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JPH10203584A - 基板用カセット - Google Patents

基板用カセット

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Publication number
JPH10203584A
JPH10203584A JP9009388A JP938897A JPH10203584A JP H10203584 A JPH10203584 A JP H10203584A JP 9009388 A JP9009388 A JP 9009388A JP 938897 A JP938897 A JP 938897A JP H10203584 A JPH10203584 A JP H10203584A
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JP
Japan
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substrate
receiving
frame
substrates
plate
Prior art date
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Pending
Application number
JP9009388A
Other languages
English (en)
Inventor
Manabu Hayashida
学 林田
Takanobu Fukutome
孝信 福留
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Priority to TW087100586A priority patent/TW357426B/zh
Priority to US09/008,323 priority patent/US5890598A/en
Priority to KR1019980001638A priority patent/KR100284867B1/ko
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Pending legal-status Critical Current

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    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】ＬＣＤガラス基板の大型化ならびに薄型化にお
いて、ガラス基板の収納時の自重による、基板たわみ量
の増加を最低限に抑える。 【解決手段】基板用カセット８の受け側フレーム７に、
受け板７ａを設けることにより、基板のたわみ量を最低
限に留めることが可能となる。また、受け板７ａに球状
突起裏面へのきずを防ぐことが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は基板用カセットに関
し、特に大型液晶ガラス基板（以下、基板と称する）が
互いに接触しないように分離して支持するまたは、収納
した状態での基板搬送に用いる基板用カセットに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶ガラス基板やプラズマ表示ガラス基
板など各種の基板製造工程において、基板の収納・保管
・搬送などを行うために収納した各基板が互いに接触し
ないような基板用カセットが必要となる。この目的のた
めに、基板用カセットとして、相対するくし歯状の棚片
を溝付き側板の形状に成形して基板を一枚一枚出し入れ
る基板用カセットが一般的に汎用化されている。
【０００３】図６は特開平５−１４７６８０号公報に示
されている箱形の基板用カセットの全体形状を示した斜
視図である。底面側フレーム１、天井側フレーム２、な
らびに基板を受け止めるストッパー５が、底面側フレー
ム１と天井側フレーム２に固定されている。かつ、相対
向する１対の側面を構成する、溝付き側板３で構成され
ている。図６においての溝付き側板３は、一面につき各
３枚用いた場合を示しているが、各２枚とか各４枚とか
で構成してもよい。また、ストッパー５については、基
板が抜け落ちないためのものであり、側面に使用してい
る溝付き側板３を取り付ける構造でもよい。この基板用
カセットは、基板の出し入れ時には、開口側が横に向く
ようにして使用し、基板の運搬時には、前記同様また
は、上を向くようにして使用する。図６の構造の基板用
カセットに対する基板の出し入れは、底板側フレーム１
と溝付き側板３の最下段の隙間に、ハンドリングロボッ
トのハンドが進入し、基板を持ち上げ出し入れする。ま
たは、シャトルアームの操作、背後側からのプッシャー
による突き出しの手段により、自動的に行うが、作業者
が手で行う場合もある。
【０００４】図６に示した形状の基板用カセットのほか
に、特開平６−１９１５４７号公報には、溝付き側板に
外部からなんらかの外力を加えることにより、機械的に
基板を挟み込み固定するようなカセットが示されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述の基板用カセット
は、現在では広く採用されているものであるが、基板の
両端面部分の支持だけであるため、運搬時に基板が水平
方向にずれるとか、振動により基板が上下方向に大きく
揺れ動くとかの問題がある。基板の水平方向のずれに対
しては、基板端面が、溝付き側板の側面部に摩擦を生じ
る。また、基板の上下方向の揺れに対しては、基板端面
が、ストッパーにあたり摩擦を生じ、そのことにより切
削屑を発生させ、強いては、基板上の回路に障害を与え
るトラブルにつながる。また、最近においては、基板薄
型化や大型化が一段と進行している。例えば、基板の薄
型化の場合は、従来の１．１ｍｍ板厚のものから０．７
〜０．５ｍｍの極薄のものまで採用されてきている。基
板の大型化においては、従来の３７０×４７０ｍｍ基板
サイズから４００×５００ｍｍ、あるいは、５５０×６
５０ｍｍサイズと従来の面積比で、２倍にまで大型化し
ている。このような現状の中では、基板がたわみ易くな
り、基板用カセットに収納した基板が取り扱い中に落
下、または、ロボットハンドとの接触などにより割れて
しまうような事態を招くこともある。
【０００６】本発明の目的は、ガラス基板の大型化にと
もない、基板にきずを付けることなく且つ、基板のたわ
みを極力最小限に留め、基板一枚一枚の取り出しを容易
にする基板用カセットを提供することにある。また、搬
送時の振動などによる影響を最小限にすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の基板用カセット
は、下面の底面フレームと上面の天井フレームならび
に、下面、上面を支持する溝付き側板から構成されてお
り、相対向する側面の溝付き側板は、水平方向に所定の
ピッチでリブ状の受棚３ａが、内側方向に相対向して張
り出した構造を有する箱形カセットにおいて、基板の上
下方向たわみ量を極力抑えることを可能にした構造であ
り、下面、上面を支持する受け側フレームと、前記受棚
と同様の水平方向に所定のピッチで、板状の受け板なら
びに、この受け板の上面に点接触可能な球状突起を設け
たことを特徴とする。また、受け板に樹脂または、ゴム
状の材料で溶融成形された球状突起の構造を持ち、受側
フレームに樹脂の材料にて一体溶融成形した受け板を設
けた基板用カセットである。
【０００８】本発明によれば、基板用カセットに基板を
収納するにあたっては、図２に示めしたように、基板９
の端面部が溝付き側板３と一体にて溶融成形してある受
棚３ａに水平状態で接する。この状態で基板９のサイズ
が大きければ大きいほど基板９のセンター付近のたわみ
量が多くなる。このたわみ量を極力抑えるために、受け
板７ａならびに、球状突起７ｂにて基板を支持する。ま
た、図３に示すように、基板９の収納方向にも支持する
ことが必要となるが、基板９の長さに対して、受け板７
ａを基板９の長さの半分近くまで伸ばすことにより、基
板９のたわみを確実に防止することが、可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
【００１０】図１は本発明の実施の形態の基板用カセッ
トの斜視図、図２は図１の正面図、図３は図１の部分側
面図、図４は図１の要部平面図である。
【００１１】図１を参照すると、本発明の実施の形態の
基板用カセットは、底板側フレーム１と天井側フレーム
２の各１個ずつの上下方向に、基板を収納できる空間を
持つ。溝板付き側板３、ストッパー５、受け側フレーム
７は、固定用ねじ６にて底板側フレーム１と天井側フレ
ーム２、溝付き側板３、ストッパー５、受け側フレーム
７を締め付け固定している。受棚３ａは、溝付き側板３
と一体溶融成形されており、受棚３ａは、左右同一ピッ
チにて、相対向する溝付き側板３の内側に１０ｍｍから
１５ｍｍ程の寸法でくし歯状に張り出している。実際に
ここで基板の長辺側端面の裏面を点または、線接触にて
支持している。ストパー５は、丸棒の形状でとりわけ方
向性はない。受け側フレーム７は、対向する開口部分か
ら基板の取り出しを行うため、片方にのみ取り付けてあ
る。受け側フレーム７には、基板の中央付近を支持する
ための、受け板７ａが一体溶融成形にて構成されてい
る。実際に基板の裏面に接触する部分には、図２に示す
球状突起７ｂが形成され、受け板７ａは、できるだけ基
板９の中央部分を支持するために、平板状の形状で、内
部に金属材料を用い、外周部分を樹脂にて一体成形した
構造で、高剛性を持たせているところを特徴とする。基
板９は平面状態で、基板用カセット８に収納されること
から、受け板７ａは、溝板付き側板３と同一ピッチで、
底板側フレーム１からの初期寸法を２ｍｍ〜５ｍｍ程度
低くした状態で基板９を支持する。基板９を平面状態
で、基板用カセット８に収納することから、基板９の中
央部付近の支持は、前述した通り２ｍｍ〜５ｍｍ程度低
くした状態が、基板９の長辺方向端面が、溝付き側板３
に最小限の隙間にて、接する事ができる。
【００１２】図３に示すように、基板９の裏面との接点
