 지지 부재(8)를 전후 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일(30)이 고정되어 있다. 즉, 암 프레임(23)의 좌우 방향의 양 단부측의 각각에(구체적으로는 암 프레임(23)의 좌우 방향의 양 측면의 각각에) 가이드 레일(30)이 고정되어 있다. 가이드 레일(29, 30)은, 가이드 레일(29, 30)의 긴 쪽 방향과 전후 방향이 일치하도록 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다.8 and 9, a guide rail 29 for guiding the hand support member 7 in the front-rear direction is fixed on the right side of the right side plate part 23a and the left side side of the left side plate part 23b. have. That is, the guide rail 29 is being fixed to each of the both end sides of the left-right direction of the arm frame 23 (specifically, to each of the both side surfaces of the left-right direction of the arm frame 23). Moreover, the guide rail 30 for guiding the hand support member 8 in the front-back direction is being fixed to the right side of the right board part 23a and the left side of the left board part 23b. That is, the guide rail 30 is being fixed to each of the both end sides of the left-right direction of the arm frame 23 (specifically, to each of the both side surfaces of the left-right direction of the arm frame 23). The guide rails 29 and 30 are being fixed to the right plate part 23a and the left plate part 23b so that the longitudinal direction of the guide rails 29 and 30 and the front-back direction may correspond.

본 형태에서는, 전후 방향으로 분할된 복수의 가이드 레일(29)이 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다(도 7 참조). 마찬가지로, 전후 방향으로 분할된 복수의 가이드 레일(30)이 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다. 가이드 레일(29)과 가이드 레일(30)은 같은 형상으로 형성되어 있다. 또한 가이드 레일(29)과 가이드 레일(30)은 동일한 금속 재료로 형성되어 있다. 또한 가이드 레일(29, 30)은, 암 프레임(23)과 선팽창 계수가 상이한 금속 재료로 형성되어 있다. 본 형태의 가이드 레일(29, 30)은 스테인리스강으로 형성되어 있다.In this form, the some guide rail 29 divided|segmented in the front-back direction is being fixed to the right board part 23a and the left board part 23b (refer FIG. 7). Similarly, a plurality of guide rails 30 divided in the front-rear direction are being fixed to the right plate portion 23a and the left plate portion 23b. The guide rail 29 and the guide rail 30 are formed in the same shape. In addition, the guide rail 29 and the guide rail 30 are formed of the same metal material. Further, the guide rails 29 and 30 are formed of a metal material having a coefficient of linear expansion different from that of the arm frame 23 . The guide rails 29 and 30 of this form are formed of stainless steel.

우측 판부(23a)의 우측면에 고정되는 가이드 레일(29)과, 좌측 판부(23b)의 좌측면에 고정되는 가이드 레일(29)은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 마찬가지로, 우측 판부(23a)의 우측면에 고정되는 가이드 레일(30)과, 좌측 판부(23b)의 좌측면에 고정되는 가이드 레일(30)은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 또한 가이드 레일(30)은 가이드 레일(29)의 상측에 배치되어 있다.The guide rail 29 fixed to the right surface of the right plate part 23a and the guide rail 29 fixed to the left surface of the left plate part 23b are arrange|positioned at the same position in an up-down direction. Similarly, the guide rail 30 fixed to the right surface of the right plate part 23a and the guide rail 30 fixed to the left surface of the left plate part 23b are arrange|positioned in the same position in an up-down direction. Also, the guide rail 30 is disposed above the guide rail 29 .

또한 전후 방향에서 보았을 때에 암 프레임(23)의 중심과 가이드 레일(29) 사이의 상하 방향의 거리와, 암 프레임(23)의 중심과 가이드 레일(30) 사이의 상하 방향의 거리는, 동등하게 되어 있다. 즉, 도 8, 도 9에 도시한 바와 같이 가이드 레일(29)과 가이드 레일(30)은, 전후 방향에서 보았을 때에 암 프레임(23)에 대하여(암 프레임(23)의 중심에 대하여) 상하 좌우 방향으로 대칭으로 되는 위치에서 암 프레임(23)에 고정되어 있다.In addition, when viewed from the front-rear direction, the vertical distance between the center of the arm frame 23 and the guide rail 29 and the vertical distance between the center of the arm frame 23 and the guide rail 30 are equal. have. That is, as shown in FIGS. 8 and 9 , the guide rail 29 and the guide rail 30 are vertically, horizontally, vertically, horizontally, with respect to the arm frame 23 (relative to the center of the arm frame 23) when viewed from the front-rear direction. It is fixed to the arm frame 23 at a position symmetrical in the direction.

핸드 지지 부재(7)는, 가이드 레일(29)을 따라 전후 방향으로 슬라이드하는 2개의 슬라이드부(7a)와, 핸드(5)의 핸드 기부(21)가 고정되는 2개의 핸드 고정부(7b)로 구성되어 있다. 마찬가지로 핸드 지지 부재(8)는, 가이드 레일(30)을 따라 전후 방향으로 슬라이드하는 2개의 슬라이드부(8a)와, 핸드(6)의 핸드 기부(22)가 고정되는 2개의 핸드 고정부(8b)로 구성되어 있다.The hand support member 7 includes two slide portions 7a that slide in the front-rear direction along the guide rail 29 and two hand fixing portions 7b to which the hand base 21 of the hand 5 is fixed. is composed of Similarly, the hand support member 8 includes two slide portions 8a that slide in the front-rear direction along the guide rail 30 and two hand fixing portions 8b to which the hand base 22 of the hand 6 is fixed. ) is composed of

도 8, 도 9에 도시한 바와 같이 2개의 슬라이드부(7a)의 각각은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)의 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 2개의 슬라이드부(8a)의 각각은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)의 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 또한 2개의 슬라이드부(8a)는 2개의 슬라이드부(7a)의 상측에 배치되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 우측에 배치되는 슬라이드부(7a, 8a)의 우단부 부분은 커버 부재(24)의 우측면보다도 우측으로 돌출되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a, 8a)의 좌단부 부분은 커버 부재(24)의 좌측면보다도 좌측으로 돌출되어 있다.8, 9, each of the two slide parts 7a is arrange|positioned outside the right-hand plate part 23a and the left-hand plate part 23b in the left-right direction. Each of the two slide parts 8a is arrange|positioned on the outer side in the left-right direction of the right plate part 23a and the left plate part 23b. Moreover, the two slide parts 8a are arrange|positioned above the two slide parts 7a. As shown in Fig. 3, the right end portion of the slide portions 7a, 8a disposed on the right protrudes to the right of the right side surface of the cover member 24, and the left end of the slide portions 7a, 8a disposed on the left side. The minor part projects to the left of the left side of the cover member 24 .

2개의 핸드 고정부(7b) 중의 한쪽 핸드 고정부(7b)는, 우측에 배치되는 슬라이드부(7a)의 우단부측으로부터 우측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(7a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(7b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(21)의 우단부 부분의 하면이 고정되어 있다. 다른 쪽 핸드 고정부(7b)는, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a)의 좌단부측으로부터 좌측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(7a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(7b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(21)의 좌단부 부분의 하면이 고정되어 있다.One hand holding part 7b of the two hand holding parts 7b is fixed to this slide part 7a so as to extend obliquely upward from the right end side of the slide part 7a disposed on the right side, As shown in FIG. 3, the lower surface of the right end part of the hand base 21 is fixed to the upper end of this hand fixing part 7b. The other hand holding part 7b is fixed to this slide part 7a so as to extend obliquely upward from the left end side of the slide part 7a disposed on the left side, and of this hand holding part 7b As shown in FIG. 3, the lower surface of the left end part of the hand base 21 is being fixed to the upper end part.

2개의 핸드 고정부(8b) 중의 한쪽 핸드 고정부(8b)는, 우측에 배치되는 슬라이드부(8a)의 우단부측으로부터 우측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(8a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(8b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(22)의, 좌우 방향의 중심보다도 우측 근방의 부분의 하면이 고정되어 있다. 다른 쪽 핸드 고정부(8b)는, 좌측에 배치되는 슬라이드부(8a)의 좌단부측으로부터 좌측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(8a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(8b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(22)의, 좌우 방향의 중심보다도 좌측 근방의 부분의 하면이 고정되어 있다.One hand holding part 8b of the two hand holding parts 8b is fixed to this slide part 8a so as to extend obliquely upward from the right end side of the slide part 8a disposed on the right side, As shown in FIG. 3, the lower surface of the part of the right side vicinity of the hand base 22 is fixed to the upper end of this hand holding part 8b rather than the center of the left-right direction. The other hand holding part 8b is fixed to this slide part 8a so as to extend obliquely upward from the left end side of the slide part 8a disposed on the left side, and of this hand holding part 8b As shown in FIG. 3, the lower surface of the part of the left side vicinity of the hand base 22 rather than the center in the left-right direction is fixed to the upper end part.

