KR0142830B1 - Lcd device cleaning apparatus and its production method - Google Patents
Lcd device cleaning apparatus and its production methodInfo
- Publication number
- KR0142830B1 KR0142830B1 KR1019940040523A KR19940040523A KR0142830B1 KR 0142830 B1 KR0142830 B1 KR 0142830B1 KR 1019940040523 A KR1019940040523 A KR 1019940040523A KR 19940040523 A KR19940040523 A KR 19940040523A KR 0142830 B1 KR0142830 B1 KR 0142830B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- liquid crystal
- display panel
- crystal display
- substrate
- cleaning
- Prior art date
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 41
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims abstract description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 24
- 239000003599 detergent Substances 0.000 claims description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 claims 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 4
- 238000006748 scratching Methods 0.000 abstract description 2
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/20—Cleaning of moving articles, e.g. of moving webs or of objects on a conveyor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/041—Cleaning travelling work
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
본발명은 액정표시장치 판넬 세척장치 및 그를 이용한 액정표시장치 판넬 제조방법에 관한 것으로서, 하나의 기판에 다수개의 단위셀들이 형성되어 있는 액정표시장치 판넬의 상,하측 액정기판에 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 스크라이브 공정시 생성된 기판 가루를 제거하기 위하여 건조부와 세척액 분사장치 및 브러싱부로 형성된 세척 장치에 아암을 사용하여 상하로 이동시키며, 기판 가루들을 제거하고, 다음 절단 공정을 진행하여 액정표시장치 판넬을 형성하였으므로, 스크라이브 공정에서 생성되는 기판가루들이 제거되어 기판 가루에 의한 기판의 스크래치나, 액정 및 장비의 오염을 방지하여 공정수율 및 소자동작의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The present invention relates to a liquid crystal display panel cleaning device and a method for manufacturing a liquid crystal display panel using the same, and forms a scribe line on the upper and lower liquid crystal substrate of the liquid crystal display panel having a plurality of unit cells formed on one substrate In order to remove the substrate powder generated during the scribing process, the cleaning device formed by the drying unit, the cleaning liquid spraying device, and the brushing unit is moved up and down using an arm, the substrate powder is removed, and the next cutting process is performed to perform the liquid crystal display device. Since the panel is formed, the substrate powder generated in the scribing process is removed to prevent scratching of the substrate by contamination of the substrate or contamination of the liquid crystal and equipment, thereby improving process yield and reliability of device operation.
Description
제1도는 본발명에 따른 액정표시장치 판넬의 세정장치 및 세정방법을 설명하기 위한 개략도.1 is a schematic view for explaining a cleaning apparatus and a cleaning method of a liquid crystal display panel according to the present invention.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1:액정표시장치 판넬 10:세척장치 몸체1: LCD panel 10: washing machine body
11:관통홀 20:건조부11: Through-hole 20: Drying section
21;송풍구 30:세척액 분사장치21; blower 30: washing liquid injector
31:세척액 분사구 40:브러싱부31: washing liquid injection port 40: brushing part
41:원통형 브러쉬 50:아암41: cylindrical brush 50: arm
본발명은 액정표시장치(Liquid Crystal Display: 이하 LCD라 칭함) 판넬 세정장치 및 그를 이용한 세정방법에 관한 것으로서, 특히 상, 하측액정기판의 사이에 액정이 밀봉되어 있는 다수개의 단위셀들이 하나의 기판에 형성되며, 상기 각각의 단위셀들을 다이어몬드 휠(wheel)로 스크라이브하고, 기판 가루를 세척한 후, 절단공정을 진행하여 기판 가루에 의한 스크래치 등의 불량을 방지하여 공정수율을 향상시킬 수 있는 LCD 판넬 세정장치 및 그를 이용한 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display (LCD) panel cleaning apparatus and a cleaning method using the same, in particular, a plurality of unit cells in which the liquid crystal is sealed between the upper and lower liquid crystal substrate is a substrate It is formed in, and each unit cell scribed with a diamond wheel (wheel), after washing the substrate powder, and proceeds the cutting process to prevent defects such as scratches by the substrate powder to improve the process yield It relates to an LCD panel cleaning device and a manufacturing method using the same.
