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JPS5867858A - 被覆超硬合金部材 - Google Patents

被覆超硬合金部材

Info

Publication number
JPS5867858A
JPS5867858A JP16543981A JP16543981A JPS5867858A JP S5867858 A JPS5867858 A JP S5867858A JP 16543981 A JP16543981 A JP 16543981A JP 16543981 A JP16543981 A JP 16543981A JP S5867858 A JPS5867858 A JP S5867858A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
coated
thickness
hard alloy
alumina
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16543981A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Sakagami
坂上 仁之
Masuo Nakado
中堂 益男
Takeshi Asai
浅井 毅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP16543981A priority Critical patent/JPS5867858A/ja
Publication of JPS5867858A publication Critical patent/JPS5867858A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 超硬合金にアルミナ被覆したいわゆるアルミナコーティ
ング工具は市場の切削速度の高速化にともない主カニ具
として広く使用されている。
アルミナコーティング工具はアルミナの持つ高い耐摩耗
性と母材超硬合金の靭性を併せ持つ現在まででは最も合
理的な考え方の工具と言える。
しかし超硬合金に直接アルミナを被覆した場合種々問題
があり、■a、■a、■a族元素の炭化物。
窒化物で被覆した後、その外層シてアルミナを被覆する
という考え方が優れていると言える(特公昭53−1a
zot号公報)。
工業的にはTiの炭化物や窒化物を使用することが通常
行われる化学蒸着法(以下CVDと略す)を用いる場合
には特に有効と考えられる。なぜならTiは供給源とし
てTiCl4という安価で気化点の低い物質があるから
である。
TiCを内層として使用しこれにアルミナを被覆する場
合、酸化雰囲気に曝されるところから、特に被覆初期に
おいてTiCが部分的に侵され、アルミナとTiCの界
面強度は低下すると考えられる。
一方TiNを被覆した場合にではTiNの耐酸化性はT
iCに比して優れているので界面が強いがTiNの高温
での硬度は低いため、アルミナがはがれた部分での摩耗
の進行は著しく汎用工具としての性能は十分とは言えな
い。
以上のような理由に鑑みてTi(CN)を内層として被
覆した後アルミナを被覆するという提案もある(特開昭
52−96911号公報)。しかしこの提案は所詮上述
のTiCとTiNの中間的な考え方を示ているに過ぎな
い。
発明者は、アルミナの持つ高い耐摩耗性を最大限に引き
出し得る構造について種々検討し本発明を得るに至った
本発明はTiCとTi (BN)層の2層をアルミナ層
の内層とし、Ti(BN)をアルミナの外層とすること
に特徴がある。各々の役割について詳述する。
Ti (BN)はTiB2とTiNの中間的性質ではあ
るが、第1図の如(Ti (CN)に比してBの添加に
よる硬度の上昇は大きい。さらに1000°C付近の切
削工具刃先がさらされる温度においてはBが入っている
ことにより硬度は高くなり、アルミナ直下の領域での微
小な塑性変形が少なく′、アルミナ層の損傷は極小に抑
えることができる。さらにTi (BN)は第2図に示
す如く耐酸化性能はBの少ない領域゛ではTiNと同程
度もしくは優れており、アルミナ層を被覆する場合には
好適な下地物質といえる。
しかしTi (BN)を超硬合金に直接被覆した場合、
超硬合金が主として炭化物で構成されているために接着
力としては十分でない。超硬合金に直接隣うに超硬合金
にTiCを被覆しさらにTi (BN)を被覆すれば、
さらに外層にアルミナ被覆した場合液も強固な接着度で
切削性能が優れた組合わせができると言える。
しかし本発明の構造においても実際の切削加工において
最適な性能とするにはそれぞれの層厚はきわめて厳密に
決定されなくてはならない。
TiCは超硬合金との接着のために重要であるので0.
5μあればその効果を表わすが、9μを越えると工具全
体の強度の低下をきたし欠損しゃすくなるので0.5μ
〜9μがよい。
Ti (BN)はTiCをしゃへいするためには0.2
