KR102155598B1 - 취성 기판의 분단 방법 - Google Patents

Abstract

제1∼제3면(SD1∼SD3)을 가짐으로써 능선(PS) 및 정점(PP)을 갖는 날끝(51)이 준비된다. 취성 기판(4)의 하나의 면(SF1) 상에서 날끝(51)을 능선(PS)으로부터 제1면(SD1)으로 향하는 방향으로 슬라이딩시킴으로써, 홈 형상을 갖는 트렌치 라인(TL)이 크랙리스 상태로 형성된다. 날끝(51)의 능선(PS)이 취성 기판(4)의 가장자리(ED)를 잘라내림으로써, 가장자리(ED)로부터 트렌치 라인(TL)을 따라 두께 방향(DT)에 있어서의 취성 기판(4)의 크랙을 신전시킴으로써, 크랙 라인(CL)이 형성된다. 크랙 라인(CL)에 의해 트렌치 라인(TL)의 하방에 있어서 취성 기판(4)은 트렌치 라인(TL)과 교차하는 방향에 있어서 연속적인 연결이 끊어져 있다.

Description

취성 기판의 분단 방법

본 발명은 취성 기판(brittle substrate)의 분단(dividing) 방법에 관한 것이다.

플랫 디스플레이 패널 또는 태양 전지 패널 등의 전기 기기의 제조에 있어서, 취성 기판을 분단하는 것이 자주 필요해진다. 전형적인 분단 방법에 있어서는, 우선, 취성 기판상에 크랙 라인(crack line)이 형성된다. 본 명세서에 있어서 「크랙 라인」이란, 취성 기판의 두께 방향으로 부분적으로 진행된 크랙이 취성 기판의 표면상에 있어서 라인 형상으로 연장되어 있는 것을 의미한다. 다음으로, 소위 브레이크 공정이 행해진다. 구체적으로는, 취성 기판에 응력을 인가함으로써, 크랙 라인의 크랙이 두께 방향으로 완전하게 진행된다. 이에 따라, 크랙 라인을 따라 취성 기판이 분단된다.

특허문헌 1에 의하면, 유리판의 상면에 있는 패임이 스크라이브시에 발생한다. 이 특허문헌 1에 있어서는, 이 패임이 「스크라이브 라인」이라고 칭해지고 있다. 또한, 이 스크라이브 라인의 각설(刻設)과 동시에, 스크라이브 라인으로부터 바로 아래 방향으로 연장되는 크랙이 발생한다. 이 특허문헌 1의 기술에 보여지는 바와 같이, 종래의 전형적인 기술에 있어서는, 스크라이브 라인의 형성과 동시에 크랙 라인이 형성된다.

특허문헌 2에 의하면, 상기의 전형적인 분단 기술과는 현저하게 상이한 분단 기술이 제안되어 있다. 이 기술에 의하면, 우선, 취성 기판상에서의 날끝의 슬라이딩에 의해 소성 변형을 발생시킴으로써, 이 특허문헌 2에 있어서 「스크라이브 라인」이라고 칭해지는 홈 형상이 형성된다. 본 명세서에 있어서는, 이후에 있어서, 이 홈 형상인 것을 「트렌치 라인」이라고 칭한다. 트렌치 라인이 형성되어 있는 시점에서는, 그 하방에 크랙은 형성되지 않는다. 그 후에 트렌치 라인을 따라 크랙을 신전(extend)시킴으로써, 크랙 라인이 형성된다. 즉, 전형적인 기술과는 달리, 크랙을 수반하지 않는 트렌치 라인이 일단 형성되고, 그 후에 트렌치 라인을 따라 크랙 라인이 형성된다. 그 후, 크랙 라인을 따라 통상의 브레이크 공정이 행해진다.

상기 특허문헌 2의 기술에서 이용되는, 크랙을 수반하지 않는 트렌치 라인은, 크랙의 동시 형성을 수반하는 전형적인 스크라이브 라인에 비해, 보다 낮은 하중에서의 날끝의 슬라이딩에 의해 형성 가능하다. 하중이 작음으로써, 날끝에 가해지는 손상이 작아진다. 따라서, 이 분단 기술에 의하면, 날끝의 수명을 늘릴 수 있다.

일본공개특허공보 평9-188534호 국제공개 제2015/151755호

종래의 전형적인 기술에 있어서는, 스크라이빙시에 크랙이 형성되지 않는 것은, 스크라이빙의 실패를 의미하고 있었다. 그러나, 상기 특허문헌 2의 분단 기술에 있어서는, 스크라이빙에 의해, 크랙을 수반하지 않는 트렌치 라인이 의도적으로 형성된다. 그리고 그 후, 트렌치 라인을 따른 크랙 라인이 발생된다. 크랙 라인을 형성하기 시작하기 위해서는, 트렌치 라인의 형성에 의해 취성 기판 중에 발생해 있던 내부 응력을 개방하는 계기를 취성 기판으로 부여하는 것이 필요하다. 이 계기를 부여하는 방법에 대해서는, 상기 특허문헌 2에 있어서 여러 가지의 방법이 제안되어 있다. 본 발명자의 검토에 의하면, 이들 방법도 유용하기는 하지만, 크랙 라인이 형성될 확률이 약간 낮거나, 추가의 브레이크 공정을 요하기 때문에 작업 부담이 약간 크다는 과제가 남아 있었다.

본 발명은 이상과 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은, 그 하방에 크랙을 갖지 않는 트렌치 라인을 형성한 후에, 트렌치 라인을 따른 크랙 라인을, 보다 확실하고 또한 용이하게 형성할 수 있는, 취성 기판의 분단 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 국면에 따르는 취성 기판의 분단 방법은, 이하의 공정 a)∼e)를 갖는다.

a) 가장자리가 형성된 하나의 면과, 하나의 면에 수직인 두께 방향을 갖는 취성 기판이 준비된다.

b) 제1면, 제1면과 서로 이웃하는 제2면과, 제2면과 서로 이웃함으로써 능선을 이루고 또한 제1면 및 제2면의 각각과 서로 이웃함으로써 정점(頂点)을 이루는 제3면을 갖는 날끝이 준비된다.

c) 취성 기판의 하나의 면 상에서 날끝을 능선으로부터 제1면으로 향하는 방향으로 슬라이딩시킴으로써, 홈 형상을 갖는 트렌치 라인이 소성 변형에 의해 취성 기판의 하나의 면 상에 형성된다. 트렌치 라인은, 트렌치 라인의 하방에 있어서 취성 기판이 트렌치 라인과 교차하는 방향에 있어서 연속적으로 연결되어 있는 상태인 크랙리스 상태가 얻어지도록 형성된다.

d) 공정 c)에 의해 슬라이딩된 날끝의 능선이 취성 기판의 하나의 면의 가장자리를 잘라내림으로써, 가장자리로부터 트렌치 라인을 따라 두께 방향에 있어서의 취성 기판의 크랙을 신전시킴으로써, 크랙 라인이 형성된다. 크랙 라인에 의해 트렌치 라인의 하방에 있어서 취성 기판은 트렌치 라인과 교차하는 방향에 있어서 연속적인 연결이 끊어져 있다.

e) 크랙 라인을 따라 취성 기판이 분단된다.

