KR101520165B1

KR101520165B1 - Apparatus for processing glass substrate

Info

Publication number: KR101520165B1
Application number: KR1020130041536A
Authority: KR
Inventors: 박준호; 이재민
Original assignee: 주식회사 휘닉스 디지탈테크
Priority date: 2013-04-16
Filing date: 2013-04-16
Publication date: 2015-05-13
Also published as: KR20140124450A

Abstract

유리 기판 가공 장치는 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 가공될 유리 기판 및 가공이 완료된 유리 기판을 이송하는 이송부와, 상기 이송부의 이송 경로 양측에 각각 구비되어 상기 유리 기판에 대한 가공을 수행하고, 상기 가공이 완료된 유리 기판을 상기 이송부로 전달하고 상기 가공될 유리 기판을 전달받기 위해 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 상기 이송부까지 이동하는 스테이지를 각각 갖는 가공부들 및 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 상기 이송부로부터 상기 스테이지로 전달된 상기 가공될 유리 기판의 안착 상태를 확인하기 위한 카메라부를 포함할 수 있다. 유리 기판 가공 장치는 유리 기판의 로딩 및 언로딩 시간을 단축할 수 있다. The glass substrate processing apparatus includes a transfer section that moves along the first horizontal direction and transfers the glass substrate to be processed and the processed glass substrate, and a transfer section that is provided on each side of the transfer path of the transfer section to perform processing on the glass substrate, A stage for transferring the processed glass substrate to the transfer section and a stage for moving to the transfer section along a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction for transferring the glass substrate to be processed, And a camera unit moving along the horizontal direction and confirming a seating state of the glass substrate to be processed transferred from the transfer unit to the stage. The glass substrate processing apparatus can shorten the loading and unloading time of the glass substrate.

Description

[0001] Apparatus for processing glass substrate [0002]

본 발명은 유리 기판 가공 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 카세트에 적재된 평판 형태의 유리 기판을 순차적으로 가공하기 이한 유리 기판 가공 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a glass substrate processing apparatus, and more particularly, to a glass substrate processing apparatus for sequentially processing a flat glass substrate mounted on a cassette.

일반적으로 유리 기판 가공 장치는 하나의 이송부를 이용하여 카세트에 적재된 다수의 유리 기판을 가공부로 이송하고, 상기 가공부에서 순차적으로 가공한 후, 상기 가공이 완료된 유리 기판은 상기 이송부에 의해 다시 카세트로 이송된다. 즉, 상기 이송부가 상기 가공될 유리 기판 및 가공이 완료된 유리 기판을 모두 이송한다. In general, in a glass substrate processing apparatus, a plurality of glass substrates stacked in a cassette are transferred to a processing section by using one transfer section, sequentially processed in the processing section, and then the processed glass substrate is again transferred to the cassette Lt; / RTI > That is, the conveying unit conveys both the glass substrate to be processed and the processed glass substrate.

상기 이송부가 상기 가공될 유리 기판 및 가공이 완료된 유리 기판을 모두 이송하므로, 상기 유리 기판 가공 장치에서 상기 유리 기판의 이송이 지연될 수 있다. 특히, 상기 가공부가 다수인 경우, 상기 이송부의 유리 기판 이송이 더욱 지연될 수 있다. 그러므로, 상기 유리 기판 가공 장치를 이용한 유리 기판 가공 공정 효율이 저하될 수 있다.The transfer part transfers both the glass substrate to be processed and the processed glass substrate, so that the transfer of the glass substrate in the glass substrate processing apparatus can be delayed. Particularly, in the case of a plurality of the machined portions, the transfer of the glass substrate of the transfer portion can be further delayed. Therefore, the efficiency of glass substrate processing using the glass substrate processing apparatus may be reduced.

본 발명은 유리 기판의 가공 공정 효율을 향상시킬 수 있는 유리 기판 가공 장치를 제공한다. The present invention provides a glass substrate processing apparatus capable of improving the processing efficiency of a glass substrate.

