KR100568480B1 - Method for manufacturing Plasma Display Panel by ventilation in vacuum chamber - Google Patents
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Abstract
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 진공배기식 제조방법에 관한 것으로, 전면판과 배면판을 형성하는 전공정과, 이를 하나의 패널로 합착하고 진공 배기 및 봉착 후 가스를 주입하는 후공정과, 그 패널 표면상에 회로를 실장하는 모듈공정으로 이루어지는 진공배기 방식중의 상기 후공정에 있어서, 팁부 밀폐형의 주입관 압착 고정을 포함하는 얼라이닝 및 클리핑공정과, 소정온도에 도달할 때까지 상기 패널을 상압 하에서 1차적으로 승온시키는 상압가열공정과, 진공챔버 내에서 패널을 특정온도에 이를 때까지 재차 가열함과 아울러 상기 패널 사이의 프릿글래스 틈을 통해 배기한 후 가압 밀봉하는 배기 봉착공정과, 상압서냉로 내에서 냉각시키는 상압냉각공정과, 상기 주입관의 팁부를 진공척 내에서 절단하고 이를 통해 방전가스를 주입한 후 그 팁부를 봉입 처리하는 방전가스주입 및 팁오프공정 등을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다. 따라서, 봉착을 위한 승온공정의 일부를 소정온도에 도달하기까지는 상압 하에서 실시하고 이후 진공챔버 내에서 나머지 승온공정만을 실시함으로써 패널에 작용하는 온도 불균일의 문제를 상당부분 해소할 수 있고, 공정시간을 단축시켜 제품 양산화가 가능하며, 생산비용 절감의 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum exhaust type manufacturing method of a plasma display panel, comprising a front process of forming a front plate and a back plate, a post process of joining them into one panel and injecting gas after vacuum exhaust and sealing, and the panel In the post-process of the vacuum exhaust system consisting of a module process for mounting a circuit on a surface, an aligning and clipping process including a tip-type sealed injection tube crimping and a normal pressure is applied to the panel until a predetermined temperature is reached. Atmospheric pressure heating step of raising the temperature under the first step, Exhaust sealing process of heating the panel again in a vacuum chamber until reaching a certain temperature, exhausting the pressure through the frit glass gap between the panels, and sealing under pressure. Atmospheric pressure cooling to cool in the furnace, the tip of the injection tube is cut in the vacuum chuck and the discharge gas is injected through the It characterized in that it comprises a discharge gas injection and tip-off process for sealing the tip portion. Therefore, by performing a part of the temperature raising process for sealing to reach a predetermined temperature under normal pressure, and then performing only the remaining temperature raising process in the vacuum chamber, the problem of temperature non-uniformity acting on the panel can be largely solved, and the process time is reduced. It can shorten the mass production of the product and reduce the production cost.
플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 배기, 봉착, 배기관, 주입관Plasma Display Panel (PDP), Exhaust, Sealing, Exhaust Pipe, Injection Pipe
Description
도 1은 본 발명에 따른 진공배기식의 PDP 제조를 위한 후 공정에 포함되는 각 단계와, 그 각 단계별 PDP 패널의 온도변화(a), 진공챔버 내부의 진공도 변화(b) 및 PDP 패널 내부의 진공도 변화(c)를 도식화하여 나타낸 공정도이다.1 shows each step included in a post-process for manufacturing a vacuum exhausted PDP according to the present invention, the temperature change of the PDP panel in each step (a), the change in vacuum degree in the vacuum chamber (b) and the inside of the PDP panel. It is a process chart which shows the vacuum degree change (c) diagrammatically.
도 2는 본 발명의 진공배기식 PDP 제조공정에 적용되는 PDP 패널의 배기 및 가스주입 구조에 대한 일례를 도시한 개략적 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view showing an example of the exhaust and gas injection structure of the PDP panel applied to the vacuum exhaust PDP manufacturing process of the present invention.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>
10 ; 전면판(Front Plate) 11 ; 투명/버스전극(Sustain/Bus Electrode)10;
12, 22 ; 유전체층 13 ; 보호막층12, 22;
20 ; 배면판(Back Plate) 21 ; 신호전극(Data Electrode)20;
23 ; 격벽(Barrier Rib) 24 ; 형광체층23;
30 ; 주입관 31 ; 팁(Tip)부30;
32 ; 절개부 40 ; 프릿글래스(Frit Glass)32;
50 ; 배기관50; vent pipe
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 진공배기식 제조방법에 관한 것으로, 특히 진공 하에서 패널을 배기 및 봉착하고 상압 하에서 냉각한 후 가스 주입 및 팁오프하는 일련의 후공정에 의한 진공배기 방식에 있어서, 봉착을 위한 승온공정을 소정온도를 기준하여 상압 및 진공 하에서 순차적으로 각각 실시함으로써 패널에 작용하는 온도 불균일의 문제를 해소할 수 있고 공정시간을 단축시켜 제품 양산화를 실현함과 아울러 생산비용을 절감할 수 있게 한 플라즈마 디스플레이 패널의 진공배기식 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum exhaust method for manufacturing a plasma display panel, and more particularly, in a vacuum exhaust method by a series of post-processes in which gas is injected and tip-off after exhausting and sealing a panel under vacuum and cooling under normal pressure. In order to solve the problem of temperature irregularity acting on the panel, it is possible to reduce the production time and reduce the production cost by performing the temperature raising process for each temperature under normal pressure and vacuum based on the predetermined temperature. A vacuum exhaust method for manufacturing a plasma display panel is provided.