본 발명의 다른 국면에 따르는 취성 기판의 분단 방법은, 이하의 공정 a)∼e)를 갖는다.

a) 하나의 면과, 하나의 면에 수직인 두께 방향을 갖는 취성 기판이 준비된다. 하나의 면 상에는, 홈 형상을 갖는 어시스트 트렌치 라인과, 두께 방향에 있어서의 취성 기판의 크랙이 어시스트 트렌치 라인을 따라 연장됨으로써 구성된 어시스트 크랙 라인을 갖는 어시스트 라인이 형성되어 있다.

b) 제1면과, 제1면과 서로 이웃하는 제2면과, 제2면과 서로 이웃함으로써 능선을 이루고 또한 제1면 및 제2면의 각각과 서로 이웃함으로써 정점을 이루는 제3면을 갖는 날끝이 준비된다.

c) 취성 기판의 하나의 면 상에서 날끝을 능선으로부터 제1면으로 향하는 방향으로 슬라이딩시킴으로써, 홈 형상을 갖는 트렌치 라인이 소성 변형에 의해 취성 기판의 하나의 면 상에 형성된다. 트렌치 라인은, 트렌치 라인의 하방에 있어서 취성 기판이 트렌치 라인과 교차하는 방향에 있어서 연속적으로 연결되어 있는 상태인 크랙리스 상태가 얻어지도록 형성된다.

d) 공정 c)에 의해 슬라이딩된 날끝의 능선이 취성 기판의 하나의 면 상에 형성된 어시스트 라인과 교차함으로써, 어시스트 라인으로부터 트렌치 라인을 따라 두께 방향에 있어서의 취성 기판의 크랙을 신전시킴으로써, 크랙 라인이 형성된다. 크랙 라인에 의해 트렌치 라인의 하방에 있어서 취성 기판은 트렌치 라인과 교차하는 방향에 있어서 연속적인 연결이 끊어져 있다.

e) 크랙 라인을 따라 취성 기판이 분단된다.

본 발명의 일국면에 따르는 취성 기판의 분단 방법에 의하면, 첫째로, 날끝을 용이하게 준비할 수 있다. 왜냐하면, 날끝의 정점이, 제1면, 제2면 및 제3면의 3개의 면이 합류하는 개소로서 형성되기 때문이다. 가령, 3개를 초과하는 면이 합류하는 개소에 의해 날끝의 정점이 형성되는 경우, 3개의 면이 합류하는 점을 통과하도록, 남는 면의 위치를 맞출 필요가 있다. 이 때문에, 높은 가공 정밀도가 필요해진다. 이에 대하여, 3개의 면이 합류하는 개소에 의해 날끝의 정점이 형성되는 경우, 그러한 높은 가공 정밀도는 필요하지 않다. 둘째로, 트렌치 라인을 따른 크랙 라인을 보다 확실하게 형성할 수 있다. 왜냐하면, 트렌치 라인의 형성을 위해서 슬라이딩된 날끝의 능선이, 취성 기판의 하나의 면의 가장자리를 잘라내리기 때문이다. 이 잘라내림에 의해, 크랙 라인의 형성 개시의 계기가, 높은 확실성으로 얻어진다.

본 발명의 다른 국면에 따르는 취성 기판의 분단 방법에 의하면, 첫째로, 날끝을 용이하게 준비할 수 있다. 왜냐하면, 날끝의 정점이, 제1면, 제2면 및 제3면의 3개의 면이 합류하는 개소로서 형성되기 때문이다. 가령, 3개를 초과하는 면이 합류하는 개소에 의해 날끝의 정점이 형성되는 경우, 3개의 면이 합류하는 점을 통과하도록, 남는 면의 위치를 맞출 필요가 있다. 이 때문에, 높은 가공 정밀도가 필요해진다. 이에 대하여, 3개의 면이 합류하는 개소에 의해 날끝의 정점이 형성되는 경우, 그러한 높은 가공 정밀도는 필요하지 않다. 둘째로, 트렌치 라인을 따른 크랙 라인을 보다 확실하게 형성할 수 있다. 왜냐하면, 트렌치 라인의 형성을 위해 슬라이딩된 날끝의 능선이, 취성 기판의 하나의 면에 형성된 어시스트 라인과, 슬라이딩하는 날끝의 정점에 의해 형성된 트렌치 라인의 교점으로, 국소적으로 응력을 인가하기 때문이다. 이 응력 인가에 의해, 크랙 라인의 형성 개시의 계기가, 높은 확실성으로 얻어진다.

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법에 이용되는 커팅 기구의 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 2는 도 1의 화살표 Ⅱ의 시점에서의 개략 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태 1∼5에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 구성을 개략적으로 나타내는 플로우도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 제1 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 5는 도 4의 선 V-V을 따르는 개략 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 제2 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 7은 도 6의 선 Ⅶ-Ⅶ을 따르는 개략 단면도이다.
도 8은 비교예에 있어서의 취성 기판의 분단 방법에 이용되는 커팅 기구의 구성을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 9는 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의 취성 기판의 분단 방법에 있어서의, 트렌치 라인의 형성 방법의 구성을 개략적으로 나타내는 플로우도이다.
도 10은 본 발명의 실시 형태 3에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 제1 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 11은 도 10의 선 XI-XI를 따르는 개략 단면도이다.
도 12는 본 발명의 실시 형태 3에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 제2 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 13은 본 발명의 실시 형태 3에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 제3 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 14는 본 발명의 실시 형태 4에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 제1 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 15는 본 발명의 실시 형태 4에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 제2 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 16은 본 발명의 실시 형태 5에 있어서의 취성 기판의 분단 방법에 이용되는 날끝의 구성을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 17은 본 발명의 실시 형태 5에 있어서의 취성 기판의 분단 방법에 이용되는 어시스트 날끝의 구성을 개략적으로 나타내는 단면도이다.

이하, 도면에 기초하여 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명한다. 또한, 이하의 도면에 있어서 동일 또는 상당하는 부분에는 동일한 참조 번호를 부여하여 그 설명은 반복하지 않는다.