우측에 배치되는 슬라이드부(7a)에는, 우측에 배치되는 가이드 레일(29)에 걸림 결합하는 가이드 블록(31)이 고정되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a)에는, 좌측에 배치되는 가이드 레일(29)에 걸림 결합하는 가이드 블록(31)이 고정되어 있다. 마찬가지로, 우측에 배치되는 슬라이드부(8a)에는, 우측에 배치되는 가이드 레일(30)에 걸림 결합하는 가이드 블록(32)이 고정되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(8a)에는, 좌측에 배치되는 가이드 레일(30)에 걸림 결합하는 가이드 블록(32)이 고정되어 있다.A guide block 31 engaged with the guide rail 29 disposed on the right is fixed to the slide part 7a disposed on the right side, and the guide rail disposed on the left side is fixed to the slide part 7a disposed on the left side. A guide block 31 engaged with the 29 is fixed. Similarly, the guide block 32 engaged with the guide rail 30 disposed on the right is fixed to the slide part 8a disposed on the right side, and the slide part 8a disposed on the left side is disposed on the left side. A guide block 32 engaged with the guide rail 30 is fixed.

즉, 핸드 지지 부재(7)에는 가이드 블록(31)이 고정되고, 핸드 지지 부재(8)에는 가이드 블록(32)이 고정되어 있다. 구체적으로는 2개의 슬라이드부(7a)의 각각에, 3개의 가이드 블록(31)이 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 고정되어 있다(도 7의 (B) 참조). 또한 2개의 슬라이드부(8a)의 각각에, 3개의 가이드 블록(32)이 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 고정되어 있다(도 7의 (A) 참조).That is, the guide block 31 is fixed to the hand supporting member 7 , and the guide block 32 is fixed to the hand supporting member 8 . Specifically, the three guide blocks 31 are being fixed to each of the two slide parts 7a in a state spaced apart in the front-back direction (refer FIG.7(B)). Moreover, three guide blocks 32 are fixed to each of the two slide parts 8a in the state spaced apart in the front-back direction (refer FIG.7(A)).

본 형태의 가이드 레일(29)은 제1 가이드 레일이고, 가이드 레일(30)은 제2 가이드 레일이고, 가이드 블록(31)은 제1 가이드 블록이고, 가이드 블록(32)은 제2 가이드 블록이다. 또한 본 형태에서는, 복수의 가이드 레일(29)과 6개의 가이드 블록(31)에 의하여 핸드 지지 부재(7)를 전후 방향으로 안내하는 제1 가이드 기구로서의 가이드 기구(33)가 구성되어 있다. 또한 복수의 가이드 레일(30)과 6개의 가이드 블록(32)에 의하여 핸드 지지 부재(8)를 전후 방향으로 안내하는 제2 가이드 기구로서의 가이드 기구(34)가 구성되어 있다.The guide rail 29 of this form is a first guide rail, the guide rail 30 is a second guide rail, the guide block 31 is a first guide block, and the guide block 32 is a second guide block. . Moreover, in this form, the guide mechanism 33 as a 1st guide mechanism which guides the hand support member 7 in the front-back direction by the some guide rail 29 and the six guide blocks 31 is comprised. Moreover, the guide mechanism 34 as a 2nd guide mechanism which guides the hand support member 8 in the front-back direction is comprised by the some guide rail 30 and the six guide blocks 32. As shown in FIG.

구동 기구(17, 18)는 암(9)의 내부에 배치되어 있다. 구동 기구(17)는 구동원으로서의 모터(37)를 구비하고 있다. 구동 기구(18)는 구동원으로서의 모터(38)를 구비하고 있다. 모터(37, 38)는 내부 공간 S에 배치되어 있다. 즉, 모터(37, 38)는 암(9)의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 모터(37, 38)는 소정의 브래킷에 의해 모터 수용 부재(25)에 고정되어 있다. 모터(37)와 모터(38)는 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 배치되어 있다. 구체적으로는 모터(37)가 후방측에 배치되고 모터(38)가 전방측에 배치되어 있다.The drive mechanisms 17 and 18 are arranged inside the arm 9 . The drive mechanism 17 is provided with the motor 37 as a drive source. The drive mechanism 18 is provided with the motor 38 as a drive source. The motors 37 and 38 are arranged in the inner space S. That is, the motors 37 and 38 are arranged inside the central portion of the arm 9 . The motors 37 and 38 are fixed to the motor accommodating member 25 by a predetermined bracket. The motor 37 and the motor 38 are arrange|positioned in the state which spaced apart in the front-back direction. Specifically, the motor 37 is disposed on the rear side and the motor 38 is disposed on the front side.

모터(37, 38)는, 모터(37, 38)의 출력축의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 또한 모터(37, 38)는, 모터(37)의 출력축과 모터(38)의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 내부 공간 S에 배치되어 있다. 구체적으로는, 모터(37)의 출력축이 후방측을 향하여 돌출되고 모터(38)의 출력축이 전방측을 향하여 돌출되도록 모터(37, 38)가 내부 공간 S에 배치되어 있다. 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심은 일치하고 있다. 또한 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37, 38)의 회전 중심과 암(9)의 중심은 대략 일치하고 있다. 또한 모터(37, 38)에는 냉각용 에어 배관(도시 생략)이 감겨 있다.The motors 37 and 38 are arranged so that the axial direction of the output shaft of the motors 37 and 38 coincides with the front-rear direction. Further, the motors 37 and 38 are arranged in the inner space S so that the output shaft of the motor 37 and the output shaft of the motor 38 protrude in opposite directions. Specifically, the motors 37 and 38 are arranged in the inner space S so that the output shaft of the motor 37 protrudes toward the rear side and the output shaft of the motor 38 protrudes toward the front side. When viewed from the front-rear direction, the rotational center of the motor 37 and the rotational center of the motor 38 coincide. Moreover, when seen from the front-back direction, the rotation center of the motors 37 and 38 and the center of the arm 9 substantially coincide. Further, a cooling air pipe (not shown) is wound around the motors 37 and 38 .

또한 구동 기구(17)는, 모터(37)의 출력축에 연결되는 회전축(39)과, 회전축(39)의 선단부에 고정되는 베벨 기어(40)와, 베벨 기어(40)에 맞물리는 베벨 기어(41)와, 베벨 기어(41)가 고정되는 회전축(42)을 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 모터(38)의 출력축에 연결되는 회전축(43)과, 회전축(43)의 선단부에 고정되는 베벨 기어(44)와, 베벨 기어(44)에 맞물리는 베벨 기어(45)와, 베벨 기어(45)가 고정되는 회전축(46)을 구비하고 있다.In addition, the drive mechanism 17 includes a rotating shaft 39 connected to the output shaft of the motor 37, a bevel gear 40 fixed to the tip of the rotating shaft 39, and a bevel gear meshing with the bevel gear 40 ( 41 and a rotating shaft 42 to which the bevel gear 41 is fixed. Similarly, the drive mechanism 18 includes a rotary shaft 43 connected to the output shaft of the motor 38 , a bevel gear 44 fixed to the tip of the rotary shaft 43 , and a bevel gear meshing with the bevel gear 44 ( 45 and a rotating shaft 46 to which the bevel gear 45 is fixed.

또한, 구동 기구(17)는, 회전축(42)에 고정되는 2개의 구동 풀리(48)와, 회전축(46)에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 종동 풀리(49)와, 구동 풀리(48)와 종동 풀리(49)에 가설되는 2개의 벨트(50)를 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 회전축(46)에 고정되는 2개의 구동 풀리(52)와, 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 종동 풀리(53)와, 구동 풀리(52)와 종동 풀리(53)에 가설되는 2개의 벨트(54)를 구비하고 있다.In addition, the drive mechanism 17 includes two drive pulleys 48 fixed to the rotary shaft 42 , two driven pulleys 49 rotatably held by the rotary shaft 46 , and a drive pulley 48 . and two belts 50 installed on the driven pulley 49 . Similarly, the drive mechanism 18 includes two drive pulleys 52 fixed to the rotary shaft 46 , two driven pulleys 53 rotatably held by the rotary shaft 42 , and a drive pulley 52 , Two belts 54 installed on the driven pulley 53 are provided.

회전축(39, 43)은 스테인리스강으로 형성되어 있다. 회전축(39)은, 회전축(39)의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(37)의 출력축 선단(후단부)에 커플링(55)에 의해 연결되어 있다(도 5 참조). 회전축(43)은, 회전축(43)의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(38)의 출력축 선단(전단부)에 커플링(55)에 의해 연결되어 있다(도 5 참조). 베벨 기어(40, 41), 회전축(42), 구동 풀리(48) 및 종동 풀리(53)는 암(9)의 후단부측의 내부에 배치되어 있다. 베벨 기어(44, 45), 회전축(46), 구동 풀리(52) 및 종동 풀리(49)는 암(9)의 전단부측의 내부에 배치되어 있다.The rotating shafts 39 and 43 are made of stainless steel. The rotating shaft 39 is arranged so that the axial direction of the rotating shaft 39 and the front-rear direction coincide, and is connected to the front end (rear end) of the output shaft of the motor 37 by a coupling 55 (refer to FIG. 5 ). . The rotating shaft 43 is arranged so that the axial direction of the rotating shaft 43 and the front-rear direction coincide, and is connected to the front end (front end) of the output shaft of the motor 38 by a coupling 55 (refer to FIG. 5 ). . The bevel gears 40 , 41 , the rotating shaft 42 , the driving pulley 48 , and the driven pulley 53 are arranged inside the rear end side of the arm 9 . The bevel gears 44 , 45 , the rotating shaft 46 , the driving pulley 52 , and the driven pulley 49 are arranged inside the front end side of the arm 9 .

