JPH02270233A - 真空バルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、真空バルブに係わり、特に低サージ性能およ
び大電流遮断性能に優れた電極構造を有する真空バルブ
に関する。

（従来の技術） 従来、低サージ性能を考慮した真空バルブとしては、例
えば特開昭５８−３８４２５号公報に示すものが公知で
ある。この真空バルブの構造は、第１３図、第１４図、
および第１５図に゛示すように、絶縁円筒１の両端開口
部を端板２．３で気密封着して真空容器４を形成し、こ
の内部に接離自在とした一対の電極５．６を配設して構
成したもので、電極５の固定通電軸７は端板２に固定し
て取り付けられ、電極６の可動通電軸８は端板３にベロ
ーズ９を介して移動自在に取り付けられ、電極５゜６の
周りを囲むアークシールド１ｏは絶縁円ｔｌ？ｉｌに取
り付けられ、ベローズカバー１１は通電軸８に取り付け
られている。

また、電極５，６の構造は、対向する接触面が銀−タン
グステンカーバイト（以下Ａｇ−ＷＣと表記）焼結材か
ら接点を兼ねた電極体１４．１５の裏面に通電部１６ａ
、１７ａにより電気的に接続されたコイル電極１６．１
７が設けられている。

このコイル電極１６．１７には、固定および可動通電軸
７，８からの電流がコイル分流腕部１６ｂ。

１７ｂにより分流され、コイル円弧部１６ｃ。

１７ｃに流れる。このコイル円弧部１６ｃ。

１７ｃに流れる電流により、電極間空間に軸方向磁界が
発生する。この軸方向磁界は、接点間に点弧したアーク
を一様に拡散させ、接点の損傷を軽微にするため平板電
極やスパイラル電極、コントレイト電極よりも大電流を
遮断することが可能であった。

しかも、電極体１４．１５の対向する接触面が低サージ
接点材例えばＡ　ｇ−ＷＣ焼結材から形成され接点を兼
ねているので、さい断電流をＩＡ以下に抑制することの
できる低サージ性能を併せ有していた。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、Ａｇ−ＷＣのような低サージ接点材は一
般に熱伝導率が低く、かつタングステンカーバイド（以
下ＷＣと表記）の微粉末の焼結材であるため、脆く銅（
以下Ｃｕと表記）や銅−クロム（以下Ｃｕ−Ｃｒと表記
）に比べて熱衝撃に弱く、遮断限界電流が比較的小さい
。したがって、Ａｇ−ＷＣのような低サージ接点材は、
Ｃｕ。

Ｃｕ−Ｃｒと同程度の低サージ性能と大電流遮断性能を
併せ有する構造とはなり得なかった。

そこで、本発明の目的は、低さい断電流特性を有して低
サージ性能に優れ、しかも大電流遮断性能にも優れた真
空バルブを提供することにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、前記目的を達成するため、真空容器の内部に
、接離自在に対向配設した固定電極および可動電極を有
する真空バルブにおいて、前記両電極として、銅からな
る電極体に銅−クロムからなる電極面部材を固着し、こ
の電極面部材の前記電極と対向する表面上であって、前
記電極面部材と同心円上にに、前記電極体に比べてさい
断電流値が低い材料からなり、かつその端部に丸みある
いはテーパ部を有する複数の円板接点を、それぞれ等間
隔に配置するとともに、前記電極面部材から所定距離突
出させて固若し、前記電極体裏面にこの中心から半径方
向に伸びる直線分流部をｎ本等配し、その先端から前記
円板接点の外径と等しいかあるいはそれよりも大きな外
径の円弧状のコイル部をｎ本等配して、このコイル部の
他端を張り合わせ、等価的に１　／　ｎの電流が２ター
ンの円周方向電流経路を得るようにし、かつ前記直線分
流部が重なり合わないようにコイル電極を配設し、この
コイル電極を流れる電流により前記電極間空間に一様な
軸方向磁界を発生する縦磁界電極を有し、前記可動電極
が固定電極に投入された状態において、可動および固定
電極面上の円板接点同士または前記円板接点の端部同士
または側面同士が接触するような電極構造としたことを
特徴とするものである。

