KR100470989B1

KR100470989B1 - Verification Probe Card

Info

Publication number: KR100470989B1
Application number: KR1019970046484A
Authority: KR
Inventors: 장제열
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 1997-09-10
Filing date: 1997-09-10
Publication date: 2005-07-18
Also published as: KR19990025044A

Abstract

본 발명은 검증용 프로우브 카드를 공개한다. 그 카드는 전원전압 라인, 접지전압 라인, 소정수의 전원전압 인가 채널들, 상기 전원전압 라인에 연결된 복수개의 신호 채널들, 상기 소정수의 전원전압 인가 채널들과 전원전압 라인사이에 연결된 소정수의 스위칭 수단들, 및 상기 소정수의 스위칭 수단들의 온, 오프를 제어하기 위한 소정수의 제어 채널들로 구성되어 있다. 따라서, 프로우버의 로더 보드와 프로우브 카드사이에 발생할 수 있는 채널 오픈 문제에 대한 해결을 용이하게 할 수 있다.The present invention discloses a probe card for verification. The card includes a power supply voltage line, a ground voltage line, a predetermined number of supply voltage application channels, a plurality of signal channels connected to the supply voltage line, and a predetermined number connected between the predetermined number of supply voltage application channels and a supply voltage line. Switching means, and a predetermined number of control channels for controlling on / off of said predetermined number of switching means. Therefore, it is possible to easily solve the channel open problem that may occur between the probe board and the probe card of the prober.

Description

Verification Probe Card

본 발명은 반도체 테스트 장비에 관한 것으로, 특히 프로우브 카드(probe card) 및 프로우버의 로더 보드사이의 불량을 검증할 수 있는 검증용 프로우브 카드에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor test equipment, and more particularly, to a probe card for verification that can verify a defect between a probe card and a loader board of the probe.

반도체 제조 공정에서 프리-레이저(pre-laser) 공정이란 것이 있는데 이 공정은 레이저 리페어(laser repair)공정의 앞공정으로서, 웨이퍼(wafer)내 페일 칩(fail chip)을 가려내고, 또한 리페어가능한 칩의 페일 어드레스를 레이저에 인계시키기 위한 공정이다.In the semiconductor manufacturing process, there is a pre-laser process, which is a step ahead of the laser repair process, which detects a fail chip in a wafer and also repairs a chip. Is a step for taking over the fail address of the laser.

도1은 프리 레이저 공정에 필요한 장치들이 장착(setting)된 상태를 도시한 것으로, 테스터(tester)(10), 테스터 헤드(tester head)(12), 퍼포먼스 보드(performance board)(14), 프로우브 카드(probe card)(16), 웨이퍼(18), 로더 보드(loader board)(20), 및 프로우버(22)로 구성되어 있다.FIG. 1 shows a state in which devices required for a free laser process are set, a tester 10, a tester head 12, a performance board 14, and a pro. It consists of a probe card 16, the wafer 18, the loader board 20, and the prober 22. As shown in FIG.