평판표시장치(flat pannel display)의 일종인 LCD는 액체의 유동성과 결정의 광학적 성질을 겸비하는 액정에 전계를 가하여 광학적 이방성을 변화시키는 장치로서, 종래 음극선관(Cathode Ray Tube)에 비해 소비전력이 낮고, 부피가 작으며, 대형화 및 고정세화가 가능하여 널리 사용되고 있다.LCD, which is a kind of flat pannel display, is a device that changes the optical anisotropy by applying electric field to liquid crystal that combines liquidity and optical properties of crystal, and consumes more power than conventional cathode ray tube. Its low volume, small size, large size and high definition make it widely used.
일반적으로 LCD는 화소전극이 형성되어 스위칭 소자와 연결되어 있는 하측 액정기판과 공통전극이 형성되어 있는 상측 액정기판의 사이에 액정이 밀봉되어 있는 형태로 구성된다.In general, LCDs are configured in such a manner that liquid crystal is sealed between a lower liquid crystal substrate having pixel electrodes formed therein and connected to a switching element, and an upper liquid crystal substrate having common electrodes formed thereon.
상기와 같은 LCD 판넬은 통상 하나의 기판에 다수개의 단위셀들이 형성된다.In the LCD panel as described above, a plurality of unit cells are formed on one substrate.
따라서 단위셀들 사이의 상,하측 액정기판에서 스크라이브 라인으로 예정되어 있는 부분을 다이어몬드 휠을 사용하여 각각 차례로 스크라이브 한 후, 우레탄 제질의 바로 충격을 가하여 각각의 단위셀로 절단하고, 단위셀들의 셀갭에 액정을 주입하여 엔드실로 밀봉하였다.Therefore, after scribed portions of the upper and lower liquid crystal substrates between the unit cells as the scribe lines, respectively, using diamond wheels, they are cut into individual unit cells by immediately impacting urethane material. Liquid crystal was injected into the cell gap and sealed with the end chamber.
종래에는 상기 스크라이브 공정후, 제작자가 솔을 사용하여 상기 스크라이브 공정에 의해 생성된 기판 가루들을 제거하고, 절단 공정을 진행하여 단위셀들로 절단하였다.Conventionally, after the scribing process, the manufacturer removes the substrate powder generated by the scribing process using a brush, and proceeds to the cutting process to cut into unit cells.
따라서 완전하게 제거되지 않은 기판 가루가 다음 공정에 남아 있게 되는데, 기판은 유리 또는 석영을 사용하므로, 기판에 스크래치가 발생되거나, 액정이나 장비를 오염시켜 공정수율 및 소자동작의 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있다.Therefore, the substrate powder, which is not completely removed, remains in the next process. Since the substrate is made of glass or quartz, scratches may occur on the substrate, or the liquid crystal or equipment may be contaminated, resulting in poor process yield and reliability of device operation. .
본발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 단위셀들로 분리하기 위한 스크라이브 공정후 기판 가루를 제거하기 위하여 건조부와 세정액 살포부 및 브러싱부로 구성되는 세정장치를 사용하여 스크라이브 공정시 생성되는 기판가루들을 제거하여 기판가루에 의한 기판의 스크레치나 액정 또는 장비의 오염을 방지할 수 있는 LCD 판넬 세정용 장치를 제공함에 있다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention by using a cleaning device consisting of a drying unit, cleaning solution spraying and brushing unit to remove the substrate powder after the scribing process for separating into unit cells The present invention provides an LCD panel cleaning apparatus capable of removing substrate powder generated during a scribing process to prevent scratching of the substrate and contamination of liquid crystal or equipment by the substrate powder.
