KR101208007B1

KR101208007B1 - Plasma processing apparatus

Info

Publication number: KR101208007B1
Application number: KR1020110065199A
Authority: KR
Inventors: 박희정
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2011-06-30
Filing date: 2011-06-30
Publication date: 2012-12-04

Abstract

PURPOSE: A plasma processing apparatus is provided to improve durability with respect to plasma etching by installing a plurality of cover members in an opening part of a chamber. CONSTITUTION: A first cover member(110) includes a protrusion which is inserted in a groove portion. The first cover member is installed in order to cover an inner circumferential side. A second cover member(120) is installed in order to cover one inner wall and one side of a chamber. The one side is formed towards the inner side of the chamber. A third cover member(130) is installed in order to cover the edge of the second cover member.

Description

Plasma Processing Equipment {PLASMA PROCESSING APPARATUS}

본 발명은 플라즈마 처리장치에 관한 것으로, 구체적으로 플라즈마의 식각에 대한 내구성을 개선시킨 플라즈마 처리장치에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma processing apparatus, and more particularly, to a plasma processing apparatus having improved durability against etching of plasma.

일반적으로 플라즈마 처리장치는 기판에 박막을 형성하는 플라즈마 CVD 장치, 플라즈마 스퍼터링 장치, 플라즈마 에칭장치, 플라즈마 이온 주입 및 도핑 장치 등에 사용된다.BACKGROUND ART In general, a plasma processing apparatus is used for a plasma CVD apparatus, a plasma sputtering apparatus, a plasma etching apparatus, a plasma ion implantation and a doping apparatus, etc. for forming a thin film on a substrate.

플라즈마 처리장치는 공정공간에 서로 대향되게 배치되는 상부 전극 및 하부 전극을 포함하여 구성된다. 이러한 플라즈마 처리장치는 공정공간으로 공정 가스가 주입된 상태에서 전극에 RF(radio frequency) 전원이 공급되면, 공정 공간 내부에 플라즈마가 발생되고, 이때 발생되는 플라즈마를 이용하여 기판 처리 공정을 진행한다.The plasma processing apparatus includes an upper electrode and a lower electrode disposed to face each other in a process space. In the plasma processing apparatus, when RF (radio frequency) power is supplied to an electrode while a process gas is injected into a process space, plasma is generated in the process space, and the substrate processing process is performed using the generated plasma.

이러한 기판 처리 공정을 진행하게 되면, 공정 중 발생되는 플라즈마에 의해 챔버의 내벽이 식각되는 현상이 발생한다. 이를 방지하기 위해 식각 저항성이 우수한 재질을 이용하여 챔버의 내벽을 구성하지만, 이러한 경우에도 플라즈마가 집중 분포되는 기판의 출입구 근처에서 식각이 상대적으로 활발하게 진행되는 문제가 있다. 이러한 식각 현상은 플라즈마 처리장치의 수명을 단축시킬 뿐 아니라, 공정 공간의 형상이 변형됨에 따라 플라즈마 분포 특성이 변하게 되어 균일한 품질로 기판을 처리하는 것이 곤란하였다.When the substrate treatment process is performed, the inner wall of the chamber is etched by the plasma generated during the process. In order to prevent this, the inner wall of the chamber is formed using a material having excellent etching resistance, but even in this case, there is a problem that etching is relatively actively performed near the entrance and exit of the substrate where plasma is concentrated. This etching phenomenon not only shortens the lifetime of the plasma processing apparatus, but also changes the plasma distribution characteristics as the shape of the process space changes, making it difficult to process the substrate with uniform quality.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해, 기판 출입구가 형성되는 위치의 식각 내구성을 개선하고, 식각이 진행되는 경우 이에 대한 보수 및 교체가 용이한 구조를 갖는 플라즈마 처리장치를 제공하기 위함이다.In order to solve the above problems, the present invention is to improve the etching durability of the position where the substrate entrance and exit is formed, and to provide a plasma processing apparatus having a structure that can be easily repaired and replaced when the etching proceeds.

상기한 본 발명의 목적은, 내부에 플라즈마 처리 공정이 진행되는 공정 공간이 형성되고 상기 공정 공간으로 기판이 출입하는 개구부가 일측에 구비되는 챔버, 외측으로 방향으로 돌출 형성되는 돌기부를 구비하고 상기 개구부의 내주연면이 상기 공정 공간으로 노출되지 않도록 상기 내주연면을 커버하도록 설치되는 제1 커버부재, 상기 챔버의 일측 내벽 및 상기 제1 커버부재의 상기 챔버 내측 방향으로 형성되는 면을 커버하도록 설치되는 제2 커버부재 그리고, 상기 개구부와 인접한 상기 제2 커버부재의 가장자리를 커버하도록 설치되는 제3 커버부재를 포함하는 플라즈마 처리장치에 의해 달성될 수 있다.An object of the present invention described above is provided with a chamber in which a process space in which a plasma treatment process proceeds and an opening through which a substrate enters and exits the process space is provided on one side, and a protrusion is formed to protrude in an outward direction. A first cover member installed to cover the inner peripheral surface so that the inner peripheral surface of the chamber is not exposed to the process space, an inner wall of one side of the chamber, and a surface formed in the chamber inner direction of the first cover member And a third cover member which is installed to cover the edge of the second cover member adjacent to the opening.

여기서, 상기 돌기부는 상기 개구부와 인접한 상기 챔버의 벽면에 삽입 설치되어, 상기 제1 커버부재가 설치되는 위치를 가이드 할 수 있다.Here, the protrusion may be inserted into the wall surface of the chamber adjacent to the opening to guide the position where the first cover member is installed.

구체적으로, 상기 돌기부는 헤드부 및 상기 헤드부와 상기 제1 커버부재의 몸체를 연결하고 상기 헤드부보다 좁은 폭을 갖도록 형성되는 연결부를 포함하여 구성되고, 상기 돌기부는 상기 챔버의 벽면에 상기 돌기부와 대응되는 형상으로 형성된 홈부에 삽입 설치되도록 구성할 수 있다. 이때, 돌기부는 상기 제1 커버부재의 상단부에 설치될 수 있다.Specifically, the protrusion part includes a head part and a connection part connecting the head part and the body of the first cover member and having a narrower width than the head part, wherein the protrusion part is formed on the wall surface of the chamber. It may be configured to be inserted into the groove portion formed in a shape corresponding to the. In this case, the protrusion may be installed at an upper end of the first cover member.

그리고, 개구부의 내주연면은 상기 기판이 출입하는 방향을 따라 단차구조를 형성하고, 상기 제1 커버부재는 상기 내주연면의 형상에 대응되도록 상기 기판이 출입하는 방향으로 단차부를 형성하도록 구성할 수 있다.The inner circumferential surface of the opening may form a stepped structure along the direction in which the substrate enters and exits, and the first cover member may be configured to form the stepped portion in the direction in which the substrate moves in and out so as to correspond to the shape of the inner circumferential surface. Can be.

상기 제1 커버부재는 상기 챔버 내측 방향의 단면 두께가 상기 챔버 외측 방향의 단면두께보다 두껍게 형성된다. 구체적으로, 상기 제1 커버부재의 상기 챔버 내측 방향 단면의 두께는 20mm 이상이고, 상기 제1 커버부재의 상기 챔버 외측 방향 단면 두께는 10mm 이하일 수 있다.The first cover member has a cross section thickness in the chamber inward direction thicker than a cross section thickness in the chamber outward direction. Specifically, the thickness of the chamber inner side cross section of the first cover member may be 20 mm or more, and the chamber outer side cross section thickness of the first cover member may be 10 mm or less.

