JPS6367810A - 表面弾性波共振フイルタ - Google Patents
表面弾性波共振フイルタInfo
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- JPS6367810A JPS6367810A JP62214149A JP21414987A JPS6367810A JP S6367810 A JPS6367810 A JP S6367810A JP 62214149 A JP62214149 A JP 62214149A JP 21414987 A JP21414987 A JP 21414987A JP S6367810 A JPS6367810 A JP S6367810A
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 40
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 40
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 abstract description 10
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
- H03H9/02771—Reflector banks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、少くとも２つの金属化ストライプから成る
反射構造と少くとも１つのすだれ状電極変換器が圧電材
料の基板に設けられ、弾性波がこの基板内を金属化スト
ライプに垂直の方向に伝搬し、金属化ストライプはこの
伝搬方向に対して横方向において複数回分断され、少く
とも１つの反射構造に対して少くともその一部分に中断
部が多数の金属膜ストライプに互に分散してｙ方向に設
けられ、これらのストライプがいくつかの部分片に分割
されている表面弾性波共振フィルタに関するものである
。
反射構造と少くとも１つのすだれ状電極変換器が圧電材
料の基板に設けられ、弾性波がこの基板内を金属化スト
ライプに垂直の方向に伝搬し、金属化ストライプはこの
伝搬方向に対して横方向において複数回分断され、少く
とも１つの反射構造に対して少くともその一部分に中断
部が多数の金属膜ストライプに互に分散してｙ方向に設
けられ、これらのストライプがいくつかの部分片に分割
されている表面弾性波共振フィルタに関するものである
。
この種の表面弾性波共振フィルタは欧州特許出願公開第
０１２４０１９号明細書により公知である。この文献に
は更に上記の共振フィルタの基礎となる技術が記載され
ている。
０１２４０１９号明細書により公知である。この文献に
は更に上記の共振フィルタの基礎となる技術が記載され
ている。
長さ方向において分断されたフィンガ電極又は共振スト
ライブを備える別の表面弾性波デバイスも西独国特許出
側公開第３４０４６１８号（特開昭６０−１８２２１２
号）公報および米国特許第４２６７５３４号明細書によ
り公知である。この米国特許明細書のものは文献「エレ
クトロニクス・レターズ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌ
ｅｔｔｅｒ） Ｊ ＶＯｌ、 １６ （１９８０年）、
７９３−７９４頁に記載されているものに対応する。
ライブを備える別の表面弾性波デバイスも西独国特許出
側公開第３４０４６１８号（特開昭６０−１８２２１２
号）公報および米国特許第４２６７５３４号明細書によ
り公知である。この米国特許明細書のものは文献「エレ
クトロニクス・レターズ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌ
ｅｔｔｅｒ） Ｊ ＶＯｌ、 １６ （１９８０年）、
７９３−７９４頁に記載されているものに対応する。
米国特許第４３６５２２０号明細書により弾性波伝搬方
向に垂直の方向に屈折させるフィンガ電極又は反射フィ
ンガを備える表面弾性波デバイスが公知であるが、この
フィンガ電極には階段状の詰め物があり長さ方向の中断
部は設けられていない。この明細書の第９ｂ図に示され
ている実施例には種々の大きさの間隙をもつフィンガ中
断部力く設けられているが、そこに示されている個々の
フィンガ電極の部分片は互に分離されている。
向に垂直の方向に屈折させるフィンガ電極又は反射フィ
ンガを備える表面弾性波デバイスが公知であるが、この
フィンガ電極には階段状の詰め物があり長さ方向の中断
部は設けられていない。この明細書の第９ｂ図に示され
ている実施例には種々の大きさの間隙をもつフィンガ中
断部力く設けられているが、そこに示されている個々の
フィンガ電極の部分片は互に分離されている。
（発明が解決しようとする問題点）
上記の欧州特許出願公開第０１２４０１９号公報による
表面波共振フィルタはその電気的フィルタ特性に関して
改良の余地があることが明らかとなった。この発明はか
かる改良を図ることにある。
表面波共振フィルタはその電気的フィルタ特性に関して
改良の余地があることが明らかとなった。この発明はか
かる改良を図ることにある。
この改良は特許請求の範囲第１項に示されている構成と
することによって実現される。
することによって実現される。
この発明は欧州特許出願公開第０１２４０１９号公報に
よる表面弾性波共振フィルタの改良はある程度まで反射
構造の反射性能の低下に基くものであるとの知見に基く
ものである。研究の結果この反射構造の金属膜ストライ
プの部分片のうち浮′ｆｉＷ位のもの即ち電気結合され
ていないものの電位を隣り合せる金属膜ストライプの隣
接部分片に対して固定することにより一層の改善が達成
されることが確められた。
よる表面弾性波共振フィルタの改良はある程度まで反射
構造の反射性能の低下に基くものであるとの知見に基く
ものである。研究の結果この反射構造の金属膜ストライ
プの部分片のうち浮′ｆｉＷ位のもの即ち電気結合され
ていないものの電位を隣り合せる金属膜ストライプの隣
接部分片に対して固定することにより一層の改善が達成
されることが確められた。
