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KR100274461B1 - Manufacturing method of electrode of plasma display panel - Google Patents

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KR100274461B1
KR100274461B1 KR1019980050715A KR19980050715A KR100274461B1 KR 100274461 B1 KR100274461 B1 KR 100274461B1 KR 1019980050715 A KR1019980050715 A KR 1019980050715A KR 19980050715 A KR19980050715 A KR 19980050715A KR 100274461 B1 KR100274461 B1 KR 100274461B1
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Abstract

본 발명은 전극간의 방전에 의해 발생하는 유리기판 사이의 기체 방전현상을 이용하여 화상을 표시하는 발광형 소자의 일종인 플라즈마 표시장치에 관한 것으로서, 전극의 패턴을 균일하게 형성하여 단락에 의한 오방전을 방지하도록 하는데 목적이 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display device, which is a type of light emitting device that displays an image by using gas discharge between glass substrates generated by discharge between electrodes. The purpose is to prevent them.

이를 실현하기 위하여 본 발명은 기판 글라스상에 전극 형성물질을 전면 형성하는 공정; 상기 기판을 소성 및 건조하는 공정; 상기 전극 형성물질상에 박막의 광반응물질을 전면 형성하는 공정; 상기 광반응물질을 일정 패턴으로 노광하는 공정; 상기 노광 후 광반응물질을 현상하는 공정; 상기 현상 후 연마재를 이용하여 전극 형성물질의 패턴을 형성하는 공정; 및 잔류하는 상기 광반응물질을 제거하고 건조하는 공정을 포함하며,In order to realize this, the present invention provides a method for forming an electrode forming material on a substrate glass; Firing and drying the substrate; Forming an entire photoreactive material of a thin film on the electrode forming material; Exposing the photoreactive material in a predetermined pattern; Developing the photoreactive material after the exposure; Forming a pattern of an electrode forming material using the abrasive after the development; And removing the remaining photoreactive material and drying it.

소성공정을 전극의 패턴 형성공정 전에 실시 함으로, 균일한 선폭 및 패턴의 전극 형성이 가능하게 되는 이점이 있다.Since the firing step is performed before the pattern forming step of the electrode, there is an advantage in that electrode formation of a uniform line width and pattern is possible.

Description

플라즈마 표시장치의 전극 형성방법Electrode Formation Method of Plasma Display

본 발명은 유리기판 사이의 기체 방전현상을 이용하여 화상을 표시하는 발광형 소자의 일종인 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel;이하 "PDP"라 칭함)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전압이 인가됨에 따라 패널 내부에서 다수의 전극간에 기체 방전을 일으켜서 화상을 구현하는 전극의 형성방법에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel (hereinafter referred to as "PDP"), which is a type of light emitting device that displays an image by using gas discharge between glass substrates. Accordingly, the present invention relates to a method of forming an electrode that generates an image by causing gas discharge between a plurality of electrodes in a panel.

일반적으로, PDP는 내부의 기체 방전현상을 이용하여 화상을 표시하는 발광형 소자의 일종으로서, 각 셀마다 액티브 소자를 장착할 필요가 없어 제조 공정이 간단하고, 화면의 대형화가 용이하며, 응답속도가 빨라 대형 화면을 가지는 직시형 화상표시장치 특히, HDTV(High Definition TeleVision) 시대를 지향한 화상표시장치로 텔레비젼, 모니터, 옥내외 광고용 표시소자 등의 용도에 사용되고 있다.In general, a PDP is a light emitting device that displays an image by using an internal gas discharge phenomenon, and there is no need to mount an active device for each cell, so the manufacturing process is simple, the screen is easy to be enlarged, and the response speed is high. The direct view type image display device having a large screen is fast, and especially, the image display device for the HDTV (High Definition TeleVision) era is used for TV, monitor, display device for indoor and outdoor advertisement.

또한, PDP는 대형(40∼60인치)의 표시소자영역에서 각광을 받고 있는데, 2개의 유리기판이 프리트글라스에 의해 밀봉된 상태의 구조이며, 그 밀봉된 구조내부에는 가스가 100∼600 Torr의 압력으로 채워져 있는데 현재 주로 사용하는 가스는 헬륨(He)에 지논(Xe)을 포함한 가스(페닝가스)를 사용한다.In addition, the PDP is in the spotlight in a large (40 to 60 inch) display element region, in which two glass substrates are sealed by fritted glass, and in the sealed structure, gas is 100 to 600 Torr. It is filled with pressure, and the main gas currently used is helium (He), which includes xenon (Xe).

패널의 화상 표시부에서는 복수의 전극간의 교차부가 각 화소(셀)에서 대응하고 있는데, 구동시는 교차되는 전극간에 100볼트이상의 전압을 인가하고 가스를 글로우 방전시켜서 그 때의 발광을 이용하여 화상을 표시하게 된다. 이와 같이 구성되는 패널부가 구동부와 결합하여 하나의 표시소자로써 역할을 한다.In the image display section of the panel, the intersections of the plurality of electrodes correspond to each pixel (cell). During driving, a voltage of 100 volts or more is applied between the intersecting electrodes, and the gas is glow discharged to display an image using light emission at that time. Done. The panel unit configured as described above is combined with the driving unit to serve as one display element.

이와 같은 PDP는 각 셀에 할당된 전극의 수에 따라 2전극형, 3전극형, 4전극형 등으로 분류되는데, 그 중 2전극형은 2개의 전극으로 어드레싱(addressing) 및 유지(sustain)을 위한 전압이 함께 인가되는 것이고 3전극형은 일반적으로 면방전형이라고 불리우는 것으로 방전셀의 측면에 위치하는 전극에 인가하는 전압에 의하여 스위칭 되거나 또는 유지되도록 한 것으로서, 도 1 및 도 3에 제시된 장치를 종래 기술에 따른 3전극 면방전형 PDP의 한 예로서 설명한다.Such PDPs are classified into two-electrode type, three-electrode type, and four-electrode type according to the number of electrodes assigned to each cell. Among them, the two-electrode type has two electrodes for addressing and sustaining. The three-electrode type is generally called a surface discharge type, and is switched or maintained by a voltage applied to an electrode located on the side of the discharge cell. The apparatus shown in FIGS. An example of a three-electrode surface discharge PDP according to the technique will be described.

도 1은 PDP의 상, 하기판 분리구조를 나타낸 것으로 구성을 살펴보면, 상부구조는 전면기판(1)과, 2개가 한 쌍을 이루며 전면기판(1)에 형성되는 유지전극(3)과, 유지전극(3)의 방전 시에 발생한 표면전하를 유지하기 위한 유전층(4)과, 유전층(4)을 방전으로부터 보호하기 위한 보호층(5)으로 이루어지고, 하부구조는 배면기판(2)과, 배면기판(2) 상에 형성되는 어드레스전극(6)과, 어드레스전극(6) 사이에 평행을 이루며 형성되는 격벽(7)과, 격벽(7) 사이에 도포되어 자외선의 여기에 의해 가시광선이 발생되는 형광체(8)로 이루어진다.1 shows a top and bottom plate separation structure of the PDP. Looking at the configuration, the top structure includes a front substrate 1, a pair of two sustain electrodes 3 formed on the front substrate 1, and a sustain structure. A dielectric layer 4 for maintaining surface charges generated at the time of discharge of the electrode 3, and a protective layer 5 for protecting the dielectric layer 4 from discharge; The address electrode 6 formed on the back substrate 2 and the partition wall 7 formed in parallel between the address electrode 6 and the partition wall 7 are applied between the partition wall 7 and visible light is generated by excitation of ultraviolet rays. It consists of the phosphor 8 which generate | occur | produces.