상기 제1 커버부재의 단차부는 서로 다른 높이로 형성되는 제1 면과 제2 면, 그리고 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이에서 수직면을 형성하는 제3 면을 포함하고, 상기 제1 커버부재는 상기 챔버 내측 방향으로 형성된 면과 상기 제3 면을 관통하며, 상기 제1 커버부재를 상기 챔버의 벽면에 체결하기 위한 제1 체결부재가 삽입 설치되는 다수개의 관통홀을 구비할 수 있다.The stepped portion of the first cover member includes a first surface and a second surface formed with different heights, and a third surface forming a vertical surface between the first surface and the second surface, the first cover member It may include a plurality of through holes penetrating the surface formed in the chamber inward direction and the third surface, the first fastening member for inserting the first cover member to the wall surface of the chamber.

한편, 상기 돌기부는 적어도 하나의 관통홀을 구비하며, 제1 체결부재가 상기 관통홀에 삽입 설치되어 상기 제1 커버부재를 상기 챔버의 벽면에 고정 설치하도록 구성할 수 있다. 여기서, 돌기부는 상기 제1 커버부재의 상단부 및 양 측면의 외측에 각각 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 제1 커버부재의 몸체는 15mm 이하의 두께로 구성하는 것이 가능하다.The protrusion may include at least one through hole, and a first fastening member may be inserted into the through hole to fix the first cover member to a wall of the chamber. Here, the projections may be formed on the outer side of the upper end and both side of the first cover member, respectively. In this case, the body of the first cover member can be configured to a thickness of 15mm or less.

한편, 상기 제3 커버부재는 상기 개구부와 인접한 단부에서 상기 챔버 외측 방향으로 돌출 형성되는 절곡부를 구비하여, 상기 제1 커버부재의 상기 챔버 내측 방향으로 형성된 일면 중 상기 개구부에 인접한 부분, 상기 제2 커버부재의 상기 개구부 방향으로 형성된 일면 및 상기 챔버 내측 방향으로 형성된 일면 중 상기 개구부에 인접한 부분을 커버하도록 구성될 수 있다.On the other hand, the third cover member is provided with a bent portion protruding in the chamber outward direction from the end portion adjacent to the opening, the portion adjacent to the opening portion of the one surface formed in the chamber inner direction of the first cover member, the second The cover member may be configured to cover a portion adjacent to the opening of one surface formed in the opening direction and one surface formed in the chamber inner direction.

이 경우, 상기 절곡부는 상기 제2 커버부재의 두께에 대응되는 길이만큼 돌출될 수 있다.In this case, the bent portion may protrude by a length corresponding to the thickness of the second cover member.

본 발명에 의할 경우, 플라즈마 식각에 취약한 부위의 보수 및 교체를 용이하게 구성함으로써 플라즈마 처리장치의 내구성이 개선된다. 나아가, 플라즈마 처리 공정이 진행되는 공정 공간의 형상 변화를 최소화 시킬 수 있어, 균일한 품질의 처리 기판을 얻을 수 있다.According to the present invention, the durability of the plasma processing apparatus is improved by easily configuring and repairing a portion vulnerable to plasma etching. Furthermore, it is possible to minimize the shape change of the process space in which the plasma processing process is performed, thereby obtaining a processing substrate having a uniform quality.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라즈마 처리장치의 단면도,
도 2는 도 1의 챔버의 개구부 구조를 도시한 분해 사시도,
도 3은 도 2의 챔버의 개구부 구조를 도시한 단면도,
도 4는 도 1의 다른 적용예에 따른 챔버의 개구부의 구조를 도시한 단면도,
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 처리장치의 개구부에 인접한 챔버의 내벽과 제1 커버부재의 구조를 도시한 분해사시도이고,
도 6은 도 5의 챔버의 개구부 구조를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a plasma processing apparatus according to a first embodiment of the present invention;
FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the opening structure of the chamber of FIG. 1;
3 is a cross-sectional view showing the opening structure of the chamber of FIG.
4 is a cross-sectional view showing the structure of an opening of a chamber according to another application of FIG. 1;
5 is an exploded perspective view showing the structure of the inner wall of the chamber and the first cover member adjacent to the opening of the plasma processing apparatus according to the second embodiment of the present invention;
6 is a cross-sectional view illustrating an opening structure of the chamber of FIG. 5.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 플라즈마 처리장치를 구체적으로 설명한다. 여기서 각 구성요소의 위치 관계는 원칙적으로 도면을 기준으로 한다. 그리고 도면은 설명의 편의를 위해 발명의 구조를 단순화 하여 도시한다. 그리고, 도면에 도시된 구성요소의 크기는 설명을 위해 과장되어 표시될 수 있으며, 실제 크기를 의미하는 것은 아님을 앞서 밝혀둔다.Hereinafter, a plasma processing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Here, the positional relationship of each component is based on a drawing in principle. And the drawings show a simplified structure of the invention for convenience of description. In addition, the size of the components shown in the drawings may be exaggerated for description, it will be noted that does not mean the actual size.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 처리장치의 단면도이다. 본 실시예에 따른 플라즈마 처리장치는 플라즈마 CVD 장치, 플라즈마 스퍼터링 장치, 플라즈마 식각 장치, 플라즈마 이온주입 및 도핑 장치 등 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 모든 장치에 적용될 수 있다.1 is a cross-sectional view of a plasma processing apparatus according to an embodiment of the present invention. The plasma processing apparatus according to the present embodiment may be applied to any apparatus for processing a substrate using plasma, such as a plasma CVD apparatus, a plasma sputtering apparatus, a plasma etching apparatus, a plasma ion implantation and a doping apparatus.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 플라즈마 처리장치(1)는 기판이 처리되는 공정 공간을 형성하는 챔버(10)를 구비한다. 본 실시예에서 챔버(10)는 사각형 형태의 디스플레이 기판(S)을 처리하기 위하여 사각 기둥 형태로 구성된다. 하지만, 원형의 웨이퍼를 처리하는 경우 원기둥 형상의 챔버를 이용할 수 있으며, 이 외에도 기판의 형상에 따라 다양한 구조의 챔버를 이용할 수 있다.As shown in FIG. 1, the plasma processing apparatus 1 according to the present embodiment includes a chamber 10 that forms a process space in which a substrate is processed. In the present embodiment, the chamber 10 is configured in the form of a square pillar in order to process the display substrate S having a rectangular shape. However, when processing a circular wafer, a cylindrical chamber may be used, and in addition, a chamber having various structures may be used according to the shape of the substrate.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이 챔버(10)의 일측에는 개구부(50)가 형성된다. 그리고 개구부(50)의 외측에는 선택적으로 개폐되는 게이트 밸브(60)가 설치된다. 따라서, 기판(S)의 반입 또는 반출시에는 게이트 밸브(60)가 개방된 상태에서 기판(S)이 상기 개구부(50)를 통해 기판(S)의 반입 및 반출이 이루어진다. 그리고, 플라즈마 처리 공정 중에는 게이트 밸브(60)가 폐쇄되어 공정 공간을 밀폐한다.Meanwhile, as shown in FIG. 1, an opening 50 is formed at one side of the chamber 10. And the gate valve 60 which is selectively opened and closed outside the opening 50 is provided. Accordingly, when the substrate S is loaded or unloaded, the substrate S is loaded and unloaded through the opening 50 while the gate valve 60 is opened. In the plasma processing process, the gate valve 60 is closed to seal the process space.

챔버(10)의 하측에는 기판(S)이 안착되는 서셉터(20)가 설치된다. 따라서, 개구부(50)를 통해 반입된 기판(S)은 공정 중 서셉터(20)에 안착된 상태에서 플라즈마에 의해 증착 또는 식각 등의 처리가 이루어진다. 이때, 서셉터(20)의 내측에는 공정 중 기판(S)의 위치를 고정시킬 수 있는 정전척(미도시)을 구비할 수 있다.The susceptor 20 on which the substrate S is seated is installed below the chamber 10. Therefore, the substrate S loaded through the opening 50 is deposited or etched by plasma in a state in which the substrate S is seated on the susceptor 20 during the process. In this case, an electrostatic chuck (not shown) may be provided inside the susceptor 20 to fix the position of the substrate S during the process.

