JPH02180401A - セラミック共振器とその製造方法 - Google Patents
セラミック共振器とその製造方法Info
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- JPH02180401A JPH02180401A JP33335488A JP33335488A JPH02180401A JP H02180401 A JPH02180401 A JP H02180401A JP 33335488 A JP33335488 A JP 33335488A JP 33335488 A JP33335488 A JP 33335488A JP H02180401 A JPH02180401 A JP H02180401A
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Landscapes
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高周波用のセツミック共振器とその製造方法に
関するものである。
関するものである。
従来の技術
近年、情報通信機器の進展にともなって高周波用共振器
の需要は著しく増加しており、それとともに共振器の小
型化、高性能化や低価格化へのニーズが高まっている。
の需要は著しく増加しており、それとともに共振器の小
型化、高性能化や低価格化へのニーズが高まっている。
従来のセツミック共振器は第３図に示すようなものであ
り、第３図において１は強誘電性で筒状のセツミック焼
結体、２は貫通孔、３は電極層である。
り、第３図において１は強誘電性で筒状のセツミック焼
結体、２は貫通孔、３は電極層である。
このセツミック共振器は一般にチタン酸バリウムを主成
分とした強誘電性セツミックを任意の寸法を有する筒′
状に成型加工し、高温焼結して作ったセツミック焼結体
１の貫通孔２内周面および外周面の全面又は一部分を残
して選択的に銀粉末とガラスフリットを混合した導体ペ
ーストを塗布し、これを６００〜８００度の高温中で焼
成することによって電極層３を形成したものである。
分とした強誘電性セツミックを任意の寸法を有する筒′
状に成型加工し、高温焼結して作ったセツミック焼結体
１の貫通孔２内周面および外周面の全面又は一部分を残
して選択的に銀粉末とガラスフリットを混合した導体ペ
ーストを塗布し、これを６００〜８００度の高温中で焼
成することによって電極層３を形成したものである。
また一方、昨今セツミック共振器の低価格化や高性能化
を指向した電極形成法として、高温焼結した強誘電性の
セツミック焼結体に直接無電解鋼めっき法によって電極
層を形成する方法も行われている。
を指向した電極形成法として、高温焼結した強誘電性の
セツミック焼結体に直接無電解鋼めっき法によって電極
層を形成する方法も行われている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上述したセツミック共振器では、前者の
銀とガラスの焼結体によって電極層３を形成したものは
、使用する電極材料が貴金属のため高価につくことはも
とより、セツミック焼結体１と銀導体の間にガラス層が
介在するだめ、高周波特性として特にＱ特性が低下する
という問題があった。
銀とガラスの焼結体によって電極層３を形成したものは
、使用する電極材料が貴金属のため高価につくことはも
とより、セツミック焼結体１と銀導体の間にガラス層が
介在するだめ、高周波特性として特にＱ特性が低下する
という問題があった。
さらに、銀ペーストラ筒状のセツミック焼結体１の貫通
孔２内周面や外周面に均一に塗布する方法が煩雑を極め
、量産性に欠けるという問題があった。
孔２内周面や外周面に均一に塗布する方法が煩雑を極め
、量産性に欠けるという問題があった。
また、後者の無電解めっき法によって強誘電性のセツミ
ック焼結体の表面に直接金属銅から成る電極層を形成し
たものは、無電解めっきの前処理として行う触媒付与処
理に錫とパラジウム塩酸酸性溶液から成る強酸性の触媒
液を使用するものである。しかし、強誘電性のセツミッ
ク焼結体にこのような触媒付与を行って無電解鋼めっき
をしたものは、塩酸性溶液によるセツミック焼結体の浸
食による機械的強度の劣化や、触媒層に錫が残存して触
媒活性が阻害され、めっきの付きまわシ性や密着性の劣
化による高周波特性、とりわけＱ特性が低下するという
問題があった。
ック焼結体の表面に直接金属銅から成る電極層を形成し
たものは、無電解めっきの前処理として行う触媒付与処
理に錫とパラジウム塩酸酸性溶液から成る強酸性の触媒
液を使用するものである。しかし、強誘電性のセツミッ
ク焼結体にこのような触媒付与を行って無電解鋼めっき
をしたものは、塩酸性溶液によるセツミック焼結体の浸
食による機械的強度の劣化や、触媒層に錫が残存して触
媒活性が阻害され、めっきの付きまわシ性や密着性の劣
化による高周波特性、とりわけＱ特性が低下するという
問題があった。
本発明は上記のような問題点を解決し、記法性と高周波
特性にすぐれたセツミック共振器とその製造方法を提供
することを目的とするものである。
特性にすぐれたセツミック共振器とその製造方法を提供
することを目的とするものである。
課題を解決するだめの手段
上記目的を達成するために本発明は強誘電性を有する筒
状のセツミック焼結体の表面に、貴金属超微粒子ゾルか
ら成る触媒層を介して無電解鋼めっきによる電極層を形
成したものである。
状のセツミック焼結体の表面に、貴金属超微粒子ゾルか
ら成る触媒層を介して無電解鋼めっきによる電極層を形
成したものである。
作用
これにより、貴金属超微粒子ゾルから成る触媒層に錫が
残存することなく、均一かつ強固にセラミンク焼結体に
触媒層が付着するので、無電解めっきにより析出した電
極層の均一付着性が改善され、高周波特性にすぐれたセ
ツミック共振器が実現されることとなる。
残存することなく、均一かつ強固にセラミンク焼結体に
触媒層が付着するので、無電解めっきにより析出した電
極層の均一付着性が改善され、高周波特性にすぐれたセ
ツミック共振器が実現されることとなる。
実施例
以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は本発明の第一の実施例におけるセツミック共振
器の斜視図、第２図ａ及びｂはセツミック共振器の製造
工程を説明するための断面図である。第１図および第２
図において、４は強誘電性で筒状のセツミック焼結体、
６はその貫通孔、６は貴金属超微粒子ゾルよりなる触媒
層、７は電極層である。
器の斜視図、第２図ａ及びｂはセツミック共振器の製造
工程を説明するための断面図である。第１図および第２
図において、４は強誘電性で筒状のセツミック焼結体、
６はその貫通孔、６は貴金属超微粒子ゾルよりなる触媒
層、７は電極層である。
以上の構成から成るセツミック共振器について以下にそ
の製造工程の詳細を説明する。
の製造工程の詳細を説明する。
本発明の第一の実施例では、チタン酸バリウムを主成分
とした強誘電性セツミックの生シロートを外径約６ ｍ
、内径的２ ｍ ＋高さ約８ｇの円筒状に成型加工し
、この円筒状成型体を１２０Ｏ〜１３００℃の高温中で
焼成することによって、第１図に示すような円筒状のセ
ツミック焼結体４全作った。
とした強誘電性セツミックの生シロートを外径約６ ｍ
、内径的２ ｍ ＋高さ約８ｇの円筒状に成型加工し
、この円筒状成型体を１２０Ｏ〜１３００℃の高温中で
焼成することによって、第１図に示すような円筒状のセ
ツミック焼結体４全作った。
そして、このセツミック焼結体４にバレル研摩等を行っ
て素子の端部に丸みをもたせると共に、さらにフッ酸溶
液中でエツチング処理を行ってセツミック焼結体４の全
表面を粗面化した。
て素子の端部に丸みをもたせると共に、さらにフッ酸溶
液中でエツチング処理を行ってセツミック焼結体４の全
表面を粗面化した。
次いで、第２図乙に示すようにこの円筒状のセツミック
焼結体４を貴金属超微粒子ゾルから成る触媒液に浸漬し
て貫通孔６の内周面及び外周面の全面又は必要によりレ
ジストを塗布して選択的に触媒層６を付着した。
焼結体４を貴金属超微粒子ゾルから成る触媒液に浸漬し
て貫通孔６の内周面及び外周面の全面又は必要によりレ
ジストを塗布して選択的に触媒層６を付着した。
この場合、貴金属超微粒子ゾルから成る触媒液としては
銀、パラジウム、白金等の単一金属から成る超微粒子ゾ
ルが使用できるが、本実施例ではパラジウムから成る超
微粒子ゾルを使用した。
銀、パラジウム、白金等の単一金属から成る超微粒子ゾ
ルが使用できるが、本実施例ではパラジウムから成る超
微粒子ゾルを使用した。
そしてこのパラジウム超微粒子ゾルは塩化ナトリウムと
共に水に溶解し、これに界面活性剤として陰イオン性の
ドデシルベンゼンスルフオン酸ナトリウムを加え、つづ
いて水素化はう素ナトリウムを滴下し還元を行って得た
平均粒径が３０〜６０人のパラジウム超微粒子から成る
ヒドロゾル系のものと、パラジウム超微粒子を水以外の
トルエンなどの有機溶剤中に分散したオルガノゾル系の
両者を使用した。
共に水に溶解し、これに界面活性剤として陰イオン性の
ドデシルベンゼンスルフオン酸ナトリウムを加え、つづ
いて水素化はう素ナトリウムを滴下し還元を行って得た
平均粒径が３０〜６０人のパラジウム超微粒子から成る
ヒドロゾル系のものと、パラジウム超微粒子を水以外の
トルエンなどの有機溶剤中に分散したオルガノゾル系の
両者を使用した。
尚、これらの触媒液はいずれも化学的にほぼ中性の溶液
であるので、セツミック焼結体４を浸食することなく、
しかもパラジウム超微粒子の吸着性は極めて良好であシ
、セツミック焼結体４に均−且つ強固に触媒層６が形成
できる仁とがわかった。
であるので、セツミック焼結体４を浸食することなく、
しかもパラジウム超微粒子の吸着性は極めて良好であシ
、セツミック焼結体４に均−且つ強固に触媒層６が形成
できる仁とがわかった。
それから触媒処理を施したセツミック焼結体４は銅錯塩
のアルカリ溶液とホルマリンから成る無電解鋼めっき液
に浸漬し、第２図すに示すように貴金属超微粒子ゾルか
ら成る触媒層６０表面に金属銅を６〜１０μの厚さに析
出させ電極層７を形成した。
のアルカリ溶液とホルマリンから成る無電解鋼めっき液
に浸漬し、第２図すに示すように貴金属超微粒子ゾルか
ら成る触媒層６０表面に金属銅を６〜１０μの厚さに析
出させ電極層７を形成した。
この場合、パラジウム超微粒子ゾルから成る触媒層６に
よシセツミック焼結体４０表面に均一性と密着性に優れ
た電極層７を形成することができた０ 発明の効果 以上の説明から明らかなように本発明によるセツミック
共振器は、筒状の強誘電性セツミック焼結体の表面に貴
金属超微粒子ゾルからなる触媒層を介し無電解鋼めっき
法による電極層を形成したものである。
よシセツミック焼結体４０表面に均一性と密着性に優れ
た電極層７を形成することができた０ 発明の効果 以上の説明から明らかなように本発明によるセツミック
