JPH10293402A - Photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device using that, and production of color filter and liquid crystal display device - Google Patents
Photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device using that, and production of color filter and liquid crystal display deviceInfo
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- JPH10293402A JPH10293402A JP9103685A JP10368597A JPH10293402A JP H10293402 A JPH10293402 A JP H10293402A JP 9103685 A JP9103685 A JP 9103685A JP 10368597 A JP10368597 A JP 10368597A JP H10293402 A JPH10293402 A JP H10293402A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はカラー液晶表示装置
に用いられるカラーフィルターの製造に有用な着色画像
形成用感光性樹脂組成物、及び該組成物を用いたカラー
フィルター、これを用いた液晶表示装置、及びカラーフ
ィルターならびに液晶表示装置の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive resin composition for forming a colored image useful for producing a color filter used in a color liquid crystal display, a color filter using the composition, and a liquid crystal display using the same. The present invention relates to a device, a color filter, and a method for manufacturing a liquid crystal display device.
【0002】[0002]
【従来の技術】カラー液晶表示装置に用いられるカラー
フィルターは、一般に金属や金属酸化物、あるいは着色
樹脂からなる遮光性のブラックマトリクス(BM)と、
赤(R)、緑(G)、青(B)の着色樹脂からなる光を
透過する画素部が、ガラス等の透明基板上に規則的に配
列されている。該画素は染色法、印刷法、顔料分散法あ
るいは電着法等によって製造されているが、カラーフィ
ルターの多くは、耐熱性やパターン精度の観点から、顔
料分散法によって製造されている。顔料分散法に使用さ
れる感光性樹脂としては、例えば特開平5−31300
9号公報において、有機顔料、アクリル樹脂、架橋性モ
ノマー及び光重合開始剤より構成される材料が提案され
ている。2. Description of the Related Art A color filter used in a color liquid crystal display device generally comprises a light-shielding black matrix (BM) made of metal, metal oxide, or colored resin;
Pixel portions that transmit light made of red (R), green (G), and blue (B) colored resins are regularly arranged on a transparent substrate such as glass. The pixels are manufactured by a dyeing method, a printing method, a pigment dispersion method, an electrodeposition method, or the like. Many color filters are manufactured by a pigment dispersion method from the viewpoint of heat resistance and pattern accuracy. Examples of the photosensitive resin used in the pigment dispersion method include JP-A-5-31300.
No. 9, a material comprising an organic pigment, an acrylic resin, a crosslinkable monomer, and a photopolymerization initiator is proposed.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】その発明によると、組
成物にアルカリ現像性を付与するため、アクリル樹脂に
カルボキシル基含有単量体を共重合させているが、その
アクリル樹脂自体は光反応で架橋する官能基を有してい
ないため、感度が十分でなく、数千mj/cm2以上の露
光量が必要となり、生産性に問題があった。そこで、空
気中の酸素によるラジカル重合阻害を防いで感度を高め
るべく、樹脂材料を基板上に塗布し、乾燥した後、ポリ
ビニルアルコール等を用いて酸素遮断膜を形成する必要
があった。しかしながら、この手段では、RGB3色の
パターン形成毎に酸素遮断膜形成工程が必要なため、カ
ラーフィルターの製造コスト増加の要因となるものであ
った。本発明の目的は、ポリビニルアルコール等の酸素
遮断膜を必要としない着色画像形成用感光性樹脂組成
物、該樹脂組成物を用いたカラーフィルター及びその製
造方法と、カラー液晶表示装置およびその製造方法を提
供することである。According to the invention, an acrylic resin is copolymerized with a carboxyl group-containing monomer in order to impart alkali developability to the composition, but the acrylic resin itself is subjected to a photoreaction. Since it does not have a crosslinkable functional group, the sensitivity is not sufficient, and an exposure amount of several thousand mj / cm 2 or more is required, and there is a problem in productivity. Therefore, in order to prevent radical polymerization from being inhibited by oxygen in the air and increase sensitivity, it is necessary to apply a resin material on a substrate, dry the resin material, and then form an oxygen barrier film using polyvinyl alcohol or the like. However, this method requires an oxygen-blocking film forming step for each of the three RGB color patterns, which causes an increase in the manufacturing cost of the color filter. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition for forming a colored image which does not require an oxygen barrier film such as polyvinyl alcohol, a color filter using the resin composition, a method for manufacturing the same, and a color liquid crystal display device and a method for manufacturing the same. It is to provide.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意検討した結果、無水マレイン酸及
び無水マレイン酸と共重合可能な単量体からなる重合体
の酸無水物基に、4−ヒドロキシブチルアクリレートを
付加した化合物を光重合性組成物の主成分として用い、
特定の光重合開始剤と組み合わせることにより、酸素遮
断膜を形成せずとも、低露光量で微細パターンの形成が
可能な感光性樹脂組成物が得られることを見いだした。Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have obtained an acid anhydride of maleic anhydride and a polymer comprising a monomer copolymerizable with maleic anhydride. Group, a compound obtained by adding 4-hydroxybutyl acrylate is used as a main component of the photopolymerizable composition,
It has been found that a photosensitive resin composition capable of forming a fine pattern with a low exposure dose can be obtained without forming an oxygen barrier film by combining with a specific photopolymerization initiator.
【0005】すなわち、本発明の感光性樹脂組成物は、 (A)無水マレイン酸、及び無水マレイン酸と共重合可
能な単量体より得られる重合体(a)の酸無水物基に、4
−ヒドロキシブチルアクリレートを付加させた、重量平
均分子量10000〜40000、酸価50〜150mg
KOH/gの範囲にある化合物20〜70重量% (B)光重合性モノマー5〜40重量% (C)α−アミノアルキルフェノン化合物及びチオキサ
ントン化合物を含む光重合開始剤1〜20重量% (D)色素10〜50重量% より構成されることを特徴とする。That is, the photosensitive resin composition of the present invention comprises: (A) maleic anhydride and a polymer (a) obtained from a monomer copolymerizable with maleic anhydride;
-Weight average molecular weight of 10,000 to 40,000 with addition of hydroxybutyl acrylate, acid value of 50 to 150 mg
(B) 5 to 40% by weight of a photopolymerizable monomer (C) 1 to 20% by weight of a photopolymerization initiator containing an α-aminoalkylphenone compound and a thioxanthone compound ) 10-50% by weight of a dye.
【0006】この際、前記無水マレイン酸と共重合され
る単量体としては、スチレン及び(メタ)アクリル酸エ
ステル類を含むことが望ましい。また、前記光重合性モ
ノマー(B)としては、トリメチロールプロパントリア
クリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、
ペンタエリスリトールテトラアクリレートより選ばれる
少なくとも1種を含むものが望ましい。本発明のカラー
フィルターとは、透明基板上にこの感光性樹脂組成物の
硬化物からなるパターニングされた複数種類の可視光透
過領域を有するものである。また、本発明の液晶表示装
置とは、このカラーフィルターを用いてなることを特徴
とするものである。また、本発明のカラーフィルターな
らびにそれを使用した液晶表示装置の製造方法とは、透
明基板上に、上記感光性樹脂組成物の塗膜を形成し、露
光を行い、0.001〜2重量%の無機アルカリ水溶液
で現像することによりパターンを形成する工程を有する
ことを特徴とするものである。At this time, it is preferable that the monomer copolymerized with the maleic anhydride contains styrene and (meth) acrylates. Further, as the photopolymerizable monomer (B), trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate,
Those containing at least one selected from pentaerythritol tetraacrylate are desirable. The color filter of the present invention has a plurality of types of visible light transmitting regions patterned on a transparent substrate and formed of a cured product of the photosensitive resin composition. Further, the liquid crystal display device of the present invention is characterized by using this color filter. Further, the color filter of the present invention and the method of manufacturing a liquid crystal display device using the same include forming a coating film of the above-mentioned photosensitive resin composition on a transparent substrate, performing exposure, and adding 0.001 to 2% by weight. A step of forming a pattern by developing with an aqueous inorganic alkali solution.