본발명의 다른 목적은 스크라이브 공정후에 세정장치를 사용하여 기판가루를 제거하여 공정수율 및 소자동작의 신뢰성이 증가되는 LCD 판넬 제조방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing an LCD panel in which a substrate is removed using a cleaning device after a scribing process to increase process yield and reliability of device operation.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본발명에 따른 LCD 판넬 세정장치의 특징은, LCD 판넬의 일측을 잡아 상하로 세척 공정중에 세척장치 몸체의 관통홀 내부에서 상하로 이동시키는 아암과, 상기 LCD 판넬이 삽입되는 관통홀이 상하로 형성되어 있는 세척 장치 몸체와, 상기 몸체의 관통홀을 따라 형성되어 있는 세척 장치 몸체와, 상기 몸체의 관통홀을 따라 형성되어있는 홀들에 공기를 분사하여 LCD 판넬을 건조시키는 건조기와, 상기 건조기의 하측에서 LCD 판넬의 양측으로 세척액을 분사하는 살포기와, 상기 살포기의 하측에서 LCD 판넬 표면의 이물질을 제거하는 브러싱부를 구비함에 있다.Features of the LCD panel cleaning apparatus according to the present invention for achieving the above object, the arm and the LCD panel to move up and down inside the through-hole of the cleaning device body during the cleaning process up and down by holding one side of the LCD panel Drying the LCD panel by injecting air into the cleaning device body having a through hole inserted up and down, the cleaning device body formed along the through hole of the body, and holes formed along the through hole of the body. And a sprayer for spraying the washing liquid to both sides of the LCD panel from the lower side of the dryer, and a brushing unit for removing foreign substances on the surface of the LCD panel from the lower side of the dryer.
다른 목적을 달성하기위한 본발명에 따른 세척장치를 이용한 LCD 판넬제조방법의 특징은, 다수개의 단위셀들이 하나의 기판에 형성되어 있는 LCD 판넬의 상하측 액정기판에서 스크라이브 라인으로 예정되어있는 부분상에 스크라이브 라인들을 형성하는 공정과, 상기 스크라이브 라인들이 형성되어 있는 액정기판을 건조부와 세정액 살포부 및 브러싱부를 구비하는 세척장치로 세척하여 스크라이브 공정에서 생성된 기판 가루들을 제거하고 건조시키는 공정과, 상기 LCD 판넬의 스크라이브 라인을 절단하여 각각의 단위셀들로 분리하는 공정과, 상기 단위셀의 셀갭에 액정을 주입한 후, 밀봉하는 공정을 구비함에 있다.Characteristic of the LCD panel manufacturing method using the cleaning device according to the present invention for achieving the other object is that, in the part that is intended as a scribe line on the upper and lower liquid crystal substrate of the LCD panel in which a plurality of unit cells are formed on one substrate Forming a scribe line on the substrate; washing the liquid crystal substrate on which the scribe lines are formed by a washing apparatus including a drying unit, a cleaning liquid spraying unit, and a brushing unit to remove and dry substrate powders generated in the scribing process; Cutting the scribe line of the LCD panel to separate the unit cells, and injecting liquid crystal into the cell gap of the unit cell, and then sealing the unit line.
이하, 본발명에 따른 LCD 판넬 세척장치 및 그를 이용한 제조방법에 관하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an LCD panel cleaning apparatus according to the present invention and a manufacturing method using the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제1도는 본발명에 따른 LCD 판넬 세척 장치를 설명하기 위한 개략도로서, 세척장치와 그를 이용한 제조방법을 연관시켜 설명한다.1 is a schematic view for explaining an LCD panel cleaning apparatus according to the present invention, will be described in association with the cleaning apparatus and the manufacturing method using the same.
먼저, 세척장치는 직육면체 형상의 몸체(10)내에는 LCD 판넬(1)이 상하로 움직이는 통로가 수직한 관통홀(11)이 형성되어 있으며, 상기 관통홀(11)을 따라 순차적으로 세척액 건조를 위한 건조부(20)와 세척액 분사장치(30) 및 브러싱부(40)가 설치되어 있다.First, the washing apparatus has a through-hole 11 in which a passage in which the LCD panel 1 moves up and down is formed in the body 10 having a rectangular parallelepiped shape, and drying of the washing liquid sequentially along the through-hole 11. Drying unit 20, the washing liquid injection device 30 and the brushing portion 40 is provided for.
