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JPS61126750A - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

Info

Publication number
JPS61126750A
JPS61126750A JP24607084A JP24607084A JPS61126750A JP S61126750 A JPS61126750 A JP S61126750A JP 24607084 A JP24607084 A JP 24607084A JP 24607084 A JP24607084 A JP 24607084A JP S61126750 A JPS61126750 A JP S61126750A
Authority
JP
Japan
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field
visual field
view
range
sample
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP24607084A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0665016B2 (ja
Inventor
Hiroyuki Kobayashi
弘幸 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP59246070A priority Critical patent/JPH0665016B2/ja
Publication of JPS61126750A publication Critical patent/JPS61126750A/ja
Publication of JPH0665016B2 publication Critical patent/JPH0665016B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、複数の視野において試料像を連続して記録す
るに好適な電子顕微鏡に関する。
〔発明の背景〕
近年、電子顕微鏡のシステムがコンピュータ制御化され
、連続した視野を自動的に写真撮影することが可能とな
ってきた。
しかし、従来は撮影される全視野が試料全体のどのよう
な範囲に相当するものかを表示する手段が設けられてい
なかったため、目視ヤ見当によって視野を判断せざるを
得す、操作性が悪いという問題点があった。
〔発明の目的〕
を提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明は、指定された条件、例えば視野範囲、記録回数
、視野の亘なりを現在の倍率のもとに、１回毎の視野の
移動量を永めると同時に、視野範囲を例えばＣＲＴ表示
装置画面上に表示させる手段を設けたものである。
〔発明の実ｊ例〕
図は、本発明の一実施例を示す全体構成図である。
同図において、電子銃１より発射した電子線は、照射レ
ンズ系２によって収束され、試料３を照射する。試料３
を透過した電子線は結像レンズ系４によって拡大され、
蛍光板５上にその拡大像を結ぶ。
一方、撮影装置６に？いては、試料の拡大像を形成する
電子線によってフィルムが感光され、拡大像が記録され
る。この撮影装置６と試料３とをす１１によって制御さ
れている。ｔた駆動部７と連動している試料の位置検出
器８により、試料位置が検出され、インタフェイス９ｂ
を介してマイクロプロセッサ１１に読込まれている。マ
イクロプロセッサ１１はメモリ１２、演算装置１３、表
示装置１４を制御している。人力装置１０は、例えばキ
ーボードスイッチのようなもので構成され、条件の指定
などの入力用として入力内容がマイクロプロセラｆ１１
に読込まれている。
結像レンズ系２．４もマイクロプロセッサ１１によって
制御されている。
ここで、設定されている倍率Ｍは既知のものであるとす
ると、電子顕ｆ＆鏡像の写真撮影を行なう前に、入力装
置１０により、例えば視野（フィルム面上）の重なり量
δ、撮影枚数ｎを人力する。
すると、予めプログラムされている処理通りにマイクロ
プロセッサ１１は演算装置１３を用いて、現在の倍率Ｍ
に基づいて試料微動の移動位置を求める。このとき、予
めプログラムされている処理内容が、現在の視野を中心
に横方向Ｎｘ、縦方向Ｎｙ枚（Ｎ＝ＮＸ＊Ｎ丁）と決め
られているとする、すると、上記条件により撮影する視
野範囲は、下式によって求められる。マイクロプロセッ
サ１１はこれを表示装置１４にディジタル量またはグラ
フ４２表示する。
撮影視野範ＩＩ　　Ｘ＝１／２Ｍ　（１’Ｊｚ　−ｈｘ
　　２δ（１％ＪＸ　　１））Ｙ＝１／２Ｍ（Ｎｙ　−
Ａｒ　　２δ（Ｎｙ　　１３）（但し、λＸ１人Ｙは１
回分の撮影されるフィルムの長さ） この場合、撮影する視野範囲と視野の重なり量を条件と
して入力しても、上式より試料微動の移動位置を求める
ことができるので自動連続視野撮影を行うことができる
ことは言うまでもない。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように本発明によれば、自動連
続視野撮影において、予め撮影する視野範囲が表示され
るので、試料のどのような視野範囲になるかを確認する
ことができ操作性が大幅に向上する。また撮影する各視
野どうしの重なり範囲ＩＦｒ）ｉ定、撮影範囲及び回数
の指定など必要な条件のみを入力すれば自動的に撮影処
理を行なってくれるので、操作性の同上に図９しれない
効果を与える。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例を示す全体構成図である。 １・・・電子銃、２・・・照射レンズ、３・・・試料、
４・・・結像レンズ系、５・・・蛍光板、６・・・撮影
装置、７・・・試料保持及び移動用駆動部、８・・・位
置検出器、９ａ〜ｄ・・・インタ７工イス部、ｌＯ・・
・人力装置、１１・・・マイクロプロセッサ、１２・・
・メモリ、１３・・・演算装置、１４・・・ＣＲＴ表示
装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、電子顕微鏡像の視野を移動する手段と、移動後の視
    野内での試料像を記録する手段と、これら２つの手段を
    同期させて作動させる手段と、前回記録した視野と次に
    記録する視野の重なり量を指定する手段と、記録する回
    数を指定する手段と、記録する視野の全範囲を表示する
    手段とを備えて成る電子顕微鏡。 ２、電子顕微鏡の視野を移動する手段と、移動後の視野
    内での試料像を記録する手段と、これら２つの手段を同
    期させて作動させる手段と、前回記録した視野と次に記
    録する視野の重なり量を指定する手段と、記録する試料
    像の全視野範囲を指定する手段と、記録する視野の全範
    囲を表示する手段とを備えて成る電子顕微鏡。
JP59246070A 1984-11-22 1984-11-22 電子顕微鏡 Expired - Lifetime JPH0665016B2 (ja)

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JPH0665016B2 JPH0665016B2 (ja) 1994-08-22

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0197359A (ja) * 1987-10-09 1989-04-14 Jeol Ltd 電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置
WO1996031897A1 (fr) * 1995-04-07 1996-10-10 Hitachi, Ltd. Microscope electronique
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Also Published As

Publication number Publication date
JPH0665016B2 (ja) 1994-08-22

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