【0007】[0007]
【発明の実施の形態】本発明のカラーフィルターに特に
好適な感光性樹脂組成物は、化合物(A)に、光重合性
モノマー(B)と光重合開始剤(C)を配合してなる光
重合性組成物に、色素(D)を配合することで得られ
る。以下、各成分について説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A photosensitive resin composition particularly suitable for the color filter of the present invention is a light-sensitive resin obtained by blending a compound (A) with a photopolymerizable monomer (B) and a photopolymerization initiator (C). It is obtained by blending the dye (D) with the polymerizable composition. Hereinafter, each component will be described.
【0008】本発明の(A)成分は、本発明の目的とす
る、酸素遮断膜を必要としないカラーフィルター用着色
画像形成用感光性樹脂組成物を形成するための必須成分
である。化合物(A)の合成に用いる重合体(a)の原
料として、無水マレイン酸とともに重合される単量体
は、ラジカル重合性不飽和基を有するモノマーが好まし
い。[0008] The component (A) of the present invention is an essential component for forming the photosensitive resin composition for forming a colored image for a color filter which does not require an oxygen barrier film, which is the object of the present invention. The monomer polymerized with maleic anhydride as a raw material of the polymer (a) used for the synthesis of the compound (A) is preferably a monomer having a radically polymerizable unsaturated group.
【0009】その具体例としては、(メタ)アクリル
酸、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エ
チル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル
酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、(メ
タ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸ヘキシ
ル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)
アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸ステアリル、
(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリル、(メタ)
アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシ
ル、(メタ)アクリル酸フェノキシエチル、(メタ)ア
クリル酸トリシクロデカン、(メタ)アクリル酸アリ
ル、(メタ)アクリル酸2−エトキシエチル、(メタ)
アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸フェニル
等の(メタ)アクリル酸エステル類、スチレン、イソブ
チレン、メチルスチレン、ビニルトルエン等のオレフィ
ン類、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、
フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類、アクリ
ルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−ブトキ
シメチルアクリルアミド、N−t−ブチルアクリルアミ
ド等のアクリルアミド類、アクリロニトリル、酢酸ビニ
ル等が挙げられる。この中でも、(メタ)アクリル酸エ
ステル類は、重合体のガラス転移温度(Tg)、基材へ
の密着性等のバランスを調整しやすいので好ましい。ま
た、無水マレイン酸の共重合性比の観点から電子供与性
のオレフィン類やビニルエーテル類を共重合させること
が好ましく、取り扱い容易で工業的に入手しやすいスチ
レンが最も好ましい。Specific examples thereof include (meth) acrylic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid. i-butyl, t-butyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, (meth)
Lauryl acrylate, stearyl (meth) acrylate,
Tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, (meth)
Benzyl acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, tricyclodecane (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, 2-ethoxyethyl (meth) acrylate, (meth)
(Meth) acrylates such as isobornyl acrylate and phenyl (meth) acrylate, olefins such as styrene, isobutylene, methylstyrene, and vinyltoluene; methyl vinyl ether; ethyl vinyl ether;
Examples include vinyl ethers such as phenyl vinyl ether, acrylamides such as acrylamide, N-methylolacrylamide, N-butoxymethylacrylamide, and Nt-butylacrylamide, acrylonitrile, and vinyl acetate. Among them, (meth) acrylic esters are preferable because the balance between the glass transition temperature (Tg) of the polymer and the adhesion to the substrate can be easily adjusted. Further, from the viewpoint of the copolymerizability ratio of maleic anhydride, it is preferable to copolymerize an electron-donating olefin or vinyl ether, and styrene which is easy to handle and easily available industrially is most preferable.
【0010】重合体(a)を構成する無水マレイン酸ユ
ニットの含有量は1〜45重量%の範囲であることが好
ましく、より好ましくは5〜30重量%の範囲である。
無水マレイン酸ユニットが1重量%を下回ると得られる
化合物(A)を用いた感光性樹脂組成物では光感度が十
分でないおそれがあり、45重量%を越えた場合には得
られる化合物(A)の酸価が高すぎて現像の際に膜減り
を起こす傾向にある。無水マレイン酸、及び無水マレイ
ン酸と共重合可能な単量体より得られる重合体(a)の重
合方法は、塊状重合法、溶液重合法など公知の方法によ
り行うことができる。[0010] The content of the maleic anhydride unit constituting the polymer (a) is preferably in the range of 1 to 45% by weight, more preferably in the range of 5 to 30% by weight.
If the amount of the maleic anhydride unit is less than 1% by weight, the photosensitive resin composition using the compound (A) obtained may not have sufficient photosensitivity, and if it exceeds 45% by weight, the compound (A) obtained Has an excessively high acid value and tends to cause film reduction during development. The polymerization method of the polymer (a) obtained from maleic anhydride and a monomer copolymerizable with maleic anhydride can be performed by a known method such as a bulk polymerization method or a solution polymerization method.
【0011】本発明では、無水マレイン酸、及び無水マ
レイン酸と共重合可能な単量体からなる重合体(a)の酸
無水物基に4−ヒドロキシブチルアクリレートを付加す
ることにより、カラーフィルターを製造するのに十分な
高感度レジスト材料を得ることができる。In the present invention, a color filter is formed by adding 4-hydroxybutyl acrylate to an acid anhydride group of a polymer (a) comprising maleic anhydride and a monomer copolymerizable with maleic anhydride. It is possible to obtain a highly sensitive resist material sufficient for manufacturing.
【0012】4−ヒドロキシブチルアクリレートより炭
素数の少ないヒドロキシアルキルアクリレートを使用し
た場合には、本発明により達成される高感度なレジスト
材料は得られない。これは、例えば、2−ヒドロキシエ
チルアクリレートを付加した場合、酸無水物基由来のカ
ルボキシル基の近傍にアクリロイル基が存在するため、
立体障害が大きく、両官能基ともに反応性が阻害され、
アクリロイル基のラジカル重合性が低下し、カルボキシ
ル基も中和反応速度が低下する。その結果、感度も現像
性も低下し、カラーフィルター用レジスト材料として使
用するのは困難である。ところが、4−ヒドロキシブチ
ルアクリレートを付加した場合、前記2−ヒドロキシエ
チルアクリレートよりもアルキル基が炭素数2個分長い
ため、上述した立体障害も少なく、アクリロイル基のラ
ジカル重合性、カルボキシル基の中和反応性も低下が少
なく、高感度で現像性も良好であり、露光部と未露光部
のコントラストをつけやすいので、カラーフィルター用
レジスト材料のように色素が高濃度に分散された系にお
いても十分使用可能な着色レジストを得られる。When a hydroxyalkyl acrylate having fewer carbon atoms than 4-hydroxybutyl acrylate is used, a highly sensitive resist material achieved by the present invention cannot be obtained. This is because, for example, when 2-hydroxyethyl acrylate is added, an acryloyl group is present near a carboxyl group derived from an acid anhydride group,
Large steric hindrance, reactivity is inhibited for both functional groups,
The radical polymerizability of the acryloyl group decreases, and the rate of the neutralization reaction of the carboxyl group also decreases. As a result, the sensitivity and the developability are reduced, and it is difficult to use the resist material for a color filter. However, when 4-hydroxybutyl acrylate is added, since the alkyl group is longer than the 2-hydroxyethyl acrylate by two carbon atoms, the above-mentioned steric hindrance is also small, radical polymerizability of acryloyl group, neutralization of carboxyl group. Low reactivity, low sensitivity, good developability, easy contrast between exposed and unexposed areas, sufficient for high-density dye-dispersed systems such as resist materials for color filters A usable colored resist is obtained.
