Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

KR100860522B1 - 액정 패널의 이송장치 - Google Patents

액정 패널의 이송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100860522B1
KR100860522B1 KR1020020015871A KR20020015871A KR100860522B1 KR 100860522 B1 KR100860522 B1 KR 100860522B1 KR 1020020015871 A KR1020020015871 A KR 1020020015871A KR 20020015871 A KR20020015871 A KR 20020015871A KR 100860522 B1 KR100860522 B1 KR 100860522B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid crystal
crystal panel
unit
spiral
shafts
Prior art date
Application number
KR1020020015871A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20030076875A (ko
Inventor
채경수
임종고
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020020015871A priority Critical patent/KR100860522B1/ko
Priority to US10/330,434 priority patent/US7300084B2/en
Priority to CNB031054056A priority patent/CN1323935C/zh
Priority to JP2003071734A priority patent/JP4037780B2/ja
Publication of KR20030076875A publication Critical patent/KR20030076875A/ko
Priority to US11/348,274 priority patent/US7616289B2/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100860522B1 publication Critical patent/KR100860522B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/023Cartesian coordinate type
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/02Gripping heads and other end effectors servo-actuated
    • B25J15/0253Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising parallel grippers
    • B25J15/026Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising parallel grippers actuated by gears
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133351Manufacturing of individual cells out of a plurality of cells, e.g. by dicing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1341Filling or closing of cells
    • G02F1/13415Drop filling process

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 모터의 회전에 따라 나선축에 지지되는 로봇 암의 폭이 변화하도록 한 액정 패널의 이송장치를 제공함으로써, 단위 액정 패널의 사이즈에 대응하여 단위 액정 패널을 이송할 수 있게 된다. 따라서, 단위 액정 패널의 사이즈가 변경될 경우에 로봇 암을 교체하지 않고도 대응할 수 있으며, 로봇 암의 위치를 보다 정밀하게 제어할 수 있게 된다.

