JPH0945249A - Plasma display panel and manufacture of it - Google Patents
Plasma display panel and manufacture of itInfo
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- JPH0945249A JPH0945249A JP7191945A JP19194595A JPH0945249A JP H0945249 A JPH0945249 A JP H0945249A JP 7191945 A JP7191945 A JP 7191945A JP 19194595 A JP19194595 A JP 19194595A JP H0945249 A JPH0945249 A JP H0945249A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、各種情報機器の
表示装置として使用されるプラズマディスプレイパネル
(以下PDPと略称する)およびその製造方法に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel (hereinafter abbreviated as PDP) used as a display device for various information devices and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、マルチメディア時代のマンマシン
インタフェースとして、コンピュータ、情報通信システ
ムおよび/または端末、公共施設の表示案内板あるいは
ビル管理システム等各種制御装置の画像情報や文字情報
を高精度、高輝度に表示し、大画面化、薄型化を可能と
するPDPが注目されている。2. Description of the Related Art In recent years, as a man-machine interface in the multimedia age, image information and character information of various control devices such as computers, information communication systems and / or terminals, display guide boards of public facilities or building management systems are highly accurate, Attention has been paid to PDPs that can be displayed with high brightness and have a large screen and a thin profile.
【0003】図10は従来のAC型PDPの構造の一部
を示す部分断面図である。図10において11はガラス
板またはこれに類するものからなる前面透明基板、12
はこの前面透明基板11の内面にそれぞれが間隔を置い
た複数条のいわゆるストライプ状に形成された透明電極
からなる第1の放電電極、13はこの第1の放電電極上
に形成された放電電荷を蓄積する誘電体層、21は微小
な間隙をもって前記前面透明基板11に相対する、ガラ
ス板またはこれに類するものからなる背面基板、22は
この背面基板の内面に前記第1の放電電極12と交差
し、両放電電極合わせてマトリックス配置となるように
ストライプ状に形成された第2の放電電極、23はこの
第2の放電電極上に形成された放電電荷を蓄積する誘電
体層、3は前面透明基板11と背面基板21を均等に離
隔するため、両基板に対し平面的に形成されるバリアリ
ブで、その細部構造は放電電極の交点における放電によ
る発光ガスの発光現象を表示用の画素として区画するた
め、第2の放電電極22と平行に、たとえば格子状また
はストライプ状の形状を有するものである。なお、細部
構造は両放電電極に対し前記説明と逆の関係となること
もある。また、周知のように両基板11、21間の密封
空間にはネオン、ヘリウム、キセノンなどの発光ガス4
が封入されている。FIG. 10 is a partial sectional view showing a part of the structure of a conventional AC type PDP. In FIG. 10, 11 is a front transparent substrate made of a glass plate or the like, 12
Is a first discharge electrode composed of a plurality of so-called stripe-shaped transparent electrodes which are spaced from each other on the inner surface of the front transparent substrate 11, and 13 is a discharge charge formed on the first discharge electrode. Is a dielectric layer for accumulating, a rear substrate facing the front transparent substrate 11 with a minute gap, which is a rear plate made of a glass plate or the like, 22 is an inner surface of the rear substrate, and the first discharge electrode 12 and The second discharge electrodes 23 are formed in a stripe shape so as to intersect each other and form a matrix arrangement for both discharge electrodes. Reference numeral 23 is a dielectric layer formed on the second discharge electrodes for accumulating discharge charges. Reference numeral 3 is In order to evenly separate the front transparent substrate 11 and the rear substrate 21, barrier ribs are formed on both substrates in a planar manner. The detailed structure of the barrier ribs is the emission of emission gas due to discharge at the intersection of the discharge electrodes. For partitioning the pixel for display, parallel to the second discharge electrode 22 is for example one having a lattice shape or a stripe shape. Note that the detailed structure may have the opposite relationship to the above description for both discharge electrodes. Further, as is well known, in the sealed space between the two substrates 11 and 21, a luminescent gas 4 such as neon, helium, xenon, etc.
Is enclosed.
【0004】次に、図10に示すAC型PDPの動作に
ついて説明する。図示していないが駆動電源は駆動制御
回路を介して第1、第2の両放電電極12、22に対
し、各々走査形式で選択的に電圧が印加される。両放電
電極12、22の交点の電位差が放電開始電圧を超える
と、その交点pにおいて放電を開始する。放電すると両
電極12、22間の密封空間内に封入されている発光ガ
ス4が発光し、その光は図中矢印のように誘電体層1
3、放電電極12、前面透明基板11を経由して外部に
出力する。すなわち、両放電電極12、22間の交点即
ち放電発光点pが画素となり、これを選択的に発光させ
ることにより、所望の表示を行う。なお、図示しないが
カラーPDPの場合には、放電により発生した紫外線
を、誘電体層13または23の表面またはバリアリブ3
の側壁に設けた蛍光体に照射し、その際に励起する可視
光を利用する。その場合、蛍光体は放電発光点pに対し
て透過型あるいは反射型に形成される。Next, the operation of the AC type PDP shown in FIG. 10 will be described. Although not shown, a driving power source selectively applies a voltage to each of the first and second discharge electrodes 12 and 22 in a scanning manner via a drive control circuit. When the potential difference at the intersection of the discharge electrodes 12 and 22 exceeds the discharge start voltage, the discharge is started at the intersection p. When discharged, the luminescent gas 4 enclosed in the sealed space between the electrodes 12 and 22 emits light, and the light is emitted from the dielectric layer 1 as indicated by an arrow in the figure.
3, output to the outside via the discharge electrode 12 and the front transparent substrate 11. That is, the intersection between the discharge electrodes 12 and 22, that is, the discharge emission point p becomes a pixel, and a desired display is performed by selectively emitting light. Although not shown, in the case of a color PDP, the ultraviolet rays generated by the discharge are applied to the surface of the dielectric layer 13 or 23 or the barrier rib 3.
The phosphor provided on the side wall of the is irradiated with visible light that is excited at that time. In that case, the phosphor is formed to be transmissive or reflective with respect to the discharge light emission point p.
【0005】次に、放電開始後、正負の電荷は各々両誘
電体層13、23に誘引され、誘電体層に電荷が蓄積し
て壁電圧を発生するので、交点の誘電体層13、23の
表面間の実効的放電電位差は低下し、放電を維持できな
くなる。しかし駆動電源が交流であるので、電圧の位相
が逆極性に転ずると誘電体層13、23の壁電圧と印加
電圧が加算されて、交点の誘電体層13、23の表面間
の実効的放電電位差が放電開始電圧を超えるので再び放
電状態となる。その後、前記に同じく誘電体層13、2
3への電荷の蓄積により放電は停止する。以下印加電圧
が取り除かれるまで前記点滅動作を繰り返す。なお、駆
動電源の交流周波数は人間の目の応答特性より高く設定
されているため、前記点滅動作はチラツキとして見える
ことはない。Next, after the start of discharge, positive and negative charges are respectively attracted to both dielectric layers 13 and 23, and the charges are accumulated in the dielectric layers to generate a wall voltage, so that the dielectric layers 13 and 23 at the intersections. The effective discharge potential difference between the surfaces of the electrodes decreases, and the discharge cannot be maintained. However, since the driving power source is an alternating current, when the voltage phase shifts to the opposite polarity, the wall voltage of the dielectric layers 13 and 23 and the applied voltage are added, and the effective discharge between the surfaces of the dielectric layers 13 and 23 at the intersection is performed. Since the potential difference exceeds the discharge start voltage, the discharge state is restored. Then, similarly to the above, the dielectric layers 13 and 2
Discharge is stopped by the accumulation of electric charge in 3. Hereinafter, the blinking operation is repeated until the applied voltage is removed. Since the AC frequency of the driving power supply is set higher than the response characteristics of human eyes, the blinking operation does not appear as flicker.
【0006】前記従来例では誘電体層を有した駆動電源
が交流であるAC型PDPの場合を説明したが、駆動電
源が直流であるDC型PDPの場合には図11に示す通
り、図10のAC型PDPに比べると誘電体層を設けら
れていないので、前記した交流駆動の場合における電荷
の誘電体層への蓄積過程が無く、交点の放電電極12、
22間の直流印加電圧による電位差が放電開始電圧を超
えている時には放電を継続し、電位差が一定以下に低下
すると放電を停止する。In the conventional example described above, an AC type PDP in which the driving power source having a dielectric layer is an alternating current is described. However, in the case of a DC type PDP in which the driving power source is a direct current, as shown in FIG. In comparison with the AC type PDP, the dielectric layer is not provided, so there is no accumulation process of electric charges in the dielectric layer in the case of the AC driving described above, and the discharge electrodes 12 at the intersections,
Discharge is continued when the potential difference due to the DC applied voltage between 22 exceeds the discharge start voltage, and discharge is stopped when the potential difference drops below a certain level.
【0007】次に、従来のPDPの製造方法について説
明する。PDPの製造工程の1つであるバリアリブ3の
形成工程には、大きく分けて写真製版法と非写真印刷法
である厚膜スクリーン印刷法がある。一般に、バリアリ
ブ3のパターンが細かく、高精度が要求される場合は写
真製版法、比較的粗い場合は厚膜スクリーン印刷法が使
用される。まず写真製版法を使う従来のPDPの製造方
法について説明する。図12は特開平6ー139922
号公報に示される、PDP製造工程のうちの本発明に関
係するバリアリブ3の形成工程において、バリアリブ3
の型枠のパターン形成に写真製版法を使用する例であ
る。なお、図12はAC型PDPの例である。Next, a conventional PDP manufacturing method will be described. The step of forming the barrier rib 3, which is one of the manufacturing steps of the PDP, is roughly classified into a photoengraving method and a thick film screen printing method which is a non-photographic printing method. Generally, the photolithography method is used when the pattern of the barrier rib 3 is fine and high precision is required, and the thick film screen printing method is used when the pattern is relatively rough. First, a conventional method for manufacturing a PDP using the photoengraving method will be described. FIG. 12 shows JP-A-6-139922.
In the process of forming the barrier rib 3 related to the present invention in the PDP manufacturing process shown in Japanese Patent Publication No.
This is an example of using a photoengraving method to form the pattern of the mold. Note that FIG. 12 is an example of an AC type PDP.
【0008】図12(a)に示すように、一般にソーダ
ライムガラスのようなガラス材を主要組成とする前面透
明基板11および背面基板21上に、第1、第2の放電
電極12、22を形成する。放電電極12、22の形成
は厚膜スクリーン印刷法または写真製版法により行われ
る。厚膜スクリーン印刷法を用いる場合は、ステンレス
メッシュに乳剤で形成した放電電極パターンの厚膜スク
リーン膜を使い、導体となる銀(Ag)等の金属の粉体
と固着剤である有機バインダーをペースト状にした導体
ペーストを前面透明基板11および背面基板21上に放
電電極パターンを印刷する。この後、基板の形状を保持
しうる軟化点以下の温度、例えば導体ペーストが銀、基
板の主要組成がソーダガラスの組み合わせの例では55
0〜600℃程度の温度で焼成し、導体ペースト中の有
機成分を分解飛散させて放電電極12、22を形成す
る。As shown in FIG. 12 (a), first and second discharge electrodes 12 and 22 are formed on a front transparent substrate 11 and a rear substrate 21, which are generally made of a glass material such as soda lime glass. Form. The discharge electrodes 12 and 22 are formed by a thick film screen printing method or a photolithography method. When the thick film screen printing method is used, a thick film screen of a discharge electrode pattern formed of an emulsion on a stainless mesh is used, and a powder of metal such as silver (Ag) to be a conductor and an organic binder as a fixing agent are pasted. The discharge electrode pattern is printed on the front transparent substrate 11 and the rear substrate 21 with the conductor paste having the shape. After this, a temperature below the softening point at which the shape of the substrate can be maintained, for example, 55 in the case of a combination of the conductive paste of silver and the main composition of the substrate of soda glass
Firing is performed at a temperature of about 0 to 600 ° C. to decompose and scatter organic components in the conductor paste to form the discharge electrodes 12 and 22.
【0009】写真製版法を用いる場合は、前面透明基板
11および背面基板21の全表面上に、クロム(Cr)
やアルミニウム(Al)等の導体膜を厚膜スクリーン印
刷法またはスパッタリング法などで形成し、その上にフ
ォトレジスト膜をコーティングした後、所望の放電電極
パターンの形状にフォトレジスト膜が形成されるように
フォトマスクを介して紫外線照射を行い、ネガ型フォト
レジスト膜の例では、フォトレジスト膜が露光されなか
った、放電電極パターン部分以外の部分を現像液で除去
する。次に、エッチング液を用いて放電電極パターン部
分以外の導体膜を溶解除去した後、最後に放電電極パタ
ーン上の露光されたフォトレジスト膜を除去することに
より、図12(a)に示すように前面基板11または背
面基板21の表面に放電電極12、22が形成される。When the photoengraving method is used, chromium (Cr) is formed on the entire surfaces of the front transparent substrate 11 and the rear substrate 21.
After forming a conductor film such as aluminum or aluminum (Al) by a thick film screen printing method or a sputtering method and coating a photoresist film on it, a photoresist film is formed in a desired discharge electrode pattern shape. Is irradiated with ultraviolet rays through a photomask, and in the example of the negative type photoresist film, a portion other than the discharge electrode pattern portion where the photoresist film is not exposed is removed with a developing solution. Next, after the conductor film other than the discharge electrode pattern portion is dissolved and removed by using an etching solution, the exposed photoresist film on the discharge electrode pattern is finally removed, as shown in FIG. The discharge electrodes 12 and 22 are formed on the surface of the front substrate 11 or the rear substrate 21.
【0010】次に、図12(b)に示すように、その放
電電極12、22が形成された基板11、21上に誘電
体層13、23を形成する。誘電体層13、23の形成
は厚膜スクリーン印刷法により行われる。前記放電電極
12、22の形成に厚膜スクリーン印刷法を用いる場合
と同様に、所望の誘電体層パターンが形成されたステン
レスメッシュのスクリーン版を使って、誘電体層13、
23の主要組成となるガラス材等の無機材の粉体とビヒ
クルである有機成分を混練してペースト状にした誘電体
ペーストを、前記放電電極が形成された前面透明基板1
1および背面基板21の放電電極形成面上に印刷し、誘
電体層13、23の組成である無機材の軟化点以上、基
板材の軟化点以下の温度、例えば500〜600℃の温
度で焼成して誘電体ペースト中の有機成分を分解飛散さ
せて均質な誘電体層13、23を形成する。AC型PD
Pとして所望の誘電体層の膜厚を得るためには前記操作
を数回繰り返す。Next, as shown in FIG. 12B, dielectric layers 13 and 23 are formed on the substrates 11 and 21 on which the discharge electrodes 12 and 22 are formed. The dielectric layers 13 and 23 are formed by a thick film screen printing method. Similar to the case of using the thick film screen printing method to form the discharge electrodes 12 and 22, the dielectric layer 13 is formed by using a stainless mesh screen plate on which a desired dielectric layer pattern is formed.