また、本発明は、真空容器の内部に、接離自在に対向配
設した固定電極および可動電極を有する真空バルブにお
いて、前記両電極として、円盤状の電極体に電極面部材
を固若し、この電極面部材の前記電極と対向する表面上
であって、前記電極面部材と同心円上にに、融点が１６
００”Ｃ以上で、かつ熱伝導率が１．７Ｖ／ｓＫ以下の
材料であって、前記電極体の４０％以下の直径を有する
ととも゛に、その端部に丸みあるいはテーパ部を有する
複数の円板接点を、前記電極の半径の１／２の長さより
大きい円上に該各中心がそれぞれ等間隔に配置させて前
記電極面部材から所定距離突出させて固着し、前記電極
体の裏面にこれと外径がほぼ同じである電極と同じであ
る円周方向に伸びるコイル腕部を有するコイル電極を設
け、そのコイル電極のコイル腕部を流れる電流によって
それぞれ等価的に１ターンの円周方向電流を形成し、コ
イル電極空間に電極開離時に発生するアークと平行な軸
方向の磁界を発生させる縦磁界電極を有し、前記可動電
極が固定電極に投入された状態において、前記可動電極
および固定電極面上の円板接点の端部同士または側面同
士が接触するような電極構造としたことを特徴とするも
のである。

（作用） 本発明によれば、前記のように構成することにより、低
さい断電流特性を有して低サージ性能に優れ、しかも大
電流遮断性能が優れた真空バルブが得られる。

（実施例） 以下、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。本発明では、概略構成は従来と同じであり、接点材
の配置以外は可動側電極、固定側“電極とも構造がほぼ
同じであるため、可動側電極についてのみ説明する。第
１図は本発明の一実施例の接点面側から見た平面図、第
２図はこの可動側電極の側面図である。

両図において、可動電極２０は、可動軸８の端部に一端
が固着され、軸方向磁界を発生するための第１段コイル
２４と第２段コイル２５、更にＣｕ−Ｃｒからなる電極
面部材２２の半径をＲとするとき、端部に丸みあるいは
テーパ部をもつＡ　ｇ−ＷＣからなる円板接点２３は、
電極面部材２２の中心からＲ／２以上外側の位置に３〜
４個等配して設けられている。更に、これら接点２３は
図示されない機構部により機械的に可動電極が投入され
た状態で、可動電極側と固定電極側の接点２３同士、も
しくは第５図および第６図に示す接点２３の配置のよう
にそれらの端部同士あるいは側面同士が接触するように
円周方向に等配されている。電極体２１には、半径方向
に伸びる電極体２１の半径の７０％以上の深さの２本以
上の等配置されたスリット２６が設けられている。

しかして、可動；ａ市軸８にろう付などによりその中央
部の円形のコイル取り付は部２４ａで一体的に固着され
るコイル電極の第１段コイル２４と電極体２１の裏面中
央部とろう付などによりその中央部のコイル取り付は部
で一体的に固着される第２段コイル２５は、各々第３図
に示すように中央の円形のコイル取り付は部２４ａ、　
　２５Ｂから半径方向に等配に伸びる複数の直線状の直
線分流部２４ｂ、２５ｂを有し、さらにその端部から円
周方向に隣合う直線分流部と接しない程度に伸びる円弧
状のコイル部２４ｃ、２５ｃから構成されており、これ
ら第１段コイル２４と第２段コイル２５は円弧状コイル
部の端部でこれらと一体的に設けられた、あるいは導電
性の良好な通電ピンによる通電部２７によりろう付等で
電気的に固着され、第４図に示すように組み合わされる
。