Description

액정 패널의 이송장치{CONVEYING APPARATUS OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}
도1은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제1모기판과 컬러필터 기판들이 형성된 제2모기판이 합착되어 다수의 액정 패널들을 이루는 단면 구조를 보인 예시도.
도2는 도1의 액정 패널들이 개별적으로 절단된 단위 액정 패널의 개략적인 평면구조를 보인 예시도.
도3은 종래 단위 액정 패널의 이송장치를 보인 예시도.
도4a 내지 도4d는 종래 단위 액정 패널의 이송장치에 대한 순차적인 구동을 보인 예시도.
도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 이송장치를 보인 예시도.
도6은 도5에 있어서, 스토퍼의 다른 예를 보인 예시도.
도7은 도5에 있어서, 클램핑부의 다른 예를 보인 예시도.
도8a 내지 도8d는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 이송장치에 대한 순차적인 구동을 보인 예시도.
***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명***
101:수평구동부 102:이송축
103:수직구동부 103A:로드
104,105:스토퍼 106,106A,106B,107,107A,107B:나선축
108,109:로봇 암 110,111:클램핑부
120:지지대
본 발명은 액정 패널의 이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정 표시장치를 제작하는 과정의 단위 공정에서 액정 패널을 이송하는 로봇 암이 단위 액정 패널의 다양한 사이즈에 대응하도록 한 액정 패널의 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시장치는 대면적의 모 기판에 박막 트랜지스터 어레이 기판들을 형성하고, 별도의 모 기판에 컬러필터 기판들을 형성한 다음 두 개의 모 기판을 합착함으로써, 액정 패널들을 동시에 형성하여 수율 향상을 도모하고 있으므로, 단위 액정 패널로 절단하는 공정이 요구된다.
통상, 상기 단위 액정 패널의 절단은 유리에 비해 경도가 높은 휠로 모 기판의 표면에 절단 예정홈을 형성하고, 그 절단 예정홈을 따라 크랙이 전파되도록 하는 공정을 통해 실시된다. 이와같은 액정 표시장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도1은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제1모기판과 컬러필터 기판들이 형성된 제2모기판이 합착되어 다수의 액정 패널들을 이루는 단면 구조를 보인 예시도이다.
도1을 참조하면, 단위 액정 패널들은 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들의 일측이 컬러필터 기판(2)들에 비해 돌출되도록 형성된다. 이는 컬러필터 기판(2)들과 중첩되지 않는 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들의 가장자리에 게이트 패드부( 도면상에 도시되지 않음)와 데이터 패드부(도면상에 도시되지 않음)가 형성되기 때문이다.
따라서, 제2모기판(30) 상에 형성된 컬러필터 기판(2)들은 제1모기판(20) 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들이 돌출되는 면적에 해당하는 더미영역(dummy region, 31) 만큼 이격되어 형성된다.
또한, 각각의 단위 액정 패널들은 제1,제2모기판(20,30)을 최대한 이용할 수 있도록 적절히 배치되며, 모델(model)에 따라 다르지만, 일반적으로 단위 액정 패널들은 더미영역(32) 만큼 이격되도록 형성된다.
상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들이 형성된 제1모기판(20)과 컬러필터 기판(2)들이 형성된 제2모기판(30)이 합착된 후에는 액정 패널들을 개별적으로 절단하는데, 이때 제2모기판(30)의 컬러필터 기판(2)들이 이격된 영역에 형성된 더미영역(31)과 단위 액정 패널들을 이격시키는 더미영역(32)이 동시에 제거된다.
그리고, 도2는 개별적으로 절단된 단위 액정 패널의 개략적인 평면구조를 보인 예시도이다.
도2를 참조하면, 단위 액정 패널(10)은 액정 셀들이 매트릭스 형태로 배열되는 화상표시부(13)와; 상기 화상표시부(13)의 게이트 배선(GL1∼GLm)들을 게이트 신호가 인가되는 게이트 드라이버 집적회로(도면상에 도시되지 않음)와 접속시키기 위한 게이트 패드부(14)와; 상기 화상표시부(13)의 데이터 배선(DL1∼DLn)들을 화상정보가 인가되는 데이터 드라이버 집적회로(도면상에 도시되지 않음)와 접속시키기 위한 데이터 패드부(15)로 구성된다. 이때, 게이트 패드부(14)와 데이터 패드부(15)는 컬러필터 기판(2)에 비해 일측 단변 및 일측 장변이 돌출된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)의 가장자리 영역에 형성된다.
여기서, 도면상에 상세히 도시하지는 않았지만, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)의 데이터 배선(DL1∼DLn)들과 게이트 배선(GL1∼GLm)들이 수직교차하는 영역에는 액정 셀들을 스위칭하기 위한 박막 트랜지스터가 구비되고, 그 박막 트랜지스터에 접속되어 액정 셀들에 전계를 인가하기 위한 화소전극과, 이와같은 데이터 배선(DL1∼DLn)들, 게이트 배선(GL1∼GLm)들, 박막 트랜지스터들 및 전극들을 보호하기 위해 전면에 형성된 보호막이 구비된다.
그리고, 상기 컬러필터 기판(2)에는 블랙 매트릭스에 의해 셀 영역별로 분리되어 도포된 칼러필터들과, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)에 형성된 화소전극의 상대전극인 공통전극이 구비된다.
상기한 바와같이 구성된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)과 컬러필터 기판(2)은 대향하여 일정하게 이격되도록 셀-갭(cell-gap)이 마련되고, 화상표시부(13)의 외곽에 형성된 실링부(도면상에 도시되지 않음)에 의해 합착되며, 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)과 컬러필터 기판(2)의 이격된 공간에 액정층(도면상에 도시되지 않음)이 형성된다.
한편, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)의 가장자리에는 박막 트랜지스터 어레이 기판(1) 상에 도전성 막들을 패터닝할 때, 발생할 수 있는 정전기를 차단하기 위하여 단락 배선(도면상에 도시되지 않음)이 형성되어 있다.
상기 단락 배선은 액정 패널들이 개별적인 단위 액정 패널로 절단된 이후에 는 제거되어야 한다.
따라서, 상기 액정 패널들을 개별적인 단위 액정 패널로 절단한 후에는 단위 액정 패널의 모서리를 연마하여 상기 단락 배선을 제거한다. 또한, 단위 액정 패널의 모서리를 연마하여 외부의 충격에 의해 단위 액정 패널의 모서리로부터 파편이 뜯겨져 이탈되는 현상을 방지하고, 공정 진행중에 작업자가 단위 액정 패널의 날카로운 모서리에 의해 상처를 입을 수 있는 위험을 방지할 수 있는 부수적 효과를 얻을 수 있다.