도 2는 도 1의 상,하부 기판이 결합된 후의 소정 셀에 대한 단면도를 나타낸 것으로서 이해를 돕기 위해 상부구조를 90°회전하여 도시하였다.2 is a cross-sectional view of a predetermined cell after the upper and lower substrates of FIG. 1 are combined, and the upper structure is rotated by 90 ° for clarity.

상기와 같은 구성을 갖는 PDP의 제조 공정에 있어서, 유지전극(3) 및 어드레스전극(6) 등을 형성하기 위한 방법으로는 스크린 인쇄에 의한 패턴형성법과, 감광성 페이스트에 의한 패턴형성법, 그리고 진공 증착을 이용한 스퍼터법 등이 주로 이용된다.In the manufacturing process of the PDP having the above-described configuration, a method for forming the sustain electrode 3, the address electrode 6, and the like is a pattern forming method by screen printing, a pattern forming method by photosensitive paste, and vacuum deposition. The sputtering method using this is mainly used.

그중 감광성 페이스트에 의한 패턴형성법을 이용한 종래 어드레스전극(6) 형성공정을 도 3을 참조하여 살펴보면 다음과 같다.The process of forming the conventional address electrode 6 using the pattern forming method using the photosensitive paste is described below with reference to FIG. 3.

먼저 배면기판(2)의 전면에 감광성 재질의 전극 형성물질(6')을 도포한 후 전극 패턴이 형성된 포토마스크(10)를 대고 노광 시켜 노광패턴을 형성한다. 그리고 노광이 끝난 후 현상공정을 수행하면 빛이 조사되었던 부위의 전극 형성물질(6)만 남게 된다. 그리고 소성을 시키면 남아있던 전극 형성물질이 경화되면서 저항을 갖게 되어 전극 패턴이 완성되는 것이다.First, an electrode forming material 6 ′ of photosensitive material is coated on the front surface of the back substrate 2, and then an exposure pattern is formed by exposing the photomask 10 on which the electrode pattern is formed. When the developing process is performed after the exposure, only the electrode forming material 6 of the portion to which light is irradiated remains. And when firing, the remaining electrode forming material is cured and has resistance, thereby completing the electrode pattern.

그러나, 전술한 종래 기술에 따른 전극형성 공정에 있어서, 페이스트 상태의 전극 형성물질을 이용한 인쇄법은 배면기판(2)의 세정상태 및 스크린마스크의 정밀도에 따라 균일성이 결정되는데, 기판 글라스의 세정상태가 좋지 못한 경우에는 패턴 형성된 전극의 최종 소성 공정 시 도 4에 도시된 바와 같이 전극(6) 패턴의 불균일이 발생하게 된다.However, in the above-described electrode forming process according to the prior art, the printing method using the electrode forming material in the paste state is uniformity is determined according to the cleaning state of the back substrate 2 and the precision of the screen mask, the substrate glass cleaning If the condition is not good, non-uniformity of the electrode 6 pattern occurs as shown in FIG. 4 during the final firing process of the patterned electrode.

상기와 같이 전극이 균일한 선폭을 이루지 못하게 되면 제조공정 중 또는 외부충격 등에 의해 전극라인의 일부 구간에서 단선이 발생하게 되며, 이는 방전전류의 도통을 어렵게 하여 방전 균일성을 저하시키게 된다.As described above, when the electrode does not achieve a uniform line width, disconnection occurs in a portion of the electrode line during the manufacturing process or by external impact, etc., which makes the conduction of the discharge current difficult, thereby lowering the discharge uniformity.

