JPS58109859A - 光による電圧・電界測定器 - Google Patents
光による電圧・電界測定器Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電気光学結晶を用いた光による電圧・電界測
定器に関するものである。
定器に関するものである。
光による電圧・電界測定器は、基本的には電気光学結晶
に印加される電圧を測定するものであるため、電気光学
結晶の両面に電極をとりつけて被測定電圧の端子に直接
とりつけた場合は電圧の測定器、電極をとり除いて、電
界中に配置した場合は電界測定器として動作する。以下
の説明では、電圧の測定器として話を進めることとする
。
に印加される電圧を測定するものであるため、電気光学
結晶の両面に電極をとりつけて被測定電圧の端子に直接
とりつけた場合は電圧の測定器、電極をとり除いて、電
界中に配置した場合は電界測定器として動作する。以下
の説明では、電圧の測定器として話を進めることとする
。
光による電圧測定器の構成例として第1図(a)に示す
ものが挙げられる。この第1図(、)の構成は光源1か
らの光の進行方向に沿い偏光子2、”/4波長板3、電
気光学結晶4、検光子5が配列され、電気光学結晶4に
被測定電圧を供給する透明電極6と被測定源7を有する
。このうち偏光子2は光源1からの光を直線偏光とする
ものであり、IA波長板は、この直線偏光を円偏光とす
るものであり電気光学結晶4は円偏光を楕円偏光に位相
変調するものである。即ち、電気光学結晶4としては、
被測定電圧が零ボルトで屈折率がnx*ny(X方向の
直線偏光、Y方向の直線偏光に対する屈折率)であり、
■ボルトの印加電圧に対しては屈折率がnz −KVe
ny + KV (K :定数)に変化する。円偏
光をX方向とY方向のベクトル成分に分割して考えると
、x、Y方向の屈折率が異なり、光の進行速度が変化す
るため、円偏光は位相変調をうけ楕円偏光になる。検光
子5は偏光子2に対して消光状態に配置され、楕円偏光
を強度変調するものである。
ものが挙げられる。この第1図(、)の構成は光源1か
らの光の進行方向に沿い偏光子2、”/4波長板3、電
気光学結晶4、検光子5が配列され、電気光学結晶4に
被測定電圧を供給する透明電極6と被測定源7を有する
。このうち偏光子2は光源1からの光を直線偏光とする
ものであり、IA波長板は、この直線偏光を円偏光とす
るものであり電気光学結晶4は円偏光を楕円偏光に位相
変調するものである。即ち、電気光学結晶4としては、
被測定電圧が零ボルトで屈折率がnx*ny(X方向の
直線偏光、Y方向の直線偏光に対する屈折率)であり、
■ボルトの印加電圧に対しては屈折率がnz −KVe
ny + KV (K :定数)に変化する。円偏
光をX方向とY方向のベクトル成分に分割して考えると
、x、Y方向の屈折率が異なり、光の進行速度が変化す
るため、円偏光は位相変調をうけ楕円偏光になる。検光
子5は偏光子2に対して消光状態に配置され、楕円偏光
を強度変調するものである。
さて、偏光子2に入射する光パワーをPinとし測定部
での損失をlとすると出力である光パワーPou t
と被測定電圧Vinの関係はl/4波長板3が無い場
合(1)式のようになる。
での損失をlとすると出力である光パワーPou t
と被測定電圧Vinの関係はl/4波長板3が無い場
合(1)式のようになる。
ここにVπ は半波長電圧と呼ばれる結晶及びその使用
する方位によって定まる値である。(1)式の直線性の
良い領域を使用するため、第1図(b)に示す如く、偽
の点を得べる、l/4波長板8は光バイアスとして機能
する。(1)式にて14波長板8を挿入すると次式が得
られる。
する方位によって定まる値である。(1)式の直線性の
良い領域を使用するため、第1図(b)に示す如く、偽
の点を得べる、l/4波長板8は光バイアスとして機能
する。(1)式にて14波長板8を挿入すると次式が得
られる。
検光子より出力された光信号はPINフォトダイオード
などの素子を用いて電気信号に変換される。
などの素子を用いて電気信号に変換される。
以上の如き原理に基き電圧測定を行なうのであるが、こ
の場合電気光学結晶4としては、KDP。
の場合電気光学結晶4としては、KDP。
ADP + LiNbO5* LiTa0Bなどのもの
が使用されており、これらの結晶を用いたとき、測定器
の温度特性が良くない欠点がある。この温度特性の悪い
事は、屈折率nx* ny に若干の差異があり、こ
の屈折率n工、 ny が別々の温度特性を持つ事に
起因し換言すれば例えばnx=nm KVs ny−
no−1−KV の如く結晶が自然複屈折を有し、その
複屈折が別々の温度特性を持つことに起因している。
が使用されており、これらの結晶を用いたとき、測定器
の温度特性が良くない欠点がある。この温度特性の悪い
事は、屈折率nx* ny に若干の差異があり、こ
の屈折率n工、 ny が別々の温度特性を持つ事に
起因し換言すれば例えばnx=nm KVs ny−
no−1−KV の如く結晶が自然複屈折を有し、その
複屈折が別々の温度特性を持つことに起因している。
この温度不安定さを補償するために第2図に示す様に2
個の結晶A、Bを軸を回転させつなぎ合わせるいわゆる
温度補償型のものが提案されている。かかるつなぎ合わ
せの電気光学結晶を用いるとき検光子5を通過する光は
(3)式で表現される。
個の結晶A、Bを軸を回転させつなぎ合わせるいわゆる
温度補償型のものが提案されている。かかるつなぎ合わ
せの電気光学結晶を用いるとき検光子5を通過する光は
(3)式で表現される。
ψ0′−ψ、′〕 ・・・・・・
・ (3)この(3)式から結晶A、Hの長さlx i
sを1l=1!2に精密加工すれば常光線の屈折率n。
・ (3)この(3)式から結晶A、Hの長さlx i
sを1l=1!2に精密加工すれば常光線の屈折率n。
と異常光線の屈折率n、の差が存在する項の温度依存性
は原理的には除く事ができる。
は原理的には除く事ができる。
ところが現実問題としては11とbを精密加工し1l=
ls とする事の困難さや結晶A、Bを2本緻密に接
続し、結晶への応力に注意しながらケース等にとりつけ
る困難さなどがあり、温度補償型のものの製作は甚だ困
難であった。
ls とする事の困難さや結晶A、Bを2本緻密に接
続し、結晶への応力に注意しながらケース等にとりつけ
る困難さなどがあり、温度補償型のものの製作は甚だ困
難であった。
第8図はL i NbO5の温度補償型電圧測定器の温
度特性の一例を示したものであり、同図中縦軸の相対値
は変調度=出力電圧/平均受信光パワー即ち(2)式か
られかる様に 一方このよう・な温度の不安定性はビスマスシリコンオ
キサイド(B1155iOs+o以下BSOと略すンも
しくはビスマスゲルマニウムオキサイド(Biu+Ge
0so以下BGOと略す)を用いることによっていちぢ
るしく改善されることは特願昭55−2274のとおり
であり、その温度安定性は −15℃〜60℃の範囲で
±2%以内と良好である。そしてこのように温度安定性
が良好であることは各種の電気系統の電圧電界の測定器
として非常に有用であることを示すものである。
度特性の一例を示したものであり、同図中縦軸の相対値
は変調度=出力電圧/平均受信光パワー即ち(2)式か
られかる様に 一方このよう・な温度の不安定性はビスマスシリコンオ
キサイド(B1155iOs+o以下BSOと略すンも
しくはビスマスゲルマニウムオキサイド(Biu+Ge
0so以下BGOと略す)を用いることによっていちぢ
るしく改善されることは特願昭55−2274のとおり
であり、その温度安定性は −15℃〜60℃の範囲で
±2%以内と良好である。そしてこのように温度安定性
が良好であることは各種の電気系統の電圧電界の測定器
として非常に有用であることを示すものである。
本発明は、このように良好な温度安定性を有するBSO
もしくはBGOを用いた電圧電界測定器の温度安定性を
、さらに改善することによって、電力系統の変電所等の
恒久設備における電圧、電界の測定や特に著しい温度変
化に対して安定性(たとえば20℃±40℃で±196
以下)を必要とする場合に有用な光による電圧、電界測
定器を提供することを目的とするものである。
もしくはBGOを用いた電圧電界測定器の温度安定性を
、さらに改善することによって、電力系統の変電所等の
恒久設備における電圧、電界の測定や特に著しい温度変
化に対して安定性(たとえば20℃±40℃で±196
以下)を必要とする場合に有用な光による電圧、電界測
定器を提供することを目的とするものである。
以下本発明について説明する。
本発明は、光の偏光を応用した電圧・電界の測定器に係
り、特に電気光学結晶として温度特性の良好なビスマス
シリコンオキサイド(B112Si02o)又はビスマ
スゲルマニウムオキサイド(BiBI Ge02o)を
利用し、さらに電圧・電界測定器の温度特性を改善した
ものである。
り、特に電気光学結晶として温度特性の良好なビスマス
シリコンオキサイド(B112Si02o)又はビスマ
スゲルマニウムオキサイド(BiBI Ge02o)を
利用し、さらに電圧・電界測定器の温度特性を改善した
ものである。
本発明は、従来の電気光学材料(LiNb0B 、Li
TaO5*KDP 、 ADP等〕にふ・いては見られ
ず、BSO,BGOにおいて新に発見された以下に説明
する現象を基礎とするものである。
TaO5*KDP 、 ADP等〕にふ・いては見られ
ず、BSO,BGOにおいて新に発見された以下に説明
する現象を基礎とするものである。
第4図は、2M厚のBSOを用いた従来の電圧、電界測
定器の温度安定性の一例である。一般に温度上昇ととも
に感度は低下する傾向を示している。
定器の温度安定性の一例である。一般に温度上昇ととも
に感度は低下する傾向を示している。
この実験結果は第1図において検光子の角ψを45゜に
設定した場合であるが、発明者らはBSO,BGOとも
炉旋光能を有することより、検光子角を変化させて温度
安定性の測定を行った。測定においては用いた光源は波
長870nmの発光ダイオード光であり、BSO,BG
Oの形状は10 x 10 X 2 ylJで透明電極
としてIngOlを用いAC200Vを印加してBSO
,BGOの温度を変化させた。
設定した場合であるが、発明者らはBSO,BGOとも
炉旋光能を有することより、検光子角を変化させて温度
安定性の測定を行った。測定においては用いた光源は波
長870nmの発光ダイオード光であり、BSO,BG
Oの形状は10 x 10 X 2 ylJで透明電極
