KR100464308B1 - Method of manufacturing partition wall of plasma display device - Google Patents
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Abstract
플라즈마 디스플레이 장치의 격벽 제조 방법이 개시된다. 격벽은 기판 위에 소정의 격벽패턴을 따라 페이스트상태의 격벽재료로 인쇄 및 건조 과정을 수회 반복하면서 소정높이의 격벽층을 형성하는 단계와, 상기 격벽층의 폭을 줄이기 위해 상기 격벽층중 설정된 선폭을 벗어난 가장자리 일부 영역을 레이저 빔을 조사하여 제거하는 단계를 포함한다. 이와 같은 격벽제조방법에 의하면, 미세폭의 격벽을 제조하는 과정에서 불순물이 거의 남아 있지 않아, 떨림현상이 없는 안정적인 방전이 이루어질 수 있고, 방전전압의 상승을 야기시키지 않는 장점들이 있다.Disclosed is a method of manufacturing a partition of a plasma display device. The barrier rib is formed by forming a barrier rib layer having a predetermined height by repeating a printing and drying process with a paste-like barrier rib material on a substrate along a predetermined barrier rib pattern and reducing the width of the barrier rib layer. Irradiating a laser beam to remove a portion of the off-edge part. According to such a partition wall manufacturing method, since impurities are hardly left in the process of manufacturing a partition wall having a fine width, stable discharge can be achieved without a vibration phenomenon, and there is an advantage of not causing an increase in the discharge voltage.
Description
본 발명은 플라즈마 디스플레이 장치의 격벽 제조 방법에 관한 것으로서, 상세하게는 미세한 선폭으로 격벽을 만드는 플라즈마 디스플레이 장치의 격벽 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a barrier rib manufacturing method of a plasma display device, and more particularly, to a barrier rib manufacturing method of a plasma display device for making a barrier rib with a fine line width.
통상적으로 플라즈마 디스플레이 장치는 가스방전현상을 이용하여 화상을 표시하기 위한 것으로서, 표시용량, 휘도, 콘트라스트, 잔상, 시야각 등의 각종 표시능력이 우수하여, CRT를 대체할 수 있는 장치로 각광을 받고 있다. 이러한 플라즈마 디스플레이 장치는 전극에 인가되는 직류 또는 교류 전압에 의하여 전극 사이에 있는 가스에서 방전이 발생하고, 가스방전과정에서 수반되는 자외선의 방사에 의하여 형광체가 여기되어 발광하게 된다.BACKGROUND ART In general, a plasma display device is used to display an image using a gas discharge phenomenon, and is excellent in various display capacities such as display capacity, brightness, contrast, afterimage, viewing angle, etc., and has been spotlighted as a device that can replace CRT. . In the plasma display device, a discharge is generated in a gas between the electrodes by a direct current or an alternating voltage applied to the electrode, and the phosphor is excited by the radiation of ultraviolet rays accompanying the gas discharge process to emit light.
플라즈마 디스플레이 장치는 방전 메카니즘에 의하여 교류형(AC형)과 직류형(DC형)으로 양분될 수 있다. 직류형은 플라즈마 표시 패널을 구성하는 각 전극들이 방전셀에 봉입되는 가스층에 직접적으로 노출되어 그에 인가되는 전압이 그대로 방전 가스층에 인가되는 것이다. 교류형은 각 전극들이 방전 가스층과 유전체층에 의하여 분리되어 방전 현상시 발생되는 하전입자들을 상기 전극들이 흡수하지 않고 벽전하를 형상하게 되며, 이와 같은 벽전하를 이용하여 다음 방전을 일으키는 것이다. The plasma display device can be divided into an alternating current type (AC type) and a direct current type (DC type) by a discharge mechanism. In the DC type, each electrode constituting the plasma display panel is directly exposed to the gas layer enclosed in the discharge cell, and the voltage applied thereto is applied to the discharge gas layer as it is. In the AC type, the electrodes are separated by the discharge gas layer and the dielectric layer to form the wall charges without absorbing the charged particles generated during the discharge phenomenon, and the next discharge is generated by using such wall charges.
도 1에는 일반적인 교류형 플라즈마 디스플레이 장치의 구조에 대한 개략적인 분해 사시도가 도시되어 있다.FIG. 1 is a schematic exploded perspective view of a structure of a general AC plasma display device.