그리고, 상기 단위 액정 패널을 연마한 후에는 단위 액정 패널의 불량 발생여부 및 정상 구동여부 등에 대한 검사를 실시함으로써, 양품의 판정이 내려진 단위 액정 패널이 최종적으로 제품으로 출하된다.
상기한 바와같이 액정 패널들이 개별적인 단위 액정 패널로 절단된 이후에 연마 공정과 검사 공정을 수행할 경우에는 이송장치를 사용하여 정밀하게 제어함으로써, 단위 액정 패널을 외부의 충격없이 원하는 위치로 이송하고 있다. 이와같은 액정 패널의 이송장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도3은 종래 단위 액정 패널의 이송장치를 보인 예시도로서, 이에 도시한 바와같이 공기의 주입 및 배출을 통해 내재된 한쌍의 피스톤(51,52)을 서로 멀어지는 방향 또는 가까워지는 방향으로 구동하는 실린더(53)와; 상기 실린더(53)를 상하방향으로 구동하며, 이송축(54)을 따라 구동되는 수직구동부(55)와; 상기 피스톤(51,52)과 결합되어 실린더(53)의 양측면 외부로 돌출된 한쌍의 지지축(56,57)과; 상기 지지축(56,57)에 일측 끝단이 고정되어 지지축(56,57)과 직 교하는 일측 방향으로 연장되는 한쌍의 로봇 암(58,59)과; 상기 로봇 암(58,59)의 타측 끝단 하부에 결합되어 로봇 암(58,59)의 이격된 영역 내로 소정거리가 돌출된 한쌍의 클램핑부(60,61)로 구성된다.
그리고, 도4a 내지 도4d는 종래 단위 액정 패널의 이송장치에 대한 순차적인 구동을 보인 예시도이다.
먼저, 도4a를 참조하면, 상기 실린더(53)가 공기의 주입 및 배출을 통해 내재된 한쌍의 피스톤(51,52)을 서로 최대한 멀어지는 방향으로 구동되도록 한다. 따라서, 상기 한쌍의 로봇 암(58,59)은 서로 멀어지는 방향으로 구동되어 제1테이블(62) 상에 로딩된 단위 액정 패널(10)의 양측 가장자리로부터 일정한 거리가 이격된다. 이때, 단위 액정 패널(10)의 양측 가장자리는 제1테이블(62)에 비해 돌출되게 로딩되어 있다.
그리고, 도4b에 도시한 바와같이 상기 수직구동부(55)가 상기 실린더(53)를 하강시킨다. 따라서, 상기 한쌍의 로봇 암(58,59)은 단위 액정 패널(10)에 비해 낮거나 적어도 동일한 높이까지 하강한다.
그리고, 도4c에 도시한 바와같이 상기 실린더(53)가 공기(Air)의 주입 및 배출을 통해 내재된 한쌍의 피스톤(51,52)을 서로 최대한 가까워지는 방향으로 구동되도록 한다. 따라서, 상기 한쌍의 로봇 암(58,59)은 서로 가까워지는 방향으로 구동되어 제1테이블(62) 상에 로딩된 단위 액정 패널(10)의 양측 가장자리와 밀착된다.
그리고, 도4d에 도시한 바와같이 상기 수직구동부(55)가 상기 실린더(53)를 상승시킨다. 따라서, 상기 한쌍의 로봇 암(58,59)이 상승하고, 이에 따라 로봇 암(58,59)의 타측 끝단에 구비된 클램핑부(60,61)에 단위 액정 패널(10)이 지지되어 로봇 암(58,59)과 함께 상승하게 된다.
상기한 바와같이 단위 액정 패널(10)이 로봇 암(58,59)과 함께 상승하면, 상기 수직구동부(55)가 이송축(54)을 따라 구동됨으로써, 단위 액정 패널(10)을 원하는 위치로 이송한다.
한편, 상기 단위 액정 패널(10)을 원하는 위치로 이송한 다음에는 상기 도4a 내지 도4d와 반대되는 수순으로 단위 액정 패널(10)을 다른 테이블에 내려놓게 된다.
그러나, 상기한 바와같은 종래 액정 패널의 이송장치는 이송될 액정 패널의 사이즈가 변경될 경우에는 기존에 사용되던 로봇 암을 액정 패널의 사이즈에 대응하는 로봇 암으로 교체해야 함에 따라 작업이 번거롭고, 시간이 지연되어 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다.
또한, 액정 패널의 사이즈에 대응하는 다수의 로봇 암을 제작하여야 함에 따라 투자비가 증가되고, 다수의 로봇 암을 보관하기 위한 별도의 공간이 요구되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 바와같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 본 발명의 목적은 단위 액정 패널의 다양한 사이즈에 대응할 수 있는 액정 패널의 이송장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 액정 패널의 이송장치에 대한 일 실시예는 모터의 회전을 제어하는 수평구동부; 상기 수평구동부와 로드(rod)를 통해 결합되어 상기 수평구동부를 수직방향으로 구동하는 수직구동부; 상기 수평구동부의 양측면 외부로 일정한 거리가 이격되어 평행하게 돌출된 적어도 2개씩의 나선축(screw shaft); 상기 수평구동부의 모터 회전에 의해 구동되며, 상기 나선축에 일측 끝단이 지지되고, 상기 나선축과 직교하는 일측 방향으로 연장되는 한 쌍의 로봇 암; 상기 적어도 2개씩의 나선축에 결합되어 상기 적어도 2개씩의 나선축을 따라 서로 멀어지는 방향 또는 서로 가까워지는 방향으로 구동되고, 상기 한 쌍의 로봇 암과 결합되는 지지대; 상기 적어도 2개씩의 나선축의 끝단에 각각 구비되되, 상기 나선축의 끝단이 서로 연결되도록 형성되어 상기 나선축의 요동을 방지하는 스토퍼; 및 상기 로봇 암의 길이 방향을 따라 일정하게 이격되도록 상기 로봇 암의 타측 끝단에 결합된 적어도 2개씩의 클램핑부를 포함한다.
상기한 바와같은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 이송장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 이송장치를 보인 예시도로서, 이에 도시한 바와같이 모터(도면상에 도시되지 않음)의 회전을 제어하는 수평구동부(101)와; 상기 수평구동부(101)를 상하방향으로 구동하며, 이송축(102)을 따라 구동되는 수직구동부(103)와; 상기 수평구동부(101)의 양측면 외부로 돌출되어 끝단에 스토퍼(stopper, 104,105)가 구비된 나선축(106,107)과; 상기 나선축(106,107)에 일측 끝단이 지지되고, 상기 나선축(106,107)과 직교하는 일측 방향으로 연장되어 상기 수평구동부(101)의 모터 회전을 통해 나선축(106,107)을 따라 서로 멀어지는 방향 또는 가까워지는 방향으로 구동되는 한쌍의 로봇 암(108,109)과; 상기 로봇 암(108,109)의 타측 끝단에 결합되어 상기 로봇 암(108,109)의 이격된 영역 내로 소정 거리가 돌출된 클램핑부(110,111)로 구성된 다.
상기 수직구동부(103)는 로드(rod, 103A)를 통해 수평구동부(101)를 상하방향으로 구동한다.
또한, 상기 나선축(106,107)은 상기 수평구동부(101)의 양측면 외부로 2개씩의 나선축(106A,106B)(107A,107B)이 일정한 거리가 이격되어 평행하게 돌출되도록 한다.
그리고, 상기 나선축(106A,106B)(107A,107B)을 서로 연결시키는 지지대(120)가 나선축(106A,106B)(107A,107B)을 따라 서로 멀어지는 방향 또는 서로 가까워지는 방향으로 구동될 수 있도록 구비된다.
그리고, 상기 로봇 암(108,109)을 지지대(120)에 결합함으로써, 상기 로봇 암(108,109)이 효과적으로 지지되고, 나선축(106A,106B)(107A,107B)을 따라 서로 멀어지는 방향 또는 서로 가까워지는 방향으로 구동될 수 있도록 한다.
한편, 상기 나선축(106A,106B)(107A,107B)은 상기 수평구동부(101)의 양측면 외부로 3개씩 또는 그보다 많게 형성할 수 있다.