일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel)은 평평한 가스봉입 패널의 내부에 두 전극을 격자모양으로 배열한 구조로 된 것으로, 격자의 임의점들을 선택하여 전극전류를 시동(전압인가)시킴으로써 가스를 이온화하여 소정의 문자나 도형 등과 같은 표시형상으로 발광케 하는 첨단의 박막 평판형 표시장치이다.In general, a plasma display panel has a structure in which two electrodes are arranged in a grid shape inside a flat gas encapsulation panel, and gas is generated by selecting an arbitrary point of the grid to start electrode voltage. It is an advanced thin film flat panel display device that is ionized to emit light in a display shape such as a predetermined character or figure.
상기 PDP의 제조공정은, 원하는 화면크기로 가공된 한 쌍의 전면판과 배면판에 전극 및 형광체 등을 형성하는 전(前) 공정과, 상기 전 공정에 의해 제조된 전면판과 배면판을 봉착하고 그 내부를 진공화한 상태에서 가스를 주입하는 후(後) 공정과, 그 합판형태의 패널 표면상에 회로를 실장하는 모듈(Module) 공정으로 이루어진다.The manufacturing process of the PDP is a step of forming an electrode, a phosphor, and the like on a pair of front and back plates processed to a desired screen size, and sealing the front and back plates manufactured by the above steps. And a step of injecting gas in a state where the inside is evacuated, and a module step of mounting a circuit on the surface of the plywood panel.
그런데, 상기한 바와 같은 전체의 PDP 제조공정 중 후공정에 있어서, 봉착 배기공정은 그 특성상 낮은 도전도(Conductance)로 인하여 장시간(봉착에 2시간 이 상, 배기에 14시간 이상)이 소요되므로 PDP 생산성 증대에 가장 큰 장애요인으로 지적되고 있음은 이미 잘 알려진 사실이며, 불량률이 높아 공정 및 장치 개선이 시급히 요구되고 있다. 즉, 봉착 배기공정의 장시간 소요로 인하여 전체공정의 흐름에 정체현상을 유발하게 되며, 결국 이 공정에 의해 PDP의 생산성이 결정되는 것이다. 상기 봉착 배기공정은 특히 장치의 의존도가 매우 높으므로 획기적인 장치의 개발이 요구되고 있을 뿐만 아니라, 모든 PDP 제조업체의 관심을 집중시키는 부분이라 할 수 있다.By the way, in the post-process of the entire PDP manufacturing process as described above, the sealed exhaust process takes a long time (more than 2 hours for sealing, 14 hours or more for sealing) due to its low conductivity, so PDP It is well known that it is pointed out as one of the biggest obstacles to increase productivity, and the high defect rate is urgently required to improve the process and equipment. In other words, due to the long time required for the encapsulation exhaust process, congestion is caused in the flow of the entire process, and thus the productivity of the PDP is determined by this process. In particular, the encapsulation and exhaust process is highly dependent on the device, and thus, the development of a breakthrough device is required, and it can be said to be the focus of attention of all PDP manufacturers.
현재 가장 널리 적용되고 있는 봉착 배기방법으로는 배기카트 장치를 이용한 것이 있으나, 이러한 카트식 봉착 배기방법으로는 봉착공정과 배기공정이 분리되어 공간효율성이 떨어질 뿐만 아니라, 앞서 언급한 바와 같은 16시간 이상의 긴 소요시간과, 낮은 수율 및 배기효율과, 높은 에너지 소모 등의 제반 문제점들을 극복하지 못하고 있는 실정이다.Currently, the most widely applied sealed exhaust method is using an exhaust cart device. However, such a cart-type sealed exhaust method separates the sealing process from the exhaust process to reduce space efficiency, and as described above, It does not overcome the problems such as long lead time, low yield and exhaust efficiency, and high energy consumption.
이와 같은 문제점을 해결할 수 있는 방법 중의 하나로서 진공챔버 장치를 이용하여 진공상태의 챔버 내에서 PDP를 제조하는 방식이 그 대안으로 제시되고 있으며, 현재 이에 대한 연구가 한창이다. 상기 진공식 봉착장치는 진공챔버 내에서 우선 배기한 후 봉착이 이루어지는 방식으로서, 봉착공정 전에 배기공정이 선행됨으로써 배기시간의 획기적인 단축이 가능하다. 즉, 상기의 진공식 배기 봉착방법은, PDP 내부로 가스를 주입하기 위한 별도의 주입관이 외부로 인출되어 있는 진공챔버 내에서, 수평상태로 얼라이닝 및 클리핑된 다수의 PDP를 장입(裝入)하여 그 내부를 진공 배기한 후 가열 봉착하고, 상기 주입관을 통해 발광용 비활성기체를 주입하는 방식이다.As one of methods for solving the above problems, a method of manufacturing PDP in a vacuum chamber using a vacuum chamber apparatus has been proposed as an alternative, and research on this is currently in full swing. The vacuum sealing device is a method in which the sealing is performed after first evacuating the inside of the vacuum chamber, and a shortening of the exhaust time is possible by performing the evacuation step before the sealing step. That is, in the vacuum exhaust sealing method, a plurality of PDPs aligned and clipped in a horizontal state are charged in a vacuum chamber in which a separate injection pipe for injecting gas into the PDP is drawn out. Vacuum sealing the inside of the tube, and heating and sealing the same, and injecting a light emitting inert gas through the injection tube.
이와 관련된 기술로서, 본 발명의 출원인은 2003년 특허출원 제 61079호의 '플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법'을 제안한 바 있다.As a related technology, the applicant of the present invention proposed a 'plasma display panel and a manufacturing method thereof' of Patent Application No. 61079 in 2003.