본 발명에 따른 유리 기판 가공 장치는 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 가공될 유리 기판 및 가공이 완료된 유리 기판을 이송하는 이송부와, 상기 이송부의 이송 경로 양측에 각각 구비되어 상기 유리 기판에 대한 가공을 수행하고, 상기 가공이 완료된 유리 기판을 상기 이송부로 전달하고 상기 가공될 유리 기판을 전달받기 위해 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 상기 이송부까지 이동하는 스테이지를 각각 갖는 가공부들 및 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 상기 이송부로부터 상기 스테이지로 전달된 상기 가공될 유리 기판의 안착 상태를 확인하기 위한 카메라부를 포함할 수 있다. A glass substrate processing apparatus according to the present invention includes: a transfer section that moves along a first horizontal direction and transfers a glass substrate to be processed and a processed glass substrate; and a transfer section that is provided on both sides of the transfer path of the transfer section, And a stage for transferring the processed glass substrate to the transfer section and moving to the transfer section along a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction for transferring the glass substrate to be processed, And a camera unit moving along the first horizontal direction and confirming a seating state of the glass substrate to be processed transferred from the transfer unit to the stage.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이송부는 상기 가공될 유리 기판을 이송하기 위한 제1 이송부와 상기 가공이 완료된 유리 기판을 이송하는 제2 이송부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the transfer section may include a first transfer section for transferring the glass substrate to be processed and a second transfer section for transferring the processed glass substrate.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송부와 상기 제2 이송부는 동시에 상기 제1 수평 방향을 따라 이동할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the first transfer unit and the second transfer unit can simultaneously move along the first horizontal direction.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이송부와 상기 카메라부는 서로 다른 높이에 배치될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the transporting unit and the camera unit may be disposed at different heights.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이송부, 상기 가공부들 및 상기 카메라부의 정비를 위해 인접하는 가공부들이 일정 간격 이격되어 배치될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, adjacent processing parts may be spaced apart from each other for maintenance of the transfer part, the processing parts and the camera part.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 가공부들은 착탈 가능하도록 구비될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the processing units may be detachably provided.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 유리 기판 가공 장치는 상기 가공될 유리 기판이 적재된 제1 카세트를 지지하는 로딩 포트부와, 상기 제1 카세트로부터 상기 가공될 유리 기판을 상기 이송부로 전달하는 로더부와, 상기 가공이 완료된 유리 기판을 적재하기 위한 제2 카세트를 지지하는 언로딩 포트부 및 상기 이송부로부터 상기 가공이 완료된 유리 기판을 상기 제2 카세트로 전달하는 언로더부를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the glass substrate processing apparatus further includes a loading port portion for supporting a first cassette on which the glass substrate to be processed is loaded, and a transfer port portion for transferring the glass substrate to be processed from the first cassette to the transfer portion An unloading port portion for supporting a second cassette for loading the processed glass substrate and an unloader portion for transferring the processed glass substrate from the transfer portion to the second cassette have.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 로더부는 상기 제1 카세트에 수직한 상태로 지지된 유리 기판을 회전시켜 수평한 상태로 상기 이송부로 전달하고, 상기 언로더부는 수평한 상태로 전달된 유리 기판을 회전시켜 수직한 상태로 상기 제2 카세트로 전달할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the loader unit rotates the glass substrate supported in a state of being perpendicular to the first cassette and transfers the glass substrate in a horizontal state to the transfer unit, and the unloader unit transfers the glass The substrate can be rotated and transferred to the second cassette in a vertical state.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 유리 기판 가공 장치는 상기 로딩 포트와 상기 언로딩 포트 사이에 구비되며, 상기 가공부에서 가공되는 유리 기판을 샘플링하여 저장하는 샘플링부를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the glass substrate processing apparatus may further include a sampling unit provided between the loading port and the unloading port, for sampling and storing the glass substrate processed in the processing unit.

본 발명에 따른 유리 기판 가공 장치는 가공부들이 이송부의 이동 경로 양측에 배치된다. 상기 가공부들이 이동 경로의 양측에 배치되므로 상기 가공부들의 배치 개수를 증가시킬 수 있고, 상기 이송부의 이동 경로도 단축할 수 있으며, 상기 유리 기판 가공 장치의 전체 길이도 단축할 수 있다. 그러므로, 상기 유리 기판 가공 장치가 차지하는 공간을 최소화할 수 있어 상기 유리 기판 가공 장치의 공간 효율성을 향상시킬 수 있다. In the glass substrate processing apparatus according to the present invention, the processing portions are disposed on both sides of the movement path of the transfer portion. Since the machining portions are disposed on both sides of the movement path, the number of the processing portions can be increased, the moving path of the transfer portion can be shortened, and the entire length of the glass substrate processing device can be shortened. Therefore, the space occupied by the glass substrate processing apparatus can be minimized, and the space efficiency of the glass substrate processing apparatus can be improved.

본 발명에 따른 유리 기판 가공 장치는 상기 이송부가 유리 기판의 로딩 및 언로딩을 위해 제1 수평 방향을 따라 이동하고, 가공부의 스테이지가 상기 유리 기판의 로딩 및 언로딩을 위해 제2 수평 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 상기 이송부가 상기 유리 기판의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 가공부의 내부까지 이동할 필요가 없고, 상기 유리 기판이 스테이지에 의해 이동되는 동안 상기 이송부가 다른 유리 기판을 이송할 수 있다. 그러므로, 상기 유리 기판의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. In the glass substrate processing apparatus according to the present invention, the transfer section moves along the first horizontal direction for loading and unloading the glass substrate, and the stage of the processing section moves in the second horizontal direction for loading and unloading the glass substrate . Therefore, the transfer section need not move to the inside of the processing section for loading and unloading the glass substrate, and the transfer section can transfer another glass substrate while the glass substrate is moved by the stage. Therefore, the time required for loading and unloading the glass substrate can be reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 가공 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송부, 카메라부 및 가공부를 설명하기 위한 측면도이다. 1 is a plan view for explaining a glass substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view for explaining the conveyance unit, the camera unit, and the processing unit shown in FIG. 1. FIG.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 가공 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a glass substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 가공 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송부, 카메라부 및 가공부를 설명하기 위한 측면도이다. FIG. 1 is a plan view for explaining a glass substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view for explaining a transfer part, a camera part and a processing part shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 유리 기판 가공 장치(100)는 유리 기판(10)을 가공하기 위한 것으로, 로딩 포트부(110), 언로딩 포트부(120), 로더부(130), 언로더부(140), 이송부(150), 가공부(160), 카메라부(170) 및 샘플링부(180)를 포함한다. 1 and 2, a glass substrate processing apparatus 100 for processing a glass substrate 10 includes a loading port unit 110, an unloading port unit 120, a loader unit 130, A loader unit 140, a transfer unit 150, a machining unit 160, a camera unit 170, and a sampling unit 180.