＜실시 형태 1＞

(커팅 기구의 구성)

도 1 및 도 2를 참조하여, 먼저, 본 실시 형태의 유리 기판(4)(취성 기판)의 분단 방법에 있어서의 트렌치 라인의 형성 공정에 이용되는 커팅 기구(50)의 구성에 대해서 설명한다. 커팅 기구(50)는 날끝(51) 및 생크(shank;52)를 갖고 있다. 날끝(51)은, 그 홀더로서의 생크(52)에 고정됨으로써 보유 지지되어 있다.

날끝(51)에는, 천면(SD1)(제1면)과, 천면(SD1)을 둘러싸는 복수의 면이 형성되어 있다. 이들 복수의 면은 측면(SD2)(제2면) 및 측면(SD3)(제3면)을 포함한다. 천면(SD1), 측면(SD2 및 SD3)(제1∼제3면)은, 서로 상이한 방향을 향하고 있고, 또한 서로 이웃하고 있다. 날끝(51)은, 천면(SD1), 측면(SD2 및 SD3)이 합류하는 정점을 갖는다. 이 정점(PP)에 의해 날끝(51)의 돌기부가 구성되어 있다. 또한 측면(SD2 및 SD3)은, 날끝(51)의 측부를 구성하는 능선(PS)을 이루고 있다. 능선(PS)은, 정점(PP)으로부터 선 형상으로 연장되어 있고, 또한, 선 형상으로 연장되는 볼록 형상을 갖는다. 이상의 구성으로부터, 날끝(51)은, 천면(SD1)과, 천면(SD1)과 이웃하는 측면(SD2)과, 측면(SD2)과 서로 이웃함으로써 능선(PS)을 이루고 또한 천면(SD1) 및 측면(SD2)의 각각과 서로 이웃함으로써 정점(PP)을 이루는 측면(SD3)을 갖는다.

날끝(51)은 다이아몬드 포인트인 것이 바람직하다. 즉 날끝(51)은, 경도 및 표면 거칠기를 작게 할 수 있는 점에서 다이아몬드로 만들어져 있는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 날끝(51)은 단결정 다이아몬드로 만들어져 있다. 더욱 바람직하게는 결정학적으로 말하여, 천면(SD1)은 {001}면이고, 측면(SD2 및 SD3)의 각각은 {111}면이다. 이 경우, 측면(SD2 및 SD3)은, 상이한 방향을 갖기는 하지만, 결정학상, 서로 등가의 결정면이다.

또한, 단결정이 아닌 다이아몬드가 이용되어도 좋고, 예를 들면, CVD(Chemical Vapor Deposition)법으로 합성된 다결정체 다이아몬드가 이용되어도 좋다. 혹은, 미립의 그래파이트나 비(非)그래파이트상 탄소로부터, 철족 원소 등의 결합재를 포함하지 않고 소결된 다결정체 다이아몬드 입자를 철족 원소 등의 결합재에 의해 결합시킨 소결 다이아몬드가 이용되어도 좋다.

생크(52)는 축방향(AX)을 따라 연재되어 있다. 날끝(51)은, 천면(SD1)의 법선 방향이 축방향(AX)을 대체로 따르도록 생크(52)에 부착되는 것이 바람직하다.

(유리 기판의 분단 방법)

도 3에 나타내는 플로우도를 참조하면서, 다음으로, 유리 기판(4)의 분단 방법에 대해서, 이하에 설명한다.

스텝 S10(도 3)에서, 분단되게 되는 유리 기판(4)(도 1)이 준비된다. 유리 기판(4)은, 상면(SF1)(하나의 면)과, 그 반대의 하면(SF2)(다른 면)을 갖고 있다. 상면(SF1)에는 가장자리(ED)가 형성되어 있다. 도 4에서 나타내는 예에 있어서는, 가장자리(ED)는 장방 형상을 갖는다. 유리 기판(4)은, 상면(SF1)에 수직인 두께 방향(DT)을 갖는다. 또한 스텝 S20(도 3)에서, 전술한, 날끝(51)을 갖는 커팅 기구(50)(도 1 및 도 2)가 준비된다.

도 4를 참조하여, 스텝 S30(도 3)에서 트렌치 라인(TL)이 형성된다. 구체적으로는, 이하의 공정이 행해진다.

우선, 날끝(51)(도 1)의 정점(PP)이 상면(SF1)에 위치 N1에서 밀어붙여진다. 이에 따라 날끝(51)이 유리 기판(4)에 접촉한다. 위치 N1은, 도시되어 있는 바와 같이, 유리 기판(4)의 상면(SF1)의 가장자리(ED)로부터 떨어져 있는 것이 바람직하다. 바꾸어 말하면, 날끝(51)의 슬라이딩 개시 시점에 있어서, 날끝(51)이 유리 기판(4)의 상면(SF1)의 가장자리(ED)에 충돌하는 것을 피할 수 있다.

다음으로, 상기와 같이 밀어붙여진 날끝(51)이 유리 기판(4)의 상면(SF1) 상에서 슬라이딩된다(도 4의 화살표 참조). 날끝(51)(도 1)은, 상면(SF1) 상에서 능선(PS)으로부터 천면(SD1)으로 향하는 방향으로 슬라이딩된다. 엄밀히 말하면, 날끝(51)은, 능선(PS)으로부터 정점(PP)을 경유하여 천면(SD1)으로 향하는 방향을 상면(SF1) 상에 투영한 방향(DB)으로 슬라이딩된다. 방향(DB)은, 정점(PP)의 근방에 있어서의 능선(PS)의 연재 방향을 상면(SF1) 상에 투영한 방향을 대체로 따르고 있다. 도 1에 있어서는, 방향(DB)은, 날끝(51)으로부터 연장되는 축방향(AX)을 상면(SF1) 상으로 투영한 방향과 반대 방향에 대응하고 있다. 따라서 날끝(51)은 생크(52)에 의해 상면(SF1) 상을 밀려나아간다.

유리 기판(4)의 상면(SF1)상을 슬라이딩되는 날끝(51)(도 1)의 능선(PS) 및 천면(SD1)의 각각은, 유리 기판(4)의 상면(SF1)과 각도(AG1) 및 각도(AG2)를 이루고 있다. 각도(AG2)는 각도(AG1)보다도 작은 것이 바람직하다.

상기 슬라이딩에 의해 상면(SF1) 상에 소성 변형이 발생된다. 이에 따라 상면(SF1) 상에, 홈 형상을 갖는 트렌치 라인(TL)(도 5)이 형성된다. 트렌치 라인(TL)은, 유리 기판(4)의 소성 변형에 의해서만 발생하는 것이 바람직하고, 그 경우, 유리 기판(4)의 상면(SF1) 상에서 깎임이 발생하지 않는다. 깎임을 피하기 위해서는, 날끝(51)의 하중을 과도하게 높게 하지 않으면 좋다. 깎임이 없음으로써, 상면(SF1) 상에, 바람직하지 않은 미세한 파편이 발생하는 것을 피할 수 있다. 단, 약간의 깎임은, 통상, 허용될 수 있다.