도면을 참조하면, 상호 대향하고 있는 상부 유리 기판(11)과 하부 유리 기판(12) 각각의 대향면상에 스트라이프 형상의 제1 전극(13a)과, 제2 전극(13b)이 형성되어 있다. 상부 유리 기판(11)의 내측면에는 유전층(14)과 보호층(15)이 차례로 적층되어 있다. 하부 유리 기판(12)에는 유전층(16)의 상면 위에 격벽(17)이 형성되어 있다. 인접하는 격벽들(17) 사이의 공간이 셀(19)이 되고, 셀(19)내에는 아르곤과 같은 불활성 개스로 채워진다. 또한 각각의 셀(19)의 바닥면 즉, 격벽(17)사이의 영역에는 형광체(18)가 형성 된다.Referring to the drawings, stripe-shaped first electrodes 13a and second electrodes 13b are formed on opposing surfaces of the upper and lower glass substrates 11 and 12 facing each other. The dielectric layer 14 and the protective layer 15 are sequentially stacked on the inner surface of the upper glass substrate 11. The lower glass substrate 12 has a partition 17 formed on an upper surface of the dielectric layer 16. The space between the adjacent partition walls 17 becomes the cell 19, and the cell 19 is filled with an inert gas such as argon. In addition, the phosphor 18 is formed on the bottom surface of each cell 19, that is, the region between the partition walls 17.
위와 같은 구성을 가지는 플라즈마 디스플레이 장치의 작동을 개략적으로 살펴보면, 전극(13a)(13b)사이에 인가된 전압에 의한 개스방전에 의해 발생한 자외선이 방전 셀(19)의 내면에 도포되어 있는 형광체(18)를 여기시키고, 포토루미네슨스(photoluminescence)의 원리에 의해 형광체(18)에서 가시광이 방사된다. 이 때, 칼라 표시는 각 표시 셀(19)에 형성된 적색, 녹색, 청색의 형광체(18)에 의해 표시된다.Referring to the operation of the plasma display device having the above configuration, the phosphor 18 having ultraviolet rays generated by gas discharge due to the voltage applied between the electrodes 13a and 13b is applied to the inner surface of the discharge cell 19. ) And visible light is emitted from the phosphor 18 by the principle of photoluminescence. At this time, the color display is displayed by the red, green, and blue phosphors 18 formed in each display cell 19.
한편, 이와 같이 작동하는 플라즈마 디스플레이의 격벽을 종래에는 반복 인쇄법으로 제작하였다.On the other hand, the partition wall of the plasma display which operates in this way was conventionally manufactured by the repeat printing method.
즉, 전극(13b)과 유전층(16)이 형성된 하부 기판(12)의 유전층(16) 위에 페이스트 상의 격벽 재료를 형성하고자 하는 격벽패턴에 따라 인쇄 및 건조 과정을 수회 반복하면서 200μm정도의 높이로 형성하였다. 그리고 나서 소성과정을 거친다. 이러한 반복 인쇄기법에 의해 형성되는 격벽(17)은 높이에 따라 상부가 좁고 하부가 넓은 종(bell) 모양을 갖게 된다. 이와 같은 종래의 격벽제조방법에 의하면, 소성공정 후에 잔류되는 불순물이 적어 방전전압이 상승되지 않고, 방전시 떨림현상이 적고, 화면의 균일성이 좋은 장점들을 제공한다. 그러나, 격벽(17)의 폭을 가늘게 하기에는 한계가 있어 단위면적당의 화소수를 늘려 고화질을 화상을 구현할 수 있는 플라즈마 디스플레이 장치의 제조를 어렵게 한다.In other words, the printing and drying process is repeated several times according to the barrier rib pattern to form the barrier rib material on the dielectric layer 16 of the lower substrate 12 on which the electrode 13b and the dielectric layer 16 are formed. It was. Then it is fired. The partition wall 17 formed by such a repetitive printing technique has a bell shape in which the upper part is narrow and the lower part is wide depending on the height. According to the conventional barrier rib manufacturing method, there are few impurities remaining after the firing process so that the discharge voltage does not increase, the vibration phenomenon during discharge is low, and the uniformity of the screen is provided. However, there is a limit to narrowing the width of the partition wall 17, which makes it difficult to manufacture a plasma display device capable of realizing high quality images by increasing the number of pixels per unit area.