としてIngOlを用いAC200Vを印加してBSO
,BGOの温度を変化させた。
第5図はBSOを用いて検光子角を変えた時の変調度の
変化の実験結果と、後に述べる解析結果を示すものであ
る。同図において横軸は検光子角であり縦軸は20℃の
時の変調度を100%として80℃に温度上昇させた時
の変調度の変化分を%で表示したものである。この実験
結果において/=2憇厚のBSOを用いた時ψ=45°
の時は60℃の温度変化(20℃→80℃)で1.79
6 も変調度が減少することが判る。さらにψ=22°
付近でほぼ温度係数が測定誤差内で零であるとみなすこ
とができる。但し、変調感度はψ=45°の時の約1/
aに減少した。
変化の実験結果と、後に述べる解析結果を示すものであ
る。同図において横軸は検光子角であり縦軸は20℃の
時の変調度を100%として80℃に温度上昇させた時
の変調度の変化分を%で表示したものである。この実験
結果において/=2憇厚のBSOを用いた時ψ=45°
の時は60℃の温度変化(20℃→80℃)で1.79
6 も変調度が減少することが判る。さらにψ=22°
付近でほぼ温度係数が測定誤差内で零であるとみなすこ
とができる。但し、変調感度はψ=45°の時の約1/
aに減少した。
さらにψを小さくすると変調度の温度変動は急激に増大
するようになる。
するようになる。
このような効果は今まで用いられてきた電気光学材料(
LiNb0B* LiTa0Be KDP e ADP
)にはみられない新しい現象であり、本発明者らはこ
の実験結果を旋光能と半波長電圧の温度依存性に起因す
るものと考えて理論解析を行ったところ、実験結果を非
常によく説明できることを発見した。
LiNb0B* LiTa0Be KDP e ADP
)にはみられない新しい現象であり、本発明者らはこ
の実験結果を旋光能と半波長電圧の温度依存性に起因す
るものと考えて理論解析を行ったところ、実験結果を非
常によく説明できることを発見した。
以下にその説明を行う。
BSO,BGOのように旋光能を有する材料においては
偏波面を変換するマトリックス(M)はで表わされるこ
とが導ひかれる。
偏波面を変換するマトリックス(M)はで表わされるこ
とが導ひかれる。
また入射円偏光は
で、検光子は
でそれぞれ表わされる。
ε0:真空の誘電率
γ41:電気光学定数
θ :旋光能
Ez : BSO中4中力7方向界
ε:BsOの誘電率(εono”)
n(1:BSOの屈折率
μ :BSOの透磁率
ω :光の角周波数
λ0:光の波長
である。
検光子を出たあとの検光子方位と平行を電界成分をEl
l、これと直角な成分E↓ とすると11 ゜□=(A) X (M) X (I) −°
−(8)でE、1が求められ光強度Tとしては が得られる。
l、これと直角な成分E↓ とすると11 ゜□=(A) X (M) X (I) −°
−(8)でE、1が求められ光強度Tとしては が得られる。
とこで半波長電圧Vπ=λ0/2n68γ41 を用
いると(9)式において cosχ= (πV/Vπ)/φ ・−・
Q(Im=〔(π−)2+(2θ/)2)+1
・・・ 卯Vπ で与えられる。
いると(9)式において cosχ= (πV/Vπ)/φ ・−・
Q(Im=〔(π−)2+(2θ/)2)+1
・・・ 卯Vπ で与えられる。
(9)式においてψ=45°とすると
ll−が係数とし
となり通常の光変調を示す式に φ
て付加された簡単な形になる。
となる。
で表わされる。
上記の理論の正しさを実験的に確かめる一つの手として
、式(ト)において第1項が主にVπの温度依存性で決
まるのに対して第2項は旋光能θの温度依存性が関与し
て来、第1項と第2項の付号が逆であるため特別のψに
対してはVπ とθが温度依存性を示しても変調度は変
化しないところがありうることを利用して、その対応を
見ることが考えられる。
、式(ト)において第1項が主にVπの温度依存性で決
まるのに対して第2項は旋光能θの温度依存性が関与し
て来、第1項と第2項の付号が逆であるため特別のψに
対してはVπ とθが温度依存性を示しても変調度は変
化しないところがありうることを利用して、その対応を
見ることが考えられる。
そこで、まず旋光能の温度依存性の測定値(−8X l
O−8度/lc/lB)とψ=45°での変調度変動
率(60℃の変化で−1,7%ンより(至)式から V
πの温度変化を逆算してVπの変動率を+2・1%’6
0℃と決定し、次に上記の結果と室温での値より20’
CテVπ=6800V 、θ=10.5°/IB80℃
でVπ=6942.8V、 θ=IO,82°/IxB
SOの厚み/==2u、印加電圧= Act)GVとし
て09式より、検光子角ψに対する変調度(→の変動率
を求めた。それを第5図に示す。
O−8度/lc/lB)とψ=45°での変調度変動
率(60℃の変化で−1,7%ンより(至)式から V
πの温度変化を逆算してVπの変動率を+2・1%’6
0℃と決定し、次に上記の結果と室温での値より20’
CテVπ=6800V 、θ=10.5°/IB80℃
でVπ=6942.8V、 θ=IO,82°/IxB
SOの厚み/==2u、印加電圧= Act)GVとし
て09式より、検光子角ψに対する変調度(→の変動率
を求めた。それを第5図に示す。
第5図において、実験値と理論計算・から求めた値とは
非常に工く一致し、ψを適当にするとと(ここではψ二
19°)により温度依存性が完全に打ち消すことができ
ることが明らかになった。
非常に工く一致し、ψを適当にするとと(ここではψ二
19°)により温度依存性が完全に打ち消すことができ
ることが明らかになった。
さらに印加電圧を変化させて(iov〜600V)も、
温度依存性はψ=19°で±0.196の変動に収まる
ことが判明した。
温度依存性はψ=19°で±0.196の変動に収まる
ことが判明した。
このようにして前述の理論の妥当性が確認された。
次に、上述の理論において、最適ψの効果を確認するべ
く、実際に偏光子1/4波長板、BSO(厚さ2題)検
光子をこの順に並べ、検光子をψ=19゜に設定して精
密な測定を行ったところ、測定の誤差(±OJ%)内に
おいて0〜600■の印加電圧で温度変動が零となるこ
とが確認された。第6図は結晶厚み/=2JLlの時の
従来のψ=45°の場合と今回のψ=19°の場合の実
験結果を示すものであり、最適なψの効果が明らかに出
ている。
く、実際に偏光子1/4波長板、BSO(厚さ2題)検
光子をこの順に並べ、検光子をψ=19゜に設定して精
密な測定を行ったところ、測定の誤差(±OJ%)内に
おいて0〜600■の印加電圧で温度変動が零となるこ
とが確認された。第6図は結晶厚み/=2JLlの時の
従来のψ=45°の場合と今回のψ=19°の場合の実
験結果を示すものであり、最適なψの効果が明らかに出
ている。
さらに結晶厚さが変わると最適の検光子角が変わること
が考えられ、そこでBSOの厚みを変化させて検光子角
度と変調度の温度依存性を測定した。
が考えられ、そこでBSOの厚みを変化させて検光子角
度と変調度の温度依存性を測定した。
その結果第6図のように結晶長lが長くなるにつれて最
適角はほぼ旋光能θX結晶長l付近に存在することが発
見され、 (0,90θ1−45ピくψり(1,08θl+2)・
・・(ト)の検光子角で変調度の温度依存性は20℃±
60℃の温度変化で±1%以内の変動に収まりψ= (
0,95tll −1,5)’ ・・−
Q7)では±0,2%以内の変動に収まることが明らか
になった。さらにこの結果は式αGで非常によく説明さ
れることを確認した。
適角はほぼ旋光能θX結晶長l付近に存在することが発
見され、 (0,90θ1−45ピくψり(1,08θl+2)・
・・(ト)の検光子角で変調度の温度依存性は20℃±
60℃の温度変化で±1%以内の変動に収まりψ= (
0,95tll −1,5)’ ・・−
Q7)では±0,2%以内の変動に収まることが明らか
になった。さらにこの結果は式αGで非常によく説明さ
れることを確認した。
特に結晶厚みをl = 466JIJL としたときは
(ト)式より得られる最適角はψ=45°となり、この
条件では特に検光子角をずらせる必要もなく、かつ変調
感度の低下も生じない。実験においてはψ=45°で1
= 45 ax 1466II!!、表8鯨の8種に
ついて測定した結果、±0.296以内の温度安定性が
得られた。
(ト)式より得られる最適角はψ=45°となり、この
条件では特に検光子角をずらせる必要もなく、かつ変調
感度の低下も生じない。実験においてはψ=45°で1
= 45 ax 1466II!!、表8鯨の8種に
ついて測定した結果、±0.296以内の温度安定性が
得られた。
この条件は、旋光能θ二10.5°/Bである800n
me900 nm の光源を用いたときに成り立つも
のである。第8図は/ = 466&tでの実験例であ
り、非常に温度安定性の良い特性を示している。
me900 nm の光源を用いたときに成り立つも
のである。第8図は/ = 466&tでの実験例であ
り、非常に温度安定性の良い特性を示している。
以上述べた事柄については、BGOを用いた場合につい
ても同じ結果を確認した。
ても同じ結果を確認した。
さらに以上は光の進行方向を向いて左回りの旋光能を有
する場合についての実験及び解析結果であるが、右回り
の旋光能(式(ト)でθを一〇におきかえる)を有する
BSO,BGOについても検討した結果、検光子角の回
転方向が旋光能と同一の方向であることが確認できた。
する場合についての実験及び解析結果であるが、右回り
の旋光能(式(ト)でθを一〇におきかえる)を有する
BSO,BGOについても検討した結果、検光子角の回
転方向が旋光能と同一の方向であることが確認できた。
次にこれまでは波長800 nm 〜900 nmでθ
〜600vの電圧を印加した場合を中心に説明して来た
が、前述のことがらは何らこのような特定の光の波長や
印加電圧に限定されるものではない。たとえばBSO,
BGOの旋光能は光の波長が長くなると減少し、半波長
電圧は増加するため、使用する光の波長帯域に応じ、ψ
とθlとを与えれば最も温度安定性の良い結果が得られ
る。また印加電圧についても直線性を問題とせずに高電
圧(1ooo−4000V)を印加するような場合にも
、適当な条件を選択すれば温度安定性の良い結果が得ら
れる。
〜600vの電圧を印加した場合を中心に説明して来た
が、前述のことがらは何らこのような特定の光の波長や
印加電圧に限定されるものではない。たとえばBSO,
BGOの旋光能は光の波長が長くなると減少し、半波長
電圧は増加するため、使用する光の波長帯域に応じ、ψ
とθlとを与えれば最も温度安定性の良い結果が得られ
る。また印加電圧についても直線性を問題とせずに高電
圧(1ooo−4000V)を印加するような場合にも
、適当な条件を選択すれば温度安定性の良い結果が得ら
れる。
このような一般的な場合においてさえも各条件での旋光
能と半波長電圧の温度依存性を測定したうえて、必要な
温度領域において、ψ、θlとを適当に選べば、温度安
定性の良い結果が得られる。
能と半波長電圧の温度依存性を測定したうえて、必要な
温度領域において、ψ、θlとを適当に選べば、温度安
定性の良い結果が得られる。
本発明は、上述の理論及び解析結果に基づいて、光の進
行方向に沿い偏光子、波長板電気光学結晶および検光子
を順次配列し、上記電気光学結晶としてビスマスシリコ
ンオキサイド(Bi1!l5iOso)又はビスマスゲ
ルマニウムオキサイド(B111 GeOgo)を用い
て電圧、電界を測定する装置において、この電気光学結
晶が置かれる環境温度、使用光波長、印加電圧の範囲に
対応した半波長電圧Vπ、旋光能θの温度依存性を求め
、次いで式四の変調度mが次の不等式(至)を満たすよ
うなψ、θlを求め、光の進行方向に直角な面内に存在
する電気光学結晶(光の進行方向の厚さ/JIJL)の
光学軸(<oii>軸もしくはこれと等価な光学軸)を
基準として、旋光能(θ0/B)による偏波面の回転方
向と同一の方向に、検光子の方位をψだけ回転すること
によって、温度変化に対して安定した光による電圧・電
界測定器を得るものである。
行方向に沿い偏光子、波長板電気光学結晶および検光子
を順次配列し、上記電気光学結晶としてビスマスシリコ
ンオキサイド(Bi1!l5iOso)又はビスマスゲ
ルマニウムオキサイド(B111 GeOgo)を用い
て電圧、電界を測定する装置において、この電気光学結
晶が置かれる環境温度、使用光波長、印加電圧の範囲に
対応した半波長電圧Vπ、旋光能θの温度依存性を求め
、次いで式四の変調度mが次の不等式(至)を満たすよ
うなψ、θlを求め、光の進行方向に直角な面内に存在
する電気光学結晶(光の進行方向の厚さ/JIJL)の
光学軸(<oii>軸もしくはこれと等価な光学軸)を
基準として、旋光能(θ0/B)による偏波面の回転方
向と同一の方向に、検光子の方位をψだけ回転すること
によって、温度変化に対して安定した光による電圧・電
界測定器を得るものである。
即ち、このような最適なψとθl の関係は、本発明者
によって見いだされた式(ト)を式(至)に適用するこ
とによって、前述の実施例と同様に容易に設定すること
ができ、 いけれども、特に著しい温度変化に対して安定性を必要
とする場合、又は特別な用途では±1%が必要であると
されているのに対し、本発明は充分答えることができる
。
によって見いだされた式(ト)を式(至)に適用するこ
とによって、前述の実施例と同様に容易に設定すること
ができ、 いけれども、特に著しい温度変化に対して安定性を必要
とする場合、又は特別な用途では±1%が必要であると
されているのに対し、本発明は充分答えることができる
。
以上述べた如く、本発明によれば、旋光能による偏波面
の回転方向と同一の方向に検光子を回転させることによ
り半波長電圧及び旋光能の温度依存性に寄因する光強度
の温度変動を小さくすることが出来、温度変動に対して
極めて安定した光による電圧・電界測定器が出来る。
の回転方向と同一の方向に検光子を回転させることによ
り半波長電圧及び旋光能の温度依存性に寄因する光強度
の温度変動を小さくすることが出来、温度変動に対して
極めて安定した光による電圧・電界測定器が出来る。
そしてこのことによって、前記した電力系統の恒久設備
や温度変化の激しい場所環境での電圧・電界の測定・監
視用として、本発明の測定器は、非常に有効なものとな
る。
や温度変化の激しい場所環境での電圧・電界の測定・監
視用として、本発明の測定器は、非常に有効なものとな
る。
第1図(a)は従来の電圧・電界測定器の基本構成図、
第1図(b)はl/4波長板の説明のための波形図、第
2図は温度補償型の電気光学結晶を示す構成図、第8図
は出力電圧/平均受信光パワーである相対値と温度との
関係を示す温度特性線図、第4図はB1155iOs+
oを利用した電圧測定器の温度安定性の例を示す図、第
5図は検光子と<011>方向(X方向)とのなす角ψ
と温度安定性を示す図、第6図は従来例と本発明の実施
例の変調度の変動率を比較するグラフである。第7図は
結晶長lを変化させた時の温度安定性の良好な検光子角
の実験結果を示す為の図である。 第8図は結晶長/ = 466aua、検光子角ψ:=
45°のときの変調度の変動率を示す為の図である。 図面中 lは入射光光源 2は偏光子 8はl/4波長板 4は電気光学結晶 5は検光子 6は透明電極 7は電源 である。 汀1図 72図 73図 太7図 桔品厚 Jl (mm) 宵8m t =4.66mm 手続補正書 昭和57年8月φ日 特許庁長官 島田春樹 殿 l、事件の表示 昭和56年特 許願第212285号2、発明の名
称 光による電圧・電界測定器 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 大阪市東区北浜5丁目15番地名称(21
B) 住友電気工業株式会社代表者社長 亀 井
正 夫 屯代理人 住所 大阪市此花区島屋1丁目1番8号住友電気
工業株式会社内 6、補正の対象 明細書中特許請求の範囲の欄、発明の詳細な説明の欄及
び図面の簡単な説明の欄及び図面。 ます。 (2)明細書第9頁第6行〜第11行の「この実験結果
において・・・・・・・・・・・・・・とみなすことが
できる。」を「この実験結果において、l=2mm厚の
BSOを用いた場合、従来の設定角ψ=45°の時は6
0”Cの温度変化(20”C−80″C)で1.79+
6も変調度が変動していることがわかる。さらにψ=2
0’C付近で温度係数が測定誤差内では望零であるとみ
なすことができる。」と訂正する。 (3)明細書第12頁第8行の式(13)を%式% (13) と訂正する。 (4)明細書第13頁第1行〜第8行の「上記の理論の
・・・・・・・・・・・を見ることが考えられる。」を
[上記の理論の正しさを実験的に確:かめる一つの手と
して、式(15)において、第1項と第2項の符号が逆
であるため、特別のψに対してはVπとθが温度依存性
を示しても変調度は変化しないところを実験的に確認す
ることが考えられる。」と訂正する。 (5)明細書第15頁最下行〜第16頁第1行の「以上
述べた事柄 ・・−・・・・・・・を確認した。」を「
以上述べたように、従来旋光能の無い光学結晶ではψ=
45゜に設定されることから類推すると、旋光能のある
光学結晶の場合にはψ=45°+θtとすることが考え
られるが、本発明はこのような従来の考え方とは全く異
なりψ÷θtとするものである。またBωを用いた場合
ンてついても同じ結果を確認した。 さらに本発明は一般的に云えば旋光能と電気効果とを持
つ他の電気光学結晶にも適用出来るものである。」と訂
正する。 (6)明細書第16頁第11行〜第12行の「たとえば
B501BGOの旋光能は」を「たとえば、第9図に示
すようにB501BGOの旋光能は」と訂正する。 (月明願書第17頁第2行と第3行の間に「なお、上記
においては光の進行方向と電圧・電界の方向とが平行の
場合について述べたが、光の進行方向と電圧・電界の方
向とが直角の場合についても同様なことが云える。この
場合、第10図にみるように、光の進行方向(今の場合
は<110>方向)と直角な方向(<TIO>方向)に
電圧Vを印加する。 すると、BSOの電界EはE=V/dとなり、結晶長は
tであるから、電圧の効果はvxt/dとなり、平行な
場合に比べてのだけ感度が向上する。従って、式(15
)においてVを■シ、で置換した式となるから、光と電
圧・電界の方向が直交する場合に対しても、本発明の考
えが適用できる。っま例えば、一実施例として第9図に
おいて、t=4.66mm %d=1.5mm とし
てψ=45°に設定したところ、感度は平行な場合の約
3倍であり、温度特性は20°±60°において±o、
296以内に収まることが確認された。 (8)明細書第19頁下から3行目の後に「第9図は光
波長に対するB501BGOの旋光能を示す図である。 第10図は光の進光方向と電圧・電界の方向とが直角な
場合の電圧・電界測定器の構成を示す図である。」を挿
入する。 (9)図面中第5図、第9図、第10図を別紙の如く訂
正します。 特許請求の範囲 r(1)光の進行方向に沿い、偏光子、電気光学結晶お
よび検光子を順次配列し、偏光子と電気光学結晶、また
は電気光学結晶と検光子の間に波長板を挿入してなり: 前記電気光学結晶が旋光性を有する材料であり;前記検
光子の方位が、前記電気光学結晶の光学軸を基準として
、次式 但し、θ:使用環境の温度変動の幅の中点にわける電気
光学結晶の前記光に対する 旋光能 t:光の進行方向に測った電気光学結晶の厚さ で与えられる角度ψ0に実質的に等しい角度だけ回転さ
せられていること; を特徴とする電気光学結晶に印加された電圧または該電
圧によって発生する竜角強度を、検光子で検波された出
力光の光強度によって測定するところの光による電圧・
電界測定器 (2)前記電気光学結晶がビスマスシリコンオキサイF
(Bi、、SiO□。)、又ハヒスマスゲルマニウム
オキサイド(B r 1s G e O* 6 )であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光によ
る電圧・電界測定器。 (3)前記の光の波長がSOO〜9 Q Q mmであ
り、検光子の方位ψが次式 %式%) を満すようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第2
項記載の光による電圧・電界測定器。 (4)前記検光子の方位ψが次式 %式%) であることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の光
による電圧・電界測定器。 (5)電気光学結晶の厚みtが45〜48mrrLであ
り、検光子の方位ψが略45°であることを特徴とする
特許請求の範囲第4項記載の光による電圧・電界測定器
シ 井5図 1=2mm 秋先子III ゴ(IL) 79図 光濃長(nm) 手続補正書 昭和57年3月さ2日 特許庁長官 島田春樹 殿 1、事件の表示 昭和56年特許願第212235 号2、発明の名称 光による電圧・電界測定器 6、補正をする者 事件との関係 倖許出願人 住所 名称 (213)住友電気工業株式会社4、代理人 別紙の通り 全文訂正明細書 1、発明の名称〕 光による電圧・電界測定器 2、特許請求の範囲〕 fil 光の進行方向に沿い、偏光子、電気光学結晶
および検光子を順次配列し、偏光子と電気光学゛結晶、
または電気光学結晶と検光子の間に波長板を挿入してな
り: 前記電気光学結晶が旋光性?有する材料であり; 前記検光子の方位が、前記電気光学結晶の光学軸を基準
として、次式 但し、θ:使用環境の温度変動幅の中点付近における電
気光学結晶の前記光に対す る旋光能、 t:光の進行方向に測った電気光学結晶の厚さ、 で与えられる角度ψ’に実質的に等しい角度だけ回転さ
せられていること; な特徴とする電気光学結晶に印加された電圧または該電
気光学結晶の置かれた電界の強度を、前記検光子で検波
された出力光の光強度によって測定する電圧・電界測定
器。 (2)前記電気光学結晶がビスマスシリコンオキサイ)
”(Bi SIO)又はビスマスゲルマニウム12
20 オキサイl’(Bi GeO)であることな特徴と1
2 20 する特許請求の範囲第1項記載の電圧・電界測定器。 (3)前記の光の波長が800−900runであり、
前記検光子の方位ψが次式 %式%) を満たすようにしたことな特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の光による電圧・電界測定器。 (4)前記の光の波長が800〜900 nmであり、
前記検光子の方位角ψが実質的に次式 9式%) な満たすことな特徴とする特許請求の範囲第2項記載の
光による電圧・電界測定器。 (5)光の進行方向に沿い、偏光子、電気光学結晶およ
び検光子を順次配列し、偏光子と電気光学結晶、または
電気光学結晶と検光子の間に波長板を挿入してなり: 前記電気光学結晶が旋光性な有する材料であり; 前記検光子の方位が、前記電気光学結晶の光学軸な基準
として45°回転させられており;前記電気光学結晶の
光の進行方向に沿った長さtが、次式、 但し、θ:使用環境の温度変動幅の中点付近における電
気光学結晶の前記光に 対する旋光能、 で与えられること; ?特徴とする電気光学結晶に印加された電圧または電気
光学結晶の置かれた電界の強度な。 前記検光子で検波された出力光の光強度によって測定す
る電圧・電界測定器。 (6)前記電気光学結晶がビスマスシリコンオキサイド
(Bi SiO)又はビスマスゲルマニウム12
20 オキサイ)”(Bi GeO)であることを特徴と1
2 20 する特許請求の範囲第5項記載の電圧・電界測定装置。 (力 前記の光の波長が800〜900 nmであり、
前記電気光学結晶の厚みtが4.5〜4.8鶏であり、
検光子の方位ψが略45°であることを特徴とする特許
請求の範囲第6項記載の光による電圧・電界測定器。 3、発明の詳細な説明〕 本発明は、電気光学結晶を用いた光による電圧・電界測
定器に関するものである。 電気光学結晶を用いた光による電圧・電界測定器は、基
本的には電気光学結晶に印加される電圧な測定するもの
であるため、電気光学結晶の両面に電極をとりつけて被
測定電圧の端子に直接とりつけた場合には電圧の測定器
となり、電極をとり除いて電界中に配置した場合は電界
測定器として動作する。以下の説明では、電圧の測定器
として話を進めることとする。 電気光学結晶を用いた光による電圧測定器の構成例とし
て第1図(a)に示すものが挙げられる。この第1図(
a)に示す電圧測定器は光源1からの光の進行方向に沿
い偏光子2、/波長板6、電気光学結晶4、検光子5を
配列してなり、被測定電圧は、被測定電圧源7から電気
光学結晶40対向面に、それぞれ取りつけられた一対の
透明電極6間に供給される。このうち偏光子2は光源1
からの光を直線偏光とするものであり、4波長板6は、
この直線偏光な円偏光とするものであり、電気光学結晶
4は円偏光を楕円偏光に位相変調するものである。即ち
、電気光学結晶4の屈折率が被測定電圧が零ボルトでn
、n(X方向の直線偏光、Y y 方向の直線偏光に対する屈折率)であるとすると、■ボ
ルトの印加電圧に対しては屈折率がfi −KV。 n+KV(K:定数)に変化する。4波長板6で円偏光
となった光は、電気光学結晶を通過する際、該結晶のX
、Y方向の各偏光に対する屈折率が異なるため、換言す
れば1円偏光のX方向とY方向の各ばクトル成分光の進
行速度が異なるため、円偏光は位相変調をうけて楕円偏
光になる。従来の装置では検光子5の偏波面は光学結晶
の光学軸に対して45°傾斜した状態に配置されており
、楕円偏光を強度変調する。45°傾斜させる理由は、
こうすると、第1図(b)について後に説明するように
、感度は最高となり、直線性も良くなるからである。 さて、偏光子2に入射する光パワーをPinとし、測定
部での損失をt′ とすると検光子5の出力光の光パワ
ーPoutと被測定電圧Vinの関係は1/4波長板6
が無い場合(1)式のようになる。 ここにVπは半波長電圧と呼ばれる値であって、電気光
学結晶の種類及びその光学軸の方位角によって定まる。 tl)式の直線性の良い領域な使用するためには、/4
波長板3な偏光子2と電気光学結晶4との間、または電
気光学結晶4と検光子5との間に光バイアスとして挿入
すればよい。こうすることによって、第1図(b)に示
すように直線性の良い乞の点付近を選ぶことができる。 14波長板6を挿入した場合のPoutは次式で与えら
れる。 =−t’−Pin・[1+5tn(π魚)〕2■π in π−yH−<<1の領域では(2)式となる。 検光子よりの出力光信号Q PIN フォトダイオー
ドなどの素子を用いて電気信号に変換することにより、
被測定電圧Vinを知ることができる。 第1図(clは、電気光学結晶4に被測定電圧を供給す
る公知の別の構成例ケ示している。後述するように、こ
の構成によっても、第1図(a)の構成例と同一の目的
を達成することができる。 上述した原理による電圧測定はすでに公知であるが、公
知のものにおいては、電気光学結晶4としては、KDP
、 ADP 、 LiNb0 、 LiTaO3,
などが使用されていた。これらの結晶を用いた場合に共
通した欠点は、測定器の温度特性が良くないこと、すな
わち温度によって感度が変動することである。 これらの結晶は、その屈折率nun に若干のy 差異があり、この屈折率n、n がそれぞれ異y なる温度特性を持つこと、換言すれば、例えばn =n
−KV、T’L =n +KVの如く結晶が自然
後x□ y。 屈折性を有し、その各主軸方向の複屈折率がそれぞれ異
なる温度特性を持つことが温度特性不良の原因である。 この温度変化に対する特性の不安定さを補償するために
、第2図に示すように、2個の結晶AとBとな光学軸な
90°回転させてつなぎ合わせた。 いわゆる温度補償型のものが提案されている。結晶Aと
Bとの各長さt とt とが完全に等しく2 なるように精密加工し、両者の光学軸な互に正しく90
°回転させて接続すれば、Poutを示す理論式中の常
光線の屈折率n と異常光線の屈折率n との差を含む
項が消去されるので、理論的には温度特性なある程度改
善することができる筈である。 しかしながら、現実問題としては、2つの結晶を正確に
等しい長さに精密加工し、対応する光学軸が互に90°
ななすように回転させて接続することは非常に困難であ
り、温度補償型はかなり高価なものとなる。 第6図は、LiNbO3を使用した温度補償型電圧・電
圧測定器の温度特性の一例を示したものである。 同図中縦軸は、一定値の電圧(Vin)を被測定電圧と
して供給した時の変調度−を温度の関数として図示した
ものである。温度特性が改善されたとは〉・え、なお相
当に不安定であることがわかる。 なお、変調度−は次式で定義される。 上式に(2)を代入すると、 となる。 本願出願人は、先に、ビスマスシリコンオキサイド(B
i1□5iO2o、以下BSOと略称する)もしくはビ
スマスゲルマニウムオキサイド(Bi Ge0 。 12 20 以下B(、Oと略称する)を電気光学結晶として使用し
た電圧・電界測定器を発明し、すでに出願している(特
願昭55−2274号、特開昭56−100364号公
報)。BSO,BGOの特徴は、何れもが旋光性を有す
るという点にあるが、これらの材料な使用した電圧・電
界測定器の温度安定性は、第4図に示すとおり、−15
C〜60Cの範囲で±2%以内ときわめて良好である。 そして、このように温度安定性が高いということは、温
度が広範囲にわたって変動する傾向のある、各種の電気
系統の電圧・電界測定器として非常に有利であることを
意味する。 本発明は、このように良好な温度安定性を有するBSO
もしくはB(1,0&用いた電圧電界測定器の温度安定
性を、さらに改善することによって、電力系統の変電所
等の恒久設備における電圧、電界の測定や、特に著しい
温度変化に対して高い安定性(たとえば20tZ’±4
0tZ’で±1%以下)な必要とする場合に有用、な光
による電圧・電界測定器を提供することを目的とするも
のである。 本発明は、光の偏光な応用した電圧・電界の測定器に係
り、特に電気光学結晶として温度特性の良好なビスマス
シリコンオキサイ)” (Bi1□5in2o)又はビ
スマスゲルマニウムオキサイ)F(Bi GeO)1
2 20 のような旋光性を有する材料を利用し、電気光学結晶と
検光子との寸法並びに角度に特定の関係を付与すること
により、さらに電圧・電界測定器の温度特性な改善した
ものである。 本発明は、従来の電気光学材料(LiNbO+ LiT
aO3mKDP、ADP等)においては見られず、BS
O。 BC,Oにおいて新に発見された以下に説明する現象な
基礎とするものである。 第4図は、2rm厚のBSOを用いた従来の電圧、電界
測定器の温度安定性の一例である。一般に温度上昇とと
もに感度は低下する傾向を示している。 この実験結果は第1図において検光子の方位角ψ?45
°に設定した場合であるが、発明者らはBSO,BGO
ともに旋光能を有することより、検光子角を変化させて
温度安定性の実験測定を行った。実験測定において用い
た光源は波長870nmの発光ダイオード光(以下の実
験においても同様)であり、BSO,BGOの形状は1
oxi。 ×2.3で透明電極としてIn2O3す用い、AC20
0Vを印加してBSO,BGOの温度な変化させた。 第5図はBSOを用いて検光子角を100〜600の範
囲で変化させ、角検子角における温度変化(20C〜8
0C)による変調度の変動率の実験結果と、後に述べる
解析結果な示すものである。同図において横軸は検光子
角であり縦軸は20trの時の変調度な100%として
801Z’に温度上昇させた時の変調度の変化分を係で
表示したものである。この実験結果によれば、t=2t
tm厚のBSOを用いた時従来の設定角ψ=45°の時
は60Cの温度変化(20C→80C)で1.7%も変
調度が変動することが判る。さらにψ=20°付近でほ
ぼ温度係数が測定誤差内で零であるとみなすことができ
る。但し、この時の変調感度は、最高の変調感度が得ら
れるために従来より常用されている検光子角ψ=45°
の時の約′/3に低下した。 さらにψな小さくすると変調度の温度変動は急激に増大
するようになる。 このような効果は今まで用いられてきた電気光学材料(
LiNbO、LiTa0a 、 KDP、 ADP)
には全くみられなかった新たに発見された現象であり、
本発明者らはこの実験結果な旋光能と半波長電圧の温度
依存性に起因するものと推論して理論解析な行ったとこ
ろ、実験結果を非常によく説明できることな発見した。 以下にその説明な行う。 BSO,BGOのように旋光能を有する材料においては
偏波面な変換するマトリックス(M)は、で表わされる
ことが導びかれる。 また入射円偏光は で、検光子は でそれぞれ表わされる。 但し ε。:真空の誘電率 γ :電気光学定数 1 θ :旋光能 Ez:BSO中の2方向の電界 ε :BSOの誘電率(εono) no:BSOの屈折率 μ :BSOの透磁率 ω:光の角周波数 λ :光の波長 である。 検光子を出たあとの検光子方位と平行な電界成分”’I
I、これと直角な成分EJ−とすると・・・・・(9) が得られる。 ここで半波長電圧Vπ=λ。/2rlo8γ4.を用い
ると(9)式において cosχ=(πV/Vπ)/φ −−−−−a
rpで与えられる。 (9)式においてψ=45° とするととなり通常の光
変調な示す式vcW が係数として付加された簡単な形
になる。 任意のψについては となる。 従って、検出される変調度mは、 で表わされる。 上記の理論の正しさを実験的に確かめる一つの手段とし
て、式(151VCおいて第1項と第2項の付号が逆で
あるため特別のψに対しては■πとθが温度依存性を示
しても変調度は変化しないところがあるか否かな実験的
に確認してみることが考えられる。 そこで、まず旋光能の温度依存性の測定値(−3×10
度/H:’/1閤)とψ=45°での変調度変動率(
600幅の変化で−1,7%)より0式からVπの温度
変化を逆算してVπの変動率す+2.1%/60Cと決
定し、次に上記の結果と室温での値より20iCでV7
r=6800V、 θ=10.5°/m80CでV7
r=6942.8V、 θ=10.32°/關BSO
の厚みt= 2mm、印加電圧=AC200Vとしてr
15)式より、検光子角ψに対する変調度(ハ)の変動
率な求めた。それな第5図に示す。 w5図において、実験値と理論計算から求めた値とは非
常によく一致し、ψを適当な値(ここではψ−19°)
に設定することにより変調度の温度依存性を完全に打ち
消しうろことが明らかになった。 さらに印加電圧を変化させて(10v〜600V)も、
温度依存性はψ工19° で±0.1係の変動に収★る
ことが判明した。 このようにして前述の理論の妥当性が確認された。 次に、上述の理論において、最適ψの効果を確認するべ
く、実際に偏光子、′/4波長板、B50(厚さ2闘)
検光子をこの順に並べ、検光子なψ=19°に設定して
精密な測定を行ったところ。 測定の許容誤差(±0.2%)内において0〜600V
の印加電圧で温度変動が零となることが確認された。第
6図は結晶厚みt=2mの時の従来のψ=45°の場合
と今回のψ=19°の場合の実験結果な示すものであり
、最適なψの効果が明らかに出ている。 さらに結晶厚さが変わると最適の検光子角が変わること
が予想されるので、BSOの厚みな変化させて最適検光
子角度とその許容誤差(20C±600の温度変化に対
する変調度の変動率が1%以下となる検光子角度の上限
とTmな測定した。 その結果、第7図に示すように、最適角はほぼ旋光能(
θ)×結晶長(力付近に存在することが発見された。2
0tZ’における旋光能の値θ=10.5°社を用いて
ψの上下限を示す実験式を求めると次式が得られた。 (0,90θt−4,5) 0<ψく(1,03θt+
2)°・・(+6)すなわち、検光子角ψがこの範囲の
精度で設定されておれば、変調度の温度依存性は20C
±60Cの温度変化で±1%以内の変動に収まる。 さらに、検光子角ψを次式で与えられる最適角に設定す
れば、 ψ=(0,950t−1,5f ・・・・・(1
7)で±0.2%以内の変動に収まることが明らかにな
った。なお、この結果は1式(1りによって非常によく
説明されることケ確認した。 特に結晶厚みkt=4.66mとしたときは05)式よ
り得られる最適角は変調感度が最高となる検光子角ψ=
45°と一致するので、この条件下では変調感度の低下
を伴なうことな(温度安定性な満足させることができる
。実験においてψ=45゜でt=4.5ms+、4.6
611m、4.81El11の6種について測定した結
果、±0.2%以内の温度安定性が得られた。この条件
は、旋光能θ≧10.5°/諺 である8 00 hm
、 900 nmの光源な用いたときに成り立つもの
である。第8図はt=4.661mでの実験例であり、
非常に温度安定性の良い特性を示している。 先に述べたように、従来の光による電圧・電界測定装置
では旋光能の無い電気光学結晶を使用し、感度および直
線性において最良の結果を得るために、検光子の偏波面
を電気光学結晶の光学軸に対して45°傾斜させるのが
通例であった。 本願出願人は、先に旋光能の有る電気光学結晶な使用す
る電圧・電界測定器を発明して特許出願したが、旋光能
の有る電気光学結晶な使用した場合にも、感度および直
線性において最良の結果を得るためにはやはり検光子の
偏波面と電気光学結晶の光学軸のなτ角ψを45°傾斜
させなければならないのであって、45°に旋光角な加
えて、ψ=45°+θt、だけ傾斜させるべきであると
考えるのは誤った類推であることに注意すべきである。 本発明は、先ず感度を犠牲にしても温度変化に対して安
定な電圧・電界測定器を得たいと考えて実験を重ねた結
果、旋光能のある電気光学結晶な使用し、ψhθtとす
ることによって、その目的な達成しうろことな発見し、
それを利用したのである。 さらに、式ψNθtにおいて、ψ+45°になるように
、電気光学結晶の旋光能θと光の進行方向の長さtとを
選択することは可能であるから、感度および直線性を犠
牲にすることなく温度特性な安定化することもできるこ
とはいうまでもない。 なお、BGOの旋光能は、実験誤差の範囲内でBSOの
それと同一であることも確認した。したがって、BSO
とBGOを全く同一の条件で使用すれば、同一の結果が
得られることは明らかである。 本明細書では、BSOとBCOを電気光学結晶として使
用した場合について特に詳細に説明したが、旋光能と電
気光学効果とを併せ持つ、BSOとBGO以外の電気光
学結晶な使用しても、それぞれの結晶の旋光能に応じて
、同様の条件を与えることにより、温度安定性の良い電
圧・電界測定器を得られることはいうまでもない。 以上は光の進行方向を向いて左回りの旋光能を有する場
合についての実験及び解析結果であるが、右回りの旋光
能(式(151でθを−θにおきかえる)を有するBS
O,BCOについても検討した結果、検光子角の回転方
向な旋光能と同一の方向にすれば前記左回り旋光能の場
合と同じ結果が得られることを確認した。 次にこれまでは波長800 nm〜900 nmでO〜
600vの電圧な印加した場合な中心に説明して来たが
、前述のことがらは伺らこのような特定の光の波長や印
加電圧に限定されるも。のではない。たとえばBSO,
BGOの旋光能は第9図に示すように光の波長が長くな
ると減小し、半波長電圧は増加するため、使用する光の
波長帯域に応じ、ψとtとを与えれば最も温度安定性の
良い結果が得られる。また印加電圧についても直線性な
問題とせずに高電圧(1000〜4000V) な印
加するような場合にも、適当な条件を選択すれば温度安
定性の良い結果が得られる。 このような一般的な場合においてさえも、各条件での旋
光能と半波長電圧の温度依存性を測定したうえで、必要
な温度領域において、ψとtとを適当に選べば、温度安
定性の良い結果が得られる。 以上に説明した実施例は、光の進行方向と電圧・電界の
方向とが平行の場合(縦型)であったが、電圧・電界の
方向が光の進行方向に対して直角の場合(横型)にも同
様の説明が当ばまる。 第1図(clにおいて、光の進行方向(<110>方向
)と直角の(<110>方向)に電圧Vを印加すると、
BSOの電界Eは。 E =V/d となる。結晶長はtであるから、電圧の効果はVxt/
(1となり、第1図(alに示した実施例の場合に較べ
てt/d倍だけ感度が向上する。 従って、式f151において、VIVt/d で置き
換えると次式が得られる。 ・・・・・Oa なお、φの値は、式(121において、■なV t/d
で置き換えた次式によって与えられる。 第1図(c)の実施例(横型)において、1=4.66
1111.d=1.5mlとし、ψ=45° ニ設定シ
て実験したところ第1図(a)の実施例(縦型)の約3
倍の感度が得られること、および温度安定性は、20C
±60Cの範囲の温度変動に対して±0.2%以内であ
ることが確認された。 以上に詳述したように、本発明によれば、旋光能を有す
る電気光学結晶による偏波面の回転方向と同一の方向に
同一角度だけ検光子な回転させることにより半波長電圧
及び旋光能の温度依存性に起因する出力光強度の温度変
動な小さくすることが出来、温度変動に対して極めて安
定した光による電圧・電界測定器な提供することが出来
る。 そしてこのことによって、前記した電力系統の恒久設備
や温度変化の激しい環境での電圧・電界の測定・監視用
として、本発明の測定器は、非常に有効なものとなる。 4、図面の簡単な説明〕 第1図(alは縦型の光による電圧・電界測定器の基本
構成図、第1図(b)は14波長板の作用を説明のため
の波形図、第1図(clは横型の同上測定器の基本構成
図、第2図は温度補償型の電気光学結晶を示す構成図、
第6図はLiNb0 を使用した温度補償型電圧・電
界測定器の一定入力電圧に対する変調度が温度によって
変化する状態を示す温度特性線図、第4図はBi1□5
iO28す利用した特開昭56−100364号公報記
載の電圧測定器の温度安定性の例な示す図、第5図は検
光子のく011〉方向(X軸方向)に対する方位角ψと
変調度の温度による安定性との関係な示す図、箪6図は
従来例と本発明の実施例の変調度の温度変化による変動
率な比較するグラフである。第7図は結晶長tと温度安
定性の良好な検光子角との関係についての実験結果な示
す図である。 第8図は結晶長t=4.66M、検光子角=45゜のと
きの変調度の変動率を示す為の図である。第9図は光波
長とBSO,BGOの旋光能との関係な示す図である。 図面中 1は入射光光源 2は偏光子 6は1/L波長板 4は電気光学結晶 5は検光子 6は透明電極 7は電源 である。 (外2名) 4ξ/ 図(a) 2−一 l 図 (b) 幕/凹(す 襄2図 7゛〈4 n。 奉7図 結晶優ノ(mm) 本q図 ヲL ツ之−艷 (nm) 手続補正書 昭和!7年12月ダ日 特許庁長官 若杉和夫 殿 1、事件の表示 昭和56年特許願第212235 号2、発明の名称 光による電圧・電界測定器 6、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 (213)住友電気工業株式会社4、代理人 5、補正の対象
第1図(b)はl/4波長板の説明のための波形図、第
2図は温度補償型の電気光学結晶を示す構成図、第8図
は出力電圧/平均受信光パワーである相対値と温度との
関係を示す温度特性線図、第4図はB1155iOs+
oを利用した電圧測定器の温度安定性の例を示す図、第
5図は検光子と<011>方向(X方向)とのなす角ψ
と温度安定性を示す図、第6図は従来例と本発明の実施
例の変調度の変動率を比較するグラフである。第7図は
結晶長lを変化させた時の温度安定性の良好な検光子角
の実験結果を示す為の図である。 第8図は結晶長/ = 466aua、検光子角ψ:=
45°のときの変調度の変動率を示す為の図である。 図面中 lは入射光光源 2は偏光子 8はl/4波長板 4は電気光学結晶 5は検光子 6は透明電極 7は電源 である。 汀1図 72図 73図 太7図 桔品厚 Jl (mm) 宵8m t =4.66mm 手続補正書 昭和57年8月φ日 特許庁長官 島田春樹 殿 l、事件の表示 昭和56年特 許願第212285号2、発明の名
称 光による電圧・電界測定器 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 大阪市東区北浜5丁目15番地名称(21
B) 住友電気工業株式会社代表者社長 亀 井
正 夫 屯代理人 住所 大阪市此花区島屋1丁目1番8号住友電気
工業株式会社内 6、補正の対象 明細書中特許請求の範囲の欄、発明の詳細な説明の欄及
び図面の簡単な説明の欄及び図面。 ます。 (2)明細書第9頁第6行〜第11行の「この実験結果
において・・・・・・・・・・・・・・とみなすことが
できる。」を「この実験結果において、l=2mm厚の
BSOを用いた場合、従来の設定角ψ=45°の時は6
0”Cの温度変化(20”C−80″C)で1.79+
6も変調度が変動していることがわかる。さらにψ=2
0’C付近で温度係数が測定誤差内では望零であるとみ
なすことができる。」と訂正する。 (3)明細書第12頁第8行の式(13)を%式% (13) と訂正する。 (4)明細書第13頁第1行〜第8行の「上記の理論の
・・・・・・・・・・・を見ることが考えられる。」を
[上記の理論の正しさを実験的に確:かめる一つの手と
して、式(15)において、第1項と第2項の符号が逆
であるため、特別のψに対してはVπとθが温度依存性
を示しても変調度は変化しないところを実験的に確認す
ることが考えられる。」と訂正する。 (5)明細書第15頁最下行〜第16頁第1行の「以上
述べた事柄 ・・−・・・・・・・を確認した。」を「
以上述べたように、従来旋光能の無い光学結晶ではψ=
45゜に設定されることから類推すると、旋光能のある
光学結晶の場合にはψ=45°+θtとすることが考え
られるが、本発明はこのような従来の考え方とは全く異
なりψ÷θtとするものである。またBωを用いた場合
ンてついても同じ結果を確認した。 さらに本発明は一般的に云えば旋光能と電気効果とを持
つ他の電気光学結晶にも適用出来るものである。」と訂
正する。 (6)明細書第16頁第11行〜第12行の「たとえば
B501BGOの旋光能は」を「たとえば、第9図に示
すようにB501BGOの旋光能は」と訂正する。 (月明願書第17頁第2行と第3行の間に「なお、上記
においては光の進行方向と電圧・電界の方向とが平行の
場合について述べたが、光の進行方向と電圧・電界の方
向とが直角の場合についても同様なことが云える。この
場合、第10図にみるように、光の進行方向(今の場合
は<110>方向)と直角な方向(<TIO>方向)に
電圧Vを印加する。 すると、BSOの電界EはE=V/dとなり、結晶長は
tであるから、電圧の効果はvxt/dとなり、平行な
場合に比べてのだけ感度が向上する。従って、式(15
)においてVを■シ、で置換した式となるから、光と電
圧・電界の方向が直交する場合に対しても、本発明の考
えが適用できる。っま例えば、一実施例として第9図に
おいて、t=4.66mm %d=1.5mm とし
てψ=45°に設定したところ、感度は平行な場合の約
3倍であり、温度特性は20°±60°において±o、
296以内に収まることが確認された。 (8)明細書第19頁下から3行目の後に「第9図は光
波長に対するB501BGOの旋光能を示す図である。 第10図は光の進光方向と電圧・電界の方向とが直角な
場合の電圧・電界測定器の構成を示す図である。」を挿
入する。 (9)図面中第5図、第9図、第10図を別紙の如く訂
正します。 特許請求の範囲 r(1)光の進行方向に沿い、偏光子、電気光学結晶お
よび検光子を順次配列し、偏光子と電気光学結晶、また
は電気光学結晶と検光子の間に波長板を挿入してなり: 前記電気光学結晶が旋光性を有する材料であり;前記検
光子の方位が、前記電気光学結晶の光学軸を基準として
、次式 但し、θ:使用環境の温度変動の幅の中点にわける電気
光学結晶の前記光に対する 旋光能 t:光の進行方向に測った電気光学結晶の厚さ で与えられる角度ψ0に実質的に等しい角度だけ回転さ
せられていること; を特徴とする電気光学結晶に印加された電圧または該電
圧によって発生する竜角強度を、検光子で検波された出
力光の光強度によって測定するところの光による電圧・
電界測定器 (2)前記電気光学結晶がビスマスシリコンオキサイF
(Bi、、SiO□。)、又ハヒスマスゲルマニウム
オキサイド(B r 1s G e O* 6 )であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光によ
る電圧・電界測定器。 (3)前記の光の波長がSOO〜9 Q Q mmであ
り、検光子の方位ψが次式 %式%) を満すようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第2
項記載の光による電圧・電界測定器。 (4)前記検光子の方位ψが次式 %式%) であることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の光
による電圧・電界測定器。 (5)電気光学結晶の厚みtが45〜48mrrLであ
り、検光子の方位ψが略45°であることを特徴とする
特許請求の範囲第4項記載の光による電圧・電界測定器
シ 井5図 1=2mm 秋先子III ゴ(IL) 79図 光濃長(nm) 手続補正書 昭和57年3月さ2日 特許庁長官 島田春樹 殿 1、事件の表示 昭和56年特許願第212235 号2、発明の名称 光による電圧・電界測定器 6、補正をする者 事件との関係 倖許出願人 住所 名称 (213)住友電気工業株式会社4、代理人 別紙の通り 全文訂正明細書 1、発明の名称〕 光による電圧・電界測定器 2、特許請求の範囲〕 fil 光の進行方向に沿い、偏光子、電気光学結晶
および検光子を順次配列し、偏光子と電気光学゛結晶、
または電気光学結晶と検光子の間に波長板を挿入してな
り: 前記電気光学結晶が旋光性?有する材料であり; 前記検光子の方位が、前記電気光学結晶の光学軸を基準
として、次式 但し、θ:使用環境の温度変動幅の中点付近における電
気光学結晶の前記光に対す る旋光能、 t:光の進行方向に測った電気光学結晶の厚さ、 で与えられる角度ψ’に実質的に等しい角度だけ回転さ
せられていること; な特徴とする電気光学結晶に印加された電圧または該電
気光学結晶の置かれた電界の強度を、前記検光子で検波
された出力光の光強度によって測定する電圧・電界測定
器。 (2)前記電気光学結晶がビスマスシリコンオキサイ)
”(Bi SIO)又はビスマスゲルマニウム12
20 オキサイl’(Bi GeO)であることな特徴と1
2 20 する特許請求の範囲第1項記載の電圧・電界測定器。 (3)前記の光の波長が800−900runであり、
前記検光子の方位ψが次式 %式%) を満たすようにしたことな特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の光による電圧・電界測定器。 (4)前記の光の波長が800〜900 nmであり、
前記検光子の方位角ψが実質的に次式 9式%) な満たすことな特徴とする特許請求の範囲第2項記載の
光による電圧・電界測定器。 (5)光の進行方向に沿い、偏光子、電気光学結晶およ
び検光子を順次配列し、偏光子と電気光学結晶、または
電気光学結晶と検光子の間に波長板を挿入してなり: 前記電気光学結晶が旋光性な有する材料であり; 前記検光子の方位が、前記電気光学結晶の光学軸な基準
として45°回転させられており;前記電気光学結晶の
光の進行方向に沿った長さtが、次式、 但し、θ:使用環境の温度変動幅の中点付近における電
気光学結晶の前記光に 対する旋光能、 で与えられること; ?特徴とする電気光学結晶に印加された電圧または電気
光学結晶の置かれた電界の強度な。 前記検光子で検波された出力光の光強度によって測定す
る電圧・電界測定器。 (6)前記電気光学結晶がビスマスシリコンオキサイド
(Bi SiO)又はビスマスゲルマニウム12
20 オキサイ)”(Bi GeO)であることを特徴と1
2 20 する特許請求の範囲第5項記載の電圧・電界測定装置。 (力 前記の光の波長が800〜900 nmであり、
前記電気光学結晶の厚みtが4.5〜4.8鶏であり、
検光子の方位ψが略45°であることを特徴とする特許
請求の範囲第6項記載の光による電圧・電界測定器。 3、発明の詳細な説明〕 本発明は、電気光学結晶を用いた光による電圧・電界測
定器に関するものである。 電気光学結晶を用いた光による電圧・電界測定器は、基
本的には電気光学結晶に印加される電圧な測定するもの
であるため、電気光学結晶の両面に電極をとりつけて被
測定電圧の端子に直接とりつけた場合には電圧の測定器
となり、電極をとり除いて電界中に配置した場合は電界
測定器として動作する。以下の説明では、電圧の測定器
として話を進めることとする。 電気光学結晶を用いた光による電圧測定器の構成例とし
て第1図(a)に示すものが挙げられる。この第1図(
a)に示す電圧測定器は光源1からの光の進行方向に沿
い偏光子2、/波長板6、電気光学結晶4、検光子5を
配列してなり、被測定電圧は、被測定電圧源7から電気
光学結晶40対向面に、それぞれ取りつけられた一対の
透明電極6間に供給される。このうち偏光子2は光源1
からの光を直線偏光とするものであり、4波長板6は、
この直線偏光な円偏光とするものであり、電気光学結晶
4は円偏光を楕円偏光に位相変調するものである。即ち
、電気光学結晶4の屈折率が被測定電圧が零ボルトでn
、n(X方向の直線偏光、Y y 方向の直線偏光に対する屈折率)であるとすると、■ボ
ルトの印加電圧に対しては屈折率がfi −KV。 n+KV(K:定数)に変化する。4波長板6で円偏光
となった光は、電気光学結晶を通過する際、該結晶のX
、Y方向の各偏光に対する屈折率が異なるため、換言す
れば1円偏光のX方向とY方向の各ばクトル成分光の進
行速度が異なるため、円偏光は位相変調をうけて楕円偏
光になる。従来の装置では検光子5の偏波面は光学結晶
の光学軸に対して45°傾斜した状態に配置されており
、楕円偏光を強度変調する。45°傾斜させる理由は、
こうすると、第1図(b)について後に説明するように
、感度は最高となり、直線性も良くなるからである。 さて、偏光子2に入射する光パワーをPinとし、測定
部での損失をt′ とすると検光子5の出力光の光パワ
ーPoutと被測定電圧Vinの関係は1/4波長板6
が無い場合(1)式のようになる。 ここにVπは半波長電圧と呼ばれる値であって、電気光
学結晶の種類及びその光学軸の方位角によって定まる。 tl)式の直線性の良い領域な使用するためには、/4
波長板3な偏光子2と電気光学結晶4との間、または電
気光学結晶4と検光子5との間に光バイアスとして挿入
すればよい。こうすることによって、第1図(b)に示
すように直線性の良い乞の点付近を選ぶことができる。 14波長板6を挿入した場合のPoutは次式で与えら
れる。 =−t’−Pin・[1+5tn(π魚)〕2■π in π−yH−<<1の領域では(2)式となる。 検光子よりの出力光信号Q PIN フォトダイオー
ドなどの素子を用いて電気信号に変換することにより、
被測定電圧Vinを知ることができる。 第1図(clは、電気光学結晶4に被測定電圧を供給す
る公知の別の構成例ケ示している。後述するように、こ
の構成によっても、第1図(a)の構成例と同一の目的
を達成することができる。 上述した原理による電圧測定はすでに公知であるが、公
知のものにおいては、電気光学結晶4としては、KDP
、 ADP 、 LiNb0 、 LiTaO3,
などが使用されていた。これらの結晶を用いた場合に共
通した欠点は、測定器の温度特性が良くないこと、すな
わち温度によって感度が変動することである。 これらの結晶は、その屈折率nun に若干のy 差異があり、この屈折率n、n がそれぞれ異y なる温度特性を持つこと、換言すれば、例えばn =n
−KV、T’L =n +KVの如く結晶が自然
後x□ y。 屈折性を有し、その各主軸方向の複屈折率がそれぞれ異
なる温度特性を持つことが温度特性不良の原因である。 この温度変化に対する特性の不安定さを補償するために
、第2図に示すように、2個の結晶AとBとな光学軸な
90°回転させてつなぎ合わせた。 いわゆる温度補償型のものが提案されている。結晶Aと
Bとの各長さt とt とが完全に等しく2 なるように精密加工し、両者の光学軸な互に正しく90
°回転させて接続すれば、Poutを示す理論式中の常
光線の屈折率n と異常光線の屈折率n との差を含む
項が消去されるので、理論的には温度特性なある程度改
善することができる筈である。 しかしながら、現実問題としては、2つの結晶を正確に
等しい長さに精密加工し、対応する光学軸が互に90°
ななすように回転させて接続することは非常に困難であ
り、温度補償型はかなり高価なものとなる。 第6図は、LiNbO3を使用した温度補償型電圧・電
圧測定器の温度特性の一例を示したものである。 同図中縦軸は、一定値の電圧(Vin)を被測定電圧と
して供給した時の変調度−を温度の関数として図示した
ものである。温度特性が改善されたとは〉・え、なお相
当に不安定であることがわかる。 なお、変調度−は次式で定義される。 上式に(2)を代入すると、 となる。 本願出願人は、先に、ビスマスシリコンオキサイド(B
i1□5iO2o、以下BSOと略称する)もしくはビ
スマスゲルマニウムオキサイド(Bi Ge0 。 12 20 以下B(、Oと略称する)を電気光学結晶として使用し
た電圧・電界測定器を発明し、すでに出願している(特
願昭55−2274号、特開昭56−100364号公
報)。BSO,BGOの特徴は、何れもが旋光性を有す
るという点にあるが、これらの材料な使用した電圧・電
界測定器の温度安定性は、第4図に示すとおり、−15
C〜60Cの範囲で±2%以内ときわめて良好である。 そして、このように温度安定性が高いということは、温
度が広範囲にわたって変動する傾向のある、各種の電気
系統の電圧・電界測定器として非常に有利であることを
意味する。 本発明は、このように良好な温度安定性を有するBSO
もしくはB(1,0&用いた電圧電界測定器の温度安定
性を、さらに改善することによって、電力系統の変電所
等の恒久設備における電圧、電界の測定や、特に著しい
温度変化に対して高い安定性(たとえば20tZ’±4
0tZ’で±1%以下)な必要とする場合に有用、な光
による電圧・電界測定器を提供することを目的とするも
のである。 本発明は、光の偏光な応用した電圧・電界の測定器に係
り、特に電気光学結晶として温度特性の良好なビスマス
シリコンオキサイ)” (Bi1□5in2o)又はビ
スマスゲルマニウムオキサイ)F(Bi GeO)1
2 20 のような旋光性を有する材料を利用し、電気光学結晶と
検光子との寸法並びに角度に特定の関係を付与すること
により、さらに電圧・電界測定器の温度特性な改善した
ものである。 本発明は、従来の電気光学材料(LiNbO+ LiT
aO3mKDP、ADP等)においては見られず、BS
O。 BC,Oにおいて新に発見された以下に説明する現象な
基礎とするものである。 第4図は、2rm厚のBSOを用いた従来の電圧、電界
測定器の温度安定性の一例である。一般に温度上昇とと
もに感度は低下する傾向を示している。 この実験結果は第1図において検光子の方位角ψ?45
°に設定した場合であるが、発明者らはBSO,BGO
ともに旋光能を有することより、検光子角を変化させて
温度安定性の実験測定を行った。実験測定において用い
た光源は波長870nmの発光ダイオード光(以下の実
験においても同様)であり、BSO,BGOの形状は1
oxi。 ×2.3で透明電極としてIn2O3す用い、AC20
0Vを印加してBSO,BGOの温度な変化させた。 第5図はBSOを用いて検光子角を100〜600の範
囲で変化させ、角検子角における温度変化(20C〜8
0C)による変調度の変動率の実験結果と、後に述べる
解析結果な示すものである。同図において横軸は検光子
角であり縦軸は20trの時の変調度な100%として
801Z’に温度上昇させた時の変調度の変化分を係で
表示したものである。この実験結果によれば、t=2t
tm厚のBSOを用いた時従来の設定角ψ=45°の時
は60Cの温度変化(20C→80C)で1.7%も変
調度が変動することが判る。さらにψ=20°付近でほ
ぼ温度係数が測定誤差内で零であるとみなすことができ
る。但し、この時の変調感度は、最高の変調感度が得ら
れるために従来より常用されている検光子角ψ=45°
の時の約′/3に低下した。 さらにψな小さくすると変調度の温度変動は急激に増大
するようになる。 このような効果は今まで用いられてきた電気光学材料(
LiNbO、LiTa0a 、 KDP、 ADP)
には全くみられなかった新たに発見された現象であり、
本発明者らはこの実験結果な旋光能と半波長電圧の温度
依存性に起因するものと推論して理論解析な行ったとこ
ろ、実験結果を非常によく説明できることな発見した。 以下にその説明な行う。 BSO,BGOのように旋光能を有する材料においては
偏波面な変換するマトリックス(M)は、で表わされる
ことが導びかれる。 また入射円偏光は で、検光子は でそれぞれ表わされる。 但し ε。:真空の誘電率 γ :電気光学定数 1 θ :旋光能 Ez:BSO中の2方向の電界 ε :BSOの誘電率(εono) no:BSOの屈折率 μ :BSOの透磁率 ω:光の角周波数 λ :光の波長 である。 検光子を出たあとの検光子方位と平行な電界成分”’I
I、これと直角な成分EJ−とすると・・・・・(9) が得られる。 ここで半波長電圧Vπ=λ。/2rlo8γ4.を用い
ると(9)式において cosχ=(πV/Vπ)/φ −−−−−a
rpで与えられる。 (9)式においてψ=45° とするととなり通常の光
変調な示す式vcW が係数として付加された簡単な形
になる。 任意のψについては となる。 従って、検出される変調度mは、 で表わされる。 上記の理論の正しさを実験的に確かめる一つの手段とし
て、式(151VCおいて第1項と第2項の付号が逆で
あるため特別のψに対しては■πとθが温度依存性を示
しても変調度は変化しないところがあるか否かな実験的
に確認してみることが考えられる。 そこで、まず旋光能の温度依存性の測定値(−3×10
度/H:’/1閤)とψ=45°での変調度変動率(
600幅の変化で−1,7%)より0式からVπの温度
変化を逆算してVπの変動率す+2.1%/60Cと決
定し、次に上記の結果と室温での値より20iCでV7
r=6800V、 θ=10.5°/m80CでV7
r=6942.8V、 θ=10.32°/關BSO
の厚みt= 2mm、印加電圧=AC200Vとしてr
15)式より、検光子角ψに対する変調度(ハ)の変動
率な求めた。それな第5図に示す。 w5図において、実験値と理論計算から求めた値とは非
常によく一致し、ψを適当な値(ここではψ−19°)
に設定することにより変調度の温度依存性を完全に打ち
消しうろことが明らかになった。 さらに印加電圧を変化させて(10v〜600V)も、
温度依存性はψ工19° で±0.1係の変動に収★る
ことが判明した。 このようにして前述の理論の妥当性が確認された。 次に、上述の理論において、最適ψの効果を確認するべ
く、実際に偏光子、′/4波長板、B50(厚さ2闘)
検光子をこの順に並べ、検光子なψ=19°に設定して
精密な測定を行ったところ。 測定の許容誤差(±0.2%)内において0〜600V
の印加電圧で温度変動が零となることが確認された。第
6図は結晶厚みt=2mの時の従来のψ=45°の場合
と今回のψ=19°の場合の実験結果な示すものであり
、最適なψの効果が明らかに出ている。 さらに結晶厚さが変わると最適の検光子角が変わること
が予想されるので、BSOの厚みな変化させて最適検光
子角度とその許容誤差(20C±600の温度変化に対
する変調度の変動率が1%以下となる検光子角度の上限
とTmな測定した。 その結果、第7図に示すように、最適角はほぼ旋光能(
θ)×結晶長(力付近に存在することが発見された。2
0tZ’における旋光能の値θ=10.5°社を用いて
ψの上下限を示す実験式を求めると次式が得られた。 (0,90θt−4,5) 0<ψく(1,03θt+
2)°・・(+6)すなわち、検光子角ψがこの範囲の
精度で設定されておれば、変調度の温度依存性は20C
±60Cの温度変化で±1%以内の変動に収まる。 さらに、検光子角ψを次式で与えられる最適角に設定す
れば、 ψ=(0,950t−1,5f ・・・・・(1
7)で±0.2%以内の変動に収まることが明らかにな
った。なお、この結果は1式(1りによって非常によく
説明されることケ確認した。 特に結晶厚みkt=4.66mとしたときは05)式よ
り得られる最適角は変調感度が最高となる検光子角ψ=
45°と一致するので、この条件下では変調感度の低下
を伴なうことな(温度安定性な満足させることができる
。実験においてψ=45゜でt=4.5ms+、4.6
611m、4.81El11の6種について測定した結
果、±0.2%以内の温度安定性が得られた。この条件
は、旋光能θ≧10.5°/諺 である8 00 hm
、 900 nmの光源な用いたときに成り立つもの
である。第8図はt=4.661mでの実験例であり、
非常に温度安定性の良い特性を示している。 先に述べたように、従来の光による電圧・電界測定装置
では旋光能の無い電気光学結晶を使用し、感度および直
線性において最良の結果を得るために、検光子の偏波面
を電気光学結晶の光学軸に対して45°傾斜させるのが
通例であった。 本願出願人は、先に旋光能の有る電気光学結晶な使用す
る電圧・電界測定器を発明して特許出願したが、旋光能
の有る電気光学結晶な使用した場合にも、感度および直
線性において最良の結果を得るためにはやはり検光子の
偏波面と電気光学結晶の光学軸のなτ角ψを45°傾斜
させなければならないのであって、45°に旋光角な加
えて、ψ=45°+θt、だけ傾斜させるべきであると
考えるのは誤った類推であることに注意すべきである。 本発明は、先ず感度を犠牲にしても温度変化に対して安
定な電圧・電界測定器を得たいと考えて実験を重ねた結
果、旋光能のある電気光学結晶な使用し、ψhθtとす
ることによって、その目的な達成しうろことな発見し、
それを利用したのである。 さらに、式ψNθtにおいて、ψ+45°になるように
、電気光学結晶の旋光能θと光の進行方向の長さtとを
選択することは可能であるから、感度および直線性を犠
牲にすることなく温度特性な安定化することもできるこ
とはいうまでもない。 なお、BGOの旋光能は、実験誤差の範囲内でBSOの
それと同一であることも確認した。したがって、BSO
とBGOを全く同一の条件で使用すれば、同一の結果が
得られることは明らかである。 本明細書では、BSOとBCOを電気光学結晶として使
用した場合について特に詳細に説明したが、旋光能と電
気光学効果とを併せ持つ、BSOとBGO以外の電気光
学結晶な使用しても、それぞれの結晶の旋光能に応じて
、同様の条件を与えることにより、温度安定性の良い電
圧・電界測定器を得られることはいうまでもない。 以上は光の進行方向を向いて左回りの旋光能を有する場
合についての実験及び解析結果であるが、右回りの旋光
能(式(151でθを−θにおきかえる)を有するBS
O,BCOについても検討した結果、検光子角の回転方
向な旋光能と同一の方向にすれば前記左回り旋光能の場
合と同じ結果が得られることを確認した。 次にこれまでは波長800 nm〜900 nmでO〜
600vの電圧な印加した場合な中心に説明して来たが
、前述のことがらは伺らこのような特定の光の波長や印
加電圧に限定されるも。のではない。たとえばBSO,
BGOの旋光能は第9図に示すように光の波長が長くな
ると減小し、半波長電圧は増加するため、使用する光の
波長帯域に応じ、ψとtとを与えれば最も温度安定性の
良い結果が得られる。また印加電圧についても直線性な
問題とせずに高電圧(1000〜4000V) な印
加するような場合にも、適当な条件を選択すれば温度安
定性の良い結果が得られる。 このような一般的な場合においてさえも、各条件での旋
光能と半波長電圧の温度依存性を測定したうえで、必要
な温度領域において、ψとtとを適当に選べば、温度安
定性の良い結果が得られる。 以上に説明した実施例は、光の進行方向と電圧・電界の
方向とが平行の場合(縦型)であったが、電圧・電界の
方向が光の進行方向に対して直角の場合(横型)にも同
様の説明が当ばまる。 第1図(clにおいて、光の進行方向(<110>方向
)と直角の(<110>方向)に電圧Vを印加すると、
BSOの電界Eは。 E =V/d となる。結晶長はtであるから、電圧の効果はVxt/
(1となり、第1図(alに示した実施例の場合に較べ
てt/d倍だけ感度が向上する。 従って、式f151において、VIVt/d で置き
換えると次式が得られる。 ・・・・・Oa なお、φの値は、式(121において、■なV t/d
で置き換えた次式によって与えられる。 第1図(c)の実施例(横型)において、1=4.66
1111.d=1.5mlとし、ψ=45° ニ設定シ
て実験したところ第1図(a)の実施例(縦型)の約3
倍の感度が得られること、および温度安定性は、20C
±60Cの範囲の温度変動に対して±0.2%以内であ
ることが確認された。 以上に詳述したように、本発明によれば、旋光能を有す
る電気光学結晶による偏波面の回転方向と同一の方向に
同一角度だけ検光子な回転させることにより半波長電圧
及び旋光能の温度依存性に起因する出力光強度の温度変
動な小さくすることが出来、温度変動に対して極めて安
定した光による電圧・電界測定器な提供することが出来
る。 そしてこのことによって、前記した電力系統の恒久設備
や温度変化の激しい環境での電圧・電界の測定・監視用
として、本発明の測定器は、非常に有効なものとなる。 4、図面の簡単な説明〕 第1図(alは縦型の光による電圧・電界測定器の基本
構成図、第1図(b)は14波長板の作用を説明のため
の波形図、第1図(clは横型の同上測定器の基本構成
図、第2図は温度補償型の電気光学結晶を示す構成図、
第6図はLiNb0 を使用した温度補償型電圧・電
界測定器の一定入力電圧に対する変調度が温度によって
変化する状態を示す温度特性線図、第4図はBi1□5
iO28す利用した特開昭56−100364号公報記
載の電圧測定器の温度安定性の例な示す図、第5図は検
光子のく011〉方向(X軸方向)に対する方位角ψと
変調度の温度による安定性との関係な示す図、箪6図は
従来例と本発明の実施例の変調度の温度変化による変動
率な比較するグラフである。第7図は結晶長tと温度安
定性の良好な検光子角との関係についての実験結果な示
す図である。 第8図は結晶長t=4.66M、検光子角=45゜のと
きの変調度の変動率を示す為の図である。第9図は光波
長とBSO,BGOの旋光能との関係な示す図である。 図面中 1は入射光光源 2は偏光子 6は1/L波長板 4は電気光学結晶 5は検光子 6は透明電極 7は電源 である。 (外2名) 4ξ/ 図(a) 2−一 l 図 (b) 幕/凹(す 襄2図 7゛〈4 n。 奉7図 結晶優ノ(mm) 本q図 ヲL ツ之−艷 (nm) 手続補正書 昭和!7年12月ダ日 特許庁長官 若杉和夫 殿 1、事件の表示 昭和56年特許願第212235 号2、発明の名称 光による電圧・電界測定器 6、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 (213)住友電気工業株式会社4、代理人 5、補正の対象
Claims (4)
- (1)光の進行方向に沿い偏光子、波長板電気光学結晶
および検光子を順次配列し、上記電気光学結晶としてビ
スマスシリコンオキサイド(BilgSiOgo)又は
ビスマスゲルマニウムオキサイド(Bi 1gGeog
o )を用いて電圧、電界を測定する装置において、光
の進行方向に直角な面内に存在する電気光学結晶(光の
進行方向の厚さ/a) の光学軸(<011>軸もし
くはこれと等価な光学軸)を基準として、旋光能(θ0
/uL)による偏波面の回転方向と同一の方向に、検光
子の方位ψを回転し、次式 で与えられる変調度(m)の温度変化による変動(Δm
)が 1Δ”7m l<o、o lになるようにψ、θ
lを調整したことを特徴とする光による電圧・電界測定
器。 - (2)前記の光の波長が800〜900 nmであり、
検光子の方位ψが次式 %式%) を満たすようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の光による電圧・電界測定器。 - (3)前記検光子の方位ψが次式 %式%) であることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の光
による電圧・電界測定器。 - (4)電気光学結晶の厚みlが45〜48JIXであり
、検光子の方位ψが略45°であることを特徴とする特
許請求の範囲第8項記載の光による電圧・電界測定器。
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