このように構成されたコイル電極は第１段コイル２４の
中央部に設けられたコイル取り付は部２４ａで通電軸８
と、さらに第２段コイル２５の中央部に設けられた円形
のコイル取り付は部２５ａにより電極体２１の裏面中央
部と一体的に固着される。特に第２段コイル２５のコイ
ル取り付は部２５ａの外径は、電極体２１と固着した時
に電極体２１と接点２３に半径方向に設けられたスリッ
ト２６からはみ出さないような外径となっている。

可動軸８は、第２図において図示されない操作機構部に
よって可動電極２０が固定電極に向かって投入されたと
き、電極面部材２２の表面から２１１Ｉ−以下突出する
ように設けられた接点２３の端部同士が接触するような
接点２３を電極面部材２２に配設する。また、接点２３
の材料すなわちＡｇ−ＷＣの添加物として１０ｖｔ％（
ｆｆｌｆｆｉ％）以下のＣｏを含有させることもできる
。このような構造の真空バルブは、は１０　ＫＡｒｓｓ
以上の電流を数回遮断する電流エージングの後に使用さ
れる。

次に、以上のように構成された真空バルブの電極の作用
について説明する。相間短絡や地絡事故などが発生し致
方アンペアの大電流を遮断するため、図示しない操作機
構部により可動電極が固定電極から離反されると、接点
２３の端部及び側面に点弧していたアークが接点材と電
極面部材２２の境界に拡散し、さらには、陰極となった
電極の接点２３と電極面部材２２の両面に広がり、これ
らにより生成される金属蒸気プラズマにより電流零点近
傍までアークが維持される。

さらに、第５図および第６図に示すように固定電極と可
動電極を投入したときに、接点２３はその端部の丸みあ
るいはテーパ部同士あるいは側面同士で接触しているた
めに、電流遮断時はここで発弧する（第５図の破線）。

さらに、大電流遮断時には、発弧時に生じる金属蒸気プ
ラズマが接点２３の外側、電極面部材２２上に噴き出さ
れるため、アークは拡散、移動しやすくなる。このとき
第１段コイル２４および第２段コイル２５の円弧状のコ
イル部２４Ｃ，２５ｃに流れる電流により、電極間空間
に軸方向磁界が発生する。

この第１段コイル２４および第２段コイル２５によって
発生する軸方向磁界は、第１４図および第１５図に示さ
れる従来のコイル電極１６（１７）により発生する軸方
向磁界に比べ、本実施例の直線状分流部２４ｂ、２５ｂ
の数が多く、また隣合う直線状分流部２４ｂ、２５ｂに
流れる電流の向きが逆のため、直線状分流部２４ｂ。

２５ｂに流れる電流によって発生する軸方向磁界が電極
間空間で平均して強められる。また、従来形の４分割コ
イル電極によって発生する軸方向磁束密度の電極間での
半径方向分布と本発明のコイル電極によるそれと比較す
ると第７図のようになる。この図から本発明によるコイ
ル電極による軸方向磁束密度分布は電極間空間で均一で
あることが分かる。この均一な強い軸方向磁界により従
来のような強度分布差によるアークの偏りがなく電極間
に発生した金属蒸気アークは急速に電極間空間に一様に
拡散させられ、安定して点弧することになる。

さらに各接点２３の最少アーク電圧を示す軸方向磁界強
度を超える値の軸方向磁界を印加すると、第８図のよう
にｌ−Ｖ特性は各接点固有の逆り詩形特性を示す。すな
わち、あるアーク電流値まではアーク電圧はほぼ一定で
あるが、アーク電流値が大きくなると、アーク電圧は急
増する傾向を示す。

