JPS6390759A - 超音波探触子およびその製造方法 - Google Patents
超音波探触子およびその製造方法Info
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- JPS6390759A JPS6390759A JP61236142A JP23614286A JPS6390759A JP S6390759 A JPS6390759 A JP S6390759A JP 61236142 A JP61236142 A JP 61236142A JP 23614286 A JP23614286 A JP 23614286A JP S6390759 A JPS6390759 A JP S6390759A
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- electrodes
- electrode
- ultrasonic probe
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2437—Piezoelectric probes
- G01N29/245—Ceramic probes, e.g. lead zirconate titanate [PZT] probes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は複合圧電体を用いた超音波探触子、特に電極を
ストライプ状、もしくは多重リング状などに分離して設
けることにより独立に動作可能な複数の圧電振動子を形
成した多素子型超音波探触子およびその製法に関する。
ストライプ状、もしくは多重リング状などに分離して設
けることにより独立に動作可能な複数の圧電振動子を形
成した多素子型超音波探触子およびその製法に関する。
従来の複合圧電体を用いた超音波探触子は、特開昭５８
−２２０４６や特開昭６０−１１４２３９にあるように
。
−２２０４６や特開昭６０−１１４２３９にあるように
。
短冊状電極やリング状電極のものが知られている。
複合圧電体中の柱状圧電体が密に配列されている場合に
は電極形成が困難となったり、複合圧電体のフレキシブ
ル性が低下するが、上記従来技術はこれらの欠点につい
て配慮されていなかった。
は電極形成が困難となったり、複合圧電体のフレキシブ
ル性が低下するが、上記従来技術はこれらの欠点につい
て配慮されていなかった。
本発明の目的はこれらの問題を解決することにある。
上記目的は、複合圧電体上に一面に電極の形成された複
合圧電体に溝を形成し、電極を所望形状に分割すること
により達成される。
合圧電体に溝を形成し、電極を所望形状に分割すること
により達成される。
本発明によれば、柱状圧電体が密に配列された複合圧電
体においても上記溝幅を狭く形成することにより電極分
離を完全に行うことができ、また。
体においても上記溝幅を狭く形成することにより電極分
離を完全に行うことができ、また。
溝により複合圧電体の変形も容易となり、より曲率半径
の小さい曲面探触子の実現も可能となる。
の小さい曲面探触子の実現も可能となる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。１０
１は複合圧電体で柱状圧電体１０２が有機物１０３中ト
多数理め込まれ、さらにストライプ状電極１０４ａと１
０４ｂを分離するための溝１０５ａが形成されている。
１は複合圧電体で柱状圧電体１０２が有機物１０３中ト
多数理め込まれ、さらにストライプ状電極１０４ａと１
０４ｂを分離するための溝１０５ａが形成されている。
従来は蒸着により電極１０４が形成されていたが、これ
に用いるマスクの幅は５０μｍ程度が限度でそれ以上細
くすることは困難でありまたマスクの変形もあり、蒸着
では精度良く電極１０４を形成することは非常に困難で
あった。たとえば、圧電体１０２間の間隙を３０μｍ程
度にした場合、従来のマスク蒸着ではマスクの幅が５０
μｍ程度以上であるため、どうしても電極が一部分にし
か形成されていない圧電体１０２が存在し、そのため複
合圧電体１０１の特性を低下させる原因となっていた。
に用いるマスクの幅は５０μｍ程度が限度でそれ以上細
くすることは困難でありまたマスクの変形もあり、蒸着
では精度良く電極１０４を形成することは非常に困難で
あった。たとえば、圧電体１０２間の間隙を３０μｍ程
度にした場合、従来のマスク蒸着ではマスクの幅が５０
μｍ程度以上であるため、どうしても電極が一部分にし
か形成されていない圧電体１０２が存在し、そのため複
合圧電体１０１の特性を低下させる原因となっていた。
本発明ではダイシングソーによるカッティングにより、
容易に圧電体１０２間の間隙より狭い１０５が形成され
完全に電極分離が達成される。