로딩 포트부(110)와 언로딩 포트부(120)는 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 배치된다. 예를 들면, 상기 제1 수평 방향은 세로 방향이며, 상기 제2 수평 방향은 가로 방향일 수 있다. The loading port portion 110 and the unloading port portion 120 are disposed along a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction. For example, the first horizontal direction may be a longitudinal direction, and the second horizontal direction may be a lateral direction.

로딩 포트부(110)는 제1 카세트(112)를 지지한다. 제1 카세트(112)는 가공부(160)에서 가공될 유리 기판(10)을 지지한다. 이때, 유리 기판(10)은 제1 카세트(112)에 수직 방향으로 세워지도록 적재된다. The loading port portion 110 supports the first cassette 112. The first cassette 112 supports the glass substrate 10 to be processed in the processing unit 160. At this time, the glass substrate 10 is stacked so as to stand vertically in the first cassette 112.

언로딩 포트부(120)는 제2 카세트(122)를 지지한다. 제2 카세트(122)는 가공부(160)에서 가공이 완료된 유리 기판(10)을 지지한다. 이때, 유리 기판(10)은 제2 카세트(122)에 수직 방향으로 세워지도록 적재된다.The unloading port portion 120 supports the second cassette 122. The second cassette 122 supports the glass substrate 10 that has been processed in the processing unit 160. At this time, the glass substrate 10 is stacked so as to be vertically erected on the second cassette 122.

로더부(130)와 언로더부(140)는 로딩 포트부(110) 및 언로딩 포트부(120)와 인접하게 배치된다. The loader portion 130 and the unloader portion 140 are disposed adjacent to the loading port portion 110 and the unloading port portion 120.

로더부(130)는 제1 카세트(112)로부터 상기 가공될 유리 기판(10)을 이송부(150)로 전달한다. 로더부(130)는 유리 기판(10)의 이송을 위해 유리 기판(10)을 고정한다. 일 예로, 로더부(130)는 유리 기판(10)을 진공력으로 고정할 수 있다. The loader unit 130 transfers the glass substrate 10 to be processed from the first cassette 112 to the transfer unit 150. The loader unit 130 fixes the glass substrate 10 for transferring the glass substrate 10. For example, the loader section 130 can fix the glass substrate 10 with a vacuum force.

로더부(130)는 상기 제2 방향을 따라 이동가능하도록 구비된다. 또한, 로더부(130)는 수직한 상태로 지지된 유리 기판(10)을 수평한 상태로 회전시킬 수 있다. 따라서, 로더부(130)는 제1 카세트(112)에 수직한 상태로 지지된 유리 기판(10)을 픽업한 후, 상기 제2 방향을 따라 이동하면서 상기 수직 상태의 유리 기판(10)을 수평 상태로 회전시킨 후 이송부(150)로 전달한다. The loader unit 130 is provided to be movable along the second direction. In addition, the loader unit 130 can rotate the glass substrate 10 supported in a vertical state in a horizontal state. Therefore, the loader unit 130 picks up the glass substrate 10 supported in a vertical state to the first cassette 112, and then moves the glass substrate 10 in the vertical state to the horizontal And then transfers it to the transfer unit 150. [

언로더부(140)는 이송부(150)로부터 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 제2 카세트(122)로 전달한다. 언로더부(140)도 로더부(130)와 마찬가지로 유리 기판(10)의 이송을 위해 유리 기판(10)을 고정한다. 일 예로, 언로더부(140)는 유리 기판(10)을 진공력으로 고정할 수 있다. The unloader unit 140 transfers the processed glass substrate 10 from the transfer unit 150 to the second cassette 122. The unloader unit 140 also fixes the glass substrate 10 for transferring the glass substrate 10 in the same manner as the loader unit 130. For example, the unloader section 140 can fix the glass substrate 10 with a vacuum force.

언로더부(140)도 로더부(130)와 같이 상기 제2 방향을 따라 이동가능하도록 구비된다. 또한, 언로더부(140)는 수직한 상태로 지지된 유리 기판(10)을 수평한 상태로 회전시킬 수 있다. 따라서, 언로더부(140)는 이송부(150)에 수평한 상태로 고정된 유리 기판(10)을 고정한 후, 상기 제2 방향을 따라 이동하면서 상기 수평 상태의 유리 기판(10)을 수직 상태로 회전시킨 후 제2 카세트(122)로 전달한다. The unloader section 140 is also provided so as to be movable along the second direction like the loader section 130. In addition, the unloader unit 140 can rotate the glass substrate 10 supported in a vertical state in a horizontal state. Accordingly, the unloader unit 140 fixes the glass substrate 10 fixed to the conveying unit 150 in a horizontal state, and moves the glass substrate 10 in the horizontal state in the vertical direction while moving along the second direction And then transmits it to the second cassette 122.

이송부(150)는 로더부(130) 및 언로더부(140)와 인접하도록 배치된다. 이송부(150)는 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 유리 기판(10)을 이송한다. 이때, 이송부(150)는 유리 기판(10)을 수평 상태로 이송할 수 있다. The transfer unit 150 is disposed adjacent to the loader unit 130 and the unloader unit 140. The transfer unit 150 moves along the first horizontal direction and transfers the glass substrate 10. At this time, the transfer unit 150 can transfer the glass substrate 10 in a horizontal state.

이송부(150)는 제1 이송부(152) 및 제2 이송부(154)를 포함한다. The transfer unit 150 includes a first transfer unit 152 and a second transfer unit 154.