트렌치 라인(TL)의 형성은, 위치(N1) 및 위치(N3e)의 사이에서, 위치(N1)로부터 위치(N2)를 경유하여 위치(N3e)로 날끝(51)을 슬라이딩시킴으로써 행해진다. 위치(N2)는, 유리 기판(4)의 상면(SF1)의 가장자리(ED)로부터 떨어져 있다. 위치(N3e)는, 유리 기판(4)의 상면(SF1)의 가장자리(ED)에 위치하고 있다.

트렌치 라인(TL)은, 트렌치 라인(TL)의 하방에 있어서 유리 기판(4)이 트렌치 라인(TL)의 연재 방향(도 4에 있어서의 횡방향)과 교차하는 방향(DC)(도 5)에 있어서 연속적으로 연결되어 있는 상태인 크랙리스 상태가 얻어지도록 형성된다. 크랙리스 상태에 있어서는, 소성 변형에 의한 트렌치 라인(TL)은 형성되어 있기는 하지만, 그에 따른 크랙은 형성되어 있지 않다. 크랙리스 상태를 얻기 위해서, 날끝(51)에 가해지는 하중은, 트렌치 라인(TL) 형성 시점에서는 크랙이 발생하지 않을 정도로 작고, 또한, 후의 공정에서 크랙을 발생시킬 수 있는 내부 응력의 상태를 만들어 내는 바와 같은 소성 변형이 발생할 정도로 커지도록 조정된다.

트렌치 라인(TL)을 형성하기 위해서 상기와 같이 슬라이딩된 날끝(51)은, 최종적으로 위치(N3e)에 도달한다. 크랙리스 상태는, 날끝(51)이 위치(N2)에 위치하고 있는 시점에서 유지되어 있고, 또한, 날끝(51)이 위치(N3e)에 도달하는 순간까지 유지되어 있다. 날끝(51)이 위치(N3e)에 도달하면, 날끝(51)의 능선(PS)(도 1)은, 유리 기판(4)의 상면(SF1)의 가장자리(ED)를 잘라내린다.

도 6 및 도 7을 참조하여, 상기의 잘라내림에 의해, 위치(N3e)에 미세한 파괴가 발생한다. 이 파괴를 기점으로 하여, 트렌치 라인(TL) 부근의 내부 응력을 해방하도록 크랙이 발생한다. 구체적으로는, 유리 기판(4)의 상면(SF1)의 가장자리(ED)에 위치하는 위치(N3e)로부터 트렌치 라인(TL)을 따라, 두께 방향(DT)에 있어서의 유리 기판(4)의 크랙이 신전한다(도 6에 있어서의 화살표 참조). 환언하면, 크랙 라인(CL)의 형성이 개시된다. 이에 따라, 스텝 S50(도 3)으로서, 위치(N3e)로부터 위치(N1)로 크랙 라인(CL)이 형성된다.

또한, 크랙 라인(CL)의 형성을 보다 확실하게 하기 위해, 날끝(51)이 위치(N2)로부터 위치(N3e)를 슬라이딩하는 속도를, 위치(N1)로부터 위치(N2)에 있어서의 속도보다 작게 해도 좋다. 동일하게, 위치(N2)로부터 위치(N3e)에 있어서 날끝(51)에 인가되는 하중을, 크랙리스 상태가 유지되는 범위에서 위치(N1)로부터 위치(N2)에 있어서의 하중보다도 크게 해도 좋다.

크랙 라인(CL)에 의해 트렌치 라인(TL)의 하방에 있어서 유리 기판(4)은 트렌치 라인(TL)의 연재 방향(도 6에 있어서의 횡방향)과 교차하는 방향(DC)(도 7)에 있어서 연속적인 연결이 끊어져 있다. 여기에서 「연속적인 연결」이란, 환언하면, 크랙에 의해 차단되어 있지 않은 연결을 말한다. 또한, 전술한 바와 같이 연속적인 연결이 끊어져 있는 상태에 있어서, 크랙 라인(CL)의 크랙을 통하여 유리 기판(4)의 부분끼리가 접촉하고 있어도 좋다. 또한, 트렌치 라인(TL)의 바로 아래에 약간 연속적인 연결이 남겨져 있어도 좋다.

트렌치 라인(TL)(도 4)을 따라 크랙 라인(CL)(도 6)이 신전하는 방향(도 6의 화살표)은, 트렌치 라인(TL)이 형성된 방향(도 4의 화살표)과 반대이다. 이러한 방향 관계에서 크랙 라인(CL)을 발생시키기 위해서는, 트렌치 라인(TL)의 형성을 위해 날끝(51)이 방향(DB)(도 1)으로 슬라이딩할 때에, 각도(AG2)가 각도(AG1)보다도 작게 되어 있는 것이 바람직하다. 이 각도 관계가 충족되지 않으면, 크랙 라인(CL)이 발생하기 어렵다. 또한 각도(AG1) 및 각도(AG2)가 대략 동일하면, 크랙 라인(CL)이 발생하는지 아닌지가 불안정해지기 쉽다.

다음으로, 스텝 S60(도 3)에서, 크랙 라인(CL)을 따라 유리 기판(4)이 분단된다. 즉, 소위 브레이크 공정이 행해진다. 브레이크 공정은, 유리 기판(4)으로의 외력의 인가에 의해 행할 수 있다. 예를 들면, 유리 기판(4)의 상면(SF1) 상의 크랙 라인(CL)(도 7)을 향하여 하면(SF2) 상에 응력 인가 부재(예를 들면, 「브레이크 바」라고 칭해지는 부재)를 밀어붙임으로써, 크랙 라인(CL)의 크랙을 여는 바와 같은 응력이 유리 기판(4)으로 인가된다. 또한 크랙 라인(CL)이 그 형성시에 두께 방향(DT)으로 완전하게 진행된 경우는, 크랙 라인(CL)의 형성과 유리 기판(4)의 분단이 동시에 발생한다.

이상에 의해 유리 기판(4)의 분단이 행해진다. 또한 전술한 크랙 라인(CL)의 형성 공정은, 소위 브레이크 공정과 본질적으로 상이하다. 브레이크 공정은, 이미 형성되어 있는 크랙을 두께 방향으로 더욱 신전시킴으로써 기판을 완전하게 분리하는 것이다. 한편, 크랙 라인(CL)의 형성 공정은, 트렌치 라인(TL)의 형성에 의해 얻어진 크랙리스 상태로부터, 크랙을 갖는 상태로의 변화를 가져오는 것이다. 이 변화는, 크랙리스 상태가 갖는 내부 응력의 개방에 의해 발생한다고 생각된다.