상기 특허출원에 의한 PDP 제조방법 중 전면판 및 배면판의 합착과 관련한 상기 후공정은, 진공챔버 내에서 선(先) 배기, 후(後) 봉착 공정을 수행하고, 상압 조건에서 완전 봉착을 위한 냉각 공정을 수행함으로써 공정시간을 단축시키고자 하는데 기술적 역점을 둔 것으로, 이러한 공정을 수행하기 위하여 팁부가 밀폐된 구조의 주입관을 적용하고 있다.The post-process related to the bonding of the front plate and the back plate of the PDP manufacturing method according to the patent application is to perform a pre-exhaust, post-sealing process in the vacuum chamber, and for complete sealing under atmospheric pressure conditions In order to shorten the process time by performing the cooling process, the technical emphasis is applied, and in order to perform such a process, an injection tube having a structure in which the tip is sealed is applied.
그러나, 상기 특허출원의 PDP 제조방법은, 전면판과 배면판을 얼라이닝 및 클리핑하여 합착한 패널을 진공챔버 내에 바로 투입하여 진공 하에서의 배기 및 봉착을 위한 승온가열 과정을 진행함으로써 상압에 비해 열전도가 원활히 이루어지지 않는 진공의 특성상 적정온도로 승온시키는데 많은 시간이 확보되어야 하고, 이는 결과적으로 전체 공정시간을 상당부분 지연시키게 되는 원인이 되었다.However, in the PDP manufacturing method of the patent application, the thermal conductivity is compared to the normal pressure by proceeding the temperature heating process for the exhaust and sealing under vacuum by directly inserting the panel bonded by aligning and clipping the front plate and the back plate into the vacuum chamber Due to the characteristics of the vacuum which is not smooth, much time must be secured to raise the temperature to a proper temperature, which causes a considerable delay in the overall process time.
또한, 이러한 공정시간의 지연에 의해 진공챔버 내에서의 작업시간이 가중됨으로써 생산비용이 증가하게 되는 문제점도 있었다.In addition, there is a problem that the production cost increases by increasing the working time in the vacuum chamber by the delay of the process time.
본 발명은 상기한 바와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은, 진공 하에서 패널을 배기 및 봉착하고 상압 하에서 냉각한 후 가스 주입 및 팁오프하는 일련의 후공정에 의한 진공배기 방식에 있어서, 봉착을 위한 승온공정의 일부를 소정온도에 도달하기까지는 상압 하에서 실시하고 소정온도에 도 달한 이후에는 진공 하에서 실시함으로써 진공 작업조건에서의 패널 가열중 상기 패널에 작용하는 온도 불균일의 문제를 상당부분 해소할 수 있고, 패널의 가열시 소요되는 공정시간을 단축시켜 제품 양산화를 실현할 수 있으며, 진공챔버의 사용시간을 최소화하여 생산비용을 절감할 수 있도록 된 플라즈마 디스플레이 패널의 진공배기식 제조방법을 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, the object of the present invention is to provide a vacuum exhaust system by a series of post-processing step of gas injection and tip-off after exhausting and sealing the panel under vacuum and cooling under normal pressure In this case, a part of the temperature raising step for sealing is performed under normal pressure until reaching a predetermined temperature and under vacuum after reaching a predetermined temperature, thereby significantly reducing the problem of temperature unevenness on the panel during panel heating in vacuum working conditions. The method of manufacturing a vacuum exhaust panel of plasma display panel can be partially eliminated, the process time required for heating the panel can be shortened, and the mass production of the product can be realized, and the production cost can be reduced by minimizing the use time of the vacuum chamber. In providing.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 진공배기식 제조방법은, 원하는 화면크기로 가공된 한 쌍의 전면판과 배면판에 전극과 프릿글래스 및 형광체 등을 형성하는 전공정과, 상기 전공정에 의해 제조된 전면판과 배면판을 합착하고 진공 배기 및 봉착한 후 가스를 주입하여 팁오프하는 후공정과, 그 합판형태의 패널 표면상에 회로를 실장하는 모듈공정으로 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 진공배기식 제조방법에 있어서, 상기 후공정은, 상기 전면판 및 배면판을 상압 하에서 중첩시켜 정렬하고 그 가장자리부를 클립으로 압착 고정함과 아울러 그 배면판에는 잔류불순가스 배출을 위한 팁부 개방형의 배기관과 방전가스 주입을 위한 팁부 밀폐형의 주입관을 각각 독립적으로 압착 고정하여 하나의 패널로 합착하는 얼라이닝 및 클리핑공정; 진공 하에서의 패널 가열시 상기 패널에 작용하는 온도 불균일성을 최소화할 수 있도록 소정온도에 도달할 때까지 상기 패널을 상압 하에서 1차적으로 승온시키는 상압가열공정; 상압 하에서 1차 가열된 패널을 고진공 분위기의 진공챔버 내에 투입하여 상기 패널을 진공 하에서 특정온도에 이를 때까지 재차 가열함과 아울러 상기 전면판 및 배면판 사이의 프릿글래스의 틈을 통해 패널 내부가 진공 배기될 수 있게 한 후 가압 밀봉하는 배기 봉착공정; 상압냉각을 실시할 수 있도록 상기 배기관의 팁부를 봉입처리하여 패널 내부를 밀봉하기 위한 배기관 팁오프공정; 상기 진공챔버로부터 봉착된 상기 패널을 취출한 후 상압서냉로 내에 투입하여 상압상태로 냉각시키는 상압냉각공정과, 상압냉각 처리된 상기 패널의 내부로 방전가스를 주입할 수 있도록 상기 주입관의 팁부를 가스주입장치의 진공척 내에서 절단하고 그 개방된 주입관을 통해 방전가스를 주입한 후 상기 주입관의 팁부를 봉입 처리하는 방전가스주입 및 팁오프공정과, 상기 패널내 막 표면의 활성화와 각 셀 등의 물성 안정화를 도모할 수 있도록 예비방전시키는 에이징공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.Vacuum exhaust method for manufacturing a plasma display panel according to a preferred embodiment of the present invention for achieving the above object, the electrode and the frit glass, phosphor and the like formed on a pair of front and back plates processed to a desired screen size A pre-process, a post-process of joining the front plate and the back plate manufactured by the above process, vacuum evacuation and sealing, injecting gas, and tip-off by injecting gas; In the vacuum exhaust type manufacturing method of the plasma display panel which consists of a process, the said post process arrange | positions the said front plate and a back plate by superimposing under normal pressure, the edge part is crimp-fixed with a clip, and the residual impurity gas is carried out on the back plate. Independently crimping and fixing each of the open end pipe for discharge and the closed tip injection pipe for discharge gas injection Aligning dining and clipping step of laminating to one of the open panel; An atmospheric pressure heating step of initially raising the panel under normal pressure until a predetermined temperature is reached so as to minimize temperature nonuniformity acting on the panel when the panel is heated under vacuum; The panel