챔버(10)의 상측에는 외부의 공정 가스 소스(미도시)로부터 공정가스가 유입되는 공정 가스 공급부(30)가 구비된다. 공정 가스 공급부(30)를 통해 제공되는 공정가스는 확산실(31)을 거쳐 다수개의 분출구(32)를 통해 공정가스로 균일하게 공급될 수 있다.The upper side of the chamber 10 is provided with a process gas supply unit 30 through which a process gas flows from an external process gas source (not shown). The process gas provided through the process gas supply unit 30 may be uniformly supplied to the process gas through the diffusion chamber 31 and through the plurality of jet holes 32.

한편, 챔버의 내측에는 플라즈마를 발생시키기 위한 전극을 구비할 수 있다. 그리고 전극을 통해 고주파 전압을 가하여 공정 가스를 방전시켜 플라즈마를 형성한다.On the other hand, the inside of the chamber may be provided with an electrode for generating a plasma. The process gas is discharged by applying a high frequency voltage through the electrode to form a plasma.

본 실시예에서는 플라즈마를 형성하기 위하여 두 개의 대향 전극을 이용할 수 있다. 제1 전극(41)은 공정 공간의 상측에 설치되고, 제2 전극(미도시)은 서셉터(20)에 내장 설치될 수 있다. 그리고 각각의 전극은 RF 전력을 발생시키는 RF 전원(43)과 전기적으로 접속된다. 그리고 각각의 전극과 RF 전원 사이에는 임피던스 정합을 위한 임피던스 매칭부(42)가 설치될 수 있다.In this embodiment, two counter electrodes may be used to form a plasma. The first electrode 41 may be installed above the process space, and the second electrode (not shown) may be installed in the susceptor 20. Each electrode is electrically connected to an RF power source 43 that generates RF power. An impedance matching unit 42 for impedance matching may be installed between each electrode and the RF power source.

본 실시예에서는 대향 전극으로부터 제공되는 고주파 전압을 이용하여 플라즈마를 발생시키는 용량 결합형 방식을 적용하였으나, 이는 일 예에 불과하며 유도 결합형 방식, ECR(전자사이크로트론 공명) 방식, 마이크로파를 이용하는 방식 등 플라즈마를 발생시키는 다양한 방식을 적용할 수 있다.In the present embodiment, a capacitively coupled method that generates a plasma by using a high frequency voltage provided from an opposite electrode is used. However, this is merely an example. Inductively coupled, ECR (electron cyclotron resonance), and microwaves are used. Various methods of generating a plasma, such as a method, can be applied.

이와 같은 플라즈마 처리장치(1)에서는 공정 공간으로 공정 가스가 공급되면, 제1 전극(41)과 제2 전극(미도시)에 RF 전원이 인가됨에 따라 공정 공간 내부에 플라즈마가 발생되고, 이러한 플라즈마에 의해 기판(S) 처리 공정이 진행된다.In the plasma processing apparatus 1, when the process gas is supplied to the process space, plasma is generated inside the process space as RF power is applied to the first electrode 41 and the second electrode (not shown). The substrate S processing process proceeds by this.

이때, 공정 공간을 형성하는 챔버(10)의 내벽은 개구부 근처에서 인접한 부분에 비해 움푹 패인 리세스(recess)가 형성된다(도 1 참조). 따라서, 개구부(50)가 형성된 위치에 플라즈마가 상대적으로 밀집하여 분포하게 된다. 또한, 플라즈마 처리 공정이 종료된 후 공정 가스가 배기되면서 개구부가 형성된 부분에서 난류가 발생하기 쉽다. 따라서, 챔버 개구부의 내주연면을 비롯하여 개구부와 인접한 챔버 내벽이 다른 위치에 비해 플라즈마에 의한 식각이 활발하게 진행될 우려가 있다.At this time, an inner wall of the chamber 10 forming the process space is formed with a recessed recess compared to an adjacent portion near the opening (see FIG. 1). Therefore, the plasma is relatively dense and distributed at the position where the opening 50 is formed. In addition, turbulence is likely to occur in a portion where an opening is formed while the process gas is exhausted after the plasma treatment process is completed. Therefore, there is a concern that etching by the plasma may be actively performed in comparison with other positions of the inner peripheral surface of the chamber opening and the chamber inner wall adjacent to the opening.

따라서, 본 발명은 챔버의 개구부에 다수개의 커버부재(110, 120, 130)를 설치하여 플라즈마 처리 공정 중 식각에 대한 내구성을 개선하도록 구성된다. 이하에서는 도 2 및 도 3을 참조하여 개구부의 구조에 대해 구체적으로 설명하도록 한다.Therefore, the present invention is configured to install a plurality of cover members (110, 120, 130) in the opening of the chamber to improve the durability against etching during the plasma treatment process. Hereinafter, the structure of the opening will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3.

도 2는 도 1의 챔버의 개구부 구조를 도시한 분해 사시도이고, 도 3은 도 2의 챔버의 개구부 구조를 도시한 단면도이다.2 is an exploded perspective view illustrating the opening structure of the chamber of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating the opening structure of the chamber of FIG. 2.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 플라즈마 처리장치(1)는 기판(S)이 출입하는 챔버(10)의 개구부(50)와 인접한 위치에, 개구부(50)의 내주연면(51)을 커버하도록 설치되는 제1 커버부재(110), 챔버(10)의 내벽과 제1 커버부재(110)의 후면(챔버의 내측 방향으로 형성된 면)을 커버하도록 설치되는 제2 커버부재(120) 및 상기 제2 커버부재의 후면을 커버하도록 설치되는 제3 커버부재(130)를 포함하여 구성된다.As shown in FIGS. 2 and 3, the plasma processing apparatus 1 according to the present embodiment is located in the opening 50 at a position adjacent to the opening 50 of the chamber 10 through which the substrate S enters and exits. A first cover member 110 installed to cover the peripheral surface 51, a second wall installed to cover the inner wall of the chamber 10 and the rear surface (the surface formed in the inward direction of the chamber) of the first cover member 110. It comprises a cover member 120 and the third cover member 130 is installed to cover the back of the second cover member.

구체적으로, 본 실시예에 따른 개구부(50)는 수평 방향으로 넓게 형성되는 장방형 또는 장방형과 유사한 구조로 이루어질 수 있다. 그리고 도 2에 도시된 바와 같이, 개구부(50)의 내주연면(51)은 챔버(10)의 외측 방향으로 위치하는 제1 내주연면(51a), 챔버(10)의 내측 방향으로 위치하고 제1 내주연면(51a)과 서로 다른 높이로 형성되는 제2 내주연면(51b), 그리고 제1 내주연면(51a)과 제2 내주연면(51b) 사이에서 수직 방향으로 형성되는 제3 내주연면(51c)을 포함한다.Specifically, the opening 50 according to the present embodiment may have a structure similar to a rectangle or a rectangle formed wide in the horizontal direction. As shown in FIG. 2, the inner circumferential surface 51 of the opening 50 is positioned in the inner direction of the first inner circumferential surface 51a and the chamber 10 positioned in the outward direction of the chamber 10. The first inner peripheral surface 51a and the second inner peripheral surface 51b formed to be different from each other, and the third inner surface formed between the first inner peripheral surface 51a and the second inner peripheral surface 51b in a vertical direction The inner peripheral surface 51c is included.

따라서, 개구부(50)와 인접한 챔버의 벽면은 기판(S)이 출입하는 방향으로 서로 다른 높이를 갖는 단차 구조를 갖고, 도 2에 도시된 바와 같이 챔버 외측 방향보다 챔버 내측 방향에서 더 큰 개구를 형성할 수 있다.Therefore, the wall surface of the chamber adjacent to the opening 50 has a stepped structure having different heights in the direction in which the substrate S enters and exits, and as shown in FIG. Can be formed.