테스터(10)는 전기적 신호를 발생시켜 소자에 인가하고 인가한 신호를 통해 읽은 데이타를 판독하여 이 소자가 제대로 동작하는지를 판단한다. 테스터 헤드(12)는 테스트로 부터의 신호를 퍼포먼스 보드(14)로 인가하는 역할을 한다. 프로우버(22)는 웨이퍼(18)를 로더 보드(20)에 의해서 로딩(loading)한 후 배열하여 프로우브 카드(16)와의 접촉이 제대로 이루어질 수 있도록 하며, 웨이퍼를 로더 보드(20)위에 얹어 놓은 상태에서 테스터(10)가 명령하는대로 다이 사이즈(die size)만큼 이동하거나 언로딩(unloading)하는 역할을 한다. 퍼포먼스 보드(14)는 테스터(10)에서 발생한 신호를 프로우브 카드에 전달하는 중간매체이다. 그리고, 소자에 필요한 자원(전원 핀, 신호 핀, 입/출력 핀)을 선정하여 접촉 보드(contact board)에 집중시키는데 소자종류별로 필요한 자원이 다르기 때문에 구성이 각각 틀리다. 프로우브 카드(16)는 침(17)을 인쇄 회로 기판(PCB; printed circuit board)에 에폭시(EPOXY)로 고정시켜 놓은 것으로, 테스터(10)에서 발생한 신호가 퍼포먼스 보드(14)를 통하여 프로우브 카드(16)의 침(17)까지 된다. 그리고, 이 침(17)은 웨이퍼(18)내의 칩상의 패드에 접촉되어 소자내부의 회로에 전기 신호가 전달된다. The tester 10 generates an electrical signal, applies it to the device, and reads data read through the applied signal to determine whether the device operates properly. The tester head 12 serves to apply a signal from the test to the performance board 14. The prober 22 loads the wafer 18 by the loader board 20 and arranges the wafer 18 so that contact with the probe card 16 can be made properly, and the wafer is placed on the loader board 20. In the released state, the tester 10 serves to move or unload the die size as instructed. The performance board 14 is an intermediate medium that transmits a signal generated by the tester 10 to the probe card. In addition, the resources (power pins, signal pins, input / output pins) required for the device are selected and concentrated on a contact board. The probe card 16 is a needle 17 fixed to the printed circuit board (PCB) by epoxy (EPOXY), the signal generated from the tester 10 is probed through the performance board 14 It goes up to the needle 17 of the card 16. The needle 17 then contacts a pad on a chip in the wafer 18 to transmit an electrical signal to a circuit inside the device.

이와같이 도1에 나타낸 테스트 장치를 이용하여 칩의 불량여부를 판단하게 된다. 그런데, 이와같이 구성된 테스트 장치에서의 불량으로 인하여 칩이 불량인 것으로 판단되는 경우도 있기 때문에 테스트 장치의 불량을 테스트하기 위한 방법이 또한 필요하다.Thus, whether the chip is defective is determined using the test apparatus shown in FIG. However, since a chip may be determined to be defective due to a defect in the test apparatus configured as described above, a method for testing a defect of the test apparatus is also required.

그래서, 종래의 테스트 장치를 테스트하는 방법은 캘리브레이션 보드(calibration board)를 이용하여 테스터(10)의 이상유무를 검증하게 된다. 그러나, 캘리브레이션 보드는 테스터 헤드(12)까지의 이상유무만을 검증할 수 있고, 그 뒷단의 퍼포먼스 보드, 프로우브 카드, 로딩 보드의 이상유무는 검증할 수가 없었다.Thus, the conventional method for testing a test apparatus is to verify the abnormality of the tester 10 by using a calibration board (calibration board). However, the calibration board can only verify the abnormality to the tester head 12, and the abnormality of the performance board, the probe card, and the loading board of the rear stage could not be verified.

특히, 프로우브 카드와 로딩 보드사이의 접점 및 이로 인한 전압 강하 문제가 발생할 수가 있는데 이에 대한 이상유무를 검증할 수가 없어 정상인 칩이 불량으로 판단되거나, 불량인 칩이 정상으로 판단되는 문제점이 발생하였다.In particular, a contact point between the probe card and the loading board and a voltage drop problem may occur due to this, and thus, a problem may occur in which a normal chip is considered bad or a bad chip is considered normal because it cannot be verified. .

따라서, 본 발명의 목적은 프로우버의 로더 보드와 프로우브 카드사이의 이상여부를 검증할 수 있는 검증용 프로우브 카드를 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a probe card for verification that can verify the abnormality between the probe board and the probe card of the prober.

이와같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검증용 프로우브 카드는 전원전압 라인, 접지전압 라인, 소정수의 전원전압 인가 채널들, 상기 전원전압 라인에 연결된 복수개의 신호 채널들, 상기 소정수의 전원전압 인가 채널들과 전원전압 라인사이에 연결된 소정수의 스위칭 수단들, 및 상기 소정수의 스위칭 수단들의 온, 오프를 제어하기 위한 소정수의 제어 채널들을 구비한 것을 특징으로 한다.Proven card for verification of the present invention for achieving the above object is a power supply voltage line, a ground voltage line, a predetermined number of power supply voltage applied channels, a plurality of signal channels connected to the power supply voltage line, the predetermined number of power supplies And a predetermined number of switching means connected between the voltage applying channels and the power supply voltage line, and a predetermined number of control channels for controlling the on and off of the predetermined number of switching means.