The front transparent substrate 1 on which the discharge electrode is formed is a dielectric paste prepared by kneading an inorganic material powder such as a glass material, which has a main composition of 23, and an organic component that is a vehicle into a paste form.
1 and printed on the surface of the rear substrate 21 on which the discharge electrodes are formed, and baked at a temperature not lower than the softening point of the inorganic material that is the composition of the dielectric layers 13 and 23 and not higher than the softening point of the substrate material, for example, a temperature of 500 to 600 ° C. Then, the organic components in the dielectric paste are decomposed and scattered to form homogeneous dielectric layers 13 and 23. AC type PD
The above operation is repeated several times in order to obtain a desired thickness of the dielectric layer as P.
【0011】次に、図12(c)により、この誘電体層
23が形成された背面基板21上にバリアリブ3を形成
する過程を説明する。バリアリブ3は前面透明基板11
上に形成される場合もあるが、ここでは背面基板21に
形成する場合について記載する。まず、背面基板21上
の誘電体層23の表面に感光性有機フィルム5を加熱ロ
ーラーで100℃程度の熱と3〜4kg/cm2の圧力
を加えて、密着するよう貼付する。なお、感光性有機フ
ィルム5の厚みは目的とするバリアリブ3の高さにより
選択する。Next, the process of forming the barrier rib 3 on the rear substrate 21 on which the dielectric layer 23 is formed will be described with reference to FIG. The barrier rib 3 is the front transparent substrate 11
Although it may be formed on the upper surface, the case of forming on the rear substrate 21 will be described here. First, the photosensitive organic film 5 is attached to the surface of the dielectric layer 23 on the back substrate 21 so as to be in close contact with it by applying heat of about 100 ° C. and a pressure of 3 to 4 kg / cm 2 with a heating roller. The thickness of the photosensitive organic film 5 is selected according to the intended height of the barrier rib 3.
【0012】次に、図12(c)に示すように、後の工
程で形成されるバリアリブの型枠のパターン形状を紫外
線透過パターン形状としたフォトマスク6を介して紫外
線の照射を行い、ネガ型の例では、感光性有機フィルム
5の残したいパターン部分、すなわちバリアリブの型枠
のパターン形状を露光、硬化させる。この結果図12
(d)に示すようにバリアリブ形成該当部5a以外の部
分5bがバリアリブの形成時に使用される型枠として露
光、硬化される。このとき露光に使用する紫外線はバリ
アリブの型枠のパターン形状を忠実に露光、硬化させる
ため平行光線化がはかられている。Next, as shown in FIG. 12 (c), ultraviolet rays are radiated through a photomask 6 in which the pattern shape of the frame of the barrier ribs formed in a later step is made into the ultraviolet transparent pattern shape, and the negative is In the example of the mold, the pattern portion to be left on the photosensitive organic film 5, that is, the pattern shape of the frame of the barrier rib is exposed and cured. As a result of this, FIG.
As shown in (d), the portion 5b other than the barrier rib formation corresponding portion 5a is exposed and cured as a frame used for forming the barrier rib. At this time, the ultraviolet rays used for the exposure faithfully expose and cure the pattern shape of the frame of the barrier rib, so that the rays are made parallel rays.
【0013】次に、図12(e)に示すように、1%程
度の炭酸ソーダ(Na2CO3)等の現像液で感光性有
機フィルム5の未硬化部分5aを溶出現像させる。この
工程により、感光性有機フィルム5の紫外線硬化した露
光部5bがバリアリブの型枠7として誘電体層23の表
面に形成される。Next, as shown in FIG. 12 (e), the uncured portion 5a of the photosensitive organic film 5 is eluted and developed with a developing solution of about 1% sodium carbonate (Na2CO3) or the like. By this step, the UV-cured exposed portion 5b of the photosensitive organic film 5 is formed on the surface of the dielectric layer 23 as the frame 7 of the barrier rib.
【0014】次に、図12(f)に示すように、前記現
像工程で得られたバリアリブの型枠7に、バリアリブと
なる主要組成をガラス材等とする無機ペースト8を、ヘ
ラなどを使って流し込んだ後、100〜150℃程度の
温度で加熱して乾燥、硬化させる。Next, as shown in FIG. 12 (f), an inorganic paste 8 containing a glass material or the like as a main composition of the barrier ribs is used in the frame 7 of the barrier ribs obtained in the developing step, using a spatula or the like. After pouring in, it is heated at a temperature of about 100 to 150 ° C. to be dried and cured.
【0015】次に、数%程度の苛性ソーダ(NaOH)
水溶液等の溶剤により、前記図12(c)、(d)の工
程で形成された感光性有機フィルム5の紫外線硬化した
露光部5bであるバリアリブの型枠7部分のみを剥離溶
解させる。この後、バリアリブとなる前記乾燥、硬化さ
れた無機ペースト8を、500〜600℃の温度で焼
成、固着させることにより、図12(g)に示すように
バリアリブ3の形成が完了する。Next, ca. several percent caustic soda (NaOH)
A solvent such as an aqueous solution peels and dissolves only the mold 7 portion of the barrier rib which is the ultraviolet-cured exposed portion 5b of the photosensitive organic film 5 formed in the steps of FIGS. 12C and 12D. Thereafter, the dried and hardened inorganic paste 8 to be the barrier ribs is baked and fixed at a temperature of 500 to 600 ° C., whereby the formation of the barrier ribs 3 is completed as shown in FIG.
【0016】図12(g)に示すバリアリブ3の形成さ
れた背面基板21と放電電極12および誘電体層13が
形成された前面透明基板11とを、両基板の放電電極1
2、22が交差し、両放電電極合わせてマトリックス配
置となるように重ね合せることにより、バリアリブ3を
両基板11、21上の誘電体層13、23の間に配した
画素となる放電空間が確保される。 この状態で両基板
11、21の周囲を気密封止した後、前記放電空間に発
光ガス4を封入、再封止することにより図10に示すA
C型PDPが完成する。DC型の場合は 前記製造工程
において図12(b)に示す誘電体層13、23の形成
過程がなく、バリアリブ3の形成は図12(a)に示す
放電電極12、22が形成された前面透明基板11また
は背面基板21の表面に、図12(c)以降の工程を経
て完成される。写真製版法を使ってバリアリブ3を形成
する例としては、前記のほかに感光性無機ペースト10
を使い、バリアリブ3を形成するための型枠7を作ら
ず、直接バリアリブ3を形成する製法などがある。The rear substrate 21 having the barrier ribs 3 and the front transparent substrate 11 having the discharge electrode 12 and the dielectric layer 13 shown in FIG.
By overlapping the discharge ribs 2 and 22 so that both discharge electrodes are aligned in a matrix arrangement, a discharge space that becomes a pixel in which the barrier ribs 3 are arranged between the dielectric layers 13 and 23 on both substrates 11 and 21 is formed. Reserved. In this state, after sealing the peripheries of both substrates 11 and 21 hermetically, the emission gas 4 is filled in the discharge space and re-sealed, so that A shown in FIG.
C-type PDP is completed. In the case of the DC type, there is no step of forming the dielectric layers 13 and 23 shown in FIG. 12B in the manufacturing process, and the barrier rib 3 is formed on the front surface on which the discharge electrodes 12 and 22 shown in FIG. 12A are formed. The surface of the transparent substrate 11 or the rear substrate 21 is completed through the steps after FIG. As an example of forming the barrier rib 3 using the photoengraving method, in addition to the above, the photosensitive inorganic paste 10 is used.
There is a manufacturing method in which the barrier ribs 3 are directly formed without using the mold 7 for forming the barrier ribs 3.
【0017】次に、図13により無機ペースト8を使う
厚膜スクリーン印刷法を使用してバリアリブ3を形成す
る従来例を説明する。図13(a)に示すように、前記
写真製版法の従来例と同様の工程で得られた誘電体層2
3上に、バリアリブの原材料となる無機ペースト8を、
ステンレスメッシュの厚膜スクリーン版を使って印刷し
た後、乾燥工程を行うことによりバリアリブの1層が成
膜する。1層を形成する1サイクルで数10μmの膜厚
となるので、必要なバリアリブ高さを得るために必要な
サイクルを繰り返す。Next, a conventional example in which the barrier rib 3 is formed by using the thick film screen printing method using the inorganic paste 8 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 13 (a), the dielectric layer 2 obtained by the same process as the conventional example of the photoengraving method.
Inorganic paste 8 which is the raw material of the barrier rib is
After printing using a thick film screen plate of stainless mesh, a drying process is performed to form one layer of barrier ribs. Since the film thickness of several tens of μm is obtained in one cycle of forming one layer, the cycle necessary to obtain the required barrier rib height is repeated.
【0018】次に、所望のバリアリブ高さに達すると、
500℃〜600℃の温度で焼成して有機成分を分解飛
散させることにより、図13(b)に示すように、バリ
アリブ3が形成される。Next, when the desired barrier rib height is reached,
By firing at a temperature of 500 ° C. to 600 ° C. to decompose and scatter the organic component, the barrier rib 3 is formed as shown in FIG.
【0019】[0019]
【発明が解決しようとする課題】従来のPDPは前記の
ように構成され、また前記の通り製造されていたので、
写真製版法では、図14で説明する問題点があった。誘
電体層23の主要組成として透明あるいは半透明のガラ
ス材等の無機材が使用されているため、バリアリブ3を
感光性有機フィルム5を使う写真製版法で誘電体層23
の表面に形成する場合、紫外線による露光工程におい
て、放電電極22が一般に銀やアルミニウム等の反射率
の高い金属材で出来ているため、図14(a)で示すよ
うに、フォトマスク6、感光性有機フィルム5および誘
電体層23を透過した紫外線は、放電電極22により乱
反射し、誘電体層23を再び透過して感光性有機フィル
ム5に戻ってくる。この戻り紫外線は、照射紫外線が平
行光線であるに拘わらず発生し、感光性有機フィルム5
のうち、フォトマスク6により露光しないようにガード
している領域も露光するので、図14(b)に示すよう
に、バリアリブの型枠7の底面部の形状を精度良く製作
することができなかった。Since the conventional PDP is constructed as described above and manufactured as described above,
The photoengraving method has the problem described with reference to FIG. Since an inorganic material such as a transparent or translucent glass material is used as the main composition of the dielectric layer 23, the dielectric layer 23 is formed by photolithography using the photosensitive organic film 5 as the barrier rib 3.
In the case of forming on the surface of, the discharge electrode 22 is generally made of a metal material having a high reflectance such as silver or aluminum in the exposure process with ultraviolet rays, and therefore, as shown in FIG. The ultraviolet light that has passed through the organic film 5 and the dielectric layer 23 is diffusely reflected by the discharge electrode 22, passes through the dielectric layer 23 again, and returns to the photosensitive organic film 5. This return ultraviolet ray is generated even if the irradiation ultraviolet ray is a parallel ray, and the photosensitive organic film 5
Of these, the region protected by the photomask 6 so as not to be exposed is also exposed, so that the shape of the bottom portion of the barrier rib frame 7 cannot be accurately manufactured as shown in FIG. 14B. It was
【0020】このような状態のバリアリブの型枠7を次
のバリアリブの形成工程に進めると、図14(c)に示
すように、バリアリブの主要組成となるガラス材等の材
料からなる無機ペースト8をバリアリブの型枠7に流し
込む時、型枠7の底面部の形状が安定せず、不整形とな
るので、気泡を巻き込んだりしてパターン底面部の浮き
上がりをさらに助長することになる。When the mold 7 of the barrier rib in such a state is advanced to the next barrier rib forming step, as shown in FIG. 14C, the inorganic paste 8 made of a material such as a glass material, which is the main composition of the barrier rib, is formed. When is poured into the mold 7 of the barrier rib, the shape of the bottom surface of the mold 7 is not stable and becomes irregular, so that bubbles are trapped and the lifting of the bottom surface of the pattern is further promoted.
【0021】さらに、このような状態のまま無機ペース
ト8を焼成工程で仕上げようとすると、図14(d)に
示すように、加熱、冷却時の応力に、パターン底面部が
耐え切れず、出来上がりのバリアリブ3が背面基板21
面より剥がれる等の不具合が生じ精度の良いバリアリブ
3が得られない。Further, when the inorganic paste 8 is finished in the firing step in such a state, as shown in FIG. 14 (d), the bottom surface of the pattern cannot withstand the stress at the time of heating and cooling, and it is completed. The barrier rib 3 of the back substrate 21
Problems such as peeling from the surface occur and the accurate barrier rib 3 cannot be obtained.
【0022】前記問題点を回避するため、紫外線照射量
を減らして露光すると、図15(a)に示すように、前
記とは逆に感光性有機フィルム5のバリアリブの型枠7
のパターン底面部の硬化不足を招くので、バリアリブの
型枠7のパターン底面部と誘電体層23の密着強度が取
れず、現像工程でバリアリブの型枠7のパターンが蛇行
したり、パターン底面部が浮き上がったりする。In order to avoid the above-mentioned problems, when the exposure dose is reduced and the exposure is carried out, as shown in FIG. 15 (a), contrary to the above, the frame 7 of the barrier rib of the photosensitive organic film 5 is reversed.
Inadequate curing of the pattern bottom surface of the barrier rib makes it impossible to secure the adhesion strength between the pattern bottom surface of the barrier rib frame 7 and the dielectric layer 23, and the pattern of the barrier rib frame 7 meanders in the developing process, or the pattern bottom surface Sometimes comes up.
