JPH0972784A - 顕微鏡用測光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】光源からの照明光を観察試料に照射して得られ
る光を、対物レンズを含む光学系を介して結像し、その
光量を光検出器で検出して光量情報を得る光学顕微鏡用
測光装置において、測定可能な光量のダイナミックレン
ジを大きく設定しながら、微小な光量でもＳ／Ｎ比の高
い測定を行なう。 【解決手段】光検出器１からの検出信号を増幅する信号
増幅部３と、この信号増幅部３の出力をアナログ値から
デジタル値に変換するＡ／Ｄ変換器４と、上記光検出器
１からの検出信号のパルス幅を増幅するパルス増幅部５
と、このパルス増幅部５の出力信号中の光子数をカウン
トするパルス計数部６と、信号増幅部３の出力電圧を基
準値と比較する電圧比較部１１と、この電圧比較部１１
での比較結果に応じて上記Ａ／Ｄ変換器４の出力及び上
記パルス計数部６のカウント値のいずれか一方を選択し
て測定情報とするデータ選択部７とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光電子倍増管など
の光電子増幅機能を有する光電変換素子を使用した顕微
鏡用測光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】測光顕微鏡は、光源からの照明光を観察
試料に照射し、これにより観察試料を透過した透過光、
反射光、あるいは特に点状の光を照射したことで試料か
ら発生した蛍光などを、対物レンズを含む光学系を介し
て結像し、これを結像位置に配設された光検出器で検出
して光量の情報を得るようにしたものである。

【０００３】また、測光顕微鏡には、試料をＸ軸及びＹ
軸の方向に移動することで２次元面内で機械的に移動さ
せるＸ−Ｙ走査方式や照明光をスキャン操作する光学系
などを採用し、これらによるＸ−Ｙ走査に同期してＣＲ
Ｔディスプレイ等の表示装置によりＸ−Ｙ走査に対応し
た前記濃度情報の信号の輝点を表示することで試料を画
像として観察、解析できるようにした走査型光学顕微鏡
も含まれる。

【０００４】一般にこれらの測光顕微鏡は、照明されて
いる試料からの透過光、反射光、蛍光を光電変換器によ
り電気信号に変換し、さらに量子化した後にこれを画像
や経時変化データとして記憶するための光電信号処理回
路を備えている。

【０００５】特に微弱な光量しか得られない蛍光や、走
査型光学顕微鏡で頻繁に用いられる共焦点光学系などか
らの光を検出するためには、光電変換器として、光電子
倍増管や、マルチチャネルプレート、アバランシェフォ
トダイオードなど光電子増幅作用を有する高感度なもの
を使用することが多い。

【０００６】そして、この種の光電子増幅作用を有する
高感度なものを使用する際には、光電変換器から得られ
るアナログ信号の量子化回路として、Ａ／Ｄ変換器を用
いる場合、ダイナミックレンジを広くとるべく例えば特
開昭５８−１３９０３６のように前記Ａ／Ｄ変換器の前
段に対数アンプを用いる場合、極端に測定対象の光量が
少ないために例えば実開平６−６４１３２のように光子
による出力信号のパルスを計数する光子計数回路を用い
る場合等、測定対象の光量に合わせて最適な回路構成の
ものを選択して用いている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】特に走査型光学顕微鏡
などに代表される測光顕微鏡の測定対象は、２次元面内
に光量の比較的大きい明るい部分から、光量の比較的少
ない暗い部分まで非常に広い範囲の光を測定する必要が
ある。

【０００８】しかしながら、一般的なＡ／Ｄ変換器を用
いた測光回路では、光量の少ない部分をＳ／Ｎ比を落と
さずに測定することは困難であり、また、光子計数回路
を用いた測光回路では、光量の少ない部分を高いＳ／Ｎ
比で測定できる反面、一定の光量を越えると測定不能と
なってしまうという不具合があった。

【０００９】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、測定可能な光量のダイナミックレンジを大き
く設定しながら、微小な光量でもＳ／Ｎ比の高い測定を
行なうことが可能な顕微鏡用測光装置を提供することに
ある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
光源からの照明光を観察試料に照射して得られる光を、
対物レンズを含む光学系を介して結像し、その光量を光
検出器で検出して光量情報を得る光学顕微鏡用測光装置
において、上記光検出器からの検出信号を増幅してアナ
ログ値からデジタル値に変換するＡ／Ｄ変換手段と、上
記光検出器からの検出信号のパルス成分を増幅して光子
数をカウントするカウント手段と、上記光検出器の検出
信号レベルに応じて上記Ａ／Ｄ変換手段の出力及び上記
カウント手段のカウント値のいずれか一方を選択して測
定情報とする選択手段とを具備するようにしている。

【００１１】この結果、請求項１記載の発明によれば、
光量が微小な場合にはカウント手段のカウント値を、そ
の他の場合にはＡ／Ｄ変換手段の出力値を自動的に切換
選択して光量情報として出力するようにしているので、
測定可能な光量のダイナミックレンジを大きく設定しな
がら、微小な光量でもＳ／Ｎ比の高い測定を行なうこと
ができる。

【００１２】請求項２記載の発明は、上記請求項１記載
の発明において、上記選択手段は上記Ａ／Ｄ変換手段の
出力レベルに応じて上記Ａ／Ｄ変換手段の出力及び上記
カウント手段のカウント値のいずれか一方を選択するよ
うにしている。

【００１３】請求項３記載の発明は、上記請求項１記載
の発明において、上記選択手段は上記カウント手段のカ
ウント値に応じて上記Ａ／Ｄ変換手段の出力及び上記カ
ウント手段のカウント値のいずれか一方を選択するよう
にしている。

【００１４】この結果、請求項２あるいは請求項３記載
の発明によれば、デジタル値であるＡ／Ｄ変換手段の出
力を用いて比較動作を行なっているため、アナログ的な
比較動作を行なう比較器で懸念される比較誤差や出力遅
延を生ずる虞もなく、正確且つ高速な動作を行なうこと
ができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】

（第１の実施の形態）図１は本発明の第１の実施の形態
に係る走査型光学顕微鏡の光学系を中心とした構成を例
示するものであり、２１は光源としてのレーザ光源であ
る。このレーザ光源２１より射出されたレーザビームに
よる照明光は、ビームエキスパンダ２２、波長フィルタ
２３を経て、光路分割手段２４としてのビームスプリッ
タ及びダイクロイックミラー等で構成される光路分割手
段２４により、偏向手段としてのガルバノメータミラー
２５，２６に導かれ、ここで２次元走査のためにＸ軸方
向及びＹ軸方向に偏向される。

【００１６】この偏向された照明光は瞳投影レンズ２
７、プリズム２８を介して対物レンズ２９に入射し、観
察試料３０を２次元走査する。この観察試料３０の透過
光はレンズ３１で集光され、ミラー３２で反射された後
にレンズ３３を介して光検出器３４で光電変換され、図
示しないＡ／Ｄ変換器でデジタル化された後にＸ−Ｙ走
査位置に対応した座標位置でフレームメモリ３５に記憶
される。

【００１７】また、上記観察試料３０の照射により得ら
れる反射光及び蛍光の少なくとも一方は、照射光と同経
路を辿って上記ハーフミラー２４まで導かれ、このハー
フミラー２４及び集光レンズ３６を介して光路上に配置
されたダイクロイックミラー３７，４２によりそれぞれ
反射される。

【００１８】ダイクロイックミラー３７により反射され
た光は、吸収フィルタ３８、ピンホール板３９を介して
光検出器１に入射され、その光量に対応した電気信号に
変換される。

【００１９】この光検出器１は、例えば光電子倍増管や
マルチチャネルプレート、アバランシェフォトダイオー
ドなどの光電子増幅作用を有する高感度なものを使用し
ており、その検出信号である電気信号が測光回路４１に
送られ、光量情報として出力される。

【００２０】ほぼ同様に、ダイクロイックミラー４２に
より反射された光は、ダイクロイックフィルタ４３、吸
収フィルタ４４、ピンホール板４５を介して光検出器
１′に入射され、その光量に対応した電気信号に変換さ
れる。

【００２１】この光検出器１′も、上記光検出器１，
１′同様、例えば光電子倍増管やマルチチャネルプレー
ト、アバランシェフォトダイオードなどの光電子増幅作
用を有する高感度なものを使用しており、その検出信号
である電気信号が測光回路４０に送られ、光量情報とし
て出力される。

【００２２】次いで図２により上記光検出器１（１′）
とその後段の測光回路４１（４０）の詳細な構成につい
て説明する。同図で、光検出器１（１′）により得られ
た光量に対応した電流値を有する電気信号は、測光回路
４１（４０）内でまず電流電圧変換部２により光量に対
応した電圧値を有する信号に変換されて、信号増幅部３
及びパルス増幅部５に与えられる。

【００２３】信号増幅部３は、入力された電圧信号を予
め設定されている適宜増幅率をもって増幅し、増幅した
電圧信号をＡ／Ｄ変換器４及び電圧比較部１１へ出力す
る。Ａ／Ｄ変換器４は、信号増幅部３からのアナログ値
の電圧信号をクロック発生部９からのサンプリングクロ
ックに同期して所定の量子化ビット数でデジタル値に変
換し、データ選択部７へ出力する。

【００２４】電圧比較部１１は、例えば高速コンパレー
タ等の比較器で構成されるもので、信号増幅部３からの
電圧信号と基準電圧設定部１２により設定された閾値と
しての基準電圧とをクロック発生部９からのクロックに
同期して比較し、その比較結果を上記データ選択部７へ
出力する。

【００２５】一方、上記パルス増幅部５は電流電圧変換
部２からの電圧信号のパルス成分（交流成分）のみを増
幅してパルス計数部６へ出力する。パルス計数部６は、
パルス検出のための閾値の設定機能を有するもので、上
記クロック発生部９から入力されるサンプリングクロッ
クの１周期毎に、パルス増幅部５からのパルス波形中の
整形パルス数のカウントを行ない、そのカウント値を随
時上記データ選択部７へ出力する。

【００２６】データ選択部７は、クロック発生部９から
のサンプリングクロックに同期して、上記電圧比較部１
１からの比較結果に基づき、信号増幅部３からの出力信
号が基準電圧に比べて大きいときはＡ／Ｄ変換器４の出
力するデジタルデータを、信号増幅部３からの出力信号
が基準電圧に比べて小さいときはパルス計数部６のカウ
ント値をデジタルデータとして選択し、測定結果とし
て、選択した光量情報のデジタルデータと、Ａ／Ｄ変換
器４及びパルス計数部６のいずれの出力を選択したかを
示す選択情報とをメモリ８に出力する。

【００２７】このメモリ８は、例えば少なくとも１フレ
ーム分の画像を記憶可能な容量を有するフレームメモリ
で構成され、データ選択部７からのデジタルデータを、
アドレス制御部１０から入力される指定アドレスに従っ
て記憶する。アドレス制御部１０は、上記クロック発生
部９から入力されるサンプリングクロックに同期して、
現在サンプリングが行なわれている上記観察試料３０の
位置に１対１に対応したアドレス位置を更新記憶し、そ
のアドレス位置を指定アドレスとして上記メモリ８に与
えるものである。

【００２８】しかるに、メモリ８に記憶された測定結果
のデジタルデータは、データ処理部１７により読出さ
れ、種々の画像解析処理が施されて所望の画像情報とさ
れた後に、ＣＲＴやＬＣＤパネルを用いた表示部１８で
表示される。

【００２９】上記データ処理部１７及び上記基準電圧設
定部１２は、いずれも例えばパーソナルコンピュータで
構成されるシステム制御部１６により統括制御されるも
のである。

【００３０】すなわち、システム制御部１６が基準電圧
設定部１２に対して上記基準値を任意に設定可能とする
ことにより、表示部１８で表示されている測定画像を観
察してその内容に対応して該基準値を調整することがで
きる。

【００３１】一方、システム制御部１６がデータ処理部
１７に対して画像解析処理の方法を指示することで、表
示部１８に表示させる観察試料３０の画像情報を任意の
ものに選択することができる。

【００３２】上記のような構成にあって、電圧比較部１
１が信号増幅部３の出力する増幅した電圧信号、すなわ
ち光検出器１（１′）への入射光量に応じた信号を基準
電圧設定部１２からの基準値と比較し、その比較結果に
よりデータ選択部７がクロック発生部９からのクロック
毎にＡ／Ｄ変換器４の出力とパルス計数部６の出力のい
ずれか一方を切換選択して量子化した光量情報としてメ
モリ８に記憶させる。そのため、光子を計数しなければ
測定できない微弱光から比較的明るい光までの非常に広
いダイナミックレンジで光量測定を行なうことができ
る。

【００３３】（第２の実施の形態）図３は本発明の第２
の実施の形態に係る走査型光学顕微鏡の光学系で使用さ
れる光検出器１（１′）とその後段の測光回路４１（４
０）の詳細な構成について例示するもので、基本的には
上記図２で示したものと同様であるので、同一部分には
同一符号を付してその説明は省略する。

【００３４】しかして、Ａ／Ｄ変換器４で得られるデジ
タルデータが上記データ選択部７の他に数値比較部１３
へも出力される。この数値比較部１３は、上記システム
制御部１６により可変設定される比較値設定部１４から
送られてくる比較値と、上記Ａ／Ｄ変換器４の出力する
デジタルデータとをクロック発生部９からのサンプリン
グクロックに同期して比較し、その比較結果を上記デー
タ選択部７へ出力するものである。

【００３５】上記のような構成とすることにより、Ａ／
Ｄ変換器４の出力するデジタルデータを用いて数値比較
部１３が比較値設定部１４から与えられる比較値と比較
することで、その比較結果によりデータ選択部７がＡ／
Ｄ変換器４からの出力信号が比較値に比べて大きいとき
はＡ／Ｄ変換器４の出力するデジタルデータを、Ａ／Ｄ
変換器４からの出力信号が比較値に比べて小さいときは
パルス計数部６のカウント値をデジタルデータとして選
択してメモリ８に出力する。

【００３６】この場合、デジタル値であるＡ／Ｄ変換器
４の出力を用いて数値比較部１３が比較動作を行なって
いるため、アナログ的な比較動作を行なう、例えば高速
コンパレータ等の比較器で構成される上記図２の電圧比
較部１１に比して、比較誤差や出力遅延を生ずる虞もな
く、正確且つ高速な動作を行なうことができるようにな
る。

【００３７】（第３の実施の形態）図４は本発明の第３
の実施の形態に係る走査型光学顕微鏡の光学系で使用さ
れる光検出器１（１′）とその後段の測光回路４１（４
０）の詳細な構成について例示するもので、基本的には
上記図２及び図３で示したものと同様であるので、同一
部分には同一符号を付してその説明は省略する。

【００３８】しかして、パルス計数部６で得られるカウ
ント値がデジタルデータとして上記データ選択部７の他
に数値比較部１３へも出力される。この数値比較部１３
は、上記システム制御部１６により可変設定される比較
値設定部１４から送られてくる比較値と、上記パルス計
数部６の出力するデジタルデータとをクロック発生部９
からのサンプリングクロックに同期して比較し、その比
較結果を上記データ選択部７へ出力するものである。

【００３９】上記のような構成とすることにより、パル
ス計数部６の出力するデジタルデータを用いて数値比較
部１３が比較値設定部１４から与えられる比較値と比較
することで、その比較結果によりデータ選択部７がパル
ス計数部６からの出力信号が比較値に比べて大きいとき
はＡ／Ｄ変換器４の出力するデジタルデータを、パルス
計数部６からの出力信号が比較値に比べて小さいときは
パルス計数部６のカウント値をデジタルデータとして選
択してメモリ８に出力する。

【００４０】この場合、デジタル値であるパルス計数部
６のカウント値を用いて数値比較部１３が比較動作を行
なっているため、上記第２の実施の形態の場合と同様
に、アナログ的な比較動作を行なう、例えば高速コンパ
レータ等の比較器で構成される上記図２の電圧比較部１
１に比して、比較誤差や出力遅延を生ずる虞もなく、正
確且つ高速な動作を行なうことができるようになる。

【００４１】（第４の実施の形態）図５は本発明の第４
の実施の形態に係る走査型光学顕微鏡の光学系で使用さ
れる光検出器１（１′）とその後段の測光回路４１（４
０）の詳細な構成について例示するもので、基本的には
上記図２乃至図４で示したものと同様であるので、同一
部分には同一符号を付してその説明は省略する。

【００４２】しかして、パルス増幅部５の出力するパル
ス成分のみを増幅した電圧信号はパルス計数部６の他に
パルス幅検出部１５へも送られる。このパルス幅検出部
１５は、電圧信号中のパルス幅を測定し、測定結果を数
値比較部１３へ送出する。

【００４３】これに対して数値比較部１３は、上記シス
テム制御部１６により可変設定される比較値設定部１４
から送られてくる比較値と、パルス幅検出部１５からの
パルス幅の測定値とをクロック発生部９からのサンプリ
ングクロックに同期して比較し、その比較結果を上記デ
ータ選択部７へ出力するものである。