한편, 제1 커버부재(110)는 개구부(50)의 내주연면(51)이 공정 공간으로 노출되지 않도록 커버하여, 개구부(50)의 내주연면(51)이 플라즈마에 의해 식각되는 것을 방지한다. 따라서, 제1 커버부재(110)는 플라즈마에 대한 내식각성이 우수한 재질로 형성되며, 일 예로 알루미늄 아노다이징(anodized aluminum)을 이용할 수 있다.Meanwhile, the first cover member 110 covers the inner peripheral surface 51 of the opening 50 so as not to be exposed to the process space, thereby preventing the inner peripheral surface 51 of the opening 50 from being etched by the plasma. do. Therefore, the first cover member 110 is formed of a material having excellent etching resistance to plasma, for example, may be used aluminum anodized (anodized aluminum).

제1 커버부재(110)는 개구부의 내주연면(51)과 접하는 일측에 개구부의 형상과 대응되는 단차부(111)가 형성된다. 구체적으로, 단차부(111)는 챔버의 외측 방향으로 위치하는 제1 면(111a), 챔버(10)의 내측 방향으로 위치하는 제2 면(111b), 그리고 제1 면(111a)과 제2 면(111b) 사이에서 수직 방향으로 형성되는 제3 면(111c)을 포함한다.The first cover member 110 is provided with a stepped portion 111 corresponding to the shape of the opening on one side of the opening circumferential surface 51 of the opening. Specifically, the stepped portion 111 may include a first surface 111a positioned in an outer direction of the chamber, a second surface 111b positioned in an inner direction of the chamber 10, and a first surface 111a and a second surface. The third surface 111c is formed in the vertical direction between the surfaces 111b.

따라서, 도 2에 도시된 바와 같이 제1 커버부재(110)는 챔버 내측 방향의 단면 두께가 챔버 외측 방향의 단면 두께보다 두껍게 형성된다. 구체적으로 제1 커버부재(110)의 챔버 외측 방향 단면의 두께(도 4의 T1 참조)는 10mm 이하이고, 챔버 내측 방향 단면의 두께(도 4의 T2 참조)는 20mm 이상으로 구성할 수 있다. 그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 커버부재(110)의 제1 면(111a)이 제1 내주연면(51a) 접하도록 설치되고, 제2 면(111b)은 제2 내주연면(51b)과 제3 면(111c)은 제3 내주연면(51 c)과 접하도록 설치되어 개구부(50)의 내주연면(51)을 커버할 수 있다.Therefore, as illustrated in FIG. 2, the first cover member 110 is formed to have a cross-sectional thickness in the chamber inward direction thicker than a cross-sectional thickness in the chamber outward direction. Specifically, the thickness of the chamber outer side cross section (see T1 in FIG. 4) of the first cover member 110 may be 10 mm or less, and the thickness of the chamber inner side cross section (see T2 of FIG. 4) may be 20 mm or more. 3, the first surface 111a of the first cover member 110 is installed to be in contact with the first inner circumferential surface 51a, and the second surface 111b is the second inner circumferential surface. The 51b and the third surface 111c may be installed to contact the third inner peripheral surface 51c to cover the inner peripheral surface 51 of the opening 50.

이때, 챔버의 개구부(50)의 크기는 처리하는 기판(S)의 크기를 고려하여 설계되며, 대면적 기판을 처리하는 플라즈마 처리장치의 경우 개구부(50)의 너비가 2m 이상에 이를 수 있다. 따라서, 대면적 기판용 플라즈마 처리장치의 경우 한 명의 작업자가 개구부의 크기에 대응되는 제1 커버부재(110)의 위치를 고정시키기고 이를 조립하는 것이 매우 곤란할 수 있다.In this case, the size of the opening 50 of the chamber is designed in consideration of the size of the substrate S to be processed. In the case of the plasma processing apparatus for processing the large-area substrate, the width of the opening 50 may be 2 m or more. Therefore, in the case of a plasma processing apparatus for a large area substrate, it may be very difficult for one worker to fix the position of the first cover member 110 corresponding to the size of the opening and to assemble it.

따라서, 본 실시예에 따른 플라즈마 처리장치의 제1 커버부재(110)는 외측 방향으로 형성되는 적어도 하나의 돌기부(113)를 더 포함한다. 그리고 돌기부(113)는 개구부(50)와 인접한 챔버(10)의 벽면에 형성된 홈부(54)에 삽입 설치된다. 따라서, 돌기부(113)의 위치를 챔버 벽면의 홈부에 일치시킴으로써 제1 커버부재(110)의 위치를 용이하게 결정할 수 있다.Therefore, the first cover member 110 of the plasma processing apparatus according to the present embodiment further includes at least one protrusion 113 formed in the outward direction. The protrusion 113 is inserted into the groove 54 formed in the wall surface of the chamber 10 adjacent to the opening 50. Therefore, the position of the first cover member 110 can be easily determined by matching the position of the protrusion 113 to the groove of the chamber wall surface.

구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 돌기부(113)는 헤드부(113a) 및 상기 헤드부(113a)와 제1 커버부재(110)의 몸체(110a)를 연결하는 연결부(113b)를 포함하여 구성된다. 이때, 연결부(113b)는 헤드부(113a)의 폭 보다 좁은 폭으로 형성될 수 있다. 그리고, 챔버(10) 벽면에 형성된 홈부(54)는 돌기부(113)의 형상과 대응되는 리세스(recess) 형상을 갖는다. 따라서, 돌기부(113)는 홈부(54)에 삽입 설치되면 헤드부(113a)가 챔버(10)의 벽면에 걸리면서 위치가 고정되어, 제1 커버부재(110)의 체결 작업을 용이하게 진행할 수 있다.Specifically, as shown in FIG. 2, the protrusion 113 includes a head portion 113a and a connection portion 113b connecting the head portion 113a and the body 110a of the first cover member 110. It is configured by. At this time, the connecting portion 113b may be formed to have a width narrower than the width of the head portion 113a. The groove 54 formed on the wall surface of the chamber 10 has a recess shape corresponding to the shape of the protrusion 113. Therefore, when the protrusion 113 is inserted into the groove 54, the position of the protrusion 113 is fixed to the wall surface of the chamber 10, and the position of the protrusion 113 is easily fixed. Thus, the fastening operation of the first cover member 110 may be easily performed. .

다만, 도 2에서는 헤드부의 형상을 연결부에 비해 개구부의 너비 방향으로 넓은 폭을 갖도록 구성하고, 챔버 벽면의 홈부는 돌기부의 형상과 일치하도록 구성하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 일 예로서 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 헤드부가 연결부에 비해 기판의 출입 방향으로 넓은 폭을 갖도록 형성하거나, 돌기부를 삽입 설치하는 것이 용이하도록 홈부를 돌기부보다 소정 크기만큼 크게 형성하는 것도 가능하며, 이 이외에도 돌기부를 홈부에 삽입 설치함으로써 제1 커버부재의 설치 위치를 가이드할 수 있도록 돌기부와 홈부의 형상을 다양하게 변형하여 설계할 수 있다.However, in FIG. 2, the shape of the head portion is configured to have a wider width in the width direction of the opening portion than the connection portion, and the groove portion of the chamber wall surface is configured to match the shape of the protrusion portion, but this is an example for convenience of description. It is not limited to this. For example, the head portion may be formed to have a wider width in the substrate outward direction than the connection portion, or the groove portion may be formed to be larger than the protrusion portion by a predetermined size so that the protrusion portion may be easily inserted and installed. In addition, the protrusion portion may be inserted into the groove portion. By installing, the shape of the protrusion and the groove may be variously modified to design the installation position of the first cover member.

여기서, 돌기부(113)는 제1 커버부재(110)의 상단부에 형성된다. 돌기부(113)를 제1 커버부재의 상단부에 설치하는 것이 돌기부(113)와 홈부(54)의 형상을 가공하고 돌기부(113)를 삽입 설치하는 등의 작업에 보다 유리하고, 설치시 제1 커버부재의 자중에 의해 돌기부가 홈부에 걸린 상태로 제1 커버부재를 고정시킬 수 있다. Here, the protrusion 113 is formed at the upper end of the first cover member 110. Installing the protrusion 113 on the upper end of the first cover member is more advantageous for operations such as processing the shape of the protrusion 113 and the groove 54 and inserting and installing the protrusion 113. By the weight of the member, the first cover member can be fixed in a state where the protrusion is caught in the groove portion.

도 2에서는 제1 커버부재가 하나의 돌기부를 구비하는 형상을 도시하고 있으나, 다수개의 돌기부를 포함하도록 구성하는 것도 가능하다. 이 경우에도, 다수개의 돌기부 중 적어도 하나는 제1 커버부재의 상단부 외측으로 형성되며, 나머지는 제1 커버부재의 일측 또는 하단부에 위치하도록 형성되는 것도 가능하다.In FIG. 2, the first cover member has a shape having one protrusion, but may be configured to include a plurality of protrusions. In this case, at least one of the plurality of protrusions may be formed outside the upper end of the first cover member, and the rest may be formed to be located at one side or the lower end of the first cover member.

한편, 제2 커버부재(120)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 플랫한 플레이트(flat plate) 형상으로 이루어진다. 그리고, 개구부(50)와 인접한 챔버(10)의 내벽과 제1 커버부재(110)의 후면이 공정 공간으로 노출되지 않도록 커버한다. 제2 커버부재(120)는 개구부(50)가 형성된 챔버 내벽 전체를 커버하도록 형성되는 것도 가능하며, 플라즈마가 집중적으로 분포하는 개구부와 인접한 위치의 챔버 내벽만을 커버하도록 형성되는 것도 가능하다. 또한 제2 커버부재(120)는 하나의 부재로 구성되는 것도 가능하며, 복수개의 부재로 구성하는 것도 가능하다.On the other hand, the second cover member 120, as shown in Figures 2 and 3, has a flat plate (flat plate) shape. The inner wall of the chamber 10 adjacent to the opening 50 and the rear surface of the first cover member 110 are covered so as not to be exposed to the process space. The second cover member 120 may be formed to cover the entire inner wall of the chamber in which the opening 50 is formed, or may be formed to cover only the inner wall of the chamber adjacent to the opening where the plasma is concentrated. In addition, the second cover member 120 may be composed of one member, it may be composed of a plurality of members.

제2 커버부재(120)는 개구부(50)와 인접한 챔버(10)의 내벽이 플라즈마에 의해 식각되는 것을 방지하고, 개구부(50)와 제1 커버부재(110) 사이로 플라즈마가 침투하는 것을 방지한다. 이러한 제2 커버부재(120)는 플라즈마에 대한 내식각성이 우수한 재질로 형성되며, 일 예로 알루미늄 아노다이징(anodized aluminum)을 이용할 수 있다.The second cover member 120 prevents the inner wall of the chamber 10 adjacent to the opening 50 from being etched by the plasma, and prevents the plasma from penetrating between the opening 50 and the first cover member 110. . The second cover member 120 is formed of a material having excellent etching resistance to plasma, for example, may be used aluminum anodized (anodized aluminum).

나아가, 제3 커버부재(130)는 도 2에 도시된 바와 같이 제1, 제2 커버부재에 비해 슬림한 형상으로 이루어지며, 개구부(50)와 인접한 제2 커버부재(120)의 가장자리에 설치된다.Furthermore, the third cover member 130 has a slimr shape than the first and second cover members as shown in FIG. 2, and is installed at the edge of the second cover member 120 adjacent to the opening 50. do.

전술한 바와 같이 플라즈마 공정시 플라즈마에 의한 식각은 챔버(10)의 개구부(50)와 인접한 위치에서 상대적으로 강하게 발생되며, 그 중에서도 개구부(50)가 시작되는 모서리 부분에서 가장 강하게 발생된다. 따라서, 본 실시예에서는 플라즈마에 의한 식각에 가장 취약한 부분에 제3 커버부재(130)를 별도로 설치할 수 있다.As described above, etching by the plasma during the plasma process is relatively strong at a position adjacent to the opening 50 of the chamber 10, and most particularly at the corner portion where the opening 50 starts. Therefore, in the present embodiment, the third cover member 130 may be separately installed at the portion most vulnerable to etching by the plasma.

구체적으로, 제3 커버부재(130)는 작은 폭을 갖는 긴 라이너 형상으로 구성된다. 그리고, 개구부(50)와 인접한 일단이 챔버 외측 방향으로 절곡되어 돌출되는 절곡부(131)를 형성한다. 따라서, 제3 커버부재(130)는 제2 커버부재(120)의 후면 중 개구부(50)와 인접한 부분을 커버하도록 설치된다. 그리고, 절곡부(131)는 제2 커버부재(120)의 두께(도 4의 T3 참조)에 대응되는 길이만큼 절곡되어, 제1 커버부재(110)의 후면 중 개구부(50)와 인접한 부분과 제2 커버부재(120)에서 개구부(50) 방향으로 형성된 일면을 커버함으로써 개구부(50)가 시작되는 모서리를 구성한다.Specifically, the third cover member 130 has a long liner shape having a small width. Then, one end adjacent to the opening 50 is bent in the chamber outward direction to form a bent portion 131. Accordingly, the third cover member 130 is installed to cover a portion of the rear surface of the second cover member 120 adjacent to the opening 50. The bent portion 131 is bent by a length corresponding to the thickness of the second cover member 120 (see T3 in FIG. 4), and the portion of the rear surface of the first cover member 110 adjacent to the opening 50 is formed. Covering one surface formed in the direction of the opening 50 in the second cover member 120 constitutes a corner from which the opening 50 begins.

이 경우, 제3 커버부재(130)는 제1, 제2 커버부재(110, 120)에 비해 상대적으로 작은 사이즈로 구성되므로, 식각 저항성이 우수하지만 비용적인 문제로 인해 제1, 제2 커버부재(110, 120)에 적용하지 못한 재질을 이용하여 개구부의 모서리를 형성할 수 있어 플라즈마 처리장치(1)의 내구성을 개선할 수 있다. 또한, 제1, 제2 커버부재와 동일한 재질로 제3 커버부재를 구성하는 경우에도, 식각이 가장 활발하게 진행되는 개구부의 모서리 부분만을 별도로 보수 또는 교체하는 것이 가능하여 유지 보수 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.In this case, since the third cover member 130 has a relatively smaller size than the first and second cover members 110 and 120, the first and second cover members are excellent in etching resistance but due to cost. The edge of the opening may be formed using a material that is not applied to the 110 and 120, so that the durability of the plasma processing apparatus 1 may be improved. In addition, even when the third cover member is made of the same material as the first and second cover members, it is possible to separately repair or replace only the corner portion of the opening where the etching is most actively, thereby reducing the maintenance cost. There is an advantage.

이러한 제1 커버부재, 제2 커버부재 및 제3 커버부재는 다수개의 체결 부재에 의해 챔버의 개구부에 순차적으로 설치되며, 이에 대해서는 도 3을 참조하여 구체적으로 설명한다.The first cover member, the second cover member, and the third cover member are sequentially installed in the opening of the chamber by a plurality of fastening members, which will be described in detail with reference to FIG. 3.

전술한 바와 같이, 제1 커버부재(110) 및 제2 커버부재(120)는 내식각성이 우수한 재질로 형성된다. 다만, 이 경우에도 플라즈마 처리 공정을 반복하여 실시함에 따라 제1 커버부재(110) 및 제2 커버부재(120) 또한 플라즈마에 의해 식각이 진행되어 공정 공간의 형상이 변형될 수 있다. 따라서, 제1 커버부재(110) 및 제2 커버부재(120)는 일정 수준 이상으로 식각이 진행된 경우, 이를 보수 또는 교체가 용이하도록 복수개의 체결 부재에 의해 착탈 가능하게 설치될 수 있다.As described above, the first cover member 110 and the second cover member 120 is formed of a material having excellent etching resistance. However, even in this case, as the plasma treatment process is repeatedly performed, the first cover member 110 and the second cover member 120 may also be etched by the plasma to deform the shape of the process space. Therefore, when the first cover member 110 and the second cover member 120 is etched to a predetermined level or more, the first cover member 110 and the second cover member 120 may be detachably installed by a plurality of fastening members to facilitate repair or replacement thereof.