【0023】さらに、このような状態のバリアリブの型
枠7を次のバリアリブ3の形成工程に進めると、バリア
リブ3の主要組成となるガラス材等の材料からなる無機
ペースト8をバリアリブの型枠7に流し込む時、型枠7
のパターン底面部の形状が安定せず、不整形となるの
で、気泡を巻き込んだり、型枠7の裾に無機ペースト8
が入り込んだりしてバリアリブ3の裾が広がることにな
る。このような状態のまま無機ペースト8を焼成工程で
仕上げようとすると、図15(b)に示すように、バリ
アリブ3の形状が不整形の状態で形成され、精度の良く
基板に密着したバリアリブ3が形成されず、また均一な
放電特性が得られない。Further, when the barrier rib mold 7 in such a state is advanced to the next step of forming the barrier rib 3, the inorganic paste 8 made of a material such as a glass material, which is the main composition of the barrier rib 3, is applied to the barrier rib mold 7. Form 7 when pouring into
Since the shape of the bottom surface of the pattern is not stable and becomes irregular, air bubbles may be trapped or the inorganic paste 8 may be added to the bottom of the mold 7.
Will enter and the hem of the barrier rib 3 will spread. When the inorganic paste 8 is to be finished in the firing step in such a state, the barrier rib 3 is formed in an irregular shape as shown in FIG. 15B, and the barrier rib 3 adheres to the substrate with high accuracy. Are not formed, and uniform discharge characteristics cannot be obtained.
【0024】また、図13(a)に示す厚膜スクリーン
印刷法においても無機ペースト8を焼成工程で仕上げよ
うとすると無機ペースト8と下地となる基板11、21
との間で材質が同じとしても熱容量の差は大きく、密着
性良く精度の良いバリアリブ3を形成することが困難で
あった。すなわち、加熱量が少ないとバリアリブ3と基
板11、21の密着性が確保できず、逆に加熱量が大き
いとバリアリブ3が型崩れを起こすこともあり精度の良
い、したがってパターンの細かいバリアリブを形成する
ことが困難であった。Also in the thick film screen printing method shown in FIG. 13A, when the inorganic paste 8 is to be finished in the firing step, the inorganic paste 8 and the substrates 11 and 21 as the bases are formed.
Even if the materials are the same, the difference in heat capacity is large, and it was difficult to form the barrier rib 3 with good adhesion and high accuracy. That is, if the heating amount is small, the adhesion between the barrier ribs 3 and the substrates 11 and 21 cannot be secured, and on the contrary, if the heating amount is large, the barrier ribs 3 may lose their shape, and thus the barrier ribs 3 with high precision are formed. It was difficult to do.
【0025】この発明は前記のようなPDPのバリアリ
ブを精度良く基板に密着して形成する上での問題点を解
決することを目的とする。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems in forming the barrier ribs of the PDP in close contact with the substrate with high accuracy.
【0026】[0026]
【課題を解決するための手段】第1の発明のPDPは、
バリアリブと背面基板との間に光の透過を抑える光透過
抑制層を備えるようにした。The PDP of the first invention is
A light transmission suppressing layer that suppresses light transmission is provided between the barrier rib and the rear substrate.
【0027】また、第2の発明のPDPは前記第1の発
明のPDPに係わる手段において、背面基板と光透過抑
制層との間に放電電荷を蓄積する誘電体層を備えるよう
にした。Further, the PDP of the second invention is the means related to the PDP of the first invention, wherein a dielectric layer for accumulating discharge charges is provided between the rear substrate and the light transmission suppressing layer.
【0028】また、第3の発明のPDPは前記第1の発
明のPDPに係わる手段において、バリアリブと光透過
抑制層の間に誘電体層を備えるようにした。The PDP of the third aspect of the present invention is the PDP of the first aspect of the present invention, wherein a dielectric layer is provided between the barrier rib and the light transmission suppressing layer.
【0029】また、第4の発明のPDPはバリアリブと
背面基板との間に放電電荷を蓄積する機能を有するとと
もに、光の透過を抑える光透過抑制効果を有する誘電体
層を備えるようにした。Further, the PDP of the fourth invention is provided with a dielectric layer having a function of accumulating discharge charges between the barrier rib and the rear substrate and having a light transmission suppressing effect for suppressing light transmission.
【0030】また、第5の発明のPDPはバリアリブと
前面透明基板または背面基板との間にバリアリブの材質
に比べ軟化点温度の低い接着層を備えるようにした。In the PDP of the fifth invention, an adhesive layer having a lower softening point temperature than the material of the barrier rib is provided between the barrier rib and the front transparent substrate or the rear substrate.
【0031】また、第6の発明のPDPは前記第5の発
明のPDPに係わる手段において、前面透明基板または
背面基板と接着層の間に誘電体層を備えるようにした。In the PDP of the sixth invention, in the means related to the PDP of the fifth invention, a dielectric layer is provided between the front transparent substrate or the rear substrate and the adhesive layer.
【0032】また、第7の発明のPDPは前記第5また
は第6の発明のPDPに係わる手段において、接着層に
光の透過を抑える光透過抑制効果を持たせるようにし
た。Further, in the PDP of the seventh invention, in the means related to the PDP of the fifth or sixth invention, the adhesive layer is made to have a light transmission suppressing effect of suppressing the light transmission.
【0033】また、第8の発明のPDPはバリアリブと
前面透明基板または背面基板との間に放電電荷を蓄積す
る機能を有するとともに、バリアリブの材質に比べ軟化
点温度が低い誘電体層を備えるようにした。In addition, the PDP of the eighth invention has a function of accumulating discharge charges between the barrier rib and the front transparent substrate or the rear substrate, and includes a dielectric layer having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib. I chose
【0034】また、第9の発明のPDPは前記第8の発
明のPDPに係わる手段において、誘電体層に光の透過
を抑える光透過抑制効果を持たせるようにした。Further, in the PDP of the ninth invention, in the means related to the PDP of the eighth invention, the dielectric layer is made to have a light transmission suppressing effect for suppressing the light transmission.
【0035】また、第10の発明のPDPの製造方法
は、放電電極が形成された背面基板の表面に光の透過を
抑える光透過抑制層を形成する工程、バリアリブを形成
するための型枠を、感光性材料を使って前記光透過抑制
層の表面に形成する工程、前記型枠を使ってバリアリブ
を形成する工程、前記型枠を除去する工程、前記バリア
リブを焼成する工程を備えるようにした。Further, in the PDP manufacturing method of the tenth invention, the step of forming a light transmission suppressing layer for suppressing the transmission of light on the surface of the rear substrate on which the discharge electrodes are formed, and the frame for forming the barrier rib are formed. A step of forming a barrier rib using the mold, a step of forming a barrier rib using the mold, a step of removing the mold, and a step of firing the barrier rib. .
【0036】また、第11の発明のPDPの製造方法は
背面基板上に形成された誘電体層の表面に光の透過を抑
える光透過抑制効果を有する光透過抑制層を形成する工
程、バリアリブを形成するための型枠を、感光性材料を
使って前記光透過抑制層の表面に形成する工程、前記型
枠を使ってバリアリブを形成する工程、前記型枠を除去
する工程、前記バリアリブを焼成する工程を備えるよう
にした。In the PDP manufacturing method of the eleventh invention, a step of forming a light transmission suppressing layer having a light transmission suppressing effect for suppressing the transmission of light on the surface of the dielectric layer formed on the rear substrate, and a barrier rib are provided. Forming a mold for forming on the surface of the light transmission suppressing layer using a photosensitive material, forming barrier ribs using the mold, removing the mold, firing the barrier ribs It was equipped with the process of doing.
【0037】また、第12の発明のPDPの製造方法は
前記第10または第11の発明のPDPに係わる製造方
法において、バリアリブの材料として感光性材料を使う
ようにした。The twelfth aspect of the present invention is the PDP production method according to the tenth or eleventh aspect of the present invention, wherein a photosensitive material is used as the barrier rib material.
【0038】また、第13の発明のPDPの製造方法は
放電電極が形成された背面基板の表面に光の透過を抑え
る光透過抑制層を形成する工程、バリアリブを感光性材
料を使って前記光透過抑制層の表面に形成する工程、前
記バリアリブを焼成する工程を備えるようにした。In the PDP manufacturing method of the thirteenth invention, a step of forming a light transmission suppressing layer for suppressing light transmission on the surface of the rear substrate on which the discharge electrodes are formed, and a barrier rib made of a photosensitive material are used. A step of forming on the surface of the permeation suppression layer and a step of firing the barrier rib were provided.
【0039】また、第14の発明のPDPの製造方法は
背面基板上に形成された誘電体層の表面に光の透過を抑
える光透過抑制効果を有する光透過抑制層を形成する工
程、バリアリブを感光性材料を使って前記光透過抑制層
の表面に形成する工程、前記バリアリブを焼成する工程
を備えるようにした。Further, in the PDP manufacturing method of the fourteenth invention, a step of forming a light transmission suppressing layer having a light transmission suppressing effect for suppressing light transmission on the surface of the dielectric layer formed on the rear substrate, and a barrier rib are provided. The method includes a step of forming a photosensitive material on the surface of the light transmission suppressing layer and a step of firing the barrier rib.
【0040】また、第15の発明のPDPの製造方法は
放電電極が形成された前面透明基板または背面基板の表
面にバリアリブの材質に比べ軟化点温度の低い接着層を
形成する工程、バリアリブを形成するための型枠を前記
接着層の表面に形成する工程、前記型枠を使って熱硬化
材料でバリアリブを形成する工程、前記型枠を除去する
工程、前記バリアリブを焼成する工程を備えるようにし
た。In the PDP manufacturing method of the fifteenth invention, a step of forming an adhesive layer having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib on the surface of the front transparent substrate or the rear substrate on which the discharge electrode is formed, and the barrier rib are formed. A step of forming a mold on the surface of the adhesive layer, a step of forming a barrier rib with a thermosetting material using the mold, a step of removing the mold, and a step of firing the barrier rib. did.
【0041】また、第16の発明のPDPの製造方法は
基板上に形成された誘電体層の表面にバリアリブの材質
に比べ軟化点温度の低い接着層を形成する工程、バリア
リブを形成するための型枠を前記接着層の表面に形成す
る工程、前記型枠を使って熱硬化材料でバリアリブを形
成する工程、前記型枠を除去する工程、前記バリアリブ
を焼成する工程を備えるようにした。In the PDP manufacturing method of the sixteenth invention, a step of forming an adhesive layer having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib on the surface of the dielectric layer formed on the substrate, and forming the barrier rib. A step of forming a mold on the surface of the adhesive layer, a step of forming barrier ribs with a thermosetting material using the mold, a step of removing the mold, and a step of firing the barrier ribs were performed.
【0042】また、第17の発明のPDPの製造方法は
前記第15または第16の発明のPDPに係わる製造方
法において、バリアリブの材料として熱硬化材料に代え
て感光性材料を使うようにした。The PDP manufacturing method of the seventeenth invention is the manufacturing method of the PDP of the fifteenth or sixteenth invention, wherein a photosensitive material is used as the material of the barrier rib instead of the thermosetting material.
【0043】また、第18の発明のPDPの製造方法は
放電電極が形成された前面透明基板または背面基板の表
面にバリアリブの材質に比べ軟化点温度の低い接着層を
形成する工程、バリアリブを熱硬化材料を使って前記接
着層の表面に形成する工程、前記バリアリブを焼成する
工程を備えるようにした。In the PDP manufacturing method of the eighteenth invention, a step of forming an adhesive layer having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib on the surface of the front transparent substrate or the rear substrate on which the discharge electrode is formed, and the barrier rib is heated. A step of forming on the surface of the adhesive layer using a curable material and a step of firing the barrier rib are provided.
【0044】また、第19の発明のPDPの製造方法は
基板上に形成された誘電体層の表面にバリアリブの材質
に比べ軟化点温度の低い接着層を形成する工程、バリア
リブを熱硬化材料を使って前記接着層の表面に形成する
工程、前記バリアリブを焼成する工程を備えるようにし
た。In the PDP manufacturing method of the nineteenth invention, a step of forming an adhesive layer having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib on the surface of the dielectric layer formed on the substrate, and the barrier rib is made of a thermosetting material. A step of forming the adhesive layer on the surface of the adhesive layer and a step of firing the barrier rib are provided.
【0045】さらに、第20の発明のPDPの製造方法
は前記第18または第19の発明のPDPに係わる製造
方法において、バリアリブの材料として熱硬化材料に代
えて感光性材料を使うようにした。Further, the manufacturing method of the PDP of the twentieth invention is the manufacturing method according to the PDP of the eighteenth or nineteenth invention, wherein a photosensitive material is used as the material of the barrier rib instead of the thermosetting material.
【0046】[0046]
実施形態1 以下、この発明の一実施形態を図1を用いて説明する。
図1は本実施形態のAC型PDPの構造の一部を示す部
分断面図である。図1において23は第2の放電電極2
2上に形成された放電電荷を蓄積する誘電体層で、本実
施形態では例えば製造上3つの層23a、23b、23
cからなるものとし、そのうち層23cは紫外線の透過
を抑制する性能を有する光透過抑制層とするとともに、
バリアリブ3の材質に比べ軟化点温度の低い無機質材が
用いられ、バリアリブ3の形成に際し、バリアリブ3と
誘電体層23との密着強度を昂進する接着層として機能
する。Embodiment 1 An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a part of the structure of the AC PDP of this embodiment. In FIG. 1, 23 is the second discharge electrode 2
2 is a dielectric layer for accumulating discharge charges, which is formed on the second layer 2. In this embodiment, for example, three layers 23a, 23b, and 23 are provided for manufacturing.
c, of which the layer 23c is a light transmission suppressing layer having a property of suppressing the transmission of ultraviolet rays,
An inorganic material having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib 3 is used, and when the barrier rib 3 is formed, it functions as an adhesive layer that promotes the adhesion strength between the barrier rib 3 and the dielectric layer 23.
【0047】ここで誘電体層23は3層合わせて交流駆
動方式のプラズマ放電に必要な静電容量を持ち、層23
cは紫外線の透過を抑制するため暗色の顔料を混入され
ているとともに、バリアリブ3に比べて軟化点温度が、
例えば10℃〜50℃程度低い無機質材とする。その他
は図10に示す従来例と同一であるので説明を省略す
る。Here, the three dielectric layers 23 have a capacitance required for AC discharge plasma discharge in combination of the three layers.
c has a dark pigment mixed therein to suppress the transmission of ultraviolet rays, and has a softening point temperature higher than that of the barrier rib 3.
