KR101331193B1 - Automated defect detection vision system for recycling ic-tray - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 재활용 IC 트레이(210)를 적재 및 공급하고 이송하는 트레이 운반부(100), 재활용 IC 트레이(210)의 상면과 하면, 측면을 측정하는 카메라부 (400), 카메라부(400)로부터 전송된 측정 결과와 미리 입력된 양품의 측정 결과를 비교하여 상기 재활용 IC 트레이(210)의 양품과 불량품 여부를 검출하는 불량 검출부(500)를 포함하는 것을 특징으로 하는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템에 관한 것이다.
The present invention, the
IC(Integrated Circuit)는 특정 기능을 수행하는 전기 회로와 반도체 소자를 하나의 칩에 모아 구현한 것을 말하며 집적회로 또는 IC칩이라고 한다.An integrated circuit (IC) refers to an integrated circuit or IC chip, which is a combination of an electric circuit and a semiconductor device that performs a specific function.
IC칩은 미세회로가 인쇄되어 있기 때문에 전기적 충격이나 물리적 충격에 매우 민감하다.IC chip is very sensitive to electric shock and physical shock because microcircuits are printed.
이에 IC칩을 외부에서 침투할 수 있는 전자파나 정전기 등으로부터 차단하고, 외부의 충격이나 고온에서도 잘 보호될 수 있도록 설계 및 제조된 반도체 패킹용 원부자재를 IC 트레이라고 한다.Therefore, the IC tray is called an IC tray which is designed and manufactured to block the IC chip from electromagnetic waves or static electricity that can penetrate from the outside and to be protected even from external shock or high temperature.
IC 트레이는 IC칩을 분진 및 수분 등에 의한 전기적 충격 등으로부터 방지하고 분진에 의한 IC칩의 훼손을 방지하기 위해 정전 분산 즉 표면저항을 104~105 암페어로 일정하게 유지하여야 한다.
In order to prevent the IC chip from electric shocks caused by dust and moisture, and to prevent damage of the IC chip due to dust, the IC tray must maintain a constant static dissipation, that is, surface resistance of 104 to 105 amps.
IC 트레이는 유형에 따라 IC 트레이의 사이즈 및 형태가 정해지게 된다.The type of IC tray determines the size and shape of the IC tray.
또한 사용자는 수분 제거 목적으로 IC칩이 담긴 상태의 트레이를 베이킹한 후에 사용하기 때문에 반도체 트레이용 소재는 내열성, 내충격성은 물론 베이킹 전후의 치수안정성과 저왜곡성이 중요하다. In addition, because the user uses the IC chip after baking the tray for moisture removal, the material for the semiconductor tray is important for heat resistance, impact resistance, dimensional stability and low distortion before and after baking.
이에 IC 트레이의 불량률을 줄이기 위한 불량검출작업이 중요하다.
Therefore, it is important to detect defects to reduce the defective rate of IC trays.
종래의 IC칩과 같은 반도체 소자의 불량검출 검사에 관한 연구에 대한 일 예로서, 도 1 에 도시된 바와 같이 대한민국 공개특허공보 10-2005-0073299에 웨이퍼 레벨 반도체 소자용 외관 검사 및 분류 설비가 개시되어 있다.As an example of a study on defect detection inspection of a semiconductor device such as a conventional IC chip, an appearance inspection and classification facility for a wafer level semiconductor device is disclosed in Korea Patent Publication No. 10-2005-0073299 as shown in FIG. It is.
개략적으로 살펴보면, 웨이퍼 공급부(10)에서 공급된 웨이퍼(11)로부터 분리된 반도체 소자(21)를 소자 픽업부(20)에서 픽업하여 제 1 비전 검사부(30)에서 일면 외관을 검사한 다음, 소자 이송부(40)를 통해 이송하여 제 2 비전 검사부(50)에서 타면 외관을 검사하고 있다. In brief, the
이는 전기적 성능 검사가 선행되는 웨이퍼 레벨 반도체 소자의 외관을 검사하고 분류하여 완제품을 제공할 수 있는 웨이퍼 레벨 반도체 소자용 외관 검사 및 분류 설비에 관한 것이다.
This relates to an inspection and sorting facility for wafer level semiconductor devices that can provide finished products by inspecting and classifying the appearance of wafer level semiconductor devices preceded by electrical performance tests.
IC 트레이는 IC 칩을 제거한 후 재사용이 가능한데 이때 IC 트레이의 오염여부, 깨짐, Burr, Crack 등 외관의 불량여부를 확인하여 불량품은 제거한 후 양품만 사용하여야 한다.The IC tray can be reused after removing the IC chip. At this time, check whether the IC tray is contaminated, cracked, burr, cracked, etc., and then remove the defective product.
이와 같은 IC 트레이 및 재활용 IC 트레이에 대한 불량여부를 검출하기 위해 제조 공정마다 적격여부 판단절차에 따라 제품을 살피고, 치수 확인을 하며, 육안으로 외관을 살피는 분류공정을 국내에서는 수작업으로 진행하고 있다.In order to detect such defects on IC trays and recycled IC trays, a sorting process is performed manually in Korea in order to check products, check dimensions, and visually examine the appearance according to the eligibility determination procedure for each manufacturing process.
수작업 진행으로 인해 일일 검출 생산량과 불량점 색출에 한계가 있고 일일이 육안으로 불량여부를 검출함으로써 작업자의 피로가 증가하여 실수가 발생하고 이로 인해 검수가 완료한 IC 트레이의 불량율이 지속되는 등의 문제점이 발생한다.Due to the manual process, there are limitations on daily detection yield and defect spot detection, and by detecting whether the defects are visually inspected by hand, the worker's fatigue increases, which leads to mistakes. Occurs.
또한 수작업으로 진행할 수 있는 기능 인력을 모집하는데 한계가 있으며 인건비 등의 생산비용이 증가하는 문제점이 발생한다.
In addition, there is a limit in recruiting functional personnel who can proceed manually, and there arises a problem that production costs such as labor costs increase.
따라서 일일 분류량을 증가시키고 불량효율을 감소함과 동시에 생산성을 향상시킬 수 있는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템의 개발이 필요하다.
Therefore, there is a need to develop an automated vision system for detecting defects of recycled IC trays that can increase daily fractionation, reduce defect efficiency, and improve productivity.
본 발명의 목적은, 일일 분류량을 증가시키고 불량효율을 감소함과 동시에 생산성을 향상시킬 수 있는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템을 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a recycling IC tray failure detection automation vision system that can increase the daily fractionation amount, reduce the defect efficiency and at the same time improve productivity.
본 발명의 목적은, 재활용 IC 트레이(210)를 적재 및 공급하고 이송하는 트레이 운반부(100), 재활용 IC 트레이(210)의 상면과 하면, 측면을 측정하는 카메라부 (400), 카메라부(400)로부터 전송된 측정 결과와 미리 입력된 양품의 측정 결과를 비교하여 상기 재활용 IC 트레이(210)의 양품과 불량품 여부를 검출하는 불량 검출부(500)를 포함하는, 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템을 제공하고자 한다.
An object of the present invention, the
본 발명은, 재활용 IC 트레이(210)를 적재 및 공급하고 이송하는 트레이 운반부(100), 재활용 IC 트레이(210)의 상면과 하면, 측면을 측정하는 카메라부 (400), 카메라부(400)로부터 전송된 측정 결과와 미리 입력된 양품의 측정 결과를 비교하여 상기 재활용 IC 트레이(210)의 양품과 불량품 여부를 검출하는 불량 검출부(500)를 포함하는 것을 특징으로 하는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템을 제공함으로써, 상기 기술적 과제를 해결하고자 한다.The present invention, the
본 발명은, 상기 트레이 운반부(100)는 재활용 IC 트레이(210)를 적재하고 공급하는 트레이 적재부(200)와 트레이 이송부(300)를 포함하고, 상기 트레이 이송부(300)는 재활용 IC 트레이(210)를 이송하는 트레이 이송모듈과 트레이 반전모듈(340)을 포함하며, 상기 트레이 반전모듈(340)은 재활용 IC 트레이(210)의 상하를 반전시키는 것을 특징으로 하는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템을 제공함으로써, 상기 기술적 과제를 해결하고자 한다.According to the present invention, the
본 발명은, 상기 트레이 반전모듈(340)은 트레이 회전부(342)를 중심으로 양쪽으로 고정날개(343)가 위치하고 고정날개(343)의 각각의 끝에는 트레이 장착부(341)가 위치하는 것을 특징으로 하는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템을 제공함으로써, 상기 기술적 과제를 해결하고자 한다.According to the present invention, the
본 발명은, 상기 불량 검출부(500)는 상기 카메라부(400)로부터 전송된 측정 결과를 이용하여 재활용 IC 트레이(210) 외관의 굴곡형태, 오염여부, 깨짐여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템을 제공함으로써, 상기 기술적 과제를 해결하고자 한다.According to the present invention, the
본 발명은, 상기 불량 검출부(500)는 상기 카메라부(400)에서 상면을 측정한 후 양품 판정을 받은 재활용 IC 트레이(210)에 대해서 하면과 측면을 측정하여 검출하는 것을 특징으로 하는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템을 제공함으로써, 상기 기술적 과제를 해결하고자 한다.
According to the present invention, the
본 발명은, 재활용 IC 트레이(210)를 적재 및 공급하고 이송하는 트레이 운반부(100), 재활용 IC 트레이(210)의 상면과 하면, 측면을 측정하는 카메라부 (400), 카메라부(400)로부터 전송된 측정 결과와 미리 입력된 양품의 측정 결과를 비교하여 상기 재활용 IC 트레이(210)의 양품과 불량품 여부를 검출하는 불량 검출부(500)를 포함하는 것을 특징으로 하는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템을 제공하는 현저한 효과를 보유하고 있다.
The present invention, the
도 1 은 종래기술인 웨이퍼 레벨 반도체 소자용 외관 검사 및 분류 설비를 보여주는 블록도를 도시한 도면이다.
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템의 주요 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템의 흐름도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템의 구성도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템에서 사용하는 IC 트레이를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6 은 본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템에서 사용하는 IC 트레이의 적재 조립도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7 은 본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템의 트레이 반전모듈을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a block diagram showing a conventional inspection and sorting facility for a wafer level semiconductor device.
2 is a view schematically showing the main configuration of the recycling IC tray failure detection automated vision system according to an embodiment of the present invention.
3 is a view schematically illustrating a flowchart of a recycling IC tray failure detection automation vision system according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 is a diagram schematically illustrating a configuration of a recycling IC tray failure detection automated vision system according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a view schematically illustrating an IC tray used in a recycling IC tray failure detection automated vision system according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a diagram schematically illustrating a loading assembly diagram of an IC tray used in a recycling IC tray failure detection automated vision system according to an exemplary embodiment of the present invention.
7 is a diagram schematically illustrating a tray reversal module of a recycling IC tray failure detection automated vision system according to an exemplary embodiment of the present invention.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.The terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms and the inventor may properly define the concept of the term in order to best describe its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.
따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and are not intended to represent all of the technical ideas of the present invention. Therefore, various equivalents It should be understood that water and variations may be present.
이하, 도면을 참조하여 설명하기에 앞서, 본 발명의 요지를 드러내기 위해서 필요하지 않은 사항 즉 통상의 지식을 가진 당업자가 자명하게 부가할 수 있는 공지 구성에 대해서는 도시하지 않거나, 구체적으로 기술하지 않았음을 밝혀둔다.
Before describing the present invention with reference to the accompanying drawings, it should be noted that the present invention is not described or specifically described with respect to a known configuration that can be easily added by a person skilled in the art, Let the sound be revealed.
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템의 주요 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
2 is a view schematically showing the main configuration of the recycling IC tray failure detection automated vision system according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템은 재활용 IC 트레이(210)를 카메라부(400)를 이용하여 데이터를 측정하고, 측정한 데이터를 불량 검출부(500)로 전송하여 불량 검출부(500)에서 각각의 불량 데이터를 분석하며, 불량 IC 트레이를 검출 및 분류하여 양품과 불량품을 자동 선별하는 시스템이다.
Recycling IC tray failure detection automation vision system according to an embodiment of the present invention measures the data by using the
본 발명의 실시예에서 이용하는 카메라부(400)는 비젼검사기 중의 한 종류인 AOI(Automatic Optical Inspection) 검사기이다.The
일반적으로 비젼검사기란 영상처리를 이용하여 사물을 구분하는 것으로 인쇄회로기판의 납땜상태나 리드선의 쇼트상태, 결선 여부 등을 확인하는 품질검사 공정에서 많이 사용되고 있다. In general, a vision inspector is used to classify objects using image processing, and is widely used in a quality inspection process for checking a soldering state of a printed circuit board, a short state of a lead wire, and whether or not a wire is connected.
본 발명의 실시예에서 이용하는 AOI(Automatic Optical Inspection) 검사기는 화상처리 기술을 응용하여 이미지에 의한 부품의 외관검사 작업을 기계화한 것으로 인쇄 회로 기판 제조 공정 중 회로의 패턴 불량 등과 같은 상태를 검사하는데 많이 사용되고 있다.
The AOI (Automatic Optical Inspection) inspector used in the embodiment of the present invention is a mechanized work of appearance inspection of parts by an image by applying image processing technology. It is used.
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템의 흐름도를, 도 4 는 구성도를 개략적으로 도시한 도면이다.
3 is a flowchart of a recycling IC tray failure detection automated vision system according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a diagram schematically illustrating a configuration.
본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템의 작동 순서를 간략하게 설명하면 다음과 같다.The operation sequence of the recycling IC tray failure detection automation vision system according to the embodiment of the present invention will be briefly described as follows.
트레이 공급모듈(220)로부터 IC 트레이(210)가 롤러 시스템 1(310a)로 공급된다. IC 트레이(210)는 롤러 시스템 1(310a)을 따라 이동하고 IC 트레이(210)가 상면 측정모듈(410)의 측정범위 내에 진입하면 상면 측정모듈(410)은 IC 트레이(210)의 상면을 측정하고 측정결과는 불량 검출부(500)로 전송한다. The
불량 검출부(500)는 전송된 상면 측정결과의 굴곡형태와 오염상태, 깨짐여부를 판단한 후 양품으로 판정된 IC 트레이는 그대로 롤러 시스템 1(310a)을 따라 이송시키고 불량품으로 판정된 IC 트레이는 불량반송 컨베이어(320)를 통해 불량품 트레이 적재모듈(240)로 이송시킨다.The
상면이 양품으로 판정된 IC 트레이는 트레이 반전모듈(340)에 의해 상하면이 반전된 상태로 롤러 시스템 2(310b)로 공급된다. IC 트레이(210)는 롤러 시스템 2(310b)를 따라 이동하고 IC 트레이(210)가 하면 측정모듈(420)의 측정범위 내에 진입하면 하면 측정모듈(420)은 IC 트레이(210)의 하면을 측정하고 측정결과는 불량 검출부(500)로 전송한다.The IC tray whose upper surface is determined to be good is supplied to the roller system 2 310b with the upper and lower surfaces reversed by the
불량 검출부(500)는 전송된 하면 측정결과의 굴곡형태와 오염상태, 깨짐여부를 판단한 후 양품으로 판정된 트레이는 그대로 롤러 시스템 2(310b)를 따라 이송시키고 불량품으로 판정된 IC 트레이는 불량반송 컨베이어(320)를 통해 불량품 트레이 적재모듈(240)로 이송시킨다.The
상면 측정모듈(410)과 하면 측정모듈(420)에 의해 상면과 하면이 양품으로 판정된 IC 트레이는 그대로 롤러 시스템 2(310b)를 따라 이동하고 IC 트레이(210)가 측면 측정모듈(430)의 측정범위 내에 진입하면 측면 측정모듈(430)은 상면, 하면 측정모듈과 같은 방법으로 양품과 불량품을 구분한다.The upper and lower IC trays determined by the upper and
이때 불량 검출부(500)는 측면의 오염상태와 깨짐여부를 판단하여 양품과 불량품을 구분한다.At this time, the
최종적으로 상면과 하면, 측면이 양품으로 판정된 IC 트레이는 롤러 시스템 2(310b)를 따라 양품 트레이 적재모듈(230)로 이동한다.
Finally, the upper and lower surfaces, the IC tray side is determined to be good moves to the good
재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템은 작업공간에 따라서 일렬로 배치하거나 ㄷ자 형식의 병렬로 배치하여 사용할 수 있다.Recycling IC tray defect detection automation vision system can be arranged in a line according to the work space or in parallel in a U-shape.
본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템에 대해 이하에서는 ㄷ자 형식의 병렬로 배치하는 것을 가정하여 서술한다.The recycling IC tray failure detection automation vision system according to an embodiment of the present invention will be described below on the assumption that they are arranged in parallel in a U-shape.
또한 이하에서는 재활용 IC 트레이를 트레이라고 명기한다.
In addition, hereinafter, the recycling IC tray will be referred to as a tray.
본 발명의 일실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템은 트레이 운반부(100), 카메라부(400), 불량 검출부(500)를 포함한다.
Recycling IC tray failure detection automated vision system according to an embodiment of the present invention includes a
트레이 운반부(100)는 트레이를 적재하고 이송하는 기능을 수행하며 트레이 적재부(200), 트레이 이송부(300)를 포함한다.
The
도 5 는 본 발명의 실시예에서 사용하는 트레이(210)를, 도 6 은 본 발명의 실시예에서 사용하는 트레이(210)의 적재 조립도를 개략적으로 도시한 도면이다.
FIG. 5 is a schematic view showing a stacking assembly of the
트레이 적재부(200)는 트레이를 적재하고 공급하는 기능을 수행하며 트레이(210), 트레이 공급모듈(220), 양품 트레이 적재모듈(230), 불량품 트레이 적재모듈(240)을 포함한다.
The
트레이(210)는 IC칩을 외부의 충격이나 고온으로부터 보호할 수 있도록 설계 및 제조된 반도체 패킹용 원부자재이다.The
본 발명의 실시예에서 사용하는 트레이(210)는 재활용하여 사용하기 위한 것으로 318 x 135 x 7mm (가로 x 세로 x 높이)의 크기를 가지고 12행 25열로 구성되어 총 300개의 IC칩을 보관할 수 있다. The
바람직하게, 트레이(210)의 상면에는 적재 연결턱(211)이 위치하고 하면에는 적재 연결홈(212)이 위치한다.Preferably, the
적재 연결턱(211)과 적재 연결홈(212)을 이용하여 트레이끼리 서로 쌓아 올려 적재할 수 있는데 적재되는 트레이 중 아래쪽에 위치하는 트레이 상면의 적재 연결턱(211)과 위쪽에 위치하는 트레이 하면의 적재 연결홈(112)이 서로 끼워맞춤되어 적재된다.