또한 구동 기구(17)는, 회전축(39)을 회전 가능하게 보유 지지함과 함께 내부 공간 S로부터의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(56)을 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 회전축(43)을 회전 가능하게 보유 지지함과 함께 내부 공간 S로부터의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(57)을 구비하고 있다. 도 5에 도시한 바와 같이 자성 유체 시일(56)은, 모터 수용 부재(25)의 후방면을 구성하는 후방 벽부(25b)에 고정되어 있다. 자성 유체 시일(57)은, 모터 수용 부재(25)의 전방면을 구성하는 전방 벽부(25c)에 고정되어 있다. 구체적으로는 자성 유체 시일(56)은, 후방 벽부(25b)를 전후 방향으로 관통하는 관통 구멍 중에 삽입 관통된 상태에서 후방 벽부(25b)에 고정되고, 자성 유체 시일(57)은, 전방 벽부(25c)를 전후 방향으로 관통하는 관통 구멍 중에 삽입 관통된 상태에서 전방 벽부(25c)에 고정되어 있다.Moreover, the drive mechanism 17 is provided with the magnetic fluid seal 56 which holds the rotation shaft 39 rotatably and prevents the outflow of air from the internal space S. Similarly, the drive mechanism 18 is provided with the magnetic fluid seal 57 which holds the rotation shaft 43 rotatably and prevents the outflow of air from the internal space S. As shown in FIG. 5 , the magnetic fluid seal 56 is being fixed to the rear wall portion 25b constituting the rear surface of the motor accommodating member 25 . The magnetic fluid seal 57 is being fixed to the front wall portion 25c constituting the front surface of the motor accommodating member 25 . Specifically, the magnetic fluid seal 56 is fixed to the rear wall portion 25b in a state of being inserted into a through hole penetrating the rear wall portion 25b in the front-rear direction, and the magnetic fluid seal 57 is formed by the front wall portion ( It is being fixed to the front wall part 25c in the state inserted through the through hole which penetrates 25c) in the front-back direction.

또한 회전축(39, 43)은, 암 프레임(23)에 고정되는 복수의 베어링(59)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 또한 본 형태의 회전축(39)은, 길이가 짧은 2개의 단축과 길이가 긴 1개의 장축에 의하여 형성되어 있다. 2개의 단축 중의 한쪽 단축은 커플링(55)에 의해 모터(37)의 출력축에 연결됨과 함께, 자성 유체 시일(56)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 다른 쪽 단축에는 베벨 기어(40)가 고정되어 있다. 한쪽 단축과 장축의 전단부는, 자성 유체 시일(56)의 후방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되고(도 5 참조), 다른 쪽 단축과 장축의 후단부는, 가장 후방측의 베어링(59)의 전방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되어 있다(도 6의 (B) 참조).The rotating shafts 39 and 43 are rotatably supported by a plurality of bearings 59 fixed to the arm frame 23 . Moreover, the rotating shaft 39 of this form is formed by two short axis|shafts with a short length, and one long axis|shaft. One of the two short axes is connected to the output shaft of the motor 37 by the coupling 55 , and is rotatably held by the magnetic fluid seal 56 . A bevel gear 40 is fixed to the other short axis. The front end of the one minor axis and the major axis is connected by a coupling 60 disposed on the rear side of the magnetic fluid seal 56 (see Fig. 5), and the rear end of the other minor axis and the major axis is the rearmost bearing ( 59) is connected by a coupling 60 disposed on the front side (refer to FIG. 6B).

마찬가지로 본 형태의 회전축(43)은, 길이가 짧은 2개의 단축과 길이가 긴 1개의 장축에 의하여 형성되어 있다. 2개의 단축 중의 한쪽 단축은 커플링(55)에 의해 모터(38)의 출력축에 연결됨과 함께, 자성 유체 시일(57)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 다른 쪽 단축에는 베벨 기어(44)가 고정되어 있다. 한쪽 단축과 장축의 후단부는, 자성 유체 시일(57)의 전방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되고(도 5 참조), 다른 쪽 단축과 장축의 전단부는, 가장 전방측의 베어링(59)의 후방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되어 있다(도 6의 (A) 참조). 또한 회전축(39, 43)은 1개의 장축에 의하여 구성되어 있어도 된다.Similarly, the rotating shaft 43 of this form is formed by two short axis|shafts in length, and one long axis|shaft. One of the two short axes is rotatably held by the magnetic fluid seal 57 while being connected to the output shaft of the motor 38 by the coupling 55 . A bevel gear 44 is fixed to the other minor axis. One minor axis and the rear end of the long axis are connected by a coupling 60 disposed on the front side of the magnetic fluid seal 57 (see Fig. 5), and the other minor axis and the rear end of the long axis are connected to the front end of the most forward bearing ( 59) is connected by a coupling 60 disposed on the rear side (refer to FIG. 6(A) ). In addition, the rotating shafts 39 and 43 may be comprised by one long shaft.

회전축(42)은 베벨 기어(40)의 후방측에 배치되어 있다. 회전축(42)은, 회전축(42)의 축 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(37)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 즉, 회전축(42)에 고정되는 구동 풀리(48)는 모터(37)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 또한 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되는 종동 풀리(53)도 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 베벨 기어(41)는 좌우 방향에 있어서의 회전축(42)의 중심측에 고정되어 있다.The rotating shaft 42 is disposed on the rear side of the bevel gear 40 . The rotating shaft 42 is arranged so that the axial direction of the rotating shaft 42 and the left-right direction coincide, and rotates with the power of the motor 37 in the left-right direction as the axial direction of rotation. That is, the drive pulley 48 fixed to the rotation shaft 42 rotates with the power of the motor 37 in the left-right direction as the axis of rotation. Further, the driven pulley 53 rotatably held by the rotating shaft 42 also rotates with the left-right direction as the axis of rotation. The bevel gear 41 is being fixed to the center side of the rotating shaft 42 in the left-right direction.

회전축(46)은 베벨 기어(44)의 전방측에 배치되어 있다. 회전축(46)은, 회전축(46)의 축 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(38)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 즉, 회전축(46)에 고정되는 구동 풀리(52)는 모터(38)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 또한 회전축(46)에 회전 가능하게 보유 지지되는 종동 풀리(49)도 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 베벨 기어(45)는 좌우 방향에 있어서의 회전축(46)의 중심측에 고정되어 있다.The rotating shaft 46 is disposed on the front side of the bevel gear 44 . The rotating shaft 46 is arranged so that the axial direction of the rotating shaft 46 and the left-right direction coincide, and rotates with the power of the motor 38 in the left-right direction as the axial direction of rotation. That is, the drive pulley 52 fixed to the rotating shaft 46 rotates with the power of the motor 38 in the left-right direction as the axis of rotation. Further, the driven pulley 49 rotatably held by the rotating shaft 46 also rotates with the left-right direction as the axis of rotation. The bevel gear 45 is being fixed to the center side of the rotating shaft 46 in the left-right direction.

2개의 구동 풀리(48)의 각각은, 좌우 방향에 있어서의 회전축(42)의 양 단부의 각각에 고정되어 있다. 종동 풀리(53)는 베벨 기어(41)와 구동 풀리(48) 사이에서 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있으며, 2개의 종동 풀리(53)는 2개의 구동 풀리(48)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다. 2개의 종동 풀리(49)의 각각은, 좌우 방향에 있어서의 회전축(46)의 양 단부의 각각에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 구동 풀리(52)는 베벨 기어(45)와 종동 풀리(49) 사이에서 회전축(46)에 고정되어 있으며, 2개의 구동 풀리(52)는 2개의 종동 풀리(49)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다.Each of the two drive pulleys 48 is being fixed to each of the both ends of the rotating shaft 42 in the left-right direction. The driven pulley 53 is rotatably held by the rotating shaft 42 between the bevel gear 41 and the driving pulley 48 , and the two driven pulleys 53 are in the left-right direction rather than the two driving pulleys 48 . is placed on the inside of Each of the two driven pulleys 49 is rotatably held by each of the both ends of the rotating shaft 46 in the left-right direction. The drive pulley 52 is fixed to the rotation shaft 46 between the bevel gear 45 and the driven pulley 49 , and the two drive pulleys 52 are disposed inside the two driven pulleys 49 in the left and right direction. has been

벨트(50)는 핸드 지지 부재(7)에 고정되어 있다. 구체적으로는 소정의 설치 부재 및 볼트에 의하여 2개의 벨트(50)의 각각의 일부가 2개의 슬라이드부(7a)의 각각의 상단부에 고정되어 있다. 본 형태의 벨트(50)는 유단 벨트이며, 구동 풀리(48) 및 종동 풀리(49)에 가설된 벨트(50)의 양 단부의 각각이 설치 부재 및 볼트에 의하여 슬라이드부(7a)에 고정되어 있다(도 7의 (B) 참조). 또한 벨트(50)는, 환상으로 형성된 무단 벨트여도 된다.The belt 50 is fixed to the hand support member 7 . Specifically, a portion of each of the two belts 50 is fixed to the upper end of each of the two slide portions 7a by a predetermined mounting member and bolts. The belt 50 of this form is a stepped belt, and each of both ends of the belt 50 installed on the driving pulley 48 and the driven pulley 49 is fixed to the slide part 7a by an installation member and a bolt. There is (see Fig. 7(B)). The belt 50 may be an endless belt formed in an annular shape.