この発明によれば２つの隣り合せる金属膜ストライプの
部分片中互に隣接するものが電気的に結合される。各金
属膜ストライプの部分片は更に上記の欧州特許出願に従
って設けられる中断部によって電気的に互に分離される
。特にこの結合用の金属膜は他の金属膜ストライプの別
の部分片と結合されていない２つの隣接金属膜ストライ
プの２つの部分片の間だけに設けられる。従って結合用
の金属膜は２つの隣接金属膜ストライプの部分片の間の
２つの結合用金属膜を通してではなく、各金属膜ストラ
イプの２つの部分片の間の電気結合が作られるように分
布して設けられる。
部分片中互に隣接するものが電気的に結合される。各金
属膜ストライプの部分片は更に上記の欧州特許出願に従
って設けられる中断部によって電気的に互に分離される
。特にこの結合用の金属膜は他の金属膜ストライプの別
の部分片と結合されていない２つの隣接金属膜ストライ
プの２つの部分片の間だけに設けられる。従って結合用
の金属膜は２つの隣接金属膜ストライプの部分片の間の
２つの結合用金属膜を通してではなく、各金属膜ストラ
イプの２つの部分片の間の電気結合が作られるように分
布して設けられる。
この発明の場合総ての反射構造がこの発明に従って構成
されることは必ずしも必要ではなく、弾性波伝搬方向に
見て反射構造の一部だけが中断部と結合用の金属膜を備
えていれば充分である。この反射構造部分には各金属膜
ストライプの中断部と同数の中断部を設けるのが有利で
ある。更に伝搬方向に順次に並ぶいくつかの反射構造部
分をこの発明に従って構成し、これらの部分のそれぞれ
に他の部分の金属膜ストライプの中断数と異る個数の中
断部を設けることも有利である。中断部の数は２から５
の間に選ぶのが有利である。例えば１つの部分は２個の
中断部を持ち、他の１つの部分は５個の中断部を持つこ
とが可能である。反射構造の一部は全熱中断部を持たな
いように構成し、このような反射構造部分をこのような
構造の反射に及ぼす影響が強くない反射構造終端部に置
くことができる。
されることは必ずしも必要ではなく、弾性波伝搬方向に
見て反射構造の一部だけが中断部と結合用の金属膜を備
えていれば充分である。この反射構造部分には各金属膜
ストライプの中断部と同数の中断部を設けるのが有利で
ある。更に伝搬方向に順次に並ぶいくつかの反射構造部
分をこの発明に従って構成し、これらの部分のそれぞれ
に他の部分の金属膜ストライプの中断数と異る個数の中
断部を設けることも有利である。中断部の数は２から５
の間に選ぶのが有利である。例えば１つの部分は２個の
中断部を持ち、他の１つの部分は５個の中断部を持つこ
とが可能である。反射構造の一部は全熱中断部を持たな
いように構成し、このような反射構造部分をこのような
構造の反射に及ぼす影響が強くない反射構造終端部に置
くことができる。
この発明による共振フィルタにおいても中断部の長さは
ほぼフィンガ幅程度に選ぶと有利である。
ほぼフィンガ幅程度に選ぶと有利である。
又ここでも中断部をランダム分布をもって設けることも
有利である。結合用金属膜の幅はフィンガ電極幅程度に
選ぶのが有利である。
有利である。結合用金属膜の幅はフィンガ電極幅程度に
選ぶのが有利である。
この発明の１つの実施例では各金属膜ストライプの末端
に置かれる部分片を母線状に結合するのが推奨される。
に置かれる部分片を母線状に結合するのが推奨される。
この発明の装置では１つの金属膜ストライプのｍ個の中
断部を各ストライプの全長に亘って分布させ、金属膜ス
トライプ全体の第１中断部が第１領域に、第２中断部が
第２頭域にあるというようにする。これらの領域は弾性
波伝搬方向に平行にストライプ状に拡がり、この伝搬方
向に平行に並べて設けられる。例えば２，３．４又は５
個の並行領域は２乃至５個の中断部が各金属膜ストライ
プに作られている反射構造の一部分に設けられているも
ので、等間隔の幅を持つことができる。中断部相互の位
置分布は上記の欧州特許出願の主要な観点となったもの
であり、それぞれの領域に対して採用するのが有利であ
る。例えば各領域において中断部がランダム分布をもっ
て設けられる。これ以外の分布例えば正弦分布を採用す
ることも可能である。反射構造の各部分又はその全体を
このように個々の領域に考えの上で分割することにより
、この発明による結合金属膜を備える共振構造の設計が
容易となる。この領域への分割により各金属膜ストライ
プと隣接する金属膜ストライプの１つの部分片との結合
が確保され、その際浮遊状態の部分片を避けるため１つ
の金属膜ストライプの部分片相互間に電気結合を作る必
要はない。
断部を各ストライプの全長に亘って分布させ、金属膜ス
トライプ全体の第１中断部が第１領域に、第２中断部が
第２頭域にあるというようにする。これらの領域は弾性
波伝搬方向に平行にストライプ状に拡がり、この伝搬方
向に平行に並べて設けられる。例えば２，３．４又は５
個の並行領域は２乃至５個の中断部が各金属膜ストライ
プに作られている反射構造の一部分に設けられているも
ので、等間隔の幅を持つことができる。中断部相互の位
置分布は上記の欧州特許出願の主要な観点となったもの
であり、それぞれの領域に対して採用するのが有利であ
る。例えば各領域において中断部がランダム分布をもっ
て設けられる。これ以外の分布例えば正弦分布を採用す
ることも可能である。反射構造の各部分又はその全体を
このように個々の領域に考えの上で分割することにより
、この発明による結合金属膜を備える共振構造の設計が
容易となる。この領域への分割により各金属膜ストライ
プと隣接する金属膜ストライプの１つの部分片との結合
が確保され、その際浮遊状態の部分片を避けるため１つ
の金属膜ストライプの部分片相互間に電気結合を作る必
要はない。
この発明のこれ以上の詳細は図面から知ることができる
。
。
図面はこの発明による表面弾性波共振フィルタの種々の
形態を示すもので、各符号は次のものを表わす。
形態を示すもので、各符号は次のものを表わす。
１： 共振フィルタ
２： 例えばニオフ′酸リチウムのノ５！反３： すだ
れ状の入力あるいは出力変換器４： 変換器３に対して