was first heated under normal pressure in a vacuum chamber in a high vacuum atmosphere, and the panel was heated again until it reached a specific temperature under vacuum, and the inside of the panel was vacuumed through the gap of the frit glass between the front plate and the back plate. An exhaust sealing step of sealing the pressure after allowing it to be exhausted; An exhaust pipe tip-off process for sealing the inside of the panel by sealing the tip of the exhaust pipe so as to perform atmospheric pressure cooling; An atmospheric pressure cooling step of taking out the panel encapsulated from the vacuum chamber and injecting it into an atmospheric pressure slow cooling furnace to cool it to an atmospheric pressure state, and a tip portion of the injection tube to inject discharge gas into the atmospheric pressure cooled panel; Discharge gas injection and tip-off process of cutting in the vacuum chuck of the gas injection device and injecting the discharge gas through the open injection pipe, and encapsulating the tip of the injection pipe; It characterized in that it comprises an aging step of pre-discharge so that the physical properties of the cell, such as to stabilize.
여기서, 상기 상압가열공정은 상온으로부터 300 내지 350℃ 사이에서 정해진 지정온도에 이르기까지 상압열풍가열로 내에서 실시되고, 상기 배기 봉착공정을 위한 진공가열은 상기 지정온도로부터 연계시켜 가열하여 430 내지 480℃ 사이에서 정해진 특정 봉착온도에 이르기까지 진공챔버 내에서 실시되도록 함이 바람직하다.Here, the atmospheric pressure heating step is carried out in the atmospheric pressure hot air heating furnace from the normal temperature to a predetermined temperature set between 300 to 350 ° C, and the vacuum heating for the exhaust sealing process is heated in conjunction with the specified temperature to 430 to 480 It is preferred to be carried out in a vacuum chamber up to a specific sealing temperature defined between < RTI ID = 0.0 >
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또한, 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 진공배기식 제조방법은, 원하는 화면크기로 가공된 한 쌍의 전면판과 배면판에 전극과 프릿글래스 및 형광체 등을 형성하는 전공정과, 상기 전공정에 의해 제조된 전면판과 배면판을 합착하고 진공 배기 및 봉착한 후 가스를 주입하여 팁오프하는 후공정과, 그 합판형태의 패널 표면상에 회로를 실장하는 모듈 공정으로 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 진공배기식 제조방법에 있어서, 상기 후공정은, 상기 전면판 및 배면판을 상압 하에서 중첩시켜 정렬하고 그 가장자리부를 클립으로 압착 고정함과 아울러 그 배면판 일측의 통공쪽에 팁부 개방형의 배기 및 가스주입 겸용 주입관을 압착 고정하여 하나의 패널로 합착하는 얼라이닝 및 클리핑공정과, 진공 하에서의 패널 가열시 상기 패널에 작용하는 온도 불균일성을 최소화할 수 있도록 소정온도에 도달할 때까지 상기 패널을 상압 하에서 1차적으로 승온시키는 상압가열공정과, 상압 하에서 1차 가열된 패널을 고진공 분위기의 진공챔버 내에 투입하여 상기 패널을 진공 하에서 특정온도에 이를 때까지 재차 가열함과 아울러 상기 전면판 및 배면판 사이의 프릿글래스의 틈을 통해 패널 내부가 진공 배기될 수 있게 한 후 가압 밀봉하는 배기 봉착공정과, 상압냉각을 실시할 수 있도록 상기 배기 및 가스주입 겸용 주입관의 팁부를 봉입 처리하여 패널 내부를 밀봉하기 위한 1차 주입관 팁오프공정과, 상기 진공챔버로부터 봉착된 상기 패널을 취출한 후 상압서냉로 내에 투입하여 상압상태로 냉각시키는 상압냉각공정과, 상압냉각 처리된 상기 패널의 내부로 방전가스를 주입할 수 있도록 상기 주입관의 팁부를 가스주입장치의 진공척 내에서 절단하고 그 개방된 주입관을 통해 방전가스를 주입한 후 상기 주입관의 팁부를 재차 봉입 처리하는 방전가스주입 및 팁오프공정과, 상기 패널내 막 표면의 활성화와 각 셀 등의 물성 안정화를 도모할 수 있도록 예비방전시키는 에이징공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.In addition, the vacuum exhaust type manufacturing method of the plasma display panel according to another embodiment of the present invention for achieving the above object, the electrode and the frit glass and the phosphor on a pair of front and back plates processed to a desired screen size A pre-process of forming a step, a post-process of joining the front plate and the back plate manufactured by the above step, vacuum evacuation and sealing, and then injecting gas and tip-off, and mounting a circuit on the surface of the plywood panel. In the vacuum exhaust type manufacturing method of the plasma display panel consisting of a modular process, the post-process, the front plate and the back plate are superimposed under normal pressure to align, and the edge portion is pressed and fixed with a clip, and one side of the back plate Aligning and clipping process that press-fixes the tip-type open-type exhaust and gas injection inlet pipe to the one side through the panel And an atmospheric pressure heating process in which the panel is first heated up under atmospheric pressure to reach a predetermined temperature so as to minimize temperature non-uniformity acting on the panel when the panel is heated under vacuum; Into the vacuum chamber of the atmosphere, the panel is heated again under a vacuum until a certain temperature is reached, and the inside of the panel is evacuated through the gap of the frit glass between the front plate and the back plate, and then pressure-sealed. A first injection pipe tip-off step for sealing the inside of the panel by sealing the tip of the exhaust and gas injection injection pipe so as to perform atmospheric pressure cooling; and to seal the panel sealed from the vacuum chamber. An atmospheric pressure cooling step of taking out the liquid, and then putting it in an atmospheric pressure cooling furnace to cool it to an atmospheric pressure state; Discharge the tip portion of the injection tube in the vacuum chuck of the gas injection device to inject the discharge gas into the inside of the gas injection device and injects the discharge gas through the open injection tube, and then refills the tip of the injection tube And an aging step of pre-discharging the gas injection and tip-off process and the activation of the film surface in the panel and stabilization of physical properties of each cell.
