JPS63167090A - スクロ−ル形真空ポンプ - Google Patents
スクロ−ル形真空ポンプInfo
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- JPS63167090A JPS63167090A JP61312520A JP31252086A JPS63167090A JP S63167090 A JPS63167090 A JP S63167090A JP 61312520 A JP61312520 A JP 61312520A JP 31252086 A JP31252086 A JP 31252086A JP S63167090 A JPS63167090 A JP S63167090A
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- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 6
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/02—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/02—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F04C18/0207—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
- F04C18/0246—Details concerning the involute wraps or their base, e.g. geometry
- F04C18/0269—Details concerning the involute wraps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、スクロール形真空ポンプに係り、特に無潤滑
式で高性能、高信頼性を図るに好適なスクロール形真空
ポンプに関する。
式で高性能、高信頼性を図るに好適なスクロール形真空
ポンプに関する。
スクロール形流体機械を無潤滑式で運転すると、その圧
縮熱で旋回スクロールが加熱され、さらに真空ポンプと
して動作させると、従来適用していた潤滑油による圧縮
熱の移動および冷却作用が全く期待できなくなり、旋回
スクロールの温度は構造上固定スクロールの温度より高
くなる。この結果、旋回スクロールのラップに熱膨張に
よるひずみが発生する。
縮熱で旋回スクロールが加熱され、さらに真空ポンプと
して動作させると、従来適用していた潤滑油による圧縮
熱の移動および冷却作用が全く期待できなくなり、旋回
スクロールの温度は構造上固定スクロールの温度より高
くなる。この結果、旋回スクロールのラップに熱膨張に
よるひずみが発生する。
ところで実際の使用状態においては、ラップ中心部近傍
の温度上昇は、他の外周部より大きいのでラップのひず
みも大きくなり、ラップ間の間隙が大きくなって流体洩
れにより圧縮性能が低下するという問題があった。
の温度上昇は、他の外周部より大きいのでラップのひず
みも大きくなり、ラップ間の間隙が大きくなって流体洩
れにより圧縮性能が低下するという問題があった。
この対策として、ラップ中心部近傍におけるラップ厚さ
を他の外周部のラップ厚さより厚くし、ラップ中心部近
傍での流体洩れをなくして圧縮性能が向上させるように
したものが、特開昭５７−６２９８８号公報に開示され
ている。
を他の外周部のラップ厚さより厚くし、ラップ中心部近
傍での流体洩れをなくして圧縮性能が向上させるように
したものが、特開昭５７−６２９８８号公報に開示され
ている。
ところでスクロール形真空ポンプにおいて、旋回スクロ
ールを対象として考えた場合、旋回スクロールが熱膨張
すると、ラップ外壁面は固定スクロールのラップ内壁面
に近づくように、ラップ内壁面は固定スクロールの内壁
面から離れるように。