弾性波伝搬方向に設けらた反射構造の全体 ５．６： 中断部をもつ反射構凸４の一部分７： 中断
部のない反射構造・１の一部分１１： 金属化ストライ
プの中断部 １２： 反射構造４の金属１１タストライプ１０４：
別の反射構造 ２１乃至２５： 各金属）１々ストライプ４の中断部が
置かれる領域 ２６．２７： 母線 ３０： 結合金属膜 １１２．２１２・・・、６１２： すだれ状電掻部分
片
れ状の入力あるいは出力変換器４： 変換器３に対して
弾性波伝搬方向に設けらた反射構造の全体 ５．６： 中断部をもつ反射構凸４の一部分７： 中断
部のない反射構造・１の一部分１１： 金属化ストライ
プの中断部 １２： 反射構造４の金属１１タストライプ１０４：
別の反射構造 ２１乃至２５： 各金属）１々ストライプ４の中断部が
置かれる領域 ２６．２７： 母線 ３０： 結合金属膜 １１２．２１２・・・、６１２： すだれ状電掻部分
片
図面はこの発明による表面弾性波共振フィルタの実施例
を示すもので、１は共振フィルタ、２は基板、３はすだ
れ状電極変換器、４は反射構造、５と６は反射構造の部
分である。 宇ジ；、：’ ｊＦ
を示すもので、１は共振フィルタ、２は基板、３はすだ
れ状電極変換器、４は反射構造、５と６は反射構造の部
分である。 宇ジ；、：’ ｊＦ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）少くとも２つの金属膜ストライプから成る反射構造
と少くとも１つのすだれ状電極変換器が圧電材料の基板
に設けられ、弾性波はこの基板内を金属膜ストライプに
対して垂直のｘ方向に伝搬し、金属膜ストライプはこの
伝搬方向を横切るｙ方向において複数回分断され、少く
とも１つの反射構造に対して少くともその一部分に中断
部が多数の金属膜ストライプに互に分散してｙ方向に設
けられ、これらのストライプがいくつかの部分片に分割
されている表面弾性波共振フィルタにおいて、反射構造
が弾性波伝搬方向に見てその一部 分の区域において金属膜ストライプと同数の中断部を備
えていること、 この一部分が中断部と同数の弾性波伝搬方 向に平行するストライプに想定上分割され、これらのス
トライプの１つの区域にはそれぞれ分割された金属膜ス
トライプの中断部が１つだけ存在すること、 これらの中断部がそれぞれのストライプ内 に互に分散して設けられていること、 隣り合せる金属膜ストライプの隣接部分片 の間に弾性波伝搬方向に伸びる結合金属膜が設けられ、
それによって１つの金属膜ストライプの各部分片が電気
的に連結されているが２つの部分片の電気的結合に同一
の金属膜ストライプが使用されるような結合は存在しな
いこと、 を特徴とする表面弾性波共振フィルタ。 ２）反射構造の１つが中断部を持つ金属膜ストライプの
多数と部分片間の結合金属膜を備える部品を複数個含み
、これらの部品が互に異る個数の金属膜ストライプ中断
部を備えていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の表面弾性波共振フィルタ。 ３）反射構造も中断部のない部品を１つ備えていること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の表面弾性波共
振フィルタ。 ４）中断部の数が２と５の間であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項乃至第３項の１つに記載の表面弾性
波共振フィルタ。 ５）反射構造の１つのストライプ内の中断部がランダム
分布をもって設けられていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項乃至第４項の１つに記載の表面弾性波共振
フィルタ。 ６）末端の部分片の結合金属膜が母線の形に作られてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第５項の
１つに記載の表面弾性波共振フィルタ。 ７）金属膜ストライプの分断がほぼストライプ幅の大き
さをもって行われていることを特徴とする特許請求の範
囲第１項乃至第６項の１つに記載の表面弾性波共振フィ
ルタ。 ８）結合金属膜の幅（弾性波伝搬方向ｘに対して横方向
の寸法）が金属膜ストライプの幅寸法程度に選定されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第７項
の１つに記載の表面弾性波共振フィルタ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3629464 | 1986-08-29 | ||
| DE3629464.0 | 1986-08-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6367810A true JPS6367810A (ja) | 1988-03-26 |
| JP2606800B2 JP2606800B2 (ja) | 1997-05-07 |
Family
ID=6308496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62214149A Expired - Lifetime JP2606800B2 (ja) | 1986-08-29 | 1987-08-27 | 表面弾性波共振フイルタ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4760360A (ja) |
| EP (1) | EP0257377B1 (ja) |
| JP (1) | JP2606800B2 (ja) |
| AT (1) | ATE85869T1 (ja) |
| DE (1) | DE3784200D1 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5175711A (en) * | 1988-10-03 | 1992-12-29 | Hitachi, Ltd. | Surface acoustic wave apparatus and method of productivity and adjustment of the same |