このアーク電圧の急増するアーク電流値は接点この場合
、Ｃｕ−ＣｒとＡ　ｇ−ＷＣとでは異なり、Ａ　ｇ−Ｗ
Ｃの場合の方が小さい。このような強軸方向磁界下でＣ
ｕ−ＣｒとＡ　ｇ−ＷＣを組み合わせた接点での両接点
における電流分担は第９図に示すようになる。第９図に
おいて、アークの拡散により遮断電流値の小さいところ
では両接点に電流は分担されるが、遮断電流値が大きく
なるとＡ　ｇ−ＷＣのアーク電圧が急増するため、Ｃｕ
−Ｃｒの電流分担率が増加し、Ａ　ｇ−ＷＣでの電流分
担値は一定の飽和現象を示す。すなわち、Ａ　ｇ−ＷＣ
に流れるアーク電流値はある電流値以上増加しない。従
って、大電流遮断時接点２３での電流分担率が軽減され
、Ａｇ−ＷＣからなる接点２３の損傷が軽微に抑制され
る。このため、より大電流遮断が可能となる。

このような大電流遮断時の各接点の電流分担を生じさせ
るために、第４図に示すようなコイル電極２４．２５を
備えた第１図および第２図のような電極構造となってい
る。

また、電極体２１および電極面部材２２に設けられた電
極体２１の半径の７０％以上の長さを有する半径方向に
延びる２本以上の直線状のスリット２６により、軸方向
磁界と鎖交するために電極体２１および電極面部材２２
に生じる渦電流を防止し軸方向磁界の均一化および強化
を補助することができる。

更に、第２段コイル２５の中央部に位置するコイル取り
付は部２５ａが電極体２１の裏面の中央部で固着されて
いるため、電極面部材２２のどこで発弧しても電極体２
１および電極面部材２２中を流れる電流の経路は半径・
方向および円周方向には非常に短くなり、電極体２１お
よび電極面部材２２中を流れる電流の経路による軸方向
磁界の不均一化や減衰は十分に抑制することができる。

負荷電流の数アンペアから数百アンペアの範囲の比較的
小さい電流を遮断する場合、接点２３が低サージ接点材
であるＡ　ｇ−ＷＣからなり、その端部あるいは側面で
アークが点弧しやすい接点配置になっているため、カソ
ードスポットはＡｇ−ＷＣ上あるいはＡ　ｇ−ＷＣとＣ
ｕ−Ｃｒの境界上の熱的に不連続な点で点弧しやすい。

したがって、カソードスポットが小電流まで維持されや
すいので、さい断電流値を低く抑制することができる。

前述の接点２３の材料Ａ　ｇ−ＷＣは、Ａｇが２５〜６
５ｖＬ％、残部がＷＣである。またＡｇ−ＷＣのマトリ
ックスを強化するために１０ｖｔ％未満のＣｏを含有さ
せてもよい。このＣｏの存在はＡ　ｇ−ＷＣのマトリッ
クスを強化し大電流遮断時の熱衝撃によって生ずる微細
亀裂の発生を抑制し、接点面上の磁場分布の乱れおよび
磁場の強さの低下を防止する。

さらにＡ　ｇ−ＷＣにおいてＷＣ粒径を３μｍ以下、好
ましくは１μ−以下に選択することは、低さい断電流特
性の安定化に有益である。

また、電極体２１の裏面と第２段コイル電極２５の間に
ステンレスなどの低導電材からなるリブ状または円板状
の補強を備えることにより、電極投入の際の電極の変形
を防ぎ、常に均一で強い軸方向磁界を発生させることが
できる。

このような電極に数にへ以上の大電流を遮断する電流エ
ージング（コンディショニング）を施すことによって、
Ｃｕ−Ｃｒ表面に点弧したカソートスポットによりＣｕ
とＣｒの微細薄膜層が形成され、かつ、接点２３表面に
点弧したカソードスポットによりＡ　ｇ−ＷＣ上でも組
織が同一化されるために、さい断電流が小さく安定し、
より高耐圧で大電流遮断が可能な電極が得られる。

次に、本発明の第２の実施例について、図面を参照して
説明するが、接点材の配置以外は可動電極、固定電極と
も構造がほぼ同じであるため、固定電極についてのみ説
明する。第１０図において、Ｃｕからなる電極体３２あ
るいはＣｕ−Ｃｒからなる電極面部材３１の半径をＲと
するとき、円板接点３０はその端部に丸みを設けてあり
、電極体３２の中心からＲ／２以上外側の位置に３〜４
個等配し、かつ電極面部材３１の表面から２■以下突出
するように設けたものである。前記接点３０の材料とし
ては、Ｗ％Ｍｏ、ＷＣ等のいずれかを用いる。

電極体３２の裏面には、電極体３２と同じ外径を有し、
単数または複数のｎ等分された円弧部３３ｂからなるコ
イル電極３３を設ける。このコイル電極３３は、通電軸
３４と半径方向に直線状に伸びるコイルつなぎ部３３ａ
と、また電極体３２とはコイル円弧部３３ｂの端部に設
けられたコイル通電部３３ｃとそれぞれ電気的に接続さ
れている。このようなコイル電極を固定および可動電極
の対向裏面に設置することにより、等価的に１　／　ｎ
の電流のほぼ１タ一ン円周方向電流経路が形成される。

これにより発生する軸方向磁界分布はほぼ図になる。し
てかって、その強度の大きい付近に以下に述べる接点材
を配置する。

可動軸３４は、第１１図において図示されない操作機構
部によって可動電極が固定電極に向かって投入されたと
き、対向する接点３０の端部同士が接触するような接点
３０と電極面部材３１を配置しである。

この配置の仕方については、第１２図に示すようにすれ
ばよい。すると、接点３０は閉極時に接点３０の端部同
士または側面同士で接触する。

接点３０としては、電極面部材３１の４０％以下の直径
を有し、かつ融点が１６００℃以上であって、熱伝導率
が１．７ｗ／ａＫ以下とあるものが本発明の効果を出す
のに有効と考えられる。電極体３２と電極面部材３１に
は、半径方向に直線状に伸びる複数のスリット３８が設
けられている。電極体３２の裏面には、ステンレス鋼材
などの導電率の低い材料からなる補強材３５が゛コイル
電極３３との間に面上されている。なお、第１０図〜第
１２図°において、３４は通電部、３２は電極体、３７
はコイル取付部である。

以上のような構成の電極において、定格通電電流数千ア
ンペア以下の電流を遮断するために、図示しない操作機
構部により可動電極が固定電極から離反されると、接点
３０同士であるいはその端部同士あるいは側面同士で接
触していたため、陰極側の接点３０上にカソードスポッ
トが点弧されるが、接点３０を構成している接点材は、
高融点であるために一定箇所でのアークの維持が難しく
、カソードスポットは安定せず、激しく動く。

そして、アークはすぐにアンカー接点材とＣｕ−Ｃ「か
らなる電極面部材３１の境界に移動する。

したがって、低熱伝導性と低融点性を合わせ持つ熱的に
不連続な境界部に点弧したカソードスポットにより生成
される金属蒸気プラズマによって電流零点近傍までアー
クが安定に維持され、さい断電流値は小さくなる。ここ
で、さい断電流値はカソードスポットが点弧した金属材
料によって決まる。したがって、このような電極構造と
することによって、低さい断電流特性を有し、低サージ
用真空遮断器を実現することが可能である。

