KR101978789B1 - 표시장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 표시장치용 어레이 기판은, 표시영역과 비표시영역이 정의된 기판과; 상기 기판 상부에 형성된 제1 게이트 전극과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드와; 상기 제1 게이트 전극과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드 상부의 버퍼층과; 상기 제1 게이트 전극에 대응하는 상기 버퍼층 상부의 산화물 반도체층과; 상기 산화물 반도체층 상부의 게이트 절연막과; 상기 게이트 절연막 상부의 제2 게이트 전극과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드와; 상기 제2 게이트 전극과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드 상부의 층간 절연막과; 상기 층간 절연막 상부의 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선과; 상기 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선 상부의 보호층과; 상기 표시영역의 상기 보호층 상부에 형성되고 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 화소 전극을 포함하고, 상기 제1 및 제2 게이트 전극은 상기 표시영역에 위치하고 상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 비표시영역에 위치하며, 상기 제1 및 제2 게이트 전극은 상기 제1 및 제2 연결 패드 연결을 통해 전기적으로 접속된다.
Description
본 발명은 표시장치용 어레이 기판에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 차광 구조를 갖는 표시장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 액정표시장치(liquid crystal display device), 플라즈마표시장치(plasma display panel device), 유기전기발광표시장치(organic electroluminescent display device)와 같은 평판표시장치(flat panel display)가 널리 개발되어 다양한 분야에 적용되고 있다.
평판표시장치는 수동행렬방식(passive matrix type)과 능동행렬방식(active matrix type)으로 나누어지는데, 다수의 화소가 매트릭스 형태로 배치되고, 각 화소에는 스위칭 소자와 화소 전극이 형성되며, 각 화소에 인가되는 데이터 신호는 스위칭 소자에 의하여 제어되는 능동행렬방식이 널리 사용된다.
이러한 능동행렬방식 표시장치는 스위칭 소자로 박막 트랜지스터(thin film transistor: TFT)와, 박막 트랜지스터에에 신호를 공급하기 위한 게이트 배선 및 데이터 배선이 형성된 어레이 기판을 포함한다.
박막 트랜지스터는 주로 비정질 실리콘(amorphous silicon)을 액티브층으로 포함하는데, 최근 대면적 및 고해상도의 표시장치가 요구됨에 따라, 보다 빠른 신호처리속도와 함께 안정된 작동 및 내구성이 확보된 박막 트랜지스터의 필요성이 대두되고 있으나, 비정질 실리콘 박막트랜지스터는 이동도(mobility)가 1cm2/Vsec 이하이므로, 대면적 및 고해상도의 표시장치에 사용되기에 부족한 면이 부각되었다.
이에 따라, 이동도 및 오프전류 등의 전기적 특성이 우수한 산화물 반도체 물질을 액티브층으로 포함하는 산화물 박막 트랜지스터에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
이러한 산화물 박막 트랜지스터를 포함하는 표시장치용 어레이 기판에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 종래의 산화물 박막 트랜지스터를 포함하는 표시장치용 어레이 기판의 평면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 기판(10) 상부에 버퍼층(20)이 형성되고, 버퍼층(20) 상부에 산화물 반도체층(22)이 형성된다. 산화물 반도체층(22) 상부의 중앙에는 게이트 절연층(30)이 형성되고, 게이트 절연층(30) 상부에는 게이트 전극(32)이 형성된다.
게이트 전극(32) 상부에는 층간 절연막(40)이 형성되며, 층간 절연막(40)은 산화물 반도체층(22)의 양측 상면을 노출하는 제1 및 제2 콘택홀(40a, 40b)을 가진다.
층간 절연막(40) 상부에는 서로 이격되어 있는 소스 및 드레인 전극(52, 54)이 형성된다. 소스 및 드레인 전극(52, 54)은 각각 제1 및 제2 콘택홀(40a, 40b)을 통해 산화물 반도체층(22)의 양측과 접촉한다.
산화물 반도체층(22)과 게이트 전극(32), 그리고 소스 및 드레인 전극(52, 54)은 박막 트랜지스터를 이룬다.
소스 및 드레인 전극(52, 54) 상부에는 보호층(60)이 형성되는데, 보호층(60)은 드레인 전극(54)을 노출하는 드레인 콘택홀(60a)을 가진다.
보호층(60) 상부에는 화소 전극(72)이 형성되고, 화소 전극(72)은 드레인 콘택홀(60a)을 통해 드레인 전극(54)과 접촉한다.
여기서, 산화물 박막 트랜지스터는 액티브층인 산화물 반도체층(22)이 하부에 형성되고 게이트 전극(32)이 상부에 형성되며, 산화물 반도체층(22)의 일측에 게이트 전극(32)과 소스 및 드레인 전극(52, 54)이 위치하는 탑 게이트형 코플라나(top gate type coplanar) 구조를 가진다. 탑 게이트형 코플라나 구조의 산화물 박막 트랜지스터는 버텀 게이트형 에치 스타퍼(bottom gate type etch stopper) 구조의 산화물 박막 트랜지스터에 비해 기생 용량이 작고 전류 특성이 우수하다.
이러한 구조의 어레이 기판을 액정표시장치에 적용할 경우, 기판(10) 하부에는 백라이트 유닛이 배치되어 빛을 공급하고, 유기전기발광소자에 적용할 경우, 기판(10) 하부에 원형 편광판이 배치되어 하부 발광 방식(bottom emission type)으로 사용될 수 있다.
그런데, 이러한 구조의 어레이 기판에서는 산화물 반도체층(22)이 게이트 전극(32) 하부에 위치하므로, 액정표시장치에 적용할 경우, 백라이트 유닛의 빛에 의해 산화물 반도체층(22)이 영향을 받고, 유기전기발광소자에 적용할 경우, 원형 편광판을 통해 외부에서 유입되는 빛에 의해 산화물 반도체층(22)이 영향을 받아, 박막 트랜지스터의 특성이 변동되어 신뢰성이 저하된다.