또한, 전극의 선폭이 불균일하면 전극의 라인저항이 불균일해 져서 패널의 구동시 저항차에 의한 전압마진이 나빠지게 되는 문제점을 발생하게 된다.In addition, if the line width of the electrode is non-uniform, the line resistance of the electrode becomes non-uniform, resulting in a problem that the voltage margin due to the resistance difference when the panel is driven becomes worse.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로 균일한 선폭의 전극을 형성시킬 수 있도록 함으로 고정세에 유리하고 전극의 단선 발생을 방지할 수 있고, 전극의 라인저항 균일성을 향상시킬 수 있는 전극의 형성방법을 제공할 수 있도록 하는데 목적이 있다.The present invention is invented to solve the problems of the prior art as described above, it is possible to form an electrode having a uniform line width, it is advantageous in high definition and can prevent the occurrence of disconnection of the electrode, uniformity of line resistance of the electrode An object of the present invention is to provide a method for forming an electrode that can improve the efficiency of the electrode.

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 상,하기판 분리 사시도.1 is an exploded perspective view of an upper and a lower substrate of a typical plasma display panel.

도 2는 도 1의 기판 합착후 셀 단면도.2 is a cross-sectional view of the cell after bonding of the substrate of FIG. 1.

도 3은 종래 기술에 따른 전극 형성 공정도.3 is an electrode forming process according to the prior art.

도 4는 종래 기술에 따른 전극 라인 패턴도.4 is an electrode line pattern diagram according to the prior art.

도 5는 본 발명에 따른 전극 라인 패턴도.5 is an electrode line pattern diagram according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 전극 형성 공정도.6 is an electrode forming process chart according to the present invention.

*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ****** Explanation of symbols for the main parts of the drawing ***

100 : DFR 테이프 102 : 배면기판100: DFR tape 102: back substrate

106 : 어드레스 전극 106': 전극형성물질106: address electrode 106 ': electrode forming material

110 : 포토마스크110: photomask

상기와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명의 기술적 수단은 기판 글라스상에 전극 형성물질을 전면 형성하는 공정; 상기 기판을 소성 및 건조하는 공정; 상기 전극 형성물질 상에 광 반응물질을 전면 형성하는 공정; 상기 광 반응물질을 일정 패턴으로 노광하는 공정; 상기 노광 후 광 반응물질을 현상하는 공정; 상기 현상 후 연마재를 이용하여 전극 형성물질의 패턴을 형성하는 공정; 및 잔류 광 반응물질을 제거하고 건조시키는 공정을 포함하여 PDP용 전극을 형성시키는 것을 특징으로 한다.Technical means of the present invention for realizing the above object is a step of forming an electrode forming material on the substrate glass; Firing and drying the substrate; Forming an entire photoreactive material on the electrode forming material; Exposing the photoreactive material in a predetermined pattern; Developing the photoreactive material after the exposure; Forming a pattern of an electrode forming material using the abrasive after the development; And removing and drying the residual photoreactive material to form an electrode for the PDP.

바람직하기로, 상기 광 반응물질의 노광은 패턴이 형성된 포토마스크에 의해 실시하며, 상기 광 반응물질은 박막의 고체 상태인 것을 특징으로 한다.Preferably, the photoreactive material is exposed by a patterned photomask, and the photoreactive material is characterized in that the solid state of the thin film.

이와 같이 진행되는 본 발명의 전극 형성공정은, 광 반응물질을 사용하여 전극의 패턴을 형성함으로서 균일한 전극(유지전극, 어드레스 전극 등)의 선폭을 형성할 수 있고 소성공정을 패턴 형성전에 실시하여 선폭의 균일성을 유지할 수 있게 되어, 제조공정 시 또는 제품의 이동 중 외부충격 등에 의한 전극 단락 현상을 방지할 수 있게됨을 알 수 있다.In the electrode forming process of the present invention proceeds as described above, by forming a pattern of the electrode using a photoreactive material, it is possible to form a line width of a uniform electrode (holding electrode, address electrode, etc.) The uniformity of the line width can be maintained, it can be seen that it is possible to prevent the short circuit of the electrode due to external impact during the manufacturing process or movement of the product.

그 결과, 전극라인을 따른 방전전류의 도통율을 개선하여 PDP의 방전 균일성을 향상시킬 수 있게 되는 이점이 있다.As a result, there is an advantage that the discharge uniformity of the PDP can be improved by improving the conduction rate of the discharge current along the electrode line.