이하, 본 발명의 바람직한 각 실시예에 따른 PDP 제조방법을 첨부 도면에 의 거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a PDP manufacturing method according to each preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 PDP 제조방법을 설명하기 위한 것으로, 도 1은 본 발명에 따른 진공배기식의 PDP 제조를 위한 후 공정에 포함되는 각 단계와, 그 각 단계별 PDP 패널의 온도변화(a), 진공챔버 내부의 진공도 변화(b) 및 PDP 패널 내부의 진공도 변화(c)를 도식화하여 나타낸 공정도, 도 2는 본 발명의 진공배기식 PDP 제조공정에 적용되는 PDP 패널의 배기 및 가스주입 구조에 대한 일례를 도시한 개략적 단면도를 각각 나타낸 것이다.1 and 2 are for explaining the PDP manufacturing method according to the present invention, Figure 1 is a step included in the post-process for producing a vacuum exhaust PDP according to the present invention, and the temperature of each step PDP panel Fig. 2 is a process diagram showing the change (a), the change in the vacuum degree inside the vacuum chamber (b) and the change in the vacuum degree inside the PDP panel (c), and Fig. 2 shows the exhaust of the PDP panel applied to the vacuum exhaust type PDP manufacturing process of the present invention. And schematic cross-sectional views showing an example of the gas injection structure.
우선, 본 발명에 따른 PDP 제조방법의 후공정 중에 적용되는 PDP는, 도 2에 도시된 바와 같이, 소정간격을 두고 전면판(10)과 배면판(20)이 합착된 구조를 이루고, 상기 전면판(10)의 내측면 상에는 투명/버스전극(11)과 유전체층(12)과 보호막층(13)이 적층 형성되며, 상기 배면판(20)의 내측면 상에는 신호전극(21)과 유전체층(22)과 다수의 격벽(23)과 형광체층(24)이 적층 형성되고 그 일측 외부로 방전가스 주입을 위한 주입관(30)이 돌출 형성되며, 상기 전면판(10)과 배면판(20)의 둘레가 저융점 특성을 갖는 프릿글래스(40)에 의해 밀봉 처리된 구조를 이룬다.First, the PDP applied during the post-process of the PDP manufacturing method according to the present invention has a structure in which the
이때, 본 발명에 따른 PDP의 상기 주입관(30)은 여러 가지 형태를 적용할 수 있다. 즉, 주입관(30)의 팁부(31)가 밀폐된 구조를 적용한 것으로서, 봉착공정에서 발생하는 잔류불순가스의 배출을 고려하지 않을 경우에는 단순히 상기 밀폐형 주입관(30)만으로 이루어진 구조도 가능하나, 상기 도 2에서와 같이 봉착공정에서 발생하는 잔류불순가스의 배출까지도 고려할 경우에는 상기 봉착공정에서의 잔류불순가스를 배출하기 위한 개방형 팁부 구조의 배기관(50)이 별도 형성되어 있어야 한다.At this time, the
여기서, 상기 밀폐형 주입관(30)의 팁부(31) 둘레에는 패널 내부로 방전가스를 주입할 때 쉽게 절단하여 개방할 수 있도록 절개부(32)가 형성된 것이 바람직하다. 예컨대 상기 절개부(32)의 구조로는, 상기 도면에서와 같이 노치 형태의 절단용 홈으로써 절단이 용이한 취약부위를 형성할 수도 있고, 팁부(31) 자체를 주입관 몸체에 비해 얇은 두께로 길게 형성한 병목형상을 이룸으로써 절단이 용이한 취약부위를 형성할 수도 있으며, 그 외에도 유사한 여러 가지 형태의 절개부 구조를 적용할 수 있다.Here, it is preferable that the
또한, 본 발명에 따른 PDP에 적용되는 다른 형태의 주입관 구조로서 잔류불순가스의 배기 및 방전가스의 주입을 겸하는 단일 주입관(또는 '단일 배기관'이라 지칭할 수도 있음)이 적용된 경우에는, 도면으로 도시하지는 않았으나 그 주입관의 팁부가 개방된 구조를 이루고 있어야 한다.In addition, when another injection tube structure applied to the PDP according to the present invention is applied to a single injection tube (or may be referred to as a 'single exhaust pipe'), which combines the discharge of residual impurity gas and the injection of discharge gas, FIG. Although not shown, the tip portion of the injection tube should be configured to open structure.