【0013】4−ヒドロキシブチルアクリレートより炭
素数の多いヒドロキシアルキルアクリレートを使用する
場合には得られる化合物(A)中の二重結合濃度が相対
的に低下するため、これを用いたレジスト材料は感度が
低下するおそれがある。When a hydroxyalkyl acrylate having a larger number of carbon atoms than 4-hydroxybutyl acrylate is used, the concentration of double bonds in the compound (A) obtained is relatively reduced. May decrease.
【0014】化合物(A)を合成するために、重合体
(a)の酸無水物基に4−ヒドロキシブチルアクリレート
を付加させる方法は特に限定されないが、例えば、ジオ
キサン、ブチルアセテート、イソブチルアセテート、イ
ソアミルアセテート、エチルセルソルブアセテート、ブ
チルセルソルブアセテート、プロピレングリコールモノ
メチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノ
エチルエーテルアセテート、β−メトキシイソ酪酸メチ
ルエステル等のハーフエステル化反応を阻害しない有機
溶媒中で、ピリジン、p−ジメチルアミノピリジン、ト
リエチルアミン、2メチルイミダゾール等の塩基性触媒
を重合体(a)の重量に対し、0.1〜5重量%の範囲内で
添加した後、無水マレイン酸のモル数に対し、1〜1.
5倍のモル数に相当する4−ヒドロキシブチルアクリレ
ートを加え、70〜100℃に加熱し、同温度で3〜6
時間反応させて得る方法が挙げられる。To synthesize compound (A), a polymer
The method of adding 4-hydroxybutyl acrylate to the acid anhydride group of (a) is not particularly limited, for example, dioxane, butyl acetate, isobutyl acetate, isoamyl acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl In an organic solvent such as ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, and β-methoxyisobutyric acid methyl ester that does not inhibit the half-esterification reaction, a basic catalyst such as pyridine, p-dimethylaminopyridine, triethylamine, or 2-methylimidazole is used. After the addition in the range of 0.1 to 5% by weight based on the weight of the combined product (a), 1 to 1.
4-hydroxybutyl acrylate corresponding to 5 times the number of moles is added, heated to 70 to 100 ° C., and 3 to 6 at the same temperature.
A method obtained by reacting for a time is mentioned.
【0015】本発明で用いる化合物(A)としては、そ
の重量平均分子量が、標準ポリスチレン換算で1000
0〜40000の範囲にあることが好ましく、特に好ま
しくは15000〜30000の範囲である。化合物
(A)の重量平均分子量が10000より低い場合に
は、得られる光重合性組成物の反応性が高すぎて、基材
に塗工した後の溶剤乾燥工程で熱重合を起こしやすく、
パターンが十分に形成されない場合があり、細線パター
ン間の未露光部分の現像性が悪くなる傾向にある。一
方、40000を越えると、これを用いた光重合性組成
物の熱安定性が低下したり、現像が不可能になるおそれ
がある。また、酸価が50〜150mgKOH/gの範囲にあ
ることが好ましく、特に好ましくは80〜140mgKOH/
gの範囲である。化合物(A)の酸価が50mgKOH/gより
低い場合には、得られる光重合性組成物の現像性が低下
する傾向にあり、150mgKOH/gを越える場合には、露
光部表面がアルカリ現像液で粗されやすくなり、残膜率
が低下する傾向にある。The compound (A) used in the present invention has a weight average molecular weight of 1000 in terms of standard polystyrene.
It is preferably in the range of 0 to 40,000, particularly preferably in the range of 15,000 to 30,000. When the weight average molecular weight of the compound (A) is lower than 10,000, the reactivity of the obtained photopolymerizable composition is too high, so that thermal polymerization easily occurs in a solvent drying step after coating on a substrate,
The pattern may not be formed sufficiently, and the developability of the unexposed portion between the fine line patterns tends to be poor. On the other hand, when it exceeds 40,000, the thermal stability of the photopolymerizable composition using the same may be lowered or development may not be possible. Further, the acid value is preferably in the range of 50 to 150 mgKOH / g, particularly preferably 80 to 140 mgKOH / g.
g range. When the acid value of the compound (A) is lower than 50 mgKOH / g, the developability of the resulting photopolymerizable composition tends to decrease. , And the residual film ratio tends to decrease.
【0016】化合物(A)の配合量は20〜70重量%
の範囲であることが好ましい。化合物(A)が20重量
%未満では現像性が低下するため、パターン形成が不可
能となり、60重量%を越えると感度が低下する傾向に
ある。さらに好ましくは30〜60重量%の範囲であ
る。The compounding amount of the compound (A) is 20 to 70% by weight.
Is preferably within the range. When the amount of the compound (A) is less than 20% by weight, the developability is reduced, so that pattern formation becomes impossible. When the amount exceeds 60% by weight, the sensitivity tends to decrease. More preferably, it is in the range of 30 to 60% by weight.
【0017】本発明に用いる光重合性モノマー(B)
は、紫外線の露光により化合物(A)及び光重合性モノ
マー(B)とラジカル重合し、露光部分の現像液に対す
る溶解性を低下させるための成分である。The photopolymerizable monomer (B) used in the present invention
Is a component that undergoes radical polymerization with the compound (A) and the photopolymerizable monomer (B) upon exposure to ultraviolet light to reduce the solubility of the exposed portion in a developer.
【0018】光重合性モノマー(B)としては、1価ま
たは多価アルコールのモノ又はポリ(メタ)アクリル酸
エステルが挙げられる。具体的には、ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アク
リレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレー
ト、クレゾールエトキシ(メタ)アクリレート、フェノ
キシエチル(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシエ
チル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アク
リレート等の1価アルコールのモノ(メタ)アクリル酸
エステル;1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレ
ート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、
ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロ
ピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリテトラ
メチレングリコールジ(メタ)アクリレート、2,2−
ビス[4−(メタ)アクリロイルオキシエトキシエチル
フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタ)アク
リロイルオキシプロピルオキシプロピルフェニル]プロ
パン、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ
(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレ
ート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチ
ロールエタンジ(メタ)アクリレート、トリメチロール
エタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロ
パンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパン
トリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパント
リス[エトキシ(メタ)アクリレート]、トリメチロー
ルプロパントリス[ジエトキシ(メタ)アクリレー
ト]、トリメチロールプロパントリス[トリエトキシ
(メタ)アクリレート]、N,N’−〔ジ(メタ)アク
リロイルオキシエチル〕−N”−ヒドロキシエチルイソ
シアヌレート、N,N’,N”−〔トリ(メタ)アクリロ
イルオキシエチル〕−イソシアヌレート、ペンタエリス
リトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテ
トラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテ
トラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサ(メタ)アクリレート等の多価アルコールのポリ
(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。Examples of the photopolymerizable monomer (B) include mono- or poly (meth) acrylates of monohydric or polyhydric alcohol. Specifically, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, cresol ethoxy (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, nonylphenoxyethyl (meth) acrylate, isobornyl Mono (meth) acrylate of monohydric alcohol such as (meth) acrylate; 1,3-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di ( Meth) acrylates,
Neopentyl glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, polytetramethylene glycol di (meth) acrylate, 2,2-
Bis [4- (meth) acryloyloxyethoxyethylphenyl] propane, 2,2-bis [4- (meth) acryloyloxypropyloxypropylphenyl] propane, neopentyl glycol di (meth) acrylate hydroxypivalate, glycerin di ( (Meth) acrylate, glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolethanedi (meth) acrylate, trimethylolethanetri (meth) acrylate, trimethylolpropanedi (meth) acrylate, trimethylolpropanetri (meth) acrylate, trimethylolpropane Tris [ethoxy (meth) acrylate], trimethylolpropane tris [diethoxy (meth) acrylate], trimethylolpropane tris [triethoxy (meth) acrylate], N, N '-[di (meth) acryloyloxyethyl] -N "-hydroxyethyl isocyanurate, N, N', N"-[tri (meth) acryloyloxyethyl] -isocyanurate, pentaerythritol di (meth) Polyhydric alcohols such as acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate Poly (meth) acrylates may be mentioned.