이러한 문제점을 개선하기 위해 샌드블러스트에 의한 식각공정에 의해 원하는 선폭의 격벽을 제조하는 방법이 제안되었다. 이 방법은 먼저, 요구되는 격벽높이 만큼 기판 위에 격벽물질층을 형성한다. 다음은 포토리쏘 그라피 방법에 의해 격벽물질층 위에 격벽형성부분을 제외한 부분이 제거된 마스크층을 만든다. 그리고 나서, 마스크층이 형성된 부분에 대해 샌드입자를 쏘아 마스크층에 의해 보호되지 않은 격벽물질층을 제거하면 격벽형성이 완료된다. 그러나, 이와같은 격벽 제조방법은 격벽물질의 손실이 많고, 식각된 부분에 약하게 붙어있던 유기물이 가스방전 전압을 높이는 불순물로 작용하고, 식각된 격벽의 벽면에 일부 붙어있는 샌드입자가 가스방전시 방전떨림을 일으키는 원인이되는 문제점등이 있어 아직 실용화 되어 사용되지는 않고 있다.In order to solve this problem, a method of manufacturing a partition having a desired line width by an etching process by sandblasting has been proposed. This method first forms a barrier material layer on a substrate by the required barrier height. Next, a mask layer is removed on the barrier material layer except for the barrier rib forming portion by the photolithography method. Then, by forming sand particles on the portion where the mask layer is formed, the barrier rib material layer is completed by removing the barrier material layer which is not protected by the mask layer. However, in the method of manufacturing a partition wall, there is a large loss of partition material, organic matter that is weakly attached to the etched portion acts as an impurity to increase the gas discharge voltage, and sand particles attached to the wall surface of the etched partition wall discharge during gas discharge. There is a problem that causes tremor, and it has not been put to practical use yet.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위하여 창안된 것으로서, 선폭이 미세한 격벽을 만드는 제조공정과정에서 가스 방전효율을 저하시키는 불순물의 생성이 억제될 수 있는 플라즈마 디스플레이 장치의 격벽제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and provides a method for manufacturing partition walls of a plasma display device, in which generation of impurities that lower gas discharge efficiency can be suppressed in a process of manufacturing partition walls having a fine line width. There is a purpose.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 장치의 격벽제조방법은 기판 위에 소정의 격벽패턴을 따라 페이스트상태의 격벽재료로 인쇄 및 건조 과정을 수회 반복하면서 소정높이의 격벽층을 형성하는 단계와; 상기 격벽층의 폭을 줄이기 위해 상기 격벽층중 설정된 선폭을 벗어난 가장자리 일부 영역을 레이저 빔을 조사하여 제거하는 단계를 포함한다.In order to achieve the above object, a barrier rib manufacturing method of a plasma display apparatus according to the present invention includes forming a barrier rib layer having a predetermined height by repeatedly printing and drying the barrier rib material in a paste state along a predetermined barrier rib pattern on a substrate. Wow; Irradiating a laser beam to remove a portion of the edge portion of the barrier rib layer, which is outside the set line width, to reduce the width of the barrier rib layer.
상기 기판에는 상기 격벽층을 형성하는 단계 이전에 형성시킨 스트라이프상의 전극들과, 유전층이 마련되어 있고, 상기 격벽층의 일부를 제거하는 단계에서, 상기 격벽층중 설정된 선폭을 벗어난 가장자리 일부 영역에 펄스상으로 레이저 빔을 조사하고, 상기 격벽층의 일부를 제거하는 단계 이후에는 레이저 빔에 의해 분쇄된 입자를 압축공기로 불어 제거하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다. 또한 상기 격벽재료는 소성과정 이후에 검정색을 유지하는 것이 사용된다.The substrate is provided with stripe electrodes formed before the forming of the barrier layer, and a dielectric layer, and in a step of removing a portion of the barrier layer, a pulse image is formed at a portion of the edge of the barrier layer outside the set line width. After irradiating the laser beam with a portion, and removing a portion of the barrier layer, it is preferable to further include blowing blown particles with compressed air by the laser beam. In addition, the partition material is used to maintain the black after the firing process.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 장치의 격벽 제조방법을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a partition wall of a plasma display device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2에 도시된 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 장치의 격벽 제조방법의 공정플로우도와 도 3a 내지 도 3d에 도시된 제조단계별 공정후의 단면도들을 함께 참조하여 이하 설명한다.A process flow diagram of the method for manufacturing a partition wall of the plasma display apparatus according to the present invention shown in FIG. 2 will be described below with reference to the cross-sectional views after the process for each manufacturing step shown in FIGS. 3A to 3D.
먼저, 준비단계로서, 유리 기판(21)에 소정거리 이격된 다수의 라인전극(23)을 형성하고, 그 위에 유전층(26)을 소정두께로 전면에 걸쳐 형성한다(단계 100; 도 3a참조).First, as a preparation step, a plurality of line electrodes 23 spaced a predetermined distance from the glass substrate 21 is formed, and a dielectric layer 26 is formed over the entire surface with a predetermined thickness thereon (step 100; see FIG. 3A). .