벨트(54)는 핸드 지지 부재(8)에 고정되어 있다. 구체적으로는 소정의 설치 부재 및 볼트에 의하여 2개의 벨트(54)의 각각의 일부가 2개의 슬라이드부(8a)의 각각의 하단부에 고정되어 있다. 벨트(50)와 마찬가지로 본 형태의 벨트(54)는 유단 벨트이며, 구동 풀리(52) 및 종동 풀리(53)에 가설된 벨트(54)의 양 단부의 각각이 설치 부재 및 볼트에 의하여 슬라이드부(8a)에 고정되어 있다(도 7의 (A) 참조). 또한 벨트(54)는, 환상으로 형성된 무단 벨트여도 된다.The belt 54 is fixed to the hand support member 8 . Specifically, a portion of each of the two belts 54 is fixed to each lower end of the two slide portions 8a by means of predetermined mounting members and bolts. Like the belt 50, the belt 54 of this form is a stepped belt, and each of both ends of the belt 54 installed on the drive pulley 52 and the driven pulley 53 is a slide part by an installation member and a bolt. It is fixed to (8a) (refer to FIG. 7(A)). The belt 54 may be an endless belt formed in an annular shape.

구동 풀리(48, 52) 및 종동 풀리(49, 53)가 상술한 바와 같이 배치되어 있기 때문에, 전후 방향에서 보았을 때에 2개의 벨트(50)의 각각은 모터(37, 38)의 좌우의 양측의 각각에 배치되고, 2개의 벨트(54)의 각각은 모터(37, 38)의 좌우의 양측의 각각에 배치되어 있다. 또한 벨트(54)는 벨트(50)와 좌우 방향으로 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다. 즉, 암(9)의 내부의 좌우의 양 단부측에 있어서, 벨트(54)는 좌우 방향의 내측에서 벨트(50)와 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다.Since the drive pulleys 48 and 52 and the driven pulleys 49 and 53 are arranged as described above, each of the two belts 50 is the left and right sides of the motors 37 and 38 when viewed from the front-rear direction. respectively, and each of the two belts 54 is arranged on each of the left and right sides of the motors 37 and 38 . Moreover, the belt 54 is arrange|positioned so that the belt 50 and the left-right direction may adjoin, and the belt 50 and the same height. That is, in both end sides of the left and right sides of the inside of the arm 9, the belt 54 is arrange|positioned so that it may adjoin the belt 50 from the inside in the left-right direction, and is arrange|positioned at the same height as the belt 50. As shown in FIG.

(가이드 레일의 고정 구조)(Fixed structure of guide rail)

도 10의 (A)는, 도 8의 P-P 단면의 단면도이고, 도 10의 (B)는, 도 10의 (A)의 R부의 확대도이다.Fig. 10(A) is a cross-sectional view taken along the P-P section of Fig. 8, and Fig. 10(B) is an enlarged view of part R of Fig. 10(A).

가이드 레일(29)은, 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태에서 배치되는 복수의 볼트(65)에 의하여 암 프레임(23)의 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다. 가이드 레일(29)에는, 복수의 볼트(65)의 각각의 일부가 배치되는 복수의 배치 구멍(29a)이 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태에서 형성되어 있다. 좌측 판부(23b)에는, 볼트(65)의 축부(65a)에 형성된 수나사가 나사 삽입되는 복수의 나사 구멍(23f)이 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태에서 형성되어 있다. 우측 판부(23a)에도, 축부(65a)에 형성된 수나사가 나사 삽입되는 복수의 나사 구멍이 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태에서 형성되어 있다.The guide rail 29 is being fixed to the right plate part 23a and the left plate part 23b of the arm frame 23 by the some bolt 65 arrange|positioned in the state spaced apart in the front-back direction. In the guide rail 29, the some arrangement hole 29a in which each part of the some bolt 65 is arrange|positioned is formed in the state which spaced apart in the front-back direction. In the left plate part 23b, the some screw hole 23f into which the external screw formed in the shaft part 65a of the bolt 65 is screwed is formed in the state spaced apart in the front-back direction. Also in the right plate part 23a, the some screw hole into which the external screw formed in the shaft part 65a is screwed is formed in the state which spaced apart in the front-back direction.

배치 구멍(29a)은, 가이드 레일(29)을 좌우 방향으로 관통하는 관통 구멍이다. 이 배치 구멍(29a)은, 볼트(65)의 축부(65a)의 일부가 배치되는 축부 배치 구멍(29b)과, 볼트(65)의 헤드부(65b)가 배치되는 헤드부 배치 구멍(29c)으로 구성되어 있다. 축부 배치 구멍(29b) 및 헤드부 배치 구멍(29c)은 원형 구멍 형상으로 형성되어 있다. 축부 배치 구멍(29b)의 내경은 볼트(65)의 축부(65a)의 외경보다도 크게 되어 있다. 또한 헤드부 배치 구멍(29c)의 내경은 볼트(65)의 헤드부(65b)의 외경보다도 크게 되어 있다.The arrangement hole 29a is a through hole penetrating the guide rail 29 in the left-right direction. This arrangement hole 29a is a shaft portion placement hole 29b in which a part of the shaft portion 65a of the bolt 65 is placed, and a head portion placement hole 29c in which the head portion 65b of the bolt 65 is placed. is composed of The shaft part arranging hole 29b and the head part arranging hole 29c are formed in the shape of a circular hole. The inner diameter of the shaft portion arrangement hole 29b is larger than the outer diameter of the shaft portion 65a of the bolt 65 . Further, the inner diameter of the head portion arrangement hole 29c is larger than the outer diameter of the head portion 65b of the bolt 65 .

즉, 배치 구멍(29a)은 소위 여유 구멍이며, 전후 방향에 있어서의 배치 구멍(29a)의 폭은 볼트(65)의 외경보다도 넓게 되어 있다. 구체적으로는, 전후 방향에 있어서의 축부 배치 구멍(29b)의 폭은 볼트(65)의 축부(65a)의 외경보다도 넓게 되어 있고, 전후 방향에 있어서의 헤드부 배치 구멍(29c)의 폭은 볼트(65)의 헤드부(65b)의 외경보다도 넓게 되어 있다. 본 형태에서는 모든 배치 구멍(29a)이, 전후 방향의 폭이 볼트(65)의 외경보다도 넓게 된 제1 배치 구멍으로 되어 있다. 또한 모든 축부 배치 구멍(29b)은 제1 축부 배치 구멍이고, 모든 헤드부 배치 구멍(29c)은 제1 헤드부 배치 구멍이다.That is, the arrangement hole 29a is a so-called clearance hole, and the width of the arrangement hole 29a in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the bolt 65 . Specifically, the width of the shaft portion arranging hole 29b in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the shaft portion 65a of the bolt 65, and the width of the head portion placement hole 29c in the front-rear direction is equal to that of the bolt. (65) is wider than the outer diameter of the head portion 65b. In this form, all the arrangement holes 29a are first arrangement holes whose width in the front-rear direction is larger than the outer diameter of the bolt 65 . Moreover, all of the shaft part arranging holes 29b are 1st axial part arranging holes, and all the head part arranging holes 29c are 1st head part arranging holes.

전후 방향에 있어서의 가이드 레일(29)의 길이는, 암(9)의 주위 온도가 변동되어 가이드 레일(29) 및 암 프레임(23)이 신축하더라도 전후 방향에 있어서의 배치 구멍(29a)의 측면과 볼트(65) 사이에 간극이 형성되는 길이로 설정되어 있다. 즉, 전후 방향에 있어서의 가이드 레일(29)의 길이는, 암(9)의 주위 온도가 변동되어 가이드 레일(29) 및 암 프레임(23)이 신축하더라도 전후 방향에 있어서의 배치 구멍(29a)의 측면과 볼트(65)가 접촉하지 않는 길이로 설정되어 있다.The length of the guide rail 29 in the front-rear direction is the side surface of the arrangement hole 29a in the front-rear direction even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 29 and the arm frame 23 expand and contract. It is set to a length at which a gap is formed between and the bolt 65 . That is, the length of the guide rail 29 in the front-rear direction is the arrangement hole 29a in the front-rear direction even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 29 and the arm frame 23 expand and contract. It is set to a length in which the side and the bolt 65 do not contact each other.

구체적으로는, 전후 방향에 있어서의 가이드 레일(29)의 길이는, 암(9)의 주위 온도가 변동되어 가이드 레일(29) 및 암 프레임(23)이 신축하더라도 전후 방향에 있어서의 축부 배치 구멍(29b)의 측면과 볼트(65)의 축부(65a) 사이에 간극이 형성되고, 또한 전후 방향에 있어서의 헤드부 배치 구멍(29c)의 측면과 볼트(65)의 헤드부(65b) 사이에 간극이 형성되는 길이로 설정되어 있다. 또한 헤드부 배치 구멍(29c)의 내경과 헤드부(65b)의 외경의 차는, 축부 배치 구멍(29b)의 내경과 축부(65a)의 외경의 차보다도 크게 되어 있다.Specifically, as for the length of the guide rail 29 in the front-back direction, even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 29 and the arm frame 23 expand and contract, the shaft part arrangement hole in the front-back direction A gap is formed between the side surface of the 29b and the shaft portion 65a of the bolt 65, and between the side surface of the head portion arrangement hole 29c in the front-rear direction and the head portion 65b of the bolt 65. It is set to a length at which a gap is formed. Further, the difference between the inner diameter of the head portion arranging hole 29c and the outer diameter of the head portion 65b is larger than the difference between the inner diameter of the shaft portion arranging hole 29b and the outer diameter of the shaft portion 65a.