제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)는 동시에 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하거나, 개별적으로 상기 제1 수평 방향을 따라 이동할 수 있다. The first conveying unit 152 and the second conveying unit 154 can move along the first horizontal direction at the same time or can move along the first horizontal direction individually.

제1 이송부(152)는 로더부(130)로부터 수평 상태로 배치되며, 가공할 유리 기판(10)을 전달받아 상기 제1 수평 방향을 따라 가공부(160)로 이송한다. The first transfer unit 152 is horizontally disposed from the loader unit 130 and transfers the processed glass substrate 10 to the processing unit 160 along the first horizontal direction.

제2 이송부(154)는 가공부(160)로부터 수평 상태로 배치되며, 가공이 완료된 유리 기판(10)을 전달받아 상기 제1 수평 방향을 따라 언로더부(140)로 이송한다.The second transfer unit 154 is horizontally disposed from the processing unit 160 and transfers the processed glass substrate 10 to the unloader unit 140 along the first horizontal direction.

제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)가 동시에 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하는 경우, 제1 이송부(152)가 로더부(130)로부터 가공할 유리 기판(10)을 전달받는 공정과 제2 이송부(154)가 언로더부(140)로 가공이 완료된 유리 기판(10)을 전달하는 공정이 동시에 이루어질 수 있다. When the first transferring part 152 and the second transferring part 154 simultaneously move along the first horizontal direction, the first transferring part 152 transfers the glass substrate 10 to be processed from the loader part 130 And the second transfer unit 154 transfer the processed glass substrate 10 to the unloader unit 140 at the same time.

제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)는 개별적으로 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하는 경우, 제1 이송부(152)가 로더부(130)로부터 가공할 유리 기판(10)을 전달받는 공정과 제2 이송부(154)가 언로더부(140)로 가공이 완료된 유리 기판(10)을 전달하는 공정이 개별적으로 이루어질 수 있다. When the first transferring unit 152 and the second transferring unit 154 move along the first horizontal direction individually, the first transferring unit 152 receives the glass substrate 10 to be processed from the loader unit 130 And the process of transferring the processed glass substrate 10 to the unloader unit 140 by the second transfer unit 154 can be performed individually.

가공부(160)는 이송부(150)의 이송 경로 양측에 각각 구비될 수 있다. 예를 들면, 가공부(160)는 이송부(150)의 이송 경로를 기준으로 양측에 대칭될 수 있다. 다른 예로, 예를 들면, 가공부(160)는 이송부(150)의 이송 경로를 기준으로 서로 엇갈리도록 배치될 수 있다. 가공부(160)가 이송부(150)의 이송 경로 양측에 각각 배치되므로, 가공부(160)가 이송부(150)의 이송 경로 일측에만 배치될 때보다 이송부(150)의 이송 경로를 단축할 수 있다. 이송부(150)의 이송 경로가 단축되므로, 이송부(150)가 유리 기판(10)을 이송하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 따라서, 이송부(150)의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. The processing unit 160 may be provided on both sides of the conveyance path of the conveyance unit 150, respectively. For example, the machining portion 160 may be symmetrical on both sides with respect to the conveying path of the conveying portion 150. [ Alternatively, for example, the machining portion 160 may be arranged to be offset from each other with reference to the conveying path of the conveying portion 150. [ The machining unit 160 is disposed on both sides of the conveyance path of the conveyance unit 150 so that the conveyance path of the conveyance unit 150 can be made shorter than when the machined unit 160 is disposed only on one side of the conveyance path of the conveyance unit 150 . Since the conveying path of the conveying unit 150 is shortened, the time required for conveying the glass substrate 10 by the conveying unit 150 can be shortened. Therefore, the conveyance efficiency of the conveyance unit 150 can be improved.

가공부(160)는 제1 이송부(152)에 의해 이송된 유리 기판(10)을 가공한다. 예를 들면, 가공부(160)는 유리 기판(10)을 절단하거나, 유리 기판(10)을 연마하거나, 유리 기판(10)에 홀을 형성할 수 있다. The processing unit 160 processes the glass substrate 10 transferred by the first transferring unit 152. For example, the processing section 160 can cut the glass substrate 10, polish the glass substrate 10, or form holes in the glass substrate 10. [

가공부(160)는 유리 기판(10)을 지지하기 위한 스테이지(162)를 갖는다. 스테이지(162)는 유리 기판(10)의 로딩과 언로딩을 위해 상기 제2 수평 방향을 따라 이송부(150)의 하부까지 이동할 수 있다. The processing section 160 has a stage 162 for supporting the glass substrate 10. The stage 162 may move to the lower portion of the transfer unit 150 along the second horizontal direction for loading and unloading the glass substrate 10.

구체적으로, 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향을 따라 제1 이송부(152)의 하부로 이동하여 제1 이송부(152)로부터 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달받는다. 스테이지(162)의 상면에 유리 기판(10)이 안착되면, 유리 기판(10)의 가공을 위해 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향을 따라 가공부(160)로 이동한다. Specifically, the stage 162 moves to the lower portion of the first transferring portion 152 along the second horizontal direction, and receives the glass substrate 10 to be processed from the first transferring portion 152. When the glass substrate 10 is placed on the upper surface of the stage 162, the stage 162 is moved to the processing unit 160 along the second horizontal direction for processing the glass substrate 10.