본 발명은, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 제시된 것으로, 차광 구조를 통해 박막 트랜지스터의 전기적 특성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있는 표시장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 차광 구조를 포함하면서 개구율 저하를 최소화하여 품질 향상 및 수명을 개선할 수 있는 표시장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 표시영역과 비표시영역이 정의된 기판과; 상기 기판 상부에 형성된 제1 게이트 전극과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드와; 상기 제1 게이트 전극과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드 상부의 버퍼층과; 상기 제1 게이트 전극에 대응하는 상기 버퍼층 상부의 산화물 반도체층과; 상기 산화물 반도체층 상부의 게이트 절연막과; 상기 게이트 절연막 상부의 제2 게이트 전극과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드와; 상기 제2 게이트 전극과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드 상부의 층간 절연막과; 상기 층간 절연막 상부의 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선과; 상기 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선 상부의 보호층과; 상기 표시영역의 상기 보호층 상부에 형성되고 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 화소 전극을 포함하고, 상기 제1 및 제2 게이트 전극은 상기 표시영역에 위치하고 상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 비표시영역에 위치하며, 상기 제1 및 제2 게이트 전극은 상기 제1 및 제2 연결 패드 연결을 통해 전기적으로 접속되는 표시장치용 어레이 기판을 제공한다.
상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 화소 전극과 동일물질로 동일층에 형성되는 연결 패턴을 통해 연결된다.
이때, 상기 보호층은 상기 제1 및 제2 연결 패드를 각각 노출하는 제1 및 제2 패드 콘택홀을 포함한다.
또는, 상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 소스 및 드레인 전극과 동일물질로 동일층에 형성되는 연결 패턴을 통해 연결된다.
이때, 상기 층간 절연막은 상기 제1 및 제2 연결 패드를 각각 노출하는 제1 및 제2 패드 콘택홀을 포함한다.
여기서, 상기 제1 및 제2 연결 패드는 이격되어 위치한다.
또는, 상기 제1 및 제2 연결 패드는 중첩한다.
또는, 상기 제1 및 제2 연결 패드는 중첩하며 직접 접촉한다.
이때, 상기 버퍼층은 상기 제1 연결 패드를 노출하는 패드 콘택홀을 포함한다.
한편, 상기 화소 전극과 동일물질로 동일층에 형성되고 상기 제1 및 제2 연결 패드를 덮는 보호 패턴을 더 포함한다.
상기 제1 게이트 배선은 상기 제2 게이트 배선과 중첩하며 상기 제2 게이트 배선보다 좁거나 같은 폭을 가진다.
상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 제1 및 제2 게이트 배선 각각의 양끝단에 연결된다.
또한, 본 발명은, 표시영역과 비표시영역이 정의된 기판 상에 제1 게이트 전극과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드를 형성하는 단계와; 상기 제1 게이트 전극과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드 상부에 버퍼층을 형성하는 단계와; 상기 제1 게이트 전극에 대응하는 상기 버퍼층 상부에 산화물 반도체층을 형성하는 단계와; 상기 산화물 반도체층 상부에 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막 상부에 제2 게이트 전극과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드를 형성하는 단계와; 상기 제2 게이트 전극과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드 상부에 층간 절연막을 형성하는 단계와; 상기 층간 절연막 상부에 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선 상부에 보호층을 형성하는 단계와; 상기 표시영역의 상기 보호층 상부에 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 및 제2 게이트 전극은 상기 표시영역에 위치하고 상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 비표시영역에 위치하며, 상기 제1 및 제2 게이트 전극은 상기 제1 및 제2 연결 패드 연결을 통해 전기적으로 접속되는 표시장치용 어레이 기판의 제조 방법을 제공한다.
상기 화소 전극을 형성하는 단계는 상기 비표시영역에 연결 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 연결 패턴을 통해 연결된다.
또는, 상기 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선을 형성하는 단계는 상기 비표시영역에 연결 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 연결 패턴을 통해 연결된다.
또는, 상기 제1 및 제2 연결 패드는 중첩하며 직접 접촉한다.
이때, 상기 화소 전극을 형성하는 단계는 상기 제1 및 제2 연결 패드를 덮는 보호 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 표시장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법에서는, 탑 게이트형 코플라나 구조의 박막 트랜지스터에 있어서 산화물 반도체층 하부에 빛을 차단하기 위한 차광 패턴을 형성하면서, 차광 패턴을 탑 게이트 전극과 전기적으로 접속한다. 따라서, 차광 패턴에도 전압이 인가되도록 함으로써 소자 특성이 불안정해지는 것을 방지하여 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 이중 게이트 전극 구조로 인해 박막 트랜지스터의 전류 특성을 증가시킬 수 있으며, 이중 게이트 전극 각각의 두께를 종래의 게이트 전극의 두께보다 작게 할 수 있으므로, 단차 문제를 방지할 수 있다.
한편, 차광 패턴과 탑 게이트 전극의 전기적 접속은 비표시영역에서의 연결을 통해 이루어지므로, 개구율이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 이를 위해 게이트 배선을 추가하여 기생 용량이 발생하지 않으며 배선 저항을 감소시킬 수 있다.
또한, 차광 패턴과 탑 게이트 전극의 전기적 접속을 게이트 배선 양끝단 모두에서 함으로써 신호 지연 편차를 방지하여 균일한 특성을 얻을 수 있다.
도 1은 종래의 산화물 박막 트랜지스터를 포함하는 표시장치용 어레이 기판의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판을 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2에서 III-III선을 따라 자른 단면도이다.
도 4a 내지 4g는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판을 제조하는 공정 중 각 단계에서의 어레이 기판을 도시한 단면도이다.
도 5a와 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 다른 예를 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 다른 예를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판을 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2에서 III-III선을 따라 자른 단면도이다.
도 4a 내지 4g는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판을 제조하는 공정 중 각 단계에서의 어레이 기판을 도시한 단면도이다.
도 5a와 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 다른 예를 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 다른 예를 도시한 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판을 도시한 평면도이고, 도 3은 도 2에서 III-III선을 따라 자른 단면도이다.
도 2와 도 3에 도시한 바와 같이, 절연 기판(110) 상부에 금속과 같은 도전성 물질로 제1 게이트 전극(112)과 제1 게이트 배선(114) 및 제1 연결 패드(116)가 형성된다. 기판(110)에는 영상을 표시하는 표시영역(DA)과 표시영역(DA)을 둘러싸는 비표시영역(NDA)이 정의된다. 제1 게이트 배선(114)은 표시영역(DA) 내에서 제1방향을 따라 연장되고, 제1 게이트 전극(112)은 제1 게이트 배선(114)과 연결되며, 표시영역(DA)에 위치한다. 제1 연결 패드(116)는 비표시영역(NDA)에 위치하며 제1 게이트 배선(114)의 각 끝단에 연결된다.
제1 게이트 전극(112)과 제1 게이트 배선(114) 및 제1 연결 패드(116) 상부 전면에는 절연물질로 버퍼층(120)이 형성된다.
제1 게이트 전극(112) 상부의 버퍼층(120) 위에는 산화물 반도체 물질로 이루어진 산화물 반도체층(122)이 형성된다. 산화물 반도체층(122)은 제1 게이트 전극(112)보다 넓은 폭을 가지며, 가운데 영역이 제1 게이트 전극(112)과 중첩한다.
산화물 반도체층(122) 상부에는 절연물질로 이루어진 게이트 절연층(130)이 형성되고, 게이트 절연층(130) 상부에는 금속과 같은 도전성 물질로 이루어진 제2 게이트 전극(132)과 제2 게이트 배선(134) 및 제2 연결 패드(136)가 형성된다. 제2 게이트 배선(134)은 표시영역(DA) 내에서 제1방향을 따라 연장되어 제1 게이트 배선(114)과 중첩하고, 제2 게이트 전극(132)은 제2 게이트 배선(134)과 연결되며, 표시영역(DA)의 제1 게이트 전극(112)과 중첩한다. 제2 게이트 전극(132)은 제1 게이트 전극(112)보다 좁은 폭을 가진다. 제2 연결 패드(136)는 비표시영역(NDA)에 위치하고 제2 게이트 배선(134)의 각 끝단에 연결되며, 제2 연결 패드(136) 중의 하나는 게이트 신호를 전달 받기 위해 게이트 패드(도시하지 않음)와 연결된다. 여기서, 제2 연결 패드(136)는 제1 연결 패드(116)와 제1방향을 따라 이격되어 위치할 수 있다.
한편, 게이트 절연층(130)은 패터닝되어 제2 게이트 전극(132)과 제2 게이트 배선(134) 및 제2 연결 패드(136)와 동일한 모양을 가질 수 있다. 또는, 게이트 절연층(130)은 기판(110) 전면에 형성될 수도 있다.
제2 게이트 전극(132)과 제2 게이트 배선(134) 및 제2 연결 패드(136) 상부에는 절연물질로 층간 절연막(140)이 형성된다. 층간 절연막(140)은 산화물 반도체층(122)의 양측 상면을 노출하는 제1 및 제2 콘택홀(140a, 140b)을 가진다. 게이트 절연층(130)이 기판(110) 전면에 형성될 경우, 제1 및 제2 콘택홀(140a, 140b)은 게이트 절연층(130) 내에도 형성된다.
층간 절연막(140) 상부에는 금속과 같은 도전성 물질로 소스 및 드레인 전극(152, 154)과 데이터 배선(156)이 형성된다. 데이터 배선(156)은 표시영역(DA) 내에서 제2방향을 따라 연장되고 제2 게이트 배선(134)과 교차하여 화소 영역을 정의한다. 소스 및 드레인 전극(152, 154)은 제2 게이트 전극(132)을 중심으로 이격되어 위치하며, 각각 제1 및 제2 콘택홀(140a, 140b)을 통해 산화물 반도체층(122)의 양측과 접촉한다. 소스 및 드레인 전극(152, 154)은 제2 게이트 전극(132)과 이격되어 있으며, 제1 게이트 전극(112)과는 중첩한다.
여기서, 제1 및 제2 게이트 전극(112, 132)과 산화물 반도체층(122), 그리고 소스 및 드레인 전극(152, 154)은 박막 트랜지스터를 이룬다.
소스 및 드레인 전극(152, 154)과 데이터 배선(156) 상부 전면에는 절연물질로 보호층(160)이 형성된다. 보호층(160)은 비표시영역(NDA)에서 제1 연결 패드(116)와 제2 연결 패드(136)를 각각 노출하는 제1 패드 콘택홀(160b)과 제2 패드 콘택홀(160c)을 가진다. 여기서, 제1 패드 콘택홀(160b)은 층간 절연막(140) 및 버퍼층(120) 내에도 형성되며, 제2 패드 콘택홀(160b)은 층간 절연막(140) 내에도 형성된다.
보호층(160) 상부에는 투명 도전 물질로 화소 전극(172)과 연결 패턴(174)이 형성된다. 화소 전극(172)은 표시영역(DA) 내의 화소 영역에 위치하며, 드레인 전극(154)과 전기적으로 연결된다. 연결 패턴(174)은 비표시영역(NDA)에 위치하며, 제1 및 제2 패드 콘택홀(160b, 160c)을 통해 제1 연결 패드(116) 및 제2 연결 패드(136)와 각각 접촉한다.
이러한 본 발명의 표시장치용 어레이 기판은 액정표시장치나 유기전기발광표시장치에 적용될 수 있다.
본 발명의 표시장치용 어레이 기판을 액정표시장치에 적용할 경우, 보호층(170)은 드레인 전극(154)을 노출하는 드레인 콘택홀을 가지며, 화소 전극(172)은 드레인 콘택홀을 통해 드레인 전극(154)과 접촉할 수 있다. 이때, 드레인 콘택홀은 제2 콘택홀(140b) 바로 위에 형성될 수 있고, 또는 제2 콘택홀(140b)과 이격되어 형성될 수도 있다.
한편, 본 발명의 표시장치용 어레이 기판을 유기전기발광표시장치에 적용될 경우, 유기전기발광표시장치는 도 2의 박막 트랜지스터를 스위칭 트랜지스터로 포함하고, 드레인 전극(154)과 연결되는 구동 트랜지스터(도시하지 않음)를 더 포함한다. 구동 트랜지스터는 스위칭 트랜지스터와 동일한 구조를 가질 수 있고, 보호층(170)은 구동 트랜지스터의 드레인 전극을 노출하는 드레인 콘택홀을 가지며, 화소 전극(172)은 드레인 콘택홀을 통해 구동 트랜지스터의 드레인 전극과 접촉할 수 있다. 이때, 드레인 콘택홀은 제2 콘택홀(140b) 바로 위에 형성될 수 있고, 또는 제2 콘택홀(140b)과 이격되어 형성될 수도 있다. 필요에 따라, 유기전기발광소자는 하나의 화소에 트랜지스터를 더 포함할 수도 있다.
본 발명에 따른 표시장치용 어레이 기판에서는, 탑 게이트형 코플라나 구조의 박막 트랜지스터에 있어서 산화물 반도체층(122) 하부에 빛을 차단하기 위한 차광 패턴을 형성하면서, 차광 패턴을 탑 게이트인 제2 게이트 전극(132)과 전기적으로 접속하여 제1 게이트 전극(112)으로 사용한다. 따라서, 차광 패턴에도 전압이 인가되도록 함으로써 소자 특성이 불안정해지는 것을 방지하여 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 제1 및 제2 게이트 전극(112, 132)의 이중 게이트(double gate) 구조로 인해 박막 트랜지스터의 전류 특성을 증가시킬 수 있다. 이때, 제1 및 제2 게이트 전극(112, 132) 각각의 두께를 종래의 게이트 전극(도 1의 32)의 두께보다 작게 할 수 있으므로, 제1 및 제2 게이트 전극(112, 132)에 의한 단차 문제를 방지할 수 있다.
한편, 제1 게이트 전극(112)과 제2 게이트 전극(132)의 전기적 접속은 비표시영역(NDA)에서의 연결을 통해 이루어지는데, 이를 위해, 제2 게이트 배선(134)과 평행하며 중첩하는 제1 게이트 배선(114)을 형성하고, 비표시영역(NDA)에 제1 및 제2 게이트 배선(114, 134)의 끝단에 각각 연결되는 제1 및 제2 연결 패드(116, 136)를 형성하여, 제1 및 제2 연결 패드(116, 136)를 전기적으로 연결한다. 따라서, 제1 게이트 전극(112)과 제2 게이트 전극(132)을 표시영역(DA)에서 전기적으로 접속할 경우 개구율이 저하될 수 있으나, 비표시영역(NDA)에서 전기적으로 접속하므로 개구율이 저하되는 것을 방지할 수 있으며, 기생 용량이 발생하지 않으며, 배선 저항을 감소시킬 수 있다. 특히, 하나의 화소에 다수의 트랜지스터를 포함하는 유기전기발광표시장치에서는 비표시영역(NDA)에서의 전기적 접속에 의해 더 큰 개구율 저하 방지 효과를 얻을 수 있다.
여기서, 제1 게이트 배선(114)의 폭은 구현 가능한 최소 선폭을 가질 수 있으며, 제2 게이트 배선(132)의 폭과 같거나 좁은 것이 바람직하다. 또한, 제1 및 제2 연결 패드(116, 136)은 제1 및 제2 게이트 배선(114, 134)의 양끝단 각각에 형성될 수 있으며, 양끝단 중 어느 하나에만 형성될 수도 있는데, 양끝단 각각에 형성하는 것이 신호 지연 방지에 유리하다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 제조 방법에 대하여 설명한다.
도 4a 내지 4g는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판을 제조하는 공정 중 각 단계에서의 어레이 기판을 도시한 단면도이다.
도 4a에 도시한 바와 같이, 영상을 표시하는 표시영역(DA)과 표시영역(DA)을 둘러싸는 비표시영역(NDA)이 정의된 절연 기판(110) 상부에 금속과 같은 도전성 물질을 스퍼터링 등의 방법으로 증착하여 제1도전물질층(도시하지 않음)을 형성한 후, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제1도전물질층을 선택적으로 제거하여 표시영역(DA)에 제1 게이트 전극(122)과 제1 게이트 배선(도시하지 않음)을 형성하고, 비표시영역(NDA)에 제1 연결 패드(116)를 형성한다.
다음, 도 4b에 도시한 바와 같이, 제1 게이트 전극(122)과 제1 게이트 배선(도시하지 않음) 및 제1 연결 패드(116) 상부 전면에 절연 물질로 버퍼층(120)을 형성한다.