【００４４】上記のような構成とすることにより、光検
出器１（１′）に入射する光量が少なく、電流電圧変換
部２の出力する電圧信号が例えば図６（ａ）に示すよう
な波形であるときには、パルス増幅部５が同図（ａ）中
のパルス検出閾値を基準としてそのパルス幅を増幅した
電圧信号をパルス計数部６及びパルス幅検出部１５に送
出し、パルス幅検出部１５はそのパルス幅を測定して順
次測定値を数値比較部１３に出力する。

【００４５】数値比較部１３は比較値設定部１４から送
られてくる比較値とパルス幅検出部１５からのパルス幅
の測定値とをクロック発生部９からのサンプリングクロ
ックに同期して比較して比較結果をデータ選択部７に送
出し、データ選択部７はこの比較結果により光検出器１
（１′）に入射する光量が少ないことを認識して、Ａ／
Ｄ変換器４の出力するデジタルデータではなく、パルス
計数部６のカウント値をデジタルデータとして切換選択
してメモリ８に出力する。

【００４６】反対に、光検出器１（１′）に入射する光
量が多く、電流電圧変換部２の出力する電圧信号が例え
ば図６（ｂ）に示すような波形であるときには、パルス
増幅部５が増幅した電圧信号をパルス計数部６及びパル
ス幅検出部１５に送出すると、パルス幅検出部１５は同
図（ｂ）中のパルス検出閾値を基準としてそのパルス幅
を測定して順次測定値を数値比較部１３に出力する。

【００４７】この場合、上記図６（ａ）では、１クロッ
ク中に４つの光子が計数されるのに対し、同図（ｂ）で
は光量が多く、多数の光子が光検出器に入射しているに
もかかわらず、計数される光子数は３つになってしま
う。

【００４８】したがって、上記パルス検出閾値を越えて
いる部分でそのパルス幅をパルス幅検出部１５が測定し
て測定値を数値比較部１３に出力すると、数値比較部１
３は比較値設定部１４から送られてくる比較値とパルス
幅検出部１５からのパルス幅の測定値とをクロック発生
部９からのサンプリングクロックに同期して比較して比
較結果をデータ選択部７に送出する。

【００４９】データ選択部７はこの比較結果により光検
出器１（１′）に入射する光量が多く、光量情報の電圧
信号のパルスが重なってしまっていることを認識し、パ
ルス計数部６の出力するカウント値ではなく、Ａ／Ｄ変
換器４の出力するデジタルデータを切換選択してメモリ
８に出力する。

【００５０】このように、パルス計数部６の前段に位置
するパルス増幅部５の出力のパルス幅をパルス幅検出部
１５で測定してその測定値によりパルスの重なりの有無
を数値比較部１３で比較動作するようにしても、アナロ
グ的な比較動作を行なう、例えば高速コンパレータ等の
比較器で構成される上記図２の電圧比較部１１に比し
て、比較誤差や出力遅延を生ずる虞もなく、正確且つ高
速な動作を行なうことができるようになる。

【００５１】なお、上記第１乃至第４の各実施の形態
は、それぞれを組合わせることでさらに厳密な選択条件
を設定することも可能である。以上各実施の形態に基づ
いて説明したが、本発明中には以下の発明が含まれる。

【００５２】（１） 光源からの照明光を観察試料に照
射して得られる光を、対物レンズを含む光学系を介して
結像し、その光量を光検出器で検出して光量情報を得る
光学顕微鏡用測光装置において、上記光検出器からの検
出信号を増幅してアナログ値からデジタル値に変換する
Ａ／Ｄ変換手段と、上記光検出器からの検出信号のパル
ス成分を増幅して光子数をカウントするカウント手段
と、上記光検出器の検出信号レベルに応じて上記Ａ／Ｄ
変換手段の出力及び上記カウント手段のカウント値のい
ずれか一方を選択して測定情報とする選択手段とを具備
したことを特徴とする顕微鏡用測光装置。

【００５３】このようにすれば、光量が微小な場合には
カウント手段のカウント値を、その他の場合にはＡ／Ｄ
変換手段の出力値を自動的に切換選択して光量情報とし
て出力するようにしているので、測定可能な光量のダイ
ナミックレンジを大きく設定しながら、微小な光量でも
Ｓ／Ｎ比の高い測定を行なうことができる。