μ以上必要であるが3μ以上になると効果は上昇しなく
なりTiCを厚くした場合と同じとなる。
Al2O8は0.5μ以下では耐摩耗性の向上は望めず
10μ以上では欠損しゃすくなり工具としての汎用性を
損う。
またTi(BN)層はTI (BX N1 x)と表わ
せば第1図および第2図で示す如く硬度、耐酸化性はX
にょつて変化する。x 40.05では硬度が低(Ti
Nと大差のない性能となるがX≧0.4では耐酸化性が
乏しくなり不適である。従って0.05≦X≦0.4が
適しており0.15≦X40.30 において効果は一
層顕著である。
次に最外層のTi (BN)について説明する。
アルミナ層は脆いことはすでに述べた通りでありその欠
点を補うために種々検討した結果、被覆最外層はアルミ
ナより靭性に優れ、且つ耐熱性、耐酸化に優れる材料よ
りなる被覆超硬合金が切削工具としては望ましいことを
見い出した。
Ti (BX N1−x)は第1図、第2図に示したよ
うに0.054x 40.4の範囲が望ましい。
すなわち、最外被覆層としてのTiBNはその内側の層
であるアルミナのショックアブソーバ−としての役割を
もつと同時に耐摩耗性、耐酸化性、耐熱性に優れるので
、切削工具として極めて好ましい。
厚みは0.2μ以下ではアルミナの保護材としての作用
に乏しく、3μ以上では全体の強度を低下させる。とく
に0,5〜1.5μが最適である。
本発明は必ずしもCVD法によらなくともイオンブレー
ティング、スパッタリング、プラズマCVD等の被覆法
を用いても何ら効果は変りがな〈発明の範囲である。
またTiC層中に微量の0またはNを入れることも本発
明の効果は損わない。同様にTi (BN)層中は微量
のCまたは0を入れることも本発明の範囲である。
以下実施例により説明する。
〔実施例1〕 I SOP 30超硬合金(形状5NG432)チップ
を公知のCvD装置に入れ1000°Cに加熱し、Ti
C14。
Hg、CH4の混合ガス雰囲気中で2時間のTiC被覆
を行った。いったん真空にした後同温度にてTiCl4
゜Hg l B” 8 + N2の混合ガス雰囲気とし
1時間のTi(BN)被覆を行った。さら蔭再び真空と
した後900°Cに温度を下げ、AlCl B 、 H
g 、 CO2、Coの混合ガス雰囲気にて8時間のA
1□08被覆を行った。次に前記Ti(BN)と同条件
にてTiBNを1.5μ被覆した。
以上の被覆工程を終了した後真空で冷却し、表面からの
X線回折、オージェ電子分析器およびX線マイクロアナ
ライザー等によりT’ (80,25No、76 ) 
1.5μ。
Al2O31,2μ+ T j (80,25No、7
5) 1.5μ、 TiC4μの被覆層であることが明
らかとなった。
この発明品を表1に示す比較品と切削試験にて比較した
切削試験は以下のとおりであった。
テストA       テストB 切削方式   旋 削      旋 剤液削材   
 SCM3        SCM3溝材(第3図)速
  度    160m/m       100m/
mis切込み  2航     t、5= 送      リ         0.36m/re
v           0.20#Lll/ rev
表1に示す結果を得た。
表  1 〔実施例2〕 実施例1と同様の方法にてISOMIO超硬合金(形状
5NG4’l 2 ) !Z TiC全4p被覆した後
表2に示す組成のTi (BN)層を1.5μ被覆し、
実施例1と同様にAI 、O,を1μさらtでTf(B
N)層を1.5μ被覆しに0 これを実施例1と同様切削試験A、Bを行って比較しk
表  2 ※1:VB・・・・・・フランク摩耗 ※2 : KT・・・・・・クレータ−摩耗〔実施例3
〕 NO,9)を被覆して実施例】と同様の切削試験A、B
を行って比較した。
表  3
【図面の簡単な説明】 第1図はTi (BN) 、 Ti (CN)の組成の
変化による硬度の変化を示し、第2図は組成の異なるT
i (BN)を超硬合金上に50μ被覆し、空気中で9
00°Cに加熱した炉に入れ、10分間放置した後取り
出した時のTi(BN)、層を表面から酸化された部分
の深さを示す。第3図はテス)Bで使用した被削材の断
面形状である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)4層を被覆してなる超硬合金の内層は0.5〜9
    μの炭化チタン、その外層は0.2〜3μの硼窒化チタ
    ン、さらにその外層は0.5〜10μのアルミナ、最外
    層は0.2〜3μの硼窒化チタンよりなり前記硼窒化チ
    タンはTt (BXNI X)と表わしたとき0.05
    −4X40.4であることを特徴とする被覆超硬合金部
    材。
JP16543981A 1981-10-15 1981-10-15 被覆超硬合金部材 Pending JPS5867858A (ja)

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