상기한 바와같이 2개씩의 나선축(106A,106B)(107A,107B)이 구비될 경우에 스토퍼(104,105)는 도6의 예시도에 도시한 바와같이 나선축(106A,106B)(107A,107B)의 끝단이 서로 연결되도록 형성하여 나선축(106A,106B)(107A,107B)의 요동을 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
한편, 상기 로봇 암(108,109)의 끝단에 결합되는 클램핑부(110,111)는 로봇 암(108,109)의 이격된 공간에 돌출되는 면적이 로봇 암(108,109)의 길이방향을 따 라 증가되거나 감소되도록 형성할 수 있으며, 또는 도7의 예시도에 도시한 바와같이 2개씩의 클램핑부(110A,110B),(111A,111B)를 일정한 거리가 이격되도록 형성할 수 있다. 경우에 따라 3개씩 또는 그보다 많게 형성하여 가장 최적화된 액정 패널의 지지면을 확보할 수 있다.
이하, 상기한 바와같은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 이송장치에 대한 순차적인 구동을 도8a 내지 도8d의 예시도를 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 도8a에 도시한 바와같이 상기 수평구동부(101)가 내재된 모터의 회전을 제어함으로써, 상기 나선축(106A,106B)(107A,107B)에 결합된 지지대(120)가 나선축(106A,106B)(107A,107B)을 따라 서로 멀어지는 방향으로 구동되도록 한다. 따라서, 지지대(120)에 결합된 로봇 암(108,109)이 서로 멀어지는 방향으로 구동되어 제1테이블(121) 상에 로딩된 단위 액정 패널(100)의 양측 가장자리로부터 일정한 거리가 이격된다. 이때, 단위 액정 패널(100)의 양측 가장자리는 제1테이블(121)에 비해 소정의 거리가 돌출되게 로딩되어 있다.
그리고, 도8b에 도시한 바와같이 상기 수직구동부(103)가 수평구동부(101)를 하강시킨다. 따라서, 상기 로봇 암(108,109)은 단위 액정 패널(100)에 비해 낮거나 적어도 동일한 높이까지 하강한다.
그리고, 도8c에 도시한 바와같이 상기 수평구동부(101)가 내재된 모터의 회전을 제어함으로써, 상기 나선축(106A,106B)(107A,107B)에 결합된 지지대(120)가 나선축(106A,106B)(107A,107B)을 따라 서로 가까워지는 방향으로 구동되도록 한다. 따라서, 지지대(120)에 결합된 로봇 암(108,109)이 서로 가까워지는 방향으로 구동 되어 제1테이블(121) 상에 로딩된 단위 액정 패널(100)의 양측 가장자리와 밀착된다.
그리고, 도8d에 도시한 바와같이 상기 수직구동부(103)가 수평구동부(101)를 상승시킨다. 따라서, 상기 로봇 암(108,109)이 상승하고, 이에 따라 로봇 암(108,109)의 타측 끝단에 결합된 클램핑부(110,111)에 단위 액정 패널(100)이 지지되어 로봇 암(108,109)과 함께 상승하게 된다.
상기한 바와같이 단위 액정 패널(100)이 로봇 암(108,109)과 함께 상승하면, 상기 수직구동부(103)가 이송축(102)을 따라 구동됨으로써, 단위 액정 패널(100)을 원하는 위치로 이송한다.
한편, 상기 단위 액정 패널(100)을 원하는 위치로 이송한 다음에는 상기 도8a 내지 도8d와 반대되는 수순으로 단위 액정 패널(100)을 다른 테이블에 내려놓게 된다.
상기한 바와같은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 이송장치는 모터의 회전에 따라 나선축에 지지되는 로봇 암의 폭이 변화하도록 함으로써, 종래의 실린더 방식에 비해 로봇 암의 이동거리가 길어지고, 로봇 암의 위치를 보다 정밀하게 제어할 수 있게 된다.
따라서, 단위 액정 패널의 사이즈가 변경될 경우에 종래에서와 같이 로봇 암을 교체하지 않고도 단위 액정 패널의 사이즈에 대응할 수 있게 된다.
상술한 바와같이 본 발명에 의한 액정 패널의 이송장치는 모터의 회전에 따 라 나선축에 지지되는 로봇 암의 폭이 변화하도록 함으로써, 단위 액정 패널의 사이즈에 대응하여 단위 액정 패널을 이송할 수 있게 된다.
따라서, 종래에서와 같이 로봇 암을 교체하는 작업이 요구되지 않기 때문에 간편하고, 작업시간을 줄일 수 있게 되어 생산성을 향상시킬 수 있으며, 또한 종래 실린더 방식에 비해 로봇 암의 위치를 보다 정밀하게 제어할 수 있게 되어 장비의 오동작을 방지하고, 제품의 불량요인을 저감시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 단위 액정 패널의 사이즈에 대응하는 다수의 로봇 암을 제작하지 않아도 되기 때문에 투자비를 줄일 수 있고, 다수의 로봇 암을 보관하기 위한 공간이 요구되지 않기 때문에 공간 활용에 유리한 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 모터의 회전을 제어하는 수평구동부;
    상기 수평구동부와 로드(rod)를 통해 결합되어 상기 수평구동부를 수직방향으로 구동하는 수직구동부;
    상기 수평구동부의 양측면 외부로 일정한 거리가 이격되어 평행하게 돌출된 적어도 2개씩의 나선축(screw shaft);
    상기 수평구동부의 모터 회전에 의해 구동되며, 상기 나선축에 일측 끝단이 지지되고, 상기 나선축과 직교하는 일측 방향으로 연장되는 한 쌍의 로봇 암;
    상기 적어도 2개씩의 나선축에 결합되어 상기 적어도 2개씩의 나선축을 따라 서로 멀어지는 방향 또는 서로 가까워지는 방향으로 구동되고, 상기 한 쌍의 로봇 암과 결합되는 지지대;
    상기 적어도 2개씩의 나선축의 끝단에 각각 구비되되, 상기 나선축의 끝단이 서로 연결되도록 형성되어 상기 나선축의 요동을 방지하는 스토퍼; 및
    상기 로봇 암의 길이 방향을 따라 일정하게 이격되도록 상기 로봇 암의 타측 끝단에 결합된 적어도 2개씩의 클램핑부를 포함하는 액정 패널의 이송장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
KR1020020015871A 2002-03-23 2002-03-23 액정 패널의 이송장치 KR100860522B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020015871A KR100860522B1 (ko) 2002-03-23 2002-03-23 액정 패널의 이송장치
US10/330,434 US7300084B2 (en) 2002-03-23 2002-12-30 Apparatus for conveying liquid crystal display panel
CNB031054056A CN1323935C (zh) 2002-03-23 2003-02-20 液晶显示器面板的输送装置
JP2003071734A JP4037780B2 (ja) 2002-03-23 2003-03-17 液晶表示パネルの移送装置
US11/348,274 US7616289B2 (en) 2002-03-23 2006-02-07 Apparatus for conveying liquid crystal display panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020015871A KR100860522B1 (ko) 2002-03-23 2002-03-23 액정 패널의 이송장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030076875A KR20030076875A (ko) 2003-09-29
KR100860522B1 true KR100860522B1 (ko) 2008-09-26