구체적으로, 제1 커버부재(110)는 복수개의 관통홀(112)을 구비한다. 관통홀(112)은 도 3에 도시된 바와 같이 제1 커버부재(110)의 챔버(10) 내측 방향으로 형성된 면과 제3 면(111c)을 관통하도록 형성된다. 여기서, 관통홀(112)의 전단부(제3 면과 인접한 단부)의 직경은 후단부(후면과 인접한 단부)의 직경보다 작게 형성된다.In detail, the first cover member 110 includes a plurality of through holes 112. As shown in FIG. 3, the through hole 112 is formed to penetrate the surface formed in the chamber 10 of the first cover member 110 and the third surface 111c. Here, the diameter of the front end portion (end portion adjacent to the third surface) of the through hole 112 is formed smaller than the diameter of the rear end portion (end portion adjacent to the rear surface).

복수개의 관통홀(112)에는 제1 체결부재(140)가 삽입된 상태에서 체결되어 제1 커버부재(110)를 챔버(10)의 벽면 중 개구부(50)와 인접한 위치에 고정 설치한다. 제1 체결부재(140)는 헤드부(141) 및 외면의 나사산이 형성된 몸체부(142)로 구성된다. 헤드부(141)의 직경(d1)은 관통홀(112)의 전단부의 직경(D1)보다 크고, 후단부의 직경(D2)보다는 작게 형성된다. 따라서, 제1 체결부재(140)의 몸체부(142)는 관통홀(112)에 삽입된 상태에서 제3 내주연면(51c)에 형성된 제1 체결홀(52)에 나사 결합되어 제1 커버부재(110)의 위치를 고정시킬 수 있다.The first cover member 110 is fastened in a state where the first fastening member 140 is inserted into the plurality of through holes 112 to fix the first cover member 110 at a position adjacent to the opening 50 of the wall surface of the chamber 10. The first fastening member 140 is composed of a head portion 141 and the body portion 142 is formed with a thread of the outer surface. The diameter d1 of the head portion 141 is larger than the diameter D1 of the front end portion of the through hole 112 and smaller than the diameter D2 of the rear end portion. Therefore, the body portion 142 of the first fastening member 140 is screwed into the first fastening hole 52 formed in the third inner peripheral surface 51c in the state of being inserted into the through hole 112 to cover the first cover. The position of the member 110 may be fixed.

그리고, 제2 커버부재(120)는 제2 체결부재(150)에 의해 챔버(10)의 내벽에 설치된다. 제2 체결부재(150)는 제1 체결부재(140)와 마찬가지로 헤드부(151)와 외면에 나사산이 형성된 몸체부(152)를 포함하여 구성된다. 따라서 제2 체결부재(150)는 제2 커버부재(120)에 형성된 홀(121)을 통해 삽입되어 챔버 내벽에 형성된 제2 체결홀(53)에 나사 결합되어 제2 커버부재(120)를 고정시킨다.The second cover member 120 is installed on the inner wall of the chamber 10 by the second fastening member 150. Like the first fastening member 140, the second fastening member 150 includes a head portion 151 and a body portion 152 having threads formed on an outer surface thereof. Therefore, the second fastening member 150 is inserted through the hole 121 formed in the second cover member 120 to be screwed into the second fastening hole 53 formed in the inner wall of the chamber to fix the second cover member 120. Let's do it.

한편, 제3 커버부재(130)는 제3 체결부재(160)에 의해 제2 커버부재(120)의 챔버 내측 방향으로 형성된 면 중 개구부(50)와 인접한 위치에 설치된다. 제3 체결부재(160)는 제1, 제2 체결부재(140, 150)와 마찬가지로 헤드부(161)와 외면에 나사산이 형성된 몸체부(162)를 포함하여 구성된다. 따라서, 제3 체결부재(160)는 제3 커버부재(130)에 형성된 홀(132)을 통해 삽입되어, 제2 커버부재(120)에 형성된 제3 체결홀(122)에 나사 결합되어 제3 커버부재(130)를 고정시킨다.On the other hand, the third cover member 130 is installed in a position adjacent to the opening 50 of the surface formed in the chamber inner direction of the second cover member 120 by the third fastening member 160. Like the first and second fastening members 140 and 150, the third fastening member 160 includes a head portion 161 and a body portion 162 having a thread formed on an outer surface thereof. Accordingly, the third fastening member 160 is inserted through the hole 132 formed in the third cover member 130, and is screwed into the third fastening hole 122 formed in the second cover member 120. The cover member 130 is fixed.

여기서, 제2 체결부재(150)의 헤드부(151) 및 제3 체결부재(160)의 헤드부(161)는 공정 공간으로 노출되므로, 식각 저항성이 우수한 재질로 구성된다. 예를 들어, 제2, 제3 체결부재의 헤드부(151, 161)를 식각 저항성이 우수한 세라믹 재질로 코팅하거나 또는 별도의 세라믹 캡(cap)을 씌울 수 있다.Here, the head part 151 of the second fastening member 150 and the head part 161 of the third fastening member 160 are exposed to the process space, and thus are made of a material having excellent etching resistance. For example, the head parts 151 and 161 of the second and third fastening members may be coated with a ceramic material having excellent etching resistance or may be covered with a separate ceramic cap.

전술한 바와 같이, 도 3에서는 제1 커버부재, 제2 커버부재 및 제3 커버부재가 제1 체결부재, 제2 체결부재 및 제3 체결부재에 의해 설치되는 구성을 개시하고 있으나 이는 설명의 편의를 위한 단순 예에 불과하며, 이 이외에도 다양한 방식으로 커버부재를 설치할 수 있다.As described above, FIG. 3 discloses a configuration in which the first cover member, the second cover member, and the third cover member are installed by the first fastening member, the second fastening member, and the third fastening member. For the sake of a simple example, in addition to the cover member can be installed in various ways.

도 4는 도 1의 다른 적용예에 따른 챔버의 개구부의 구조를 도시한 단면도이며, 이하에서는 도 4를 참조하여 제1, 제2, 제3 커버부재를 설치하는 다른 적용예에 대하여 설명하도록 한다.4 is a cross-sectional view illustrating a structure of an opening of a chamber according to another application example of FIG. 1. Hereinafter, another application example in which the first, second and third cover members are installed will be described with reference to FIG. 4. .

도 4에 도시된 바와 같이, 제1 커버부재(110)는 전술한 예와 마찬가지로 챔버 내측 방향으로 형성된 면과 제3 면(111c)을 관통하는 복수개의 관통홀(112)을 구비한다. 각각의 관통홀(112)의 전단부(제3 면과 인접한 단부)의 직경(D1)은 후단부(후면과 인접한 단부)의 직경(D2)보다 작게 형성된다. 그리고, 관통홀(112)의 후단부 내벽에는 나사산이 형성되며, 전단부의 내벽에도 나사산이 형성될 수 있다.As shown in FIG. 4, the first cover member 110 includes a plurality of through holes 112 penetrating the surface formed in the chamber inner direction and the third surface 111c as in the above-described example. The diameter D1 of the front end portion (end portion adjacent to the third surface) of each through hole 112 is formed smaller than the diameter D2 of the rear end portion (end portion adjacent to the rear surface). In addition, a screw thread may be formed on the inner wall of the rear end of the through hole 112, and a screw thread may be formed on the inner wall of the front end portion.