가이드 레일(29)과 마찬가지로 가이드 레일(30)은, 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태에서 배치되는 복수의 볼트(65)에 의하여 암 프레임(23)의 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다. 가이드 레일(30)에는 배치 구멍(29a)와 같은 형상의 배치 구멍이 형성되어 있다. 즉, 가이드 레일(30)에는, 가이드 레일(30)을 좌우 방향으로 관통함과 함께, 축부 배치 구멍과 헤드부 배치 구멍으로 구성되는 배치 구멍이 형성되어 있다. 좌측 판부(23b) 및 우측 면부(23a)에는, 축부(65a)에 형성된 수나사가 나사 삽입되는 복수의 나사 구멍이 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태에서 형성되어 있다Similar to the guide rail 29 , the guide rail 30 includes a right plate part 23a and a left plate part 23b of the arm frame 23 by a plurality of bolts 65 arranged at intervals in the front-rear direction. is fixed on The guide rail 30 is provided with an arrangement hole having the same shape as the arrangement hole 29a. That is, while penetrating the guide rail 30 in the left-right direction, the guide rail 30 is provided with an arrangement hole composed of a shaft portion arrangement hole and a head portion arrangement hole. In the left plate portion 23b and the right surface portion 23a, a plurality of screw holes into which an external screw formed in the shaft portion 65a is screwed into are formed in a state spaced apart in the front-rear direction.

가이드 레일(29)과 마찬가지로, 전후 방향에 있어서의 가이드 레일(30)의 길이는, 암(9)의 주위 온도가 변동되어 가이드 레일(30) 및 암 프레임(23)이 신축하더라도 가이드 레일(30)의 배치 구멍의 전후 방향의 측면과 볼트(65) 사이에 간극이 형성되는 길이로 설정되어 있다. 구체적으로는, 전후 방향에 있어서의 가이드 레일(30)의 길이는, 암(9)의 주위 온도가 변동되어 가이드 레일(30) 및 암 프레임(23)이 신축하더라도 가이드 레일(30)의 축부 배치 구멍의 전후 방향의 측면과 축부(65a) 사이에 간극이 형성되고, 또한 가이드 레일(30)의 헤드부 배치 구멍의 전후 방향의 측면과 헤드부(65b) 사이에 간극이 형성되는 길이로 설정되어 있다.Similar to the guide rail 29 , the length of the guide rail 30 in the front-rear direction is the guide rail 30 even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 30 and the arm frame 23 expand and contract. ) is set to a length at which a gap is formed between the side surface in the front-rear direction of the arrangement hole and the bolt 65 . Specifically, as for the length of the guide rail 30 in the front-rear direction, even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 30 and the arm frame 23 expand and contract, the axial portion arrangement of the guide rail 30 A gap is formed between the side surface of the hole in the front-rear direction and the shaft portion 65a, and it is set to a length at which a gap is formed between the front-rear side surface of the head portion arrangement hole of the guide rail 30 and the head portion 65b, have.

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this form)

이상 설명한 바와 같이 본 형태에서는, 가이드 레일(29)과 가이드 레일(30)은 같은 형상으로 형성됨과 함께 동일한 금속 재료로 형성되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 고온으로 되어 있는 챔버(4)에 대한 기판(2)의 반입이나 반출을 행하는 경우에 가이드 레일(29, 30)의 온도가 상승하더라도 가이드 레일(29)과 가이드 레일(30)이 전후 방향으로 동일하게 신축한다. 또한 본 형태에서는, 암 프레임(23)의 좌우 방향의 양 측면의 각각에 고정되는 가이드 레일(29)과 가이드 레일(30)은, 전후 방향에서 보았을 때에 암 프레임(23)에 대하여 상하 좌우 방향으로 대칭으로 되는 위치에서 암 프레임(23)에 고정되어 있다.As described above, in this form, the guide rail 29 and the guide rail 30 are formed in the same shape and made of the same metal material. Therefore, in this form, even if the temperature of the guide rails 29 and 30 rises when carrying in or taking out the board|substrate 2 with respect to the chamber 4 which is high temperature, the guide rail 29 and the guide rail 30 ) expands and contracts equally in the front-rear direction. Moreover, in this form, the guide rail 29 and the guide rail 30 fixed to each of both side surfaces of the left-right direction of the arm frame 23 are vertical with respect to the arm frame 23, when viewed from the front-back direction, in the left-right direction. It is fixed to the arm frame 23 at the position which becomes symmetrical.

즉, 본 형태에서는, 가이드 레일(29, 30)의 온도가 상승하면, 전후 방향에서 보았을 때에 암 프레임(23)에 대하여 상하 좌우 방향으로 대칭으로 되는 위치에서 암 프레임(23)에 고정되어 있는 가이드 레일(29)과 가이드 레일(30)이 전후 방향으로 동일하게 신축한다. 또한 본 형태에서는, 암 프레임(23)이 전후 방향에서 보았을 때에 상하 좌우 방향으로 대략 대칭으로 되도록 형성되어 있기 때문에, 고온으로 되어 있는 챔버(4)에 대한 기판(2)의 반입이나 반출을 행하는 경우에 암 프레임(23)의 온도가 상승하더라도 암 프레임(23)은, 상하 좌우 방향으로는 변형되기 어렵다.That is, in this form, when the temperature of the guide rails 29 and 30 rises, the guide fixed to the arm frame 23 at the position which becomes symmetrical with respect to the arm frame 23 in the up-down, left-right direction when seen from the front-back direction. The rail 29 and the guide rail 30 expand and contract in the same manner in the front-rear direction. Moreover, in this form, since the arm frame 23 is formed so that it may become substantially symmetrical in the up-down, left-right direction when viewed from the front-back direction, when carrying in or carrying out the board|substrate 2 with respect to the chamber 4 which is high temperature. Even if the temperature of the arm frame 23 rises, the arm frame 23 is hardly deformed in the vertical, horizontal, and vertical directions.

따라서 본 형태에서는, 고온의 챔버(4)에 대한 기판(2)의 반입이나 반출을 로봇(1)이 행하는 경우에, 선팽창 계수가 상이한 가이드 레일(29, 30) 및 암 프레임(23)의 온도가 상승하더라도 암 프레임(23)의 상하 좌우 방향으로의 변형을 억제하는 것이 가능해진다. 그 결과, 본 형태에서는, 고온의 챔버(4)에 대한 기판(2)의 반입이나 반출을 로봇(1)이 행하는 경우에도, 열의 영향에 의한, 암(9)의 상하 좌우 방향으로의 변형을 억제하는 것이 가능해진다.Therefore, in this form, when the robot 1 performs the carrying in and carrying out of the board|substrate 2 with respect to the high-temperature chamber 4, the temperature of the guide rails 29 and 30 from which the linear expansion coefficient differs, and the arm frame 23 It becomes possible to suppress the deformation|transformation of the arm frame 23 in the up-down, left-right direction even if it rises. As a result, in this form, even when the robot 1 performs the loading and unloading of the substrate 2 to the high temperature chamber 4, the deformation of the arm 9 in the vertical and horizontal directions due to the influence of heat is prevented. suppression becomes possible.

본 형태에서는, 전후 방향에 있어서의 가이드 레일(29)의 길이는, 암(9)의 주위 온도가 변동되어 가이드 레일(29) 및 암 프레임(23)이 신축하더라도 전후 방향에 있어서의 배치 구멍(29a)의 측면과 볼트(65)가 접촉하지 않는 길이로 설정되고, 전후 방향에 있어서의 가이드 레일(30)의 길이는, 암(9)의 주위 온도가 변동되어 가이드 레일(30) 및 암 프레임(23)이 신축하더라도 가이드 레일(30)의 배치 구멍의 전후 방향의 측면과 볼트(65) 사이에 간극이 형성되는 길이로 설정되어 있다.In this form, the length of the guide rail 29 in the front-rear direction is the arrangement hole in the front-rear direction even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 29 and the arm frame 23 expand and contract. The length of the guide rail 30 in the front-rear direction is set to a length at which the side surface of 29a) and the bolt 65 do not contact, and the ambient temperature of the arm 9 fluctuates so that the guide rail 30 and the arm frame Even if 23 expands and contracts, it is set to a length at which a gap is formed between the side surface of the guide rail 30 in the front-rear direction and the bolt 65 .