(비교예 1)

도 8을 참조하여, 본 비교예의 날끝(59)의 정점(PP)은, 4개의 면(SE1∼SE4)이 합류하는 개소에 형성되어 있다. 정점(PP)에서는 4개의 능선(PS1∼PS4)이 형성되어 있다. 이 경우, 도 4의 공정에 있어서, 유리 기판(4)의 상면(SF1)의 가장자리(ED)를, 능선(PS1∼PS4) 중 어느 하나로 잘라내릴 수 있다. 따라서, 본 실시 형태와 동일하게, 크랙 라인(CL)이 확실하게 형성되기 쉬운 장점이 있다. 한편으로, 날끝(59)의 형성에 높은 가공 정밀도가 필요해지고, 따라서 그 형성이 용이하지 않다는 단점이 있다. 왜냐하면, 본 비교예와 같이 면(SE1∼SE4)이 합류하는 개소에 의해 날끝의 정점(PP)이 형성되는 경우는, 이들 중 3개의 면이 합류하는 점을 통과하도록, 남는 1개의 면의 위치를 맞출 필요가 있기 때문이다.

(비교예 2)

본 비교예에 있어서는, 날끝(51)의 슬라이딩 방향이, 방향(DB)(도 1)과 반대인 것으로 한다. 이 경우, 도 4의 공정에 있어서, 유리 기판(4)의 상면(SF1)의 가장자리(ED)를, 능선(PS)이 아니라 천면(SD1)이 잘라내린다. 즉, 잘라내릴 때, 상기 본 실시 형태에 있어서는 예리한 능선(PS)이 작용하는데 대하여, 본 비교예에 있어서는, 평탄한 천면(SD1)이 작용한다. 이 때문에 본 비교예에 있어서는, 크랙 라인(CL)의 형성 개시의 계기가 되는 미세한 파괴가 발생하기 어려워진다. 따라서 크랙 라인(CL)이 확실하게는 형성되기 어려워진다.

(효과)

본 실시 형태에 의하면, 첫째로, 날끝(51)을 용이하게 준비할 수 있다. 왜냐하면, 상기 비교예 1과는 달리, 날끝(51)의 정점이, 천면(SD1), 측면(SD2) 및 측면(SD3)의 3개의 면이 합류하는 개소로서 형성되기 때문이다. 가령, 3개를 초과하는 면이 합류하는 개소에 의해 날끝의 정점이 형성되는 경우, 3개의 면이 합류하는 점을 통과하도록, 남는 면의 위치를 맞출 필요가 있다. 이 때문에, 높은 가공 정밀도가 필요해진다. 이에 대하여, 3개의 면이 합류하는 개소에 의해 날끝의 정점이 형성되는 경우, 그러한 높은 가공 정밀도는 필요하지 않다. 둘째로, 트렌치 라인(TL)을 따른 크랙 라인(CL)을 보다 확실하게 형성할 수 있다. 왜냐하면, 상기 비교예 2와는 달리, 트렌치 라인(TL)의 형성을 위해 슬라이딩된 날끝(51)의 능선(PS)이, 유리 기판(4)의 상면(SF1)의 가장자리(ED)를 잘라내리기 때문이다. 이 잘라내림에 의해, 크랙 라인(CL)의 형성 개시의 계기가, 높은 확실성으로 얻어진다.

＜실시 형태 2＞

다시 도 4를 참조하여, 본 실시 형태에 있어서는, 유리 기판(4)의 상면(SF1) 상에 있어서 날끝(51)이 슬라이딩되는 위치에, 윤활제가 공급된다. 환언하면, 트렌치 라인(TL)(도 4)을 형성하는 공정(도 3：스텝 S30)은, 도 9에 나타내는 바와 같이, 윤활제를 공급하는 스텝 S31과, 윤활제가 공급된 위치에 있어서 날끝(51)이 슬라이딩되는 스텝 S32를 포함한다. 스텝 S31을 실시하기 위해서는, 예를 들면, 생크(52)(도 1)에 윤활제 공급부(도시하지 않음)가 형성되면 좋다. 또한, 이들 이외의 구성에 대해서는, 전술한 실시 형태 1의 구성과 거의 동일하기 때문에, 그 설명을 반복하지 않는다. 또한 스텝 S31은, 후술하는 실시 형태 3∼5에도 적용 가능하다.

본 실시 형태에 있어서는, 실시 형태 1과 동일하게, 날끝(51)의 진행 방향으로서 방향(DB)(도 1)이 선택되어 있다. 날끝(51)으로의 하중이 동일한 조건하에서는, 방향(DB)으로의 슬라이딩은, 그 역방향으로의 슬라이딩에 비하여, 날끝(51)으로의 손상이 커지기 쉽다. 본 실시 형태에 의하면, 이 손상을 효과적으로 억제할 수 있다. 이에 따라, 날끝의 수명을 늘릴 수 있다.

＜실시 형태 3＞

도 10을 참조하여, 스텝 S10(도 3)에서, 상기 실시 형태 1과 동일한 유리 기판(4)이 준비된다. 단 본 실시 형태에 있어서는, 유리 기판(4)의 상면(SF1) 상에 어시스트 라인(AL)이 형성되어 있다. 도 11을 참조하여, 어시스트 라인(AL)은, 어시스트 트렌치 라인(TLa)과, 어시스트 크랙 라인(CLa)을 갖는다. 어시스트 트렌치 라인(TLa)은 홈 형상을 갖는다. 어시스트 크랙 라인(CLa)은, 두께 방향(DT)에 있어서의 유리 기판(4)의 크랙이 어시스트 트렌치 라인(TLa)을 따라서 연장됨으로써 구성되어 있다.

본 실시 형태에 있어서는, 어시스트 라인(AL)은 유리 기판(4)의 상면(SF1)에, 어시스트 트렌치 라인(TLa) 및 어시스트 크랙 라인(CLa)을 동시에 형성하는 공정에 의해 형성된다. 이러한 어시스트 라인(AL)은, 통상의 전형적인 스크라이브 방법에 의해 형성될 수 있다. 예를 들면, 이러한 어시스트 라인(AL)은, 도 10의 화살표에 나타내는 바와 같이, 날끝이 유리 기판(4)의 상면(SF1)의 가장자리(ED)에 올라앉고, 그리고 상면(SF1) 상을 이동함으로써 행할 수 있다. 올라앉을 때의 충격에 의해 미세한 크랙이 발생함으로써, 어시스트 트렌치 라인(TLa) 형성시에, 어시스트 크랙 라인(CLa)을 동시에 형성하는 것이, 용이하게 가능하다. 이 날끝은, 올라앉을 때의 날끝 및 유리 기판(4)으로의 손상을 억제하기 위해서, 날끝(51)의 형상과는 상이한, 올라앉기에 적합한 형상을 갖는 것인 것이 바람직하다. 구체적으로는, 날끝은, 회전 운동 가능하게 보유 지지된 것(휠형인 것)인 것이 바람직하다. 환언하면, 날끝은 유리 기판(4) 상에서 슬라이딩이 아니라 회전 운동하는 것인 것이 바람직하다. 또한, 어시스트 라인(AL)의 기점은, 도 10에 있어서는 가장자리(ED)이지만, 가장자리(ED)로부터 떨어져 있어도 좋다.