【0019】また、上記(メタ)アクリル酸エステル以
外の化合物の具体例としては、フタル酸、アジピン酸等
の多塩基酸、エチレングリコール、ヘキサンジオール、
ポリエチレングリコール、ポリテトラメチレングリコー
ル等の多価アルコール及び(メタ)アクリル酸またはそ
の誘導体との反応で得られるポリエステルポリ(メタ)
アクリレート類;ビスフェノールAジグリシジルエーテ
ル、エチレングリコールジグリシジルエーテル等のグリ
シジルエーテル化合物に(メタ)アクリル酸またはその
誘導体を反応させたエポキシポリ(メタ)アクリレート
類;ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイ
ソシアネート、トリレンジイソシアネート、キシリレン
ジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネー
ト、水添ジフェニルメタンジイソシアネート等のイソシ
アネート化合物に、2−ヒドロキシエチル(メタ)アク
リレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレー
ト、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等の水
酸基を持つ(メタ)アクリレートを反応させたウレタン
ポリ(メタ)アクリレート類;N−メトキシメチル(メ
タ)アクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミ
ド、N−ブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−
ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、メチレンビ
ス(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリルアミド
類等が挙げられる。これら光重合性モノマー(B)は、
1種または2種以上を混合して用いることができる。Specific examples of the compound other than the above (meth) acrylic acid ester include polybasic acids such as phthalic acid and adipic acid, ethylene glycol, hexanediol, and the like.
Polyester poly (meth) obtained by reaction with polyhydric alcohols such as polyethylene glycol and polytetramethylene glycol and (meth) acrylic acid or derivatives thereof
Acrylates; Epoxy poly (meth) acrylates obtained by reacting (meth) acrylic acid or a derivative thereof with a glycidyl ether compound such as bisphenol A diglycidyl ether or ethylene glycol diglycidyl ether; hexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, tolylene diisocyanate , Xylylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate, and other isocyanate compounds having hydroxyl groups such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, and 4-hydroxybutyl (meth) acrylate ( Urethane poly (meth) acrylates reacted with (meth) acrylate; N-methoxymethyl (meth) acrylamide N- ethoxymethyl acrylamide, N- butoxymethyl (meth) acrylamide, N-
(Meth) acrylamides such as hydroxymethyl (meth) acrylamide and methylenebis (meth) acrylamide. These photopolymerizable monomers (B)
One type or a mixture of two or more types can be used.
【0020】このうち、高感度である観点からすると、
分子内に(メタ)アクリロイル基を3個以上有する化合
物が好ましく、更に好ましい具体例は、トリメチロール
プロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリ
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレー
トである。本発明に用いる光重合性モノマー(B)の配
合量は5〜40重量%の範囲であることが好ましい。5
重量%未満では十分な感度が得られず、また、40重量
%を越えると現像性が低下する傾向にあるからである。
さらに好ましくは10〜30重量%の範囲である。Among them, from the viewpoint of high sensitivity,
Compounds having three or more (meth) acryloyl groups in the molecule are preferred, and more preferred specific examples are trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol tetraacrylate. The amount of the photopolymerizable monomer (B) used in the present invention is preferably in the range of 5 to 40% by weight. 5
If the amount is less than 40% by weight, sufficient sensitivity cannot be obtained, and if the amount exceeds 40% by weight, developability tends to decrease.
More preferably, it is in the range of 10 to 30% by weight.
【0021】本発明に用いる光重合開始剤(C)として
は、α−アミノアルキルフェノン化合物とチオキサント
ン化合物を併用することが必須である。As the photopolymerization initiator (C) used in the present invention, it is essential to use an α-aminoalkylphenone compound and a thioxanthone compound in combination.
【0022】α−アミノアルキルフェノン化合物の具体
例としては、2−メチル−2−モルホリノ(4−チオメ
チルフェニル)プロパン−1−オン、2−ベンジル−2
−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−
ブタノン等が挙げられ、チオキサントン化合物の具体例
としては、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジ
エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサント
ン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジクロ
ロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキ
サントン2−(3−ジメチルアミノ−2−ヒドロキシプ
ロポキシ)−3,4−ジメチル−9H−チオキサントン
−9−オンメソクロライド等が挙げられる。また、上記
2種の光重合開始剤に加えて、以下に示す光重合開始剤
を1種または2種以上併用して用いても良い。その具体
例としては、ベンジル、ベンゾフェノン、ベンゾイル安
息香酸メチル、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニ
ルサルファイド、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒド
ロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オ
ン、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロ
ヘキシル−フェニルケトン、ベンゾインメチルエーテ
ル、、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロ
ピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2,4,
6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサ
イド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,
4−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、メチル
ベンゾイルホルメート、1,7−ビスアクリジニルヘプ
タン、9−フェニルアクリジン等が挙げられる。本発明
に用いる光重合開始剤(C)の配合量は1〜20重量%
の範囲が好ましい。(C)成分が1重量%未満では得ら
れる感光性樹脂の光感度が不足し、20重量%を越える
と、現像性が悪くなる傾向にある。さらに好ましくは5
〜15重量%の範囲である。Specific examples of the α-aminoalkylphenone compound include 2-methyl-2-morpholino (4-thiomethylphenyl) propan-1-one, 2-benzyl-2
-Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl)-
Butanone and the like. Specific examples of the thioxanthone compound include 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, and 1-chloro-4. -Propoxythioxanthone 2- (3-dimethylamino-2-hydroxypropoxy) -3,4-dimethyl-9H-thioxanthone-9-one mesochloride. Further, in addition to the above two photopolymerization initiators, one or more of the following photopolymerization initiators may be used in combination. Specific examples thereof include benzyl, benzophenone, methyl benzoylbenzoate, 4-benzoyl-4′-methyldiphenylsulfide, diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, and benzyldimethylketal. , 1-hydroxycyclohexyl-phenyl ketone, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2,4,
6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,
4-trimethylpentylphosphine oxide, methylbenzoyl formate, 1,7-bisacridinylheptane, 9-phenylacridine and the like. The amount of the photopolymerization initiator (C) used in the present invention is 1 to 20% by weight.
Is preferable. When the amount of the component (C) is less than 1% by weight, the photosensitivity of the obtained photosensitive resin is insufficient. More preferably, 5
-15% by weight.
【0023】本発明に用いる(A)〜(C)成分を配合
してなる光重合性組成物には、例えば、p−ジメチルア
ミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチ
ル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチル
アミノ安息香酸イソアミル等、公知の光増感剤を添加す
ることができる。The photopolymerizable composition containing the components (A) to (C) used in the present invention includes, for example, p-dimethylaminoacetophenone, methyl 4-dimethylaminobenzoate, and 4-dimethylaminobenzoic acid. Known photosensitizers such as ethyl and isoamyl 4-dimethylaminobenzoate can be added.
【0024】こうした光重合性組成物に対してさらに色
素(D)を添加することによりカラーフィルターに好適
な着色された感光性樹脂組成物となる。本発明に用いる
色素(D)としては以下に示す化合物が使用可能であ
る。例えば、アゾ系、アンスラキノン系、キサンテン
系、キナクリドン系、インジゴ系、ジオキサジン系、イ
ンダンスロン系、イソインドリノン系の顔料が有用であ
る。例えば、フタロシアニンブルー(C.I.ピグメント
ブルー15:6またはC.I.ピグメントブルー15:
3)、フタロシアニングリーン(C.I.ピグメントグリ
ーン7、36または37)、ペリレン系顔料(C.I.ピ
グメントレッド155)、アントラキノン系顔料(C.
I.ピグメントレッド177)等が有用である。また、
色補正用顔料としてC.I.ピグメントイエロー83、
C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントバ
イオレット23等が好ましい。感光層中に占める色素
(D)の含有量は、(A)〜(D)成分の合計に対し
て、10〜50重量%が好ましい。(D)成分の含有量
が10重量%未満では、画像の色濃度が低くなる傾向が
あり、50重量%を越えると、光感度が低下する傾向に
ある。さらに好ましくは20〜40重量%の範囲であ
る。By further adding a dye (D) to such a photopolymerizable composition, a colored photosensitive resin composition suitable for a color filter can be obtained. The following compounds can be used as the dye (D) used in the present invention. For example, azo, anthraquinone, xanthene, quinacridone, indigo, dioxazine, indanthrone, and isoindolinone pigments are useful. For example, phthalocyanine blue (CI Pigment Blue 15: 6 or CI Pigment Blue 15:
3), phthalocyanine green (CI pigment green 7, 36 or 37), perylene pigment (CI pigment red 155), anthraquinone pigment (C.I.
Pigment Red 177) and the like are useful. Also,
CI Pigment Yellow 83 as a color correction pigment,
CI Pigment Yellow 154 and CI Pigment Violet 23 are preferred. The content of the dye (D) in the photosensitive layer is preferably from 10 to 50% by weight based on the total amount of the components (A) to (D). When the content of the component (D) is less than 10% by weight, the color density of an image tends to decrease, and when it exceeds 50% by weight, the light sensitivity tends to decrease. More preferably, it is in the range of 20 to 40% by weight.
【0025】本発明では色素を光重合性組成物中に分散
させるために、必要に応じて分散剤が使用されるが、そ
の具体例としてはポリオキシエチレンノニルフェニルエ
ーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテ
ル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシ
エチレンラウリルエーテル、オキシエチレン−オキシプ
ロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステ
ル、グリセリン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性
剤、フタロシアニン誘導体、オルガノシロキサンポリマ
ー、ポリ(メタ)アクリル酸共重合体等が使用可能であ
る。これらの分散剤は(A)〜(D)成分の合計量10
0重量部に対して0.1〜10重量部の範囲で添加する
のが好ましい。In the present invention, a dispersant is used as needed to disperse the dye in the photopolymerizable composition. Specific examples thereof include polyoxyethylene nonylphenyl ether and polyoxyethylene octylphenyl ether. Nonionic surfactants such as polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, oxyethylene-oxypropylene block copolymer, sorbitan fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, phthalocyanine derivative, organosiloxane polymer, poly (meth) acrylic acid Polymers and the like can be used. These dispersants have a total amount of components (A) to (D) of 10
It is preferable to add 0.1 to 10 parts by weight to 0 part by weight.
【0026】本発明の感光性樹脂組成物はガラス等の透
明基板に塗布しやすいように、有機溶剤により適宜、粘
度が調整される。使用可能な有機溶剤の具体例として
は、ジオキサン、ブチルアセテート、メチルセルソル
ブ、エチルセルソルブ、メチルセルソルブアセテート、
エチルセルソルブアセテート、カルビトール、シクロヘ
キサノン、カルビトールアセテート、プロピレングリコ
ールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメ
チルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエ
チルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテ
ルアセテート、β−メトキシイソ酪酸メチルエステル等
が挙げられ、塗布時、適当な乾燥速度を有し、蒸発して
均一かつ平滑な塗膜を形成するものが望ましく、沸点が
100〜200℃の範囲にあるものが好ましい。これら
は必要に応じて1種以上を混合して用いるが、(A)〜
(D)成分の合計量100重量部に対して、100〜2
000重量部の範囲で添加することが望ましい。また、
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて熱重合禁
止剤、難燃剤、レベリング剤、シランカップリング剤、
可塑剤及び充填剤等の各種添加剤を添加することもでき
る。The viscosity of the photosensitive resin composition of the present invention is appropriately adjusted with an organic solvent so as to be easily applied to a transparent substrate such as glass. Specific examples of usable organic solvents include dioxane, butyl acetate, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, methyl cellosolve acetate,
Ethyl cellosolve acetate, carbitol, cyclohexanone, carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, β-methoxyisobutyric acid methyl ester, etc. At this time, those having an appropriate drying rate and evaporating to form a uniform and smooth coating film are desirable, and those having a boiling point in the range of 100 to 200 ° C are preferred. These may be used as a mixture of one or more of them as necessary.
(D) 100 to 2 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components.
It is desirable to add in the range of 000 parts by weight. Also,
The photosensitive resin composition of the present invention, if necessary, a thermal polymerization inhibitor, a flame retardant, a leveling agent, a silane coupling agent,
Various additives such as a plasticizer and a filler can also be added.
【0027】本発明の感光性樹脂組成物を用いてレジス
トを形成するには、感光層を形成するため、各種基材に
塗装した後、溶剤を揮発乾燥させる。その後、パターン
を形成するために所望のフォトマスクを介して露光を行
い、未露光部分をアルカリ性水溶液で現像除去する。To form a resist using the photosensitive resin composition of the present invention, a solvent is volatilized and dried after coating on various substrates to form a photosensitive layer. Thereafter, exposure is performed through a desired photomask to form a pattern, and the unexposed portions are developed and removed with an alkaline aqueous solution.
【0028】本発明の感光性樹脂組成物の透明基板への
塗装方法としては特に限定されないが、例えばスプレー
コート、ロールコート、ブレードコート、スクリーン印
刷、カーテンコート、スピンコート等、公知の各種方法
によって行うことができる。その際、乾燥膜厚が0.5
〜10ミクロンとなるように塗布することが好ましく、
塗膜の乾燥には循環式オーブン、赤外線ヒーターまたは
ホットプレート等が使用できる。The method for applying the photosensitive resin composition of the present invention to a transparent substrate is not particularly limited, but may be any of various known methods such as spray coating, roll coating, blade coating, screen printing, curtain coating, and spin coating. It can be carried out. At that time, the dry film thickness was 0.5
It is preferable to apply so as to be 10 to 10 microns,
A circulating oven, an infrared heater, a hot plate or the like can be used for drying the coating film.
【0029】本発明の感光性樹脂組成物の塗膜中の溶剤
を揮発乾燥する条件は、使用する光重合性組成物中に含
まれる溶剤により異なるが、乾燥時の加温により熱重合
するのを防ぎかつ効率的に溶剤を十分揮散させるには、
50〜120℃の範囲内で30秒〜30分加熱すること
が好ましい。The conditions for volatilizing and drying the solvent in the coating film of the photosensitive resin composition of the present invention vary depending on the solvent contained in the photopolymerizable composition to be used. To prevent and efficiently volatilize the solvent efficiently,
It is preferable to heat in a range of 50 to 120 ° C. for 30 seconds to 30 minutes.
【0030】また、パターンを形成する際の露光方法
は、フォトマスクを使用する紫外線露光法やレーザー光
を用いた走査露光方法等で行えばよい。The pattern may be formed by an exposure method such as an ultraviolet exposure method using a photomask or a scanning exposure method using a laser beam.
【0031】未露光部分を溶解除去することにより、所
望のパターンを得ることが出来るが、その際に用いる現
像液としては、アルカリ水溶液が使用可能であり、例え
ば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウ
ム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、炭酸水素ナトリ
ウム、炭酸水素カリウム、メタケイ酸ナトリウム、メタ
ケイ酸カリウム、オルトケイ酸ナトリウム、オルトケイ
酸カリウム等の無機アルカリ水溶液や、アンモニア、テ
トラメチルアンモニウムヒドロキシド等の有機アルカリ
水溶液等が挙げられるが、0.001〜2重量%の範囲
で無機アルカリ水溶液を使用することが好ましい。0.
001重量%未満では、現像時間が長くなりすぎたり、
あるいは現像が不可能となったりする。また、2重量%
を越えた現像液を使用した場合には硬化パターン中にア
ルカリ金属イオンが残り、これを用いた液晶表示素子の
寿命が短くなるおそれがある。これらアルカリ現像液に
は、被現像物の現像液中での分散性、消泡性を付与する
ため、各種界面活性剤、分散剤、消泡剤、有機溶剤等が
添加することができる。A desired pattern can be obtained by dissolving and removing the unexposed portion. As a developer used in this case, an alkaline aqueous solution can be used. For example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, Inorganic alkaline aqueous solutions such as sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, sodium metasilicate, potassium metasilicate, sodium orthosilicate, potassium orthosilicate, and organic such as ammonia and tetramethylammonium hydroxide An aqueous alkaline solution may be used, but it is preferable to use an aqueous inorganic alkaline solution in the range of 0.001 to 2% by weight. 0.
If the amount is less than 001% by weight, the development time becomes too long,
Or, development becomes impossible. 2% by weight
When a developing solution exceeding the above is used, alkali metal ions remain in the cured pattern, and the life of a liquid crystal display device using the same may be shortened. Various surfactants, dispersants, defoamers, organic solvents, and the like can be added to these alkali developing solutions in order to impart dispersibility and defoaming properties of the developing object in the developing solution.
【0032】また、本発明の光重合性組成物で形成した
レジストの現像方法は、最も一般的にはスプレー法で行
うが、場合によりその一部を浸漬法で代替させることも
可能である。The method of developing a resist formed with the photopolymerizable composition of the present invention is most generally performed by a spray method, but a part of the method can be replaced by an immersion method in some cases.
【0033】現像により得られたレジストパターンに耐
熱性を付与するため、熱重合によるポストキュア(後硬
化)を実施することが好ましく、130〜250℃程度
の温度範囲で、10〜60分間程度ポストキュアを実施
することが望ましい。本発明の感光性樹脂組成物を用い
て作製したカラーフィルターを用いて液晶表示装置を作
製する方法は特に限定されるものではない。一般的には
ブラックマトリクスパターンを形成した透明ガラス基板
上に、本発明の感光性樹脂液(RGB3色)を上述した
方法でマトリクス状にパターン形成した後、ITO(イ
ンジウム・錫酸化物)スパッタリング膜、配向膜を形成
し、スペーサを介してTFT(薄膜トランジスタ)基板
と貼り合わせ、液晶を封入し、液晶表示装置とするが、
カラーフィルター層をTFT基板上に形成し、液晶表示
装置を作製することも可能である。さらに、感光性樹脂
を用いたブラックマトリクッス材料をRGB形成後に、
塗布し、RGBパターンをマスクとして用いてブラック
マトリックスパターンを形成することも可能である。In order to impart heat resistance to the resist pattern obtained by development, it is preferable to carry out post-curing (post-curing) by thermal polymerization. The post-curing is carried out at a temperature range of about 130 to 250 ° C. for about 10 to 60 minutes. It is desirable to carry out curing. A method for manufacturing a liquid crystal display device using a color filter manufactured using the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited. In general, after the photosensitive resin liquid (RGB three colors) of the present invention is patterned in a matrix on the transparent glass substrate on which a black matrix pattern is formed by the above-described method, an ITO (indium tin oxide) sputtering film is formed. , An alignment film is formed, and is bonded to a TFT (thin film transistor) substrate via a spacer, and a liquid crystal is sealed therein.
It is also possible to form a color filter layer on a TFT substrate to manufacture a liquid crystal display device. Further, after the black matrix material using the photosensitive resin is formed with RGB,
It is also possible to form a black matrix pattern by coating and using the RGB pattern as a mask.
【0034】[0034]
【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳しく説明
する。 〈化合物P1の合成〉窒素導入口、撹拌機、コンデンサ
ー及び温度計を備えた2000mlの4口フラスコに、
窒素雰囲気下で、プロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート300gを仕込み、内温を100℃に上
げた。そして、この系中に、メチルメタクリレート17
4g、スチレン39g、n−ブチルメタクリレート30
g、無水マレイン酸24g、メタクリル酸33gの単量
体混合物300gとアゾビスイソブチロニトリル6gと
をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
100gに溶解させた溶液を、4時間かけて滴下した。
次に、アゾビスイソブチロニトリル0.3gを、30分
おきに5回に分けて添加した後、内温を120℃まで上
昇させ、その温度で2時間保持し、重合体溶液を得た。The present invention will be described below in more detail with reference to examples. <Synthesis of Compound P1> In a 2000 ml four-necked flask equipped with a nitrogen inlet, a stirrer, a condenser and a thermometer,
Under a nitrogen atmosphere, 300 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was charged, and the internal temperature was raised to 100 ° C. And, in this system, methyl methacrylate 17
4 g, styrene 39 g, n-butyl methacrylate 30
g, 24 g of maleic anhydride and 300 g of a monomer mixture of 33 g of methacrylic acid and 6 g of azobisisobutyronitrile in 100 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were added dropwise over 4 hours.
Next, 0.3 g of azobisisobutyronitrile was added in five portions every 30 minutes, and then the internal temperature was raised to 120 ° C. and maintained at that temperature for 2 hours to obtain a polymer solution. .
【0035】次に、この重合体溶液の反応雰囲気を窒素
から空気に置換し、内温を80℃まで降温した。そし
て、付加触媒としてトリエチルアミン6gを重合体溶液
中に添加した後、4−ヒドロキシブチルアクリレート3
6gにハイドロキノンモノメチルエーテル0.2gを溶
解させたものを、1時間かけて滴下した。滴下終了後、
内温を95℃まで昇温し、3時間保持した後、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート200gを
添加した。得られた反応物の赤外線吸収をFT−IR装
置(BIO−RAD社製;商品名:FTS−7)で測定
したところ、酸無水物基による吸収は殆ど見られず、エ
ステル化反応が殆ど終了していることがわかった。Next, the reaction atmosphere of the polymer solution was replaced with air from nitrogen, and the internal temperature was lowered to 80 ° C. Then, after adding 6 g of triethylamine as an addition catalyst to the polymer solution, 4-hydroxybutyl acrylate 3 was added.
A solution prepared by dissolving 0.2 g of hydroquinone monomethyl ether in 6 g was added dropwise over 1 hour. After dropping,
After the internal temperature was raised to 95 ° C. and maintained for 3 hours, 200 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was added. When the infrared absorption of the obtained reaction product was measured with an FT-IR apparatus (BIO-RAD; trade name: FTS-7), almost no absorption by an acid anhydride group was observed, and the esterification reaction was almost completed. I knew I was doing it.
【0036】〈化合物P2、P3、P5、P6、P7の
合成〉表1のP2、P3、P5、P6及びP7欄に示す
単量体混合物300g、アゾビスイソブチロニトリル
量、4−ヒドロキシブチルアクリレート量を用いて、化
合物P1と同様な方法で合成を実施した。 〈化合物P4の合成〉窒素導入口、撹拌機、コンデンサ
ー及び温度計を備えた2000mlの4口フラスコに、
窒素雰囲気下で、プロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート300gを仕込み、内温を130℃に上
げた。そして、この系中に、表1のP4欄に示す単量体
混合物300gとアゾビスイソブチロニトリル12gと
をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
100gに溶解させた溶液を、4時間かけて滴下した。
次に、アゾビスイソブチロニトリル0.3gを、30分
おきに5回に分けて添加した後、2時間保持し、重合体
溶液を得た。<Synthesis of Compounds P2, P3, P5, P6, and P7> 300 g of the monomer mixture shown in columns P2, P3, P5, P6, and P7 in Table 1, the amount of azobisisobutyronitrile, and the amount of 4-hydroxybutyl Synthesis was carried out in the same manner as for compound P1, using the amount of acrylate. <Synthesis of Compound P4> In a 2000 ml four-necked flask equipped with a nitrogen inlet, a stirrer, a condenser and a thermometer,
Under a nitrogen atmosphere, 300 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was charged, and the internal temperature was raised to 130 ° C. Then, a solution prepared by dissolving 300 g of the monomer mixture and 12 g of azobisisobutyronitrile in 100 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was dropped into the system over 4 hours.