그 때문에 본 형태에서는, 가이드 레일(29, 30)의 선팽창 계수와 암 프레임(23)의 선팽창 계수가 상이하더라도, 가이드 레일(29, 30) 및 암 프레임(23)의 온도가 상승하여 가이드 레일(29, 30) 및 암 프레임(23)이 전후 방향으로 신축하였을 때의, 배치 구멍(29a)의 측면과 볼트(65)의 접촉, 및 가이드 레일(30)의 배치 구멍의 측면과 볼트(65)의 접촉을 방지하는 것이 가능해진다. 따라서 본 형태에서는, 고온의 챔버(4)에 대한 기판(2)의 반입이나 반출을 로봇(1)이 행하는 경우에도, 열의 영향에 의한, 암 프레임(23)의 상하 좌우 방향으로의 변형을 효과적으로 억제하는 것이 가능해진다.Therefore, in this form, even if the coefficient of linear expansion of the guide rails 29 and 30 and the coefficient of linear expansion of the arm frame 23 are different, the temperature of the guide rails 29 and 30 and the arm frame 23 rises and the guide rail ( 29 , 30 ) and the arm frame 23 expand and contract in the front-rear direction, the contact between the side surface of the mounting hole 29a and the bolt 65 , and the side surface of the mounting hole of the guide rail 30 and the bolt 65 ) It becomes possible to prevent contact of Therefore, in this form, even when the robot 1 performs the carrying in and carrying out of the board|substrate 2 with respect to the high temperature chamber 4, the deformation|transformation of the arm frame 23 in the up-down, left-right direction by the influence of a heat|fever is effective. suppression becomes possible.

또한 본 형태에서는 회전축(39)이 커플링(55)에 의해 모터(37)의 출력축에 연결되고, 회전축(43)이 커플링(55)에 의해 모터(38)의 출력축에 연결되어 있다. 또한 회전축(39, 43)에서는 2개의 단축과 1개의 장축이 커플링(60)에 의하여 연결되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 스테인리스제의 회전축(39, 43)의, 열의 영향에 의한 전후 방향의 신축량과, 알루미늄 합금제의 암 프레임(23)의, 열의 영향에 의한 전후 방향의 신축량의 차는, 커플링(55, 60)에서 흡수된다.Moreover, in this form, the rotating shaft 39 is connected to the output shaft of the motor 37 by the coupling 55, and the rotating shaft 43 is connected to the output shaft of the motor 38 by the coupling 55. As shown in FIG. In addition, in the rotating shafts 39 and 43 , two minor axes and one major axis are connected by a coupling 60 . Therefore, in this embodiment, the difference between the amount of expansion and contraction in the front-rear direction due to the influence of heat of the rotating shafts 39 and 43 made of stainless steel and the amount of expansion and contraction in the front-rear direction under the influence of heat of the arm frame 23 made of aluminum alloy is a couple. Absorbed in rings 55 and 60.

(구동 기구의 배치의 변형예)(Modified example of arrangement of drive mechanism)

도 11은, 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다. 도 12는, 도 11의 (A)의 W-W 방향에서 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.11 is a view for explaining the internal structure of the arm 9 according to another embodiment of the present invention. 12 : is sectional drawing for demonstrating the structure of the hand support members 7 and 8, the arm 9, and the drive mechanisms 17 and 18 in the W-W direction of FIG.11(A).

상술한 형태에 있어서, 도 11의 (A), 도 12에 도시한 바와 같이 벨트(50)와 벨트(54)가 상하 방향으로 겹쳐지도록 배치되어 있어도 된다. 구체적으로는, 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37, 38)의 좌우의 양측의 각각에 있어서, 벨트(50)와 벨트(54)가 상하 방향으로 겹쳐지도록 배치되어 있어도 된다. 이 경우에도, 도 12에 도시한 바와 같이 암 프레임(23)은, 전후 방향에서 보았을 때에 상하 좌우 방향으로 대략 대칭으로 되도록 형성되어 있다. 또한 암 프레임(23)의 좌우 방향의 양 측면의 각각에 고정되는 가이드 레일(29)과 가이드 레일(30)은, 전후 방향에서 보았을 때에 암 프레임(23)에 대하여 상하 좌우 방향으로 대칭으로 되는 위치에서 암 프레임(23)에 고정되어 있다. 또한 도 11, 도 12에서는, 상술한 형태와 마찬가지의 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있다.In the aspect described above, as shown in Figs. 11A and 12 , the belt 50 and the belt 54 may be arranged so as to overlap in the vertical direction. Specifically, in each of the left and right both sides of the motors 37 and 38 when viewed from the front-rear direction, the belt 50 and the belt 54 may be arranged so as to overlap in the vertical direction. Also in this case, as shown in FIG. 12, the arm frame 23 is formed so that it may become substantially symmetrical in the up-down, left-right direction when seen from the front-back direction. In addition, the guide rail 29 and the guide rail 30 fixed to each of both sides of the arm frame 23 in the left and right directions are symmetrical in the vertical and horizontal directions with respect to the arm frame 23 when viewed from the front and rear directions. is fixed to the arm frame (23). In addition, in FIG. 11, FIG. 12, the same code|symbol is attached|subjected about the structure similar to the above-mentioned form.

또한 이 변형예에서는, 도 11의 (B)에 도시한 바와 같이, 예를 들어 모터(37)는 암(9)의 후단부의 내부에 배치되고, 모터(38)는 암(9)의 전단부의 내부에 배치되어 있다. 단, 이 변형예에 있어서, 모터(37, 38)는 상술한 형태와 마찬가지로 암(9)의 중심 부분의 내부에 배치되어 있어도 된다. 또한 이 변형예에서는, 모터(38)는 모터(37)보다도 상측에 배치되어 있다. 또한 모터(37)와 모터(38)는 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다.Further, in this modified example, as shown in FIG. 11B , for example, the motor 37 is disposed inside the rear end of the arm 9 , and the motor 38 is located at the front end of the arm 9 . placed inside. However, in this modified example, the motors 37 and 38 may be arrange|positioned inside the center part of the arm 9 similarly to the aspect mentioned above. In addition, in this modified example, the motor 38 is arrange|positioned above the motor 37. As shown in FIG. Moreover, the motor 37 and the motor 38 are arrange|positioned at the same position in the left-right direction.

또한 이 변형예에서는, 구동 풀리(52)가 고정되는 회전축(46)과는 별도로, 종동 풀리(49)가 회전 가능하게 보유 지지되는 고정축(67)이 마련되어 있다(도 12 참조). 마찬가지로, 구동 풀리(48)가 고정되는 회전축(42)과는 별도로, 종동 풀리(53)가 회전 가능하게 보유 지지되는 고정축이 마련되어 있다. 종동 풀리(49)는 구동 풀리(52) 바로 아래에 배치되고, 종동 풀리(53)는 구동 풀리(48) 바로 위에 배치되어 있다.Moreover, in this modification, the fixed shaft 67 by which the driven pulley 49 is rotatably held is provided separately from the rotation shaft 46 to which the drive pulley 52 is fixed (refer FIG. 12). Similarly, apart from the rotation shaft 42 to which the drive pulley 48 is fixed, a fixed shaft to which the driven pulley 53 is rotatably held is provided. The driven pulley 49 is disposed directly below the drive pulley 52 , and the driven pulley 53 is disposed directly above the drive pulley 48 .

(다른 실시 형태)(Other embodiment)

상술한 형태는 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 다양한 변형 실시가 가능하다.Although the above-mentioned form is an example of a suitable form of this invention, it is not limited to this, In the range which does not change the summary of this invention, various modification implementation is possible.

상술한 형태에 있어서, 핸드 지지 부재(7)에 핸드(6)가 고정되고, 핸드 지지 부재(8)에 핸드(5)가 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 핸드 지지 부재(8)는 제1 핸드 지지 부재로 되고, 핸드 지지 부재(7)는 제2 핸드 지지 부재로 되고, 가이드 기구(34)는 제1 가이드 기구로 되고, 가이드 기구(33)는 제2 가이드 기구로 된다. 또한 가이드 레일(30)은 제1 가이드 레일로 되고, 가이드 레일(29)은 제2 가이드 레일로 된다.In the aspect described above, the hand 6 may be fixed to the hand supporting member 7 , and the hand 5 may be fixed to the hand supporting member 8 . In this case, the hand support member 8 serves as the first hand support member, the hand support member 7 serves as the second hand support member, the guide mechanism 34 serves as the first guide mechanism, and the guide mechanism ( 33) becomes the second guide mechanism. Further, the guide rail 30 serves as a first guide rail, and the guide rail 29 serves as a second guide rail.

상술한 형태에 있어서, 하측 판부(23d)의 상면의 좌우 방향의 양 단부측의 각각에 가이드 레일(29)이 고정되고, 상측 판부(23c)의 하면의 좌우 방향의 양 단부측의 각각에 가이드 레일(30)이 고정되어 있어도 된다. 이 경우에도, 암 프레임(23)의 좌우 방향의 양 단부측의 각각에 고정되는 가이드 레일(29)과 가이드 레일(30)은, 전후 방향에서 보았을 때에 암 프레임(23)에 대하여 상하 좌우 방향으로 대칭으로 되는 위치에서 암 프레임(23)에 고정되어 있다.In the above aspect, the guide rails 29 are fixed to each of the both end sides in the left and right direction of the upper surface of the lower plate part 23d, and guide rails 29 are fixed to each of the both end sides in the left and right direction of the lower surface of the upper plate part 23c. The rail 30 may be fixed. Also in this case, the guide rails 29 and the guide rails 30 fixed to each of both ends of the arm frame 23 in the left and right directions are vertically aligned with respect to the arm frame 23 when viewed from the front-rear direction. It is fixed to the arm frame 23 at the position which becomes symmetrical.