また、相間短絡や地絡事故などが発生し敵方アンペアの
定格遮断電流を遮断するため、図示しない操作機構部に
より可動電極が固定電極から離反されると、接点３０が
電極体３２あるいは電極面部材３１の半径の半分の長さ
より外側で、しかもコイル円弧部３３ｂの内径以下に納
まるように配設され、この接点上での軸方向強度が他の
半径方向位置よりも強いため、コイル電極３３によって
生じた縦磁界により陰極の接点３０上に点弧していたア
ークは、接点３０と電極面部材３１の境界に拡散移動す
る。そして、電極面部材３１上に分布する縦方向磁界に
よってアークは電極面部材３１面に拡散し、これにより
生成される金属蒸気プラズマによって電流零点近傍まで
アークが維持される。また、接点３０の融点が高いため
に、アークによる陰極損傷は比較的小さい。これらの効
果を併せ持つ電極構造により低サージでかつ大電流遮断
が可能な真空バルブを得ることができる。

電極体３２および電極面部材３１に設けた半径方向に伸
びる複数の直線状のスリット３８により、電極体３２に
流れる渦電流を防止し、軸方向磁界を有効に発生させる
ことができる。

電極体３２の対向裏面とコイル電極３３の間に固着され
たステンレス鋼材などの低導電材料からなる補強材３５
により真空遮断器の開閉動作時の電極体３２およびコイ
ル電極３３の変形を防ぐことができる。

さらに、このようにして構成した電極に電流エージング
を施すことによって、電極面部材３１および接点３０の
対向表面にＣｕ、Ｃｒの微粒子の薄膜層を形成させ、そ
の組織が微細でありかっ、一様に拡散蒸むされているた
めにさい断電流値のばらつきを減少させ、なおかつ溶む
引き外し力の低下、高耐圧化などの効果を得ることが可
能である。

本発明の第２の実施例によれば、軸方向磁界および接点
３０の端部同士に接触点を有する効果によって、大電流
遮断時には電極面部材３１上での電流分担を多くして、
接点３０の大電流遮断時による損傷を非常に軽微にする
ことが可能であり、かつ小電流時には接点３０上にアー
クを点弧させることが可能であるため、遮断性能を向上
させ、かっさい断電流の小さい低サージ性能を有する真
空バルブを提供することが可能である。

［発明の効果］ 以上述べた本発明によれば、低さい所持性の改善と軸方
向磁界分布の均一化および強化により、低サージ性能と
大電流遮断性能を併せ有する電極構造を備えた真空バル
ブを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の可動側電極を示す平面図、
第２図はその側面図、第３図は第１段および第２段コイ
ル電極に用いられるコイル電極の平面図、第４図は第１
段コイル電極と第２段コイル電極を組み合わせた場合の
平面図、第５図および第６図は本発明における接点の配
置図、第７図は本発明の電極と従来形の４分割縦磁界電
極の軸方向磁束密度分布の相対比較を表すグラフ、第８
図は接点材料Ｃｕ−ＣｒおよびＡ　ｇ−ＷＣのｔ−Ｖ特
性図、第９図は電流遮断時のＣｕ−（ｒおよびＡｇ−Ｗ
Ｃ接点における電流分担図、第１０図は本発明の真空遮
断器の電極構造の実施例を示す平面図、第１１図は第１
０図のＡ−０−Ａの断面を示す図、第１２図は電極面部
材の接点の配置例、第１３図は従来の真空バルブの構成
を示す断面図、第１４図は従来の真空バルブの電極を示
す平面図、第１５図は第１牛図のＡ−０−Ａ線に沿って
切断し、矢印方向に見た断面図である。 ２０・・・可動電極、２１・・・電極体、２２・・・電
極面部材、２３・・・円板接点、２４・・・第１段コイ
ル、２５・・・第２段コイル、２６・・・スリット、３
ｏ・・・円板接点、３１・・・電極面部材、３２・・・
電極体、３３・・・コイル電極、３６・・・電極体、３
８・・・スリット。 出願人代理人　　弁理士　鈴江武彦 第２図 第３図 第４図 第６図 第７図 了−りｔａ 第８図 第９図 第１０図 第１１図 第１２図 第１３図

