JP2008129453A - ペリクルの収納方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るペリクルの収納方法は、ペリクル枠体2にペリクル膜3が展張されてなるペリクル1を、少なくともトレイ5と蓋4とからなるペリクル収納容器6に収納する方法であって、前記ペリクル1が、前記トレイ5に少なくとも2箇所以上で固定された固定式ペリクル保持部品Bに着脱可能な可動式ペリクル保持部品Aを介して保持・固定されて収納されることを特徴とする。
【選択図】図4
Description
B 固定式ペリクル保持部品
1 ペリクル
2 ペリクル枠体
3 ペリクル膜
4 蓋
5 トレイ
5a トレイ面
5b トレイ面の反対側の面
6 ペリクル収納容器
7 鉤
8 板バネ
9 固定式ペリクル保持部品B共通取り付けベース
10 突起部
11 可動式保持部品Aの直方体部分
12 溝
12a 溝終端部
13 接触摩擦保持面
14 ペリクル枠体の外側面
15 突起部を備えた根元面
16 ペリクル重量支持面
17 軸
18 振動吸収構造
19 スロープ
20 底板
21 支持板若しくは支持棒
22 天板
Claims (5)
- ペリクル枠体にペリクル膜が展張されてなるペリクルを、少なくともトレイと蓋とからなるペリクル収納容器に収納する方法であって、
前記ペリクルが、前記トレイに少なくとも2箇所以上で固定された固定式ペリクル保持部品に着脱可能な可動式ペリクル保持部品を介して保持・固定されて収納されることを特徴とするペリクルの収納方法。 - 前記ペリクル枠体は溝を有し、
前記可動式ペリクル保持部品は、前記溝に挿し込み可能な突起部を有し、
前記溝に前記突起部が挿し込まれ、かつ、前記可動式ペリクル保持部品が前記固定式ペリクル保持部品に嵌合によって固定されることで、前記ペリクルが保持・固定されることを特徴とする請求項1に記載のペリクルの収納方法。 - 前記可動式ペリクル保持部品は、前記ペリクル枠体の枠辺に沿って移動させることによって、前記固定式ペリクル保持部品に固定されることを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクルの収納方法。
- 前記ペリクルが、前記トレイのトレイ面から離隔した状態で保持・固定されることを特徴とする請求項1、2又は3に記載のペリクルの収納方法。
- 前記ペリクル枠体の外側面と前記可動式ペリクル保持部品の突起部を備えた根元面とが接し合い、これによって生ずる摩擦抵抗が前記ペリクルを保持・固定する力となることを特徴とする請求項2、3又は4に記載のペリクルの収納方法。
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