Family

ID=36582941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020015871A KR100860522B1 (ko) 2002-03-23 2002-03-23 액정 패널의 이송장치

Country Status (4)

Country Link
US (2) US7300084B2 (ko)
JP (1) JP4037780B2 (ko)
KR (1) KR100860522B1 (ko)
CN (1) CN1323935C (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101211851B1 (ko) 2009-06-04 2012-12-12 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치
WO2023055083A1 (ko) * 2021-09-28 2023-04-06 삼성디스플레이 주식회사 진공 설비

Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7562923B2 (en) * 2004-02-09 2009-07-21 Mirae Corporation Tray transferring apparatus with gripper mechanism
US7422253B2 (en) * 2004-06-30 2008-09-09 Lg Display Co., Ltd. Glass handling tool and method of carrying glass
KR100955375B1 (ko) * 2005-12-29 2010-04-29 엘지디스플레이 주식회사 액정패널의 이송장치
US7670555B2 (en) * 2006-09-08 2010-03-02 Rex A. Hoover Parallel gripper for handling multiwell plate
US8376428B2 (en) * 2006-11-15 2013-02-19 Dynamic Micro System Semiconductor Equipment GmbH Integrated gripper for workpiece transfer
US7948576B2 (en) * 2008-09-25 2011-05-24 Apple Inc. P-chassis arrangement for positioning a display stack
CN101422904B (zh) * 2008-12-09 2011-04-13 友达光电股份有限公司 承载构件
DE102010018966A1 (de) * 2010-04-28 2011-11-03 IPR-Intelligente Peripherien für Roboter GmbH Robotergreifer und Handhabungsroboter
CN102464210A (zh) * 2010-11-11 2012-05-23 株式会社Siti 基板搬运装置
US8567837B2 (en) 2010-11-24 2013-10-29 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Reconfigurable guide pin design for centering wafers having different sizes
JP5861255B2 (ja) * 2011-01-12 2016-02-16 セイコーエプソン株式会社 ロボットハンド及びロボット
JP5582313B2 (ja) * 2011-06-28 2014-09-03 株式会社安川電機 ロボットシステム
US20130082843A1 (en) * 2011-09-30 2013-04-04 Apple Inc. Detection of fracture of display panel or other patterned device
US8419098B1 (en) * 2011-12-31 2013-04-16 Nicholas Michael Smith Pool chlorine tablet holder
KR101374813B1 (ko) * 2012-03-28 2014-03-19 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 판재 자세 조절 장치
CN102642714B (zh) * 2012-04-27 2015-02-18 深圳市华星光电技术有限公司 基板移运装置
US9371196B2 (en) * 2012-04-27 2016-06-21 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Transportation method and transportation device of liquid crystal panel
US9439315B2 (en) 2012-06-29 2016-09-06 Samsung Display Co., Ltd. Display device, and method and apparatus for manufacturing the same
KR20140002470A (ko) 2012-06-29 2014-01-08 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치, 디스플레이 장치의 제조방법, 디스플레이 장치의 제조장치
CN103568016B (zh) * 2012-08-10 2015-11-25 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 夹装装置
US8983660B1 (en) * 2012-10-01 2015-03-17 Kla-Tencor Corporation Substrate transporter
ITBS20120162A1 (it) * 2012-11-16 2014-05-17 Gimatic Spa Pinza a due griffe a corsa lunga
US9004564B2 (en) * 2013-03-13 2015-04-14 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Wafer handling apparatus
US9302888B2 (en) * 2013-07-09 2016-04-05 General Electric Company System and method for lifting an electronics panel
JP5884787B2 (ja) * 2013-08-05 2016-03-15 トヨタ自動車株式会社 移載装置、及び移載方法
JP5995330B2 (ja) * 2014-06-05 2016-09-21 株式会社ツバキE&M 2軸アクチュエータ
CN104150136B (zh) * 2014-08-25 2017-01-11 长沙开元仪器股份有限公司 存查样柜、样瓶夹持装置及其夹持方法
JP6411852B2 (ja) * 2014-10-07 2018-10-24 平田機工株式会社 搬送装置、搬送システム及び搬送方法
CN104260083A (zh) * 2014-10-09 2015-01-07 马鞍山市安工大工业技术研究院有限公司 一种五自由度平面关节机器人机构
EP3636392B1 (en) * 2015-06-11 2022-11-02 Soft Robotics, Inc. Modular robotic systems
CN105775741B (zh) * 2016-03-11 2017-12-05 浙江水晶光电科技股份有限公司 光学玻璃自动取放设备
JP6701007B2 (ja) * 2016-06-27 2020-05-27 川崎重工業株式会社 ワーク保持機構
CN106006033A (zh) * 2016-07-28 2016-10-12 苏州高通机械科技有限公司 一种可调节的玻璃基板搬运手臂
CN106006034A (zh) * 2016-07-28 2016-10-12 苏州高通机械科技有限公司 一种玻璃基板搬运手臂
CN106219242B (zh) * 2016-09-30 2019-03-29 深圳商巨智能设备股份有限公司 液晶面板的归正装置
CN106865227A (zh) * 2017-02-27 2017-06-20 王松 一种液晶显示屏抓取输送机构
CN107344362A (zh) * 2017-06-05 2017-11-14 广东天机工业智能系统有限公司 工件抓取系统
US10639800B2 (en) * 2018-07-11 2020-05-05 Amazon Technologies, Inc. Robotic-arm end effector configured to engage a plurality of storage containers, and method of using the same
CN109148347B (zh) * 2018-08-22 2021-08-27 重庆市嘉凌新科技有限公司 芯片加工接送料装置
CN110022636B (zh) * 2019-04-16 2022-11-11 业成科技(成都)有限公司 夹持结构和静电消除装置
CN111267132B (zh) * 2019-08-28 2021-04-23 南京驭逡通信科技有限公司 一种用于工业机器人的夹持机构
CN110524564A (zh) * 2019-08-30 2019-12-03 安徽唯宏新材料科技有限公司 一种环氧板码垛机器人用夹板装置
CN111975669A (zh) * 2020-07-17 2020-11-24 苏州浪潮智能科技有限公司 一种计算机散热片固定装置
CN112917383A (zh) * 2021-01-29 2021-06-08 天津盛诺电子科技有限公司 一种显示屏抛光抗弯曲装置
EP4039621A1 (de) * 2021-02-08 2022-08-10 ZS-Handling GmbH System zum halten eines werkstücks
CN113568201A (zh) * 2021-08-26 2021-10-29 苏州科韵激光科技有限公司 一种液晶面板载台机构