| DE4213800A1 (de) * | 1992-04-27 | 1993-10-28 | Siemens Ag | Gewichteter Reflektor für eine Oberflächenwellenanordnung |
| US5600287A (en) * | 1994-02-03 | 1997-02-04 | Motorola, Inc. | Acoustic wave filter with reduced bulk-wave scattering loss, ladder filter incorporating same and method |
| US5434466A (en) * | 1994-05-31 | 1995-07-18 | Motorola, Inc. | Acoustic wave filter with reduced bulk-wave scattering loss and method |
| JP3780415B2 (ja) * | 2001-06-12 | 2006-05-31 | 株式会社村田製作所 | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ、およびそれを用いた通信機装置 |
| JP3926633B2 (ja) * | 2001-06-22 | 2007-06-06 | 沖電気工業株式会社 | Ｓａｗデバイス及びその製造方法 |
| US6847272B2 (en) * | 2003-02-28 | 2005-01-25 | Northrop Grumman Corporation | Weighted SAW reflector using distributed acoustic reflective dots |
| DE10309250B4 (de) * | 2003-03-03 | 2015-10-22 | Epcos Ag | Elektroakustischer Wandler für mit Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement |
| JP4571200B2 (ja) * | 2008-03-10 | 2010-10-27 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性波フィルタ |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2346204C3 (de) * | 1973-09-13 | 1980-06-12 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Wandler für Füter oder Verzögerungsleitungen nach dem Oberflächenwellenprinzip |
| US4006438A (en) * | 1975-08-18 | 1977-02-01 | Amp Incorporated | Electro-acoustic surface-wave filter device |
| JPS5925525B2 (ja) * | 1979-08-31 | 1984-06-19 | 株式会社東芝 | 弾性表面波共振子 |
| DE3013074A1 (de) * | 1980-04-03 | 1981-10-08 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Elektrische anordnung, insbesondere oberflaechenwellenresonator |
| JPS594215A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-11 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波装置 |
| DE3314725A1 (de) * | 1983-04-22 | 1984-10-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Oberflaechenwellen-resonatorfilter |
-
1987
- 1987-08-04 EP EP87111272A patent/EP0257377B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-08-04 DE DE8787111272T patent/DE3784200D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-08-04 AT AT87111272T patent/ATE85869T1/de not_active IP Right Cessation
- 1987-08-11 US US07/084,088 patent/US4760360A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-08-27 JP JP62214149A patent/JP2606800B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3784200D1 (de) | 1993-03-25 |
| EP0257377A3 (en) | 1989-05-10 |
| US4760360A (en) | 1988-07-26 |
| JP2606800B2 (ja) | 1997-05-07 |
| ATE85869T1 (de) | 1993-03-15 |
| EP0257377A2 (de) | 1988-03-02 |
| EP0257377B1 (de) | 1993-02-17 |
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