다음으로 스텝 S20(도 3)에서, 실시 형태 1과 동일한 날끝(51)이 준비된다. 또한, 전술한 어시스트 라인(AL)용의 날끝의 준비를 용이하게 하기 위해, 상기의 어시스트 라인(AL)이 이 날끝(51)을 이용하여 형성되어 있어도 좋다. 혹은, 날끝(51)의 형상과 동일한 형상을 갖는 날끝을 이용하여 상기의 어시스트 라인(AL)이 형성되어 있어도 좋다.

도 12를 참조하여, 다음으로, 스텝 S30(도 3)에서 트렌치 라인(TL)이 형성된다. 구체적으로는, 이하의 공정이 행해진다.

우선 실시 형태 1과 동일한 동작이 행해진다. 구체적으로는, 상면(SF1)에 날끝(51)(도 1)의 정점(PP)이 위치 N1에서 밀어붙여진다. 다음으로, 밀어붙여진 날끝(51)이 유리 기판(4)의 상면(SF1) 상에서 방향(DB)(도 1)으로 슬라이딩된다(도 12의 화살표 참조). 이에 따라 상면(SF1) 상에 트렌치 라인(TL)이 크랙리스 상태로 형성된다.

본 실시 형태에 있어서는, 트렌치 라인(TL)의 형성은, 위치(N1) 및 위치(N3a)의 사이에서, 위치(N1)로부터 위치(N2)를 경유하여 위치(N3a)로 날끝(51)을 슬라이딩시킴으로써 행해진다. 위치(N3a)는 어시스트 라인(AL) 상에 배치되어 있다. 위치(N2)는, 위치(N1)와 위치(N3a)의 사이에 배치되어 있다. 바람직하게는, 날끝(51)은, 어시스트 라인(AL)상의 위치(N3a)를 넘어 추가로 위치(N4)까지 슬라이딩된다. 위치(N4)는 가장자리(ED)로부터 떨어져 있는 것이 바람직하다.

트렌치 라인(TL)을 형성하기 위해 상기와 같이 슬라이딩된 날끝(51)은, 위치(N3a)에 있어서 어시스트 라인(AL)과 교차한다. 따라서 날끝(51)의 능선(PS)(도 1)도 어시스트 라인(AL)과 교차한다. 이 교차에 의해 위치(N3a)에 미세한 파괴가 발생한다. 이 파괴를 기점으로 하여, 트렌치 라인(TL) 부근의 내부 응력을 해방하도록 크랙이 발생한다. 구체적으로는, 어시스트 라인(AL) 상에 위치하는 위치(N3a)로부터 트렌치 라인(TL)을 따라, 두께 방향(DT)에 있어서의 유리 기판(4)의 크랙이 신전된다(도 13의 화살표 참조). 환언하면, 크랙 라인(CL)(도 13)의 형성이 개시된다. 이에 따라, 스텝 S50(도 3)으로서, 위치(N3a)로부터 위치(N1)로 크랙 라인(CL)이 형성된다. 크랙 라인(CL)의 형성 후는, 실시 형태 1과 동일하게, 크랙 라인(CL)에 의해 트렌치 라인(TL)의 하방에 있어서 유리 기판(4)은 트렌치 라인(TL)과 교차하는 방향에 있어서 연속적인 연결이 끊어져 있다.

날끝(51)은, 위치(N3a)에 도달한 후, 유리 기판(4)으로부터 떼어진다. 바람직하게는, 날끝(51)은, 위치(N3a)를 넘어 위치(N4)까지 슬라이딩한 후, 유리 기판(4)으로부터 떼어진다.

다음으로, 스텝 S60(도 3)에서, 실시 형태 1과 동일하게, 크랙 라인(CL)을 따라 유리 기판(4)이 분단된다. 이상에 의해 본 실시 형태의 유리 기판(4)의 분단 방법이 행해진다.

본 실시 형태에 의하면, 첫째로, 실시 형태 1과 동일한 이유로, 날끝(51)을 용이하게 준비할 수 있다. 둘재로, 실시 형태 1과 동일하게, 트렌치 라인(TL)을 따른 크랙 라인(CL)을 보다 확실하게 형성할 수 있다. 왜냐하면, 트렌치 라인(TL)의 형성을 위해서 슬라이딩된 날끝(51)의 능선(PS)이, 유리 기판(4)의 상면(SF1)에 형성된 어시스트 라인(AL)과, 슬라이딩된 날끝(51)의 정점에 의해 형성된 트렌치 라인(TL)이 교차하는 위치(N3a)(도 12)로, 국소적으로 응력을 인가하기 때문이다. 이 응력 인가에 의해, 크랙 라인(CL)의 형성 개시의 계기가, 높은 확실성으로 얻어진다.

＜실시 형태 4＞

본 실시 형태에 있어서는, 실시 형태 3과 달리, 어시스트 라인(AL)(도 11 및 도 12)이 갖는 어시스트 트렌치 라인(TLa) 및 어시스트 크랙 라인(CLa)의 각각이, 실시 형태 1에서 설명된 트렌치 라인(TL) 및 크랙 라인(CL)의 형성 방법과 유사한 방법에 의해 형성된다. 이하, 이 방법에 대해서 구체적으로 설명한다.

우선, 어시스트 라인(AL)의 형성에 이용되는 날끝이 준비된다. 이 날끝은, 날끝(51)(도 1 및 도 2)과 동일해도 좋다. 즉, 어시스트 라인(AL)의 형성과, 그 후에 형성되는 트렌치 라인(TL)의 형성이, 공통의 날끝(51)에 의해 행해져도 좋다. 혹은, 어시스트 라인(AL)의 형성을 위한 날끝으로서, 날끝(51)과는 다른 날끝(이하, 「어시스트 날끝」이라고 칭함)이 준비되어도 좋다. 어시스트 날끝은, 날끝(51)(도 1 및 도 2)의 형상과 동일한 형상을 가져도 좋다. 혹은, 어시스트 날끝은, 날끝(51)의 형상과 상이한 형상을 가져도 좋다. 어시스트 날끝이 날끝(51)의 형상과 상이한 형상을 갖고 있는 경우에 있어서도, 어시스트 날끝은, 정점(PP) 및 능선(PS)을 형성하는 천면(SD1), 측면(SD2) 및 측면(SD3)의 구성을 갖고, 전술한 형상의 상위는, 이들 구성간의 배치의 상위에 의한 것인 것이 바람직하다. 여기에서 고려되고 있는 날끝의 「형상」은, 날끝 중, 정점(PP) 근방의 부분, 즉 유리 기판(4)으로의 작용 부분의 형상이고, 이 작용 부분으로부터 떨어진 부분의 형상은, 통상, 중요하지 않다. 이하에 있어서, 설명을 장황하게 하지 않기 위해, 어시스트 라인(AL)의 형성에 이용되는 날끝을, 그것이 날끝(51)인지 혹은 어시스트 날끝인지에 상관없이, 간단히 「날끝」이라고 칭하는 경우가 있다.