또한 상기 LCD 판넬(1)의 일측을 파지하여 상기 관통홀(11)의 상하로 이동시키는 아암(50)이 상기 세척장치의 일측에 설치되어 있으며, 상기 건조부(20)는 상기 관통홀(110의 따라 형성되어있는 다수개의 송풍구(21)을 통하여 열풍을 분사하여 LCD 판넬(1)에 남아있는 세척액을 건조시키고, 상기 세척액 분사장치(30)는 다수개의 세척액 분사구(21)을 통하여 순수와 혼합된 중성세제를 분사하며, 그 하측의 브러싱부(40)는 두개의 마주보는 원통형 브러시(41)가 고속회전하며 LCD 판넬(1)의 표면s에서 이물질을 제거한다.In addition, an arm 50 for holding one side of the LCD panel 1 and moving up and down the through hole 11 is installed at one side of the washing apparatus, and the drying unit 20 has the through hole 110. The hot air is sprayed through a plurality of blowers 21 formed according to the drying of the washing liquid remaining in the LCD panel 1, and the washing liquid spraying device 30 is mixed with pure water through the plurality of washing liquid spraying holes 21. The neutral detergent is sprayed, and the lower brushing part 40 removes foreign substances from the surfaces s of the LCD panel 1 by rotating two opposite cylindrical brushes 41 at high speed.
따라서 스크라이브 라인이 형성된 LCD 판넬(1)의 일측을 아암(50)이 파지하여 상기 세척장치 몸체(10)의 관통홀(11)의 상측에서 하측으로 하강시키며, 이때 상기 세척액 분사장치(30)가 LCD 판넬(1)에 중성세제와 혼합된 세척액을 분사한다.Therefore, the arm 50 grips one side of the LCD panel 1 in which the scribe line is formed, and then descends from the upper side of the through hole 11 of the washing apparatus body 10 to the lower side, wherein the washing liquid spraying device 30 is Spray washing solution mixed with neutral detergent to LCD panel (1).
그다음 상기 LCD 판넬(1)이 계속적으로 하강하여 상기 브러시(41)에 의해 양면이 세척되어 스크라이브 공정에서 생성된 기판가루들이 제거되고, 다시 아암(50)이 상승하여 상기 건조부(20)에서 LCD 판넬(1)의 세척액을 제거한다.Then, the LCD panel 1 is continuously lowered and both surfaces are washed by the brush 41 to remove the substrate powder generated in the scribing process, and the arm 50 is raised to raise the LCD in the drying unit 20. Remove the wash solution from the panel (1).
이때 상기 세척액 분사장치(30)에서 브러싱된 LCD 판넬(1)에 순수를 분사하도록 할 수도 있다.At this time, the washing liquid spraying device 30 may be to spray the pure water to the brushed LCD panel (1).
그후, 상기 세척된 LCD 판넬(1)을 우레탄으로된 절단기로 스크라이브 라인을 가격하여 각각의 단위셀로 분리하고 액정을 주입한 후, 밀봉한다.Thereafter, the washed LCD panel 1 is squeezed with a urethane cutter to separate the scribe lines into respective unit cells, inject liquid crystal, and then seal.