Trays can be stacked and stacked on top of each other by using the
트레이 공급모듈(220)은 불량검출을 받기 위해 적재되어 있는 트레이(210)를 하나씩 롤러 시스템 1(310a)에 공급하는 기능을 수행한다.The
바람직하게, 트레이 공급모듈(220)의 상부에는 픽커가 위치하여 적재되어 있는 트레이(210)를 위에서부터 순차적으로 픽업하여 롤러 시스템 1(310a)에 공급한다.Preferably, the picker is located on the upper part of the
설계조건에 따라서, 트레이 공급모듈(220)의 픽커는 한 개를 사용할 수 있고 경우에 따라서 한 개 이상 여러 개의 픽커를 사용하여 트레이를 공급하는 간격차를 좁게 하여 전체적인 공정시간을 줄이도록 할 수 있다.Depending on the design conditions, one picker of the
또한 트레이 공급모듈(220)은 픽커를 사용하지 않고 작업자가 직접 트레이(210)를 롤러 시스템 1(310a)에 공급함으로서 트레이 공급모듈(220)을 자동화 공정과정에서 제외할 수 있다.
In addition, the
양품 트레이 적재모듈(230)은 모든 불량검출결과 양품으로 판단된 트레이를 적재하는 기능을 수행한다.The non-defective
바람직하게, 모든 불량검출결과 양품으로 판단된 트레이는 롤러 시스템 2(310b)를 통해 양품 트레이 적재모듈(230)로 이동한다.Preferably, the tray determined to be good as a result of all defect detection is moved to the good
양품 트레이 적재모듈(230)의 상부에는 픽커가 위치하여 양품 트레이 적재모듈(230)로 이동되는 트레이(210)를 순서대로 픽업하여 위로 쌓아 적재한다.Pickers are placed on the upper side of the non-defective
양품 트레이가 일정수량 쌓이면 작업자는 이를 포장박스에 담는다.When a certain quantity of good quality trays are stacked, the worker puts them in a packing box.
설계조건에 따라서, 양품 트레이 적재모듈(230)은 픽커를 사용하지 않고 작업자가 직접 양품 트레이를 포장박스에 적재함으로서 양품 트레이 적재모듈(230)을 자동화 공정과정에서 제외할 수 있다. According to the design conditions, the non-defective
또한 설계조건에 따라서, 양품 트레이 적재모듈(230) 대신 자동 포장시스템을 적용하여 양품 트레이를 하나씩 별도 포장하거나 박스에 정해진 수량대로 담을 수 있도록 적용할 수 있음은 물론이다.
In addition, depending on the design conditions, by applying an automatic packaging system instead of the good quality
불량품 트레이 적재모듈(240)은 불량검출결과 불량품으로 판단된 트레이를 적재하는 기능을 수행한다.The defective product
바람직하게, 불량검출결과 불량품으로 판단된 트레이는 불량반송 컨베이어(320)를 통해 불량품 트레이 적재모듈(240)로 이동한다.Preferably, the tray determined to be a defective product as a result of the defective detection is moved to the defective
불량품 트레이 적재모듈(240)의 상부에는 픽커가 위치하여 불량품 트레이 적재모듈(240)로 이동되는 트레이(210)를 픽업하여 위로 쌓아 적재한다.Pickers are placed on the top of the defective
불량품 트레이가 일정수량 쌓이면 작업자는 이를 박스에 담는다.When a certain quantity of defective trays accumulate, the operator puts them in a box.
설계조건에 따라서, 불량품 트레이 적재모듈(240)은 픽커를 사용하지 않고 작업자가 직접 불량품 트레이를 박스에 적재함으로서 불량품 트레이 적재모듈(240)을 자동화 공정과정에서 제외할 수 있다.
According to design conditions, the defective
트레이 이송부(300)는 트레이(210)를 이송시키는 수단으로서 트레이 이송모듈, 트레이 반전모듈(340)을 포함한다.The
트레이 이송모듈은 롤러 시스템(310), 불량반송 컨베이어(320), 반송 실린더(330)를 포함한다.
The tray transport module includes a roller system 310, a
롤러 시스템(310)은 롤러와 롤러 사이에 벨트를 장착하여 불량검출을 받기 위한 트레이를 이송하는 기능을 수행하며 롤러 시스템 1, 2(310a, 310b)를 포함한다.The roller system 310 performs a function of transporting a tray for receiving a defect detection by mounting a belt between the roller and the roller, and includes roller systems 1 and 2 310a and 310b.
롤러 시스템 1(310a)은 불량검출을 받기 위해 공급되는 트레이와 상면을 측정한 후 양품 판정을 받은 트레이를 이송하고, 롤러 시스템 2(310b)는 상면을 측정한 후 양품 판정을 받은 트레이와 하면과 측면을 측정한 후 양품 판정을 받은 트레이를 이송한다.The roller system 1 310a measures the tray and the upper surface supplied to receive the defect detection, and then transfers the tray which has been judged good quality, and the roller system 2 310b measures the upper surface and then the tray and the lower surface which have been judged good quality. After measuring the sides, transfer the tray that has been judged good.
설계조건에 따라서, 롤러 시스템(310)은 여러 개의 파트로 분리하여 설치하여 모든 파트를 한 번에 작동하되 돌발상황에 대비하여 각각 정지 및 이송이 가능하도록 할 수 있다.Depending on the design conditions, the roller system 310 may be installed separately into a number of parts to operate all the parts at once, but to be able to stop and transport, respectively, in case of a sudden situation.
또한, 롤러와 롤러 사이에 벨트를 사용하지 않고 여러 개의 롤러를 좁은 간격으로 나열하여 설치할 수 있음은 물론이다.
In addition, it is a matter of course that a plurality of rollers can be arranged in a narrow gap without installing a belt between the rollers and the rollers.
바람직하게, 롤러 시스템 1, 2(310a, 310b)의 각각의 양측면에는 트레이(210)가 롤러 시스템(310)으로부터 이탈하지 않도록 가이드(311)가 위치한다.Preferably, guides 311 are positioned on both sides of roller systems 1 and 2 310a and 310b to prevent
가이드(311)는 트레이(210)의 사이즈를 고려하여 제작하는데, 이 가이드(311)와 트레이 장착부(341)의 트레이가 유입되는 부분의 치수를 동일하게 하여 트레이(210)가 트레이 장착부(341)에 어려움 없이 유입될 수 있도록 한다.The
설계조건에 따라서, 가이드(311)는 고정될 수도 있고 트레이(210) 크기에 맞추어 조절이 가능하도록 할 수 있다.
Depending on the design conditions, the
불량반송 컨베이어(320)는 불량검출에서 불량판정을 받은 트레이를 불량품 트레이 적재모듈(240)로 이송하는 기능을 수행한다.The defective conveying
바람직하게, 불량반송 컨베이어(320)는 롤러 시스템 1, 2(310a, 310b)와 나란하게 위치하며 롤러 시스템 1, 2(310a, 310b)의 바깥쪽에 각각 위치한다.Preferably, the defective conveying
불량반송 컨베이어(320)는 폭을 넓게 하여 트레이가 이탈 없이 불량품 트레이 적재모듈(240)로 이송될 수 있도록 한다.
The defective conveying
반송 실린더(330)는 불량검출에서 불량판정을 받은 트레이를 롤러 시스템(310)에서 불량반송 컨베이어(320)로 이송시키는 기능을 수행한다.The conveying
바람직하게, 반송실린더(330)는 롤러 시스템 1과 2(310a, 310b) 사이에 위치하고 실린더 내부의 피스톤은 실린더의 양쪽으로 피스톤이 각각 움직일 수 있도록 한다. Preferably, the
불량 검출부(500)에 의해 카메라부(400)가 측정한 트레이가 불량품이라고 판단이 되면 불량 검출부(500)는 반송실린더(330)를 작동시킨다.When it is determined that the tray measured by the
반송실린더(330)를 작동시키면 반송실린더 내부의 피스톤이 튀어나와 트레이(210)를 밀어내어 롤러 시스템(310)에서 불량반송 컨베이어(320)로 트레이(310)를 이송시킨다.
When the conveying
도 7 은 본 발명의 실시예에 따른 트레이 반전모듈(340)을 개략적으로 도시한 도면이다.
7 is a view schematically showing a
트레이 반전모듈(340)은 트레이(210)의 상하를 반전시키는 기능을 수행하며 픽커, 트레이 장착부(341), 트레이 회전부(342), 고정날개(343)를 포함한다.The
본 발명의 실시예에 따른 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템은 트레이(210)의 상면을 먼저 측정한 후 양품 판정을 받은 트레이에 대해서만 하면과 측면을 측정하도록 한다.Recycling IC tray failure detection automated vision system according to an embodiment of the present invention to measure the upper surface of the
따라서 상면이 양품이라고 판정을 받은 트레이(210)는 하면을 측정하기 위하여 상하면이 반전되어야 하고 그 기능을 수행하는 것이 트레이 반전모듈(340)이다.Accordingly, the
트레이 반전모듈(340)은 트레이 회전부(342)를 중심으로 양쪽으로 고정날개(343)가 위치하고 고정날개(343)의 각각의 끝에는 트레이 장착부(341)가 위치한다. 그리고 트레이 반전모듈(340)의 상부에는 픽커가 위치한다.
The
픽커는 트레이 반전모듈(340)의 상부에 위치하여 트레이 장착부(341)를 결합하고 분리하는 기능을 수행한다.The picker is positioned above the
바람직하게, 픽커는 트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)와 3, 4(341c, 341d)의 상부에 각각 위치하고 상하로 움직인다.
Preferably, the picker is positioned on top of the tray mounts 1, 2 (341a, 341b) and 3, 4 (341c, 341d), respectively, and moves up and down.
트레이 장착부(341)는 트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)와 트레이 장착부 3, 4(341c, 341d)로 구성되고 트레이 장착부 1(341a)은 2(341b)와, 트레이 장착부 3(341c)은 4(341d)와 각각 상하로 결합하여 하나의 장착부를 이루어 트레이를 고정한다. The
트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)는 롤러 시스템 1(310a)과 동일선상에 위치하고 트레이 장착부 3, 4(341c, 341d)는 롤러 시스템 2(310b)와 동일선상에 위치한다.Tray mounts 1 and 2 341a and 341b are colinear with roller system 1 310a and tray mounts 3 and 4 341c and 341d are colinear with roller system 2 310b.
바람직하게, 트레이 장착부 1(341a)과 2(341b)가 결합되는 면의 중간에는 고정날개(343)와 끼워맞춤되어 조립될 수 있도록 고정날개 조립홈(344)이 위치한다.Preferably, the fixing
고정날개 조립홈(344)에 고정날개(343)를 끼워서 조립하고 고정날개(343)를 중심으로 아래에는 트레이 장착부 1(341a), 위로는 트레이 장착부 2(341b)를 끼워서 조립한다.The fixed
즉 고정날개(343)를 중심으로 트레이 장착부 1(341a)과 2(341b)는 각각 분리될 수도 있고 결합 될 수도 있다.That is, the tray mounting parts 1 341a and 2 341b may be separated from each other or may be combined with respect to the
고정날개 조립홈(344)의 반대쪽에는 픽커홈(345)이 위치하는데 이 픽커홈(345)을 이용하여 트레이 반전모듈(340)의 상부에 위치하는 픽커가 트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)를 상하로 이동시킬 수 있도록 한다.
The picker groove 345 is located at the opposite side of the fixed
또한 트레이 장착부(341)의 일면은 막혀있고 나머지 일면은 열려있어 트레이(210)가 롤러 시스템(310)으로부터 트레이 장착부(341)로 유입될 수 있도록 한다. 막혀있는 면의 중앙에는 실린더홈(346)이 위치한다.
In addition, one surface of the
트레이 장착부 3, 4(341c, 341d)는 트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)와 동일한 구조로 구성한다.