For example, an inorganic material having a low temperature of about 10 ° C to 50 ° C is used. Others are the same as the conventional example shown in FIG.
【0048】なお、本実施形態では紫外線の透過を抑制
する層を23cとしたが、23a、23bのいずれか1
層または任意の2層、あるいは3層全てすなわち誘電体
層と光透過抑制層を兼用することにしてもよい。また、
軟化点温度の低い材料で形成される接着層は23cだけ
でなく、23bさらに23cにも合わせて形成してもよ
い。さらに、誘電体層23の層分割は3層に限られるも
のでもない。さらにまた、光透過抑制層、接着層、誘電
体層のいずれか2層以上を別々に層形成し、基板上の層
の形成順として、誘電体層・光透過抑制層、光透過抑制
層・誘電体層、誘電体層・接着層、誘電体層・光透過抑
制層・接着層、光透過抑制層・誘電体層・接着層のいず
れでもよい。In this embodiment, the layer 23c for suppressing the transmission of ultraviolet rays is 23c, but one of 23a and 23b is used.
A layer or any two layers, or all three layers, that is, the dielectric layer and the light transmission suppressing layer may be combined. Also,
The adhesive layer formed of a material having a low softening point temperature may be formed not only on 23c but also on 23b and 23c. Furthermore, the layer division of the dielectric layer 23 is not limited to three layers. Furthermore, any two or more layers of the light transmission suppressing layer, the adhesive layer, and the dielectric layer are separately formed, and the dielectric layer, the light transmission suppressing layer, the light transmission suppressing layer, Any of a dielectric layer, a dielectric layer / adhesive layer, a dielectric layer / light transmission suppressing layer / adhesive layer, a light transmission suppressing layer / dielectric layer / adhesive layer may be used.
【0049】以上のように構成された紫外線等光の透過
を抑制する暗色の誘電体層23cを有するこの発明によ
るAC型PDPにおいては、写真製版法によりバリアリ
ブ3を形成する場合、感光性有機フィルム5をパターニ
ングする時に、感光性有機フィルム5を通り抜けた紫外
線が吸収されるため、たとえ、放電電極22が反射しや
すい材質であったとしても、感光性有機フィルム5の露
光の不要な部分への戻り光が抑制される。In the AC type PDP according to the present invention having the dark-colored dielectric layer 23c which suppresses the transmission of light such as ultraviolet rays constructed as described above, when the barrier rib 3 is formed by the photoengraving method, the photosensitive organic film is used. Since ultraviolet rays that have passed through the photosensitive organic film 5 are absorbed when the patterning of the photosensitive organic film 5 is performed, even if the discharge electrode 22 is made of a material that is easily reflected, the exposed portion of the photosensitive organic film 5 is not exposed. Return light is suppressed.
【0050】このため、感光性有機フィルム5の露光量
を落とさずにパターニングができるので十分な密着強度
を持った精度の高いバリアリブ3のフィルムパターンが
形成できる。Therefore, since the patterning can be performed without reducing the exposure amount of the photosensitive organic film 5, a highly accurate film pattern of the barrier rib 3 having sufficient adhesion strength can be formed.
【0051】特に、狭ピッチ(例えばパターン幅/パタ
ーン間隔=100μm以下/100μm以下)の高精細
パターンを形成する場合には、アスペクト比が高いた
め、さらに露光による密着強度の確保およびパターン形
状に対する精度が要求されるが、このような場合にも放
電電極から反射して戻ってくる紫外線の影響を受けずに
高いアスペクト比のバリアリブ3のフィルムパターンが
形成できる。In particular, when forming a high-definition pattern with a narrow pitch (for example, pattern width / pattern interval = 100 μm or less / 100 μm or less), the aspect ratio is high, so that the adhesion strength by exposure and the accuracy of the pattern shape can be further ensured. However, even in such a case, the film pattern of the barrier rib 3 having a high aspect ratio can be formed without being affected by the ultraviolet rays reflected and returned from the discharge electrode.
【0052】このように精度良く形成されたフィルムパ
ターンは、バリアリブ3を形成するためにそのバリアリ
ブの型枠7にガラス材等を主要組成とするとする無機ペ
ースト8を流し込んで加熱、乾燥させた時、フィルムパ
ターン底面部の浮き上がりや、裾広がりが抑制されるた
め、底面の密着性良く無機ペースト8を材料とするバリ
アリブ3のパターンを形成することができる。The film pattern thus formed with high precision is obtained by pouring the inorganic paste 8 containing a glass material or the like as a main composition into the mold 7 of the barrier rib 3 to form the barrier rib 3 and heating and drying the paste. Since the floating of the bottom portion of the film pattern and the spread of the hem are suppressed, the pattern of the barrier rib 3 made of the inorganic paste 8 can be formed with good adhesion on the bottom surface.
【0053】さらに、この無機ペースト8を材料とする
バリアリブ3のパターンは、バリアリブ3の底面の密着
面が良好なため、焼成時の背面基板21等の熱膨張等の
応力にも耐えて精度の良いバリアリブ3に形成される。
また、前記光透過抑制層はPDPの表示動作時におい
て、放電による発光点における、背面基板21上に形成
された第1の放電電極からの乱反射を抑制するので、発
光点の無用な広がりを防ぎ、精度の良い画素とする効果
ももたらす。Further, the pattern of the barrier ribs 3 made of the inorganic paste 8 has a good adhesion surface on the bottom surface of the barrier ribs 3, and therefore can withstand the stress such as thermal expansion of the rear substrate 21 at the time of firing and is accurate. A good barrier rib 3 is formed.
Further, since the light transmission suppressing layer suppresses diffused reflection from the first discharge electrode formed on the rear substrate 21 at the light emitting point due to discharge during the display operation of the PDP, unnecessary extension of the light emitting point is prevented. Also, the effect of making pixels with high precision is brought about.
【0054】また、誘電体層23cはバリアリブ3の材
料である無機ペースト8よりも軟化点温度が例えば10
℃〜50℃程度低いガラス組成としているため、バリア
リブ3の焼成時に誘電体層23cとバリアリブ3との接
合面において接着剤の役目を果たし一層密着強度の高い
バリアリブ3を形成することができる。The dielectric layer 23c has a softening point temperature of, for example, 10 compared with the inorganic paste 8 which is the material of the barrier rib 3.
Since the glass composition has a low temperature of about 50 ° C. to 50 ° C., the barrier rib 3 serves as an adhesive at the joint surface between the dielectric layer 23c and the barrier rib 3 when the barrier rib 3 is fired, and the barrier rib 3 having higher adhesion strength can be formed.
【0055】さらに、バリアリブ3を形成する際、感光
性有機フィルム5でなく、感光性無機ペースト10を使
用する場合にも暗色の誘電体層23cが感光性無機ペー
スト10を通り抜けた紫外線を吸収し、放電電極22か
らの反射を防ぐので同様の効果がある。さらにまた、誘
電体層23cを光透過抑制層または接着層のいずれか一
方の機能を果たすようにしてもよい。なお、前記はAC
型PDPの例を示したが、図1において誘電体層13、
23を省略し、背面基板21とバリアリブ3との間に誘
電体層23cに代えて低誘電率の材質からなる光透過抑
制層または/および接着層を設けるものとすれば、DC
型PDPが得られることは言うまでもない。Further, when the barrier rib 3 is formed, when the photosensitive inorganic paste 10 is used instead of the photosensitive organic film 5, the dark-colored dielectric layer 23c absorbs the ultraviolet rays passing through the photosensitive inorganic paste 10. Since the reflection from the discharge electrode 22 is prevented, the same effect can be obtained. Furthermore, the dielectric layer 23c may function as either the light transmission suppressing layer or the adhesive layer. The above is AC
Although an example of the type PDP is shown, in FIG. 1, the dielectric layer 13,
If 23 is omitted and a light transmission suppressing layer and / or an adhesive layer made of a material having a low dielectric constant is provided between the rear substrate 21 and the barrier rib 3 instead of the dielectric layer 23c, DC
It goes without saying that a type PDP can be obtained.
【0056】実施形態2 図2は本発明の第2の実施形態であるDC型PDPの構
造の一部を示す部分断面図である。図2において図1と
異なる構成は、誘電体層13、23が無いことと、背面
基板21の表面に形成された、バリアリブ3の材質に比
べ軟化点温度が例えば10℃〜50℃程度低くなってい
る接着層9を備えたことであり、放電電極22およびバ
リアリブ3はこの接着層9の表面に形成される。なお、
接着層9の主要組成はガラスフリット(ガラス質材料)
等の無機質材である。Embodiment 2 FIG. 2 is a partial sectional view showing a part of the structure of a DC type PDP which is a second embodiment of the present invention. 2 is different from that of FIG. 1 in that the dielectric layers 13 and 23 are not provided and that the softening point temperature is lower by, for example, about 10 ° C. to 50 ° C. than the material of the barrier rib 3 formed on the surface of the rear substrate 21. That is, the discharge electrode 22 and the barrier rib 3 are formed on the surface of the adhesive layer 9. In addition,
The main composition of the adhesive layer 9 is a glass frit (glassy material).
And other inorganic materials.
【0057】実施形態3 図3は本発明の第3の実施形態であるDC型PDPの構
造の一部を示す部分断面図である。図3において図2と
異なる構成は、背面基板21の表面に形成されたバリア
リブ3の材質に比べ軟化点温度が例えば10℃〜50℃
程度低くなっている接着層9が、第2の放電電極22上
に層が形成されないように放電電極パターンを避けて形
成されていることであり、バリアリブ3はこの接着層9
上に形成される。Embodiment 3 FIG. 3 is a partial sectional view showing a part of the structure of a DC type PDP which is a third embodiment of the present invention. In FIG. 3, the configuration different from that of FIG. 2 has a softening point temperature of, for example, 10 ° C. to 50 ° C. as compared with the material of the barrier ribs 3 formed on the surface of the back substrate 21.
That is, the adhesive layer 9 which is lowered to some extent is formed so as to avoid the discharge electrode pattern so that a layer is not formed on the second discharge electrode 22, and the barrier rib 3 has the adhesive layer 9 formed thereon.
Formed on top.
【0058】なお、実施形態1、2および3ではバリア
リブ3を第2の放電電極22に平行に形成するとした
が、第1の放電電極12に平行としてもよく、また、バ
リアリブ3をストライプ状でなく格子状あるいはドット
マトリックスの枠状に形成しても差し支えないことは言
うまでもない。In the first, second and third embodiments, the barrier rib 3 is formed in parallel with the second discharge electrode 22, but it may be formed in parallel with the first discharge electrode 12, and the barrier rib 3 has a stripe shape. Needless to say, it may be formed in a grid shape or a dot matrix frame shape.
【0059】実施形態4 次に、本発明によるAC型PDPの製造方法について説
明する。図4はAC型PDPの製造工程のうちの本発明
に関係するバリアリブ3の形成工程において、バリアリ
ブ3の型枠のパターンの形成に写真製版法を使用する例
である。Embodiment 4 Next, a method of manufacturing an AC PDP according to the present invention will be described. FIG. 4 shows an example in which a photolithography method is used for forming the pattern of the frame of the barrier rib 3 in the step of forming the barrier rib 3 related to the present invention in the manufacturing process of the AC type PDP.
【0060】先ず図4(a)のように、従来と同様の手
法により基板11、21の表面に放電電極12、22を
形成する。First, as shown in FIG. 4A, the discharge electrodes 12 and 22 are formed on the surfaces of the substrates 11 and 21 by a method similar to the conventional one.
【0061】次に、図4(b)に示すように、放電電極
22が形成された背面基板21上に誘電体層23を形成
する。この誘電体層23の形成は従来と同様に厚膜スク
リーン印刷法により行われる。すなわち、ペースト状に
した誘電体ペーストを、放電電極が形成された背面基板
21の放電電極形成面上に印刷し、その後焼成して誘電
体ペースト中の有機成分を分解飛散させて均質な誘電体
層23を形成する。AC型PDPとして所望の誘電体層
の膜厚を得るためには前記操作を数回繰り返す。Next, as shown in FIG. 4B, a dielectric layer 23 is formed on the rear substrate 21 on which the discharge electrodes 22 are formed. The dielectric layer 23 is formed by the thick film screen printing method as in the conventional case. That is, a paste-like dielectric paste is printed on the surface of the rear substrate 21 on which the discharge electrodes are formed, and then fired to decompose and scatter the organic components in the dielectric paste to form a uniform dielectric. Form layer 23. The above operation is repeated several times in order to obtain a desired thickness of the dielectric layer as the AC PDP.
【0062】本実施形態においては、前記工程で使用す
る誘電体ペーストは、暗色の顔料を混入させるととも
に、ベース材であるガラス材等の組成材料としてバリア
リブ3の材質に比べて軟化点温度が例えば10℃〜50
℃程度低い無機質材を選択する。なお、無機質材の選択
にあたっては、誘電率等の電気特性の変動を少ないもの
を選択することが望ましい。本実施形態では、誘電体層
23は例えば3つの層23a、23b、23cからなる
ものとし、そのうち層23cを紫外線の透過を抑制する
性能を有する光透過抑制層とするとともに、バリアリブ
3の材質に比べ軟化点温度の低い無機質材を選択する。
なお暗色顔料を混入して紫外線の透過を抑制する誘電体
層を23cとしているが、23a、23bのいずれか1
層または任意の2層、あるいは3層全てすなわち誘電体
層と光透過抑制層とを兼用することにしてもよい。さら
に誘電体層の層分割は3層に限らない。また無機質材は
23cだけでなく、23a、23bにも合わせて適用し
てもよい。以後は図12(c)〜(g)に示す従来の工
程と同一の工程を経て、バリアリブ3が形成される。In the present embodiment, the dielectric paste used in the above step is mixed with a dark pigment and has a softening point temperature of, for example, a composition material such as a glass material as a base material as compared with the material of the barrier rib 3. 10 ° C to 50
Select an inorganic material that is about ℃ low. When selecting the inorganic material, it is desirable to select one having a small variation in electric characteristics such as dielectric constant. In the present embodiment, the dielectric layer 23 is composed of, for example, three layers 23a, 23b, and 23c. Of these, the layer 23c is a light transmission suppressing layer having a performance of suppressing the transmission of ultraviolet rays, and the barrier rib 3 is made of a material. Select an inorganic material with a lower softening point temperature.
It is to be noted that the dielectric layer 23c that suppresses the transmission of ultraviolet rays by mixing a dark color pigment is 23c.
A layer or arbitrary two layers, or all three layers, that is, the dielectric layer and the light transmission suppressing layer may be combined. Furthermore, the layer division of the dielectric layer is not limited to three layers. Further, the inorganic material may be applied not only to 23c but also to 23a and 23b. After that, the barrier rib 3 is formed through the same steps as the conventional steps shown in FIGS.
【0063】また本実施形態では誘電体層に光透過を抑
制する機能と低軟化点温度になる機能を、合わせ持たせ
たが各機能単独に持たせてもよいことは言うまでもな
い。Further, in the present embodiment, the function of suppressing light transmission and the function of lowering the softening point temperature are provided together in the dielectric layer, but it goes without saying that each function may be provided independently.
【0064】ところで、本実施形態では、誘電体層23
はベース材であるガラス材等の組成材料としてバリアリ
ブ3の材質に比べて軟化点温度が例えば10℃〜50℃
程度低い無機質材を用いているので、焼成、固着工程に
おいて、図4(h)に強調して示すように、バリアリブ
3は焼成時の熱により軟化した誘電体層23に少し沈み
込むように形成されるので、バリアリブ3の基板への密
着強度の向上に寄与する。By the way, in the present embodiment, the dielectric layer 23
Is a composition material such as a glass material as a base material and has a softening point temperature of, for example, 10 ° C. to 50 ° C. as compared with the material of the barrier rib 3.
Since a low inorganic material is used, the barrier ribs 3 are formed so as to slightly sink into the dielectric layer 23 softened by the heat during firing, as highlighted in FIG. Therefore, it contributes to the improvement of the adhesion strength of the barrier rib 3 to the substrate.
【0065】バリアリブ3の形成された背面基板21と
放電電極12および誘電体層13が形成された前面透明
基板11を、両基板の放電電極12、22が交差し、両
放電電極合わせてマトリックス配置になるように重ね合
せることにより、バリアリブ3を両基板11、21上の
誘電体層13、23の間に配した画素となる放電空間が
確保される。この状態で両基板11、21の周囲を気密
封止した後、前記放電空間に発光ガス4を封入、再封止
することにより図1に示すAC型PDPが完成される。
なお、前記製造方法のうち誘電体層23を形成する工程
を省略すればDC型PDPが得られることは言うまでも
ない。また、バリアリブ形成の工程において、従来例の
12図(f)に示す無機ペースト8の代わりに実施形態
5に示す感光性無機ペースト10を使用することも可能
である。The rear substrate 21 having the barrier ribs 3 and the front transparent substrate 11 having the discharge electrodes 12 and the dielectric layer 13 intersect the discharge electrodes 12 and 22 of both substrates, and the discharge electrodes 12 and 22 are arranged in a matrix. By stacking the barrier ribs 3 so that the barrier ribs 3 are arranged between the dielectric layers 13 and 23 on both the substrates 11 and 21, a discharge space to be a pixel is secured. In this state, the periphery of both the substrates 11 and 21 is hermetically sealed, and then the discharge space is filled with the luminescent gas 4 and resealed to complete the AC PDP shown in FIG.
It goes without saying that a DC type PDP can be obtained by omitting the step of forming the dielectric layer 23 in the manufacturing method. Further, in the step of forming the barrier rib, it is possible to use the photosensitive inorganic paste 10 shown in Embodiment 5 instead of the inorganic paste 8 shown in FIG.
【0066】実施形態5 図5はバリアリブ3の形成に感光性無機ペースト10を
使う厚膜スクリーン印刷法を使用する例である。放電電
極12、22および誘電体層13、23の形成は従来例
または実施形態4と同様の手法により形成する。Embodiment 5 FIG. 5 shows an example in which a thick film screen printing method using a photosensitive inorganic paste 10 is used for forming the barrier rib 3. The discharge electrodes 12 and 22 and the dielectric layers 13 and 23 are formed by the same method as in the conventional example or the fourth embodiment.
【0067】次に、図5(a)に示すように、この誘電
体層23が形成された背面基板21の上にバリアリブ3
の原材料となる感光性無機ペースト10を形成する。こ
の感光性無機ペーストは特開平2ー99585号公報に
示されるような紫外線が照射されると硬化するネガ型の
感光性材料で、無機成分としてのガラスフリットにビヒ
クルとしてのアクリル系樹脂またはセルロース系誘導体
を有機高分子結合体としたものであり、この感光性無機
ペースト10を紫外線透過が抑制された誘電体層23の
表面に厚膜スクリーン印刷法を用いて成膜する。厚膜ス
クリーン印刷はステンレスメッシュのスクリーン版を使
って、誘電体層23の表面に感光性無機ペースト10を
印刷した後、例えば温度80℃で30分間乾燥を行うこ
とにより1層が成膜する。1層を形成する1サイクルで
数10μmの膜厚となるので、必要なバリアリブ高さを
得るために必要なサイクルを繰り返す。Next, as shown in FIG. 5A, the barrier rib 3 is formed on the rear substrate 21 on which the dielectric layer 23 is formed.
A photosensitive inorganic paste 10 that is a raw material of is formed. This photosensitive inorganic paste is a negative-type photosensitive material that is cured when exposed to ultraviolet rays as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-99585, and is composed of a glass frit as an inorganic component, an acrylic resin or a cellulosic resin as a vehicle. The derivative is an organic polymer binder, and the photosensitive inorganic paste 10 is formed on the surface of the dielectric layer 23 in which ultraviolet ray transmission is suppressed by a thick film screen printing method. In thick film screen printing, a stainless mesh screen plate is used to print the photosensitive inorganic paste 10 on the surface of the dielectric layer 23, and then dried at a temperature of 80 ° C. for 30 minutes to form one layer. Since the film thickness of several tens of μm is obtained in one cycle of forming one layer, the cycle necessary to obtain the required barrier rib height is repeated.
【0068】次に、図5(b)、(c)に示すように、
所望のバリアリブ3のパターン形状を紫外線透過パター
ンとしたフォトマスク6を介して紫外線を照射を行い、
感光性硬化樹脂とガラス材からなる感光性無機ペースト
10の残したいパターン部分、すなわちバリアリブ3の
パターン形状を露光、硬化させ露光部10bを得る。そ
の後、不要となる感光性無機ペーストの非露光部10a
を現像液を用いて除去する。Next, as shown in FIGS. 5 (b) and 5 (c),
Ultraviolet rays are radiated through a photomask 6 in which a desired barrier rib 3 pattern shape is an ultraviolet transmission pattern,
The pattern portion to be left, that is, the pattern shape of the barrier rib 3 of the photosensitive inorganic paste 10 made of the photosensitive curable resin and the glass material is exposed and cured to obtain the exposed portion 10b. Then, the non-exposed portion 10a of the photosensitive inorganic paste that becomes unnecessary
Are removed using a developing solution.
【0069】さらに、この露光部10bに対して乾燥工
程を行なった後、500℃〜600℃の温度で焼成して
有機成分を分解飛散させることにより、図5(d)に示
すようにバリアリブ3が形成される。この感光性無機ペ
ースト10を使用した厚膜スクリーン印刷法によるバリ
アリブ製造法においても、誘電体層23が通常の通り透
明あるいは半透明のときには、放電電極22からの紫外
線の乱反射が、バリアリブ3のパターン形成の精度に大
きな影響を及ぼすので誘電体層23cを暗色にする効果
は大きい。本例では感光性無機ペースト10が紫外線照
射により硬化するネガ型の感光性材料として説明した
が、紫外線照射部分が現像液に溶けやすくなるポジ型の
感光性材料とした場合にはフォトマスク6の紫外線透過
パターンが反転するため、紫外線の照射光の第2の放電
電極22による乱反射量は増大するので、誘電体層23
cを暗色にする効果はさらに大きい。なお、前記製造方
法のうち誘電体層23を形成する工程を省略すればDC
型PDPが得られることは言うまでもない。Further, after the exposed portion 10b is subjected to a drying process, it is baked at a temperature of 500 ° C. to 600 ° C. to decompose and scatter the organic components, so that the barrier rib 3 is formed as shown in FIG. 5 (d). Is formed. Even in the barrier rib manufacturing method by the thick film screen printing method using the photosensitive inorganic paste 10, when the dielectric layer 23 is transparent or translucent as usual, diffuse reflection of ultraviolet rays from the discharge electrode 22 causes the pattern of the barrier rib 3. Since the formation accuracy is greatly affected, the effect of making the dielectric layer 23c dark is great. In this example, the photosensitive inorganic paste 10 has been described as a negative photosensitive material that is cured by irradiation with ultraviolet rays. However, in the case of a positive photosensitive material in which an ultraviolet irradiated portion is easily dissolved in a developing solution, the photomask 6 of Since the ultraviolet ray transmission pattern is reversed, the amount of diffused reflection of the ultraviolet ray irradiation light by the second discharge electrode 22 increases, so that the dielectric layer 23
The effect of darkening c is even greater. If the step of forming the dielectric layer 23 in the manufacturing method is omitted, DC
It goes without saying that a type PDP can be obtained.
【0070】実施形態6 図6はバリアリブの型枠パターンの形成後に、感光性無
機ペースト10をバリアリブの型枠7に流し込み、バリ
アリブ3を形成する例である。図6(a)に示すよう
に、従来例と同様の工程で得られたバリアリブの型枠7
に、バリアリブの原材料となる感光性無機ペースト10
を、ヘラなどを使って流し込んだ後、100〜150℃
程度の温度で加熱して乾燥、硬化させる。Embodiment 6 FIG. 6 shows an example of forming the barrier rib 3 by pouring the photosensitive inorganic paste 10 into the barrier rib mold 7 after forming the barrier rib mold frame pattern. As shown in FIG. 6A, the barrier rib mold 7 obtained in the same process as the conventional example.
In addition, the photosensitive inorganic paste 10 as a raw material for the barrier ribs
After pouring with a spatula, 100-150 ℃
It is heated at about a temperature to dry and cure.
【0071】次に、図6(b)に示すように、全面に紫
外線光を照射して、感光性無機ペースト10を露光、硬
化させる。この状態で従来例に示す現像液に対して、感
光性有機フィルムで形成されたバリアリブの型枠7は可
溶、感光性無機ペースト10は不溶となり、図6(c)
に示すようにバリアリブ3が形成される。Next, as shown in FIG. 6B, the entire surface is irradiated with ultraviolet light to expose and cure the photosensitive inorganic paste 10. In this state, the mold 7 of the barrier rib formed of the photosensitive organic film becomes soluble and the photosensitive inorganic paste 10 becomes insoluble in the developer shown in FIG.
Barrier ribs 3 are formed as shown in FIG.
【0072】本実施形態においても、感光性材料を使う
バリアリブ3の形成工程において、放電電極22からの
紫外線の乱反射が、バリアリブ3のパターン形成の精度
に大きな影響を及ぼすので誘電体層23cを暗色にする
効果は大きい。なお、前記製造方法のうち誘電体層23
を形成する工程を省略すればDC型PDPが得られるこ
とは言うまでもない。Also in this embodiment, in the process of forming the barrier rib 3 using the photosensitive material, the irregular reflection of the ultraviolet rays from the discharge electrode 22 has a great influence on the accuracy of the pattern formation of the barrier rib 3, so that the dielectric layer 23c is colored dark. It has a great effect. The dielectric layer 23 in the manufacturing method
It goes without saying that a DC type PDP can be obtained by omitting the step of forming.
【0073】実施形態7 図7は無機ペースト8を使う厚膜スクリーン印刷法を使
用してバリアリブ3を形成する例である。Embodiment 7 FIG. 7 shows an example in which the barrier rib 3 is formed by using the thick film screen printing method using the inorganic paste 8.
【0074】図7(a)、(b)に示すように、実施形
態4と同様の工程で得られた誘電体層23上に、従来例
で示したように厚膜スクリーン印刷法によりバリアリブ
3を形成する。なお、本実施形態では誘電体層23cは
低軟化点温度の無機質材であればよく必ずしも暗色であ
る必要はない。As shown in FIGS. 7A and 7B, the barrier rib 3 is formed on the dielectric layer 23 obtained by the same process as in the fourth embodiment by the thick film screen printing method as shown in the conventional example. To form. In this embodiment, the dielectric layer 23c may be an inorganic material having a low softening point temperature, and does not necessarily have a dark color.
【0075】この無機ペースト8を使う厚膜スクリーン
印刷法を使用するバリアリブ製造法においても、誘電体
層23cの軟化点温度がバリアリブ3の組成である無機
ペースト8に比べて低くしてあるので前記焼成時のバリ
アリブの底面部の下地である誘電体層23に対する密着
強度が高くなりバリアリブ3の生産性向上への効果は大
きい。また、軟化点温度の低い材料で形成される接着層
は23cだけでなく、23a、23bにも合わせて形成
してもよい。さらに、誘電体層23の層分割は3層に限
られるものでもない。なお、前記はAC型PDPの例を
示したが、図7において誘電体層23を省略し、背面基
板21とバリアリブ3との間に接着層9を設けるものと
すれば、DC型PDPが得られることは言うまでもな
い。Also in the barrier rib manufacturing method using the thick film screen printing method using the inorganic paste 8, the softening point temperature of the dielectric layer 23c is set lower than that of the inorganic paste 8 having the composition of the barrier rib 3. Since the adhesion strength of the bottom surface of the barrier rib to the dielectric layer 23 which is the base at the time of firing is increased, the effect of improving the productivity of the barrier rib 3 is great. Further, the adhesive layer formed of a material having a low softening point temperature may be formed not only on 23c but also on 23a and 23b. Furthermore, the layer division of the dielectric layer 23 is not limited to three layers. Although the example of the AC type PDP has been described above, if the dielectric layer 23 is omitted in FIG. 7 and the adhesive layer 9 is provided between the rear substrate 21 and the barrier rib 3, a DC type PDP is obtained. It goes without saying that it will be done.
【0076】実施形態8 図8はDC型PDPの製造工程のうちの本発明に関係す
るバリアリブ3の形成工程において、バリアリブ3の形
成の下地となる基板11、21上に接着層9を形成する
際、感光性無機ペースト10を使う写真製版法を使用す
る例である。本製法は、一般にバリアリブ3のパターン
が比較的緻密なときに用いられる。Embodiment 8 FIG. 8 shows the step of forming the barrier rib 3 related to the present invention in the manufacturing process of the DC type PDP, in which the adhesive layer 9 is formed on the substrates 11 and 21 which are the bases for forming the barrier rib 3. At this time, this is an example of using a photoengraving method using the photosensitive inorganic paste 10. This manufacturing method is generally used when the pattern of the barrier ribs 3 is relatively dense.