이상에서 설명한 바와 같이, 본발명에 따른 LCD 판넬 세척장치 및 그를 이용한 세척 공정은 하나의 기판에 다수개의 단위셀들이 형성되어 있는 LCD 판넬의 상,하측 액정기판에 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 스크라이브 공정시 생성된 기판 가루를 제거하기 위하여 건조부와 세척액 분사장치 및 브러싱부로 형성된 세척 장치에 아암을 사용하여 상하로 이동시키며, 기판 가루들을 제거하고, 다음 절단 공정을 진행하여 LCD 판넬을 형성하였으므로, 스크라이브 공정에서 생성되는 기판가루들이 제거되어 기판 가루에 의한 기판의 스크래치나, 액정 및 장비의 오염을 방지하여 공정수율 및 소자동작의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.As described above, the LCD panel cleaning apparatus and the cleaning process using the same according to the present invention form a scribe line on the upper and lower liquid crystal substrate of the LCD panel in which a plurality of unit cells are formed on one substrate, the scribe process In order to remove the substrate powder generated during the movement, the cleaning device formed by the drying unit, the cleaning liquid injector, and the brushing unit was moved up and down using an arm, the substrate powder was removed, and the next cutting process was performed to form an LCD panel. The substrate powder generated in the process is removed to prevent scratches of the substrate by the substrate powder or contamination of the liquid crystal and the equipment, thereby improving process yield and reliability of device operation.
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940040523A KR0142830B1 (en) | 1994-12-31 | 1994-12-31 | Lcd device cleaning apparatus and its production method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940040523A KR0142830B1 (en) | 1994-12-31 | 1994-12-31 | Lcd device cleaning apparatus and its production method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960024541A KR960024541A (en) | 1996-07-20 |
KR0142830B1 true KR0142830B1 (en) | 1998-07-15 |
Family
ID=19406198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019940040523A KR0142830B1 (en) | 1994-12-31 | 1994-12-31 | Lcd device cleaning apparatus and its production method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR0142830B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100529564B1 (en) * | 1998-11-12 | 2006-01-27 | 삼성전자주식회사 | Liquid Crystal Display Manufacturing Method |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101931735B1 (en) | 2017-03-31 | 2018-12-21 | 주식회사 토비스 | a stretched display panel and a manufacturing method of the same |
-
1994
- 1994-12-31 KR KR1019940040523A patent/KR0142830B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100529564B1 (en) * | 1998-11-12 | 2006-01-27 | 삼성전자주식회사 | Liquid Crystal Display Manufacturing Method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR960024541A (en) | 1996-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20080057496A (en) | Cleaning brush, apparatus and system for cleaning glass comprising the same | |
KR0142830B1 (en) | Lcd device cleaning apparatus and its production method | |
CN201020465Y (en) | Rolling brush cleaning unit for cleaning device | |
JP2007047353A (en) | Manufacturing method for electro-optical device, and washing device for electro-optical panel | |
KR20080109495A (en) | Ion air knife and cleaning system of glass using the same | |
US6625836B1 (en) | Apparatus and method for cleaning substrate | |
KR20050066267A (en) | Apparatus for cleaning in liquid crystal display device | |
JPH07120739A (en) | Method for washing transparent substrate | |
KR100256299B1 (en) | Particle removing device | |
KR101264795B1 (en) | Cleaner for mask | |
KR20060000936A (en) | Apparatus and method cleaning of substartes | |
KR101002003B1 (en) | Apparatus And Method For Cleaning Nozzle | |
KR101184063B1 (en) | Apparatus For Fabricating Liquid Crystal Display Panel | |
KR20070070504A (en) | An apparatus for cleaning a substrate and method of manufacturing liquid crystal display device using the same | |
KR100760475B1 (en) | Ion Blower for Liquid Crystal Display Device | |
KR100987674B1 (en) | Apparatus And Method For Cleaning Nozzle | |
KR100760931B1 (en) | Method for fabricating liquid crystal display panel | |
KR101257932B1 (en) | Cleaning apparatus | |
KR100813026B1 (en) | Apparatus for cleaning | |
JP4200740B2 (en) | Substrate cleaning apparatus and cleaning method in liquid crystal display device | |
JP2002350805A (en) | Device and method for cleaning transparent substrate | |
JPH0370800A (en) | Cleaning agent for liquid crystal cell and cleaning | |
KR20020000196A (en) | Method cleaning Liquid Chrystal Display using Laser and HCl Annealing | |
CN110164630A (en) | A kind of processing unit (plant) and method of minute yardstick ITO electrode | |
JP2001296536A (en) | Method for manufacturing liquid crystal device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |