JPH0210579B2 - - Google Patents
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- JPH0210579B2 JPH0210579B2 JP59207188A JP20718884A JPH0210579B2 JP H0210579 B2 JPH0210579 B2 JP H0210579B2 JP 59207188 A JP59207188 A JP 59207188A JP 20718884 A JP20718884 A JP 20718884A JP H0210579 B2 JPH0210579 B2 JP H0210579B2
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- H01L23/49568—Lead-frames or other flat leads specifically adapted to facilitate heat dissipation
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
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Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、樹脂封止型半導体装置に関し、特
に小型で従来品よりも放熱性能が高く且つ製造コ
ストが安価な改良された樹脂封止型半導体装置に
関するものである。
に小型で従来品よりも放熱性能が高く且つ製造コ
ストが安価な改良された樹脂封止型半導体装置に
関するものである。
最近の半導体装置は、製造技術の進歩に伴つて
半導体装置の集積度が高くなつており、その結
果、半導体チツプの単位面積当りの発熱量も従来
品のそれにくらべてかなり増大している。このた
め、半導体装置の外囲器構造も従来品のそれより
も高い放熱性能を有するものが必要となつてお
り、最近製造されている樹脂封止型半導体装置に
は、外囲器構造に以下のごとき放熱性能向上の対
策を施したものがある。
半導体装置の集積度が高くなつており、その結
果、半導体チツプの単位面積当りの発熱量も従来
品のそれにくらべてかなり増大している。このた
め、半導体装置の外囲器構造も従来品のそれより
も高い放熱性能を有するものが必要となつてお
り、最近製造されている樹脂封止型半導体装置に
は、外囲器構造に以下のごとき放熱性能向上の対
策を施したものがある。
第６図乃至第８図に示す公知の樹脂封止型半導
体装置１は、第７図に示すようにチツプ取付ベツ
ド部２に連設された幅広のフイン３を有するリー
ドフレーム４を用いて構成されており、この半導
体装置ではその樹脂モールド部５の側面から該フ
イン３が突出した外囲器構造となつている。な
お、第６図乃至第８図において、６はリードフレ
ーム４の一部であるリード部、７はチツプ取付ベ
ツド部２をリードフレーム４の外枠部分に連結し
ている一対のタイバー、８はチツプ取付ベツド部
２に第８図に示すようにはんだ９等で接着された
半導体チツプ、１０は半導体チツプ８上の電極パ
ツドとリードフレームのリード部６とにボンデイ
ングされたボンデイングワイヤであり、第７図の
二点鎖線で囲まれた枠Ａ内に樹脂成形を行うこと
により樹脂モールド部５を成形した後、該枠Ａの
外側のリードフレームを図示の一点鎖線、L1、
L2に沿つて切断除去し、更に樹脂モールド部５
の外側に突出したリード部６とフイン３とを折曲
成形して第６図のごとき樹脂封止型半導体装置１
が完成する。
体装置１は、第７図に示すようにチツプ取付ベツ
ド部２に連設された幅広のフイン３を有するリー
ドフレーム４を用いて構成されており、この半導
体装置ではその樹脂モールド部５の側面から該フ
イン３が突出した外囲器構造となつている。な
お、第６図乃至第８図において、６はリードフレ
ーム４の一部であるリード部、７はチツプ取付ベ
ツド部２をリードフレーム４の外枠部分に連結し
ている一対のタイバー、８はチツプ取付ベツド部
２に第８図に示すようにはんだ９等で接着された
半導体チツプ、１０は半導体チツプ８上の電極パ
ツドとリードフレームのリード部６とにボンデイ
ングされたボンデイングワイヤであり、第７図の
二点鎖線で囲まれた枠Ａ内に樹脂成形を行うこと
により樹脂モールド部５を成形した後、該枠Ａの
外側のリードフレームを図示の一点鎖線、L1、
L2に沿つて切断除去し、更に樹脂モールド部５
の外側に突出したリード部６とフイン３とを折曲
成形して第６図のごとき樹脂封止型半導体装置１
が完成する。
前記のごとき外囲器構造の半導体装置１はチツ