に球状突起７ｂを配置している。この突起は、図４に示
すように、基板９の裏面にきずを付けないように、点に
よる接触とした。また、受け板７ａと一体で成形するこ
とも可能となる。材質的には、底板側フレーム１と、天
井側フレーム２には、ポリエーテルイミドやポリエーテ
ルエーテルケトンなど合成樹脂材料の持つ必要な特性
（強度、耐熱性、耐溶剤性、耐酸、耐アルカリ性等）を
有する成形可能な熱可塑性樹脂に、導電材料のカーボン
繊維を含有した複合熱可塑性合成樹脂による一体成形が
適する。また、基板９の裏面が直に接触する受棚３ａ
や、球状突起７ｂなどは、基板９の端面と溝付き側板３
の側壁部や、基板９の裏面と受棚３ａの上面部が、運搬
時の振動等により摩擦を生じる。この摩擦時に発生する
切削屑等は、基板９の回路上に悪影響を生じるため、発
塵性を極力抑えるため、ポリエーテルエーテルケトンな
どの、硬度が堅く、耐摩耗性に優れた材料を用い、一体
成形することが望ましい。
【００１３】次に、本発明の実施の形態の動作について
詳細に説明する。
【００１４】図１から、基板９は開口している部分より
ロボットなどの機器により搬送され、基板用カセット８
の溝付き側板３の同一スロット上にある受棚３ａに順次
収納される。この収納された状態で基板９の自重による
たわみが受け板７ａと、図２に示した球状突起７ｂによ
り最小限に留めることが可能となる。また、基板９を基
板用カセット８から取り出す時も、比較的平面に近い状
態のものを、ロボットなどで取り出すため、基板９を持
ち上げる時に発生する基板９への上下ストレスも軽減さ
れる。
【００１５】
【発明の効果】第１の効果は、本発明の基板用カセット
を用いれば、今後の大型化傾向にある基板サイズに対応
したロボットでのハンドリング時に問題視される基板自
重によるたわみが、図５に示すように数値的には、１
０．９ｍｍから５．３ｍｍへと基板たわみ量の減少が確
認されている。このデータは、ＬＣＤガラス基板をカセ
ットに収納した時の、受棚７ｂ近傍でのデータではな
く、実際に基板を出し入れするカセットの開口付近での
データである。実際の受棚７ｂ近傍でのたわみ量は０．
５ｍｍから１．０ｍｍ以内と、ほぼ水平状態に等しい。
このように、従来の基板たわみ量よりカセット開口での
基板たよみ量が約５０％低減する。その理由は、基板を
支持するポイントが長辺方向の中央部に移行可能な機構
の構造にしたことによる。
【００１６】第２の効果は、基板のたわみ量を軽減でき
たことから、従来の１．１ｍｍ厚さの基板と、更にこれ
より薄い基板をロボットによりハンドリングする場合
も、ロボットのハンドリングポイントを二重に持つ必要
がなくなる。その理由は、基板のたわみ量は、厚さの二
乗に比例することから薄型化することにより、たわみ量
が増加する傾向にある。これをある一定量の基板たわみ
に抑えることが、可能になったためである。
【００１７】第３の効果は、基板用カセットの高さ方向
への大きさを、基板の薄型化にともなうタワミ量に応じ
たピッチに拡張することが、不必要になる。その理由
は、基板の厚さに係わらず、ある一定量のたわみに抑え
ることが可能になるためである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の基板用カセットの斜視
図。
【図２】図１の正面図。
【図３】図１の部分側面図。
【図４】図１の要部平面図。
【図５】本発明の効果を示すグラフ。
【図６】従来の基板用カセットの一例の斜視図。
【符号の説明】 １ 底面側フレーム ２ 天井側フレーム ３ 溝付き側板 ３ａ 受棚 ５ ストッパー ６ 固定用ねじ ７ 受け側フレーム ７ａ 受け板 ７ｂ 球状突起 ８ 基板用カセット ９ 基板

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 下面に配置された底面側フレームと、上
    面に配置された天井側フレームと、この天井側フレーム
    と前記底面側フレームを支持し水平方向に所定のピッチ
    で配置され基板を保持するリブ状の受棚が内側方向に相
    対向してくし歯状に張り出した溝付き側面板と、前記底
    面側フレームと前記天井側フレームに固定され挿入され
    た前記基板を受け止める１対のストッパーとを有する基
    板用カセットにおいて、前記１対のストッパー間に前記
    受棚と同一ピッチの上面に点接触可能な球状突起が形成
    された受け板を有する受け側フレームを設けたことを特
    徴とする基板用カセット。
  2. 【請求項２】 前記受け板が、樹脂またはゴム状の材料
    で溶融形成された球状突起を有することを特徴とする請
    求項１記載の基板用カセット。
  3. 【請求項３】 前記受け側フレームが樹脂の材料にて一
    体溶融成形された受け板を有することを特徴とする請求
    項１記載の基板用カセット。
JP9009388A 1997-01-22 1997-01-22 基板用カセット Pending JPH10203584A (ja)

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