이상의 여러 가지 공정용 패널들을 적용한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 PDP 제조공정은 상기 도 1에 도시된 바와 같다. 상기 도 1은 기존의 전공정과 후공정 및 모듈공정으로 이루어지는 전체공정 중 후공정의 개량에 관한 것이며, 상기 전공정 및 모듈공정은 종래의 일반적인 공정과 동일하므로 그 설명을 생략하기로 한다.The PDP manufacturing process according to the preferred embodiment of the present invention to which the various process panels are applied is as shown in FIG. 1. 1 is related to the improvement of the post process of the entire process consisting of the existing pre-process and the post-process and the module process, the description will be omitted because the previous process and the module process is the same as the conventional general process.
이하에서는 상기 도 2에서와 같이 밀폐형 주입관(30)과 개방형 배기관(50)을 각각 별도로 형성한 패널을 적용하는 경우의 실시예에 대하여 주로 설명하고자 한다. 본 발명의 상기 후공정은, 진공챔버 내에서 선(先) 배기, 후(後) 봉착 공정을 수행할 때, 그 진공 배기 전의 공정으로 상압열풍가열로 내에서 300 내지 350℃ 사 이에서 정해진 지정온도, 예컨대 350℃ 정도까지 1차적으로 승온 가열한 후, 진공챔버 내에서 상기 지정온도로부터 연계시켜 가열하여 430 내지 480℃ 사이에서 정해진 특정 봉착온도, 예컨대 450℃까지 재차 승온 가열하는 단계가 선행되고, 진공 봉착이 완료된 이후에는 패널을 상압냉각할 수 있도록 밀봉시키기 위하여 상기 배기관(50)의 팁부를 봉입 처리하는 배기관 팁오프공정이 추가된다는데 그 특징이 있는 것이다.Hereinafter, an embodiment of the case of applying a panel in which the sealed
따라서, 밀폐형 주입관(30)과 개방형 배기관(50)을 각각 별도로 형성한 패널에 있어서의 본 발명에 따른 후공정은, 얼라이닝 및 클리핑 공정과, 상압가열공정과, 진공가열, 배기 및 봉착 공정과, 배기관(50)의 팁오프 공정과, 상압냉각 공정과, 주입관(30)의 팁부(31) 절단 후 방전가스 주입 및 상기 주입관(30)의 팁오프 공정과, 에이징 공정이 순차적으로 이루어지는 각각의 단계로 이루어진다.Therefore, the post process according to the present invention in the panel in which the
먼저, 상기 얼라인 및 클리핑 공정은, 상기 전면판(10) 및 배면판(20)을 상압 하에서 중첩시켜 정렬하고 그 가장자리부를 클립으로 압착 고정함과 아울러 그 배면판(20) 일측의 통공쪽에 단부 밀폐형의 주입관(30)을 압착 고정하는 단계이다.First, in the alignment and clipping process, the
상기 얼라이닝 및 클리핑공정에 있어서, 패널의 배면판(20)에 잔류불순가스 배출을 위한 팁부 개방형의 배기관(50)을 각각 독립적으로 압착 고정하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 이 경우에는 후술하게 될 상기 배기 봉착공정 이후에 상압냉각을 실시할 수 있도록 상기 패널을 밀봉하기 위한 배기관 팁오프공정을 더 포함하게 된다.In the aligning and clipping process, the method may further include independently pressing and fixing the tip pipe-
그 다음 단계로서 상기 상압가열공정은, 진공 하에서의 패널 가열시 상기 패 널에 작용하는 온도 불균일성을 최소화할 수 있도록 소정온도에 도달할 때까지 상기 패널을 상압 하에서 1차적으로 승온시키는 단계이다. 상기 상압가열공정은, 예컨대 상온에서 350℃의 온도에 이르기까지 상압열풍가열로 내에서 실시된다.As a next step, the atmospheric heating step is a step of raising the panel first under normal pressure until a predetermined temperature is reached so as to minimize temperature nonuniformity acting on the panel when the panel is heated under vacuum. The atmospheric pressure heating step is carried out in an atmospheric pressure hot air heating furnace, for example, from a normal temperature to a temperature of 350 ° C.