プ取付ベツド部２と一体となつたフイン３が樹脂
モールド部５の表面に露出しているので、このよ
うな構造ではない従来のフインなし樹脂封止型半
導体装置よりも放熱性能が高い。
プ取付ベツド部２と一体となつたフイン３が樹脂
モールド部５の表面に露出しているので、このよ
うな構造ではない従来のフインなし樹脂封止型半
導体装置よりも放熱性能が高い。
一方、第９図に示すように、チツプ取付ベツド
部のないリードフレームを用いて半導体チツプ８
を直接にヒートシンク１１上に取り付けた構造の
樹脂封止型半導体装置１２も放熱性の高い半導体
装置として従来から製造されている（なお、第９
図において、第６図乃至第８図と同一符号で表示
されている部分は第６図乃至第８図に示した半導
体装置と同じ部分である）。
部のないリードフレームを用いて半導体チツプ８
を直接にヒートシンク１１上に取り付けた構造の
樹脂封止型半導体装置１２も放熱性の高い半導体
装置として従来から製造されている（なお、第９
図において、第６図乃至第８図と同一符号で表示
されている部分は第６図乃至第８図に示した半導
体装置と同じ部分である）。
第６図のごときフイン付き構造の樹脂封止型半
導体装置においては、次のような欠点があつた。
導体装置においては、次のような欠点があつた。
該半導体装置を電子機器に組み込む際に樹脂
モールド部５の側面からフイン３が突出してい
るので占有面積を広く要し、従つて、該半導体
装置を含む回路部品の実装密度が低くなつて電
子機器の小型化を阻害する結果となつている。
モールド部５の側面からフイン３が突出してい
るので占有面積を広く要し、従つて、該半導体
装置を含む回路部品の実装密度が低くなつて電
子機器の小型化を阻害する結果となつている。
樹脂モールド部側面からリード部６ばかりで
なくフイン３も突出しているため、樹脂モール
ド部に湿気が侵入しやすい構造となつている。
特に、樹脂モールド部側面に突出しているフイ
ン３の根元の部分は第８図に示すようにチツプ
取付ベツド部２と連続した同一水平面上にある
ため、湿気の侵入経路が直線的で非常に短く、
従つて半導体チツプ８が湿気に侵されやすい。
なくフイン３も突出しているため、樹脂モール
ド部に湿気が侵入しやすい構造となつている。
特に、樹脂モールド部側面に突出しているフイ
ン３の根元の部分は第８図に示すようにチツプ
取付ベツド部２と連続した同一水平面上にある
ため、湿気の侵入経路が直線的で非常に短く、
従つて半導体チツプ８が湿気に侵されやすい。
幅広のフイン３を設けたため、リード部６の
数が少なくなり、従つて半導体装置のピン数
（外部端子の数）を減らさねばならないが、高
集積度の半導体チツプでは逆に従来よりも多く
のピンを必要とするので、該フイン３を設ける
ことは素子の高集積化を阻害することになる。
従つて、チツプ取付ベツド部２にフイン３を設
けたリードフレームを使用して従来品と同じピ
ン数の半導体装置を構成するには半導体装置の
平面面積を大型化しなければならないが、大型
になれば電子機器等における回路部品の実装密
度が低下して該電子機器等の小型化も阻害され
ることになる。また、フイン３を設けるととも
にピン数を従来の半導体装置と同数にすると、
各リード部６の内側端部とチツプ取付ベツド部
２との間の距離を大きくせざるを得なくなり、
その結果、各リード部に接続するボンデイング
ワイヤが長くなつて該ボンデイングワイヤとチ
ツプ取付ベツド部との接触が生じやすくなつた
り、或いはボンデイングワイヤ相互の接触が生
じやすくなる等の問題が起こり、従つて不良品
発生の確率が著しく増大する。
数が少なくなり、従つて半導体装置のピン数
（外部端子の数）を減らさねばならないが、高
集積度の半導体チツプでは逆に従来よりも多く
のピンを必要とするので、該フイン３を設ける
ことは素子の高集積化を阻害することになる。
従つて、チツプ取付ベツド部２にフイン３を設
けたリードフレームを使用して従来品と同じピ
ン数の半導体装置を構成するには半導体装置の
平面面積を大型化しなければならないが、大型
になれば電子機器等における回路部品の実装密
度が低下して該電子機器等の小型化も阻害され
ることになる。また、フイン３を設けるととも
にピン数を従来の半導体装置と同数にすると、
各リード部６の内側端部とチツプ取付ベツド部
２との間の距離を大きくせざるを得なくなり、
その結果、各リード部に接続するボンデイング
ワイヤが長くなつて該ボンデイングワイヤとチ
ツプ取付ベツド部との接触が生じやすくなつた
り、或いはボンデイングワイヤ相互の接触が生
じやすくなる等の問題が起こり、従つて不良品
発生の確率が著しく増大する。
一方、第９図の如くチツプ取付ベツド部のない
リードフレームを用いるとともにヒートシンク１
１上に半導体チツプ８を取り付けた構造の樹脂封
止型半導体装置１２は、第６図の半導体装置より
も更に放熱性能が高いが、このヒートシンク付き
半導体装置は樹脂モールド前のリードフレーム対
する該ヒートシンクの取付をかしめ等によつて行
わなければならぬため、従来の半導体装置にくら
べて製造コストが非常に高額となるという問題点
を有している。
リードフレームを用いるとともにヒートシンク１
１上に半導体チツプ８を取り付けた構造の樹脂封
止型半導体装置１２は、第６図の半導体装置より
も更に放熱性能が高いが、このヒートシンク付き
半導体装置は樹脂モールド前のリードフレーム対
する該ヒートシンクの取付をかしめ等によつて行
わなければならぬため、従来の半導体装置にくら
べて製造コストが非常に高額となるという問題点
を有している。
この発明の目的は、放熱性を向上させた前記の
ごとき公知の半導体装置に存する問題点を有しな
い樹脂封止型半導体装置を提供することであり、
更に詳細には、この発明の目的は、小型で且つ放
熱性が良好であるとともに耐湿性の低さやボンデ
イングワイヤに基因する不良品を発生する恐れが
なく、また安価なコストで製造することのできる
樹脂封止型半導体装置を提供することである。
ごとき公知の半導体装置に存する問題点を有しな
い樹脂封止型半導体装置を提供することであり、
更に詳細には、この発明の目的は、小型で且つ放
熱性が良好であるとともに耐湿性の低さやボンデ
イングワイヤに基因する不良品を発生する恐れが
なく、また安価なコストで製造することのできる
樹脂封止型半導体装置を提供することである。
この発明による樹脂封止型半導体装置はチツプ
取付ベツド部を有するリードフレームを使用して
構成されており、該チツプ取付ベツド部の外周縁
に下向きに折り曲げた折曲片を形成するとともに
該折曲片の一部もしくは先端部を樹脂モールド部
の下面に露出させたことを特徴とするものであ
る。このような構造の本発明の樹脂封止型半導体
装置は、該折曲片が放熱体となつているため従来
のフインなし半導体装置よりも放熱性にすぐれて
いるうえ、該折曲片の露出端とチツプ取付ベツド
部との間の界面距離が長くしかも屈曲しているの
で耐湿性は従来のフインなし半導体装置と比較し
て少なくともよくなつており、且つ、ヒートシン
クを使用しないため製造コストは前記のフイン付
き半導体装置とほぼ同じである。また、樹脂モー
ルド部の側面に突出するフインがないため従来の
フインなし半導体装置と同じ数の接続リード部
（すなわちピン）を設けることができ、従つて、
ピン数の多い高密度半導体装置を構成することが
できる。
取付ベツド部を有するリードフレームを使用して
構成されており、該チツプ取付ベツド部の外周縁
に下向きに折り曲げた折曲片を形成するとともに
該折曲片の一部もしくは先端部を樹脂モールド部
の下面に露出させたことを特徴とするものであ
る。このような構造の本発明の樹脂封止型半導体
装置は、該折曲片が放熱体となつているため従来
のフインなし半導体装置よりも放熱性にすぐれて
いるうえ、該折曲片の露出端とチツプ取付ベツド
部との間の界面距離が長くしかも屈曲しているの
で耐湿性は従来のフインなし半導体装置と比較し
て少なくともよくなつており、且つ、ヒートシン
クを使用しないため製造コストは前記のフイン付
き半導体装置とほぼ同じである。また、樹脂モー
ルド部の側面に突出するフインがないため従来の
フインなし半導体装置と同じ数の接続リード部
（すなわちピン）を設けることができ、従つて、
ピン数の多い高密度半導体装置を構成することが
できる。
以下に第１図乃至第５図を参照して本発明の実
施例について説明する。なお、同図において、第
６図乃至第９図と同一符号で表示された部分は公
知の半導体装置と同じ部分を表す。
施例について説明する。なお、同図において、第
６図乃至第９図と同一符号で表示された部分は公
知の半導体装置と同じ部分を表す。
第１図及び第２図は本発明による改良された樹
脂封止型半導体装置１３及び１４の断面図であ
る。
脂封止型半導体装置１３及び１４の断面図であ
る。
この実施例の樹脂封止型半導体装置１３及び１
４は、第３図に示すごときチツプ取付ベツド部１
５を備えたリードフレーム１６を用いて構成され
ており、特に、該チツプ取付ベツド部１５の外周
縁を下向きに折り曲げることによつて形成した折
曲片１７を有していることを特徴とする。該折曲
片１７の先端は第１図及び第２図並びに第５図に
おいて明らかであるように樹脂モールド部５の下
面に露出しており、従つて、該折曲片１７は公知
のフイン付き半導体装置のフイン３（第６図）と
同じく放熱板としての機能を有している。また、
この樹脂封止型半導体装置１３及び１４に使用さ
れるリードフレーム１６（第５図）においては、
樹脂モールド部５の側面に突出するフインがない
ため該折曲片１７と同じ側にも多数のリード部６
を設けることができ、従つて本発明の半導体装置
では総ピン数が公知のフイン付き半導体装置のそ
れよりもかなり多くなつている。
４は、第３図に示すごときチツプ取付ベツド部１
５を備えたリードフレーム１６を用いて構成され
ており、特に、該チツプ取付ベツド部１５の外周
縁を下向きに折り曲げることによつて形成した折
曲片１７を有していることを特徴とする。該折曲
片１７の先端は第１図及び第２図並びに第５図に
おいて明らかであるように樹脂モールド部５の下
面に露出しており、従つて、該折曲片１７は公知
のフイン付き半導体装置のフイン３（第６図）と
同じく放熱板としての機能を有している。また、
この樹脂封止型半導体装置１３及び１４に使用さ
れるリードフレーム１６（第５図）においては、
樹脂モールド部５の側面に突出するフインがない
ため該折曲片１７と同じ側にも多数のリード部６
を設けることができ、従つて本発明の半導体装置
では総ピン数が公知のフイン付き半導体装置のそ
れよりもかなり多くなつている。
それ故、前記のごとき本発明の半導体装置１３
及び１４は、公知のフイン付き半導体装置と同じ
程度の放熱性能を有するとともに公知のフイン付
き半導体装置よりも多数のピンを有し、またヒー
トシンクを使用しないので公知のヒートシンク付
き半導体装置にくらべて著しく安価なコストで製
造できる等の利点を有している。
及び１４は、公知のフイン付き半導体装置と同じ
程度の放熱性能を有するとともに公知のフイン付
き半導体装置よりも多数のピンを有し、またヒー
トシンクを使用しないので公知のヒートシンク付
き半導体装置にくらべて著しく安価なコストで製
造できる等の利点を有している。
なお、第２図に示した実施例の半導体装置１４
では、第１図に示した実施例のものにくらべて、
チツプ取付ベツド部１５がリード部６よりも下方
に位置しているデイプレス型に適用したものであ
るため、ボンデイングワイヤ１０がチツプ取付ベ
ツド部１５に接触する恐れがなく、より望ましい
構造となつている。
では、第１図に示した実施例のものにくらべて、
チツプ取付ベツド部１５がリード部６よりも下方
に位置しているデイプレス型に適用したものであ
るため、ボンデイングワイヤ１０がチツプ取付ベ
ツド部１５に接触する恐れがなく、より望ましい
構造となつている。
また、デイプレス型の場合には、チツプ取付ベ
ツド部の下面と樹脂モールド部下面との間が短い
ため折曲片を絞り加工でなく折曲げ加工ででき、
絞り加工の場合よりも折曲片の肉厚が厚くなつて
放熱性能を高めることができる。
ツド部の下面と樹脂モールド部下面との間が短い
ため折曲片を絞り加工でなく折曲げ加工ででき、
絞り加工の場合よりも折曲片の肉厚が厚くなつて
放熱性能を高めることができる。
第１図及び第２図に示した本発明の樹脂封止型
半導体装置並びに公知のフイン付き半導体装置
（第６図参照）及び従来のフインなし半導体装置
に対して熱抵抗値を測定した結果、本発明の半導
体装置の熱抵抗値はフイン付き半導体装置のそれ
よりもわずかに高かつたが、従来のフインなし半
導体装置よりも著しく小さく（約1/5弱）、本発明
の半導体装置がフイン付き半導体装置とほぼ同程
度の放熱性能を有していることが明らかになつ
た。また、製造コストについて試算した結果、本
発明の半導体装置は従来のフインなし半導体装置
とほぼ同コストで製造できることが確認された。
半導体装置並びに公知のフイン付き半導体装置
（第６図参照）及び従来のフインなし半導体装置
に対して熱抵抗値を測定した結果、本発明の半導
体装置の熱抵抗値はフイン付き半導体装置のそれ
よりもわずかに高かつたが、従来のフインなし半
導体装置よりも著しく小さく（約1/5弱）、本発明
の半導体装置がフイン付き半導体装置とほぼ同程
度の放熱性能を有していることが明らかになつ
た。また、製造コストについて試算した結果、本
発明の半導体装置は従来のフインなし半導体装置
とほぼ同コストで製造できることが確認された。
以上のように、本発明によれば、公知のフイン
付き半導体装置よりも高い実装密度で電子機器等
に実装できるとともに該フイン付き半導体装置と
ほぼ同程度の良好な放熱性能を有し、且つ従来の
フインなし半導体装置の製造コストとほぼ同程度
の安価な製造コストで製造することができる小型
の樹脂封止型半導体装置が提供される。
付き半導体装置よりも高い実装密度で電子機器等
に実装できるとともに該フイン付き半導体装置と
ほぼ同程度の良好な放熱性能を有し、且つ従来の
フインなし半導体装置の製造コストとほぼ同程度
の安価な製造コストで製造することができる小型
の樹脂封止型半導体装置が提供される。
第１図及び第２図はそれぞれ本発明の実施例の
樹脂封止型半導体装置の断面図、第３図は第１図
及び第２図の半導体装置に使用するリードフレー
ムの平面図、第４図は第３図の−断面図、第
５図は第４図のリードフレームに半導体チツプを
搭載した後に樹脂モールド部を形成した状態の下
面図、第６図は公知のフイン付き樹脂封止型半導
体装置の斜視図、第７図は第６図の半導体装置に
使用するリードフレームに半導体チツプを搭載し
た状態の平面図、第８図は第６図の−矢視断
面図、第９図は公知のヒートシンク付き樹脂封止
型半導体装置の断面図である。 １，１２，１３，１４…樹脂封止型半導体装
置、２，１５…チツプ取付ベツド部、３…フイ
ン、４，１６…リードフレーム、５…樹脂モール
ド部、６…リード部、７…タイバー、８…半導体
チツプ、９…はんだ、１０…ボンデイングワイ
ヤ、１１…ヒートシンク、１７…折曲片。
樹脂封止型半導体装置の断面図、第３図は第１図
及び第２図の半導体装置に使用するリードフレー
ムの平面図、第４図は第３図の−断面図、第
５図は第４図のリードフレームに半導体チツプを
搭載した後に樹脂モールド部を形成した状態の下
面図、第６図は公知のフイン付き樹脂封止型半導
体装置の斜視図、第７図は第６図の半導体装置に
使用するリードフレームに半導体チツプを搭載し
た状態の平面図、第８図は第６図の−矢視断
面図、第９図は公知のヒートシンク付き樹脂封止
型半導体装置の断面図である。 １，１２，１３，１４…樹脂封止型半導体装
置、２，１５…チツプ取付ベツド部、３…フイ
ン、４，１６…リードフレーム、５…樹脂モール
ド部、６…リード部、７…タイバー、８…半導体
チツプ、９…はんだ、１０…ボンデイングワイ
ヤ、１１…ヒートシンク、１７…折曲片。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 半導体チツプを取り付けるためのチツプ取付
ベツド部と、該チツプ取付ベツドの周囲に配置さ
れた多数のリード部とを有するリードフレームを
使用し、該チツプ取付ベツド部に固定された半導
体チツプと該チツプ取付ベツド部と該リード部の
一端側とを樹脂モールド部によつて封止して構成
される樹脂封止型半導体装置において、 該チツプ取付ベツド部の表面に対して該チツプ
取付部の外周縁部を折り曲げ又は絞ることなどに
より該チツプ取付ベツド部の外周縁に折曲片を形
成するとともに該折曲片の一部もしくは先端部を
該樹脂モールド部の下面に露出させたことを特徴
とする樹脂封止型半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59207188A JPS6185846A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59207188A JPS6185846A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 樹脂封止型半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6185846A JPS6185846A (ja) | 1986-05-01 |
| JPH0210579B2 true JPH0210579B2 (ja) | 1990-03-08 |
Family
ID=16535702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59207188A Granted JPS6185846A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6185846A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19639183A1 (de) * | 1996-09-24 | 1998-04-02 | Siemens Ag | Anschlußrahmen für ein mikroelektronisches Bauteil, Verfahren zu dessen Herstellung und den Anschlußrahmen umfassendes mikroelektronisches Bauteil |
-
1984
- 1984-10-04 JP JP59207188A patent/JPS6185846A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6185846A (ja) | 1986-05-01 |
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