상술한 형태에 있어서, 가이드 레일(29)은 전후 방향으로 분할되어 있지 않아도 된다. 즉, 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)의 각각에 1개의 가이드 레일(29)이 고정되어 있어도 된다. 마찬가지로, 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)의 각각에 1개의 가이드 레일(30)이 고정되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 암 프레임(23)은 알루미늄 합금 이외의 금속 재료로 형성되어 있어도 되고, 가이드 레일(29, 30)은 스테인리스강 이외의 금속 재료로 형성되어 있어도 된다.In the form mentioned above, the guide rail 29 does not need to be divided|segmented in the front-back direction. That is, one guide rail 29 may be being fixed to each of the right plate part 23a and the left plate part 23b. Similarly, one guide rail 30 may be fixed to each of the right plate part 23a and the left plate part 23b. In addition, in the aspect mentioned above, the arm frame 23 may be formed from metal materials other than an aluminum alloy, and the guide rails 29 and 30 may be formed from metal materials other than stainless steel.

상술한 형태에 있어서, 가이드 레일(29)에 형성되는 복수의 배치 구멍(29a) 중에, 내경이 볼트(65)의 외경과 대략 동등하게 되어 있는 배치 구멍(29a)이 있어도 된다. 즉, 축부 배치 구멍(29b)의 내경이 볼트(65)의 축부(65a)의 외경과 대략 동등하게 되고, 또한 헤드부 배치 구멍(29c)의 내경이 볼트(65)의 헤드부(65b)의 외경과 대략 동등하게 되어 있는 배치 구멍(29a)이 있어도 된다. 마찬가지로, 상술한 형태에 있어서, 가이드 레일(30)에 형성되는 복수의 배치 구멍 중에, 내경이 볼트(65)의 외경과 대략 동등하게 되어 있는 배치 구멍이 있어도 된다.In the form mentioned above, among the some arrangement hole 29a formed in the guide rail 29, the arrangement hole 29a whose inner diameter becomes substantially equal to the outer diameter of the bolt 65 may exist. That is, the inner diameter of the shaft portion arranging hole 29b becomes substantially equal to the outer diameter of the shaft portion 65a of the bolt 65, and the inner diameter of the head portion placement hole 29c is that of the head portion 65b of the bolt 65. There may be an arrangement hole 29a substantially equal to the outer diameter. Similarly, in the above-described aspect, among the plurality of placement holes formed in the guide rail 30 , there may be an arrangement hole whose inner diameter is substantially equal to the outer diameter of the bolt 65 .

상술한 형태에서는 벨트(50, 54)를 이용하여 핸드 지지 부재(7, 8)를 전후 방향으로 이동시키고 있지만, 상술한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이 나사 부재를 이용하여 핸드 지지 부재(7, 8)를 전후 방향으로 이동시켜도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 암(9)의 내부의 전체가 대기압으로 되어 있어도 된다. 또한 암(9)의 내부의 전체가 진공으로 되어 있어도 된다. 즉, 모터(37, 38)는 진공 중에 배치되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의하여 반송되는 반송 대상물은 액정 디스플레이용의 유리 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의하여 반송되는 반송 대상물은, 예를 들어 유기 EL(유기 일렉트로루미네센스) 디스플레이용 유리 기판이어도 되고, 유리 기판(2) 이외의 반송 대상물이어도 된다.In the form described above, the hand support members 7 and 8 are moved in the front-rear direction using the belts 50 and 54. However, like the industrial robot described in Patent Document 1 described above, the hand support members 7 are used using a screw member. , 8) may be moved in the front-rear direction. Moreover, in the aspect mentioned above, the whole inside of the arm 9 may be atmospheric pressure. Moreover, the whole inside of the arm 9 may be made into a vacuum. That is, the motors 37 and 38 may be arranged in a vacuum. In addition, in the form mentioned above, although the conveyance target conveyed by the robot 1 is the glass substrate 2 for liquid crystal displays, the conveyance target conveyed by the robot 1 is organic electroluminescent (organic electroluminescent), for example. Nessence) A glass substrate for a display may be sufficient, and conveyance objects other than the glass substrate 2 may be sufficient.

1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(유리 기판, 반송 대상물)
5: 핸드(제1 핸드)
6: 핸드(제2 핸드)
7: 핸드 지지 부재(제1 핸드 지지 부재)
8: 핸드 지지 부재(제2 핸드 지지 부재)
9: 암
10: 본체부
17: 구동 기구(제1 구동 기구)
18: 구동 기구(제2 구동 기구)
23: 암 프레임
23a: 우측 판부
23b: 좌측 판부
23c: 상측 판부
23d: 하측 판부
23f: 나사 구멍
29: 가이드 레일(제1 가이드 레일)
29a: 배치 구멍(제1 배치 구멍)
29b: 축부 배치 구멍(제1 축부 배치 구멍)
29c: 헤드부 배치 구멍(제1 헤드부 배치 구멍)
30: 가이드 레일(제2 가이드 레일)
31: 가이드 블록(제1 가이드 블록)
32: 가이드 블록(제2 가이드 블록)
33: 가이드 기구(제1 가이드 기구)
34: 가이드 기구(제2 가이드 기구)
65: 볼트
65a: 축부
65b: 헤드부
X: 전후 방향
Y: 좌우 방향1: Robot (industrial robot)
2: Substrate (glass substrate, conveyed object)
5: Hand (1st hand)
6: Hand (2nd hand)
7: Hand support member (first hand support member)
8: hand support member (second hand support member)
9: Cancer
10: body part
17: drive mechanism (first drive mechanism)
18: drive mechanism (second drive mechanism)
23: arm frame
23a: right plate part
23b: left plate
23c: upper plate
23d: lower plate
23f: screw hole
29: guide rail (first guide rail)
29a: placement hole (first placement hole)
29b: shaft portion arrangement hole (first shaft portion arrangement hole)
29c: head part arranging hole (first head part arranging hole)
30: guide rail (second guide rail)
31: guide block (first guide block)
32: guide block (second guide block)
33: guide mechanism (first guide mechanism)
34: guide mechanism (second guide mechanism)
65: bolt
65a: shaft
65b: head
X: forward and backward
Y: left and right

Claims (8)