The tray mounting parts 3 and 4 341c and 341d have the same structure as the tray mounting parts 1 and 2 341a and 341b.
트레이 회전부(342)는 회전날개에 연결된 트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)를 180도 간격으로 360도 회전시킨다.The
바람직하게, 트레이 회전부(342)는 트레이 반전모듈(340)의 중간에 위치하며 트레이 회전부(342)로부터 양쪽으로 동일한 치수와 구조를 가진 회전날개와 트레이 장착부가 위치한다.Preferably, the
이때 트레이 회전부(342)의 중심으로부터 트레이 장착부(341)까지의 거리는 롤러 시스템 1(310a)에서 롤러 시스템 2(310b)까지 거리의 1/2 과 같도록 한다.In this case, the distance from the center of the
즉 트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)와 트레이 장착부 3, 4(341c, 341d)까지의 거리는 롤러 시스템 1(310a)에서 롤러 시스템 2(310b)까지의 거리와 일치하도록 하며 그 거리의 중간에 트레이 회전부(342)가 위치한다.
That is, the distance between the tray mounts 1 and 2 (341a and 341b) and the tray mounts 3 and 4 (341c and 341d) should match the distance from the roller system 1 (310a) to the roller system 2 (310b) in the middle of the distance. The
트레이 반전모듈(340)에 의해 트레이가 반전되는 순서는 다음과 같다.The order in which the tray is inverted by the
트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)의 상부에 위치한 픽커가 내려와 트레이 장착부 2(341b)를 위로 들어올린다.The pickers located on the upper sides of the tray mounts 1 and 2 341a and 341b descend to raise the tray mount 2341b.
상면을 측정한 후 양품 판정을 받은 트레이는 롤러 시스템 1(310a)에 의해 이송되어 트레이 장착부 1(341a)에 유입된다.After measuring the upper surface, the tray having been judged good quality is transferred by the roller system 1 310a and flows into the
트레이(210)가 트레이 장착부 1(341a)의 막힌 면에 의해 정지하면 픽커는 내려와 트레이 장착부 2(341b)를 트레이 장착부 1(341a)과 결합시켜 트레이(210)를 고정한 후 다시 위로 올라간다.When the
고정된 트레이와 함께 트레이 장착부(341)는 트레이 회전부(342)에 의해 180도 회전하여 트레이(210)의 상면과 하면의 위치가 반전된다.The
이때 트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)와 트레이 장착부 3, 4(341c, 341d)의 위치가 바뀌게 된다. At this time, the positions of the tray mounting parts 1 and 2 341a and 341b and the tray mounting parts 3 and 4 341c and 341d are changed.
위치가 바뀐 트레이 장착부 3, 4(341c, 341d)는 트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)와 동일한 순서로 트레이를 고정한다.
The tray mounting portions 3, 4 341c and 341d that have been changed positions secure the trays in the same order as the tray mounting portions 1 and 2 341a and 341b.
한편 트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)는 원래의 트레이 장착부 3, 4(341c, 341d)의 상부에 위치한 픽커가 내려와 트레이 장착부 1(341a)을 위로 들어올린다.On the other hand, the tray mounts 1 and 2 341a and 341b lower the pickers located above the original tray mounts 3 and 4 341c and 341d, and lift the tray mounts 134a up.
그 다음 트레이 장착부 2(341b)의 막힌 면에 위치한 실린더홈(346)을 통해 실린더가 반전된 트레이를 밀어내어 트레이(210)를 롤러 시스템 2(310b)로 이송시킨다. The
트레이(210)가 트레이 장착부 2(341b)로부터 분리되어 롤러 시스템 2(310b)로 이송되면 트레이 장착부 1(341a)는 내려와 트레이 장착부 2(341b)와 고정된다.When the
고정된 트레이 장착부(341)는 내부가 비어있는 상태로 트레이 회전부(342)에 의해 180도 회전하여 원래 위치로 돌아간다.The fixed
트레이 장착부 3, 4(341c, 341d)는 트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)와 동일한 순서로 트레이(210)를 롤러 시스템 2(310b)로 이송시킨다. Tray mounts 3 and 4 341c and
상기 설명과 같이 트레이 장착부 1, 2(341a, 341b)와 트레이 장착부 3, 4(341c, 341d)를 이용하여 연속적으로 트레이(210)를 반전시킨다.
As described above, the
카메라부(400)는 트레이(210)의 외관을 측정하는 기능을 수행하며 상면 측정모듈(410), 하면 측정모듈(420), 측면 측정모듈(430)을 포함한다.The
상면 측정모듈(410)은 트레이(210)의 상면을 측정하는 기능을 수행하며 롤러 시스템 1(310a)의 위쪽에 위치한다.The upper
바람직하게, 트레이(210)가 롤러 시스템 1(310a)에 의해 이송하여 상면 측정모듈(410)의 측정영역 내에 진입하면 상면 측정모듈(410)은 측정을 시작한다.Preferably, when the
진입되는 순서대로 트레이(210)의 열마다 측정하고 측정이 끝나면 측정 결과를 불량 검출부(500)로 자동 전송한다.
The measurement is performed for each row of the
하면 측정모듈(420)은 트레이(210)의 하면을 측정하는 기능을 수행하며 롤러 시스템 2(310b)의 위쪽에 위치한다.The lower
바람직하게, 상면 측정모듈(410)에 의해 양품 판정을 받은 트레이가 위아래가 반전된 후 롤러 시스템 2(310b)에 의해 이송되어 하면 측정모듈(420)의 측정영역 내에 진입하면, 하면 측정모듈(420)은 측정을 시작한다.Preferably, when the tray, which has been judged good by the upper
진입되는 순서대로 트레이(210)의 열마다 측정하고 측정이 끝나면 측정 결과를 불량 검출부(500)로 자동 전송한다.
The measurement is performed for each row of the
측면 측정모듈(430)은 트레이의 양 측면을 측정하는 기능을 수행하며 롤러 시스템 2의 양 측면에 각각 위치한다.The
바람직하게, 하면 측정모듈(420)에 의해 양품 판정을 받은 트레이가 이송되어 측면 측정모듈(430)의 측정영역 내에 진입하면 측면 측정모듈(430)은 트레이(210)의 측면 측정을 시작하고 측정이 끝나면 측정 결과를 불량 검출부(500)로 자동 전송한다.Preferably, when the tray having received the good product determination by the measuring
설계조건에 따라서, 측면 측정모듈(430)은 상면 측정모듈(410)과 하면 측정모듈(420)에서 사용하는 검사기와는 다른 종류의 검사기를 사용할 수 있다.
According to the design conditions, the
불량 검출부(500)는 카메라부(400)로부터 전송된 측정 결과와 미리 입력된 양품의 측정 결과를 비교하여 트레이(210)의 양품과 불량품 여부를 분석하고 그 결과에 따라 트레이(210)를 양품과 불량품으로 구분하는 기능을 수행하며 굴곡형태 판단모듈, 오염여부 판단모듈, 깨짐여부 판단모듈, 이송제어부를 포함한다.
The
굴곡형태 판단모듈은 트레이(210)의 외관상 굴곡형태를 판단하는 기능을 수행한다.The bending form determination module performs a function of determining an appearance bending form of the
트레이(210)는 사용목적에 따라 여러 종류의 패턴과 재질로 구성되며 트레이마다 반도체 소자를 보관할 수 있도록 여러 개의 행과 열로 이루어진 복잡한 패턴의 구조로 되어있다. 이러한 복잡한 패턴의 구조의 불량여부를 육안으로 판별하는 것은 쉽지 않다. The
바람직하게, 굴곡형태 판단모듈은 트레이(210)의 굴곡형태를 판단하여 복잡한 패턴의 트레이의 불량여부를 검출한다.Preferably, the bending form determination module determines whether the
설계조건에 따라서, 굴곡형태 판단모듈은 트레이(210)의 종류에 따른 양품 트레이의 굴곡형태를 측정한 결과가 저장된 DB를 포함한다.According to the design conditions, the bending form determination module includes a DB in which the result of measuring the bending form of the good-quality tray according to the type of the
굴곡형태 판단모듈은 DB에 저장된 양품 트레이 측정 결과와 카메라부(400)에 의해 측정한 결과를 비교하여 트레이(210)의 굴곡형태 불량여부를 검출한다.
The bend shape determination module detects whether the bend shape of the
오염여부 판단모듈은 트레이(210)의 외관에 묻은 잉크와 같은 오염물질 여부를 판단하는 기능을 수행한다.The contamination determination module performs a function of determining whether there is a contaminant such as ink on the exterior of the
바람직하게, 오염여부 판단모듈은 트레이(210)의 명암을 구분하여 트레이(210)의 외관에 묻은 오염물질 여부를 판단한다.Preferably, the contamination determination module determines whether the pollutant on the appearance of the
설계조건에 따라서, 오염여부 판단모듈은 양품 트레이의 오염물질이 없이 깨끗한 외관을 측정한 결과가 저장된 DB를 포함한다.According to the design condition, the contamination determination module includes a DB storing the result of measuring the clean appearance without contaminants in the good tray.
오염여부 판단모듈은 DB에 저장된 깨끗한 상태의 외관을 측정한 결과와 카메라부(400)에 의해 측정한 결과를 비교하여 트레이(210)의 오염여부를 검출한다.
The contamination determination module detects the contamination of the
깨짐여부 판단모듈은 트레이(210)의 깨짐과 같은 크랙 여부를 판단하는 기능을 수행한다.The crack determination module performs a function of determining whether a crack such as a crack of the
바람직하게, 깨짐여부 판단모듈은 양품 트레이의 외관을 측정한 결과가 저장된 DB를 포함하고 깨짐여부 판단모듈은 DB에 저장된 양품 트레이의 외관을 측정한 결과와 카메라부(400)에 의해 측정한 결과를 비교하여 트레이(210)의 깨짐여부를 검출한다.Preferably, the broken determination module includes a DB storing the result of measuring the appearance of the good quality tray and the broken determination module is a result of measuring the appearance of the good quality tray stored in the DB and the result measured by the
설계조건에 따라서, 오염여부 판단모듈과 깨짐여부 판단모듈은 하나의 DB를 이용하거나 각각의 DB를 포함할 수 있다.
Depending on the design conditions, whether the contamination determination module and whether or not broken determination module may use a single DB or include each DB.
이송제어부는 굴곡형태 판단모듈, 오염여부 판단모듈, 깨짐여부 판단모듈에서 판단한 결과에 따라 트레이를 양품과 불량품으로 구분하는 기능을 수행한다.The transfer control unit performs a function of dividing the tray into good and bad according to the result determined by the bending type determination module, the contamination determination module and the fracture determination module.
바람직하게, 굴곡형태 판단모듈, 오염여부 판단모듈, 깨짐여부 판단모듈에서 양품으로 판단된 트레이는 계속 롤러 시스템(310)을 따라 이동시킨다.Preferably, the tray determined to be good in the bending shape determination module, the contamination determination module and the fracture determination module continues to move along the roller system 310.
불량품으로 판단된 트레이는 반송실린더(330)를 작동시켜 롤러 시스템(310)으로부터 불량반송 컨베이어(320)로 이송하여 불량품 트레이 적재모듈(240)에 적재되도록 한다.
The tray determined to be defective is operated by the
한편, 상기에서 도 2 내지 도 7 을 이용하여 서술한 것은, 본 발명의 주요 사항만을 서술한 것으로, 그 기술적 범위 내에서 다양한 설계가 가능한 만큼, 본 발명이 도 2 내지 도 7 의 구성 및 기능에 한정되는 것이 아님은 자명하다.
In addition, what was described using FIG. 2 thru | or FIG. 7 above only described the main matter of this invention, and as long as various designs are possible within the technical scope, this invention is not limited to the structure and function of FIG. It is obvious that it is not limited.
100: 트레이 운반부
200: 트레이 적재부
210: 재활용 IC 트레이
211: 적재 연결턱
212: 적재 연결홈
220: 트레이 공급모듈
230: 양품 트레이 적재모듈
240: 불량품 트레이 적재모듈
300: 트레이 이송부
310: 롤러 시스템
310a: 롤러 시스템 1
310b: 롤러 시스템 2
311: 가이드
320: 불량반송 컨베이어
330: 반송실린더
340: 트레이 반전모듈
341: 트레이 장착부
341a: 트레이 장착부 1
341b: 트레이 장착부 2
341c: 트레이 장착부 3
341d: 트레이 장착부 4
342: 트레이 회전부
343: 고정날개
344: 고정날개 조립홈
345: 픽커홈
346: 실린더홈
400: 카메라부
410: 상면 측정모듈
420: 하면 측정모듈
430: 측면 측정모듈
500: 불량 검출부100: tray carrying section
200: tray loading section
210: recycled IC tray
211: loading joint
212: loading connection groove
220: tray feed module
230: good quality tray loading module
240: defective tray loading module
300: tray transfer unit
310: roller system
310a: roller system 1
310b: roller system 2
311: Guide
320: defective conveying conveyor
330: return cylinder
340: tray inversion module
341: tray mount
341a: Tray Mount 1
341b: Tray Mount 2
341c: Tray Mount 3
341d: Tray Mount 4
342: tray rotation part
343: fixed wing
344: fixed wing assembly groove
345: Picker Home
346: cylinder groove
400:
410: upper surface measuring module
420: lower surface measurement module
430: side measuring module
500: failure detection unit
Claims (5)
재활용 IC 트레이(210)의 상면과 하면, 측면을 측정하는 카메라부(400);
카메라부(400)로부터 전송된 측정 결과와 미리 입력된 양품의 측정 결과를 비교하여 상기 재활용 IC 트레이(210)의 양품과 불량품 여부를 검출하는 불량 검출부(500);를 포함하며,
상기 트레이 운반부(100)는 재활용 IC 트레이(210)를 적재하고 공급하는 트레이 적재부(200)와 트레이 이송부(300)를 포함하고,
상기 트레이 이송부(300)는 재활용 IC 트레이(210)를 이송하는 트레이 이송모듈과 트레이 반전모듈(340)을 포함하며,
상기 트레이 반전모듈(340)은 재활용 IC 트레이(210)의 상하를 반전시키는 것을 특징으로 하는 것을 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템
A tray carrying unit 100 for loading, supplying and transporting the recycled IC tray 210;
A camera unit 400 measuring upper and lower surfaces and side surfaces of the recycle IC tray 210;
It includes; a defect detection unit 500 for detecting whether the good quality of the recycling IC tray 210 and whether the defective by comparing the measurement result transmitted from the camera unit 400 and the measurement result of the input good in advance;
The tray carrying unit 100 includes a tray loading unit 200 and a tray transfer unit 300 for loading and supplying the recycled IC tray 210,
The tray transfer unit 300 includes a tray transfer module and a tray reversal module 340 for transferring the recycle IC tray 210,
The tray reversing module 340 is a recycling IC tray defect detection automation vision system characterized in that the up and down of the recycle IC tray 210
상기 트레이 반전모듈(340)은 트레이 회전부(342)를 중심으로 양쪽으로 고정날개(343)가 위치하고 고정날개(343)의 각각의 끝에는 트레이 장착부(341)가 위치하는 것을 특징으로 하는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템
The method of claim 1,
The tray reversing module 340 is a defective recycling IC tray, characterized in that the fixed blades 343 are located on both sides of the tray rotating part 342 and the tray mounting portion 341 is located at each end of the fixed blades 343. Detection Automation Vision System
상기 불량 검출부(500)는 상기 카메라부(400)로부터 전송된 측정 결과를 이용하여 재활용 IC 트레이(210) 외관의 굴곡형태, 오염여부, 깨짐여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템
The method of claim 1,
The defect detection unit 500 detects the bent shape, contamination, and cracks of the exterior of the recycled IC tray 210 by using the measurement result transmitted from the camera unit 400. Vision system
상기 불량 검출부(500)는 상기 카메라부(400)에서 상면을 측정한 후 양품 판정을 받은 재활용 IC 트레이(210)에 대해서 하면과 측면을 측정하여 검출하는 것을 특징으로 하는 재활용 IC 트레이 불량검출 자동화 비젼시스템
The method of claim 1,
The defect detection unit 500 measures the upper surface and the lower surface and the side of the recycled IC tray 210 that has been determined to be good quality after measuring the upper surface of the camera unit 400. system
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
KR1020120084646A KR101331193B1 (en) | 2012-08-02 | 2012-08-02 | Automated defect detection vision system for recycling ic-tray |
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KR101331193B1 true KR101331193B1 (en) | 2013-11-19 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101634040B1 (en) * | 2015-04-16 | 2016-06-27 | (주)테크윙 | Inspection equipment for different kinds of cok |
KR20230000054A (en) * | 2021-06-24 | 2023-01-02 | (주)에이치아이티에스 | Method of packing a die |
CN116908203A (en) * | 2023-09-12 | 2023-10-20 | 长沙麦睛科技股份有限公司 | Automatic visual detection and reject defective products and wobble plate equipment of camera subassembly |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20100026965A (en) * | 2008-09-01 | 2010-03-10 | (주)테크윙 | Carrier board, semiconductor detection apparatus and detection method for semiconductor device test supporting apparatus |
KR20120040406A (en) * | 2010-10-19 | 2012-04-27 | (주)아이엠에스나노텍 | Apparatus for inspecting chip led surface |
-
2012
- 2012-08-02 KR KR1020120084646A patent/KR101331193B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20100026965A (en) * | 2008-09-01 | 2010-03-10 | (주)테크윙 | Carrier board, semiconductor detection apparatus and detection method for semiconductor device test supporting apparatus |
KR20120040406A (en) * | 2010-10-19 | 2012-04-27 | (주)아이엠에스나노텍 | Apparatus for inspecting chip led surface |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101634040B1 (en) * | 2015-04-16 | 2016-06-27 | (주)테크윙 | Inspection equipment for different kinds of cok |
KR20230000054A (en) * | 2021-06-24 | 2023-01-02 | (주)에이치아이티에스 | Method of packing a die |
KR102575445B1 (en) | 2021-06-24 | 2023-09-06 | (주)에이치아이티에스 | Method of packing a die |
CN116908203A (en) * | 2023-09-12 | 2023-10-20 | 长沙麦睛科技股份有限公司 | Automatic visual detection and reject defective products and wobble plate equipment of camera subassembly |
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