이 검증용 프로우브 카드를 이용하여 이상유무를 검증하기 위한 테스트 장치는 전원전압 라인, 접지전압 라인, 소정수의 전원전압 인가 채널들, 상기 전원전압 라인에 연결된 복수개의 신호 채널들, 상기 소정수의 전원전압 인가 채널들과 전원전압 라인사이에 연결된 소정수의 스위칭 수단들, 및 상기 소정수의 스위칭 수단들의 온, 오프를 제어하기 위한 소정수의 제어 채널들을 구비한 검증용 프로우브 카드, 상기 검증용 프로우브 카드의 소정수의 전압전압 인가채널들, 및 제어 채널들에 전압을 인가하고 상기 각각의 채널들의 신호를 입력하여 각각의 채널들의 이상유무를 판단하기 위한 테스터, 상기 테스터로 부터의 신호를 전달하는 퍼포먼스 보드, 및 상기 검증용 프로우브 카드와 상기 칩의 패드와의 접촉이 이루어질 수 있도록 칩을 이동하기 위한 프로우버를 구비한 것을 특징으로 한다.The test apparatus for verifying abnormality using the verification probe card includes a power supply voltage line, a ground voltage line, a predetermined number of power supply voltage channels, a plurality of signal channels connected to the power supply voltage line, and the predetermined number A verification probe card having a predetermined number of switching means connected between a power supply voltage applying channel and a power supply voltage line, and a predetermined number of control channels for controlling on / off of the predetermined number of switching means; A tester for determining whether there is an abnormality in each channel by applying a voltage to a predetermined number of voltage-voltage application channels of the verification probe card and the control channels and inputting signals of the respective channels, from the tester. A performance board for transmitting a signal, and moving the chip so that the verification probe card is in contact with the pad of the chip It is characterized by having a prober for.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 검증용 프로우브 카드를 설명하기 전에 종래의 반도체 테스트 장치의 프로우브 카드를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a probe card of a conventional semiconductor test apparatus will be described before explaining the probe card for verification of the present invention.

도2는 종래의 반도체 테스트 장치의 프로우브 카드를 개략적으로 도시한 것으로, 전원전압라인(VDD), 접지전압라인(GND), 및 전원, 입력신호 및 출력신호 채널들로 구성되어 있다.FIG. 2 schematically illustrates a probe card of a conventional semiconductor test apparatus, and includes a power supply voltage line VDD, a ground voltage line GND, and a power supply, input signal, and output signal channels.

즉, PCB기판에 전원전압, 접지전압, 및 신호 인가 채널을 만들어 퍼포먼스 보드를 통하여 인가되는 필요한 신호들을 채널에 연결된 침을 통하여 패드에 인가하는 것이다.That is, a power supply voltage, a ground voltage, and a signal application channel are formed on the PCB, and necessary signals applied through the performance board are applied to the pad through the needle connected to the channel.

그런데, 종래의 테스트 장치는 테스터 자체의 결함은 측정할 수 있었으나, 프로우브 카드와 프로우버의 로더 보드사이의 결함을 측정할 수 있는 기능은 없었다. By the way, the conventional test apparatus was able to measure the defect of the tester itself, but did not have the function of measuring the defect between the probe card and the loader board of the prober.

도3은 본 발명의 프로우버의 로더 보드와 프로우브 카드사이의 불량을 측정하기 위한 검증용 프로우브 카드의 구성을 도시한 것으로, 도2에 나타낸 각각의 채널을 전원전압라인(VDD)에 연결시켜 놓고, 테스터의 전원전압들(VS1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8)은 릴레이(RELAY)를 통하여 전원전압라인(VDD)에 연결될 수 있도록 한다. 그리고, 접지전압라인(GND)는 시스템 접지전압(GND)에 연결되도록 한다. 또한, 각각의 전원전압들을 연결시켜 주는 릴레이는 제어가 가능하도록 하기 위해 한쪽은 접지전압라인(GND), 한쪽은 제어단자에 각각 연결한다. 도2, 3은 32채널을 가지고 8개의 전원전압을 인가할 수 있는 프로우브 카드를 나타낸 것이다.FIG. 3 shows the configuration of a verification probe card for measuring a defect between the probe board of the prober and the probe card of the present invention, and connecting each channel shown in FIG. 2 to a power supply voltage line VDD. The power supply voltages VS1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 and 8 of the tester may be connected to the power supply voltage line VDD through a relay. The ground voltage line GND is connected to the system ground voltage GND. In addition, a relay connecting the respective power supply voltages is connected to one ground voltage line (GND) and one control terminal to enable control. 2 and 3 show a probe card capable of applying eight power supply voltages with 32 channels.

도4은 도3에 나타낸 릴레이를 개략적으로 나타낸 것으로, 제어 단자에 신호를 인가하여 전원전압(VS)이 전원전압라인(VDD)로 연결되게 하거나, 연결되지 않게 할 수 있다.FIG. 4 schematically shows the relay shown in FIG. 3, by applying a signal to the control terminal so that the power supply voltage VS is connected to the power supply voltage line VDD or not.

도3에 나타낸 본 발명의 검증용 프로우브 카드는 테스터에 이상이 없는 것으로 판단된 테스트 장비를 이용하여 테스트를 하는 도중에 칩이 이상하게 불량인 것으로 판단되는 경우, 프로우브 카드와 프로우버의 로더 보드사이의 불량인지를 알아보기 위해 사용된다. 즉, 칩이 이상하게 불량인 것으로 판단되는 경우 장착된 프로우브 카드를 분리하고 도3에 나타낸 본 발명의 검증용 프로우브 카드를 이용하여 검증을 하게 된다.The probe card for verification according to the present invention shown in FIG. 3 is used between the probe board and the probe board of the prober when it is determined that the chip is abnormally defective during the test using the test equipment which is determined that the tester is not abnormal. It is used to find out if it is bad. In other words, if it is determined that the chip is abnormally defective, the mounted probe card is removed and verified using the probe card of the present invention shown in FIG. 3.

본 발명의 검증방법은 8개의 전원전압 인가단자중의 하나의 전원전압 인가단자에 전원전압(VS1)을 인가하고 32개의 채널의 이상유무를 확인하기 위하여 전원전압(VS1)을 인가하기 위한 릴레이만을 온상태로 하고 다른 전원전압들(VS2, 3, 4, 5, 6, 7, 8)을 인가하는 릴레이들은 오프상태로 한다. 그러면, 전원전압(VS1)이 전원전압라인(VDD)이 인가될 것이다. 또한, 전원전압(VS1)은 32개의 각 채널로 전달될 것이다. 그래서, 각 채널에 전원전압(VS1)이 발생하는지를 측정한다. 그래서, 정확하게 전원전압(VS1)이 발생하면 정상인 것으로 판단하고 발생하지 않으면 불량인 것으로 판단한다. 이때, 모든 채널에서 전압이 발생하지 않으면 전원전압 인가채널에 이상이 있는 것이다. 이와같은 방법으로 나머지 7개의 전원전압들(VS2, 3, 4, 5, 6, 7, 8) 각각에 해당 전원전압을 인가하여 32개의 채널들 및 전원전압 인가 채널의 이상유무를 판단해 나간다.The verification method of the present invention applies only a relay for applying the power supply voltage VS1 to one of the eight power supply voltage applying terminals and applying the power supply voltage VS1 to confirm the abnormality of 32 channels. Relays that turn on and apply different supply voltages VS2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 are turned off. Then, the power supply voltage VS1 is applied to the power supply voltage line VDD. In addition, the power supply voltage VS1 will be transmitted to each of the 32 channels. Thus, it is measured whether the power supply voltage VS1 occurs in each channel. Thus, if the power supply voltage VS1 occurs correctly, it is determined to be normal, and if not, it is determined to be bad. At this time, if no voltage is generated in all channels, there is an error in the power voltage applying channel. In this way, the corresponding power voltages are applied to each of the remaining seven power voltages VS2, 3, 4, 5, 6, 7 and 8 to determine whether there are abnormalities in the 32 channels and the power voltage applying channel.