진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇이며,
상기 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 상기 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 상기 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 상기 제1 핸드 지지 부재와 상기 제2 핸드 지지 부재가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 상기 제1 핸드 지지 부재 및 상기 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 암과, 상기 암에 대하여 상기 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 상기 암에 대하여 상기 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구를 구비함과 함께,
상기 암에 대한 상기 제1 핸드 지지 부재 및 상기 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향이라 하면,
상기 제1 핸드 지지 부재를 전후 방향으로 안내하는 제1 가이드 기구와, 상기 제2 핸드 지지 부재를 전후 방향으로 안내하는 제2 가이드 기구를 구비하고,
상기 제1 가이드 기구는, 상기 암의 프레임인 암 프레임의 좌우 방향의 양 단부측의 각각에 고정되는 제1 가이드 레일과, 상기 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 상기 제1 가이드 레일에 걸림 결합하는 제1 가이드 블록을 구비하고,
상기 제2 가이드 기구는, 상기 암 프레임의 좌우 방향의 양 단부측의 각각에, 또한 상기 제1 가이드 레일의 상측 또는 하측에 고정되는 제2 가이드 레일과, 상기 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 상기 제2 가이드 레일에 걸림 결합하는 제2 가이드 블록을 구비하고,
상기 제1 가이드 레일과 상기 제2 가이드 레일은 같은 형상으로 형성됨과 함께 동일한 금속 재료로 형성되고,
상기 암 프레임은, 상기 제1 가이드 레일 및 상기 제2 가이드 레일과 선팽창 계수가 상이한 금속 재료로 형성됨과 함께, 전후 방향에서 보았을 때에 상하 좌우 방향으로 대칭으로 되도록 형성되고,
상기 제1 가이드 레일과 상기 제2 가이드 레일은, 전후 방향에서 보았을 때에 상기 암 프레임에 대하여 상하 좌우 방향으로 대칭으로 되는 위치에서 상기 암 프레임에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.It is an industrial robot that transports objects to be transported in a vacuum,
a first hand and a second hand on which the object to be transported is mounted; a first hand support member to which the first hand is fixed; a second hand support member to which the second hand is fixed; and the first hand support member; an arm for holding the first hand supporting member and the second hand supporting member so that the second hand supporting member can linearly reciprocate in the same horizontal direction, and the first hand supporting member with respect to the arm a first drive mechanism for reciprocating; and a second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm;
If the moving directions of the first hand supporting member and the second hand supporting member with respect to the arm are referred to as a front-rear direction, and a direction perpendicular to the vertical direction and the front-rear direction is referred to as a left-right direction,
a first guide mechanism for guiding the first hand support member in a front-rear direction; and a second guide mechanism for guiding the second hand support member in a front-rear direction;
The first guide mechanism includes a first guide rail fixed to both ends of the arm frame, which is the frame of the arm, in the left and right directions, respectively, and the first guide rail is fixed to the first hand support member and engaged with the first guide rail. and a first guide block to
The second guide mechanism includes a second guide rail fixed to each of both ends of the arm frame in the left and right direction and an upper or lower side of the first guide rail, and a second guide rail fixed to the second hand support member. and a second guide block engaged with the second guide rail,
The first guide rail and the second guide rail are formed in the same shape and made of the same metal material,
The arm frame is formed of a metal material having a coefficient of linear expansion different from that of the first guide rail and the second guide rail, and is formed so as to be symmetrical in vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction,
The first guide rail and the second guide rail are fixed to the arm frame at positions that are symmetrical with respect to the arm frame in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction. 제1항에 있어서,
상기 암이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고,
상기 암의 중심이 상기 본체부에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.According to claim 1,
and a body portion to which the arm is rotatably connected;
Industrial robot, characterized in that the center of the arm is connected to the main body. 제2항에 있어서,
상기 암 프레임은 알루미늄 합금으로 형성되고,
상기 제1 가이드 레일 및 상기 제2 가이드 레일은 스테인리스강으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.3. The method of claim 2,
The arm frame is formed of an aluminum alloy,
The first guide rail and the second guide rail are industrial robots, characterized in that formed of stainless steel. 제1항에 있어서,
상기 암 프레임은 알루미늄 합금으로 형성되고,
상기 제1 가이드 레일 및 상기 제2 가이드 레일은 스테인리스강으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.According to claim 1,
The arm frame is formed of an aluminum alloy,
The first guide rail and the second guide rail are industrial robots, characterized in that formed of stainless steel. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 암 프레임은, 상기 암 프레임의 좌우의 측면을 구성하는 평판형의 우측 판부 및 좌측 판부와, 상기 암 프레임의 상하의 측면을 구성하는 평판형의 상측 판부 및 하측 판부를 구비하고,
상기 우측 판부는, 상기 우측 판부의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되고,
상기 좌측 판부는, 상기 좌측 판부의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되고,
상기 상측 판부는, 상기 상측 판부의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고,
상기 하측 판부는, 상기 하측 판부의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고,
상기 제1 가이드 레일은 상기 우측 판부 및 상기 좌측 판부에 고정되고,
상기 제2 가이드 레일은 상기 우측 판부 및 상기 좌측 판부에 고정되고,
전후 방향에서 보았을 때에 상기 우측 판부와 상기 좌측 판부는, 좌우 방향에 있어서의 상기 암 프레임의 중심에 대하여 좌우 대칭으로 배치되고, 상기 상측 판부와 상기 하측 판부는, 상하 방향에 있어서의 상기 암 프레임의 중심에 대하여 상하 대칭으로 배치되고,
상기 우측 판부에 고정되는 상기 제1 가이드 레일과 상기 좌측 판부에 고정되는 상기 제1 가이드 레일은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되고,
상기 우측 판부에 고정되는 상기 제2 가이드 레일과 상기 좌측 판부에 고정되는 상기 제2 가이드 레일은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The arm frame includes a flat plate-shaped right plate and a left plate constituting the left and right side surfaces of the arm frame, and a flat plate-shaped upper plate part and a lower plate part constituting the upper and lower sides of the arm frame,
The right plate part is arranged so that the thickness direction of the right plate part and the left and right directions coincide,
The left plate part is arranged so that the thickness direction of the left plate part and the left and right directions coincide,
The upper plate part is disposed so that the thickness direction and the vertical direction of the upper plate part coincide with each other,
The lower plate portion is disposed so that the thickness direction and the vertical direction of the lower plate portion coincide,
The first guide rail is fixed to the right plate portion and the left plate portion,
The second guide rail is fixed to the right plate portion and the left plate portion,
When viewed from the front-rear direction, the right plate part and the left plate part are arranged symmetrically with respect to the center of the arm frame in the left-right direction, and the upper plate part and the lower plate part are the upper and lower plates of the arm frame in the vertical direction. arranged vertically symmetrically with respect to the center,
The first guide rail fixed to the right plate part and the first guide rail fixed to the left plate part are disposed at the same position in the vertical direction,
The second guide rail fixed to the right plate part and the second guide rail fixed to the left plate part are disposed at the same position in the vertical direction. 제5항에 있어서,
상기 제1 가이드 기구는, 전후 방향으로 분할된 복수의 상기 제1 가이드 레일을 구비하고,
상기 제2 가이드 기구는, 전후 방향으로 분할된 복수의 상기 제2 가이드 레일을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.6. The method of claim 5,
The first guide mechanism includes a plurality of the first guide rails divided in the front-rear direction,
The second guide mechanism is an industrial robot, characterized in that it comprises a plurality of the second guide rail divided in the front-rear direction. 제6항에 있어서,
상기 제1 가이드 레일 및 상기 제2 가이드 레일은, 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태로 배치되는 복수의 볼트에 의하여 상기 암 프레임에 고정되고,
상기 제1 가이드 레일 및 상기 제2 가이드 레일에는, 상기 볼트의 일부가 배치되는 복수의 배치 구멍이 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태로 형성되고,
상기 암 프레임에는, 상기 볼트의 축부에 형성된 수나사가 돌려서 조여지는 복수의 나사 구멍이 전후 방향에 있어서 간격을 둔 상태로 형성되고,
복수의 상기 배치 구멍 중 적어도 1개의 상기 배치 구멍의 전후 방향의 폭은, 상기 볼트의 외경보다도 넓게 되어 있고,
전후 방향의 폭이 상기 볼트의 외경보다도 넓게 되어 있는 상기 배치 구멍을 제1 배치 구멍이라 하면,
전후 방향에 있어서의 상기 제1 가이드 레일 및 상기 제2 가이드 레일의 길이는, 상기 암의 주위 온도가 변동되어 상기 제1 가이드 레일, 상기 제2 가이드 레일 및 상기 암 프레임이 신축하더라도 전후 방향에 있어서의 상기 제1 배치 구멍의 측면과 상기 볼트 사이에 간극이 형성되는 길이로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.7. The method of claim 6,
The first guide rail and the second guide rail are fixed to the arm frame by a plurality of bolts disposed at intervals in the front-rear direction,
In the first guide rail and the second guide rail, a plurality of arrangement holes in which a part of the bolts are arranged are formed in a state in which they are spaced apart in the front-rear direction,
In the arm frame, a plurality of screw holes formed in the shaft portion of the bolt to be tightened by turning are formed in a state spaced apart in the front-rear direction,
A width in the front-rear direction of at least one of the plurality of placement holes is wider than an outer diameter of the bolt,
If the arranging hole whose width in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the bolt is referred to as a first arranging hole,
The lengths of the first guide rail and the second guide rail in the front-rear direction are in the front-rear direction even if the first guide rail, the second guide rail, and the arm frame expand and contract due to a change in the ambient temperature of the arm. Industrial robot, characterized in that it is set to a length in which a gap is formed between the side surface of the first arrangement hole and the bolt. 제7항에 있어서,
상기 배치 구멍은, 상기 볼트의 상기 축부의 일부가 배치되는 축부 배치 구멍과, 상기 볼트의 헤드부가 배치되는 헤드부 배치 구멍으로 구성되고,
상기 제1 배치 구멍의 상기 축부 배치 구멍을 제1 축부 배치 구멍이라 하고 상기 제1 배치 구멍의 상기 헤드부 배치 구멍을 제1 헤드부 배치 구멍이라 하면,
전후 방향에 있어서의 상기 제1 축부 배치 구멍의 폭은, 상기 볼트의 상기 축부의 외경보다도 넓게 되어 있고,
전후 방향에 있어서의 상기 제1 헤드부 배치 구멍의 폭은, 상기 볼트의 상기 헤드부의 외경보다도 넓게 되어 있고,
전후 방향에 있어서의 상기 제1 가이드 레일 및 상기 제2 가이드 레일의 길이는, 상기 암의 주위 온도가 변동되어 상기 제1 가이드 레일, 상기 제2 가이드 레일 및 상기 암 프레임이 신축하더라도 전후 방향에 있어서의 상기 제1 축부 배치 구멍의 측면과 상기 볼트의 상기 축부 사이에 간극이 형성되고, 또한 전후 방향에 있어서의 상기 제1 헤드부 배치 구멍의 측면과 상기 볼트의 상기 헤드부 사이에 간극이 형성되는 길이로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.8. The method of claim 7,
The arrangement hole is composed of a shaft portion placement hole in which a part of the shaft portion of the bolt is disposed, and a head portion placement hole in which the head portion of the bolt is disposed,
Assuming that the shaft portion placement hole of the first placement hole is a first shaft portion placement hole and the head portion placement hole of the first placement hole is a first head portion placement hole,
The width of the first shaft portion arrangement hole in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the shaft portion of the bolt,
The width of the first head portion arrangement hole in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the head portion of the bolt,
The lengths of the first guide rail and the second guide rail in the front-rear direction are in the front-rear direction even if the first guide rail, the second guide rail, and the arm frame expand and contract due to a change in the ambient temperature of the arm. a gap is formed between the side surface of the first shaft part arranging hole and the shaft part of the bolt, and a gap is formed between the side surface of the first head part arranging hole in the front-rear direction and the head part of the bolt Industrial robot, characterized in that it is set to a length.
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