Next, 0.3 g of azobisisobutyronitrile was added in five portions every 30 minutes, and the mixture was kept for 2 hours to obtain a polymer solution.
【0037】次に、この重合体溶液の反応雰囲気を窒素
から空気に置換し、内温を80℃まで降温した。そし
て、付加触媒としてトリエチルアミン6gを重合体溶液
中に添加した後、4−ヒドロキシブチルアクリレート3
6gにハイドロキノンモノメチルエーテル0.2gを溶
解させたものを、1時間かけて滴下した。滴下終了後、
内温を95℃まで昇温し、3時間保持した後、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート200gを
添加した。Next, the reaction atmosphere of this polymer solution was replaced with air from nitrogen, and the internal temperature was lowered to 80 ° C. Then, after adding 6 g of triethylamine as an addition catalyst to the polymer solution, 4-hydroxybutyl acrylate 3 was added.
A solution prepared by dissolving 0.2 g of hydroquinone monomethyl ether in 6 g was added dropwise over 1 hour. After dropping,
After the internal temperature was raised to 95 ° C. and maintained for 3 hours, 200 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was added.
【0038】〈化合物P8の合成〉表1のP8欄に示す
単量体混合物300gを用い、化合物P1と同様な方法
で重合体溶液を得た。ただし、P8は酸無水物基を持た
ず、4−ヒドロキシブチルアクリレート付加工程は必要
ない。<Synthesis of Compound P8> A polymer solution was obtained in the same manner as for Compound P1, using 300 g of the monomer mixture shown in column P8 of Table 1. However, P8 has no acid anhydride group and does not require a 4-hydroxybutyl acrylate addition step.
【0039】こうして得られたP1〜P8について、ゲ
ルパーミエーションクロマトグラフィー(東ソー社製;
商品名:HLC8020)により得られた標準ポリスチ
レン換算重量平均分子量及び固形分酸価を表1に示し
た。About P1 to P8 thus obtained, gel permeation chromatography (manufactured by Tosoh Corporation;
Table 1 shows the weight-average molecular weight in terms of standard polystyrene and the acid value of the solid content obtained by trade name: HLC8020).
【0040】[0040]
【表1】 [Table 1]
【0041】〔実施例1〕 〈赤色レジストの調製〉(A)成分として、P1を固形
分換算で30g、(B)成分として、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート20g、ペンタエリスリトール
トリアクリレート5g、(C)成分として、2−ベンジ
ル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェ
ニル)−ブタノン−1を8g、イソプロピルチオキサン
トン2g、(D)成分として、ピグメントレッド177
を30g混合し、プロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテートを900g加え、ボールミルを用いて分
散安定化させた。 〈緑色レジストの調製〉(D)成分として、ピグメント
グリーン36を26g、ピグメントイエロー83を4g
混合した他は赤色レジストの調整と同様な方法で実施し
た。 〈青色レジストの調製〉(D)成分として、ピグメント
ブルー15:3を28g、ピグメントバイオレット23
を2g混合した他は赤色レジストの調整と同様な方法で
実施した。Example 1 <Preparation of red resist> As component (A), 30 g of P1 in terms of solid content, as component (B), 20 g of trimethylolpropane triacrylate, 5 g of pentaerythritol triacrylate, and (C) 8 g of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 as a component, 2 g of isopropylthioxanthone, and Pigment Red 177 as a component (D)
Was mixed, 900 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, and the dispersion was stabilized using a ball mill. <Preparation of Green Resist> As the component (D), 26 g of Pigment Green 36 and 4 g of Pigment Yellow 83 were used.
The procedure was the same as in the preparation of the red resist except for mixing. <Preparation of Blue Resist> As the component (D), 28 g of Pigment Blue 15: 3, Pigment Violet 23
Was carried out in the same manner as in the preparation of the red resist except that 2 g was mixed.
【0042】〈着色レジストの評価〉RGB各色の上記
レジストを透明ガラス基板上に乾燥膜厚1μmになるよ
うにスピンコートした後、70度のホットプレートで5
分間乾燥させた。ライン/スペースが5μm/5μmの
フォトマスクを介して超高圧水銀灯で紫外線を照射し、
27度、0.1重量%の炭酸カリウム水溶液を用いて、
60秒間スプレー現像し、純水で水洗した後、220度
の循環式オーブンで15分間ポストキュアを実施した。
その後、表面粗さ計を用いてポストキュア後の樹脂膜厚
を測定し、塗装後乾燥膜厚に対する露光、現像及びポス
トキュア後の膜厚の比率である残膜率が90%以上とな
り、なおかつ5μm/5μmのパターンが形成できる露
光量を光感度として測定した。その結果、RGB各色と
も50mj/cm2でパターン形成可能であり、残膜率も
90%以上であった。また、RGB各色をマトリクス上
にパターン形成したカラーフィルターにつき、アルカリ
金属含有量を測定したところ、10ppmであり、液晶
を汚染するおそれがない濃度であった。<Evaluation of Colored Resist> The above resists of each color of RGB were spin-coated on a transparent glass substrate so as to have a dry film thickness of 1 μm.
Dried for minutes. Ultra-high pressure mercury lamp is used to irradiate ultraviolet rays through a 5 μm / 5 μm line / space photo mask,
27 ° C., using a 0.1% by weight aqueous solution of potassium carbonate,
After spray-developing for 60 seconds and washing with pure water, post-curing was performed for 15 minutes in a 220 ° C. circulation oven.
Thereafter, the resin film thickness after post-curing was measured using a surface roughness meter, and the residual film ratio, which is the ratio of the film thickness after exposure, development and post-curing to the dry film thickness after coating, was 90% or more, and The exposure amount at which a 5 μm / 5 μm pattern could be formed was measured as light sensitivity. As a result, a pattern could be formed at 50 mj / cm 2 for each of the RGB colors, and the residual film ratio was 90% or more. Further, the content of the alkali metal of the color filter in which each of the RGB colors was formed on the matrix was measured and found to be 10 ppm, which was a concentration that would not contaminate the liquid crystal.
【0043】〈液晶表示装置の評価〉ブラックマトリク
スをパターン形成した透明ガラス基板上に、上記レジス
トを用いて、RGB各色のパターンを、上述した方法で
マトリクス状に形成し、カラーフィルターを作製した。
カラーフィルター上にITO透明導電膜をスパッタリン
グ法により形成し、ポリイミドプレカーサーを塗布、2
20℃,2時間の熱処理でイミド化を実施した後、膜表
面をラビングし、配向膜を形成した。一方、対向基板と
して、透明ガラス上にカラーフィルターに対応したマト
リクス状のTFT素子と画素電極を形成した後、カラー
フィルターと同様に配向膜を形成させた。このように作
製したカラーフィルター基板とTFT基板をその間隙が
一定になるようにスペーサを介し、シール剤を用いて貼
り合わせ、その間隙に液晶材料を封入し、カラー液晶表
示装置を作製した。その液晶表示装置に2ヶ月間の高温
通電試験を実施し、液晶の保持率を測定した。その結果
99.0%と良好であり、表示品位も良好であった。<Evaluation of Liquid Crystal Display> On the transparent glass substrate on which a black matrix was formed by patterning, using the above-mentioned resist, patterns of each color of RGB were formed in a matrix by the above-described method, and a color filter was produced.
An ITO transparent conductive film is formed on a color filter by a sputtering method, and a polyimide precursor is applied.
After imidization was performed by heat treatment at 20 ° C. for 2 hours, the film surface was rubbed to form an alignment film. On the other hand, as a counter substrate, a matrix-shaped TFT element and a pixel electrode corresponding to a color filter were formed on transparent glass, and then an alignment film was formed in the same manner as the color filter. The color filter substrate and the TFT substrate manufactured as described above were bonded together with a sealant through a spacer so that the gap was constant, and a liquid crystal material was sealed in the gap to manufacture a color liquid crystal display device. The liquid crystal display was subjected to a high-temperature energization test for two months, and the retention of the liquid crystal was measured. As a result, it was as good as 99.0%, and the display quality was also good.
【0044】〔実施例2及び3〕(A)〜(D)成分に
つき、表2の実施例2及び3の欄に示す重量部の配合で
混合し、実施例1と同様にRGB各色の着色レジストを
調整し、同様に評価した。結果を表2に示した。[Examples 2 and 3] The components (A) to (D) were mixed in the proportions of parts by weight shown in the columns of Examples 2 and 3 in Table 2 and colored in the same manner as in Example 1 for each color of RGB. The resist was adjusted and evaluated similarly. The results are shown in Table 2.
【0045】〔比較例1〜5〕(A)〜(D)成分につ
き、表1の比較例1〜5の欄に示す重量部の配合で混合
し、実施例1と同様にRGB各色の着色レジストを調整
し、同様に評価した。結果を表2に示した。[Comparative Examples 1 to 5] The components (A) to (D) were mixed in the proportions of parts by weight shown in the columns of Comparative Examples 1 to 5 in Table 1 and colored in the same manner as in Example 1 for each color of RGB. The resist was adjusted and evaluated similarly. The results are shown in Table 2.
【0046】[0046]
【表2】 [Table 2]
【0047】表2にから明らかなように、本実施例の感
光性樹脂組成物であると、酸素遮断膜を形成せずとも、
感度が高く、しかもこの感光性樹脂組成物を用いたカラ
ーフィルターならびにそのカラーフィルタを具備した液
晶表示装置であると、アルカリ金属による液晶の汚染の
恐れがなく、また、耐熱性が高い上、表示品位の優れた
ものである。As is evident from Table 2, the photosensitive resin composition of this example can be formed without forming an oxygen barrier film.
High sensitivity, and a color filter using the photosensitive resin composition and a liquid crystal display device having the color filter, there is no risk of contamination of the liquid crystal by an alkali metal, and the heat resistance is high and the display is high. It is of excellent quality.
【0048】尚、上記実施例においては、RGBについ
て説明しているが、本発明はこれらRGBに限られず、
色素の配合を調節することにより、シアン、マゼンダ、
黄色などを各種形状、例えば、周知のデルタ配列、スト
ライプ配列、モザイク配列、スクウェア配列にパターニ
ングする場合にも適用できる。Although the above embodiments have been described with reference to RGB, the present invention is not limited to RGB.
By adjusting the composition of the dye, cyan, magenta,
The present invention can also be applied to a case where yellow or the like is patterned into various shapes, for example, a well-known delta arrangement, stripe arrangement, mosaic arrangement, or square arrangement.
【0049】[0049]
【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物であると、酸
素遮断膜を形成せずとも、少ない露光量で反応が進行
し、なおかつ、低濃度のアルカリ性水溶液で現像が可能
となる。これにより、プロセスコストを低下させ、安価
なカラーフィルター及びカラー液晶表示装置を提供する
ことが可能となる。According to the photosensitive resin composition of the present invention, the reaction proceeds with a small amount of exposure without forming an oxygen-blocking film, and can be developed with a low-concentration alkaline aqueous solution. This makes it possible to reduce the process cost and provide an inexpensive color filter and color liquid crystal display device.
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G03F 7/027 502 G03F 7/027 502 7/028 7/028 (72)発明者 藤原 小百合 奈良県奈良市三条町606−99 (72)発明者 佐藤 孝 奈良県天理市櫟本町2613−1 (72)発明者 木村 直史 三重県名張市百合が丘東2−125Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI G03F 7/027 502 G03F 7/027 502 7/028 7/028 (72) Inventor Sayuri Fujiwara 606-99, Sanjo-cho, Nara-shi, Nara-ken (72) Inventor Takashi Sato 263-1 Ichihoncho, Tenri City, Nara Prefecture (72) Inventor Naofumi Kimura 2-125 Yurigaoka Higashi, Nabari City, Mie Prefecture
Claims (7)
ン酸と共重合可能な単量体より得られる重合体(a)の酸
無水物基に、4−ヒドロキシブチルアクリレートを付加
させた、重量平均分子量10000〜40000、酸価
50〜150mgKOH/gの範囲にある化合物20〜70重
量% (B)光重合性モノマー5〜40重量% (C)α−アミノアルキルフェノン化合物及びチオキサ
ントン化合物を含む光重合開始剤1〜20重量% (D)色素10〜50重量% より構成されることを特徴とする感光性樹脂組成物。1. A polymer (a) obtained from maleic anhydride and a monomer copolymerizable with maleic anhydride, wherein 4-hydroxybutyl acrylate is added to an acid anhydride group of the polymer (a). Compound having an average molecular weight of 10,000 to 40,000 and acid value of 50 to 150 mgKOH / g 20 to 70% by weight (B) 5 to 40% by weight of photopolymerizable monomer (C) Light containing α-aminoalkylphenone compound and thioxanthone compound A photosensitive resin composition comprising 1 to 20% by weight of a polymerization initiator (D) 10 to 50% by weight of a dye.
体が、スチレン及び(メタ)アクリル酸エステル類を含
むことを特徴とする請求項1記載の感光性樹脂組成物。2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the monomer copolymerized with maleic anhydride contains styrene and (meth) acrylates.
チロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラア
クリレートより選ばれる少なくとも1種を含むことを特
徴とする請求項1または2記載の感光性樹脂組成物。3. The photopolymerizable monomer (B) according to claim 1, wherein the photopolymerizable monomer (B) contains at least one selected from trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol tetraacrylate. Photosensitive resin composition.
組成物からなるパターニングされた複数種類の可視光透
過領域を有することを特徴とするカラーフィルター。4. A color filter comprising a plurality of patterned visible light transmitting regions made of the photosensitive resin composition according to claim 1 on a transparent substrate.
てなることを特徴とする液晶表示装置。5. A liquid crystal display device comprising the color filter according to claim 4.
脂組成物の塗膜を形成し、露光を行い、0.001〜2
重量%の無機アルカリ水溶液で現像することによりパタ
ーンを形成する工程を有することを特徴とするカラーフ
ィルターの製造方法。6. A coating film of the photosensitive resin composition according to claim 1 is formed on a transparent substrate, and exposed to light.
A method for producing a color filter, comprising a step of forming a pattern by developing with an aqueous solution of a weight percent inorganic alkali.
組成物の塗膜を形成し、露光を行ない、0.001〜2
重量%の無機アルカリ水溶液で現像することによりパタ
ーンを形成する工程を有することを特徴とする液晶表示
装置の製造方法。7. A coating film of the photosensitive resin composition according to claim 1 is formed on a transparent substrate, and exposed to light to form a coating film of 0.001-2.
A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising a step of forming a pattern by developing with an aqueous solution of an inorganic alkali having a concentration of 1% by weight.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9103685A JPH10293402A (en) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | Photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device using that, and production of color filter and liquid crystal display device |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH10293402A true JPH10293402A (en) | 1998-11-04 |
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ID=14360642
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JP9103685A Withdrawn JPH10293402A (en) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | Photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device using that, and production of color filter and liquid crystal display device |
Country Status (1)
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-
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- 1997-04-21 JP JP9103685A patent/JPH10293402A/en not_active Withdrawn
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