따라서, 본 발명의 검증용 프로우브 카드는 테스트 장치의 테스터 헤드까지의 불량만을 검증할 수 있었던 문제점을 해결하고 프로우버의 로더 보드와 프로우브 카드사이의 접점 불량에 의해서 발생할 수 있는 불량을 알아낼 수 있다.Therefore, the verification probe card of the present invention solves the problem that only the defects up to the tester head of the test apparatus can be verified, and can detect the defects that may be caused by the contact failure between the probe board and the probe card of the prober. have.

본 발명의 검증용 프로우브 카드는 프로우버의 로더 보드와 프로우브 카드사이에 발생할 수 있는 채널 오픈 문제에 대한 해결을 용이하게 할 수 있다. The probe card for verification of the present invention can easily solve the channel open problem that may occur between the probe board and the probe card of the prober.

또한, 검증용 프로우브 카드의 제작이 간단하며 검증시간이 짧게 걸린다.In addition, the production of the verification probe card is simple and the verification time is short.

도1은 프리 레이저 공정에 필요한 장치들이 장착(setting)된 상태를 도시한 것이다.1 shows a state in which devices required for a free laser process are set.

도2는 종래의 반도체 테스트 장치의 프로우브 카드를 개략적으로 도시한 것이다. 2 schematically illustrates a probe card of a conventional semiconductor test apparatus.

도3은 본 발명의 프로우버의 로더 보드와 프로우브 카드사이의 불량을 측정하기 위한 검증용 프로우브 카드를 도시한 것이다.Fig. 3 shows a verification probe card for measuring a defect between the probe board and the probe card of the prober of the present invention.

도4은 도3에 나타낸 릴레이를 개략적으로 나타낸 것이다.4 schematically shows the relay shown in FIG.

Claims

A verification probe card;

A power supply voltage line formed on the PCB substrate;

A plurality of signal channels connected to the power supply voltage line;

A predetermined number of power supply voltage applying channels;

A ground voltage line insulated from the power supply voltage line and connected to a system ground voltage;

A predetermined number of switching means connected between the predetermined number of power voltage applying channels and a power supply voltage line to provide the power supply voltage line with a power supply voltage provided through a corresponding one of the applied channels; And

And a predetermined number of control channels for receiving a control signal applied to control the on / off of the predetermined number of switching means and applying them to the switching means.

The probe card for verification according to claim 1, wherein the switching means are configured as relays, respectively.

The method of claim 1, wherein when at least one of the switching means is turned on, a predetermined voltage is applied to a power supply voltage applying channel connected to the switching means in the on state to measure the voltage of the plurality of signal channels. Probe card for verification, characterized in that the defect of each channel is verified by

A power supply voltage line formed on a PCB substrate, a plurality of signal channels connected to the power supply voltage line, a predetermined number of power supply voltage applying channels, a ground voltage line insulated from the power supply voltage line and connected to a system ground voltage, and the predetermined number A predetermined number of switching means and a predetermined number of switching means connected between a power supply voltage applying channel and a power supply voltage line to provide a power supply voltage provided through a corresponding one of said applied channels to said power supply voltage line. A verification probe card, comprising: a predetermined number of control channels for receiving a control signal applied to control on and off and applying the control signal to the switching means;

A tester for applying a voltage to a predetermined number of voltage-voltage application channels and control channels of the verification probe card and inputting signals of the respective channels to determine whether there is an abnormality in each channel;

A performance board for transmitting a signal from the tester to a verification probe card; And

And a prober for moving the chip to allow contact between the verification probe card and the pad of the chip.

5. A test apparatus according to claim 4, wherein each of said switching means consists of a relay.

The apparatus of claim 4, wherein the tester applies a predetermined voltage to a control signal for turning on one of the switching means, and a power supply voltage application channel connected to the switching means of the on state. The test device, characterized in that for verifying the failure of each channel by measuring the voltage of the.