容易に圧電体１０２間の間隙より狭い１０５が形成され
完全に電極分離が達成される。
さらに溝１０５が形成されているため、第１図Ｘ方向の
フレキシブル性が増す「第４３回日本超音波医学会溝演
論文集４３−Ｃ−７０Ｊ、にも示されるように、振動子
がストライプ状電極の配列方向（すなわち第１図のＸ方
向）に凸面に配列されたコンベックス探触子の有用性が
知られている。
フレキシブル性が増す「第４３回日本超音波医学会溝演
論文集４３−Ｃ−７０Ｊ、にも示されるように、振動子
がストライプ状電極の配列方向（すなわち第１図のＸ方
向）に凸面に配列されたコンベックス探触子の有用性が
知られている。
最近ではさらにコンベックス探触子の曲率半径を小さく
することが望まれるようになっているが。
することが望まれるようになっているが。
本発明によればフレキシブル性がより高くなるので、よ
り小さな曲率半径のコンベックス探触子を構成すること
に非常に有利となる。
り小さな曲率半径のコンベックス探触子を構成すること
に非常に有利となる。
第２図に製造方法を示す、（Ａ）のように複合圧電体１
０１上に全面に電極２０１を形成し、（Ｂ）のようにダ
イシングソーで溝１０５を形成する。ここで２０２はダ
イシングソーの刃（ブレードと呼ばれる）で、高速回転
しながら、Ｘ方向と直交する方向に溝１０５を形成して
いき、同時にストライプ状電極１０４ａ、１０４ｂ・・
・が形成されていく、ブレード２０２は１５μｍ程度か
らあるので、前述のマスク蒸着のような問題は生じない
、さらに、フレキシブル性が高いことだけが望まれるよ
うな場合には、溝１０５は必ずしも柱状圧電体１０２の
間に形成される必要はなく、また溝１０５が圧電体１０
２の配列に対して斜め方向に形成することも可能で、た
とえば（Ｃ）のようになる、（Ｃ）は複合圧電体１０１
を上から見たもので、電極２０１を省略している。線２
０３あるいは２０４の方向にカッティング溝を形成して
いればよい。
０１上に全面に電極２０１を形成し、（Ｂ）のようにダ
イシングソーで溝１０５を形成する。ここで２０２はダ
イシングソーの刃（ブレードと呼ばれる）で、高速回転
しながら、Ｘ方向と直交する方向に溝１０５を形成して
いき、同時にストライプ状電極１０４ａ、１０４ｂ・・
・が形成されていく、ブレード２０２は１５μｍ程度か
らあるので、前述のマスク蒸着のような問題は生じない
、さらに、フレキシブル性が高いことだけが望まれるよ
うな場合には、溝１０５は必ずしも柱状圧電体１０２の
間に形成される必要はなく、また溝１０５が圧電体１０
２の配列に対して斜め方向に形成することも可能で、た
とえば（Ｃ）のようになる、（Ｃ）は複合圧電体１０１
を上から見たもので、電極２０１を省略している。線２
０３あるいは２０４の方向にカッティング溝を形成して
いればよい。
第３図は多重リング状に電極が形成された場合の平面図
を示している。３ｏ１はリング状電極であり、３０２は
電極３０１間の溝である。この場合は、ダイシングソー
は使えないが、第２図と同じように１０１の面に電極（
この場合は円形）を形成した後超音波加工を用いて溝を
形成することが可能である。超音波加工では、３０２の
幅はかなり大きくなるが、フレキシブル性が増すことは
いうまでもない。
を示している。３ｏ１はリング状電極であり、３０２は
電極３０１間の溝である。この場合は、ダイシングソー
は使えないが、第２図と同じように１０１の面に電極（
この場合は円形）を形成した後超音波加工を用いて溝を
形成することが可能である。超音波加工では、３０２の
幅はかなり大きくなるが、フレキシブル性が増すことは
いうまでもない。
本発明の特徴は溝の形成された電極付複合圧電体を用い
て徴音波探触子を構成する点にある。探触子を構成する
には複合圧電体をバッキング材と呼ばれる支持台上に接
着したり、リード線の取り出しなどが必要である。ここ
では具体的な構成方法については略するが、たとえば特
開昭５８−２２２０７７などの方法を用いて探触子を構
成できる。
て徴音波探触子を構成する点にある。探触子を構成する
には複合圧電体をバッキング材と呼ばれる支持台上に接
着したり、リード線の取り出しなどが必要である。ここ
では具体的な構成方法については略するが、たとえば特
開昭５８−２２２０７７などの方法を用いて探触子を構
成できる。
（発明の効果〕
以上のべたように、本発明によれば、複合圧電体による
性能の良い超微音波探触子を容易に実現することが可能
である。
性能の良い超微音波探触子を容易に実現することが可能
である。
第１図はストライプ状電極を形成してなる本発明の実施
例の複合圧電体探触子の斜視図、第２図はその製造方法
を示す工程説明図、第３図は多重リング状電極を形成し
てなる本発明による実施例の複合圧電体探触子の平面図
である。 １０１・・・複合圧電体、１０２・・・柱状圧電体、１