이어, 버퍼층(120) 상부에 산화물 반도체 물질을 증착하여 산화물 반도체물질층(미도시)을 형성한 후, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 산화물 반도체물질층을 선택적으로 제거하여 제1 게이트 전극(112) 상부에 산화물 반도체층(122)을 형성한다. 여기서, 산화물 반도체층(122)은 제1 게이트 전극(112)보다 넓은 폭을 가진다. 한편, 산화물 반도체층(122)은 인듐-갈륨-징크-옥사이드(indium gallium zinc oxide: IGZO)나 인듐-틴-징크-옥사이드(indium tin zinc oxide: ITZO), 인듐-징크-옥사이드(indium zinc oxide: IZO), 징크-옥사이드(zinc oxide: ZnO), 인듐-갈륨-옥사이드(indium gallium oxide: IGO) 또는 인듐-알루미늄-징크-옥사이드(indium aluminum zinc oxide: IAZO) 등으로 이루어질 수 있다.
다음, 도 4c에 도시한 바와 같이, 산화물 반도체층(122) 상부에 절연물질을 화학기상증착 등의 방법으로 증착하여 절연물질층(도시하지 않음)을 형성하고 절연물질층 상부에 금속과 같은 도전성 물질을 스퍼터링 등의 방법으로 증착하여 제2도전물질층(도시하지 않음)을 형성한 후, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제2도전물질층과 절연물질층을 선택적으로 제거하여 게이트 절연층(130)과 제2 게이트 전극(132), 제2 게이트 배선(도시하지 않음) 및 제2 연결 패드(136)를 형성한다. 여기서, 제2 게이트 전극(132)과 제2 게이트 배선은 표시영역(DA)에 위치하고, 제2 연결 패드(136)는 비표시영역(NDA)에 위치한다. 제2 게이트 전극(132)은 제1 게이트 전극(112)과 중첩하는데, 제1 게이트 전극(112)보다 좁은 폭을 가져 제1 게이트 전극(132)의 가장자리는 제1 게이트 전극(112)의 가장자리 내에 위치한다. 제2 연결 패드(136)는 제1 연결 패드(116)와 이격되어 위치할 수 있다.
한편, 게이트 절연층(130)은 제2 게이트 전극(132)과 제2 게이트 배선(134) 및 제2 연결 패드(136)와 동일한 모양을 가지는데, 게이트 절연층(130)은 기판(110) 전면에 형성될 수도 있다.
이어, 도 4d에 도시한 바와 같이, 제2 게이트 전극(132)과 제2 게이트 배선(134) 및 제2 연결 패드(136) 상부에 절연물질을 증착하거나 또는 도포하여 층간 절연막(140)을 형성하고, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 층간 절연막(140)을 선택적으로 제거하여 산화물 반도체층(122)의 양측 상면을 노출하는 제1 및 제2 콘택홀(140a, 140b)을 형성한다.
다음, 도 4e에 도시한 바와 같이, 층간 절연막(140) 상부에 금속과 같은 도전성 물질을 스퍼터링 등의 방법으로 증착하여 제3도전물질층(도시하지 않음)을 형성한 후, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제3도전물질층을 선택적으로 제거하여 표시영역(DA)에 소스 전극(152)과 드레인 전극(154) 및 데이터 배선(도시하지 않음)을 형성한다. 소스 및 드레인 전극(152, 154)은 제1 게이트 전극(132)을 중심으로 서로 이격되어 있으며, 각각 제1 및 제2 콘택홀(140a, 140b)을 통해 산화물 반도체층(122)의 양측과 접촉한다. 소스 및 드레인 전극(152, 154)은 제2 게이트 전극(132)과 이격되어 있으며, 제1 게이트 전극(112)과는 중첩한다.
다음, 도 4f에 도시한 바와 같이, 소스 전극(152)과 드레인 전극(154) 및 데이터 배선 상부에 절연물질을 증착하거나 또는 도포하여 보호층(160)을 형성하고, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 층간 절연막(140) 또는 층간 절연막(140) 및 버퍼층(120)과 함께 보호층(160)을 선택적으로 제거하여 제1 패드 콘택홀(160b) 및 제2 패드 콘택홀(160c)을 형성한다. 제1 패드 콘택홀(160b) 및 제2 패드 콘택홀(160c)은 비표시영역(NDA)에 위치하여 제1 연결 패드(116)와 제2 연결 패드(136)를 각각 노출한다.
다음, 도 4g에 도시한 바와 같이, 보호층(160) 상부에 투명 도전성 물질을 스퍼터링 등의 방법으로 증착하여 투명도전물질층(도시하지 않음)을 형성하고, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 투명도전물질층을 선택적으로 제거하여 화소 전극(172)과 연결 패턴(174)을 형성한다. 화소 전극(172)은 표시영역(DA) 내의 화소 영역에 위치하며, 드레인 전극(154)과 전기적으로 연결된다. 연결 패턴(174)은 비표시영역(NDA)에 위치하며, 제1 및 제2 패드 콘택홀(160b, 160c)을 통해 제1 연결 패드(116) 및 제2 연결 패드(136)와 각각 접촉한다.
앞선 본 발명의 실시예에서는 제1 연결 패드(116)와 제2 연결 패드(136)가 제1방향을 따라 이격되어 있는 것으로 설명하였으나, 제1 연결 패드(116)와 제2 연결 패드(136)는 중첩할 수 있다.
도 5a와 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 다른 예를 도시한 평면도로, 비표시영역의 연결 패드 구조만을 도시한다.
도 5a에 도시한 바와 같이, 제1 연결 패드(116)와 제2 연결 패드(136)는 부분적으로 중첩하는 구조일 수 있다.
또는, 도 5c에 도시한 바와 같이, 제1 연결 패드(116)는 제2 연결 패드(136)보다 넓은 면적을 가지며, 제2 연결 패드(136)가 제1 연결 패드(116) 상에 놓이는 구조일 수 있다.
여기서, 제2 연결 패드(136)와 중첩하는 제1 연결 패드(116)의 부분은 제1 패드 콘택홀(160b)의 위치에 따라 결정될 수 있으며, 제1 연결 패드(116)는 제1 패드 콘택홀(160b)이 형성되는 부분을 제외하고 제2 연결 패드(136)와 중첩할 수 있다.
한편, 앞선 본 발명의 실시예에서는 연결 패턴이 화소 전극과 동일한 물질로 동일층에 형성되는 구조에 대하여 설명하였으나, 연결 패턴은 소스 및 드레인 전극과 동일한 물질로 동일층에 형성될 수도 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 단면도이다.
도 6에 도시한 바와 같이, 절연 기판(210) 상부에 금속과 같은 도전성 물질로 제1 게이트 전극(212)과 제1 게이트 배선(도시하지 않음) 및 제1 연결 패드(216)가 형성된다. 기판(210)에는 영상을 표시하는 표시영역(DA)과 표시영역(DA)을 둘러싸는 비표시영역(NDA)이 정의된다. 제1 게이트 배선은 표시영역(DA) 내에서 제1방향을 따라 연장되고, 제1 게이트 전극(212)은 제1 게이트 배선과 연결되며, 표시영역(DA)에 위치한다. 제1 연결 패드(216)는 비표시영역(NDA)에 위치하며 제1 게이트 배선의 각 끝단에 연결된다.
제1 게이트 전극(212)과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드(216) 상부 전면에는 절연물질로 버퍼층(220)이 형성된다.
제1 게이트 전극(212) 상부의 버퍼층(220) 위에는 산화물 반도체 물질로 이루어진 산화물 반도체층(222)이 형성된다. 산화물 반도체층(222)은 제1 게이트 전극(212)보다 넓은 폭을 가지며, 가운데 영역이 제1 게이트 전극(212)과 중첩한다.
산화물 반도체층(222) 상부에는 절연물질로 이루어진 게이트 절연층(230)이 형성되고, 게이트 절연층(230) 상부에는 금속과 같은 도전성 물질로 이루어진 제2 게이트 전극(232)과 제2 게이트 배선(도시하지 않음) 및 제2 연결 패드(236)가 형성된다. 제2 게이트 배선은 표시영역(DA) 내에서 제1방향을 따라 연장되어 제1 게이트 배선과 중첩하고, 제2 게이트 전극(232)은 제2 게이트 배선과 연결되며, 표시영역(DA)의 제1 게이트 전극(212)과 중첩한다. 제2 게이트 전극(232)은 제1 게이트 전극(212)보다 좁은 폭을 가진다. 제2 연결 패드(236)는 비표시영역(NDA)에 위치하고 제2 게이트 배선의 각 끝단에 연결되며, 제1 연결 패드(216)보다 작은 면적을 가지거나 제1 연결 패드(216)와 이격되어 제1 연결 패드(216) 일부의 상부에 위치하는 버퍼층(220)을 드러낸다.
한편, 게이트 절연층(230)은 패터닝되어 제2 게이트 전극(232)과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드(236)와 동일한 모양을 가질 수 있으며, 또는, 게이트 절연층(230)은 기판(210) 전면에 형성될 수도 있다.
제2 게이트 전극(232)과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드(236) 상부에는 절연물질로 층간 절연막(240)이 형성된다. 층간 절연막(240)은 표시영역(DA)에 산화물 반도체층(222)의 양측 상면을 노출하는 제1 및 제2 콘택홀(240a, 240b)을 가진다. 또한, 층간 절연막(240)은 비표시영역(NDA)에 제1 및 제2 연결 패드(216, 236)를 각각 노출하는 제1 및 제2 패드 콘택홀(240c, 240d)을 가진다. 여기서, 제1 패드 콘택홀(240c)은 버퍼층(220) 내에도 형성된다.
한편, 게이트 절연층(230)이 기판(210) 전면에 형성될 경우, 제1 및 제2 콘택홀(240a, 240b)과 제1 패드 콘택홀(240c)은 게이트 절연층(230) 내에도 형성된다.
층간 절연막(240) 상부에는 금속과 같은 도전성 물질로 소스 및 드레인 전극(252, 254)과 데이터 배선(도시하지 않음), 그리고 연결 패턴(258)이 형성된다. 데이터 배선은 표시영역(DA) 내에서 제2방향을 따라 연장되고 제2 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의한다. 소스 및 드레인 전극(252, 254)은 제2 게이트 전극(232)을 중심으로 이격되어 위치하며, 각각 제1 및 제2 콘택홀(240a, 240b)을 통해 산화물 반도체층(222)의 양측과 접촉한다. 소스 및 드레인 전극(252, 254)은 제2 게이트 전극(232)과 이격되어 있으며, 제1 게이트 전극(212)과는 중첩한다. 연결 패턴(258)은 비표시영역(NDA)에 위치하며, 제1 및 제2 패드 콘택홀(240c, 240d)을 통해 제1 연결 패드(216) 및 제2 연결 패드(236)와 각각 접촉한다.
여기서, 제1 및 제2 게이트 전극(212, 232)과 산화물 반도체층(222), 그리고 소스 및 드레인 전극(252, 254)은 박막 트랜지스터를 이룬다.
소스 및 드레인 전극(252, 254)과 데이터 배선, 그리고 연결 패턴(258) 상부 전면에는 절연물질로 보호층(260)이 형성된다.
보호층(260) 상부에는 투명 도전 물질로 화소 전극(272)이 형성된다. 화소 전극(272)은 표시영역(DA) 내의 화소 영역에 위치하며, 드레인 전극(254)과 전기적으로 연결된다.
이러한 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판은 앞선 실시예와 동일한 평면 구조를 가질 수 있다. 즉, 도 2에 도시한 것처럼 제1 연결 패드(216)와 제2 연결 패드(236)는 제1방향을 따라 이격되어 있을 수도 있으며, 도 5a와 도 5b에 도시한 것처럼 제1 연결 패드(216)와 제2 연결 패드(236)는 중첩되어 있을 수도 있다.
한편, 앞선 본 발명의 실시예들에서는 연결 패턴을 통해 제1 및 제2 연결 패드를 전기적으로 연결하였으나, 제1 및 제2 연결 패드는 직접 연결될 수도 있다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 단면도이다.
도 7에 도시한 바와 같이, 절연 기판(310) 상부에 금속과 같은 도전성 물질로 제1 게이트 전극(312)과 제1 게이트 배선(도시하지 않음) 및 제1 연결 패드(316)가 형성된다. 기판(310)에는 영상을 표시하는 표시영역(DA)과 표시영역(DA)을 둘러싸는 비표시영역(NDA)이 정의된다. 제1 게이트 배선은 표시영역(DA) 내에서 제1방향을 따라 연장되고, 제1 게이트 전극(312)은 제1 게이트 배선과 연결되며, 표시영역(DA)에 위치한다. 제1 연결 패드(316)는 비표시영역(NDA)에 위치하며 제1 게이트 배선의 각 끝단에 연결된다.
제1 게이트 전극(312)과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드(316) 상부 전면에는 절연물질로 버퍼층(320)이 형성된다. 버퍼층(320)은 제1 연결 패드(316)를 노출하는 패드 콘택홀(320a)을 가진다.
제1 게이트 전극(312) 상부의 버퍼층(320) 위에는 산화물 반도체 물질로 이루어진 산화물 반도체층(322)이 형성된다. 산화물 반도체층(322)은 제1 게이트 전극(312)보다 넓은 폭을 가지며, 가운데 영역이 제1 게이트 전극(312)과 중첩한다.
산화물 반도체층(322) 상부에는 절연물질로 이루어진 게이트 절연층(330)이 형성되고, 게이트 절연층(330) 상부에는 금속과 같은 도전성 물질로 이루어진 제2 게이트 전극(332)과 제2 게이트 배선(도시하지 않음) 및 제2 연결 패드(336)가 형성된다. 제2 게이트 배선은 표시영역(DA) 내에서 제1방향을 따라 연장되어 제1 게이트 배선과 중첩하고, 제2 게이트 전극(332)은 제2 게이트 배선과 연결되며, 표시영역(DA)의 제1 게이트 전극(312)과 중첩한다. 제2 게이트 전극(332)은 제1 게이트 전극(312)보다 좁은 폭을 가진다. 제2 연결 패드(336)는 비표시영역(NDA)에 위치하고 제2 게이트 배선(334)의 각 끝단에 연결된다. 제2 연결 패드(336)는 제1 연결 패드(316)와 중첩하여 패드 콘택홀(320a)을 통해 제1 연결 패드(316)와 접촉한다.
한편, 게이트 절연층(330)은 패터닝되어 제2 게이트 전극(332)과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드(336)와 동일한 모양을 가질 수 있으며, 또는, 게이트 절연층(330)은 기판(310) 전면에 형성될 수도 있다. 게이트 절연층(330)이 기판(310) 전면에 형성될 경우, 패드 콘택홀(320a)은 게이트 절연층(330) 내에도 형성된다.
제2 게이트 전극(332)과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드(336) 상부에는 절연물질로 층간 절연막(340)이 형성된다. 층간 절연막(340)은 표시영역(DA)에 산화물 반도체층(322)의 양측 상면을 노출하는 제1 및 제2 콘택홀(340a, 340b)을 가진다.
한편, 게이트 절연층(330)이 기판(310) 전면에 형성될 경우, 제1 및 제2 콘택홀(340a, 340b) 은 게이트 절연층(330) 내에도 형성된다.
층간 절연막(340) 상부에는 금속과 같은 도전성 물질로 소스 및 드레인 전극(352, 354)과 데이터 배선(도시하지 않음)이 형성된다. 데이터 배선은 표시영역(DA) 내에서 제2방향을 따라 연장되고 제2 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의한다. 소스 및 드레인 전극(352, 354)은 제2 게이트 전극(332)을 중심으로 이격되어 위치하며, 각각 제1 및 제2 콘택홀(340a, 340b)을 통해 산화물 반도체층(322)의 양측과 접촉한다. 소스 및 드레인 전극(352, 354)은 제2 게이트 전극(332)과 이격되어 있으며, 제1 게이트 전극(312)과는 중첩한다.
여기서, 제1 및 제2 게이트 전극(312, 332)과 산화물 반도체층(322), 그리고 소스 및 드레인 전극(352, 354)은 박막 트랜지스터를 이룬다.
소스 및 드레인 전극(352, 354)과 데이터 배선 상부 전면에는 절연물질로 보호층(360)이 형성된다.
보호층(360) 상부에는 투명 도전 물질로 화소 전극(272)이 형성된다. 화소 전극(372)은 표시영역(DA) 내의 화소 영역에 위치하며, 드레인 전극(354)과 전기적으로 연결된다.
한편, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판에서, 화소 전극(372)을 형성하기 위한 식각액이 침투하여 제1 및 제2 연결 패드(316, 336)의 접촉 부위가 손상되는 것을 방지하기 위해 보호 패턴이 더 형성될 수 있다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판의 다른 예를 도시한 단면도로, 도 7과 동일한 부분은 동일 부호를 부여하고 이에 대한 설명은 생략한다.
도 8에 도시한 바와 같이, 제1 및 제2 연결 패드(316, 336) 상부에 보호 패턴(376)이 형성된다. 보호 패턴(376)은 화소 전극(372)과 동일 물질로 동일 층에 형성되며 제1 및 제2 연결 패드(316, 336)를 덮어 화소 전극(372) 형성을 위한 식각액 및 이후 공정에서의 약액이 제1 및 제2 연결 패드(316, 336)의 접촉 부위로 침투하는 것을 방지한다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.
112: 제1 게이트 전극 114; 제1 게이트 배선
116: 제1 연결 패드 122: 산화물 반도체층
132: 제2 게이트 전극 134; 제2 게이트 배선
136: 제2 연결 패드 140a: 제1 콘택홀
140b: 제2 콘택홀 152: 소스 전극
154: 드레인 전극 156: 데이터 배선
160a: 드레인 콘택홀 160b: 제1 패드 콘택홀
160c: 제2 패드 콘택홀 172: 화소 전극
174: 연결 패턴 DA: 표시영역
NDA: 비표시영역
116: 제1 연결 패드 122: 산화물 반도체층
132: 제2 게이트 전극 134; 제2 게이트 배선
136: 제2 연결 패드 140a: 제1 콘택홀
140b: 제2 콘택홀 152: 소스 전극
154: 드레인 전극 156: 데이터 배선
160a: 드레인 콘택홀 160b: 제1 패드 콘택홀
160c: 제2 패드 콘택홀 172: 화소 전극
174: 연결 패턴 DA: 표시영역
NDA: 비표시영역
Claims (17)
- 표시영역과 비표시영역이 정의된 기판과;
상기 기판 상부에 형성된 제1 게이트 전극과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드와;
상기 제1 게이트 전극과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드 상부의 버퍼층과;
상기 제1 게이트 전극에 대응하는 상기 버퍼층 상부의 산화물 반도체층과;
상기 산화물 반도체층 상부의 게이트 절연막과;
상기 게이트 절연막 상부의 제2 게이트 전극과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드와;
상기 제2 게이트 전극과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드 상부의 층간 절연막과;
상기 층간 절연막 상부의 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선과;
상기 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선 상부의 보호층과;
상기 표시영역의 상기 보호층 상부에 형성되고 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 화소 전극
을 포함하고,
상기 제1 및 제2 게이트 전극은 상기 표시영역에 위치하고 상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 비표시영역에 위치하며, 상기 제1 및 제2 게이트 전극은 상기 제1 및 제2 연결 패드 연결을 통해 전기적으로 접속되는 표시장치용 어레이 기판.
- 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 화소 전극과 동일물질로 동일층에 형성되는 연결 패턴을 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판.
- 제2항에 있어서,
상기 보호층은 상기 제1 및 제2 연결 패드를 각각 노출하는 제1 및 제2 패드 콘택홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판.
- 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 소스 및 드레인 전극과 동일물질로 동일층에 형성되는 연결 패턴을 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판.
- 제4항에 있어서,
상기 층간 절연막은 상기 제1 및 제2 연결 패드를 각각 노출하는 제1 및 제2 패드 콘택홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판.
- 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 연결 패드는 이격되어 위치하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판.
- 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 연결 패드는 중첩하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판.
- 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 연결 패드는 중첩하며 직접 접촉하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판.
- 제8항에 있어서,
상기 버퍼층은 상기 제1 연결 패드를 노출하는 패드 콘택홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판.
- 제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 화소 전극과 동일물질로 동일층에 형성되고 상기 제1 및 제2 연결 패드를 덮는 보호 패턴을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판.
- 제1항에 있어서,
상기 제1 게이트 배선은 상기 제2 게이트 배선과 중첩하며 상기 제2 게이트 배선보다 좁거나 같은 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판.
- 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 제1 및 제2 게이트 배선 각각의 양끝단에 연결되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판.
- 표시영역과 비표시영역이 정의된 기판 상에 제1 게이트 전극과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드를 형성하는 단계와;
상기 제1 게이트 전극과 제1 게이트 배선 및 제1 연결 패드 상부에 버퍼층을 형성하는 단계와;
상기 제1 게이트 전극에 대응하는 상기 버퍼층 상부에 산화물 반도체층을 형성하는 단계와;
상기 산화물 반도체층 상부에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;
상기 게이트 절연막 상부에 제2 게이트 전극과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드를 형성하는 단계와;
상기 제2 게이트 전극과 제2 게이트 배선 및 제2 연결 패드 상부에 층간 절연막을 형성하는 단계와;
상기 층간 절연막 상부에 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선을 형성하는 단계와;
상기 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선 상부에 보호층을 형성하는 단계와;
상기 표시영역의 상기 보호층 상부에 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계
를 포함하고,
상기 제1 및 제2 게이트 전극은 상기 표시영역에 위치하고 상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 비표시영역에 위치하며, 상기 제1 및 제2 게이트 전극은 상기 제1 및 제2 연결 패드 연결을 통해 전기적으로 접속되는 표시장치용 어레이 기판의 제조 방법.
- 제13항에 있어서,
상기 화소 전극을 형성하는 단계는 상기 비표시영역에 연결 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 연결 패턴을 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판의 제조 방법.
- 제13항에 있어서,
상기 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선을 형성하는 단계는 상기 비표시영역에 연결 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 및 제2 연결 패드는 상기 연결 패턴을 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판의 제조 방법.
- 제13항에 있어서,
상기 제1 및 제2 연결 패드는 중첩하며 직접 접촉하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판의 제조 방법.
- 제16항에 있어서,
상기 화소 전극을 형성하는 단계는 상기 제1 및 제2 연결 패드를 덮는 보호 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 어레이 기판의 제조 방법.
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