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08297279A (ja) * 1995-04-25 1996-11-12 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置及び基板搬送方法
KR19980087322A (ko) * 1997-05-23 1998-12-05 이시다 아키라 기판반송장치
KR19990026818A (ko) * 1997-09-26 1999-04-15 윤종용 리페어 설비 구조
JP2000223546A (ja) * 1999-02-02 2000-08-11 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置

Family Cites Families (108)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2001A (en) * 1841-03-12 Sawmill
US3978580A (en) 1973-06-28 1976-09-07 Hughes Aircraft Company Method of fabricating a liquid crystal display
JPS5165656A (ko) 1974-12-04 1976-06-07 Shinshu Seiki Kk
US4094058A (en) 1976-07-23 1978-06-13 Omron Tateisi Electronics Co. Method of manufacture of liquid crystal displays
JPS5738414A (en) 1980-08-20 1982-03-03 Showa Denko Kk Spacer for display panel
JPS5788428A (en) 1980-11-20 1982-06-02 Ricoh Elemex Corp Manufacture of liquid crystal display body device
JPS5827126A (ja) 1981-08-11 1983-02-17 Nec Corp 液晶表示パネルの製造方法
JPS5957221A (ja) 1982-09-28 1984-04-02 Asahi Glass Co Ltd 表示素子の製造方法及び製造装置
JPS59195222A (ja) 1983-04-19 1984-11-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造法
JPS60111221A (ja) 1983-11-19 1985-06-17 Nippon Denso Co Ltd 液晶充填方法および装置
US4579380A (en) * 1983-12-06 1986-04-01 Carnegie-Mellon University Servo robot gripper
JPS60164723A (ja) 1984-02-07 1985-08-27 Seiko Instr & Electronics Ltd 液晶表示装置
JPS60217343A (ja) 1984-04-13 1985-10-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置およびその製造方法
JPS617822A (ja) 1984-06-22 1986-01-14 Canon Inc 液晶素子の製造方法
JPS6155625A (ja) 1984-08-24 1986-03-20 Nippon Denso Co Ltd 液晶素子製造方法
US4775225A (en) 1985-05-16 1988-10-04 Canon Kabushiki Kaisha Liquid crystal device having pillar spacers with small base periphery width in direction perpendicular to orientation treatment
JP2616761B2 (ja) 1985-07-15 1997-06-04 株式会社 半導体エネルギー研究所 液晶表示装置の作製方法
US4691995A (en) 1985-07-15 1987-09-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal filling device
JPS6254228A (ja) 1985-07-15 1987-03-09 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶表示装置の作製方法
JP2535142B2 (ja) 1985-07-15 1996-09-18 株式会社 半導体エネルギー研究所 液晶表示装置の作製方法
JPS6289025A (ja) 1985-10-15 1987-04-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JPS6290622A (ja) 1985-10-17 1987-04-25 Seiko Epson Corp 液晶表示装置
US4653864A (en) 1986-02-26 1987-03-31 Ovonic Imaging Systems, Inc. Liquid crystal matrix display having improved spacers and method of making same
JPH0668589B2 (ja) 1986-03-06 1994-08-31 キヤノン株式会社 強誘電性液晶素子
US4680523A (en) * 1986-03-13 1987-07-14 Lord Corporation Apparatus and method for handling articles in automated assembly processes
US5963288A (en) 1987-08-20 1999-10-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal device having sealant and spacers made from the same material
US5379139A (en) 1986-08-20 1995-01-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal device and method for manufacturing same with spacers formed by photolithography
JPS63109413A (ja) 1986-10-27 1988-05-14 Fujitsu Ltd 液晶デイスプレイの製造方法
JPS63110425A (ja) 1986-10-29 1988-05-14 Toppan Printing Co Ltd 液晶封入用セル
JPS63128315A (ja) 1986-11-19 1988-05-31 Victor Co Of Japan Ltd 液晶表示素子
JPS63311233A (ja) 1987-06-12 1988-12-20 Toyota Motor Corp 液晶セル
DE3825066A1 (de) 1988-07-23 1990-01-25 Roehm Gmbh Verfahren zur herstellung von duennen, anisotropen schichten auf oberflaechenstrukturierten traegern
DE3915038A1 (de) * 1989-05-08 1990-11-22 Balzers Hochvakuum Halte- und transportvorrichtung fuer eine scheibe
US4964078A (en) 1989-05-16 1990-10-16 Motorola, Inc. Combined multiple memories
NL8901522A (nl) * 1989-06-16 1991-01-16 Hoogovens Groep Bv Inrichting voor het hanteren van een drager.
US5186515A (en) * 1989-07-25 1993-02-16 Carnegie Mellon University Low friction gripper
JPH0536425A (ja) 1991-02-12 1993-02-12 Tokyo Electric Power Co Inc:The 固体電解質型燃料電池用合金セパレータ及びその製造 方法
EP0528542B1 (en) 1991-07-19 1998-09-16 SHARP Corporation Optical modulating element and apparatuses using it
JP3068264B2 (ja) 1991-07-31 2000-07-24 三菱重工業株式会社 固体電解質燃料電池
JPH05107533A (ja) 1991-10-16 1993-04-30 Shinetsu Eng Kk 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法及びその貼り合せ装置
JPH05127179A (ja) 1991-11-01 1993-05-25 Ricoh Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JP2609386B2 (ja) 1991-12-06 1997-05-14 株式会社日立製作所 基板組立装置
JP3159504B2 (ja) 1992-02-20 2001-04-23 松下電器産業株式会社 液晶パネルの製造方法
JPH05265011A (ja) 1992-03-19 1993-10-15 Seiko Instr Inc 液晶表示素子の製造方法
JPH05281562A (ja) 1992-04-01 1993-10-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造方法
JP2939384B2 (ja) 1992-04-01 1999-08-25 松下電器産業株式会社 液晶パネルの製造方法
US5507323A (en) 1993-10-12 1996-04-16 Fujitsu Limited Method and dispenser for filling liquid crystal into LCD cell
US5406989A (en) 1993-10-12 1995-04-18 Ayumi Industry Co., Ltd. Method and dispenser for filling liquid crystal into LCD cell
JPH05301710A (ja) 1992-04-24 1993-11-16 Asahi Glass Co Ltd 基板処理システムの基板搬送方法及びその装置
JP2604090B2 (ja) 1992-06-30 1997-04-23 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置
JPH0651256A (ja) 1992-07-30 1994-02-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶吐出装置
JPH0664229A (ja) 1992-08-24 1994-03-08 Toshiba Corp 光プリンタヘッド