ールを対象として考えた場合、旋回スクロールが熱膨張
すると、ラップ外壁面は固定スクロールのラップ内壁面
に近づくように、ラップ内壁面は固定スクロールの内壁
面から離れるように。
それぞれ半径方向に変形するものである。しかし、上記
従来技術によれば、旋回スクロールと固定スクロールの
ラップ間の各部位における半径方向の熱膨張が考慮され
ていないので、ラップ間の側壁面の接触又はその接触に
よる振動が発生するという問題があった。
従来技術によれば、旋回スクロールと固定スクロールの
ラップ間の各部位における半径方向の熱膨張が考慮され
ていないので、ラップ間の側壁面の接触又はその接触に
よる振動が発生するという問題があった。
本発明の目的は、旋回スクロールおよび固定スクロール
をファインギャップをもって動作させるようにしたスク
ロール形真空ポンプを提供することである。
をファインギャップをもって動作させるようにしたスク
ロール形真空ポンプを提供することである。
かかる目的達成のため、本発明は、平板上にうず巻状の
突起からなるラップを設けた旋回スクロールと、厚肉平
板にうず巻状の溝からなるラップを設けた固定スクロー
ルとを備え、両スクロールを噛合わせ、前記旋回スクロ
ールを自転させることなく、前記固定スクロールに対し
て旋回運動させることにより流体の圧縮又は膨張を行な
うスクロール形真空ポンプにおいて、前記旋回スクロー
ルと固定スクロールのいずれか一方のラップの内接円半
径を巻始めから巻終りに向って漸次小さく設定したもの
である。
突起からなるラップを設けた旋回スクロールと、厚肉平
板にうず巻状の溝からなるラップを設けた固定スクロー
ルとを備え、両スクロールを噛合わせ、前記旋回スクロ
ールを自転させることなく、前記固定スクロールに対し
て旋回運動させることにより流体の圧縮又は膨張を行な
うスクロール形真空ポンプにおいて、前記旋回スクロー
ルと固定スクロールのいずれか一方のラップの内接円半
径を巻始めから巻終りに向って漸次小さく設定したもの
である。
上述の構成によれば、半径方向に熱膨張しても旋回スク
ロールの外壁面と固定スクロールの一方の内壁とは衝接
することなく小さな隙間が保たれる。一方、旋回スクロ
ールの内壁面と固定スクロールの他方の外壁とは、大き
く離れることなく小さな隙間が保たれる。
ロールの外壁面と固定スクロールの一方の内壁とは衝接
することなく小さな隙間が保たれる。一方、旋回スクロ
ールの内壁面と固定スクロールの他方の外壁とは、大き
く離れることなく小さな隙間が保たれる。
以下本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。
まずインボリュート曲線からなるスクロールラップにつ
いて述べる。第２図は基礎円１に対するインボリュート
曲線２を示したもので、基礎円１の直径を２ａ、うす巻
き角度を人とすると、基礎円１からａλ離れた点の描く
軌跡が求めるインボリュート曲線２となり、Ｘ−Ｙ座標
軸上で次式で表わされる。
いて述べる。第２図は基礎円１に対するインボリュート
曲線２を示したもので、基礎円１の直径を２ａ、うす巻
き角度を人とすると、基礎円１からａλ離れた点の描く
軌跡が求めるインボリュート曲線２となり、Ｘ−Ｙ座標
軸上で次式で表わされる。
つぎに、スクロールラップを形成するためには。
歯厚、すなわちラップ厚さｔを与える必要がある。
ここでβ＝ ｔ ／ ａとすると、式１と下記式２によ
りスクロールラップが形成される。
りスクロールラップが形成される。
本発明では、上記式（１）、（２）で表わされる曲線を
理論インボリュート曲線と呼んでいる。そして、これを
図示すると第３図の如くなり、式（１）および（２）は
、理論インボリュート曲線２Ａのそれぞれラップ外壁面
Ｑおよびラップ内壁面Ｐを示している。
理論インボリュート曲線と呼んでいる。そして、これを
図示すると第３図の如くなり、式（１）および（２）は
、理論インボリュート曲線２Ａのそれぞれラップ外壁面
Ｑおよびラップ内壁面Ｐを示している。
第１図は本発明の第１実施例に係り、スクロール形真空
ポンプの旋回スクロール３側に本発明を適用した場合で
あり、説明の都合上実施態様を部分的に示したものであ
る。本発明に係るスクロール形真空ポンプは、平板（図
示せず）上にうず巻状の突起を設けた旋回スクロール３
と、厚肉平板（図示せず）にうず巻状の溝を設けた固定
スクロール６（第６図参照）とを備え、両スクロール３
．６を噛合わせ旋回スクロール３を自転させることなく
、固定スクロール６に対して旋回運動させることにより
、流体の圧縮又は膨張を行なっている。
ポンプの旋回スクロール３側に本発明を適用した場合で
あり、説明の都合上実施態様を部分的に示したものであ
る。本発明に係るスクロール形真空ポンプは、平板（図
示せず）上にうず巻状の突起を設けた旋回スクロール３
と、厚肉平板（図示せず）にうず巻状の溝を設けた固定
スクロール６（第６図参照）とを備え、両スクロール３
．６を噛合わせ旋回スクロール３を自転させることなく
、固定スクロール６に対して旋回運動させることにより
、流体の圧縮又は膨張を行なっている。
第１図において、理論インボリュート曲線２人で厚さｔ
に形成された仮想線で示すラップ５に対し、まず実線で
示す本発明に係る旋回スクロール３のラップ３Ａのラッ
プ外壁面Ｑ工は、うず巻角度λが入スにおける端部で、
ラップ３Ａの熱膨張量やみそすり運動に伴う傾き量に見
合って、ラップ外壁面Ｑから内側へのずらし量Δｔとし
てΔｔ１だけずらしてラップ５の厚さを減ずるように形
成しである。一方、ラップ３Ａのラップ内壁面Ｐ□は、
ラップ内壁面Ｐから内側へずらし量Δｔ８だけずらして
ラップ５の厚さを増すように形成しである。そして、こ
れらの２つのずらし量Δｔ１゜Δｔ２は、内側（基礎円
１側）に向ってうず巻角度λの減少に伴って減少するよ
うに設定されており、つぎの式（３）、（４）で表わす
ことができる。
に形成された仮想線で示すラップ５に対し、まず実線で
示す本発明に係る旋回スクロール３のラップ３Ａのラッ
プ外壁面Ｑ工は、うず巻角度λが入スにおける端部で、
ラップ３Ａの熱膨張量やみそすり運動に伴う傾き量に見
合って、ラップ外壁面Ｑから内側へのずらし量Δｔとし
てΔｔ１だけずらしてラップ５の厚さを減ずるように形
成しである。一方、ラップ３Ａのラップ内壁面Ｐ□は、
ラップ内壁面Ｐから内側へずらし量Δｔ８だけずらして
ラップ５の厚さを増すように形成しである。そして、こ
れらの２つのずらし量Δｔ１゜Δｔ２は、内側（基礎円
１側）に向ってうず巻角度λの減少に伴って減少するよ
うに設定されており、つぎの式（３）、（４）で表わす
ことができる。
すなわち、ラップ外壁面Ｑ工の曲線は、ラップ内壁面Ｐ
１の曲線は、 上式（３）、（４）から明らかのように、理論線である
理論インボリュート曲線２Ａからのずらし量Δｔは、ラ
ップ５中心部のうず巻始め点から与えることかできる。
１の曲線は、 上式（３）、（４）から明らかのように、理論線である
理論インボリュート曲線２Ａからのずらし量Δｔは、ラ
ップ５中心部のうず巻始め点から与えることかできる。
この場合、相手側のラップとなる固定スクロール６は、
理論インボリュート曲線（第１図に示すラップ５を旋回
半径 で旋回運動させてできる包絡線）から構成されて
いる。そして、旋回スクロール３の実際の旋回半径εＲ
は、理論インボリュート曲線２Ａより定まる計算値の旋
回半径（スクロール同志を噛み合わせて運動するための
最大値）とｔｈと、ラップ厚さｔを見かけ上、増やすず
らし量Δｔ２とで与えられ、巳Ｒ≦εｔｈ−Δｔ、とす
る固定半径となっている。また第１図に示すように、旋
回スクロール３の隣接す（２Ｒ−ｔ）となるもので、内
接円半径Ｒは巻始め（基礎円１側）から巻終りに向って
小さく設定されている。
理論インボリュート曲線（第１図に示すラップ５を旋回
半径 で旋回運動させてできる包絡線）から構成されて
いる。そして、旋回スクロール３の実際の旋回半径εＲ
は、理論インボリュート曲線２Ａより定まる計算値の旋
回半径（スクロール同志を噛み合わせて運動するための
最大値）とｔｈと、ラップ厚さｔを見かけ上、増やすず
らし量Δｔ２とで与えられ、巳Ｒ≦εｔｈ−Δｔ、とす
る固定半径となっている。また第１図に示すように、旋
回スクロール３の隣接す（２Ｒ−ｔ）となるもので、内
接円半径Ｒは巻始め（基礎円１側）から巻終りに向って
小さく設定されている。
さらには、ラップ外壁面Ｑ工とラップ内壁面Ｐ１のずら
し量Δｔは、理論インボリュート曲線２Ａからラップ厚
さｔを減ずる向きの量の方が、理論インボリュート曲線
２Ａからラップ厚さｔを増す向きの量以上であり、ここ
ではΔｔ１≧Δｔ２の関係となっている。そして、Δｔ
工＝Δｔ２の場合はラップ厚さｔを変えずに理論インボ
リュート曲線２Ａから同寸法でずらすことを意味するも
のである。また旋回スクロール３の中心からの距離をＤ
、熱膨張計数をα、湿温度ΔＴとすると、Δｔ１≧Ｄα
ΔＴなる関係を保つことができる。
し量Δｔは、理論インボリュート曲線２Ａからラップ厚
さｔを減ずる向きの量の方が、理論インボリュート曲線
２Ａからラップ厚さｔを増す向きの量以上であり、ここ
ではΔｔ１≧Δｔ２の関係となっている。そして、Δｔ
工＝Δｔ２の場合はラップ厚さｔを変えずに理論インボ
リュート曲線２Ａから同寸法でずらすことを意味するも
のである。また旋回スクロール３の中心からの距離をＤ
、熱膨張計数をα、湿温度ΔＴとすると、Δｔ１≧Ｄα
ΔＴなる関係を保つことができる。
つぎに、本発明の第１実施例の作用を説明する。
旋回スクロール３が熱膨張すると、ラップ外壁面Ｑ１で
は固定スクロール６の内壁面に近づくように変形し、ラ
ップ内壁面Ｐ工は逆に固定スクロール６の外壁面から離
れるように変形する。ここで、ラップ外壁面Ｑ１は理論
インボリュート曲線２Ａのラップ外壁面Ｑよりずらし量
Δｔ工たけ内側にずらしてあり、またラップ内壁面Ｐ工
は理論インボリュート曲線２Ａの内壁面Ｐよりずらし量
Δｔ２だけ内側にずらしである。これによって、旋回ス
クロール３が熱膨張しても、旋回スクロール３のラップ
外壁面Ｑ工と固定スクロール６の一方の内壁面とが衝接
することがなく、かつ小さな隙間を確保することができ
る。一方、旋回スクロ−ル３のラップ内壁面Ｐ１と固定
スクロールの他方の内壁面とは大きく離れることなく、
小さな隙間を確保することができる。
は固定スクロール６の内壁面に近づくように変形し、ラ
ップ内壁面Ｐ工は逆に固定スクロール６の外壁面から離
れるように変形する。ここで、ラップ外壁面Ｑ１は理論
インボリュート曲線２Ａのラップ外壁面Ｑよりずらし量
Δｔ工たけ内側にずらしてあり、またラップ内壁面Ｐ工
は理論インボリュート曲線２Ａの内壁面Ｐよりずらし量
Δｔ２だけ内側にずらしである。これによって、旋回ス
クロール３が熱膨張しても、旋回スクロール３のラップ
外壁面Ｑ工と固定スクロール６の一方の内壁面とが衝接
することがなく、かつ小さな隙間を確保することができ
る。一方、旋回スクロ−ル３のラップ内壁面Ｐ１と固定
スクロールの他方の内壁面とは大きく離れることなく、
小さな隙間を確保することができる。
第４図は第１図に示すものの旋回スクロール３の中心部
におけるラップ３Ａの形状を示したものである。同図に
おいて、６Ａは固定スクロール６のラップである。ラッ
プ３Ａ、６Ａには、うず巻角変人【における基礎円１の
接線Ａで形成された最小密閉空間があり、この接線Ａよ
り内側（基礎円１側）では、生産技術の面からもラップ
壁面は、インボリュート曲線からずれており１本発明を
適用する必要もない、しかし、ラップ３Ａ、６Ａ同志の
シール線は、接線Ａより外側で必要である。
におけるラップ３Ａの形状を示したものである。同図に
おいて、６Ａは固定スクロール６のラップである。ラッ
プ３Ａ、６Ａには、うず巻角変人【における基礎円１の
接線Ａで形成された最小密閉空間があり、この接線Ａよ
り内側（基礎円１側）では、生産技術の面からもラップ
壁面は、インボリュート曲線からずれており１本発明を
適用する必要もない、しかし、ラップ３Ａ、６Ａ同志の
シール線は、接線Ａより外側で必要である。
ここで接線Ａとラップ外壁面Ｑ１．ラップ内壁面Ｐ１と
の接線をＱχ′ζ、２人ご とすると、最小密閉空間を
形成する接点Ｐ およびその法線上の接点ｑｌ；
より外側で理論インボリュート２Ａのラップ５からずら
したラップ外壁面Ｑ８およびラップ内壁面Ｐ１を形成す
ることができる。
の接線をＱχ′ζ、２人ご とすると、最小密閉空間を
形成する接点Ｐ およびその法線上の接点ｑｌ；
より外側で理論インボリュート２Ａのラップ５からずら
したラップ外壁面Ｑ８およびラップ内壁面Ｐ１を形成す
ることができる。
第５図はうず巻角度λに対する基礎円１からの接線長さ
Ｌの関係を示したもので、図中、直線Ｂは理論インボリ
ュート曲線２Ａの場合を示しており、接線長さＬ＝ａλ
の関係となっている。λ２は前述の如く最小密閉空間を
形成するうず巻角度、ルは巻終り端のうず巻角度を示し
ている。また直線りはラップ内壁面Ｐ４の場合を示して
おり。
Ｌの関係を示したもので、図中、直線Ｂは理論インボリ
ュート曲線２Ａの場合を示しており、接線長さＬ＝ａλ
の関係となっている。λ２は前述の如く最小密閉空間を
形成するうず巻角度、ルは巻終り端のうず巻角度を示し
ている。また直線りはラップ内壁面Ｐ４の場合を示して
おり。
うず巻角度λに比例して接線長さＬは。
の関係となっている。
さらに直線Ｅはラップ外壁面Ｑ、の場合を示しており、
接線長さＬは、 の関係になっている。このように運転中の旋回スクロー
ル３の熱膨張に見合ってずらし量Δｔ１が設定されてい
るので、旋回スクロール３のラップ３Ａと固定スクロー
ル６のラップ６Ａの衝接をさけることができる。
接線長さＬは、 の関係になっている。このように運転中の旋回スクロー
ル３の熱膨張に見合ってずらし量Δｔ１が設定されてい
るので、旋回スクロール３のラップ３Ａと固定スクロー
ル６のラップ６Ａの衝接をさけることができる。
第６図は本発明の第２実施例に係り、本発明を固定スク
ロール６のラップ６Ａに適用した場合を示している。こ
の場合、相手側ラップである旋回スクロール３のラップ
３Ａは、理論インボリュート曲線２Ａで形成されている
。そして、固定スクロール６のラップ６Ａでは、一方の
ラップ内壁面Ｑ２が理論インボリュート曲線２Ａのラッ
プ外壁面Ｑより外側に設けられ、他方のラップ内壁面Ｐ
２が理論インボリュート曲線２Ａのラップ内壁面Ｐより
外側に設けられている。そして、固定スクロール６の場
合も旋回スクロール３の場合と同様、内接円半径Ｒは巻
始めから巻終りに向って漸次小さくなるように設定され
ている。
ロール６のラップ６Ａに適用した場合を示している。こ
の場合、相手側ラップである旋回スクロール３のラップ
３Ａは、理論インボリュート曲線２Ａで形成されている
。そして、固定スクロール６のラップ６Ａでは、一方の
ラップ内壁面Ｑ２が理論インボリュート曲線２Ａのラッ
プ外壁面Ｑより外側に設けられ、他方のラップ内壁面Ｐ
２が理論インボリュート曲線２Ａのラップ内壁面Ｐより
外側に設けられている。そして、固定スクロール６の場
合も旋回スクロール３の場合と同様、内接円半径Ｒは巻
始めから巻終りに向って漸次小さくなるように設定され
ている。
上述のとおり、本発明によれば、旋回スクロールの熱膨
張量、ひいては、固定スクロールとの相対的熱膨張量差
を考慮してあらかじめ、いずれか一方のスクロール部材
のラップ壁面を理論インボリュート曲線に対して半径方
向にずらして形成しであるので、ラップ同志が衝接する
ことがなく、ファインギャップを保ったままで真空ポン
プを運転することができる。この結果、信頼性および排
気効率を向上させることができる。
張量、ひいては、固定スクロールとの相対的熱膨張量差
を考慮してあらかじめ、いずれか一方のスクロール部材
のラップ壁面を理論インボリュート曲線に対して半径方
向にずらして形成しであるので、ラップ同志が衝接する
ことがなく、ファインギャップを保ったままで真空ポン
プを運転することができる。この結果、信頼性および排
気効率を向上させることができる。
第１図は本発明の第１実施例に係り、旋回スクロールラ
ップの部分平面図、第２図はインボリュート曲線を表わ
す説明図、第３図はラップ形状を示す模型図、第４図は
第１図に示すものの旋回スクロールと固定スクロールの
各ラップの中心部における噛合い状態を示す部分平面図
、第５図はうず巻角度と接線長さとの関係を示す線図、
第６図は本発明の第２実施例に係る固定スクロールのラ
ップ部分平面図である。 ３・・・・・・・・・旋回スクロール、３Ａ・・・・・
・旋回スクロール３のラップ、６・・・・・・・・・固
定スクロール。 ６Ａ・・・・・・固定スクロールのラップ。 Ｒ・・・・・・・・・内接円半径。
ップの部分平面図、第２図はインボリュート曲線を表わ
す説明図、第３図はラップ形状を示す模型図、第４図は
第１図に示すものの旋回スクロールと固定スクロールの
各ラップの中心部における噛合い状態を示す部分平面図
、第５図はうず巻角度と接線長さとの関係を示す線図、
第６図は本発明の第２実施例に係る固定スクロールのラ
ップ部分平面図である。 ３・・・・・・・・・旋回スクロール、３Ａ・・・・・
・旋回スクロール３のラップ、６・・・・・・・・・固
定スクロール。 ６Ａ・・・・・・固定スクロールのラップ。 Ｒ・・・・・・・・・内接円半径。
Claims (5)
- （１）平板上にうず巻状の突起からなるラップを設けた
旋回スクロールと、厚肉平板にうず巻状の溝からなるラ
ップを設けた固定スクロールとを備え、両スクロールを
噛合わせ、前記旋回スクロールを自転させることなく、
前記固定スクロールに対して旋回運動させることにより
流体の圧縮又は膨張を行なうスクロール形真空ポンプに
おいて、前記旋回スクロールと前記固定スクロールのい
ずれか一方のラップの内接円半径を巻始めから巻終りに
向って漸次小さく設定したスクロール形真空ポンプ。 - （２）前記いずれか一方のラップの形状が、理論インボ
リュート曲線に対し一方の側壁面をラップ厚さが薄くな
るようにずらし、他方の側壁面をラップ厚さが厚くなる
ようにずらしたものである特許請求の範囲第１項記載の
スクロール形真空ポンプ。 - （３）前記いずれか一方のラップのうず巻状に形成され
たラップ側壁面曲線は、最外周部において、理論インボ
リュート曲線よりラップ厚さを減ずる量をΔｔ＿１、ラ
ップ厚さを増す量をΔｔ＿２とすると、Δｔ＿ｌ≧Δｔ
＿２なる関係にある特許請求の範囲の第１項記載のスク
ロール形真空ポンプ。 - （４）前記旋回スクロールの旋回半径ε＿Ｒは、一定寸
法で、かつラップ厚さを変更しない場合の理論インボリ
ュート曲線から求める理論旋回半径をεｔｈとすると、
ε＿Ｒ≦εｔｈ−Δｔ＿２なる関係にある特許請求の範
囲第１項又は第３項記載のスクロール形真空ポンプ。 - （５）前記旋回スクロールと固定スクロールラップ中心
部で最小密閉空間を形成するときのラップ同志の接点よ
り外側で、ラップの両側壁面を理論インボリュート曲線
よりずらして形成した特許請求の範囲の第１項記載のス
クロール形真空ポンプ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31252086A JPH0733828B2 (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | スクロール形真空ポンプ |
| US07/137,340 US4773835A (en) | 1986-12-29 | 1987-12-23 | Scroll type pump with wrap curve offset for thermal expansion |
| KR1019870015222A KR900004608B1 (ko) | 1986-12-29 | 1987-12-29 | 스크로울형 펌프 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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