이때, 제1 체결부재의 몸체부(142)는 관통홀의 전단부 직경(D1)에 대응되는 직경을 갖는다. 그리고, 제1 체결부재(140)의 헤드부(141)의 직경(d1)은 관통홀의 전단부 직경(D1)보다는 크되, 후단부의 직경(D2)보다 갖거나 작게 형성된다. 따라서, 제1 체결부재(140)가 관통홀(112)에 삽입된 상태에서 제3 내주연면(51c)에 형성된 제1 체결홀(52)에 나사 결합되어 제1 커버부재를 챔버에 고정시킨다.At this time, the body portion 142 of the first fastening member has a diameter corresponding to the diameter of the front end portion D1 of the through hole. The diameter d1 of the head part 141 of the first fastening member 140 is larger than the front end diameter D1 of the through hole, but is smaller or smaller than the diameter D2 of the rear end portion. Therefore, the first fastening member 140 is screwed into the first fastening hole 52 formed in the third inner circumferential surface 51c while the first fastening member 140 is inserted into the through hole 112 to fix the first cover member to the chamber. .

한편, 제2 체결부재(150)의 몸체부(152)는 제1 커버부재(110)의 관통홀(112) 후단부의 직경(D2)에 대응되는 크기로 형성된다. 그리고, 제2 체결부재(150)의 헤드부(151)는 제1 커버부재(110)의 관통홀 후단부의 직경(D2)보다 크게 형성된다. 따라서, 제2 커버부재(120) 및 제3 커버부재(130)를 설치 위치에 배치한 상태에서, 제2 체결부재(150)가 제2 커버부재(120)의 홀(121) 및 제3 커버부재(132)의 홀을 일제히 통과하여 제1 커버부재(110)의 관통홀(112)에 나사 결합됨으로써 제2 커버부재(120)와 제3 커버부재(130)를 고정시킬 수 있다.On the other hand, the body portion 152 of the second fastening member 150 is formed in a size corresponding to the diameter (D2) of the rear end of the through-hole 112 of the first cover member 110. The head portion 151 of the second fastening member 150 is formed larger than the diameter D2 of the rear end portion of the through hole of the first cover member 110. Therefore, in a state where the second cover member 120 and the third cover member 130 are disposed at the installation position, the second fastening member 150 may have the holes 121 and the third cover of the second cover member 120. The second cover member 120 and the third cover member 130 may be fixed by being screwed into the through-hole 112 of the first cover member 110 through all the holes of the member 132.

이처럼, 도 4의 적용예에서는 두 개의 체결부재를 이용하되, 제2 체결부재 몸체부의 직경(d2)이 제1 체결부재의 헤드부의 직경(d1)과 같거나 크게 형성되도록 구성한다. 따라서, 하나의 관통공(112)을 이용하여 제1 체결부재(140) 및 제2 체결부재(150)가 이중으로 체결되어, 제1 커버부재(110) 및 제2 커버부재(120)를 고정 설치하는 것이 가능하다. 이로 인해, 체결 부재의 개수 및 이에 필요한 체결홀의 개수를 줄일 수 있어, 가공 공정 및 조립 공정을 단순화 시킬 수 있다.As such, in the application example of FIG. 4, two fastening members are used, and the diameter d2 of the second fastening member body part is configured to be equal to or larger than the diameter d1 of the head part of the first fastening member. Therefore, the first fastening member 140 and the second fastening member 150 are doublely fastened using one through hole 112 to fix the first cover member 110 and the second cover member 120. It is possible to install. As a result, the number of fastening members and the number of fastening holes required therein can be reduced, thereby simplifying the machining process and the assembly process.

이처럼, 본 실시예에 따른 플라즈마 처리장치는 도 3에 도시된 설치 구조에 한정되는 것은 아니며, 해당 기술분야에서 숙련된 자에 의해 다양하게 변경 실시가 가능하다.
As such, the plasma processing apparatus according to the present embodiment is not limited to the installation structure shown in FIG. 3, and various modifications can be made by those skilled in the art.

이하에서는 도 5 및 도 6을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 처리장치에 대해 설명한다. 다만, 전술한 제1 실시예에서 설명한 구성 요소와 대응되는 구성요소에 대해서는 동일한 명칭으로 명명하며, 유사한 기술 내용에 대해서는 설명의 중복을 피하기 위하여 설명을 생략하도록 한다.Hereinafter, a plasma processing apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. However, constituent elements corresponding to the constituent elements described in the above-described first embodiment are named with the same names, and similar descriptions will be omitted for avoiding duplication of description.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 처리장치의 개구부에 인접한 챔버의 내벽과 제1 커버부재의 구조를 도시한 분해사시도이고, 도 6은 도 5의 챔버의 개구부 구조를 도시한 단면도이다.5 is an exploded perspective view showing the inner wall of the chamber adjacent to the opening of the plasma processing apparatus and the first cover member according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view showing the opening structure of the chamber of FIG. to be.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 플라즈마 처리장치는 챔버의 개구부(50)에 설치되는 제1 커버부재(110), 제2 커버부재(120) 및 제3 커버부재(130)를 포함한다. 제1 커버부재(110)는 챔버 개구부(50)의 내주연면(111)을 커버하도록 설치되고, 제2 커버부재(120)는 챔버(10)의 내벽과 제1 커버부재(110)의 후면(챔버의 내측 방향으로 형성된 면)을 커버하며, 제3 커버부재(130)는 개구부(50)와 인접한 제2 커버부재(120)의 가장자리를 커버하도록 설치된다.5 and 6, the plasma processing apparatus according to the present embodiment includes a first cover member 110, a second cover member 120, and a third cover member installed in the opening 50 of the chamber. 130). The first cover member 110 is installed to cover the inner circumferential surface 111 of the chamber opening 50, and the second cover member 120 is an inner wall of the chamber 10 and a rear surface of the first cover member 110. (The surface formed in the inner direction of the chamber), and the third cover member 130 is installed to cover the edge of the second cover member 120 adjacent to the opening 50.

이때, 제1 커버부재(110)는 외측 방향으로 돌출 형성된 복수개의 돌기부(113)를 구비한다. 그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 복수개의 돌기부(113)는 제1 커버부재(110)의 상측면 및 양 측면에 각각 형성될 수 있다. 도 5에서는 제1 커버부재의 하측면에 별도의 돌기부를 구비하지 않도록 도시하였으나, 하측면에도 돌기부를 형성할 수 있음은 물론이다.In this case, the first cover member 110 includes a plurality of protrusions 113 protruding outward. 5, the plurality of protrusions 113 may be formed on the upper side and both side surfaces of the first cover member 110, respectively. In FIG. 5, the lower side of the first cover member is illustrated so as not to have a separate protrusion, but the protrusion may also be formed on the lower side.

본 실시예에 따른 제1 커버부재(110)는 돌기부(113)에 관통홀(112)이 형성된다. 그리고 제1 체결부재(140)가 돌기부(113)에 형성된 관통홀(112)에 삽입된 상태에서 체결되어 제1 체결부재(140)를 고정 설치한다. 즉, 전술한 제1 실시예에서는 돌기부가 단순히 제1 체결부재가 설치되는 위치를 가이드하고 예비적으로 고정시켰던 것에 비해, 본 실시예에서는 돌기부(113)에 의해 제1 커버부재의 설치 위치가 정해진 상태에서 돌기부(113)에서 직접 제1 체결부재의 체결이 이루어진다. 따라서, 제1 실시예에서는 제1 체결부재가 설치되는 관통홀을 형성하기 위해, 챔버의 내주연면 및 제1 커버부재의 몸체에 단차구조를 구성하도록 구성하였으나, 본 실시예에 의할 경우 관통홀(112)이 돌기부(113)에 형성되는 바 챔버(10)의 내벽 및 제1 커버부재(110)의 몸체(110a)에 별도의 단차구조를 구비하지 않을 수 있다. 따라서, 플라즈마 처리장치의 제조 공정이 보다 단순할 뿐 아니라, 일정한 사용 기간이 도과하면 교체하게 되는 제1 커버부재를 15mm 이하의 두께로 얇게 형성하는 것이 가능하므로 비용을 절감시킬 수 있다.In the first cover member 110 according to the present embodiment, the through hole 112 is formed in the protrusion 113. In addition, the first fastening member 140 is fastened in a state where the first fastening member 140 is inserted into the through hole 112 formed in the protrusion 113 to fix the first fastening member 140. That is, in the first embodiment described above, the protrusion is simply guided and preliminarily fixed to the position where the first fastening member is installed, whereas in the present embodiment, the installation position of the first cover member is determined by the protrusion 113. In the state, the first fastening member is fastened directly from the protrusion 113. Therefore, in the first embodiment, in order to form a through hole in which the first fastening member is installed, a stepped structure is formed on the inner circumferential surface of the chamber and the body of the first cover member. The hole 112 may not have a separate stepped structure on the inner wall of the bar chamber 10 and the body 110a of the first cover member 110 formed in the protrusion 113. Therefore, the manufacturing process of the plasma processing apparatus is not only simpler, but it is possible to form a thinner first cover member to be replaced with a thickness of 15 mm or less when a certain period of use has elapsed, thereby reducing costs.

