KR101281868B1

KR101281868B1 - 전기영동표시소자 및 그의 제조방법

Info

Publication number: KR101281868B1
Application number: KR1020080132730A
Authority: KR
Inventors: 박재수; 이재구
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2008-12-23
Filing date: 2008-12-23
Publication date: 2013-07-03
Also published as: CN101762925B; JP5189573B2; US20100157412A1; US7907329B2; CN101762925A; JP2010152317A; KR20100073938A

Abstract

본 발명은 전기영동표시소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 전기영동표시소자는 액티브영역과 비액티브영역으로 정의되고, 유연성을 가진 플레이트 상에 형성된 제1 기판과, 상기 액티브영역의 플레이트 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이와, 상기 제1 기판에 대향 합착되는 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 위치되며 전기영동법에 의해 구동되는 하전입자들이 포함된 전기영동필름과, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 개재되며 액상상태가 경화되어 형성된 실런트를 포함하고, 상기 플레이트의 실런트 형성영역에 형성되며, 상기 액상상태의 실런트가 경화되기 전에 상기 비액티브영역으로 이동하는 것을 차단하는 제1 댐(dam), 퍼로우(furrow) 및 제2 댐으로 형성된 실런트 차단부를 구비한다.

액상, 실런트

Description

전기영동표시소자 및 그의 제조방법{Electrophoretic Display Device and Method for manufacturing the same}

본 발명은 전기영동표시소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 비액티브영역으로 액상의 실런트가 이동하는 것을 차단하는 전기영동표시소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다.

통상의 전기 영동 표시소자(Electrophoretic Display Device : EPD)는 전하를 띠고 있는 입자가 유체 내에 분산된 상태에서 인가된 전기장에 의해 이동하는 현상인 전기영동(Electrophoresis) 현상을 이용하여 형상이나 글자를 반복적을 기입하고 지울 수 있는 반사형 표시장치이다.

이러한 전기영동 표시소자는 해마다 사용량이 증가하는 종이를 대체할 수 있는 매체로서 각광받고 있다. 그 이유는 전기 영동 표시소자가 경량 박형으로 제작이 가능하고, 더 나아가서는 종이처럼 휘어져도 표시 성능을 그대로 유지할 수 있는 플렉서블(flexible) 표시장치로서 활발한 개발이 이루어지고 있기 때문이다. 또한 종이와 같은 시인성 확보 및 휴대가 용이한 장점이 있기 때문이다.

도 1a은 종래 기술에 따른 전기영동 표시소자를 개략적으로 도시한 단면도이 다.

도 1a에 도시된 전기영동 표시소자는 하부전극(미도시)이 구비된 하부 기판(10)과, 상부 전극(미도시)가 구비된 상부 기판(12)와, 하부 기판와 상부 기판 사이에 위치하고, 상기 상부전극과 하부전극 사이에 형성되는 수직 전계에 의해 구동되는 전기영동 부유입자가 구비된 전기영동 필름(14)을 포함한다.

이때, 상부 기판(12)과 하부 기판(10)은 플렉서블 형태의 플레이트가 베이스 기판이다.

한편, 상부 기판(12)과 하부 기판(10) 사이에 개재되어 전기영동 표시소자 내부로 습기가 유입되는 것을 방지하는 실런트(sealant,16)가 형성된다.

실런트(16)는 도 1b에 도시된 바와 같이, 디스펜서(18)를 이용한 디스펜싱법에 의해 하부 기판상에 액상의 실런트(16a)가 디스펜싱된 후, 전기영동 필름(14)과 상부 기판(12)사이의 장력에 의해 정방향(D1)으로 흐르게 됨으로써 형성된다.

이때, 상기와 같이 플렉서블 상태인 하부 기판(10)상에 디스펜싱된 액상의 실런트(16a)는 상기와 같이 정방향(D1)으로 흐를 뿐만 아니라, 역방향(D2)로도 흐를 수 있다.

그러나, 이와 같이 역방향으로 흐르는 액상의 실런트는 실런트 형성영역 이외의 영역 예를 들어, 구동회로 실장영역을 포함한 비액티브영역까지 흐를 수 있는 데, 이와 같이 구동회로 실장영역까지 액상의 실런트가 흐르게 되면, 이후에 형성되는 구동회로의 불량이 발생하게 되는 문제점이 있다.