【００５４】（２） 上記選択手段は上記Ａ／Ｄ変換手
段の出力レベルに応じて上記Ａ／Ｄ変換手段の出力及び
上記カウント手段のカウント値のいずれか一方を選択す
ることを特徴とする（１）項記載の顕微鏡用測光装置。

【００５５】（３） 上記選択手段は上記カウント手段
のカウント値に応じて上記Ａ／Ｄ変換手段の出力及び上
記カウント手段のカウント値のいずれか一方を選択する
ことを特徴とする（１）項記載の顕微鏡用測光装置。

【００５６】（４） 上記選択手段は上記カウントに入
力されるパルス信号のパルス幅に応じて上記Ａ／Ｄ変換
手段の出力及び上記カウント手段のカウント値のいずれ
か一方を選択することを特徴とする（１）項記載の顕微
鏡用測光装置。

【００５７】上記（２）項〜（４）項のようにすれば、
いずれも上記（１）項に加えて、デジタル値を用いて比
較動作を行なっているため、アナログ的な比較動作を行
なう比較器で懸念される比較誤差や出力遅延を生ずる虞
もなく、正確且つ高速な動作を行なうことができる。

【００５８】

【発明の効果】以上詳記した如く本発明によれば、測定
可能な光量のダイナミックレンジを大きく設定しなが
ら、微小な光量でもＳ／Ｎ比の高い測定を行なうことが
可能な顕微鏡用測光装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る走査型光学顕
微鏡の光学系を中心とした構成を例示する図。

【図２】図１の主として測光回路内の詳細な回路構成を
示すブロック図。

【図３】本発明の第２の実施の形態に係る主として測光
回路内の詳細な回路構成を示すブロック図。

【図４】本発明の第３の実施の形態に係る主として測光
回路内の詳細な回路構成を示すブロック図。

【図５】本発明の第４の実施の形態に係る主として測光
回路内の詳細な回路構成を示すブロック図。

【図６】同実施の形態に係る動作波形を例示する図。

【符号の説明】

１，１′，３４…光検出器 ２…電流電圧変換部 ３…信号増幅部 ４…Ａ／Ｄ変換器 ５…パルス増幅部 ６…パルス計数部 ７…データ選択部 ８…メモリ ９…クロック発生部 １０…アドレス制御部 １１…電圧比較部 １２…基準電圧設定部 １３…数値比較部 １４…比較値設定部 １５…パルス幅検出部 １６…システム制御部 １７…データ処理部 １８…表示部 ２１…レーザ光源 ２２…ビームエキスパンダ ２３…波長フィルタ ２４…光路分割手段 ２５，２６…偏向手段 ２７…瞳投影レンズ ２８…プリズム ２９…対物レンズ ３０…観察試料 ３１，３３…レンズ ３２…ミラー ３５…フレームメモリ ３６…集光レンズ ３７，４２…ダイクロイックミラー ３８，４４…吸収フィルタ ３９，４５…ピンホール板 ４０，４１…測光回路 ４３…ダイクロイックフィルタ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源からの照明光を観察試料に照射して
   得られる光を、対物レンズを含む光学系を介して結像
   し、その光量を光検出器で検出して光量情報を得る光学
   顕微鏡用測光装置において、 上記光検出器からの検出信号を増幅してアナログ値から
   デジタル値に変換するＡ／Ｄ変換手段と、 上記光検出器からの検出信号のパルス成分を増幅して光
   子数をカウントするカウント手段と、 上記光検出器の検出信号レベルに応じて上記Ａ／Ｄ変換
   手段の出力及び上記カウント手段のカウント値のいずれ
   か一方を選択して測定情報とする選択手段とを具備した
   ことを特徴とする顕微鏡用測光装置。
2. 【請求項２】 上記選択手段は上記Ａ／Ｄ変換手段の出
   力レベルに応じて上記Ａ／Ｄ変換手段の出力及び上記カ
   ウント手段のカウント値のいずれか一方を選択すること
   を特徴とする請求項１記載の顕微鏡用測光装置。
3. 【請求項３】 上記選択手段は上記カウント手段のカウ
   ント値に応じて上記Ａ／Ｄ変換手段の出力及び上記カウ
   ント手段のカウント値のいずれか一方を選択することを
   特徴とする請求項１記載の顕微鏡用測光装置。