JPS61209338A - 光学的測定装置 - Google Patents
光学的測定装置Info
- Publication number
- JPS61209338A JPS61209338A JP4994985A JP4994985A JPS61209338A JP S61209338 A JPS61209338 A JP S61209338A JP 4994985 A JP4994985 A JP 4994985A JP 4994985 A JP4994985 A JP 4994985A JP S61209338 A JPS61209338 A JP S61209338A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- measured
- hot air
- detection part
- purging
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/15—Preventing contamination of the components of the optical system or obstruction of the light path
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Biochemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、光を利用して測定対象の性状を測定する光
学的測定装置に関するものである。
学的測定装置に関するものである。
[従来の技術]
従来、熱放射を利用して被測定対象の温度を測定する放
射温度計、あるいは水分を吸収する波長の光と水分を吸
収しない波長の光との比から水分率を測定する水分計等
の光学的測定装置が知られている。
射温度計、あるいは水分を吸収する波長の光と水分を吸
収しない波長の光との比から水分率を測定する水分計等
の光学的測定装置が知られている。
[この発明が解決しようとする問題点コしかしながら、
測定雰囲気の状態が悪く、塵埃等により被測定対象から
十分な放射エネルギーが来なくなったり、測定用の窓部
が汚れてしまうことがある。このため、測定方向に清浄
なエアを噴出させ、塵埃等の影響を受けないようエアパ
ージする方法がある。
測定雰囲気の状態が悪く、塵埃等により被測定対象から
十分な放射エネルギーが来なくなったり、測定用の窓部
が汚れてしまうことがある。このため、測定方向に清浄
なエアを噴出させ、塵埃等の影響を受けないようエアパ
ージする方法がある。
ところが、このエアパージのため、被測定対象が冷却さ
れ、正しい測定ができなくなったり、測定装置の光学系
等にも結露を生じる問題点があった。
れ、正しい測定ができなくなったり、測定装置の光学系
等にも結露を生じる問題点があった。
この発明の目的は、以上の点に鑑み、熱風をエアパージ
のエアに用い、冷却、結露等のおそれのない光学的測定
装置を提供することである。
のエアに用い、冷却、結露等のおそれのない光学的測定
装置を提供することである。
[問題点を解決するための手段]
この発明は、被測定対象からの放射エネルギーを受光す
る検出部と、この検出部の被測定対象方向に設けられた
熱風を噴出するエアパージ管とを備えるようにした光学
的測定装置である。
る検出部と、この検出部の被測定対象方向に設けられた
熱風を噴出するエアパージ管とを備えるようにした光学
的測定装置である。
C実施例〕
第1図は、この発明の一実施例を示す構成説明図である
。
。
図において、1は、被測定対象で、この被測定対象1に
光源2の光を光ファイバー3を介して検出部4に導いて
投光し、その反射光を検出部4で集光して再び光ファイ
バー3を介し測定部5に導き、被測定対象1の水分、そ
の他の性状を測定するようにしている。そして、検出部
4の外周の被測定対象1の方向に開口6aを有するエア
パージ管6が設けられ、エア導入口より暖められた熱風
(温風)Aが、被測定対象1方向に噴出し、エアパージ
がなされる。
光源2の光を光ファイバー3を介して検出部4に導いて
投光し、その反射光を検出部4で集光して再び光ファイ
バー3を介し測定部5に導き、被測定対象1の水分、そ
の他の性状を測定するようにしている。そして、検出部
4の外周の被測定対象1の方向に開口6aを有するエア
パージ管6が設けられ、エア導入口より暖められた熱風
(温風)Aが、被測定対象1方向に噴出し、エアパージ
がなされる。
このように、熱風をエアパージに用いているので、検出
部4の光学系等を冷却して結露を生じさせることがなく
、水滴が被測定対象1に落下して品質の低下等を招くこ
とがない。また、熱風なので被測定対象1を冷却して測
定誤差、品質の低下を招くおそれもない。なお、熱風の
温度としては、雰囲気温度、被測定対象1の温度、状態
から、結露、冷却を生じない温度であればよい。
部4の光学系等を冷却して結露を生じさせることがなく
、水滴が被測定対象1に落下して品質の低下等を招くこ
とがない。また、熱風なので被測定対象1を冷却して測
定誤差、品質の低下を招くおそれもない。なお、熱風の
温度としては、雰囲気温度、被測定対象1の温度、状態
から、結露、冷却を生じない温度であればよい。
また、エアパージ管6の熱風の導入位置は、検出部6を
暖める図示の位置の他に、検出部6の入射面より被測定
対象1の方向に寄った位置で検出部4を暖めない位置の
いずれの位置であってもよい。また、熱風は、被測定対
象1の乾燥用の熱風を兼ねてもよい。
暖める図示の位置の他に、検出部6の入射面より被測定
対象1の方向に寄った位置で検出部4を暖めない位置の
いずれの位置であってもよい。また、熱風は、被測定対
象1の乾燥用の熱風を兼ねてもよい。
第2図は、この発明の他の実施例を示す構成説明図であ
る。
る。
この例では、加熱炉7内に被測定対象1を位置させ、加
熱炉7の壁面からの放飼エネルギーの影響を除去するラ
ジエーシジンシールを兼ねたエアパージ管6を炉壁7a
より被測定対象方向に設けている。そして、エアパージ
管6の他端には受光窓8を介して検出器4が設けられ、
被測定対象1からの放射エネルギーを検出し、その検出
信号は測定部5に導かれその温度測定等が行われるよう
になっている。そして、加熱炉7内の雰囲気中のエアA
は、炉壁7aに設けられたフィルタのような浄化手段9
で浄化され、送風器10を介してエアパージ管6より被
測定対象1方向に噴出し、エアパージとして使用される
。
熱炉7の壁面からの放飼エネルギーの影響を除去するラ
ジエーシジンシールを兼ねたエアパージ管6を炉壁7a
より被測定対象方向に設けている。そして、エアパージ
管6の他端には受光窓8を介して検出器4が設けられ、
被測定対象1からの放射エネルギーを検出し、その検出
信号は測定部5に導かれその温度測定等が行われるよう
になっている。そして、加熱炉7内の雰囲気中のエアA
は、炉壁7aに設けられたフィルタのような浄化手段9
で浄化され、送風器10を介してエアパージ管6より被
測定対象1方向に噴出し、エアパージとして使用される
。
このように、被測定対象1とあまり相違しない雰囲気中
の熱風エアを循環させて使用するので、熱風をつくるた
めの加熱手段は不要で、冷却、結露のおそれのない、高
精度、高信頼性の測定が可能となる。なお、浄化手段9
は必ずしも炉壁7aに設ける必要もなく、適当な位置で
、適当な手段により必要程度浄化させてやればよい。
の熱風エアを循環させて使用するので、熱風をつくるた
めの加熱手段は不要で、冷却、結露のおそれのない、高
精度、高信頼性の測定が可能となる。なお、浄化手段9
は必ずしも炉壁7aに設ける必要もなく、適当な位置で
、適当な手段により必要程度浄化させてやればよい。
[発明の効果]
以上述べたように、この発明は、エアパージ用のエアと
して熱風を用いているので、検出部に結露を生じるおそ
れがなく、また、被測定対象を冷却してしまうこともな
く、高精度、高信頼性の測定が可能で、被測定対象を損
傷させることもない。
して熱風を用いているので、検出部に結露を生じるおそ
れがなく、また、被測定対象を冷却してしまうこともな
く、高精度、高信頼性の測定が可能で、被測定対象を損
傷させることもない。
第1図、第2図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。 1・・・被測定対象、 2・・・光源、 3・・・光フ
ァイバー、 4・・・検出部、 5・・・測定部、 6
・・・エアパージ管、 7・・・加熱炉、 8・・・受
光窓、 9・・・浄化手段、 10・・・送風機
図である。 1・・・被測定対象、 2・・・光源、 3・・・光フ
ァイバー、 4・・・検出部、 5・・・測定部、 6
・・・エアパージ管、 7・・・加熱炉、 8・・・受
光窓、 9・・・浄化手段、 10・・・送風機
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、被測定対象からの放射エネルギーを受光する検出部
と、この検出部の被測定対象方向に設けられ熱風を噴出
するエアパージ管とを備えたことを特徴とする光学的測
定装置。 2、測定雰囲気中のエアを浄化手段により浄化してエア
パージに用いるようにしたことを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の光学的測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4994985A JPS61209338A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光学的測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4994985A JPS61209338A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光学的測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61209338A true JPS61209338A (ja) | 1986-09-17 |
JPH0337135B2 JPH0337135B2 (ja) | 1991-06-04 |
Family
ID=12845279
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4994985A Granted JPS61209338A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光学的測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61209338A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0225808U (ja) * | 1988-08-08 | 1990-02-20 | ||
JPH03126909A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-05-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシングマシン |
WO1992014119A1 (en) * | 1991-01-30 | 1992-08-20 | Nkk Corporation | Ellipsometer and method of controlling coating thickness by use of ellipsometer |
WO2005111581A1 (en) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Pfizer Products Inc. | Probe holder |
DE102009045472A1 (de) * | 2009-10-08 | 2011-04-14 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Sensorsystem |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS436238Y1 (ja) * | 1965-11-20 | 1968-03-19 | ||
JPS5160283U (ja) * | 1974-11-06 | 1976-05-12 | ||
JPS5253275U (ja) * | 1975-10-15 | 1977-04-16 |
-
1985
- 1985-03-13 JP JP4994985A patent/JPS61209338A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS436238Y1 (ja) * | 1965-11-20 | 1968-03-19 | ||
JPS5160283U (ja) * | 1974-11-06 | 1976-05-12 | ||
JPS5253275U (ja) * | 1975-10-15 | 1977-04-16 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0225808U (ja) * | 1988-08-08 | 1990-02-20 | ||
JPH0530083Y2 (ja) * | 1988-08-08 | 1993-08-02 | ||
JPH03126909A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-05-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシングマシン |
WO1992014119A1 (en) * | 1991-01-30 | 1992-08-20 | Nkk Corporation | Ellipsometer and method of controlling coating thickness by use of ellipsometer |
US5438415A (en) * | 1991-01-30 | 1995-08-01 | Nkk Corporation | Ellipsometer and method of controlling coating thickness therewith |
WO2005111581A1 (en) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Pfizer Products Inc. | Probe holder |
DE102009045472A1 (de) * | 2009-10-08 | 2011-04-14 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Sensorsystem |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0337135B2 (ja) | 1991-06-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |