JPH10317123A - 結晶配向性硬質被覆部材 - Google Patents
結晶配向性硬質被覆部材Info
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- JPH10317123A JPH10317123A JP14348397A JP14348397A JPH10317123A JP H10317123 A JPH10317123 A JP H10317123A JP 14348397 A JP14348397 A JP 14348397A JP 14348397 A JP14348397 A JP 14348397A JP H10317123 A JPH10317123 A JP H10317123A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 （ＴｉＡｌ）化合物の被膜を被覆した従来の
被覆部材は、Ｘ線回折した場合に（１１１）結晶面が最
大のピークとなる（１１１）結晶面に配向されているた
めに、破壊靭性値が低下すること、特に高速切削用切削
工具として用いると、高温による被膜の酸化，急激な摩
耗の進行，熱衝撃性による劣化および被削材との溶着に
より短寿命になるという課題がある。また、結晶配向さ
せたＴｉ化合物の被膜を被覆した従来の被覆部材は、膜
自体が脆性なために切削用工具のような苛酷な用途では
剥離またはチッピングを生じ易くて短寿命になるという
課題がある。 【解決手段】 基材の上に、チタンとアルミニウムとの
窒化物，炭窒化物，窒酸化物，炭酸化物，炭窒酸化物の
中の１種の単層または２種以上の多層からなる被膜を被
覆した被覆部材において、該被膜は、Ｘ線回折により求
めた結晶面のピーク強度が（２００）結晶面に最大高さ
を有することを特徴とする結晶配向性硬質被覆部材。
被覆部材は、Ｘ線回折した場合に（１１１）結晶面が最
大のピークとなる（１１１）結晶面に配向されているた
めに、破壊靭性値が低下すること、特に高速切削用切削
工具として用いると、高温による被膜の酸化，急激な摩
耗の進行，熱衝撃性による劣化および被削材との溶着に
より短寿命になるという課題がある。また、結晶配向さ
せたＴｉ化合物の被膜を被覆した従来の被覆部材は、膜
自体が脆性なために切削用工具のような苛酷な用途では
剥離またはチッピングを生じ易くて短寿命になるという
課題がある。 【解決手段】 基材の上に、チタンとアルミニウムとの
窒化物，炭窒化物，窒酸化物，炭酸化物，炭窒酸化物の
中の１種の単層または２種以上の多層からなる被膜を被
覆した被覆部材において、該被膜は、Ｘ線回折により求
めた結晶面のピーク強度が（２００）結晶面に最大高さ
を有することを特徴とする結晶配向性硬質被覆部材。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属、合金または
セラミックス焼結体の基材上に（２００）結晶面を成長
させたチタンとアルミニウムとの窒化物，炭窒化物，窒
酸化物，炭酸化物，炭窒酸化物でなる（ＴｉＡｌ）化合
物の被膜を被覆した結晶配向性硬質被覆部材に関し、具
体的には、金属、合金またはセラミックス焼結体の基材
上に耐剥離性に優れた高硬度、高靭性の（ＴｉＡｌ）化
合物の被膜を被覆して、例えば旋削工具，フライス工
具，ドリル，エンドミルに代表される切削用工具、スリ
ッタ−などの切断刃，裁断刃とダイス，パンチなどの型
工具とノズルなどの耐腐食耐摩耗部材に代表される耐摩
耗用工具、トンネル掘削用ビット，建築工具に代表され
る土木建設用工具として最適な結晶配向性硬質被覆部材
に関する。
セラミックス焼結体の基材上に（２００）結晶面を成長
させたチタンとアルミニウムとの窒化物，炭窒化物，窒
酸化物，炭酸化物，炭窒酸化物でなる（ＴｉＡｌ）化合
物の被膜を被覆した結晶配向性硬質被覆部材に関し、具
体的には、金属、合金またはセラミックス焼結体の基材
上に耐剥離性に優れた高硬度、高靭性の（ＴｉＡｌ）化
合物の被膜を被覆して、例えば旋削工具，フライス工
具，ドリル，エンドミルに代表される切削用工具、スリ
ッタ−などの切断刃，裁断刃とダイス，パンチなどの型
工具とノズルなどの耐腐食耐摩耗部材に代表される耐摩
耗用工具、トンネル掘削用ビット，建築工具に代表され
る土木建設用工具として最適な結晶配向性硬質被覆部材
に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属、合金およびセラミックスの基材上
に厚さが２０μｍ以下のセラミックスの被膜を被覆し、
基材と被膜とのそれぞれの特性を有効に引き出して、長
寿命を達成しようとした被覆部材が多数提案されてい
る。この被覆部材に被膜を被覆する方法は、大別すると
化学蒸着法（ＣＶＤ法）と物理蒸着法（ＰＶＤ法）があ
る。これらのうち、特にＰＶＤ法により被覆された被膜
は、基材の強度を劣化させることなく耐摩耗性を高める
利点がある。そのために、一般に強度，耐欠損性を重要
視するドリル、エンドミル、フライス用スロ−アウェイ
チップに代表される被覆切削工具の被膜は、ＰＶＤ法に
より被覆されているのが現状である。
に厚さが２０μｍ以下のセラミックスの被膜を被覆し、
基材と被膜とのそれぞれの特性を有効に引き出して、長
寿命を達成しようとした被覆部材が多数提案されてい
る。この被覆部材に被膜を被覆する方法は、大別すると
化学蒸着法（ＣＶＤ法）と物理蒸着法（ＰＶＤ法）があ
る。これらのうち、特にＰＶＤ法により被覆された被膜
は、基材の強度を劣化させることなく耐摩耗性を高める
利点がある。そのために、一般に強度，耐欠損性を重要
視するドリル、エンドミル、フライス用スロ−アウェイ
チップに代表される被覆切削工具の被膜は、ＰＶＤ法に
より被覆されているのが現状である。
【０００３】従来から耐摩耗性を向上させるために窒化
チタンを代表とするＴｉ化合物の被膜を被覆することは
よく知られている。しかしながら、窒化チタンを代表と
する金属窒化物は高温で酸化されやすく、耐摩耗性が著
しく劣化するという問題がある。この窒化チタン被膜の
酸化の問題を改善しょうとして１９８０年代中頃から提
案されたものに、（ＴｉＡｌ）化合物の被膜に代表され
る被覆部材に関するものがあり、その代表的なものとし
て特開昭６２−５６５６５号公報，特開平６−２１０５
０２号公報，特開平６−２１０５１１号公報および特開
平７−１９７２３５号公報がある。
チタンを代表とするＴｉ化合物の被膜を被覆することは
よく知られている。しかしながら、窒化チタンを代表と
する金属窒化物は高温で酸化されやすく、耐摩耗性が著
しく劣化するという問題がある。この窒化チタン被膜の
酸化の問題を改善しょうとして１９８０年代中頃から提
案されたものに、（ＴｉＡｌ）化合物の被膜に代表され
る被覆部材に関するものがあり、その代表的なものとし
て特開昭６２−５６５６５号公報，特開平６−２１０５
０２号公報，特開平６−２１０５１１号公報および特開
平７−１９７２３５号公報がある。
【０００４】一方、基材の表面に被覆する被膜を結晶配
向させて、被膜の付着性を高めることが提案されてお
り、その代表的なものとして特開昭５６−１５６７６７
号公報，特開平２−１５９３６３号公報，特開平５−２
８７３２２号公報，特開平５−２８７３２３号公報およ
び特開平５−２９５５１７号公報がある。
向させて、被膜の付着性を高めることが提案されてお
り、その代表的なものとして特開昭５６−１５６７６７
号公報，特開平２−１５９３６３号公報，特開平５−２
８７３２２号公報，特開平５−２８７３２３号公報およ
び特開平５−２９５５１７号公報がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】（ＴｉＡｌ）化合物の
被膜に関する先行技術としての特開昭６２−５６５６５
号公報，特開平６−２１０５０２号公報，特開平６−２
１０５１１号公報および特開平７−１９７２３５号公報
には、基材の表面に（ＴｉＡｌ）の炭化物，窒化物およ
び炭窒化物のうちの１種の単層または２種以上の多層で
なる硬質被膜層を形成した耐摩耗性に優れた表面被覆硬
質部材について開示されている。
被膜に関する先行技術としての特開昭６２−５６５６５
号公報，特開平６−２１０５０２号公報，特開平６−２
１０５１１号公報および特開平７−１９７２３５号公報
には、基材の表面に（ＴｉＡｌ）の炭化物，窒化物およ
び炭窒化物のうちの１種の単層または２種以上の多層で
なる硬質被膜層を形成した耐摩耗性に優れた表面被覆硬
質部材について開示されている。
【０００６】これらの公報に開示の表面被覆硬質部材に
代表される従来の（ＴｉＡｌ）化合物の被膜は、開発当
初の通りにＴｉ化合物の被膜に比べて耐酸化性および耐
摩耗性の向上した被膜ではあるが、（１１１）結晶面が
成長した（ＴｉＡｌ）化合物の被膜であって、被膜と基
材との密着性が劣ること、被膜自体の機械的性質が劣化
しやすいことから、工具、特に苛酷な条件で用いられる
切削工具へ適用した場合に切削性能が低下するという問
題がある。つまり、同公報に記載の表面被覆硬質部材
は、被膜中にＡｌを含有させることにより、Ｔｉ化合物
の被膜に比較して被膜表面における化学的性質の向上を
達成した反面、基材と被膜との界面における結晶構造的
な配慮がされていないことから、被膜の耐剥離性および
強度が劣り、表面被覆硬質部材の破壊靭性値および耐欠
損性が低下すること、特に高速切削用工具として用いる
と、高温による被膜の酸化，急激な摩耗の進行，熱衝撃
性による劣化および被削材との溶着により短寿命になる
という問題がある。
代表される従来の（ＴｉＡｌ）化合物の被膜は、開発当
初の通りにＴｉ化合物の被膜に比べて耐酸化性および耐
摩耗性の向上した被膜ではあるが、（１１１）結晶面が
成長した（ＴｉＡｌ）化合物の被膜であって、被膜と基
材との密着性が劣ること、被膜自体の機械的性質が劣化
しやすいことから、工具、特に苛酷な条件で用いられる
切削工具へ適用した場合に切削性能が低下するという問
題がある。つまり、同公報に記載の表面被覆硬質部材
は、被膜中にＡｌを含有させることにより、Ｔｉ化合物
の被膜に比較して被膜表面における化学的性質の向上を
達成した反面、基材と被膜との界面における結晶構造的
な配慮がされていないことから、被膜の耐剥離性および
強度が劣り、表面被覆硬質部材の破壊靭性値および耐欠
損性が低下すること、特に高速切削用工具として用いる
と、高温による被膜の酸化，急激な摩耗の進行，熱衝撃
性による劣化および被削材との溶着により短寿命になる
という問題がある。
【０００７】一方、結晶配向された被膜に関する先行技
術としての特開昭５６−１５６７６７号公報，特開平２
−１５９３６３号公報，特開平５−２８７３２２号公
報，特開平５−２８７３２３号公報および特開平５−２
９５５１７号公報には、窒化チタン，炭化チタン，炭窒
化チタンでなるＴｉ化合物の被膜を結晶配向して基材の
表面に被覆した被覆硬質部材について開示されている。
術としての特開昭５６−１５６７６７号公報，特開平２
−１５９３６３号公報，特開平５−２８７３２２号公
報，特開平５−２８７３２３号公報および特開平５−２
９５５１７号公報には、窒化チタン，炭化チタン，炭窒
化チタンでなるＴｉ化合物の被膜を結晶配向して基材の
表面に被覆した被覆硬質部材について開示されている。
【０００８】これらの結晶配向に関する公報に開示され
ている被覆硬質部材は、被膜の結晶面を配向することに
より、被膜と基材との密着性が向上してはいるものの、
被膜中にＡｌが含有されていないＴｉ化合物の被膜であ
ることから、被膜自体の機械的性質が低く、被膜の強
度，硬度，耐摩耗性，耐熱性および耐酸化性に未だ満足
できないという問題がある。
ている被覆硬質部材は、被膜の結晶面を配向することに
より、被膜と基材との密着性が向上してはいるものの、
被膜中にＡｌが含有されていないＴｉ化合物の被膜であ
ることから、被膜自体の機械的性質が低く、被膜の強
度，硬度，耐摩耗性，耐熱性および耐酸化性に未だ満足
できないという問題がある。
【０００９】本発明は、上述のような問題点を解決した
もので、具体的には、低温領域から高温領域に至るまで
の広い領域において、高靭性，高硬度性，耐摩耗性，耐
酸化性，耐熱衝撃性，耐欠損性，耐溶着性のある被膜お
よび耐剥離性の被膜を被覆することにより一層長寿命と
なる結晶配向性硬質被覆部材の提供を目的とする。
もので、具体的には、低温領域から高温領域に至るまで
の広い領域において、高靭性，高硬度性，耐摩耗性，耐
酸化性，耐熱衝撃性，耐欠損性，耐溶着性のある被膜お
よび耐剥離性の被膜を被覆することにより一層長寿命と
なる結晶配向性硬質被覆部材の提供を目的とする。
【００１０】本発明者らは、超硬合金の基材上に（Ｔｉ
Ａｌ）化合物の被膜を被覆した被覆部材が、低温領域で
使用すると割合に優れた効果を発揮するのに対し、高温
領域で使用するとその効果が低減されるという問題を検
討していたところ、詳細な理由は明確ではないが、基材
上に被覆される従来の（ＴｉＡｌ）化合物の被膜は（１
１１）結晶面を成長させた被覆膜であること、この（１
１１）結晶面を成長させた（ＴｉＡｌ）化合物の被膜に
対比して、（２００）結晶面を成長させた（ＴｉＡｌ）
化合物の被膜の方が少々高硬度の傾向となること、耐剥
離性，耐酸化性，耐熱衝撃性にすぐれること、また低温
から高温の領域に至るまで耐摩耗性の低減が生じないこ
と、これらが複合されて長寿命になるという知見を得
て、本発明を完成するに至ったものである。
Ａｌ）化合物の被膜を被覆した被覆部材が、低温領域で
使用すると割合に優れた効果を発揮するのに対し、高温
領域で使用するとその効果が低減されるという問題を検
討していたところ、詳細な理由は明確ではないが、基材
上に被覆される従来の（ＴｉＡｌ）化合物の被膜は（１
１１）結晶面を成長させた被覆膜であること、この（１
１１）結晶面を成長させた（ＴｉＡｌ）化合物の被膜に
対比して、（２００）結晶面を成長させた（ＴｉＡｌ）
化合物の被膜の方が少々高硬度の傾向となること、耐剥
離性，耐酸化性，耐熱衝撃性にすぐれること、また低温
から高温の領域に至るまで耐摩耗性の低減が生じないこ
と、これらが複合されて長寿命になるという知見を得
て、本発明を完成するに至ったものである。
【００１１】本発明の硬質被覆部材は、基材の上に、チ
タンとアルミニウムとの窒化物，炭窒化物，窒酸化物，
炭酸化物，炭窒酸化物の中の１種の単層または２種以上
の多層からなる被膜を被覆した被覆部材であって、Ｘ線
回折により求めた該被膜の結晶面のピーク強度が（２０
０）結晶面に最大高さを有することを特徴とするもので
ある。
タンとアルミニウムとの窒化物，炭窒化物，窒酸化物，
炭酸化物，炭窒酸化物の中の１種の単層または２種以上
の多層からなる被膜を被覆した被覆部材であって、Ｘ線
回折により求めた該被膜の結晶面のピーク強度が（２０
０）結晶面に最大高さを有することを特徴とするもので
ある。
【００１２】
【発明の実施の態様】本発明の硬質被覆部材における基
材は、材質的には、特に制限されることがなく、被膜を
被覆するときに加熱する温度に耐えることができる材
質、例えば金属部材，焼結合金またはセラミックス焼結
体ならば問題がなく、具体的には、例えばステンレス
鋼，耐熱合金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合
金に代表される金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末
ハイスに代表される焼結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼結体，Ｓｉ
3Ｎ4系焼結体，サイアロン系焼結体，ＺｒＯ2系焼結体
に代表されるセラミックス焼結体を挙げることができ
る。これらのうち、切削用工具または耐摩耗用工具とし
て用いるときには、超硬合金，窒素含有ＴｉＣ系サ−メ
ットもしくはセラミックス焼結体の基材が好ましい。
材は、材質的には、特に制限されることがなく、被膜を
被覆するときに加熱する温度に耐えることができる材
質、例えば金属部材，焼結合金またはセラミックス焼結
体ならば問題がなく、具体的には、例えばステンレス
鋼，耐熱合金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合
金に代表される金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末
ハイスに代表される焼結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼結体，Ｓｉ
3Ｎ4系焼結体，サイアロン系焼結体，ＺｒＯ2系焼結体
に代表されるセラミックス焼結体を挙げることができ
る。これらのうち、切削用工具または耐摩耗用工具とし
て用いるときには、超硬合金，窒素含有ＴｉＣ系サ−メ
ットもしくはセラミックス焼結体の基材が好ましい。
【００１３】この基材上に被覆される被膜の組成成分
は、具体的には、例えば（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ、（Ｔｉ，Ａ
ｌ）ＣＮ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＯ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＯ、
（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮＯの中の１種の単層または２種以上
の多層を挙げることができる。この被膜は、被膜中に含
有する金属元素であるＴｉ元素対Ａｌ元素の原子比率が
４８〜７５：５２〜２５であると、高硬度になること、
耐剥離性，耐酸化性，耐熱衝撃性にすぐれること、長寿
命になることから好ましいことである。この被膜は、化
学量論組成または非化学量論組成からなる場合でもよ
い。
は、具体的には、例えば（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ、（Ｔｉ，Ａ
ｌ）ＣＮ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＯ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＯ、
（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮＯの中の１種の単層または２種以上
の多層を挙げることができる。この被膜は、被膜中に含
有する金属元素であるＴｉ元素対Ａｌ元素の原子比率が
４８〜７５：５２〜２５であると、高硬度になること、
耐剥離性，耐酸化性，耐熱衝撃性にすぐれること、長寿
命になることから好ましいことである。この被膜は、化
学量論組成または非化学量論組成からなる場合でもよ
い。
【００１４】また、被膜表面からＸ線回折した場合に、
従来の（ＴｉＡｌ）化合物の被膜は、（１１１）結晶面
が最大の強度ピークとなる（１１１）面に結晶配向され
た被膜であるのに対し、本発明の硬質被覆部材における
被膜は、（２００）結晶面が最大の強度ピークとなる
（２００）面に結晶配向された被膜である。別の表現を
すると、この本発明の硬質被覆部材における被膜は、Ｘ
線回折における（２００）結晶面と（１１１）結晶面に
よるそれぞれの強度ピークの高さをｈ（２００），ｈ
（１１１）としたときに、ｈ（２００）＞ｈ（１１１）
の関係にあればよく、後述する効果を高めるために、
（１１１）結晶面に対する（２００）結晶面の強度比が
２〜１００の関係にあることが好ましいことである。す
なわち、Ｘ線回折における（２００）結晶面と（１１
１）結晶面により求めた、それぞれの強度ピークの高さ
がｈ（２００）／ｈ（１１１）＝２〜１００の関係にあ
ることが好ましいことである。この被膜は、用途または
形状により被膜厚さを選定する必要があり、工具として
の用途では、０．１〜１０μｍでなる膜厚さでなること
が好ましく、特に過酷な用途であるドリル，エンドミ
ル，リーマに代表される回転切削工具の場合には、膜厚
さが０．５〜５μｍであることが好ましいことである。
従来の（ＴｉＡｌ）化合物の被膜は、（１１１）結晶面
が最大の強度ピークとなる（１１１）面に結晶配向され
た被膜であるのに対し、本発明の硬質被覆部材における
被膜は、（２００）結晶面が最大の強度ピークとなる
（２００）面に結晶配向された被膜である。別の表現を
すると、この本発明の硬質被覆部材における被膜は、Ｘ
線回折における（２００）結晶面と（１１１）結晶面に
よるそれぞれの強度ピークの高さをｈ（２００），ｈ
（１１１）としたときに、ｈ（２００）＞ｈ（１１１）
の関係にあればよく、後述する効果を高めるために、
（１１１）結晶面に対する（２００）結晶面の強度比が
２〜１００の関係にあることが好ましいことである。す
なわち、Ｘ線回折における（２００）結晶面と（１１
１）結晶面により求めた、それぞれの強度ピークの高さ
がｈ（２００）／ｈ（１１１）＝２〜１００の関係にあ
ることが好ましいことである。この被膜は、用途または
形状により被膜厚さを選定する必要があり、工具として
の用途では、０．１〜１０μｍでなる膜厚さでなること
が好ましく、特に過酷な用途であるドリル，エンドミ
ル，リーマに代表される回転切削工具の場合には、膜厚
さが０．５〜５μｍであることが好ましいことである。
【００１５】本発明の硬質被覆部材は、結晶配向された
被膜により前述の基材との密着性が向上するという効果
があるが、熱膨張係数に代表される問題から基材の材質
によっては密着性に対する効果がほとんどなくなる場合
がある。この場合には、基材と被膜との間に中間層を介
在させることも好ましいことである。中間層としては、
基材と被膜との中間の熱膨張係数を有する物質，傾斜組
成成分，などにより形成することができる。また、結晶
配向された被膜の表面に最上層を形成することも好まし
いことである。
被膜により前述の基材との密着性が向上するという効果
があるが、熱膨張係数に代表される問題から基材の材質
によっては密着性に対する効果がほとんどなくなる場合
がある。この場合には、基材と被膜との間に中間層を介
在させることも好ましいことである。中間層としては、
基材と被膜との中間の熱膨張係数を有する物質，傾斜組
成成分，などにより形成することができる。また、結晶
配向された被膜の表面に最上層を形成することも好まし
いことである。
【００１６】この中間層は、具体的には、例えばＴｉ
Ｃ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，ＷＣ，Ｍ
ｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮ，ＴａＮ，
ＣｒＮ，Ｔｉ（ＣＮ），（ＴｉＷ）Ｃ，（ＴｉＴａ）
Ｃ，（ＴｉＴａ）ＣＮ，（ＴｉＴａ）Ｎを挙げることが
できる。これらの中間層は、１種の単層または２種以上
の多層として形成することができる。また、中間層と基
材との間に、基材との親和性の高い下地層、例えばＴ
ｉ，ＴｉＡｌ，Ｔｉ3Ａｌ，ＴｉＡｌ3，Ｗ，に代表され
る金属または合金，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ2Ｎ，ＴａＮ，
ＶＢ2，ＮｂＢ2，ＴａＢ2，Ｗ2Ｂ5，ＭｏＢ2，ＣｒＢ2
の六方晶結晶構造でなるセラミックスの中から選ばれた
１種の単層または２種以上の複層でなる下地層を形成す
ることも好ましいことである。この中間層の膜厚さは、
中間層の表面に被覆される硬質膜が密着性を高めること
ができる膜厚さであればよく、具体的には、例えば０．
０１〜５μｍ厚さ、特に０．０１〜１μｍ厚さでなるこ
とが好ましい。
Ｃ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，ＷＣ，Ｍ
ｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮ，ＴａＮ，
ＣｒＮ，Ｔｉ（ＣＮ），（ＴｉＷ）Ｃ，（ＴｉＴａ）
Ｃ，（ＴｉＴａ）ＣＮ，（ＴｉＴａ）Ｎを挙げることが
できる。これらの中間層は、１種の単層または２種以上
の多層として形成することができる。また、中間層と基
材との間に、基材との親和性の高い下地層、例えばＴ
ｉ，ＴｉＡｌ，Ｔｉ3Ａｌ，ＴｉＡｌ3，Ｗ，に代表され
る金属または合金，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ2Ｎ，ＴａＮ，
ＶＢ2，ＮｂＢ2，ＴａＢ2，Ｗ2Ｂ5，ＭｏＢ2，ＣｒＢ2
の六方晶結晶構造でなるセラミックスの中から選ばれた
１種の単層または２種以上の複層でなる下地層を形成す
ることも好ましいことである。この中間層の膜厚さは、
中間層の表面に被覆される硬質膜が密着性を高めること
ができる膜厚さであればよく、具体的には、例えば０．
０１〜５μｍ厚さ、特に０．０１〜１μｍ厚さでなるこ
とが好ましい。
【００１７】結晶配向された被膜の表面に被覆する最上
層は、より耐熱性，耐酸化性を高める目的、表面の着
色，使用前後の判別等のために形成し、具体的には、例
えばＡｌ2Ｏ3，（ＡｌＳｉ）ＯＮ，（ＴｉＡｌＳｉ）
Ｎ，（ＴｉＡｌＳｉ）ＯＮ，ＴｉＣ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，
ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，Ｔ
ｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮ，ＴａＮ，ＣｒＮ，Ｔｉ（Ｃ
Ｎ），（ＴｉＷ）Ｃ，（ＴｉＴａ）Ｃ，（ＴｉＴａ）Ｃ
Ｎ，（ＴｉＴａ）Ｎの中の１種の単層または２種以上の
多層でなる場合を挙げることができる。この最上層の膜
厚さは、目的により異なるが、具体的には、例えば０．
１〜５μｍ厚さでなることが好ましい。
層は、より耐熱性，耐酸化性を高める目的、表面の着
色，使用前後の判別等のために形成し、具体的には、例
えばＡｌ2Ｏ3，（ＡｌＳｉ）ＯＮ，（ＴｉＡｌＳｉ）
Ｎ，（ＴｉＡｌＳｉ）ＯＮ，ＴｉＣ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，
ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，Ｔ
ｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮ，ＴａＮ，ＣｒＮ，Ｔｉ（Ｃ
Ｎ），（ＴｉＷ）Ｃ，（ＴｉＴａ）Ｃ，（ＴｉＴａ）Ｃ
Ｎ，（ＴｉＴａ）Ｎの中の１種の単層または２種以上の
多層でなる場合を挙げることができる。この最上層の膜
厚さは、目的により異なるが、具体的には、例えば０．
１〜５μｍ厚さでなることが好ましい。
【００１８】本発明の硬質被覆部材を作製する場合に、
まず基材は、従来から市販されているステンレス鋼，耐
熱合金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代
表される金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末ハイス
の焼結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼結体，Ｓｉ3Ｎ4系焼結体，サ
イアロン系焼結体，ＺｒＯ2系焼結体のセラミックス焼
結体を基材とし、好ましくはＪＩＳ規格Ｂ４０５３の超
硬合金の使用選択基準の中で分類されているＰ２０〜Ｐ
４０，Ｍ２０〜４０およびＫ１０〜Ｋ２０相当の超硬合
金材質、特に好ましくはＰ３０，Ｍ２０，Ｍ３０，Ｋ１
０相当の超硬合金材質でなる基材を用いればよい。この
基材の表面を、必要に応じて研磨し、超音波，有機溶剤
などによる洗浄処理を行った後、従来から行われている
物理蒸着法（ＰＶＤ法），化学蒸着法（ＣＶＤ法）また
はプラズマＣＶＤ法により基材上に被膜を被覆すること
により作製することができる。
まず基材は、従来から市販されているステンレス鋼，耐
熱合金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代
表される金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末ハイス
の焼結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼結体，Ｓｉ3Ｎ4系焼結体，サ
イアロン系焼結体，ＺｒＯ2系焼結体のセラミックス焼
結体を基材とし、好ましくはＪＩＳ規格Ｂ４０５３の超
硬合金の使用選択基準の中で分類されているＰ２０〜Ｐ
４０，Ｍ２０〜４０およびＫ１０〜Ｋ２０相当の超硬合
金材質、特に好ましくはＰ３０，Ｍ２０，Ｍ３０，Ｋ１
０相当の超硬合金材質でなる基材を用いればよい。この
基材の表面を、必要に応じて研磨し、超音波，有機溶剤
などによる洗浄処理を行った後、従来から行われている
物理蒸着法（ＰＶＤ法），化学蒸着法（ＣＶＤ法）また
はプラズマＣＶＤ法により基材上に被膜を被覆すること
により作製することができる。
【００１９】基材上に被膜を被覆する場合は、必要に応
じて被覆する下地層や中間層を含めて、それぞれの膜質
に応じてＰＶＤ法，ＣＶＤ法，またはプラズマＣＶＤ法
を使い分けることもできる。これらのうち、製造工程上
から全ての被膜を、イオンプレ−ティング法またはスパ
ッタリング法に代表されるＰＶＤ法で行うことが好まし
く、この中でもイオンプレ−ティング法、特にア−クイ
オンプレ−ティング法で被覆処理することが好ましい。
じて被覆する下地層や中間層を含めて、それぞれの膜質
に応じてＰＶＤ法，ＣＶＤ法，またはプラズマＣＶＤ法
を使い分けることもできる。これらのうち、製造工程上
から全ての被膜を、イオンプレ−ティング法またはスパ
ッタリング法に代表されるＰＶＤ法で行うことが好まし
く、この中でもイオンプレ−ティング法、特にア−クイ
オンプレ−ティング法で被覆処理することが好ましい。
【００２０】本発明の高強度被覆部材における被膜をイ
オンプレ−ティング法で作製する場合について、さらに
詳述すると、蒸発源としては金属チタン、金属アルミニ
ウムの２種類を独立して用いてもよく、Ｔｉ−Ａｌ合
金，ＴｉＡｌ金属間化合物を使用してもよい。金属のイ
オン化の方法もア−ク放電の他、グロ−放電または高周
波加熱などのいずれでもよい。イオンプレ−ティング法
で使用するガスは、窒化物を生成するためのガス、すな
わち窒素ガスの他、窒素を含んだアンモニアなどの窒素
源ガスを用いてもよい。この反応ガスを炉内に導入し、
蒸発源としての金属，合金，金属間化合物をイオン化
し、基材に負のバイアスを印加すると膜の結晶配向が容
易となることから好ましい。特に、（２００）結晶面の
含有率を高めて結晶配向した（ＴｉＡｌ）化合物の被膜
を形成するためには、被膜形成前の基材表面を洗浄する
ためのボンバード条件と被膜形成時における窒素ガスお
よび／または窒素源ガスの分圧，基材へのバイアス電圧
の調整が重要である。
オンプレ−ティング法で作製する場合について、さらに
詳述すると、蒸発源としては金属チタン、金属アルミニ
ウムの２種類を独立して用いてもよく、Ｔｉ−Ａｌ合
金，ＴｉＡｌ金属間化合物を使用してもよい。金属のイ
オン化の方法もア−ク放電の他、グロ−放電または高周
波加熱などのいずれでもよい。イオンプレ−ティング法
で使用するガスは、窒化物を生成するためのガス、すな
わち窒素ガスの他、窒素を含んだアンモニアなどの窒素
源ガスを用いてもよい。この反応ガスを炉内に導入し、
蒸発源としての金属，合金，金属間化合物をイオン化
し、基材に負のバイアスを印加すると膜の結晶配向が容
易となることから好ましい。特に、（２００）結晶面の
含有率を高めて結晶配向した（ＴｉＡｌ）化合物の被膜
を形成するためには、被膜形成前の基材表面を洗浄する
ためのボンバード条件と被膜形成時における窒素ガスお
よび／または窒素源ガスの分圧，基材へのバイアス電圧
の調整が重要である。
【００２１】
【作用】本発明の硬質被覆部材は、（２００）結晶面に
配向された（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜が被膜硬さを高
め、膜全体の破壊靭性値および耐摩耗性を向上させる作
用をし、かつ基材と被膜との界面近傍に残留する応力を
緩和する作用をし、特に超硬合金でなる基材の場合に
は、被膜中への残留圧縮応力を高めて、基材との密着性
を高める作用をしているものである。
配向された（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜が被膜硬さを高
め、膜全体の破壊靭性値および耐摩耗性を向上させる作
用をし、かつ基材と被膜との界面近傍に残留する応力を
緩和する作用をし、特に超硬合金でなる基材の場合に
は、被膜中への残留圧縮応力を高めて、基材との密着性
を高める作用をしているものである。
【００２２】
【実施例１】市販されている形状ＳＮＧＡ１２０４０８
の超硬合金（ＪＩＳ規格Ｂ４０５３のＫ１０相当材質）
を基材とし、この基材表面を有機溶剤で洗浄した後、ア
ーク放電プラズマＰＶＤ装置のチャンバー内に設置し、
（逃げ面とすくい面へ同時に被覆できる治具を用いて設
置）、チャンバー内の初期条件を、温度：６００℃，圧
力：１×１０-4Ｔｏｒｒの真空とし、６０分間保持し
た。次いで、圧力：１×１０-3Ｔｏｒｒの真空とし，ア
ーク電流：６０Ａ，基材バイアス：−６００Ｖとし、表
１に示した保持時間によりボンバード処理を施した。そ
の後、ＴｉＡｌ金属間化合物含有の蒸発源を用いて表１
に併記した圧力，アーク電流，基材バイアス，窒素流
量，保持時間により処理して、基材表面に被膜を被覆
し、本発明品１〜１６を得た。
の超硬合金（ＪＩＳ規格Ｂ４０５３のＫ１０相当材質）
を基材とし、この基材表面を有機溶剤で洗浄した後、ア
ーク放電プラズマＰＶＤ装置のチャンバー内に設置し、
（逃げ面とすくい面へ同時に被覆できる治具を用いて設
置）、チャンバー内の初期条件を、温度：６００℃，圧
力：１×１０-4Ｔｏｒｒの真空とし、６０分間保持し
た。次いで、圧力：１×１０-3Ｔｏｒｒの真空とし，ア
ーク電流：６０Ａ，基材バイアス：−６００Ｖとし、表
１に示した保持時間によりボンバード処理を施した。そ
の後、ＴｉＡｌ金属間化合物含有の蒸発源を用いて表１
に併記した圧力，アーク電流，基材バイアス，窒素流
量，保持時間により処理して、基材表面に被膜を被覆
し、本発明品１〜１６を得た。
【００２３】比較として、ボンバード処理条件を、圧
力：１×１０-5Ｔｏｒｒの真空とし，アーク電流：１０
０Ａ，基材バイアス：−８００Ｖとした以外は、表１に
併記した条件により処理し、他は本発明品１とほぼ同様
として比較品１を得た。こうして得た本発明品１〜１６
と比較品１に、市販されている（ＴｉＡｌ）Ｎの被覆膜
が被覆されている比較品２，３を追加して、それぞれの
被膜を、Ｘ線回折して、被膜の組成と結晶面の強度比を
調査し、被膜が全て（ＴｉＡｌ）Ｎの組成からなってい
ること、被膜の結晶面の強度比が表２に示した結果であ
ることを確認した。また、Ｘ線回折装置およびグロー放
電発光分析装置を用いて、本発明品１〜１６および比較
品１の被膜中に存在するＴｉ元素とＡｌ元素の原子比率
を求めた結果、ほぼＴｉ：Ａｌ＝６０〜６２：４０〜３
８の範囲からなる（ＴｉＡｌ）Ｎの被膜であった。
力：１×１０-5Ｔｏｒｒの真空とし，アーク電流：１０
０Ａ，基材バイアス：−８００Ｖとした以外は、表１に
併記した条件により処理し、他は本発明品１とほぼ同様
として比較品１を得た。こうして得た本発明品１〜１６
と比較品１に、市販されている（ＴｉＡｌ）Ｎの被覆膜
が被覆されている比較品２，３を追加して、それぞれの
被膜を、Ｘ線回折して、被膜の組成と結晶面の強度比を
調査し、被膜が全て（ＴｉＡｌ）Ｎの組成からなってい
ること、被膜の結晶面の強度比が表２に示した結果であ
ることを確認した。また、Ｘ線回折装置およびグロー放
電発光分析装置を用いて、本発明品１〜１６および比較
品１の被膜中に存在するＴｉ元素とＡｌ元素の原子比率
を求めた結果、ほぼＴｉ：Ａｌ＝６０〜６２：４０〜３
８の範囲からなる（ＴｉＡｌ）Ｎの被膜であった。
【００２４】次いで、走査型電子顕微鏡，ビッカース硬
度測定機，引っ掻き摩耗試験機に相当する被膜剥離試験
機を用いて、本発明品１〜１６および比較品１〜３の被
膜厚さ，被膜硬さの測定、ならびに被膜の耐剥離性とし
て、被膜が剥離されるまでの臨界剥離荷重を求めるスク
ラッチ強度を測定し、それぞれの被膜厚さが約３．０μ
ｍであること、被膜硬さ，被膜のスクラッチ強度が表２
に示した結果であることを確認した。
度測定機，引っ掻き摩耗試験機に相当する被膜剥離試験
機を用いて、本発明品１〜１６および比較品１〜３の被
膜厚さ，被膜硬さの測定、ならびに被膜の耐剥離性とし
て、被膜が剥離されるまでの臨界剥離荷重を求めるスク
ラッチ強度を測定し、それぞれの被膜厚さが約３．０μ
ｍであること、被膜硬さ，被膜のスクラッチ強度が表２
に示した結果であることを確認した。
【００２５】次に、本発明品１〜１６および比較品１〜
３を用いて被削材：Ｓ４８Ｃ（ＨＢ２０５〜２２３）、
切削速度１５０ｍ／ｍｉｎ、送り：０．３ｍｍ／ｒｅ
ｖ、切込み：１．５ｍｍ、チップ形状：ＳＮＧＡ１２０
４０８，乾式切削試験による切削条件により旋削試験を
行い、被膜の剥離，チッピングまたは平均逃げ面摩耗幅
が０．１ｍｍに達したときを寿命とし、寿命までの切削
時間を求めて表２に併記した。
３を用いて被削材：Ｓ４８Ｃ（ＨＢ２０５〜２２３）、
切削速度１５０ｍ／ｍｉｎ、送り：０．３ｍｍ／ｒｅ
ｖ、切込み：１．５ｍｍ、チップ形状：ＳＮＧＡ１２０
４０８，乾式切削試験による切削条件により旋削試験を
行い、被膜の剥離，チッピングまたは平均逃げ面摩耗幅
が０．１ｍｍに達したときを寿命とし、寿命までの切削
時間を求めて表２に併記した。
【００２６】
【表１】
【００２７】
【表２】
【００２８】
【実施例２】被膜の被覆条件を、表３に示した条件で行
った以外は、チャンバ内の初期条件．およびボンバード
条件を実施例１の本発明品３の条件とほぼ同様に処理を
して、被膜厚さの異なる本発明品１７〜２２を得た。ま
た、実施例１と同様にして、これらの本発明品１７〜２
２の被膜の組成と結晶面の強度比を調査し、被膜が全て
（ＴｉＡｌ）Ｎの組成からなっていること、被膜の結晶
面の強度比であるｈ（２００）／ｈ（１１１）が約５．
０でなることを確認した。同様にＸ線回折装置およびグ
ロー放電発光分析装置を用いて、本発明品１７〜２２の
被膜中に存在するＴｉ元素とＡｌ元素の原子比率を求め
た結果、ほぼＴｉ：Ａｌ＝６０〜６２：４０〜３８の範
囲からなる（ＴｉＡｌ）Ｎの被膜であった。次いで、実
施例１と同様にして、これらの本発明品１７〜２２の被
膜厚さ，被膜硬度，被膜のスクラッチ強度および寿命ま
での切削時間を求めて、その結果を表４に示した。
った以外は、チャンバ内の初期条件．およびボンバード
条件を実施例１の本発明品３の条件とほぼ同様に処理を
して、被膜厚さの異なる本発明品１７〜２２を得た。ま
た、実施例１と同様にして、これらの本発明品１７〜２
２の被膜の組成と結晶面の強度比を調査し、被膜が全て
（ＴｉＡｌ）Ｎの組成からなっていること、被膜の結晶
面の強度比であるｈ（２００）／ｈ（１１１）が約５．
０でなることを確認した。同様にＸ線回折装置およびグ
ロー放電発光分析装置を用いて、本発明品１７〜２２の
被膜中に存在するＴｉ元素とＡｌ元素の原子比率を求め
た結果、ほぼＴｉ：Ａｌ＝６０〜６２：４０〜３８の範
囲からなる（ＴｉＡｌ）Ｎの被膜であった。次いで、実
施例１と同様にして、これらの本発明品１７〜２２の被
膜厚さ，被膜硬度，被膜のスクラッチ強度および寿命ま
での切削時間を求めて、その結果を表４に示した。
【００２９】
【表３】
【００３０】
【表４】
【００３１】
【実施例３】被膜の被覆条件における使用ターゲットお
よびその他を、表５に示した条件で行った以外は、チャ
ンバ内の初期条件およびボンバード条件を実施例１の本
発明品３の条件とほぼ同様に処理をして、被膜中のＴｉ
元素とＡｌ元素の原子比率の異なる本発明品２３〜３１
を得た。また、実施例１と同様にして、これらの本発明
品２３〜３１の被膜の組成と結晶面の強度比を調査し、
被膜が全て（ＴｉＡｌ）Ｎの組成からなっていること、
被膜の結晶面の強度比ｈ（２００）／ｈ（１１１）が約
５．０でなることを確認した。同様にＸ線回折装置およ
びグロー放電発光分析装置を用いて、本発明品２３〜３
１の被膜中に存在するＴｉ元素とＡｌ元素の原子比率を
求めて、その結果を表６に示した。次いで、実施例１と
同様にして、これらの本発明品２３〜３１の被膜厚さ，
被膜硬度，被膜のスクラッチ強度および寿命までの切削
時間を求めて、その結果を表６に併記した。
よびその他を、表５に示した条件で行った以外は、チャ
ンバ内の初期条件およびボンバード条件を実施例１の本
発明品３の条件とほぼ同様に処理をして、被膜中のＴｉ
元素とＡｌ元素の原子比率の異なる本発明品２３〜３１
を得た。また、実施例１と同様にして、これらの本発明
品２３〜３１の被膜の組成と結晶面の強度比を調査し、
被膜が全て（ＴｉＡｌ）Ｎの組成からなっていること、
被膜の結晶面の強度比ｈ（２００）／ｈ（１１１）が約
５．０でなることを確認した。同様にＸ線回折装置およ
びグロー放電発光分析装置を用いて、本発明品２３〜３
１の被膜中に存在するＴｉ元素とＡｌ元素の原子比率を
求めて、その結果を表６に示した。次いで、実施例１と
同様にして、これらの本発明品２３〜３１の被膜厚さ，
被膜硬度，被膜のスクラッチ強度および寿命までの切削
時間を求めて、その結果を表６に併記した。
【００３２】
【表５】
【００３３】
【表６】
【００３４】
【実施例４】被膜の被覆時に窒素ガスを導入したのに対
し、アンモニアガスとメタンガスとの混合ガスを使用し
た以外は、実施例１の本発明品３の条件とほぼ同様にし
て、本発明品３２を得た。また、被膜の被覆時に窒素ガ
スを導入したのに対し、アンモニアガスと一酸化炭素と
の混合ガスを使用した以外は、実施例１の本発明品３の
条件とほぼ同様にして、本発明品３３を得た。さらに、
被膜の被覆時に窒素ガスを導入したのに対し、アンモニ
アガスとメタンガスと一酸化炭素との混合ガスを使用し
た以外は、実施例１の本発明品３の条件とほぼ同様にし
て、本発明品３４を得た。
し、アンモニアガスとメタンガスとの混合ガスを使用し
た以外は、実施例１の本発明品３の条件とほぼ同様にし
て、本発明品３２を得た。また、被膜の被覆時に窒素ガ
スを導入したのに対し、アンモニアガスと一酸化炭素と
の混合ガスを使用した以外は、実施例１の本発明品３の
条件とほぼ同様にして、本発明品３３を得た。さらに、
被膜の被覆時に窒素ガスを導入したのに対し、アンモニ
アガスとメタンガスと一酸化炭素との混合ガスを使用し
た以外は、実施例１の本発明品３の条件とほぼ同様にし
て、本発明品３４を得た。
【００３５】こうして得た本発明品３２〜３４の被膜
を、実施例１と同様にして調べたところ、本発明品３２
の被膜は、（ＴｉＡｌ）ＮＣの組成であり、本発明品３
３の被膜は、（ＴｉＡｌ）ＮＯの組成であり、本発明品
３４の被膜は、（ＴｉＡｌ）ＮＣＯの組成であった。こ
の本発明品３２〜３３について、実施例１と同様に被膜
のスクラッチ強度および寿命までの切削時間をそれぞれ
調べた結果、ほぼ本発明品３と同様の傾向を示した。
を、実施例１と同様にして調べたところ、本発明品３２
の被膜は、（ＴｉＡｌ）ＮＣの組成であり、本発明品３
３の被膜は、（ＴｉＡｌ）ＮＯの組成であり、本発明品
３４の被膜は、（ＴｉＡｌ）ＮＣＯの組成であった。こ
の本発明品３２〜３３について、実施例１と同様に被膜
のスクラッチ強度および寿命までの切削時間をそれぞれ
調べた結果、ほぼ本発明品３と同様の傾向を示した。
【００３６】
【発明の効果】本発明の硬質被覆部材は、従来の（１１
１）結晶面に配向した（ＴｉＡｌ）Ｎの被膜を被覆した
比較品に対比して、被膜の耐剥離性が優れており、かつ
被膜自体が高硬度，高靭性，耐摩耗性，耐酸化性，耐熱
衝撃性，耐欠損性，耐溶着性を有していることから、こ
の分野での中速切削領域から高速切削領域に相当する領
域において、長寿命になるという効果がある。したがっ
て、本発明の硬質被覆部材は、従来の被覆部材の領域で
ある低速切削領域から高速切削領域に至るまで広い領域
で長寿命を達成できるという優れた効果があること、従
来の比較品に対比して、特にフライス用切削工具，エン
ドミルおよびドリルとしての回転切削工具として長寿命
が期待されること、また高靭性および高硬度な被膜を被
覆した被覆部材であることから、軽切削領域から重切削
領域においても優れた効果を発揮できるものである。
１）結晶面に配向した（ＴｉＡｌ）Ｎの被膜を被覆した
比較品に対比して、被膜の耐剥離性が優れており、かつ
被膜自体が高硬度，高靭性，耐摩耗性，耐酸化性，耐熱
衝撃性，耐欠損性，耐溶着性を有していることから、こ
の分野での中速切削領域から高速切削領域に相当する領
域において、長寿命になるという効果がある。したがっ
て、本発明の硬質被覆部材は、従来の被覆部材の領域で
ある低速切削領域から高速切削領域に至るまで広い領域
で長寿命を達成できるという優れた効果があること、従
来の比較品に対比して、特にフライス用切削工具，エン
ドミルおよびドリルとしての回転切削工具として長寿命
が期待されること、また高靭性および高硬度な被膜を被
覆した被覆部材であることから、軽切削領域から重切削
領域においても優れた効果を発揮できるものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ２３Ｃ 30/00 Ｃ２３Ｃ 30/00 Ｃ // Ｂ２３Ｂ 27/14 Ｂ２３Ｂ 27/14 Ａ
Claims (6)
- 【請求項１】 基材の上に、チタンとアルミニウムとの
窒化物，炭窒化物，窒酸化物，炭酸化物，炭窒酸化物の
中の１種の単層または２種以上の多層からなる被膜を被
覆した被覆部材において、該被膜は、Ｘ線回折により求
めた結晶面のピーク強度が（２００）結晶面に最大高さ
を有することを特徴とする結晶配向性硬質被覆部材。 - 【請求項２】 上記基材は、超硬合金またはサーメット
の焼結合金からなることを特徴とする請求項１記載の結
晶配向性硬質被覆部材。 - 【請求項３】 上記被膜は、Ｘ線回折により求めた（１
１１）結晶面に対する（２００）結晶面の強度比が２〜
１００であることを特徴とする請求項１または２記載の
結晶配向性硬質被覆部材。 - 【請求項４】 上記被膜は、膜厚さが０．５μｍ〜５μ
ｍであることを特徴とする請求項１，２または３記載の
結晶配向性硬質被覆部材。 - 【請求項５】 上記被膜は、該被膜中に含有する金属元
素であるＴｉ元素対Ａｌ元素の原子比率が、４８〜７
５：５２〜２５であることを特徴とする請求項１，２，
３または４記載の結晶配向性硬質被覆部材。 - 【請求項６】 上記硬質被覆部材は、回転切削工具とし
て用いられることを特徴とする請求項１，２，３，４ま
たは５記載の結晶配向性硬質被覆部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14348397A JPH10317123A (ja) | 1997-05-16 | 1997-05-16 | 結晶配向性硬質被覆部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14348397A JPH10317123A (ja) | 1997-05-16 | 1997-05-16 | 結晶配向性硬質被覆部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10317123A true JPH10317123A (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=15339762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14348397A Pending JPH10317123A (ja) | 1997-05-16 | 1997-05-16 | 結晶配向性硬質被覆部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10317123A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003037554A1 (fr) * | 2001-10-30 | 2003-05-08 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Outil de coupe au carbure cemente revetu, comprenant une couche de revetement dure presentant d'excellentes proprietes de resistance a l'usure dans l'usinage a grande vitesse |
| US7094479B2 (en) * | 2002-01-21 | 2006-08-22 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface-coated cutting tool member having hard coating layer exhibiting superior wear resistance during high speed cutting operation and method for forming hard coating layer on surface of cutting tool |
| JP2007229919A (ja) * | 2007-04-10 | 2007-09-13 | Oc Oerlikon Balzers Ag | 保護層システムを有する工具 |
| JP2009090452A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-04-30 | Seco Tools Ab | 耐熱超合金の一般旋削のための被覆切削工具 |
| JP2013506567A (ja) * | 2009-10-02 | 2013-02-28 | ケンナメタル インコーポレイテッド | 窒化チタンアルミニウムコーティングおよびこれを作製する方法 |
| JP2014024131A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Mitsubishi Materials Corp | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
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| JP2015182153A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
-
1997
- 1997-05-16 JP JP14348397A patent/JPH10317123A/ja active Pending
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