그리고, 본 발명의 실시예로는 다수개가 존재할 수 있으며, 이하에서는 가장 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다.And, there may be a plurality of embodiments of the present invention, hereinafter will be described in detail with respect to the most preferred embodiment.

이 바람직한 실시예를 통해 본 발명의 목적, 특징 및 효과들을 보다 잘 이해할 수 있게된다.This preferred embodiment allows for a better understanding of the objects, features and effects of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 의한 전극형성방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the electrode forming method according to the present invention with reference to the accompanying drawings will be described in detail.

또한, 설명에 사용되는 도면에 있어서, 종래기술과 같은 구성성분에 관해서는 그 중복되는 설명을 생략하는 것도 있다.In addition, in the drawing used for description, the overlapping description may be abbreviate | omitted about the component similar to the prior art.

도 5는 본 발명에 의해 선폭이 균일하게 형성된 전극상태를 도시한 것이고, 도 6은 실시예에 따른 전극 형성공정을 나타낸 것이다.5 shows an electrode state in which the line width is uniformly formed according to the present invention, and FIG. 6 shows an electrode forming process according to the embodiment.

본 실시예에서는 어드레스전극의 형성공정을 살펴보고, 전술한 광 반응물질로는 DFR(Dry Film Resist)재를 사용하게 된다.In the present embodiment, the process of forming the address electrode will be described. As the above photoreactive material, a DFR (Dry Film Resist) material is used.

먼저, 배면기판(102)상에 전극형성물질(106')을 전면 도포하고(공정:ST1), 450℃에서 소성시킨 후 건조 시킨다. 이때 도포되는 전극형성물질(106')은 일반 전극 페이스트 또는 감광성 재료가 모두 사용 가능하다.First, the electrode forming material 106 ′ is completely coated on the back substrate 102 (step: ST1), fired at 450 ° C., and dried. In this case, the electrode forming material 106 ′ applied may be a general electrode paste or a photosensitive material.

그리고 전극형성물질(106') 표면을 세정하여 전극표면의 옥사이드(Oxide)를 제거하고 그 위에 다시 광 조사에 의해 경화되는 DFR테이프(100)를 전면에 붙인 후(공정:ST2), 일정 패턴이 형성된 포토마스크(110)를 대고 광 조사를 통해 노광을 실시한다.(공정:ST3)After cleaning the surface of the electrode forming material 106 'to remove oxide from the surface of the electrode and attaching the DFR tape 100 cured by light irradiation on the front surface (step: ST2), a predetermined pattern is formed. The photomask 110 formed is exposed to light through light irradiation. (Step: ST3)

상기 노광이 완료된 후 현상액을 이용해 현상공정을 수행하면 DFR테이프(100)중 광에 의해 조사되었던 부분은 경화되어 남아있고, 나머지 포토마스크(110)의 패턴에 의해 가려졌던 부분은 현상액에 씻겨 없어지게 된다.(공정:ST4)After the exposure is completed, if the developing process is performed using a developer, a portion of the DFR tape 100 irradiated with light remains cured, and a portion of the DFR tape 100 covered by the pattern of the remaining photomask 110 is washed away with the developer. (Step: ST4)

그리고 남아있는 DFR테이프(100)에 의해 패턴이 형성된 상태에서 미세입자의 샌드를 이용한 샌드블라스트(Sand blast)공정을 수행하면 DFR테이프(100)의 패턴을 따라 전극 형성물질(106')의 패턴이 형성된다.(공정:ST5)When the sand blast process using the sand of the fine particles is performed while the pattern is formed by the remaining DFR tape 100, the pattern of the electrode forming material 106 ′ is formed along the pattern of the DFR tape 100. (Process: ST5)

그리고 최종 적으로 남아있는 DFR테이프(100)를 제거후 건조시킴으로서 균일한 선폭의 어드레스전극(106)이 완성되게 된다.(공정:ST6)Finally, the remaining DFR tape 100 is removed and dried to complete the address electrode 106 having a uniform line width. (Step: ST6)

상기 공정에 있어서, 전극의 패턴 형성을 위해 박막의 DFR테이프(100)를 부착하는 것이 원하는 선폭(Pitch)의 패턴을 형성하는데 유리하게 되는 것이다.In the above process, it is advantageous to attach the thin film DFR tape 100 to form the pattern of the electrode to form the pattern of the desired line pitch.

한편 비교예로서, 즉 종래의 전극 형성공정에서는 전극의 패턴을 형성한 후의 소성공정을 거치는 과정에서 전극 선폭의 불균일이 발생하였던 것과는 달리, 본 발명은 먼저 소성공정을 실시하고 연마재에 의한 전극의 패턴을 형성시킴으로 균일한 전극이 형성될 수 있게됨을 알 수 있다.On the other hand, as a comparative example, that is, in the conventional electrode forming process, the non-uniformity of the electrode line width occurred during the firing process after forming the electrode pattern, the present invention first performs the firing process and then the electrode pattern by the abrasive It can be seen that by forming a uniform electrode can be formed.

이 결과에서, 본 발명에 의하면 균일성이 뛰어난 전극 패턴을 형성시킬 수 있으므로 고정세의 전극구조에 유리하게 되고, 전극의 단락현상을 방지할 수 있게되어 방전 전류의 도통 불량으로 인한 오방전을 방지할 수 있게 된다.As a result, according to the present invention, it is possible to form an electrode pattern excellent in uniformity, which is advantageous to a high-definition electrode structure, and it is possible to prevent short circuiting of the electrode, thereby preventing mis-discharge due to poor conduction of discharge current. You can do it.

그리고, 상기에서 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.In addition, while specific embodiments of the present invention have been described and illustrated above, it is obvious that the present invention may be variously modified and implemented by those skilled in the art.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구범위 안에 속한다 해야 할 것이다.Such modified embodiments should not be individually understood from the technical spirit or the prospect of the present invention, and such modified embodiments should fall within the appended claims of the present invention.

이상 설명한 바와같이 본 발명의 전극 형성방법은 균일성이 뛰어난 전극의 선폭을 유지할 수 있게 되어 고정세에 유리하고 전극의 단락 발생율이 저감된 전극 패턴을 형성시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the electrode forming method of the present invention can maintain the line width of the electrode having excellent uniformity, which is advantageous in high definition and has the effect of forming an electrode pattern having a low occurrence rate of short circuit of the electrode.

Claims (3)

기판 글라스상에 전극 형성물질을 전면 형성하는 공정;Forming an electrode forming material on the substrate glass; 상기 기판을 소성 및 건조하는 공정;Firing and drying the substrate; 상기 전극 형성물질상에 광 반응물질을 전면 형성하는 공정;Forming an entire photoreactive material on the electrode forming material; 상기 광 반응물질을 일정 패턴으로 노광하는 공정;Exposing the photoreactive material in a predetermined pattern; 상기 노광 후 광 반응물질을 현상하는 공정;Developing the photoreactive material after the exposure; 상기 현상 후 연마재를 이용하여 전극 형성물질의 패턴을 형성하는 공정;및Forming a pattern of an electrode forming material by using an abrasive after the development; and 잔류하는 상기 광 반응물질을 제거하고 건조하는 공정이 포함되어 전극을 형성시킴을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치의 전극 형성방법.Removing the remaining photoreactive material and drying the electrode to form an electrode; 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광 반응물질을 일정 패턴으로 노광하는 공정은 패턴이 형성된 포토마스크를 대고 노광을 실시함을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치의 전극 형성방법.And exposing the photoreactive material in a predetermined pattern to expose the patterned photomask. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전극 형성물질상에 형성되는 상기 광 반응물질은 고체상태 인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치의 전극 형성방법.And the photoreactive material formed on the electrode forming material is in a solid state.
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