그 다음 단계로서 상기 배기 봉착공정은, 상압 하에서 1차 가열된 패널을 고진공 분위기의 진공챔버 내에 투입하여 상기 패널을 진공 하에서 특정온도에 이를 때까지 재차 가열함과 아울러 상기 전면판(10) 및 배면판(20) 사이의 프릿글래스(40)의 틈을 통해 패널 내부가 진공 배기될 수 있게 한 후, 가압 밀봉하는 단계이다. 상기 배기 봉착공정을 위한 진공가열은, 예컨대 350℃ 이상의 온도에서 450℃의 온도에 이르기까지 진공챔버 내에서 실시된다.As a next step, the exhaust encapsulation process includes putting the first heated panel under normal pressure into a vacuum chamber in a high vacuum atmosphere, and heating the panel again until a specific temperature is reached under vacuum, and the
상기 배기 및 봉착에 있어서의 가열공정은 상기 프릿글래스(40)를 용융시켜 상기 전면판(10)과 배면판(20)을 융착시키기 위한 것이고, 상기 배기공정은 그 주입관(30)의 팁부(31)가 밀폐된 상태이므로 완전 융착 전의 프릿글래스(40)의 표면 굴곡면과 이와 접촉하는 상기 전·배면판(10)(20)의 내측면 사이에서 형성되는 미세한 틈을 통해 진행되며, 이러한 진공 배기공정이 완료된 후에는 상기 전·배면판(10)(20)을 가압하여 진공상태에서 봉착하게 되는 것이다.The heating process in the exhaust and sealing is for melting the
이때, 상기 배기 봉착공정은, 진공챔버 내의 고진공 하에서 프릿글래스(40)의 미세 틈을 통한 패널 내부의 배기 효율을 향상시킬 수 있도록 상기 각 투입 패널을 각각 수직 배치하는 것이 이상적이고, 패널의 봉착 완료 중 프릿글래스(40)의 완전 응고과정에서 패널 내에 잔류하는 미량의 불순가스를, 상기 배기관(50)을 통해 완전 배출할 수 있게 됨으로써 최종 제품의 질을 향상시킬 수 있게 된다.At this time, in the exhaust sealing step, it is ideal to arrange each of the input panels vertically so as to improve the exhaust efficiency inside the panel through the fine gap of the
참고적으로, 상기 상압가열공정을 300 내지 350℃(상기 온도범위는 패널 내부의 상태에 따라 예상되는 오차를 고려하여 경험적으로 산출된 것임)까지 수행하는 이유는 패널 내측에 흡착되는 수분 및 불순가스의 탈기가 이 온도범위 근방에서 가장 원활하여 그 배기가 집중적으로 이루어짐으로써 상압 환경에 의한 배기특성의 향상을 도모할 수 있기 때문이며, 따라서, 상기 온도까지는 패널의 온도 균일특성이 10℃/min 승온기준 ±5℃ 정도의 작은 편차로 나타나는 상압 하에서 가열하여 패널 내부의 가스활성도를 높이고, 이후 일정시간동안 진공챔버 내에서 진공상태를 유지하며 승온 가열하여 종전에 비해 단시간 내에 패널 내부를 고진공화할 수 있게 되는 것이다.For reference, the reason for performing the atmospheric heating process up to 300 to 350 ° C. (the temperature range is empirically calculated in consideration of the expected error according to the state inside the panel) is due to moisture and impure gas adsorbed inside the panel. This is because degassing is most smoothly in the vicinity of this temperature range, and the exhaust gas is concentrated so that the exhaust characteristics due to the atmospheric pressure environment can be improved. Therefore, the temperature uniformity of the panel is increased by 10 ° C / min. It is heated under normal pressure, which shows a small deviation of ± 5 ℃, to increase the gas activity inside the panel, and after that, it maintains the vacuum state in the vacuum chamber for a certain time, and heats up the temperature so that the inside of the panel can be highly vacuumed in a shorter time than before. will be.
통상적으로, 진공 하에서의 패널의 온도 균일도는 10℃/min 승온기준 ±10℃ 정도의 편차를 가지므로 상압 환경에 비해 승온속도가 현저히 떨어짐을 알 수 있다.Typically, the temperature uniformity of the panel under vacuum has a deviation of about 10 ° C / min temperature rise ± 10 ° C it can be seen that the temperature increase rate is significantly lower than the normal pressure environment.
그 다음 단계로서 상기 배기관(50)의 팁오프 공정이 진행된다. 이 공정은 별도의 배기관(50)이 구비되어 있지 아니한 경우에는 물론 불필요하다.As a next step, the tip off process of the
이와 같이 진공상태에서 봉착 완료된 이후에는, 상기 진공챔버로부터 패널을 취출한 후 상압서냉로 내에 투입하여 상압 상태로 냉각시키는 상기 상압냉각공정이 진행된다. 본 발명의 PDP는 밀폐형의 주입관(30) 구조를 이루므로, 진공봉착 이후에 주위분위기를 고진공으로 유지하지 않은 채 상압서냉로쪽으로의 이동 및 처리가 가능하게 되고, 따라서 고진공 챔버 내에서의 냉각조건에 비해 우월한 냉각분위기를 조성할 수 있게 되므로 공정소요시간을 현저히 단축시킬 수 있게 된다.After the sealing is completed in the vacuum state as described above, the atmospheric pressure cooling step of taking out the panel from the vacuum chamber and injecting it into an atmospheric pressure slow cooling furnace to cool it to an atmospheric pressure state is performed. Since the PDP of the present invention forms a
이와 같이 상기 상압냉각공정이 완료된 이후에는, 그 패널의 내부로 방전가스를 주입할 수 있도록 상기 주입관(30)의 팁부(31)를 가스주입장치의 진공척 내 진공부에서 절단하고, 그 개방된 주입관(30)을 통해 방전가스를 주입한 후, 상기 주입관(30)의 팁부(31)를 봉입 처리하는 상기 방전가스주입 및 팁오프공정이 진행된다.After the atmospheric pressure cooling process is completed, the
그 이후에는, 상기 패널내 막 표면의 활성화와 각 셀 등의 물성 안정화를 도모할 수 있도록 예비방전시키는 상기 에이징공정을 수행함으로써 본 발명에 따른 모든 후공정을 완료하게 되는 것이다.After that, all the post-processes according to the present invention are completed by performing the aging step of pre-discharging to activate the surface of the film in the panel and to stabilize the properties of each cell.
한편, 도면으로 도시하지는 않았으나, 본 발명에 적용되는 다른 형태의 주입관 구조로서 잔류불순가스의 배기 및 방전가스의 주입을 겸하는 팁부 개방형의 단일 주입관이 적용된 경우에 있어서의 본 발명에 따른 PDP의 진공배기식 제조방법 중 그 후공정을, 상기 각 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.On the other hand, although not shown in the drawings, the PDP according to the present invention in the case where a tip-opening single injection tube that combines the discharge of residual impurity gas and the injection of discharge gas is applied as another injection tube structure applied to the present invention. The subsequent steps of the vacuum exhaust method are described below with reference to the respective drawings.