【0077】本実施形態においては、従来のDC型PD
Pの製造工程に対し、放電電極12、22が形成された
前面透明基板11または背面基板21上にバリアリブ3
の組成材に比べて軟化点温度の低い接着層9を形成する
工程を追加する。接着層9の原料となる感光性無機ペー
スト10は、ベース材であるガラス材等の組成材料とし
てバリアリブ3の材質に比べて軟化点温度が例えば10
℃〜50℃程度低い無機質材を選択する。In this embodiment, the conventional DC type PD
In the manufacturing process of P, the barrier rib 3 is formed on the front transparent substrate 11 or the rear substrate 21 on which the discharge electrodes 12 and 22 are formed.
The step of forming the adhesive layer 9 having a lower softening point temperature than that of the composition material is added. The photosensitive inorganic paste 10 as a raw material of the adhesive layer 9 has a softening point temperature of, for example, 10 as compared with the material of the barrier rib 3 as a composition material such as a glass material as a base material.
An inorganic material having a low temperature of about 50 ° C to 50 ° C is selected.
【0078】図8(a)に示すように、DC型PDPの
放電性能上、放電電極上に誘電体層となるような接着層
9が形成されないようにする必要があるので、実施形態
5に示すバリアリブ3の形成に感光性無機ペースト10
を使った写真製版法と同様の手順で、バリアリブ3を形
成するパターンあるいは放電電極12、22を回避した
パターンを紫外線透過パターンとしたフォトマスク6を
介して紫外線を照射を行い、感光性硬化樹脂とガラス材
からなる感光性無機ペースト10の残したいパターン部
分、すなわち所望の接着層パターンを露光、硬化させ
る。その後、図8(b)に示すように、不要となる感光
性無機ペースト10の非露光部分を現像液を用いて除去
した後、露光部分を焼成、固着させる処理を行う。接着
層9の厚みは20μm以下が望ましい。続いてこの接着
層9の上に、前記した図7(a)、(b)と同様の手法
により、図8(c)の工程を経由して、図8(d)に示
すようにバリアリブ3が形成される。なお、前記例にお
いて接着層9の原材料として、感光性無機ペースト10
の代わりに実施形態7と同様に無機ペースト8を使用す
ることも可能である。As shown in FIG. 8A, in view of the discharge performance of the DC type PDP, it is necessary not to form the adhesive layer 9 which becomes the dielectric layer on the discharge electrode. The photosensitive inorganic paste 10 is used to form the barrier ribs 3 shown.
In the same procedure as the photoengraving method using, the ultraviolet rays are radiated through the photomask 6 in which the pattern forming the barrier ribs 3 or the pattern avoiding the discharge electrodes 12 and 22 is used as the ultraviolet transmitting pattern, and the photosensitive cured resin is irradiated. A pattern portion to be left of the photosensitive inorganic paste 10 made of a glass material, that is, a desired adhesive layer pattern is exposed and cured. After that, as shown in FIG. 8B, after removing the unexposed portion of the photosensitive inorganic paste 10 that is no longer needed by using a developing solution, the exposed portion is baked and fixed. The thickness of the adhesive layer 9 is preferably 20 μm or less. Subsequently, as shown in FIG. 8 (d), the barrier rib 3 is formed on the adhesive layer 9 by the same method as that shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b), via the step of FIG. 8 (c). Is formed. In the above example, the photosensitive inorganic paste 10 is used as the raw material of the adhesive layer 9.
It is also possible to use the inorganic paste 8 instead of the same as in the seventh embodiment.
【0079】感光性材料を使う前記実施形態の説明で
は、紫外線照射により露光、硬化するネガ型としたが、
露光部が現像液に対し、溶解、除去しやすくなるポジ型
を使っても何ら問題の無いことはいうまでもない。In the above description of the embodiment using the photosensitive material, the negative type which is exposed and cured by ultraviolet irradiation is used.
It goes without saying that there is no problem even if a positive type is used, in which the exposed portion is easily dissolved and removed in the developing solution.
【0080】また、以上の各実施形態では、放電電極の
構成がマトリックス的に対向する対向放電形式のPDP
に本発明を同様に適用した場合を説明してきたが、図9
に示す面放電形式のPDPの場合においても本発明を同
様に適用することができる。図9は面放電形式のPDP
の構造の一部を示す部分断面図であり、(a)と(b)
とはPDP面を90°回転させた関係にあり、(a)は
ストライプ状に形成されたバリアリブに対し直角に切断
した面を示し、(b)はバリアリブに平行に切断した面
を示す。対向放電のPDPと面放電のPDPの構造的差
異は前面透明基板11上に、第1の放電電極12a、1
2bが誘電体層13で絶縁された状態で平行する1対の
電極として形成され、また放電位置を制御するためのア
ドレス電極となる第2の放電電極22が背面基板21上
に形成されていることであり、第1の放電電極12a、
12b間と第2の放電電極22との交点pにおいて放電
発光を行う。なお、背面基板21上に形成されている接
着層9は、前記各実施形態と同じく軟化点温度がバリア
リブ3に比べて低い材質で作られている。またこの接着
層9に光の透過を抑制する機能を持たせてもよい。さら
に、接着層9の代わりに光透過抑制層を設けてもよい。
以上のとおり面放電形式のPDPに本発明を適用するこ
とにより、バリアリブを形成する際、前記対向放電形式
のPDPに適用した場合と同様の効果を得ることができ
る。Further, in each of the above-mentioned embodiments, the discharge electrodes are arranged in a matrix, and the discharge electrodes are opposed to each other.
The case where the present invention is similarly applied to FIG. 9 has been described.
The present invention can be similarly applied to the surface discharge type PDP shown in FIG. Figure 9 shows a surface discharge type PDP.
FIG. 3A is a partial cross-sectional view showing a part of the structure of FIG.
Is a relationship obtained by rotating the PDP surface by 90 °, (a) shows a surface cut at right angles to the barrier ribs formed in stripes, and (b) shows a surface cut parallel to the barrier ribs. The structural difference between the facing discharge PDP and the surface discharge PDP is that the first discharge electrode 12a, 1 is formed on the front transparent substrate 11.
2b is formed as a pair of parallel electrodes insulated from each other by the dielectric layer 13, and a second discharge electrode 22 serving as an address electrode for controlling the discharge position is formed on the rear substrate 21. That is, the first discharge electrode 12a,
Discharge light emission is performed at the intersection point p between the second discharge electrode 22 and between 12b. The adhesive layer 9 formed on the back substrate 21 is made of a material having a softening point temperature lower than that of the barrier rib 3 as in the above-described embodiments. Further, the adhesive layer 9 may have a function of suppressing light transmission. Further, a light transmission suppressing layer may be provided instead of the adhesive layer 9.
As described above, by applying the present invention to the surface discharge type PDP, it is possible to obtain the same effect as when applied to the opposed discharge type PDP when forming the barrier rib.
【0081】[0081]
【発明の効果】第1の発明によれば、バリアリブと背面
基板との間に光透過抑制層を備えたので、感光性材料を
使ってバリアリブを形成する際、放電電極からの紫外線
の反射が抑制され、高精度で密着強度の高いバリアリブ
を有するPDPを得ることができる。According to the first aspect of the present invention, since the light transmission suppressing layer is provided between the barrier rib and the rear substrate, when the barrier rib is formed using a photosensitive material, the reflection of ultraviolet rays from the discharge electrode is prevented. It is possible to obtain a PDP having barrier ribs that are suppressed and have high accuracy and high adhesion strength.
【0082】また、第2の発明によれば、前記第1の発
明のPDPに係わる手段において、背面基板と光透過抑
制層との間に放電電荷を蓄積する誘電体層を備えたの
で、この場合においても光透過抑制層の働きにより、感
光性材料を使ってバリアリブを形成する際、放電電極か
らの紫外線の反射が抑制され、高精度で密着強度の高い
バリアリブを有するPDPを得ることができる。Further, according to the second invention, in the means relating to the PDP of the first invention, the dielectric layer for accumulating the discharge charge is provided between the rear substrate and the light transmission suppressing layer. Even in such a case, when the barrier rib is formed using a photosensitive material by the function of the light transmission suppressing layer, reflection of ultraviolet rays from the discharge electrode is suppressed, and a PDP having a barrier rib with high accuracy and high adhesion strength can be obtained. .
【0083】また、第3の発明によれば、前記第1の発
明のPDPに係わる手段において、バリアリブと光透過
抑制層の間に放電電荷を蓄積する誘電体層を備えたの
で、この場合においても光透過抑制層の働きにより、感
光性材料を使ってバリアリブを形成する際、放電電極か
らの紫外線の反射が抑制され、高精度で密着強度の高い
バリアリブを有するPDPを得ることができる。Further, according to the third invention, in the means relating to the PDP of the first invention, since the dielectric layer for accumulating the discharge charge is provided between the barrier rib and the light transmission suppressing layer, in this case, Also, due to the function of the light transmission suppressing layer, when a barrier rib is formed using a photosensitive material, reflection of ultraviolet rays from the discharge electrode is suppressed, and a PDP having a barrier rib with high accuracy and high adhesion strength can be obtained.
【0084】また、第4の発明によれば、バリアリブと
背面基板との間に放電電荷を蓄積する機能を有するとと
もに、光の透過を抑える光透過抑制効果を有する誘電体
層を備えたので、感光性材料を使ってバリアリブを形成
する際、放電電極からの紫外線の反射が抑制され、高精
度で密着強度の高いバリアリブを有するPDPを得るこ
とができる。According to the fourth aspect of the invention, since the dielectric layer is provided between the barrier rib and the rear substrate, the dielectric layer has a function of accumulating discharge charges and a light transmission suppressing effect of suppressing light transmission. When forming a barrier rib using a photosensitive material, reflection of ultraviolet rays from the discharge electrode is suppressed, and a PDP having a barrier rib with high accuracy and high adhesion strength can be obtained.
【0085】また、第5の発明によれば、バリアリブと
前面透明基板または背面基板との間にバリアリブの材質
に比べ軟化点温度の低い接着層を備えたので、バリアリ
ブを焼成する際、バリアリブと基板との密着が昂進さ
れ、密着強度の高いバリアリブを有するPDPを得るこ
とができる。Further, according to the fifth invention, since the adhesive layer having a lower softening point temperature than that of the material of the barrier rib is provided between the barrier rib and the front transparent substrate or the rear substrate, the barrier rib and Adhesion with the substrate is promoted, and a PDP having barrier ribs with high adhesion strength can be obtained.
【0086】また、第6の発明によれば、前記第5の発
明のPDPに係わる手段において、前面透明基板または
背面基板と接着層の間に誘電体層を備えたので、この場
合においても接着層の働きにより、バリアリブを焼成す
る際、バリアリブと基板との密着が昂進され、密着強度
の高いバリアリブを有するPDPを得ることができる。Further, according to the sixth invention, in the means relating to the PDP of the fifth invention, the dielectric layer is provided between the front transparent substrate or the rear substrate and the adhesive layer. By the function of the layer, when the barrier rib is fired, the adhesion between the barrier rib and the substrate is promoted, and a PDP having the barrier rib with high adhesion strength can be obtained.
【0087】また、第7の発明によれば、前記第5また
は第6の発明のPDPに係わる手段において、接着層に
光の透過を抑える光透過抑制効果を持たせるようにした
ので、感光性材料を使ってバリアリブを形成する際、放
電電極からの紫外線の反射が抑制されるとともに、バリ
アリブを焼成する際、バリアリブと基板との密着が昂進
され、高精度で一層密着強度の高いバリアリブを有する
PDPを得ることができる。According to the seventh aspect of the invention, in the means relating to the PDP of the fifth or sixth aspect of the invention, the adhesive layer is made to have a light transmission suppressing effect for suppressing the transmission of light. When forming a barrier rib using a material, the reflection of ultraviolet rays from the discharge electrode is suppressed, and when the barrier rib is fired, the adhesion between the barrier rib and the substrate is promoted, and the barrier rib has a high accuracy and a higher adhesion strength. A PDP can be obtained.
【0088】また、第8の発明によれば、バリアリブと
前面透明基板または背面基板との間に放電電荷を蓄積す
る機能を有するとともに、バリアリブの材質に比べ軟化
点温度が低い誘電体層を備えたので、バリアリブを焼成
する際、バリアリブと基板との密着が昂進され、密着強
度の高いバリアリブを有するPDPを得ることができ
る。Further, according to the eighth aspect of the present invention, a dielectric layer having a function of accumulating discharge charges between the barrier rib and the front transparent substrate or the rear substrate and having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib is provided. Therefore, when the barrier ribs are fired, the adhesion between the barrier ribs and the substrate is promoted, and a PDP having the barrier ribs with high adhesion strength can be obtained.
【0089】また、第9の発明によれば、前記第8の発
明のPDPに係わる手段において、誘電体層に光の透過
を抑える光透過抑制効果を持たせるようにしたので、感
光性材料を使ってバリアリブを形成する際、放電電極か
らの紫外線の反射が抑制されるとともに、バリアリブを
焼成する際、バリアリブと基板との密着が昂進され、高
精度で一層密着強度の高いバリアリブを有するPDPを
得ることができる。According to the ninth invention, in the means relating to the PDP of the eighth invention, the dielectric layer is made to have the light transmission suppressing effect for suppressing the light transmission, so that the photosensitive material is used. When forming a barrier rib using the PDP, reflection of ultraviolet rays from the discharge electrode is suppressed, and when the barrier rib is fired, the adhesion between the barrier rib and the substrate is promoted, and a PDP having a barrier rib with high accuracy and higher adhesion strength is obtained. Obtainable.