또한, 유리 기판(10)의 가공이 완료되면, 스테이지(162)는 가공이 완료된 유리 기판(10)을 지지한 상태로 가공부(160)로부터 상기 제2 수평 방향을 따라 제2 이송부(154)의 하부까지 이동하여 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 제2 이송부(154)로 전달한다. 이때, 유리 기판(10)의 전달을 위해 제1 이송부(152) 및 제2 이송부(154)가 스테이지(162)를 향해 하강할 수 있다. When the glass substrate 10 is completely processed, the stage 162 is moved from the processing unit 160 along the second horizontal direction to the second transfer unit 154 while supporting the processed glass substrate 10, And transfers the processed glass substrate 10 to the second transfer unit 154. The second transfer unit 154 transfers the processed glass substrate 10 to the second transfer unit 154. [ At this time, the first transfer unit 152 and the second transfer unit 154 can be lowered toward the stage 162 for transferring the glass substrate 10.

이송부(150)가 유리 기판(10)의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제1 수평 방향을 따라 이동할 때, 스테이지(162)도 유리 기판(10)의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제2 수평 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 이송부(150)가 유리 기판(10)의 로딩 및 언로딩을 위해 가공부(160)의 내부까지 이동할 필요가 없다. 따라서, 유리 기판(10)의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. When the transfer unit 150 moves along the first horizontal direction for loading and unloading the glass substrate 10, the stage 162 is also moved in the second horizontal direction for loading and unloading the glass substrate 10 Can be moved. That is, the transfer unit 150 does not need to move to the inside of the processing unit 160 for loading and unloading the glass substrate 10. Therefore, the time required for loading and unloading the glass substrate 10 can be reduced.

또한, 제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)가 동시에 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하는 경우, 스테이지(162)가 제2 이송부(154)의 하부로 이동하여 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 제2 이송부(154)로 전달한 후, 바로 제1 이송부(152)의 하부로 이동하여 제1 이송부(152)로부터 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달받을 수 있다. 스테이지(162)가 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 제2 이송부(154)로 언로딩하면서 연속하여 제1 이송부(152)로부터 가공할 유리 기판(10)을 로딩할 수 있으므로, 스테이지(162)에서 유리 기판(10)의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간을 더욱 줄일 수 있다. When the first transferring part 152 and the second transferring part 154 simultaneously move along the first horizontal direction, the stage 162 moves to the lower part of the second transferring part 154, The glass substrate 10 can be transferred from the first transferring part 152 to the lower part of the first transferring part 152 after the transferring part 10 is transferred to the second transferring part 154. Since the stage 162 can continuously load the glass substrate 10 to be processed from the first transferring section 152 while unloading the processed glass substrate 10 to the second transferring section 154, The time required for loading and unloading the glass substrate 10 can be further reduced.

도시되지는 않았지만, 가공부(160)는 유리 기판(10)의 가공을 위해 스테이지(162) 이외에 유리 기판(10)을 가공하기 위한 툴을 고정하여 회전시키는 스핀들을 포함할 수 있다. 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향으로 이동 가능하므로, 상기 스핀들은 상기 제1 수평 방향 및 상하 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 스테이지(162)와 상기 스핀들이 상대 운동하면서 유리 기판(10)을 가공할 수 있다. Although not shown, the machining portion 160 may include a spindle for fixing and rotating a tool for machining the glass substrate 10 in addition to the stage 162 for machining the glass substrate 10. Since the stage 162 is movable in the second horizontal direction, the spindle is movable along the first horizontal direction and the vertical direction. The glass substrate 10 can be processed while the stage 162 and the spindle are relatively moved.

한편, 가공부(160)는 이송부(150)의 이송 경로 양측에 착탈 가능하도록 구비된다. 이송부(150)의 이송 경로가 연장되는 경우, 가공부(160)를 용이하게 이송부(150)의 이송 경로 양측에 구비할 수 있다. 따라서, 필요한 경우 가공부(160)의 개수를 용이하게 증가시킬 수 있으므로, 유리 기판 가공 장치(100)의 처리량을 증가시킬 수 있다. On the other hand, the machining unit 160 is detachably mounted on both sides of the conveying path of the conveying unit 150. [ When the transfer path of the transfer unit 150 is extended, the processed unit 160 can be easily provided on both sides of the transfer path of the transfer unit 150. Therefore, if necessary, the number of the processing units 160 can be easily increased, so that the throughput of the glass substrate processing apparatus 100 can be increased.

또한, 이송부(150)의 이송 경로 양측에 부착된 가공부(160)를 용이하게 분리할 수 있다. 따라서, 가공부(160)가 정비가 불가능할 정도로 이상이 발생하는 경우, 상기 이상이 발생한 가공부(160)를 용이하게 교체할 수 있다. Further, the machined portion 160 attached to both sides of the transfer path of the transfer unit 150 can be easily separated. Therefore, when an abnormality occurs in such a degree that the machining unit 160 can not be maintained, the machining unit 160 in which the abnormality has occurred can be easily replaced.

가공부(160)들이 밀착되어 구비되는 경우, 이송부(150), 가공부(160) 및 카메라부(170)에 이상이 발생하는 경우 공간이 협소하여 작업자가 이송부(150), 가공부(160) 및 카메라부(170)를 정비하기가 어렵다. 따라서, 가공부(160)들은 인접하는 가공부(160)들과 일정 간격 이격되도록 배치된다. 즉, 가공부(160)들 사이에는 정비 공간(164)이 형성된다. 정비 공간(164)을 통해 작업자가 이송부(150), 가공부(160) 및 카메라부(170)를 용이하게 정비할 수 있다. When an error occurs in the transfer unit 150, the machining unit 160 and the camera unit 170 when the machining units 160 are closely adhered to each other, the space is narrow and the operator moves the transfer unit 150, the machining unit 160, And the camera unit 170 are difficult to maintain. Accordingly, the machining portions 160 are spaced apart from the adjacent machining portions 160 by a predetermined distance. That is, a maintenance space 164 is formed between the machining portions 160. The operator can easily maintain the transfer unit 150, the processing unit 160, and the camera unit 170 through the maintenance space 164.