따라서, 구동회로의 불량 발생을 방지하기 위해, 구동회로 실장영역을 패널 외곽방향으로 더 이동하게 되므로, 패널의 사이즈가 증가하게 되는 문제점이 있다.

그리고, 불필요한 영역까지 실런트가 형성되므로, 실런트의 양이 증가되는 문제점 또한 발생한다.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 디스펜싱된 액상의 실런트가 비액티브영역으로 이동하는 것을 차단할 수 있도록 하는 전기영동표시소자 및 그의 제조방법을 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동표시소자는 액티브영역과 비액티브영역으로 정의되고, 유연성을 가진 플레이트 상에 형성된 제1 기판과, 상기 액티브영역의 플레이트 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이와, 상기 제1 기판에 대향 합착되는 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 위치되며 전기영동법에 의해 구동되는 하전입자들이 포함된 전기영동필름과, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 개재되며 액상상태가 경화되어 형성된 실런트를 포함하고, 상기 플레이트의 실런트 형성영역에 형성되며, 상기 액상상태의 실런트가 경화되기 전에 상기 비액티브영역으로 이동하는 것을 차단하는 실런트 차단부를 구비하고, 상기 실런트 차단부는 제1 댐 및 제2 댐과, 상기 제1 댐과 제2 댐사이에 배치된 퍼로우로 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자.

상기 실런트 형성영역은 상기 액티브영역와 비액티브영역의 경계부에 형성되고, 상기 액상의 실런트는 상기 실런트 형성영역에서 액티브영역에 가깝도록 디스펜싱된다.

상기 실런트 차단부는 상기 실런트 형성영역에서 비액티브영역에 가깝도록 형성되고, 상기 제2 기판은 유연성을 가진 플레이트 상에 형성된다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동표시소자의 제조방법은 액티브영역과 실런트 형성영역으로 구분된 하부 플레이트가 제공되는 단계와, 상기 액티브영역의 하부 플레이트 상에 게이트 전극, 게이트라인을 형성하는 단계와, 상기 액티브영역과 실런트 형성영역의 하부 플레이트 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와, 상기 게이트 절연막 상에 반도체 패턴과 소스/드레인전극을 형성하는 단계와, 상기 소스/드레인전극이 형성된 하부 플레이트 상에 보호막을 형성한 후 패터닝하여, 드레인전극을 노출하는 접촉홀을 형성하는 단계와, 상기 드레인전극과 전기적으로 접속하는 화소전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 보호막을 형성한 후 패터닝하여 접촉홀을 형성하는 단계에서, 상기 게이트 절연막이 형성된 실런트 형성영역에도 상기 보호막을 형성한 후 상기 게이트 절연막 및 보호막을 패터닝하여 제1 댐(dam), 퍼로우(furrow) 및 제2 댐을 형성한다.

상기 제1 및 제2 댐은 상기 게이트 절연막 및 보호막의 패터닝공정 후, 상기 보호막 및 게이트 절연막의 잔존영역이고, 상기 실런트 차단부의 퍼로우는 상기 보호막의 패터닝공정 후, 상기 게이트 절연막 및 보호막의 비잔존영역이다.

상기 제1 및 제2 댐은 상기 게이트 절연막 및 보호막이 적층되어 형성된다.

상술한 바와 같은 전기영동표시소자 및 그의 제조방법은 실런트 형성영역에 실런트 차단부를 형성함으로써, 하부 플레이트에 디스펜싱된 액상 실런트가 비액티브영역으로 이동하는 것을 차단하고, 이로 인해, 불필요한 영역에 액상 실런트가 형성되는 것을 방지할 수 있어 공정효율이 증가되는 효과가 있다.

따라서, 본 발명과 같은 전기영동표시소자 및 그의 제조방법은 액상 실런트가 비액티브영역으로 이동되는 것이 차단됨으로써, 구동회로 실장영역까지 액상의 실런트가 흐르는 것이 방지되어 이후 형성되는 구동회로의 불량 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.

그리고, 본 발명과 같은 전기영동표시소자 및 그의 제조방법은 액상의 실런트가 비액티브영역으로 이동되는 것이 차단됨으로써, 구동회로 실장영역을 패널 외곽방향으로 더 이동하지 않아도 되므로, 패널 사이즈가 증가되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 상술한 바와 같은 전기영동표시소자의 실런트 차단부는 액상의 실런트가 비액티브영역으로 이동하는 것을 차단할 뿐만 아니라, 외부에서 액티브영역으로 침투하는 습기 또한 차단하는 효과가 있다.

이하는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 전기영동표시소자 및 그의 제조방법에 대해 상세히 설명하고자 한다.

도 2a는 본 발명에 따른 전기영동표시소자를 도시한 평면도이고, 도 2b는 도 2a의 a-a'선상의 단면도이다.

도 2a 및 도 2b에 도시된 전기영동 표시소자는 하부 기판(20) 및 상부 기판(30), 그들 사이에 위치된 전기영동필름(90)으로 구분된다.

이때, 상부 기판(30)과 오버랩되는 하부 기판(20)의 영역은 액티브영역(AA) 로 정의하고, 그외의 하부 기판(20) 영역은 비액티브영역(NAA)로 정의한다.

먼저, 상부 기판(30)은 상부 플레이트(82) 상에 형성된 공통전극(84)이 구비된다.

상부 플레이트(82)는 유연성을 가지는 플라스틱, 쉽게 구부러지는 베이스 필름, 또는 유연성을 가지는 금속 등이 이용될 수 있다.

그리고, 전기영동필름(90)은 하전 염료 입자(charge pigment particle)를 포함하는 캡슐(92)과, 캡슐(92)의 상하에 위치하는 상부 및 하부 보호층(96,94)으로 구성된다.

캡슐(92)에는 정극성 전압에 반응하는 블랙 염료 입자(92a)와, 부극성 전압에 반응하는 화이트 염료 입자(92b)와, 솔벤트(92c)가 포함된다.

상부 및 하부 보호층(96,94)은 구형의 캡슐(92)의 유동을 차단함과 아울러 캡슐(92)을 보호하는 역할을 한다. 이러한, 상부 및 하부 보호층(96,94)은 유연성을 가지는 플라스틱, 쉽게 구부러지는 베이스 필름등으로 이루어진다.

또한, 하부 기판(20)는 하부 플레이트(42) 상의 액티브영역에 게이트 절연막(44)을 사이에 두고 교차하게 형성되며 화소영역을 정의하는 게이트 라인(미도시) 및 데이터 라인(미도시)과, 그 교차부마다 형성된 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor ; 이하 "TFT"라 함)(6)와, 그 교차구조로 마련된 셀영역에 형성된 화소 전극(18)을 구비한다.

하부 플레이트(42)는 유연성을 가지는 플라스틱, 쉽게 구부러지는 베이스 필름, 또는 유연성을 가지는 금속 등으로 이루어진다.

TFT(6)는 게이트 전압이 공급되는 게이트 전극(8)과, 데이터 라인에 접속된 소스 전극(10)과, 화소 전극(18)에 접속된 드레인 전극(12)과, 게이트 전극(8)과 중첩되고 소스 전극(10)과 드레인 전극(12) 사이에 채널을 형성하는 활성층(14)을 구비한다. 활성층(14)은 소스 전극(10) 및 드레인 전극(12)과 중첩되게 형성되고 소스 전극(10)과 드레인 전극(12) 사이의 채널부를 더 포함한다. 활성층(14) 위에는 소스 전극(10) 및 드레인 전극(12)과 오믹접촉을 위한 오믹접촉층(48)이 더 형성된다. 여기서, 통상적으로 활성층(14) 및 오믹접촉층(48)을 반도체 패턴(45)이라 명명한다.

화소전극(18)은 TFT(6)를 보호하는 보호막(50)을 관통하여 드레인 전극(12)을 노출시키는 접촉홀(17)을 통해 드레인 전극(12)과 접촉된다.

그리고, 이러한 구성을 가지는 하부 기판(20)과 전기영동필름(40)은 점착제(adhesive)(86)에 의해 합착된다.

한편, 상부 기판(30)과 하부 기판(20) 사이에 개재되어 전기영동 표시소자 내부로 습기가 유입되는 것을 방지하는 실런트(sealant, 100)이 형성된다.