０３・・・有機物、１０４・・・ストライプ状電極、１
０５゜３０２・・・溝、２０１・・・電極、２０２・・
・ブレード。 ３０１・・・多重リング状電極。 早 ３ の （Ｃ）
例の複合圧電体探触子の斜視図、第２図はその製造方法
を示す工程説明図、第３図は多重リング状電極を形成し
てなる本発明による実施例の複合圧電体探触子の平面図
である。 １０１・・・複合圧電体、１０２・・・柱状圧電体、１
０３・・・有機物、１０４・・・ストライプ状電極、１
０５゜３０２・・・溝、２０１・・・電極、２０２・・
・ブレード。 ３０１・・・多重リング状電極。 早 ３ の （Ｃ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、柱状の圧電体が多数有機物中に埋め込まれた構成の
複合圧電体上に複数の電極が存在し、該電極の間隙に溝
が形成されるとともに、該溝がある深さに形成された複
合圧電体を用いて構成されたことを特徴とする超音波探
触子。 ２、柱状の圧電体を複数個有機物中に埋め込んでなる複
合圧電体の一面に電極を形成した後、該電極を導入れ加
工によつて分割することを特徴とする超音波探触子の製
造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61236142A JPS6390759A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | 超音波探触子およびその製造方法 |
| US07/100,238 US4801835A (en) | 1986-10-06 | 1987-09-23 | Ultrasonic probe using piezoelectric composite material |
| DE19873733776 DE3733776A1 (de) | 1986-10-06 | 1987-10-06 | Ultraschallsonde |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61236142A JPS6390759A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | 超音波探触子およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6390759A true JPS6390759A (ja) | 1988-04-21 |
Family
ID=16996380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61236142A Pending JPS6390759A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | 超音波探触子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6390759A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63209634A (ja) * | 1987-02-26 | 1988-08-31 | 株式会社東芝 | 超音波探触子 |
| WO1994013411A1 (en) * | 1992-12-11 | 1994-06-23 | University Of Strathclyde | Ultrasonic transducer |
| CN110261488A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-09-20 | 中国石油大学(北京) | 垂直剪切两分量横波超声换能器及其制备方法 |
-
1986
- 1986-10-06 JP JP61236142A patent/JPS6390759A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63209634A (ja) * | 1987-02-26 | 1988-08-31 | 株式会社東芝 | 超音波探触子 |
| WO1994013411A1 (en) * | 1992-12-11 | 1994-06-23 | University Of Strathclyde | Ultrasonic transducer |
| CN110261488A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-09-20 | 中国石油大学(北京) | 垂直剪切两分量横波超声换能器及其制备方法 |
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