카메라부(170)는 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 이송부(150)로부터 스테이지(162)로 전달된 상기 가공될 유리 기판(10)의 안착 상태를 확인한다. The camera unit 170 moves along the first horizontal direction and confirms the seating state of the glass substrate 10 to be processed transferred from the transfer unit 150 to the stage 162.

구체적으로, 카메라부(170)는 이송부(150)와 동일한 이동 경로를 갖는다. 카메라부(170)와 이송부(150)의 충돌을 방지하기 위해 카메라부(170)와 이송부(150)는 서로 다른 높이에 배치될 수 있다. 예를 들면, 카메라부(170)가 이송부(150)보다 높게 배치될 수 있다. Specifically, the camera unit 170 has the same movement path as the transfer unit 150. The camera unit 170 and the transfer unit 150 may be disposed at different heights to prevent the camera unit 170 and the transfer unit 150 from colliding with each other. For example, the camera unit 170 can be disposed higher than the transfer unit 150. [

제1 이송부(152)가 하부에 위치한 스테이지(162)로 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달할 때, 카메라부(170)는 제1 이송부(152)의 상부에 위치한다. The camera unit 170 is positioned above the first transfer unit 152 when the first transfer unit 152 transfers the glass substrate 10 to be processed to the lower stage 162. [

제1 이송부(152)가 하부에 위치한 스테이지(162)로 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달한 후 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하면, 카메라부(170)는 상기 유리 기판(10)이 안착된 스테이지(162)를 촬영한다. 카메라부(170)에서 촬영된 영상을 이용하여 상기 유리 기판(10)의 안착 상태를 확인할 수 있다. 상기 유리 기판(10)이 안착된 위치를 기초로 하여 가공부(160)에서 유리 기판(10)에 대한 가공이 수행된다. 상기 유리 기판(10)의 안착이 불량인 경우, 알람 등을 통해 작업자에게 알린다.When the first transfer unit 152 transfers the glass substrate 10 to be processed to the lower stage 162 and then moves along the first horizontal direction, the camera unit 170 moves the glass substrate 10 And takes a picture of the stage 162. It is possible to confirm the seating state of the glass substrate 10 by using the image photographed by the camera unit 170. Processing is performed on the glass substrate 10 in the processing portion 160 based on the position where the glass substrate 10 is placed. When the glass substrate 10 is in a bad state, an operator is notified via an alarm or the like.

샘플링부(180)는 로딩 포트부(110)와 언로딩 포트부(120) 사이에 배치된다. 샘플링부(180)는 가공부(160)에서 가공되는 유리 기판(10)을 샘플링하여 저장한다.The sampling unit 180 is disposed between the loading port unit 110 and the unloading port unit 120. The sampling unit 180 samples and stores the glass substrate 10 processed in the processing unit 160.

구체적으로, 샘플링부(180)의 지시에 따라 가공부(160)의 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향으로 이동하여 유리 기판(10)을 제2 이송부(154)로 전달하고, 제2 이송부(154)가 상기 제1 수평 방향으로 이동하여 유리 기판(10)을 언로더부(140)로 전달하고, 언로더부(140)는 유리 기판(10)을 샘플링부(180)로 이송한다. 따라서, 샘플링부(180)에서 샘플링된 유리 기판(10)을 확인함으로써 가공부(160)에서 유리 기판(10)에 대한 가공 공정이 정상적으로 이루어지는지를 확인할 수 있다. Specifically, the stage 162 of the processing unit 160 moves in the second horizontal direction according to an instruction from the sampling unit 180 to transfer the glass substrate 10 to the second transfer unit 154, The unloader unit 140 moves the glass substrate 10 in the first horizontal direction to transfer the glass substrate 10 to the unloader unit 140 and the unloader unit 140 transfers the glass substrate 10 to the sampling unit 180. Therefore, by confirming the sampled glass substrate 10 in the sampling unit 180, it can be confirmed whether or not the machining unit 160 performs a normal machining process on the glass substrate 10.

한편, 샘플링부(180)는 유리 기판(10)이 샘플링되는 가공부(160)를 선택할 수 있다. 따라서, 각 가공부(160)의 공정 상태를 용이하게 확인할 수 있다.
Meanwhile, the sampling unit 180 can select the processing unit 160 to which the glass substrate 10 is to be sampled. Therefore, the process state of each processing unit 160 can be easily confirmed.

이하에서는 유리 기판 가공 장치(100)를 이용한 유리 기판(10)의 가공 방법에 대해 간단하게 설명한다. Hereinafter, a method of processing the glass substrate 10 using the glass substrate processing apparatus 100 will be briefly described.

먼저, 다수의 유리 기판(10)들이 수직 상태로 적재된 제1 카세트(112)를 로딩 포트부(110)에 로딩한다. 또한, 빈 제2 카세트(122)를 언로딩 포트부(120)에 로딩한다. First, a plurality of glass substrates 10 are loaded into a loading port portion 110 with a first cassette 112 loaded vertically. Further, the empty second cassette 122 is loaded into the unloading port portion 120.

다음으로, 로더부(130)는 제1 카세트(112)에 수직한 상태로 지지된 유리 기판(10)을 픽업한 후, 상기 제2 방향을 따라 이동하면서 상기 수직 상태의 유리 기판(10)을 수평 상태로 회전시킨 후 제1 이송부(152)로 전달한다. Next, the loader unit 130 picks up the glass substrate 10 supported vertically to the first cassette 112, and moves the glass substrate 10 in the vertical direction while moving along the second direction And is transmitted to the first conveying unit 152 after rotating in a horizontal state.

제1 이송부(152)는 로더부(130)로부터 전달받은 수평 상태의 유리 기판(10)을 상기 제1 수평 방향을 따라 가공부(160)와 인접하도록 이송한다. 이때, 카메라부(170)도 가공부(160)와 인접하도록 상기 제1 수평 방향을 따라 이동한다. The first transferring unit 152 transfers the horizontal glass substrate 10 transferred from the loader unit 130 along the first horizontal direction so as to be adjacent to the processing unit 160. At this time, the camera unit 170 also moves along the first horizontal direction so as to be adjacent to the processing unit 160.

유리 기판(10)이 가공부(160)와 인접하도록 이송되면, 가공부(160)의 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향을 따라 제1 이송부(152)의 하부로 이동하여 제1 이송부(152)로부터 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달받는다.The stage 162 of the processing unit 160 moves to the lower portion of the first conveyance unit 152 along the second horizontal direction and the first conveyance unit 152 152 to the glass substrate 10 to be processed.

한편, 제1 이송부(152)가 유리 기판(10)의 이송을 위해 상기 제1 수평 방향을 따라 이동할 때, 스테이지(162)도 유리 기판(10)을 전달받기 위해 상기 제2 수평 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 제1 이송부(152)의 이동과 스테이지(162)의 이동이 동시에 이루어질 수 있다. When the first transfer unit 152 moves along the first horizontal direction for transferring the glass substrate 10, the stage 162 can also move in the second horizontal direction to transfer the glass substrate 10 have. That is, the movement of the first transfer unit 152 and the movement of the stage 162 can be performed at the same time.

제1 이송부(152)가 하부에 위치한 스테이지(162)로 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달한 후 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하면, 카메라부(170)는 상기 유리 기판(10)이 안착된 스테이지(162)를 촬영한다. 카메라부(170)에서 촬영된 영상을 이용하여 유리 기판(10)의 안착 상태를 확인한다. When the first transfer unit 152 transfers the glass substrate 10 to be processed to the lower stage 162 and then moves along the first horizontal direction, the camera unit 170 moves the glass substrate 10 And takes a picture of the stage 162. And confirms the seating state of the glass substrate 10 by using the image photographed by the camera unit 170. [

유리 기판(10)의 안착 상태가 정상적인 것으로 확인되면, 유리 기판(10)의 가공을 위해 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향을 따라 가공부(160)로 이동한다. 이후, 가공부(160)에서 유리 기판(10)에 대한 가공 공정이 수행된다. When it is confirmed that the glass substrate 10 is in the normal state, the stage 162 moves to the processing unit 160 along the second horizontal direction for processing the glass substrate 10. Thereafter, a machining process for the glass substrate 10 is performed in the machining unit 160.

유리 기판(10)에 대한 가공 공정이 완료되면, 스테이지(162)는 가공이 완료된 유리 기판(10)을 지지한 상태로 가공부(160)로부터 상기 제2 수평 방향을 따라 제2 이송부(154)의 하부까지 이동하여 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 제2 이송부(154)로 전달한다.The stage 162 supports the processed glass substrate 10 from the processing unit 160 along the second horizontal direction to the second transfer unit 154, And transfers the processed glass substrate 10 to the second transfer unit 154. The second transfer unit 154 transfers the processed glass substrate 10 to the second transfer unit 154. [

이후, 제2 이송부(154)는 가공부(160)로부터 전달받은 수평 상태의 가공이 완료된 유리 기판(10)을 상기 제1 수평 방향을 따라 언로더부(140)로 이송한다.Thereafter, the second transfer unit 154 transfers the processed glass substrate 10, which has been processed in the horizontal state, from the processing unit 160 to the unloader unit 140 along the first horizontal direction.

언로더부(140)는 제2 이송부(154)에 수평한 상태로 지지된 유리 기판(10)을 고정한 후, 상기 제2 방향을 따라 이동하면서 상기 수평 상태의 유리 기판(10)을 수직 상태로 회전시킨 후 제2 카세트(122)로 전달한다. The unloader unit 140 fixes the glass substrate 10 horizontally supported on the second transfer unit 154 and moves the glass substrate 10 in the vertical state in the vertical direction while moving along the second direction And then transmits it to the second cassette 122.

제2 카세트(122)에 유리 기판(10)의 적재가 완료되면, 제2 카세트(122)를 언로딩 포트부(120)로부터 언로딩한다. When the loading of the glass substrate 10 into the second cassette 122 is completed, the second cassette 122 is unloaded from the unloading port portion 120.

한편, 제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)가 동시에 같이 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하는 경우, 제1 이송부(152)가 로더부(130)로부터 가공할 유리 기판(10)을 전달받는 공정과 제2 이송부(154)가 언로더부(140)로 가공이 완료된 유리 기판(10)을 전달하는 공정이 동시에 이루어질 수 있다. When the first transferring part 152 and the second transferring part 154 simultaneously move along the first horizontal direction, the first transferring part 152 transfers the glass substrate 10 to be processed from the loader part 130 The process of transferring the processed glass substrate 10 to the unloader unit 140 and the process of transferring the processed glass substrate 10 by the second transfer unit 154 can be performed at the same time.