단계 100을 거쳐 형성된 유리기판(21)의 유전층(26) 위에 격벽 페이스트를 소정의 격벽 패턴을 따라 소정두께로 실크 인쇄 및 건조하는 과정을 수회 반복하여 도 3b에 도시된 것처럼, 원하는 높이의 격벽층(27)을 형성한다(단계110). 이때 사용되는 격벽 페이스트는 후속공정인 소성공정 이후에 검정색을 띠는 재료가 사용된다.Repeating the process of silk printing and drying the partition paste on the dielectric layer 26 of the glass substrate 21 formed through the step 100 to a predetermined thickness along a predetermined partition pattern several times, as shown in FIG. (27) is formed (step 110). In this case, the partition paste used is a black material after the firing step, which is a subsequent step.
다음은, 소정온도에서 격벽층(27)을 소성한다(단계 120). Next, the partition layer 27 is baked at a predetermined temperature (step 120).
단계 130에서는 도 3c에 도시된 것 처럼, 소성에 의해 경화된 격벽층(27)중 설정된 선폭(d)을 벗어난 부분을 제거하기 위해 펄스상으로 방사되는 레이저빔(30)을 제거대상 영역(27a)에 조사한다. 펄스상의 레이저빔(30)이 조사된 부분(27a)은 순간적인 열팽창에 의해 떨어져 나간다. 이와 같이 식각과정에서 검정색을 띠는 격벽층(27)은 레이저빔(30)의 흡수율이 뛰어나 식각대상부분(27a)의 제거를 보다 효과적으로 수행할 수 있게 한다. 한편, 반사율이 큰 백색 또는 투명한 소재로 형성되는 유전층(26)은 레이저 빔(30)에 대한 흡수율이 낮아 쉽게 손상되지 않는다.In step 130, as shown in FIG. 3C, the laser beam 30 radiated in a pulse form to remove a portion outside the set line width d of the barrier layer 27 cured by firing is removed. Check). The portion 27a irradiated with the pulsed laser beam 30 is separated by the instantaneous thermal expansion. As described above, the partition layer 27 having a black color in the etching process has an excellent absorption rate of the laser beam 30, so that the etching target portion 27a can be more effectively removed. On the other hand, the dielectric layer 26 formed of a white or transparent material having a high reflectance has low absorption rate for the laser beam 30 and is not easily damaged.
이와 같은 방법으로 전면적에 걸쳐 형성된 격벽패턴을 따라 식각대상부분(27a)이 되는 그 가장자리를 레이저 빔(30)으로 주사하면 도 3d에 도시된 바와 같이 원하는 선폭(d)을 갖는 격벽(27)이 만들어 진다.In this manner, when the edge of the target portion 27a is scanned with the laser beam 30 along the partition pattern formed over the entire area, as shown in FIG. 3D, the partition 27 having the desired line width d is obtained. Is made.
그리고, 마무리 단계로서, 식각이 완료된 격벽(27)으로부터 분리되었으나, 그 위에 잔류되거나 또는 약하게 붙어있을 수 있는 입자를 효과적으로 제거하기 위해 압축된 공기를 격벽(27)에 대하여 불어넣어 잔류하는 입자를 제거한다(단계 140).Then, as a finishing step, the particles are separated from the partition 27 which has been etched, but blown with compressed air to the partition 27 to effectively remove particles that may remain or become weakly attached thereon to remove the remaining particles. (Step 140).
지금까지 설명된 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 장치의 격벽제조방법에 의하면, 미세폭의 격벽을 제조할 수 있고, 격벽제조과정에서 불순물이 거의 남아 있지 않아, 떨림현상이 없는 안정적인 방전이 이루어질 수 있고, 방전전압의 상승을 야기시키지 않는 장점들이 있다.As described so far, according to the method for manufacturing a partition wall of the plasma display apparatus according to the present invention, a partition wall having a fine width can be manufactured, and since impurities are hardly left in the partition wall manufacturing process, stable discharge is achieved without vibration. And advantages that do not cause an increase in the discharge voltage.
도 1은 일반적인 교류형 플라즈마 디스플레이 장치의 개략적인 분해 사시도이도이고,1 is a schematic exploded perspective view of a typical AC plasma display device,
도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 장치의 격벽 제조방법의 공정플로우도이고,2 is a process flow diagram of a barrier rib manufacturing method of a plasma display device according to the present invention;
도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 장치의 격벽 제조단계별 공정후의 단면도들이다.3A to 3D are cross-sectional views after a process of fabricating a partition wall of a plasma display apparatus according to the present invention.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>
11: 하부기판 12: 상부기판11: lower substrate 12: upper substrate
13a: 제1전극 13b: 제2전극13a: first electrode 13b: second electrode
14, 16, 26: 유전층 15: 보호층14, 16, 26: dielectric layer 15: protective layer
17: 격벽 18: 형광체17: partition 18: phosphor
21: 기판 23: 전극21 substrate 23 electrode
27: 격벽(층)27: partition wall
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