구체적으로, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 돌기부(113)에 형성되는 관통홀(112)의 전단부는 제1 체결부재(140)의 몸체부(142)의 직경에 대응되는 크기로 형성된다. 그리고, 관통홀(112)의 후단부는 제1 체결부재(140)의 헤드부(141) 직경과 같거나 크게 형성된다. 따라서, 제1 체결부재(140)가 관통홀(112)에 삽입된 상태에서 챔버(10) 내벽에 형성된 제1 체결홀(52)에 나사 결합되어 제1 커버부재(110)를 고정시킬 수 있다.Specifically, as shown in FIGS. 5 and 6, the front end portion of the through hole 112 formed in the protrusion 113 is formed to have a size corresponding to the diameter of the body portion 142 of the first fastening member 140. do. The rear end of the through hole 112 is formed to have a diameter equal to or larger than the diameter of the head 141 of the first fastening member 140. Therefore, the first fastening member 140 may be screwed into the first fastening hole 52 formed in the inner wall of the chamber 10 while the first fastening member 140 is inserted into the through hole 112 to fix the first cover member 110. .

이러한 방식으로 제1 커버부재(110)의 상측 돌기부, 양측의 돌기부에 제1 체결부재를 순차적으로 설치함으로써, 제1 커버부재의 설치를 완료할 수 있다.In this manner, by sequentially installing the first fastening members on the upper protrusions and the both protrusions of the first cover member 110, the installation of the first cover member can be completed.

도 5에서는 제1 커버부재의 돌기부를 반원 형상으로 구성하였으나, 이는 일 예이며 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 실시예의 돌기부의 형상에 관통홀을 형성한 구조를 적용하는 것도 가능하며, 이 외의 다양한 형상을 적용하여 구성할 수 있다.In FIG. 5, the protrusion of the first cover member has a semicircular shape, but this is an example and the present invention is not limited thereto. It is also possible to apply the structure in which the through hole is formed in the shape of the projection part of the first embodiment, and can be configured by applying various other shapes.

또한, 도 5에서는 제1 커버부재가 하나의 부재로 구성되는 구조를 이용하여 설명하였으나, 설치위치에 따라 다수개의 단위유닛으로 이루어지도록 구성하는 것도 가능하다. 이 경우, 각각의 단위 유닛에 각각 돌기부를 구비하도록 구성하여 별도로 챔버의 내벽에 체결되도록 구성할 수 있다.In addition, although the first cover member has been described using a structure composed of one member in FIG. 5, the first cover member may be configured to include a plurality of unit units according to the installation position. In this case, each unit unit may be configured to be provided with protrusions, respectively, and may be configured to be separately fastened to the inner wall of the chamber.

그리고, 제1 커버부재가 설치된 상태에서 제1 커버부재의 후측으로 제2 커버부재 및 제3 커버부재가 설치될 수 있으며, 이에 대해서는 제1 실시예에서 구체적으로 설명하였으므로 추가적인 설명은 생략하도록 한다.In addition, the second cover member and the third cover member may be installed on the rear side of the first cover member in a state in which the first cover member is installed, which is described in detail in the first embodiment, and thus, further description thereof will be omitted.

이상에서 설명한 플라즈마 처리장치는 챔버의 개구부에 다수개의 커버부재를 설치함으로써, 플라즈마 식각에 대한 내구성을 개선시키고, 보수 및 교체를 통해 비용을 절감시킬 수 있다.In the above-described plasma processing apparatus, by installing a plurality of cover members in the opening of the chamber, it is possible to improve durability for plasma etching and to reduce costs through maintenance and replacement.

다만, 전술한 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 예시로서, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양하게 변형하여 본 발명을 실시하는 것이 가능할 것이므로, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.However, the above-described embodiments are examples for explaining the present invention, but the present invention is not limited thereto. Those skilled in the art to which the present invention pertains will be capable of carrying out the present invention by various modifications therefrom, and the technical protection scope of the present invention should be defined by the appended claims.

1 : 플라즈마 처리장치 10 : 챔버
20 : 서셉터 50 : 개구부
110 : 제1 커버부재 113 : 돌기부
120 : 제2 커버부재 130 : 제3 커버부재
140 : 제1 체결부재 150 : 제2 체결부재1: plasma processing apparatus 10: chamber
20: susceptor 50: opening
110: first cover member 113: protrusion
120: second cover member 130: third cover member
140: first fastening member 150: second fastening member

Claims

A chamber having a process space in which a plasma processing process is performed and having an opening through which a substrate enters and exits the process space;
A first cover member protruding outwardly and having a protrusion inserted into a groove formed on a wall of the chamber, the first cover member being installed to cover the inner peripheral surface so that the inner peripheral surface of the opening is not exposed to the process space;
A second cover member installed to cover one inner wall of the chamber and one surface formed in the chamber inner direction of the first cover member; And,
And a third cover member installed to cover an edge of the second cover member adjacent to the opening.

The method of claim 1,
The projection is inserted into the groove portion of the chamber is plasma processing apparatus, characterized in that for guiding the position where the first cover member is installed.

The method of claim 2,
The protrusion part includes a head part and a connection part which connects the head part and the body of the first cover member to have a narrower width than the head part, and the groove part into which the protrusion part is inserted is installed to correspond to the protrusion part. Plasma processing apparatus, characterized in that formed in the shape.

The method of claim 3,
And the protrusion is installed at an upper end of the first cover member.

The method of claim 3,
The inner circumferential surface of the opening forms a stepped structure along the direction in which the substrate enters and exits, and the first cover member forms the stepped portion in the direction in which the substrate enters and exits so as to correspond to the shape of the inner circumferential surface. Plasma processing apparatus.

The method of claim 5,
The first cover member is plasma processing apparatus, characterized in that the cross-sectional thickness of the chamber inner direction is formed thicker than the cross-sectional thickness of the chamber outer direction.

The method according to claim 6,
And a thickness of the cross section inwardly of the chamber of the first cover member is 20 mm or more, and a thickness of the cross section of the chamber outward direction of the first cover member is 10 mm or less.

The method of claim 5,
The stepped portion of the first cover member includes a first surface and a second surface formed at different heights, and a third surface forming a vertical surface between the first surface and the second surface,
The first cover member has a plurality of through holes penetrating a surface formed in the chamber inward direction and the third surface, and a first fastening member is inserted to fasten the first cover member to the wall surface of the chamber. Plasma processing apparatus, characterized in that.

The method of claim 2,
The protrusion has at least one through hole, and the first fastening member is inserted into the through hole and the first cover member is fixed to the wall surface of the chamber, characterized in that the plasma processing apparatus.

10. The method of claim 9,
The protrusions are formed on the outer side of the upper end and both sides of the first cover member, respectively.

The method of claim 10,
The body of the first cover member is plasma processing apparatus, characterized in that formed to a thickness of less than 15mm.

12. The method according to any one of claims 2 to 11,
The third cover member includes a bent portion protruding in an outward direction of the chamber from an end portion adjacent to the opening, and a portion of one surface formed in the chamber inward direction of the first cover member adjacent to the opening and the second cover member. And a portion adjacent to the opening portion of one surface formed in the direction of the opening and one surface formed in the chamber inner direction.

The method of claim 12,
And the bent portion protrudes by a length corresponding to the thickness of the second cover member.