또한, 제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)가 동시에 같이 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하는 경우, 스테이지(162)가 제2 이송부(154)의 하부로 이동하여 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 제2 이송부(154)로 전달한 후, 바로 제1 이송부(152)의 하부로 이동하여 제1 이송부(152)로부터 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달받을 수 있다. When the first conveyance unit 152 and the second conveyance unit 154 simultaneously move along the first horizontal direction, the stage 162 moves to the lower portion of the second conveyance unit 154, The substrate 10 is transferred to the second transfer unit 154 and then directly moved to the lower portion of the first transfer unit 152 to receive the glass substrate 10 to be processed from the first transfer unit 152.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 가공부들을 이송부의 이동 경로 양측에 배치하므로, 상기 이송부의 이동 경로를 단축할 수 있을 뿐만 아니라 배치 가능한 상기 가공부들의 개수도 증가시킬 수 있다. 따라서, 상기 유리 기판 가공 장치의 공간 효율성을 향상시킬 수 있다. As described above, since the machining portions according to the present invention are disposed on both sides of the movement path of the conveyance portion, the movement path of the conveyance portion can be shortened, and the number of the machining portions that can be arranged can also be increased. Therefore, the space efficiency of the glass substrate processing apparatus can be improved.

본 발명에 따른 유리 기판 가공 장치는 이송부 및 가공부의 스테이지를 이용하여 유리 기판을 로딩 및 언로딩하므로, 상기 유리 기판의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 따라서, 상기 유리 기판의 가공 사이클 타임을 줄여 상기 유리 기판 가공 장치의 생산성을 향상시킬 수 있다. The glass substrate processing apparatus according to the present invention can reduce the time required for loading and unloading the glass substrate by loading and unloading the glass substrate using the stage of the transferring unit and the processing unit. Therefore, the productivity of the glass substrate processing apparatus can be improved by reducing the processing cycle time of the glass substrate.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

100 : 유리 기판 가공 장치 110 : 로딩 포트부
112 : 제1 카세트 120 : 언로딩 포트부
130 : 로더부 140 : 언로더부
150 : 이송부 152 : 제1 이송부
154 : 제2 이송부 160 : 가공부
162 : 스테이지 164 : 정비 공간
170 : 카메라부 180 : 샘플링부
10 : 유리 기판100: Glass substrate processing apparatus 110: Loading port unit
112: first cassette 120: unloading port portion
130: loader unit 140: unloader unit
150: transfer part 152: first transfer part
154: second transfer part 160:
162: Stage 164: Maintenance space
170: camera unit 180: sampling unit
10: glass substrate

Claims

A transporting unit moving along the first horizontal direction and transporting the glass substrate to be processed and the processed glass substrate;
Processing parts provided on both sides of the transfer path of the transfer part to cut or polish the glass substrate or form holes; And
And a second conveying unit that is disposed at a different height from the conveying unit so as to move without interfering with the conveying unit and moves from the conveying unit to each of the stages while moving along the first horizontal direction, And a camera unit for confirming all the seating states of the transferred glass substrates to be processed,
The processing units,
And a transfer unit for transferring the processed glass substrate to the transfer unit and for transferring the glass substrate to be processed, the transfer unit being located outside the processing unit inside the processing unit along a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction A stage moving to a transfer path and a spindle for rotating the tool to perform cutting, polishing and hole forming on the glass substrate on the stage,
Wherein the transfer unit directs the glass substrate to be processed to the stage moved to the transfer path of the transfer unit or to the stage to be transferred directly from the stage moved to the transfer path of the transfer unit, Descending.
The transfer unit transfers the glass substrate to be processed to a stage moved to the transfer path of the transfer unit and then moves along the first horizontal direction, the camera unit photographs the stage on which the glass substrate to be processed is placed, And confirming a seating state of the substrate.

The glass substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the transfer section includes a first transfer section for transferring the glass substrate to be processed and a second transfer section for transferring the processed glass substrate.

The glass substrate processing apparatus according to claim 2, wherein the first transfer section and the second transfer section simultaneously move along the first horizontal direction.

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The apparatus for processing a glass substrate according to claim 1, wherein adjacent processing parts are spaced apart from each other by a predetermined distance for maintenance of the transfer part, the processing parts, and the camera part.

The apparatus for processing a glass substrate according to claim 1, wherein the processing units are detachably mounted.

The apparatus according to claim 1, further comprising: a loading port for supporting a first cassette on which the glass substrate to be processed is loaded;
A loader unit for transferring the glass substrate to be processed from the first cassette to the transfer unit;
An unloading port portion for supporting a second cassette for loading the processed glass substrate; And
And an unloader unit for transferring the processed glass substrate from the transfer unit to the second cassette.

[8] The apparatus according to claim 7, wherein the loader unit rotates the glass substrate supported in a state of being perpendicular to the first cassette and transfers the glass substrate in a horizontal state to the transfer unit, and the unloader unit rotates the transferred glass substrate in a horizontal state And the second cassette is vertically transferred to the second cassette.

The glass substrate processing apparatus according to claim 7, further comprising a sampling section provided between the loading port and the unloading port, for sampling and storing the glass substrate processed in the processing section.