共振器は、筒状の強誘電性セツミック焼結体の表面に貴
金属超微粒子ゾルからなる触媒層を介し無電解鋼めっき
法による電極層を形成したものである。
従って、従来の銀電極のものに比べ電極材料の卑金属化
及び工程の簡略化による低コスト化がはかれると共に、
セツミック焼結体と電極層の間にガラス絶縁層が介在し
ないため高周波特性、とりわけＱ特性が著しく向上する
利点の他に、従来の無電解めっき法に比べても貴金属超
微粒子ゾルの触媒効果によシセツミック焼結体への無電
解めっきのつきまわシ性や密着性が著しく改善される等
の効果が得られた。
及び工程の簡略化による低コスト化がはかれると共に、
セツミック焼結体と電極層の間にガラス絶縁層が介在し
ないため高周波特性、とりわけＱ特性が著しく向上する
利点の他に、従来の無電解めっき法に比べても貴金属超
微粒子ゾルの触媒効果によシセツミック焼結体への無電
解めっきのつきまわシ性や密着性が著しく改善される等
の効果が得られた。
第１図は本発明の一実施例におけるセツミック共振器の
斜視図、第２図＆とｂは本発明の一実施例におけるセツ
ミック共振器の製造工程を説明するための断面図、第３
図は従来のセツミック共振器の断面図である。 ４・・・・・・セツミック焼結体、６・川・・貫通孔、
６・・・・・・触媒層、７・・・・・・電極層。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 はが１名第１
図 ｔ５ミヘソクｆｉｇ体 第 図 ６−ｍ−触媒 層 ７− 電ｉｉ＆層 第 図 ！
斜視図、第２図＆とｂは本発明の一実施例におけるセツ
ミック共振器の製造工程を説明するための断面図、第３
図は従来のセツミック共振器の断面図である。 ４・・・・・・セツミック焼結体、６・川・・貫通孔、
６・・・・・・触媒層、７・・・・・・電極層。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 はが１名第１
図 ｔ５ミヘソクｆｉｇ体 第 図 ６−ｍ−触媒 層 ７− 電ｉｉ＆層 第 図 ！
Claims (4)
- （１）強誘電性を有する筒状のセツミック焼結体の表面
に貴金属超微粒子ゾルから成る触媒層を介して無電解鋼
めっきによる電極層を形成したことを特徴とするセツミ
ック共振器。 - （２）強誘電性を有する筒状のセツミック焼結体の表面
に、貴金属超微粒子ゾルから成る触媒層を付与し、無電
解鋼めっき法により電極層を形成することを特徴とした
セツミック共振器 の製造方法。 - （３）貴金属超微粒子ゾルとしてヒドロゾル系の超微粒
子分散溶媒を使用した特許請求の範囲第２項に記載のセ
ツミック共振器の製造方法。 - （４）貴金属超微粒子ゾルとしてオルガノゾル系超微粒
子分散溶媒を使用した特許請求の範囲第２項に記載のセ
ツミック共振器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33335488A JPH02180401A (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | セラミック共振器とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33335488A JPH02180401A (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | セラミック共振器とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02180401A true JPH02180401A (ja) | 1990-07-13 |
Family
ID=18265173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33335488A Pending JPH02180401A (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | セラミック共振器とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02180401A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040036105A (ko) * | 2002-10-23 | 2004-04-30 | 한국전기연구원 | 고효율 반사체를 이용한 레이저 여기용 글라스 세라믹공진기 및 그 제조방법 |
| CN112913138A (zh) * | 2018-10-26 | 2021-06-04 | Rf360欧洲有限责任公司 | 用于制造电声谐振器的方法以及电声谐振器设备 |
-
1988
- 1988-12-29 JP JP33335488A patent/JPH02180401A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040036105A (ko) * | 2002-10-23 | 2004-04-30 | 한국전기연구원 | 고효율 반사체를 이용한 레이저 여기용 글라스 세라믹공진기 및 그 제조방법 |
| CN112913138A (zh) * | 2018-10-26 | 2021-06-04 | Rf360欧洲有限责任公司 | 用于制造电声谐振器的方法以及电声谐振器设备 |
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