JP3084975B2 (ja) 1992-11-06 2000-09-04 松下電器産業株式会社 液晶表示用セルの製造装置
JPH06155354A (ja) 1992-11-10 1994-06-03 Murata Mach Ltd ロボットハンド
JPH06160871A (ja) 1992-11-26 1994-06-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルおよびその製造方法
JPH06194637A (ja) 1992-12-24 1994-07-15 Shinetsu Eng Kk 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法
JPH06235925A (ja) 1993-02-10 1994-08-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH06265915A (ja) 1993-03-12 1994-09-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶充填用吐出装置
JP3210126B2 (ja) 1993-03-15 2001-09-17 株式会社東芝 液晶表示装置の製造方法
JP3170773B2 (ja) 1993-04-28 2001-05-28 株式会社日立製作所 基板組立装置
US5539545A (en) 1993-05-18 1996-07-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of making LCD in which resin columns are cured and the liquid crystal is reoriented
JP2957385B2 (ja) 1993-06-14 1999-10-04 キヤノン株式会社 強誘電性液晶素子の製造方法
JP3260511B2 (ja) 1993-09-13 2002-02-25 株式会社日立製作所 シール剤描画方法
JPH07128674A (ja) 1993-11-05 1995-05-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH07181507A (ja) 1993-12-21 1995-07-21 Canon Inc 液晶表示装置及び該液晶表示装置を備えた情報伝達装置
DE4411319C1 (de) * 1994-03-28 1995-06-01 Ipea Inst Fuer Prozesadaptive Parallelgreifer mit Spindelantrieb
JP3282699B2 (ja) 1994-04-01 2002-05-20 日立電子エンジニアリング株式会社 基板搬送載置機構
JP2809588B2 (ja) 1994-04-06 1998-10-08 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JP2880642B2 (ja) 1994-04-11 1999-04-12 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JP3023282B2 (ja) 1994-09-02 2000-03-21 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置における定盤構造
US5854664A (en) 1994-09-26 1998-12-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Liquid crystal display panel and method and device for manufacturing the same
JP3189591B2 (ja) 1994-09-27 2001-07-16 松下電器産業株式会社 液晶素子の製造方法
JPH08101395A (ja) 1994-09-30 1996-04-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH08106101A (ja) 1994-10-06 1996-04-23 Fujitsu Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JP2665319B2 (ja) 1994-10-13 1997-10-22 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の加熱装置
JP3053535B2 (ja) 1994-11-09 2000-06-19 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の加圧加熱装置
JPH08171094A (ja) 1994-12-19 1996-07-02 Nippon Soken Inc 液晶表示器への液晶注入方法及び注入装置
JP3122708B2 (ja) 1994-12-26 2001-01-09 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JP3545076B2 (ja) 1995-01-11 2004-07-21 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶表示装置及びその製造方法
JP3216869B2 (ja) 1995-02-17 2001-10-09 シャープ株式会社 液晶表示素子およびその製造方法
US6001203A (en) 1995-03-01 1999-12-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Production process of liquid crystal display panel, seal material for liquid crystal cell and liquid crystal display
JP3534474B2 (ja) 1995-03-06 2004-06-07 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶表示パネルのシール方法
JPH095762A (ja) 1995-06-20 1997-01-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造法
JPH091026A (ja) 1995-06-23 1997-01-07 Hitachi Techno Eng Co Ltd ペースト塗布機
JP3978241B2 (ja) 1995-07-10 2007-09-19 シャープ株式会社 液晶表示パネル及びその製造方法
JPH0980447A (ja) 1995-09-08 1997-03-28 Toshiba Electron Eng Corp 液晶表示素子
US5700046A (en) * 1995-09-13 1997-12-23 Silicon Valley Group, Inc. Wafer gripper
JP3358935B2 (ja) 1995-10-02 2002-12-24 シャープ株式会社 液晶表示素子およびその製造方法
US6236445B1 (en) 1996-02-22 2001-05-22 Hughes Electronics Corporation Method for making topographic projections
CN1061620C (zh) * 1996-07-10 2001-02-07 I·M·A·工业机械自动装置股份公司 将折平的箱坯抽取,张开并送入包装作业线的作业装置
KR100208475B1 (ko) 1996-09-12 1999-07-15 박원훈 자기장 처리에 의한 액정배향막의 제조방법
EP0829748A3 (en) 1996-09-13 1999-12-15 Sony Corporation Reflective guest-host liquid-crystal display device
JPH10153785A (ja) 1996-09-26 1998-06-09 Toshiba Corp 液晶表示装置
KR100207506B1 (ko) 1996-10-05 1999-07-15 윤종용 액정 표시 소자의 제조방법
JP3472422B2 (ja) 1996-11-07 2003-12-02 シャープ株式会社 液晶装置の製造方法
EP0860732B1 (fr) * 1997-02-19 2003-05-02 Asulab S.A. Procédé de fabrication de cellules électro-optiques, notamment à cristaux liquides, ou de cellules photovoltaiques électrochimiques
JPH10274768A (ja) 1997-03-31 1998-10-13 Denso Corp 液晶セルおよびその製造方法
JP4028043B2 (ja) 1997-10-03 2007-12-26 コニカミノルタホールディングス株式会社 液晶光変調素子および液晶光変調素子の製造方法
US5875922A (en) 1997-10-10 1999-03-02 Nordson Corporation Apparatus for dispensing an adhesive
US6055035A (en) 1998-05-11 2000-04-25 International Business Machines Corporation Method and apparatus for filling liquid crystal display (LCD) panels
US6337730B1 (en) 1998-06-02 2002-01-08 Denso Corporation Non-uniformly-rigid barrier wall spacers used to correct problems caused by thermal contraction of smectic liquid crystal material
JP3828670B2 (ja) 1998-11-16 2006-10-04 松下電器産業株式会社 液晶表示素子の製造方法
US6219126B1 (en) 1998-11-20 2001-04-17 International Business Machines Corporation Panel assembly for liquid crystal displays having a barrier fillet and an adhesive fillet in the periphery
JP3568862B2 (ja) 1999-02-08 2004-09-22 大日本印刷株式会社 カラー液晶表示装置
US6474712B1 (en) * 1999-05-15 2002-11-05 Applied Materials, Inc. Gripper for supporting substrate in a vertical orientation
JP2001215459A (ja) 2000-02-02 2001-08-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子製造装置
JP3707990B2 (ja) 2000-03-30 2005-10-19 株式会社 日立インダストリイズ 基板組立装置
CN2466109Y (zh) * 2001-02-21 2001-12-19 奇普仕股份有限公司 输送电路板用的投板机

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08297279A (ja) * 1995-04-25 1996-11-12 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置及び基板搬送方法
KR19980087322A (ko) * 1997-05-23 1998-12-05 이시다 아키라 기판반송장치
JPH10326820A (ja) * 1997-05-23 1998-12-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置
KR19990026818A (ko) * 1997-09-26 1999-04-15 윤종용 리페어 설비 구조
JP2000223546A (ja) * 1999-02-02 2000-08-11 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101211851B1 (ko) 2009-06-04 2012-12-12 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치
WO2023055083A1 (ko) * 2021-09-28 2023-04-06 삼성디스플레이 주식회사 진공 설비

Also Published As

Publication number Publication date
US20060125260A1 (en) 2006-06-15
JP2003295147A (ja) 2003-10-15
US20030178866A1 (en) 2003-09-25
US7300084B2 (en) 2007-11-27
JP4037780B2 (ja) 2008-01-23
CN1323935C (zh) 2007-07-04
US7616289B2 (en) 2009-11-10
KR20030076875A (ko) 2003-09-29
CN1447175A (zh) 2003-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100860522B1 (ko) 액정 패널의 이송장치
KR100789454B1 (ko) 액정 패널의 절단 장치 및 그 방법
JP3845054B2 (ja) 液晶表示パネルの切断装置及びその方法
US7101268B2 (en) Grinding table for liquid crystal display panel and grinder apparatus using the same
JP4578086B2 (ja) 液晶表示パネルの切断装置
US7988532B2 (en) Apparatus for fabricating liquid crystal display panels
KR100789455B1 (ko) 액정 패널의 절단 방법
KR100978259B1 (ko) 액정패널 절단시스템 및 이를 이용한 액정표시소자제조방법
JP4213102B2 (ja) 液晶表示パネルの切断装置及びその切断方法
KR100841623B1 (ko) 액정 패널의 연마장치
US6795154B2 (en) Apparatus for cutting liquid crystal display panels and cutting method using the same
KR100672631B1 (ko) 액정패널 제작용 세정장치
KR102258967B1 (ko) 액정표시장치용 대형 액정패널 및 액정표시장치
KR20080062902A (ko) 액정패널의 이송장치 및 이를 이용한 기판절단방법
KR20040101769A (ko) 액정 표시패널의 연마장치
JP2003057619A (ja) 液晶表示装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130619

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140630

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150818

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160816

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170816

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180816

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190814

Year of fee payment: 12