도 14를 참조하여, 다음으로, 트렌치 라인(TL)의 형성(도 4)과 유사한 방법에 의해, 어시스트 트렌치 라인(TLa)이 크랙리스 상태로 형성된다. 도 15를 참조하여, 다음으로, 트렌치 라인(TL)을 따른 크랙 라인(CL)의 형성 방법(도 6)과 유사한 방법에 의해, 어시스트 트렌치 라인(TLa)(도 14)을 따른 어시스트 트렌치 라인(TLa)이 형성된다. 이상에 의해, 어시스트 라인(AL)(도 11)이 형성된다.

다음으로, 실시 형태 3과 동일하게, 스텝 S30 및 S50(도 3)에서, 트렌치 라인(TL)(도 12) 및 크랙 라인(CL)(도 13)이 형성되고, 스텝 S60(도 3)에서, 크랙 라인(CL)을 따라 유리 기판(4)이 분단된다. 이상에 의해 본 실시 형태의 유리 기판(4)의 분단 방법이 행해진다.

본 실시 형태에 있어서는, 트렌치 라인(TL)(도 12)의 형성에 있어서 날끝(51)에 인가되는 하중은, 어시스트 트렌치 라인(TLa)(도 14)의 형성에 있어서 날끝에 인가되는 하중에 비해 커진다. 본 발명자의 실험적인 검토에 의하면, 이와 같이 하중에 차이를 형성함으로써, 크랙 라인(CL)을 보다 확실하게 발생시킬 수 있다.

바람직하게는, 트렌치 라인(TL)(도 12)의 형성에 있어서의 각도(AG2)(도 1)는, 어시스트 트렌치 라인(TLa)의 형성에 있어서의 각도(AG2)(도 1)보다도 작아진다. 이러한 각도 관계가 이용됨으로써, 특히, 어시스트 트렌치 라인(TLa)의 형성을 위한 날끝이, 날끝(51), 또는, 날끝(51)의 형상과 동일한 형상을 갖는 어시스트 날끝인 경우라도, 전술한 하중의 차이를 설정하기 쉽다. 이 이유는, 날끝의 형상이 동일한 경우, 각도(AG2)가 작을수록, 트렌치 라인(TL)(또는 어시스트 트렌치 라인(TLa))을 크랙리스 상태에서 형성 가능한 하중이 커지기 때문이다. 트렌치 라인(TL)의 형성에 있어서, 각도(AG2)가 지나치게 크면, 트렌치 라인(TL)을 크랙리스 상태에서 형성하는 것과, 어시스트 트렌치 라인(TLa)의 형성시의 하중보다도 큰 하중을 이용하는 것을 양립시키는 것이 곤란해진다. 이에 대하여, 트렌치 라인(TL)(도 12)의 형성에 있어서의 각도(AG2)(도 1)가, 어시스트 트렌치 라인(TLa)의 형성에 있어서의 각도(AG2)(도 1)보다도 작아지는 경우, 트렌치 라인(TL)의 형성에 있어서, 어시스트 트렌치 라인(TLa)의 형성시의 하중보다도 큰 하중을 이용하는 것이 용이해진다. 따라서, 트렌치 라인(TL)을 위한 날끝(51)에 고하중에 적합한 날끝 설계를 적용하고, 또한, 어시스트 트렌치 라인(TLa)을 위한 날끝에 저하중에 적합한 날끝 설계를 적용한다는 배려가 불필요해진다. 따라서, 어시스트 트렌치 라인(TLa)의 형성에 있어서, 트렌치 라인(TL)의 형성에 이용되는 날끝(51), 또는 그 형상과 동일한 형상을 갖는 어시스트 날끝을 이용할 수 있다.

전술한 바와 같이 각도(AG2)(도 1)에 차이가 형성되는 경우, 어시스트 트렌치 라인(TLa)을 형성하기 위한 날끝으로서, 트렌치 라인(TL)을 형성하기 위한 날끝(51)과는 별도로, 어시스트 날끝이 준비되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 날끝(51)의 각도(AG2)가 트렌치 라인(TL)의 형성에 적합한 것이 되는 상태에서 날끝(51)의 자세를 고정해 둘 수 있다. 환언하면, 어시스트 트렌치 라인(TLa)의 형성 공정과 트렌치 라인(TL)의 형성 공정의 사이에서, 각도(AG2)의 최적화를 위한 날끝(51)의 자세 조정이 불필요해진다.

＜실시 형태 5＞

도 16 및 도 17을 참조하여, 본 실시 형태에 있어서는, 트렌치 라인(TL)의 형성에 있어서는 날끝(51)이 이용되고, 어시스트 트렌치 라인(TLa)의 형성에 있어서는, 실시 형태 4에서 설명된 어시스트 날끝으로서, 어시스트 날끝(51a)이 이용된다. 날끝(51)의 형상과, 어시스트 날끝(51a)의 형상은, 서로 상위하다. 예를 들면, 정점(PP)(도 2 참조)의 근방에 있어서 날끝(51) 및 어시스트 날끝(51a)의 각각은, 능선(PS)에 수직인 단면에 있어서의 능선(PS)의 각도(AP 및 APa)를 갖고, 각도(AP)는 각도(APa)보다도 크다. 또한, 이들 이외의 구성에 대해서는, 전술한 실시 형태 4의 구성과 거의 동일하기 때문에, 그 설명을 반복하지 않는다.

본 실시 형태에 의하면, 어시스트 트렌치 라인(TLa)의 형성시와, 트렌치 라인(TL)의 형성시에, 상이한 형상을 갖는 날끝이 이용된다. 이에 따라, 날끝의 형상으로서, 어시스트 트렌치 라인(TLa) 및 트렌치 라인(TL)의 각각의 형성에 있어서, 상대적으로 저하중에 적합한 것 및 고하중에 적합한 것을 이용할 수 있다. 따라서, 어시스트 트렌치 라인(TLa) 및 트렌치 라인(TL)의 형성시에 크랙리스 상태를 보다 확실하게 얻을 수 있고, 또한, 어시스트 트렌치 라인(TLa) 및 트렌치 라인(TL)의 각각으로부터 어시스트 크랙 라인(CLa) 및 크랙 라인(CL)을 보다 확실하게 발생시킬 수 있다.