【0090】また、第10の発明の製造方法によれば、
放電電極が形成された背面基板の表面に光の透過を抑え
る光透過抑制層を形成する工程、バリアリブを形成する
ための型枠を、感光性材料を使って前記光透過抑制層の
表面に形成する工程、前記型枠を使ってバリアリブを形
成する工程、前記型枠を除去する工程、前記バリアリブ
を焼成する工程を備えるようにしたので、バリアリブを
形成するための型枠を、感光性材料を使って光透過抑制
層の表面に形成する際、放電電極からの紫外線の反射が
抑制され、高精度で密着強度の高いバリアリブを有する
PDPを製造することができる。According to the manufacturing method of the tenth invention,
Forming a light transmission suppressing layer that suppresses light transmission on the surface of the rear substrate on which the discharge electrodes are formed, and forming a mold for forming barrier ribs on the surface of the light transmission suppressing layer using a photosensitive material. The step of forming a barrier rib using the mold, the step of removing the mold, and the step of baking the barrier rib are performed. Therefore, the mold for forming the barrier rib is made of a photosensitive material. When it is used to form on the surface of the light transmission suppressing layer, reflection of ultraviolet rays from the discharge electrode is suppressed, and a PDP having a barrier rib with high accuracy and high adhesion strength can be manufactured.
【0091】また、第11の発明によれば、背面基板上
に形成された誘電体層の表面に光の透過を抑える光透過
抑制効果を有する光透過抑制層を形成する工程、バリア
リブを形成するための型枠を、感光性材料を使って前記
光透過抑制層の表面に形成する工程、前記型枠を使って
バリアリブを形成する工程、前記型枠を除去する工程、
前記バリアリブを焼成する工程を備えるようにしたの
で、バリアリブを形成するための型枠を、感光性材料を
使って光透過抑制層の表面に形成する際、放電電極から
の紫外線の抑制され、高精度で密着強度の高いバリアリ
ブを有するPDPを製造することができる。According to the eleventh aspect of the invention, the step of forming a light transmission suppressing layer having a light transmission suppressing effect for suppressing the transmission of light on the surface of the dielectric layer formed on the rear substrate, and the barrier rib are formed. A step of forming a mold for the surface of the light transmission suppressing layer using a photosensitive material, a step of forming barrier ribs using the mold, a step of removing the mold,
Since the step of firing the barrier ribs is provided, when a mold for forming the barrier ribs is formed on the surface of the light transmission suppressing layer using a photosensitive material, ultraviolet rays from the discharge electrode are suppressed, It is possible to manufacture a PDP having a barrier rib with high accuracy and high adhesion strength.
【0092】また、第12の発明によれば、前記第10
または第11の発明のPDPに係わる製造方法におい
て、バリアリブの材料として感光性材料を使うようにし
たので、この場合においても光透過抑制層の働きによ
り、バリアリブを形成するための型枠またはバリアリブ
を光透過抑制層の表面に形成する際、放電電極からの紫
外線の反射が抑制され、高精度で密着強度の高いバリア
リブを有するPDPを製造することができる。According to the twelfth invention, the tenth invention is provided.
Alternatively, in the method for manufacturing a PDP of the eleventh invention, since the photosensitive material is used as the material of the barrier rib, the light transmission suppressing layer also functions as a mold or barrier rib for forming the barrier rib in this case. When formed on the surface of the light transmission suppressing layer, reflection of ultraviolet rays from the discharge electrode is suppressed, and a PDP having a barrier rib with high accuracy and high adhesion strength can be manufactured.
【0093】また、第13の発明によれば、放電電極が
形成された背面基板の表面に光の透過を抑える光透過抑
制層を形成する工程、バリアリブを感光性材料を使って
前記光透過抑制層の表面に形成する工程、前記バリアリ
ブを焼成する工程を備えるようにしたので、バリアリブ
を感光性材料を使って光透過抑制層の表面に形成する
際、放電電極からの紫外線の反射が抑制され、高精度で
密着強度の高いバリアリブを有するPDPを製造するこ
とができる。Further, according to the thirteenth invention, a step of forming a light transmission suppressing layer for suppressing light transmission on the surface of the rear substrate on which the discharge electrodes are formed, and the barrier rib is made of a photosensitive material to suppress the light transmission. Since the step of forming on the surface of the layer and the step of baking the barrier rib are provided, when the barrier rib is formed on the surface of the light transmission suppressing layer using a photosensitive material, reflection of ultraviolet rays from the discharge electrode is suppressed. It is possible to manufacture a PDP having a barrier rib with high precision and high adhesion strength.
【0094】また、第14の発明によれば、背面基板上
に形成された誘電体層の表面に光の透過を抑える光透過
抑制効果を有する光透過抑制層を形成する工程、バリア
リブを感光性材料を使って前記光透過抑制層の表面に形
成する工程、前記バリアリブを焼成する工程を備えるよ
うにしたので、バリアリブを感光性材料を使って光透過
抑制層の表面に形成する際、放電電極からの紫外線の反
射が抑制され、高精度で密着強度の高いバリアリブを有
するPDPを製造することができる。According to the fourteenth aspect of the invention, the step of forming a light transmission suppressing layer having a light transmission suppressing effect for suppressing light transmission on the surface of the dielectric layer formed on the rear substrate, and the barrier rib being made of a photosensitive material Since the step of forming the barrier rib on the surface of the light transmission suppressing layer using a material and the step of firing the barrier rib are provided, when forming the barrier rib on the surface of the light transmission suppressing layer using a photosensitive material, the discharge electrode It is possible to manufacture a PDP having barrier ribs with high precision and high adhesion strength, in which reflection of ultraviolet rays from the substrate is suppressed.
【0095】また、第15の発明によれば、放電電極が
形成された前面透明基板または背面基板の表面にバリア
リブの材質に比べ軟化点温度の低い接着層を形成する工
程、バリアリブを形成するための型枠を前記接着層の表
面に形成する工程、前記型枠を使って熱硬化材料でバリ
アリブを形成する工程、前記型枠を除去する工程、前記
バリアリブを焼成する工程を備えるようにしたので、バ
リアリブの型枠を使って熱硬化材料でバリアリブを焼成
する際、バリアリブと基板との密着が昂進され、密着強
度の高いバリアリブを有するPDPを製造することがで
きる。Further, according to the fifteenth invention, a step of forming an adhesive layer having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib on the surface of the front transparent substrate or the rear substrate on which the discharge electrode is formed, the barrier rib is formed. Since the mold is formed on the surface of the adhesive layer, the step of forming barrier ribs with a thermosetting material using the mold, the step of removing the mold, and the step of firing the barrier ribs are performed. When the barrier rib is fired with the thermosetting material using the frame of the barrier rib, the adhesion between the barrier rib and the substrate is promoted, and the PDP having the barrier rib with high adhesion strength can be manufactured.
【0096】また、第16の発明によれば、基板上に形
成された誘電体層の表面にバリアリブの材質に比べ軟化
点温度の低い接着層を形成する工程、バリアリブを形成
するための型枠を前記接着層の表面に形成する工程、前
記型枠を使って熱硬化材料でバリアリブを形成する工
程、前記型枠を除去する工程、前記バリアリブを焼成す
る工程を備えるようにしたので、バリアリブの型枠を使
って熱硬化材料でバリアリブを焼成する際、バリアリブ
と基板との密着が昂進され、密着強度の高いバリアリブ
を有するPDPを製造することができる。According to the sixteenth invention, the step of forming an adhesive layer having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib on the surface of the dielectric layer formed on the substrate, and the mold for forming the barrier rib. Is formed on the surface of the adhesive layer, a step of forming barrier ribs with a thermosetting material using the mold, a step of removing the mold, and a step of firing the barrier ribs. When the barrier ribs are baked with a thermosetting material using a mold, the adhesion between the barrier ribs and the substrate is promoted, and a PDP having barrier ribs with high adhesion strength can be manufactured.
【0097】また、第17の発明によれば、前記第15
または第16の発明のPDPに係わる製造方法におい
て、バリアリブの材料として熱硬化材料に代えて感光性
材料を使うようにしたので、この場合においても接着層
の働きにより、バリアリブを焼成する際、バリアリブと
基板との密着が昂進され、密着強度の高いバリアリブを
有するPDPを製造することができる。According to the seventeenth invention, the fifteenth invention
Alternatively, in the manufacturing method of the PDP of the sixteenth invention, the photosensitive material is used instead of the thermosetting material as the material of the barrier rib. Therefore, even in this case, the barrier rib is used when the barrier rib is fired by the function of the adhesive layer. Adhesion between the substrate and the substrate is promoted, and a PDP having barrier ribs with high adhesion strength can be manufactured.
【0098】また、第18の発明によれば、放電電極が
形成された前面透明基板または背面基板の表面にバリア
リブの材質に比べ軟化点温度の低い接着層を形成する工
程、バリアリブを熱硬化材料を使って前記接着層の表面
に形成する工程、前記バリアリブを焼成する工程を備え
るようにしたので、バリアリブを熱硬化材料を使って焼
成する際、バリアリブと基板との密着が昂進され、高精
度で密着強度の高いバリアリブを有するPDPを製造す
ることができる。According to the eighteenth invention, the step of forming an adhesive layer having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib on the surface of the front transparent substrate or the rear substrate on which the discharge electrode is formed, the barrier rib being a thermosetting material. Since it is provided with a step of forming on the surface of the adhesive layer by using, and a step of baking the barrier rib, when the barrier rib is baked using a thermosetting material, the adhesion between the barrier rib and the substrate is promoted, resulting in high accuracy. Thus, a PDP having a barrier rib with high adhesion strength can be manufactured.
【0099】また、第19の発明によれば、基板上に形
成された誘電体層の表面にバリアリブの材質に比べ軟化
点温度の低い接着層を形成する工程、バリアリブを熱硬
化材料を使って前記接着層の表面に形成する工程、前記
バリアリブを焼成する工程を備えるようにしたので、バ
リアリブを熱硬化材料を使って焼成する際、バリアリブ
と基板との密着が昂進され、高精度で密着強度の高いバ
リアリブを有するPDPを製造することができる。According to the nineteenth invention, the step of forming an adhesive layer having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib on the surface of the dielectric layer formed on the substrate, and the barrier rib is made of a thermosetting material. Since the step of forming on the surface of the adhesive layer and the step of baking the barrier rib are provided, when the barrier rib is baked using a thermosetting material, the adhesion between the barrier rib and the substrate is promoted, and the adhesion strength is highly accurate. A PDP having a high barrier rib can be manufactured.
【0100】さらに、第20の発明によれば、前記第1
8または第19の発明のPDPに係わる製造方法におい
て、バリアリブの材料として熱硬化材料に代えて感光性
材料を使うようにしたので、この場合においても接着層
の働きにより、バリアリブを焼成する際、バリアリブと
基板との密着が昂進され、高精度で密着強度の高いバリ
アリブを有するPDPを製造することができる。Further, according to the twentieth invention, the first
In the method for manufacturing a PDP of the 8th or 19th invention, a photosensitive material is used as the material of the barrier rib instead of the thermosetting material. Therefore, even in this case, when the barrier rib is baked by the action of the adhesive layer, Adhesion between the barrier rib and the substrate is promoted, and a PDP having a barrier rib with high accuracy and high adhesion strength can be manufactured.
【図1】 この発明に係わるAC型PDPの一実施形態
を示す部分断面図である。FIG. 1 is a partial sectional view showing an embodiment of an AC type PDP according to the present invention.
【図2】 この発明に係わるDC型PDPの一実施形態
を示す部分断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing an embodiment of a DC PDP according to the present invention.
【図3】 この発明に係わるDC型PDPの他の実施形
態を示す部分断面図である。FIG. 3 is a partial cross-sectional view showing another embodiment of the DC PDP according to the present invention.
【図4】 この発明に係わるAC型PDPの製造方法の
一実施形態を示す製造工程図である。FIG. 4 is a manufacturing process diagram showing an embodiment of a method for manufacturing an AC PDP according to the present invention.
【図5】 この発明に係わるAC型PDPの製造方法の
他の実施形態を示す製造工程図である。FIG. 5 is a manufacturing process diagram showing another embodiment of the method for manufacturing an AC PDP according to the present invention.
【図6】 この発明に係わるAC型PDPの製造方法の
他の実施形態を示す製造工程図である。FIG. 6 is a manufacturing process diagram showing another embodiment of the method for manufacturing an AC PDP according to the present invention.
【図7】 この発明に係わるAC型PDPの製造方法の
さらに他の実施形態を示す製造工程図である。FIG. 7 is a manufacturing process diagram showing still another embodiment of the method for manufacturing an AC PDP according to the present invention.
【図8】 この発明に係わるDC型PDPの製造方法の
一実施形態を示す製造工程図である。FIG. 8 is a manufacturing process diagram showing an embodiment of a method for manufacturing a DC PDP according to the present invention.
【図9】 この発明に係わる面放電動作を行うAC型P
DPの一実施形態を示す部分断面図である。FIG. 9 is an AC type P that performs surface discharge operation according to the present invention.
It is a fragmentary sectional view showing one embodiment of DP.
【図10】 従来のAC型PDPを示す部分断面図であ
る。FIG. 10 is a partial cross-sectional view showing a conventional AC PDP.
【図11】 従来のDC型PDPを示す部分断面図であ
る。FIG. 11 is a partial cross-sectional view showing a conventional DC PDP.
【図12】 従来のAC型PDPの製造方法を示す、製
造工程図である。FIG. 12 is a manufacturing process diagram showing a conventional method for manufacturing an AC PDP.
【図13】 従来のAC型PDPの製造方法を示す、製
造工程図である。FIG. 13 is a manufacturing process diagram showing a conventional method for manufacturing an AC PDP.
【図14】 従来のPDPの不具合を説明するための製
造工程図である。FIG. 14 is a manufacturing process diagram for explaining a defect of a conventional PDP.
【図15】 従来のPDPの不具合を説明するための製
造工程図である。FIG. 15 is a manufacturing process diagram for explaining a defect of the conventional PDP.
11前面透明基板 12第1の放電電極 13、23誘電体層 21背面基板 22第2の放電電極 3バリアリブ 4発光ガス 5感光性有機フィルム 6フォトマスク 7バリアリブの型枠 8無機ペースト 9接着層 10感光性無機ペースト 11 Front Transparent Substrate 12 First Discharge Electrode 13 and 23 Dielectric Layer 21 Back Substrate 22 Second Discharge Electrode 3 Barrier Rib 4 Luminescent Gas 5 Photosensitive Organic Film 6 Photomask 7 Barrier Rib Frame 8 Inorganic Paste 9 Adhesive Layer 10 Photosensitive inorganic paste
Claims (20)
基板、この前面透明基板および背面基板の間に封入され
た放電により発光する発光ガス、この発光ガスによる発
光を表示用の画素として区画する前記間隙に設けられた
格子状またはストライプ状のバリアリブ、このバリアリ
ブと前記背面基板との間に設けられた光の透過を抑える
光透過抑制層を備えたことを特徴とするプラズマディス
プレイパネル。1. A front transparent substrate and a back substrate having discharge electrodes, a luminescent gas which emits light by a discharge enclosed between the front transparent substrate and the back substrate, and the luminescence by the luminescent gas is divided into display pixels. A plasma display panel, comprising: a lattice-shaped or striped barrier rib provided in a gap; and a light transmission suppressing layer provided between the barrier rib and the back substrate to suppress light transmission.