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空容器の内部に、接離自在に対向配設した固定
   電極および可動電極を有する真空バルブにおいて、 前記両電極として、銅からなる電極体に銅−クロムから
   なる電極面部材を固着し、 この電極面部材の前記電極と対向する表面上であって、
   前記電極面部材と同心円上にに、前記電極体に比べてさ
   い断電流値が低い材料からなり、かつその端部に丸みあ
   るいはテーパ部を有する複数の円板接点を、それぞれ等
   間隔に配置するとともに、前記電極面部材から所定距離
   突出させて固着し、 前記電極体裏面にこの中心から半径方向に伸びる直線分
   流部をｎ本等配し、その先端から前記円板接点の外径と
   等しいかあるいはそれよりも大きな外径の円弧状のコイ
   ル部をｎ本等配して、このコイル部の他端を張り合わせ
   、等価的に１／ｎの電流が２ターンの円周方向電流経路
   を得るようにし、かつ前記直線分流部が重なり合わない
   ようにコイル電極を配設し、このコイル電極を流れる電
   流により前記電極間空間に一様な軸方向磁界を発生する
   縦磁界電極を有し、 前記可動電極が固定電極に投入された状態において、可
   動および固定電極面上の円板接点同士または前記円板接
   点の端部同士または側面同士が接触するような電極構造
   としたことを特徴とする真空バルブ。
2. （２）電極面部材および電極体にその電極半径の７０％
   以上の２本以上の半径方向の直線状のスリットを形成し
   てなる請求項１記載の真空バルブ。
3. （３）円板接点として、その低さい断電流特性を損わな
   い程度の１０重量％以下のコバルトを含有させた銀−タ
   ングステンカーバイト接点材を用いたことを特徴とする
   請求項１記載の真空バルブ。
4. （４）ステンレス鋼などの低導電材から構成されたリン
   グ状の補強材を前記電極裏面とコイル電極間に設けたこ
   とを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
5. （５）接点材および電極面部材を備えた電極構造に、電
   流エージングを施したことを特徴とする請求項１記載の
   真空バルブ。
6. （６）真空容器の内部に、接離自在に対向配設した固定
   電極および可動電極を有する真空バルブにおいて、 前記両電極として、円盤状の電極体に電極面部材を固着
   し、 この電極面部材の前記電極と対向する表面上であって、
   前記電極面部材と同心円上にに、融点が１６００℃以上
   で、かつ熱伝導率が１．７Ｗ／ｍＫ以下の材料であって
   、前記電極体の４０％以下の直径を有するとともに、そ
   の端部に丸みあるいはテーパ部を有する複数の円板接点
   を、前記電極の半径の１／２の長さより大きい円上に該
   各中心がそれぞれ等間隔に配置させて前記電極面部材か
   ら所定距離突出させて固着し、 前記電極体の裏面にこれと外径がほぼ同じである電極と
   同じである円周方向に伸びるコイル腕部を有するコイル
   電極を設け、そのコイル電極のコイル腕部を流れる電流
   によってそれぞれ等価的に１ターンの円周方向電流を形
   成し、コイル電極空間に電極開離時に発生するアークと
   平行な軸方向の磁界を発生させる縦磁界電極を有し、 前記可動電極が固定電極に投入された状態において、前
   記可動電極および固定電極面上の円板接点の端部同士ま
   たは側面同士が接触するような電極構造としたことを特
   徴とする真空バルブ。
7. （７）電極面部材および電極体に、その電極半径の７０
   ％以上の長さで半径方向に伸びる複数の直線状のスリッ
   トを等間隔に設けたことを特徴とする請求項６記載の真
   空バルブ。
8. （８）ステンレス鋼などの低導電材から構成されたリン
   グ状の補強材を前記電極裏面とコイル電極間に設けたこ
   とを特徴とする請求項６記載の真空バルブ。
9. （９）接点および電極面部材を備えた電極構造を有する
   真空バルブに、電流エージングを施したことを特徴とす
   る請求項６記載の真空バルブ。