또한 상기 각 실시 형태에 있어서는 상면(SF1)의 가장자리가 장방 형상인 경우에 대해서 도시되어 있지만, 다른 형상이 이용되어도 좋다. 또한 상면(SF1)이 평탄한 경우에 대해서 설명했지만, 상면은 만곡하고 있어도 좋다. 또한 트렌치 라인(TL)이 직선 형상인 경우에 대해서 설명했지만, 트렌치 라인(TL)은 곡선 형상이라도 좋다. 또한 취성 기판으로서 유리 기판(4)이 이용되는 경우에 대해서 설명했지만, 취성 기판은, 유리 이외의 취성 재료로 만들어져 있어도 좋고, 예를 들면, 세라믹스, 실리콘, 화합물 반도체, 사파이어 또는 석영으로 만들어질 수 있다.

ED : 가장자리
AL : 어시스트 라인
CL : 크랙 라인
SD1 : 천면(제1면)
SD2 : 측면(제2면)
SD3 : 측면(제3면)
SF, SF1 : 상면(하나의 면)
PP : 정점
TL : 트렌치 라인
PS : 능선
CLa : 어시스트 크랙 라인
TLa : 어시스트 트렌치 라인
4 : 유리 기판(취성 기판)
51 : 날끝
51a : 어시스트 날끝

Claims (8)

1. a) 하나의 면과, 상기 하나의 면에 수직인 두께 방향을 갖는 취성 기판을 준비하는 공정을 구비하고, 상기 하나의 면 상에는, 홈 형상을 갖는 어시스트 트렌치 라인과, 상기 두께 방향에 있어서의 상기 취성 기판의 크랙이 상기 어시스트 트렌치 라인을 따라 연장됨으로써 구성된 어시스트 크랙 라인을 갖는 어시스트 라인이 형성되어 있고, 추가로
   b) 제1면과, 상기 제1면과 서로 이웃하는 제2면과, 상기 제2면과 서로 이웃함으로써 능선을 이루고 또한 상기 제1면 및 상기 제2면의 각각과 서로 이웃함으로써 정점을 이루는 제3면을 갖는 날끝을 준비하는 공정을 구비하고, 추가로
   c) 상기 취성 기판의 상기 하나의 면 상에서 상기 날끝을 상기 능선으로부터 상기 제1면으로 향하는 방향으로 슬라이딩시킴으로써, 홈 형상을 갖는 트렌치 라인을 소성 변형에 의해 상기 취성 기판의 상기 하나의 면 상에 형성하는 공정을 구비하고, 상기 트렌치 라인은, 상기 트렌치 라인의 하방에 있어서 상기 취성 기판이 상기 트렌치 라인과 교차하는 방향에 있어서 연속적으로 연결되어 있는 상태인 크랙리스 상태가 얻어지도록 형성되고, 추가로
   d) 상기 공정 c)에 의해 슬라이딩된 상기 날끝의 상기 능선이 상기 취성 기판의 상기 하나의 면 상에 형성된 상기 어시스트 라인과 교차함으로써, 상기 어시스트 라인으로부터 상기 트렌치 라인을 따라 상기 두께 방향에 있어서의 상기 취성 기판의 크랙을 신전시킴으로써, 크랙 라인을 형성하는 공정을 구비하고, 상기 크랙 라인에 의해 상기 트렌치 라인의 하방에 있어서 상기 취성 기판은 상기 트렌치 라인과 교차하는 방향에 있어서 연속적인 연결이 끊어져 있고, 추가로
   e) 상기 크랙 라인을 따라 상기 취성 기판을 분단하는 공정을 구비하며,
   상기 공정 a)는,
   a1) 상기 날끝 및 어시스트 날끝 중 어느 것을 준비하는 공정을 포함하고, 상기 어시스트 날끝은, 제1면과, 상기 제1면과 서로 이웃하는 제2면과, 상기 제2면과 서로 이웃함으로써 능선을 이루고 또한 상기 제1면 및 상기 제2면의 각각과 서로 이웃함으로써 정점을 이루는 제3면을 갖고, 추가로
   a2) 상기 날끝 및 상기 어시스트 날끝 중 어느 것을 상기 취성 기판의 상기 하나의 면 상에서 상기 능선으로부터 상기 제1면으로 향하는 방향으로 슬라이딩시킴으로써, 상기 어시스트 트렌치 라인을 소성 변형에 의해 상기 취성 기판의 상기 하나의 면 상에 형성하는 공정을 포함하고, 상기 어시스트 트렌치 라인은, 상기 어시스트 트렌치 라인의 하방에 있어서 상기 취성 기판이 상기 어시스트 트렌치 라인과 교차하는 방향에 있어서 연속적으로 연결되어 있는 상태인 크랙리스 상태가 얻어지도록 형성되고, 추가로
   a3) 상기 어시스트 트렌치 라인을 따라 상기 두께 방향에 있어서의 상기 취성 기판의 크랙을 신전시킴으로써, 상기 어시스트 크랙 라인을 형성하는 공정을 포함하고, 상기 어시스트 크랙 라인에 의해 상기 어시스트 트렌치 라인의 하방에 있어서 상기 취성 기판은 상기 트렌치 라인과 교차하는 방향에 있어서 연속적인 연결이 끊어져 있고,
   상기 공정 c)에 있어서 상기 날끝에 인가되는 하중은, 상기 공정 a2)에 있어서 상기 날끝 및 상기 어시스트 날끝 중 어느 것에 인가되는 하중에 비하여 큰,
   취성 기판의 분단 방법.
2. 제1항에 있어서,
   상기 공정 a2)에 있어서, 상기 날끝의 형상과 상이한 형상을 갖는 상기 어시스트 날끝이 슬라이딩되는 취성 기판의 분단 방법.
3. 제1항에 있어서,
   상기 공정 c)에 있어서 상기 날끝의 상기 제1면이 상기 취성 기판의 상기 하나의 면과 이루는 각도는, 상기 공정 a2)에 있어서 상기 날끝 및 상기 어시스트 날끝 중 어느 것의 상기 제1면이 상기 취성 기판의 상기 하나의 면과 이루는 각도보다도 작은 취성 기판의 분단 방법.
4. 제3항에 있어서,
   상기 공정 a2)에 있어서, 상기 날끝과, 상기 날끝의 형상과 동일한 형상을 갖는 상기 어시스트 날끝 중 어느 것이 슬라이딩되는 취성 기판의 분단 방법.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 공정 c)는, 상기 취성 기판의 상기 하나의 면 상에 있어서 상기 날끝이 슬라이딩하게 되는 위치에 윤활제를 공급하는 공정을 포함하는 취성 기판의 분단 방법.
6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제

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