그리고, 하부 플레이트(42)의 실런트 형성영역(A) 즉, 액티브영역(A)와 비액티브영역의 경계부에는 상기 실런트 형성공정시 실런트의 흐름을 제어하는 실런트 차단부가 형성된다.

상기 실런트(100)는 도 3에 도시된 바와 같이, 디스펜서(28)를 이용한 디스펜싱법에 의해 하부 기판(20)상의 실런트 형성영역(A)의 소정 지점에 액상의 실런트(100a)가 디스펜싱된 후, 경화됨으로써 형성된다.

한편, 액상의 실런트(100a)가 디스펜싱되는 실런트 형성영역(A)의 소정지점은 액티브영역(AA)에 가깝도록 형성되고, 상기 액상 실런트의 흐름을 제어하는 실런트 차단부는 비액티브영역(NAA)에 가깝도록 형성된다.

이때, 액상의 실런트(100a)는 경화되기 전에, 플렉서블한 기판인 하부 플레이트의 휨특성으로 인해, 하부 플레이트(42)의 액티브영역(AA)뿐만 아니라 비액티브영역(NAA)으로도 흐르게 되는 데, 실런트영역(A)에서 비액티브영역(NAA)의 경계영역에 가깝도록 실런트 차단부를 형성함으로써, 액상의 실런트(100a)가 비액티브영역(NAA)로 이동하는 것을 차단하게 된다.

상기 실런트 차단부는 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 댐(102a), 퍼로우(104), 제2 댐(102b)의 순서로 배치될 수 있다.

도 3에 도시된 실런트 차단부를 통해 액상의 실런트가 비액티브영역으로의 이동이 차단되는 것에 대해 설명하기로 한다.

도 3에 도시된 하부기판에 디스펜싱된 액상의 실런트(100a)는 도 4a, 도 4b, 도 4c에 도시된 바와 같이, 액티브영역(AA)방향과 비액티브영역(NAA)방향으로 각각 이동한다.

이때, 액티브영역 방향으로 이동하는 액상의 실런트(100a)는 상부기판(30), 하부기판(20) 및 전기영동필름(90) 사이가 채워지도록 형성된다.

그리고, 비액티브영역방향으로 이동하는 액상의 실런트(100a)는 도 4a에 도시된 바와 같이, 제1 댐(102a)의 모서리들에 발생되는 장력으로 인해 퍼로우(104)로 이동되는 것이 차단된다.

그리고, 제1 댐(102a)로 인해 차단되지 않는, 비액티브영역방향으로 이동하는 액상의 실런트(100a)는 도 4b에 도시된 바와 같이, 퍼로우(104)의 모서리들에 발생되는 장력으로 인해 제2 댐(102b)로 이동되는 것이 차단된다.

그리고, 제1 댐(102a) 및 퍼로우(104)로 인해 차단되지 않는, 비액티브영역방향으로 이동하는 액상의 실런트(100a)는 도 4c에 도시된 바와 같이, 제2 댐(102b)의 모서리들에 발생되는 장력으로 인해 비액티브영역(NAA)로 이동되는 것이 차단된다.

이와 같이, 실런트 형성영역(A)에 형성된 제1 댐, 제2 댐 및 퍼로우를 통해 실런트 형성공정시 액상의 실런트가 비액티브영역(NAA)으로 이동하는 것을 차단하게 된다.

한편, 상기 댐 및 퍼로우는 액상의 실런트가 비액티브영역으로 이동하는 것을 차단할 뿐만 아니라, 외부에서 액티브영역으로 침투하는 습기 또한 차단할 수 있게 된다. 다시 말해, 외부에서 액티브영역으로 침투하는 습기는 제1 댐, 퍼로우, 제2 댐의 경로를 통해 이동하는 데, 습기의 이동경로는 제1 댐, 퍼로우, 제2 댐이 형성되지 않을 때보다 길다.

이와 같이, 외부에서의 습기는 이동 중 증발될 수 있으므로, 습기가 이동하는 거리가 길면 길수록 액티브영역으로 침투되는 확률이 줄어든다. 따라서, 제1 댐, 퍼로우, 제2 댐이 형성되지 않을 때보다 외부에서 액티브영역으로 침투하는 습기를 차단할 수 있게 된다.

이와 같은 댐 및 퍼로우가 형성된 전기영동표시소자의 하부기판 및 상부기판 의 제조방법에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2b의 단면도를 통해 전기영동표시소자의 하부기판 및 상부기판의 제조방법을 설명하기로 한다.

먼저, 하부기판(20)은 도 2b에 도시된 바와 같이, 하부 플레이트(42)상에 게이트용 금속막을 형성한 후 패터닝하여, 게이트 전극(8), 게이트 라인(미도시)을 형성한다.

그리고, 게이트 전극(8) 및 게이트 라인(미도시)이 형성된 하부 플레이트(42) 전면에 게이트 절연막(44)을 형성한다.

상기 게이트 절연막(44)은 실리콘 질화막등과 같은 절연막으로 형성되고, 상기 액티브영역(AA)에 게이트 절연막(44)의 형성공정시, 실런트 형성영역 (A)에도 게이트 절연막(44)이 형성된다.

그리고, 상기 게이트 절연막(44)가 형성된 하부 플레이트(42)상에 비정질 실리콘막, 불순물 비정질 실리콘막, 데이터용 금속막을 형성한 후 패터닝하여, 활성층(14) 및 오믹접촉층(48)이 적층된 반도체 패턴(45)과 소스 전극(10) 및 드레인 전극(12)을 형성한다. 이때, 반도체 패턴(45)과 소스 전극(10) 및 드레인 전극(12)의 형성을 위한 패터닝공정은 비정질 실리콘막/불순물 비정질실리콘막의 패터닝공정후, 데이터용 금속막의 패터닝공정을 진행하여 두 번의 패터닝공정으로 수행될 수도 있고, 비정질 실리콘막, 불순물 비정질 실리콘막, 데이터용 금속막을 한번의 패터닝공정을 통해 수행될 수도 있다.

이어, 소스전극(10) 및 드레인전극(12)이 형성된 하부 플레이트(42) 상에 보 호막(50)을 형성하고, 상기 보호막(50)을 패터닝하여 드레인전극(12)이 노출되도록 접촉홀(17)을 형성한다.

상기 보호막(50)은 포토아크릴(photoacryl), BCB 등과 같은 유기 절연막으로 형성한다.

이때, 상기 액티브영역(AA)에 보호막(50)의 형성공정시, 실런트 형성영역(A)에도 보호막(50)이 동시에 형성된다. 이때, 실런트 형성영역(A)에 형성되는 보호막(50)의 하부에는 게이트 절연막(44)이 형성되어 있다.

그리고, 상기 액티브영역(AA)의 보호막(50)을 패터닝함으로써 형성되는 접촉홀(17)의 형성공정시, 실런트 형성영역(A)의 보호막(50) 및 게이트 절연막(44)을 패터닝하여 제1 및 제2 댐(102a, 102b) 및 퍼로우(104)을 형성한다. 다시 말해, 보호막(50)의 패터닝공정후, 보호막(50) 및 게이트 절연막(44)이 잔존하는 영역은 댐(102a, 102b)이 되고, 보호막(50) 및 게이트 절연막(44)가 잔존하지 않은 영역은 퍼로우(104)가 된다.

또한, 제1 및 제2 댐(102a, 102b)의 높이는 게이트 절연막(44)와 보호막(50)을 패터닝하여 형성되므로, 게이트 절연막(44)와 보호막(50)의 합한 높이와 동일하다.

이어, 상기 접촉홀(17)이 형성된 하부 플레이트(42) 상부에 투명도전막을 형성한 후 패터닝하여 드레인전극(12)과 전기적으로 접속하는 화소전극(18)을 형성한다.

이어, 도 2b의 단면도를 통해 전기영동표시소자의 상부기판 및 그에 부착되 는 전기영동필름의 제조방법을 설명하기로 한다.

상부기판(30)은 상부 플레이트(82) 상에 투명도전막을 형성하여, 공통전극(84)을 형성하고, 상부 플레이트(82)의 공통전극(84) 상에 전기영동필름(90)을 부착한다.