즉, 상기 전면판(10) 및 배면판(20)을 상압 하에서 중첩시켜 정렬하고 그 가장자리부를 클립으로 압착 고정함과 아울러 그 배면판(20) 일측의 통공쪽에 팁부 개방형의 배기 및 가스주입 겸용 주입관을 압착 고정하여 하나의 패널로 합착하는 얼라이닝 및 클리핑공정과, 350℃ 정도의 온도에 도달할 때까지 상기 패널을 상압 하에서 1차적으로 승온시키는 상압가열공정과, 상압 하에서 1차 가열된 패널을 고진공 분위기의 진공챔버 내에 투입하여 상기 패널을 진공 하에서 450℃ 정도의 온도에 이를 때까지 재차 가열함과 아울러 상기 전면판(10) 및 배면판(20) 사이의 프릿글래스(40)의 틈을 통해 패널 내부가 진공 배기될 수 있게 한 후 가압 밀봉하는 배기 봉착공정과, 상압냉각을 실시할 수 있도록 상기 배기 및 가스주입 겸용 주입관의 팁부를 봉입 처리하여 패널 내부를 밀봉하기 위한 1차 주입관 팁오프공정과, 상기 진공챔버로부터 봉착된 상기 패널을 취출한 후 상압서냉로 내에 투입하여 상압상태로 냉각시키는 상압냉각공정과, 상압냉각 처리된 상기 패널의 내부로 방전가스를 주입할 수 있도록 상기 주입관의 팁부를 가스주입장치의 진공척 내에서 절단하고 그 개방된 주입관을 통해 방전가스를 주입한 후 상기 주입관의 팁부를 재차 봉입 처리하는 방전가스주입 및 팁오프공정과, 상기 패널내 막 표면의 활성화와 각 셀 등의 물성 안정화를 도모할 수 있도록 예비방전시키는 에이징공정을 순차적으로 수행함으로써, 앞서 설명한 선행 실시예에서와 동일한 목적을 달성할 수 있게 되는 것이다.That is, the
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 PDP의 진공배기식 제조방법은, 상압 하에서 얼라이닝 및 클리핑이 완료된 전면판(10) 및 배면판(20)을, 상압 및 진공 중에서 단계적 승온 후, 진공 배기 및 봉착하여 패널의 내부를 진공상태로 밀봉하고, 그 봉착 완료된 패널을 상압 상태에서 냉각하는 방식이다. 따라서, 진공 중에서 배기 및 봉착을 수행함으로써 배기 효율 및 패널 내부 진공도를 향상시킬 수 있게 되어 10시간 이상의 공정시간을 2시간 내외의 획기적인 단축 효과를 발휘할 수 있으며 제품 품질의 향상을 기할 수 있다. 그리고, 봉착된 패널을 상압 상태에서 냉각함으로써 냉각효율 또한 극대화할 수 있어 공정소요시간의 단축은 물론이고 공정중 정체구간을 해소하여 장비의 간소화 및 공장의 공간활용성을 향상시킬 수 있게 된다.As described above, the vacuum exhaust method of manufacturing a PDP according to the present invention, after the aligning and clipping of the
이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 진공배기식 제조방법에 의하면, 진공 하에서 패널을 배기 및 봉착하고 상압 하에서 냉각한 후 가스 주입 및 팁오프하는 일련의 후공정에 의한 진공배기 방식에 있어서, 봉착을 위한 승온공정의 일부를 300 내지 350℃ 사이에서 정해진 지정온도에 도달하기까지는 상압 하에서 실시하고 진공챔버 내에서는 상기 지정온도로부터 연계시켜 가열하여 430 내지 480℃ 사이에서 정해진 특정 봉착온도까지의 승온공정만을 실시함으로써 진공 작업조건에서의 패널 가열중 상기 패널에 작용하는 온도 불균일의 문제를 상당부분 해소할 수 있고, 패널의 가열시 소요되는 공정시간을 현저히 단축시켜 제품 양산화를 실현할 수 있으며, 결국 진공챔버의 사용시간을 최소화하여 생산비용을 절감할 수 있게 되는 효과가 있다.According to the vacuum exhaust type manufacturing method of the plasma display panel of the present invention as described above, in the vacuum exhaust method by a series of post-process of gas injection and tip-off after exhausting and sealing the panel under vacuum and cooling under normal pressure Particularly, the heating step for sealing is carried out under normal pressure until reaching a predetermined temperature between 300 and 350 ° C., and in a vacuum chamber, in conjunction with the above-mentioned heating temperature, it is heated up to a specific sealing temperature between 430 and 480 ° C. By only raising the temperature, the problem of temperature unevenness acting on the panel during heating of the panel under vacuum working condition can be largely solved, and the process time required for heating the panel can be significantly shortened to realize mass production of the product. The production cost can be reduced by minimizing the use time of the vacuum chamber. There is an effect.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예를 기준하여 설명되어 있으나 이는 예시적인 것이라 할 수 있고, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예들을 생각해 낼 수 있으므로 이러한 균등한 실시예들 또한 본 발명의 특허청구범위 내에 포함되는 것으로 보아야 함은 극히 당연한 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 결정되어야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, this may be regarded as exemplary, and those skilled in the art may conceive various modifications and equivalent embodiments therefrom. It should be understood that such equivalent embodiments are also included within the claims of the present invention. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be determined only by the appended claims.
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