JPS61128221A - 半導体検査用顕微鏡装置 - Google Patents
半導体検査用顕微鏡装置Info
- Publication number
- JPS61128221A JPS61128221A JP25010784A JP25010784A JPS61128221A JP S61128221 A JPS61128221 A JP S61128221A JP 25010784 A JP25010784 A JP 25010784A JP 25010784 A JP25010784 A JP 25010784A JP S61128221 A JPS61128221 A JP S61128221A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microscope
- angle
- dust
- inspection
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は集積回路の製造工程において、半導体ウェハー
のパターン欠陥およびマスクの欠陥等の検査を行なう半
導体検査用顕微鏡装置に関する。
のパターン欠陥およびマスクの欠陥等の検査を行なう半
導体検査用顕微鏡装置に関する。
（発明の技術的背景およびその問題点〕この種の従来の
顕微鏡は第２図に示すように、対物レンズ１．接眼レン
ズ２、ミラー３を介して被検査物体を照明するハロゲン
ランプ４でなる光学系と、ハンドル１１．１２等を有し
、被検査物体の取付けを行なうアダプタ５を３次元移動
させる載物台１０とで構成されている。
顕微鏡は第２図に示すように、対物レンズ１．接眼レン
ズ２、ミラー３を介して被検査物体を照明するハロゲン
ランプ４でなる光学系と、ハンドル１１．１２等を有し
、被検査物体の取付けを行なうアダプタ５を３次元移動
させる載物台１０とで構成されている。
この顕微鏡は通Ｗ、アダプタ５にウェハー等を取付けた
とき水平となるように、すなわち、載物台１０の載物面
が水平になるように設置される。
とき水平となるように、すなわち、載物台１０の載物面
が水平になるように設置される。
したがって、対物レンズ１の光軸は鉛直方向を向いてい
る。また、接眼レンズ２は覗き易さを考慮して対物レン
ズ１の光軸の延長方向から外れた位置にあり、ハロゲン
ランプ４は観察の邪魔にならないように接眼レンズ１と
は反対側に配置されている。
る。また、接眼レンズ２は覗き易さを考慮して対物レン
ズ１の光軸の延長方向から外れた位置にあり、ハロゲン
ランプ４は観察の邪魔にならないように接眼レンズ１と
は反対側に配置されている。
ところで、この顕微鏡はハロゲンランプ４の光を、対物
レンズ１を介して載物台１０の試料載置面を垂直に照射
しているので、半導体ウェハーのパターン欠陥やマスク
欠陥の検査に好適であるが、これらの検査と併せて半導
体ウェハーやマスクの「ゴミ」または「キズ」の検査を
要求された場合、ハロゲンランプ４の光では「ゴミ」ま
たは「キズ」を見つけ難かった。 すなわち、ウェハー
やマスクの「ゴミ」または「キズ」は検査面に対して斜
め方向に光を照射したとき輝いて見えるものであるが、
ハロゲンランプ４が検査面を垂直に照射するので「ゴミ
」や「キズ」があっても輝くことが少なく、しかも、対
物レンズ１によって集光された極く狭い面積しか照射さ
れないので載物台１０を大ストロークで頻繁に操作しな
ければ「ゴミ」や「キズ」が発見できなかった。
レンズ１を介して載物台１０の試料載置面を垂直に照射
しているので、半導体ウェハーのパターン欠陥やマスク
欠陥の検査に好適であるが、これらの検査と併せて半導
体ウェハーやマスクの「ゴミ」または「キズ」の検査を
要求された場合、ハロゲンランプ４の光では「ゴミ」ま
たは「キズ」を見つけ難かった。 すなわち、ウェハー
やマスクの「ゴミ」または「キズ」は検査面に対して斜
め方向に光を照射したとき輝いて見えるものであるが、
ハロゲンランプ４が検査面を垂直に照射するので「ゴミ
」や「キズ」があっても輝くことが少なく、しかも、対
物レンズ１によって集光された極く狭い面積しか照射さ
れないので載物台１０を大ストロークで頻繁に操作しな
ければ「ゴミ」や「キズ」が発見できなかった。
（発明の目的）
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、半導体ウ
ェハーやマスクの欠陥検査と併せて「ゴミ」や「キズ」
の検査を極めて容易に行ない得る半導体検査用顕微鏡装
置の提供を目的とする。
ェハーやマスクの欠陥検査と併せて「ゴミ」や「キズ」
の検査を極めて容易に行ない得る半導体検査用顕微鏡装
置の提供を目的とする。
この目的を達成するための本発明は、対物レンズの光軸
の延長方向から外れた位置に接眼レンズを有し、且つ、
前記対物レンズの光軸と直交する方向に載物面を移動さ
せることのできる載物台を有してなる顕微鏡と、前記載
物面の接眼レンズ側が水平面に対して最も低くなるよう
に所定の角度だけ前記顕微鏡全体を傾ける傾斜手段と、
光軸と直交する反射面を前記対物レンズの焦点部に形成
したとき、この反射面に向けた光を前記接眼レンズの近
傍の所定の範囲に反射させると共に、入射角度を調節す
る角度調節手段を有する光源と、前記載物面若しくは載
物台の位置を鉛直方向に微調整して焦点合わせを行なう
位置調整手段とを具備したことを特徴としている。
の延長方向から外れた位置に接眼レンズを有し、且つ、
前記対物レンズの光軸と直交する方向に載物面を移動さ
せることのできる載物台を有してなる顕微鏡と、前記載
物面の接眼レンズ側が水平面に対して最も低くなるよう
に所定の角度だけ前記顕微鏡全体を傾ける傾斜手段と、
光軸と直交する反射面を前記対物レンズの焦点部に形成
したとき、この反射面に向けた光を前記接眼レンズの近
傍の所定の範囲に反射させると共に、入射角度を調節す
る角度調節手段を有する光源と、前記載物面若しくは載
物台の位置を鉛直方向に微調整して焦点合わせを行なう
位置調整手段とを具備したことを特徴としている。
第１図は本発明の一実施例の構成を示す概念図であり、
第２図に示した要素と同一の要素にはそれぞれ同一の符
号を付してその説明を省略する。
第２図に示した要素と同一の要素にはそれぞれ同一の符
号を付してその説明を省略する。
そしてここでは、第２図に示した顕微鏡全体を、載物面
の接眼レンズ側が水平面に対して最も低くなるように傾
けて取り付ける傾斜手段としての傾斜台６と、対物レン
ズ１、接眼レンズ２およびハロゲンランプ４等の光学系
に対して載物台１０を鉛直方向に微調整して焦点合わせ
を行なう位置調整手段としての位置合わせ撮構７と、対
物レンズ１の光軸に対して垂直な載物面に向けた反射光
が接眼レンズ近傍の所定の範囲に向かって進むように角
度調整手段としての取付位置調整金具９を有するタング
ステンランプ８とを付加したものである。
の接眼レンズ側が水平面に対して最も低くなるように傾
けて取り付ける傾斜手段としての傾斜台６と、対物レン
ズ１、接眼レンズ２およびハロゲンランプ４等の光学系
に対して載物台１０を鉛直方向に微調整して焦点合わせ
を行なう位置調整手段としての位置合わせ撮構７と、対
物レンズ１の光軸に対して垂直な載物面に向けた反射光
が接眼レンズ近傍の所定の範囲に向かって進むように角
度調整手段としての取付位置調整金具９を有するタング
ステンランプ８とを付加したものである。
上記の如く構成された本実施例の作用を以下に説明する
。
。
先ず、ウェハーやマスクの「ゴミ」または［キズ」は、
検査面に対して斜め方向から光を照射すると輝いて見え
るので、その有無および位置を検査するためにタングス
テンランプ８が設けられている。この場合、ウェハーや
マスクの欠陥検査と平行して「ゴミ」または「キズ」の
検査を行い得・るように、反射光が接眼レンズ２の近傍
の所定の範囲式に向く位置にタングステンランプ８が設
けられている。なお、ここで言う所定の範囲Ａは、接眼
レンズ２を通して行う検査と、肉眼による「ゴミ」また
は「キズ」の検査とが、眼の位置を僅かに動かすだけで
実行し１ｎる領域を指している。
検査面に対して斜め方向から光を照射すると輝いて見え
るので、その有無および位置を検査するためにタングス
テンランプ８が設けられている。この場合、ウェハーや
マスクの欠陥検査と平行して「ゴミ」または「キズ」の
検査を行い得・るように、反射光が接眼レンズ２の近傍
の所定の範囲式に向く位置にタングステンランプ８が設
けられている。なお、ここで言う所定の範囲Ａは、接眼
レンズ２を通して行う検査と、肉眼による「ゴミ」また
は「キズ」の検査とが、眼の位置を僅かに動かすだけで
実行し１ｎる領域を指している。
ところで、表面に付着した「ゴミ」または「キ妥」の検
査に際して、ダンゲステンランプ８の入射角が微妙に影
響して、その角度が僅かにずれるとその検査が難しくな
るので入射角を変えるための取付位置調整金具９が設け
られている。
査に際して、ダンゲステンランプ８の入射角が微妙に影
響して、その角度が僅かにずれるとその検査が難しくな
るので入射角を変えるための取付位置調整金具９が設け
られている。
一方、ウェハーやマスクの「ゴミ」または「キズ」を見
つけるとぎ、我々は検査面を手前側に傾けて見るが、こ
れど同様にここでは載物面の接眼レンズ側が水平面に対
して最も低くなるように、傾斜台６によって顕微鏡全体
を傾けている。なお、この傾斜角度は、対物レンズ１の
焦点に対して水平なＸ軸、Ｙ軸（紙面と直角方向）およ
び焦点に対して鉛直なＺ＠を仮定したとき、Ｘ軸に対し
てθ１＝３０’〜６０゛の範囲が適当であった。
つけるとぎ、我々は検査面を手前側に傾けて見るが、こ
れど同様にここでは載物面の接眼レンズ側が水平面に対
して最も低くなるように、傾斜台６によって顕微鏡全体
を傾けている。なお、この傾斜角度は、対物レンズ１の
焦点に対して水平なＸ軸、Ｙ軸（紙面と直角方向）およ
び焦点に対して鉛直なＺ＠を仮定したとき、Ｘ軸に対し
てθ１＝３０’〜６０゛の範囲が適当であった。
次に、肉眼によって「ゴミ」または「キズ」の有無およ
び位置を確認した後、この部分を顕微鏡で拡大して観察
するには載物台１０を２次元移動して対物レンズ１の焦
点に合わせるが、そのストロークが大きいと焦点ボケを
生じるので、これを補正するべく載物台１０を鉛直方向
すなわちＺ軸方向に移動させる位置合わせｍ構７が設け
られている。
び位置を確認した後、この部分を顕微鏡で拡大して観察
するには載物台１０を２次元移動して対物レンズ１の焦
点に合わせるが、そのストロークが大きいと焦点ボケを
生じるので、これを補正するべく載物台１０を鉛直方向
すなわちＺ軸方向に移動させる位置合わせｍ構７が設け
られている。
ところで、資料面とタングステンランプ８の光軸とのな
す角度θ２は一般的にはＯ°〜４５°の範囲が適当であ
った。
す角度θ２は一般的にはＯ°〜４５°の範囲が適当であ
った。
かくして、この実施例によれば、ウェハーやマスクの「
ゴミ」また（よ「キズ」の検査が著しく容易化される。
ゴミ」また（よ「キズ」の検査が著しく容易化される。
なお、上記実施例では、顕微鏡全体を傾ける傾斜台６、
載物台１０の垂直方向位置をＷ調整する位置合わせ機構
７およびタングステンランプ８の取付位置調整金具９は
何れも原理を示したちので、実際には調整範囲および精
度を考慮して、例えばラック・ビニオンの代わりにねじ
機構を用いる等、最適なものを採用すればよく、本発明
はこの実施例に限定されるものではない。
載物台１０の垂直方向位置をＷ調整する位置合わせ機構
７およびタングステンランプ８の取付位置調整金具９は
何れも原理を示したちので、実際には調整範囲および精
度を考慮して、例えばラック・ビニオンの代わりにねじ
機構を用いる等、最適なものを採用すればよく、本発明
はこの実施例に限定されるものではない。
（発明の効果〕
以上の説明によって明らかな如く本発明によれば、ウェ
ハーのパターン欠陥およびマスクの欠陥検査に好適な顕
微鏡と、この顕微鏡を所定の角度だけ傾ける傾斜手段と
、「ゴミ」または「キズ」を検査するために角度調節手
段を有する光源と、焦点合わせのための載物台を鉛直方
向に微調整する位置調整手段とを備えているので、ウェ
ハーやマスクの欠陥検査と併せて「ゴミ」や「キズ」の
検査が極めて容易化されるという効果が得られている。
ハーのパターン欠陥およびマスクの欠陥検査に好適な顕
微鏡と、この顕微鏡を所定の角度だけ傾ける傾斜手段と
、「ゴミ」または「キズ」を検査するために角度調節手
段を有する光源と、焦点合わせのための載物台を鉛直方
向に微調整する位置調整手段とを備えているので、ウェ
ハーやマスクの欠陥検査と併せて「ゴミ」や「キズ」の
検査が極めて容易化されるという効果が得られている。
第１図は本発明の一実施例の構成を示す概念図、第２図
は従来の半導体検査用顕微鏡の構成を示す概念図である
。 １・・・対物レンズ、２・・・接眼レンズ、３・・・ミ
ラー、４・・・ハロゲンランプ、５・・・アダプタ、６
・・・傾斜台、７・・・位置合わせｌ［，８・・・タン
グステンランプ、９・・・位置調整金具、１ｏ・・・載
物台。 出願人代理人 猪 股 清 ″ＩＰＪ２０
は従来の半導体検査用顕微鏡の構成を示す概念図である
。 １・・・対物レンズ、２・・・接眼レンズ、３・・・ミ
ラー、４・・・ハロゲンランプ、５・・・アダプタ、６
・・・傾斜台、７・・・位置合わせｌ［，８・・・タン
グステンランプ、９・・・位置調整金具、１ｏ・・・載
物台。 出願人代理人 猪 股 清 ″ＩＰＪ２０
Claims (1)
- （１）対物レンズの光軸の延長方向から外れた位置に接
眼レンズを有し、且つ、前記対物レンズの光軸と直交す
る方向に載物面を移動されることのできる載物台を有し
てなる顕微鏡と、 前記載物面の接眼レンズ側が水平面に対して最も低くな
るように所定の角度だけ前記顕微鏡全体を傾ける傾斜手
段と、 光軸と直交する反射面を前記対物レンズの焦点部に形成
したとき、この反射面に向けた光を前記接眼レンズの近
傍の所定の範囲に反射させると共に、入射角度を調節す
る角度調節手段を有する光源と、 前記載物台の位置を鉛直方向に微調整して焦点合わせを
行う位置調整手段とを具備したことを特徴とする半導体
検査用顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25010784A JPS61128221A (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 | 半導体検査用顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25010784A JPS61128221A (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 | 半導体検査用顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61128221A true JPS61128221A (ja) | 1986-06-16 |
Family
ID=17202921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25010784A Pending JPS61128221A (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 | 半導体検査用顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61128221A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61137050A (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-24 | Hitachi Ltd | ウエハ検査装置 |
| JPH01124740A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体の検査装置 |
| JPH01203945A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-16 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| JPH0497497A (ja) * | 1990-08-16 | 1992-03-30 | Nec Yamagata Ltd | 文字の自動認識装置 |
| JPH04137050U (ja) * | 1991-06-18 | 1992-12-21 | 株式会社ニコン | 検査装置 |
-
1984
- 1984-11-27 JP JP25010784A patent/JPS61128221A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61137050A (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-24 | Hitachi Ltd | ウエハ検査装置 |
| JPH01124740A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体の検査装置 |
| JPH01203945A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-16 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| JPH0497497A (ja) * | 1990-08-16 | 1992-03-30 | Nec Yamagata Ltd | 文字の自動認識装置 |
| JPH04137050U (ja) * | 1991-06-18 | 1992-12-21 | 株式会社ニコン | 検査装置 |
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