상기 전기영동필름(90)은 하전 염료입자가 형성된 캡슐(92)와 캡슐(90)의 상하에 위치하는 상부 및 하부 보호층(96, 94)로 형성된다.

본 발명은 댐, 퍼로우, 댐을 통해 구현되는 바에 대해서만 상술한 바와 같이 설명하고 있지만, 댐, 퍼로우, 댐이 더 반복적으로 형성되어도 본 발명을 구현할 수 있는 것은 당연하다.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따른 전기영동 표시소자를 개략적으로 도시한 단면도

도 2a는 본 발명에 따른 전기영동표시소자를 도시한 평면도

도 2b는 도 2a의 Ⅰ-Ⅰ'선상의 단면도

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기영동표시소자에서 액상의 실런트가 디스펜싱된 상태를 도시한 도면

도 4a, 도 4b, 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 전기영동표시소자에서 액상실런트가 이동되는 상태를 도시한 도면

Claims

액티브영역과 비액티브영역으로 정의되고, 유연성을 가진 플레이트 상에 형성된 제1 기판과,

상기 액티브영역의 플레이트 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이와,

상기 제1 기판에 대향 합착되는 제2 기판과,

상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 위치되며 전기영동법에 의해 구동되는 하전입자들이 포함된 전기영동필름과,

상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 개재되며 액상상태가 경화되어 형성된 실런트를 포함하고,

상기 실런트의 외곽에서 형성되고, 상기 액상상태의 실런트가 경화되기 전에 상기 비액티브영역으로 이동하는 것을 차단하는 실런트 차단부를 구비하고,

상기 실런트는 상기 실런트 차단부와 액티브 영역 사이에 형성되고,

상기 실런트 차단부는 제1 댐 및 제2 댐과, 상기 제1 댐과 제2 댐사이에 배치된 퍼로우로 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자.
제1 항에 있어서, 상기 실런트 형성영역은

상기 액티브영역와 비액티브영역의 경계부에 형성되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자.
제1 항에 있어서, 상기 액상의 실런트는

상기 실런트 형성영역에서 액티브영역에 가깝도록 디스펜싱되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자.
제1 항에 있어서, 상기 실런트 차단부는

상기 실런트 형성영역에서 비액티브영역에 가깝도록 형성되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자.
제1 항에 있어서, 상기 제2 기판은

유연성을 가진 플레이트 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자.
액티브영역과 실런트 형성영역으로 구분된 하부 플레이트가 제공되는 단계와,

상기 액티브영역의 하부 플레이트 상에 게이트 전극, 게이트라인을 형성하는 단계와,

상기 액티브영역과 실런트 형성영역의 하부 플레이트 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와,

상기 게이트 절연막 상에 반도체 패턴과 소스/드레인전극을 형성하는 단계와,

상기 소스/드레인전극이 형성된 하부 플레이트 상에 보호막을 형성한 후 패터닝하여, 드레인전극을 노출하는 접촉홀을 형성하는 단계와,

상기 드레인전극과 전기적으로 접속하는 화소전극을 형성하는 단계와,

액상 실런트를 상기 실런트 형성영역에 디스펜싱하고, 경화하여 실런트를 형성하는 단계를 포함하고,

상기 보호막을 형성한 후 패터닝하여 접촉홀을 형성하는 단계에서,

상기 게이트 절연막이 형성된 실런트 형성영역에도 상기 보호막을 형성한 후 상기 게이트 절연막 및 보호막을 패터닝하여, 제1 댐(dam), 퍼로우(furrow) 및 제2 댐으로 이루어진 실런트 차단부를 형성하고,

상기 실런트는 상기 실런트 차단부와 액티브 영역 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 제조방법.
제6 항에 있어서,

상기 제1 및 제2 댐은 상기 게이트 절연막 및 보호막의 패터닝공정 후, 상기 보호막 및 게이트 절연막의 잔존영역이고, 상기 실런트 차단부의 퍼로우는 상기 보호막의 패터닝공정 후, 상기 게이트 절연막 및 보호막의 비잔존영역인 특징으로 하는 전기영동표시소자의 제조방법.
제6 항에 있어서,

상기 제1 및 제2 댐은 상기 게이트 절연막 및 보호막이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 제조방법.