蓄積する誘電体層を備えたことを特徴とする請求項1に
記載のプラズマディスプレイパネル。2. The plasma display panel according to claim 1, further comprising a dielectric layer for accumulating discharge charges between the rear substrate and the light transmission suppressing layer.
を蓄積する誘電体層を備えたことを特徴とする請求項1
に記載のプラズマディスプレイパネル。3. A dielectric layer for accumulating discharge charges is provided between the barrier rib and the light transmission suppressing layer.
The plasma display panel according to item 1.
基板、この前面透明基板および背面基板の間に封入され
た放電により発光する発光ガス、この発光ガスによる発
光を表示用の画素として区画する前記間隙に設けられた
格子状またはストライプ状のバリアリブ、このバリアリ
ブと前記背面基板との間に設けられた放電電荷を蓄積す
る機能を有するとともに、光の透過を抑える光透過抑制
効果を有する誘電体層を備えたことを特徴とするプラズ
マディスプレイパネル。4. A front transparent substrate and a back substrate having discharge electrodes, a luminescent gas which emits light due to a discharge enclosed between the front transparent substrate and the back substrate, and the luminescence by the luminescent gas is partitioned as display pixels. Lattice-shaped or stripe-shaped barrier ribs provided in the gap, a dielectric layer provided between the barrier ribs and the back substrate and having a function of accumulating discharge charges and having a light transmission suppressing effect of suppressing light transmission. A plasma display panel characterized by having.
基板、この前面透明基板および背面基板の間に封入され
た放電により発光する発光ガス、この発光ガスによる発
光を表示用の画素として区画する前記間隙に設けられた
格子状またはストライプ状のバリアリブ、このバリアリ
ブと前記前面透明基板または背面基板との間に設けられ
たバリアリブの材質に比べ軟化点温度の低い接着層を備
えたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。5. A front transparent substrate and a rear substrate having discharge electrodes, a luminescent gas which emits light due to a discharge enclosed between the front transparent substrate and the rear substrate, and the luminescence by the luminescent gas is divided into display pixels. It is characterized in that it is provided with a lattice-shaped or stripe-shaped barrier rib provided in a gap, and an adhesive layer having a softening point temperature lower than that of a material of the barrier rib provided between the barrier rib and the front transparent substrate or the back substrate. Plasma display panel.
に放電電荷を蓄積する誘電体層を備えたことを特徴とす
る請求項5に記載のプラズマディスプレイパネル。6. The plasma display panel according to claim 5, further comprising a dielectric layer for accumulating discharge charges between the front transparent substrate or the rear substrate and the adhesive layer.
接着層に光の透過を抑える光透過抑制効果を持たせるこ
とを特徴とする請求項5または請求項6に記載のプラズ
マディスプレイパネル。7. The plasma display panel according to claim 5, wherein an adhesive layer provided between the barrier rib and the rear substrate has a light transmission suppressing effect for suppressing light transmission.
基板、この前面透明基板および背面基板の間に封入され
た放電により発光する発光ガス、この発光ガスによる発
光を表示用の画素として区画する前記間隙に設けられた
格子状またはストライプ状のバリアリブ、このバリアリ
ブと前記前面透明基板または背面基板との間に設けられ
た放電電荷を蓄積する機能を有するとともに、バリアリ
ブの材質に比べ軟化点温度が低い誘電体層を備えたこと
を特徴とするプラズマディスプレイパネル。8. A front transparent substrate and a rear substrate having discharge electrodes, a luminescent gas which emits light by a discharge enclosed between the front transparent substrate and the rear substrate, and the luminescence by the luminescent gas is divided into display pixels. Lattice-shaped or stripe-shaped barrier ribs provided in the gap, having a function of accumulating discharge charges provided between the barrier ribs and the front transparent substrate or the rear substrate, and having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier ribs. A plasma display panel comprising a dielectric layer.
誘電体層に光の透過を抑える光透過抑制効果を持たせる
ことを特徴とする請求項8に記載のプラズマディスプレ
イパネル。9. The plasma display panel according to claim 8, wherein the dielectric layer provided between the barrier rib and the rear substrate has a light transmission suppressing effect for suppressing light transmission.
極を形成する工程、放電電極が形成された背面基板の表
面に光の透過を抑える光透過抑制層を形成する工程、前
面透明基板および背面基板の間に封入される発光ガスの
放電による発光を表示用の画素として区画する前記間隙
に設けられる格子状またはストライプ状のバリアリブを
形成するための型枠を、感光性材料を使って前記光透過
抑制層の表面に形成する工程、前記型枠を使ってバリア
リブを形成する工程、前記型枠を除去する工程、前記バ
リアリブを焼成する工程、このバリアリブの形成された
背面基板のバリアリブ上に前面透明基板をその放電電極
が対向するように重ね合わせる工程からなることを特徴
とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。10. A step of forming discharge electrodes on the front transparent substrate and the rear substrate, a step of forming a light transmission suppressing layer for suppressing light transmission on the surface of the rear substrate on which the discharge electrodes are formed, the front transparent substrate and the back surface. A mold for forming a lattice-shaped or stripe-shaped barrier rib provided in the gap that divides light emitted by discharge of a light-emitting gas enclosed between substrates as a pixel for display is formed by using a photosensitive material to A step of forming on the surface of the permeation suppression layer, a step of forming a barrier rib using the mold, a step of removing the mold, a step of firing the barrier rib, a front surface on the barrier rib of the rear substrate on which the barrier rib is formed. A method of manufacturing a plasma display panel, comprising the step of stacking transparent substrates so that their discharge electrodes face each other.
極を形成する工程、放電電極が形成された背面基板の表
面に、電荷を蓄積するための誘電体層を形成する工程、
この誘電体層の表面に光の透過を抑える光透過抑制効果
を有する光透過抑制層を形成する工程、前面透明基板お
よび背面基板の間に封入される発光ガスの放電による発
光を表示用の画素として区画する前記間隙に設けられる
格子状またはストライプ状のバリアリブを形成するため
の型枠を、感光性材料を使って前記光透過抑制層の表面
に形成する工程、前記型枠を使ってバリアリブを形成す
る工程、前記型枠を除去する工程、前記バリアリブを焼
成する工程、このバリアリブの形成された背面基板のバ
リアリブ上に前面透明基板をその放電電極が対向するよ
うに重ね合わせる工程からなることを特徴とするプラズ
マディスプレイパネルの製造方法。11. A step of forming discharge electrodes on a front transparent substrate and a rear substrate, a step of forming a dielectric layer for accumulating charges on the surface of the rear substrate on which the discharge electrodes are formed,
A step of forming a light transmission suppressing layer having a light transmission suppressing effect for suppressing light transmission on the surface of the dielectric layer, a pixel for displaying light emission due to discharge of light emitting gas enclosed between the front transparent substrate and the rear substrate Forming a frame for forming a lattice-shaped or striped barrier rib on the surface of the light transmission suppressing layer using a photosensitive material, the barrier rib is formed using the frame. A step of forming, a step of removing the mold, a step of firing the barrier ribs, and a step of superposing the front transparent substrate on the barrier ribs of the rear substrate on which the barrier ribs are formed so that their discharge electrodes face each other. A method for manufacturing a characteristic plasma display panel.
うことを特徴とする請求項10および請求項11に記載
のプラズマディスプレイパネルの製造方法。12. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 10, wherein a photosensitive material is used as a material for the barrier ribs.
極を形成する工程、放電電極が形成された背面基板の表
面に光の透過を抑える光透過抑制層を形成する工程、前
面透明基板および背面基板の間に封入される発光ガスの
放電による発光を表示用の画素として区画する前記間隙
に設けられる格子状またはストライプ状のバリアリブ
を、感光性材料を使って前記光透過抑制層の表面に形成
する工程、前記バリアリブを焼成する工程、このバリア
リブの形成された背面基板のバリアリブ上に前面透明基
板をその放電電極が対向するように重ね合わせる工程か
らなることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの
製造方法。13. A step of forming discharge electrodes on the front transparent substrate and the rear substrate, a step of forming a light transmission suppressing layer for suppressing light transmission on the surface of the rear substrate on which the discharge electrodes are formed, the front transparent substrate and the back surface. Formed on the surface of the light transmission suppressing layer, using a photosensitive material, is a lattice-shaped or stripe-shaped barrier rib provided in the gap that divides light emitted by discharge of a light-emitting gas enclosed between the substrates into pixels for display. And a step of firing the barrier ribs, and a step of superposing a front transparent substrate on the barrier ribs of the rear substrate on which the barrier ribs are formed so that their discharge electrodes face each other. .
極を形成する工程、放電電極が形成された背面基板の表
面に、電荷を蓄積するための誘電体層を形成する工程、
この誘電体層の表面に光の透過を抑える光透過抑制効果
を有する光透過抑制層を形成する工程、前面透明基板お
よび背面基板の間に封入される発光ガスの放電による発
光を表示用の画素として区画する前記間隙に設けられる
格子状またはストライプ状のバリアリブを、感光性材料
を使って前記光透過抑制層の表面に形成する工程、前記
バリアリブを焼成する工程、このバリアリブの形成され
た背面基板のバリアリブ上に前面透明基板をその放電電
極が対向するように重ね合わせる工程からなることを特
徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。14. A step of forming discharge electrodes on the front transparent substrate and the rear substrate, a step of forming a dielectric layer for accumulating charges on the surface of the rear substrate on which the discharge electrodes are formed,
A step of forming a light transmission suppressing layer having a light transmission suppressing effect for suppressing light transmission on the surface of the dielectric layer, a pixel for displaying light emission due to discharge of light emitting gas enclosed between the front transparent substrate and the rear substrate Forming a lattice-shaped or stripe-shaped barrier rib on the surface of the light transmission suppressing layer using a photosensitive material, a step of firing the barrier rib, and a back substrate on which the barrier rib is formed. 2. A method for manufacturing a plasma display panel, which comprises the step of stacking a front transparent substrate on the barrier rib so that the discharge electrodes face each other.
極を形成する工程、放電電極が形成された前面透明基板
または背面基板の表面にバリアリブの材質に比べ軟化点
温度の低い接着層を形成する工程、前面透明基板および
背面基板の間に封入される発光ガスの放電による発光を
表示用の画素として区画する前記間隙に設けられる格子
状またはストライプ状のバリアリブを形成するための型
枠を前記接着層の表面に形成する工程、前記型枠を使っ
て熱硬化材料でバリアリブを形成する工程、前記型枠を
除去する工程、前記バリアリブを焼成する工程、このバ
リアリブの形成された前面透明基板または背面基板のバ
リアリブ上に背面基板または前面透明基板をその放電電
極が対向するように重ね合わせる工程からなることを特
徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。15. A step of forming discharge electrodes on the front transparent substrate and the rear substrate, and forming an adhesive layer having a softening point temperature lower than that of the material of the barrier rib on the surface of the front transparent substrate or the rear substrate on which the discharge electrodes are formed. Step, the mold for forming the grid-like or stripe-like barrier ribs provided in the gap for partitioning the light emission due to the discharge of the light-emitting gas enclosed between the front transparent substrate and the back substrate as the pixels for display is adhered. Forming on the surface of the layer, forming barrier ribs with a thermosetting material using the mold, removing the mold, firing the barrier ribs, front transparent substrate or back surface on which the barrier ribs are formed Plasma comprising a step of stacking a rear substrate or a front transparent substrate on the barrier ribs of the substrate so that their discharge electrodes face each other. Manufacturing method of I spray panel.
極を形成する工程、放電電極が形成された前面透明基板
または背面基板の表面に、電荷を蓄積するための誘電体
層を形成する工程、この誘電体層の表面にバリアリブの
材質に比べ軟化点温度の低い接着層を形成する工程、前
面透明基板および背面基板の間に封入される発光ガスの
放電による発光を表示用の画素として区画する前記間隙
に設けられる格子状またはストライプ状のバリアリブを
形成するための型枠を、前記接着層の表面に形成する工
程、前記型枠を使って熱硬化材料でバリアリブを形成す
る工程、前記型枠を除去する工程、前記バリアリブを焼
成する工程、このバリアリブの形成された前面透明基板
または背面基板のバリアリブ上に背面基板または前面透
明基板をその放電電極が対向するように重ね合わせる工
程からなることを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法。16. A step of forming discharge electrodes on the front transparent substrate and the rear substrate, a step of forming a dielectric layer for accumulating charges on the surface of the front transparent substrate or the rear substrate on which the discharge electrodes are formed, The step of forming an adhesive layer having a lower softening point temperature than the material of the barrier rib on the surface of the dielectric layer, and partitioning the light emission due to the discharge of the light emitting gas enclosed between the front transparent substrate and the rear substrate as display pixels Forming a mold for forming a grid-shaped or stripe-shaped barrier rib provided in the gap on the surface of the adhesive layer; forming a barrier rib with a thermosetting material using the mold; Removing the barrier ribs, firing the barrier ribs, discharging the rear substrate or the front transparent substrate on the barrier ribs of the front transparent substrate or the rear substrate on which the barrier ribs are formed. Method of manufacturing a plasma display panel, comprising the steps of superimposing as pole faces.
えて感光性材料を使うことを特徴とする請求項15また
は請求項16に記載のプラズマディスプレイパネルの製
造方法。17. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 15, wherein a photosensitive material is used as the material of the barrier rib instead of the thermosetting material.
極を形成する工程、放電電極が形成された前面透明基板
または背面基板の表面にバリアリブの材質に比べ軟化点
温度の低い接着層を形成する工程、前面透明基板および
背面基板の間に封入される発光ガスの放電による発光を
表示用の画素として区画する前記間隙に設けられる格子
状またはストライプ状のバリアリブを、熱硬化材料を使
って前記接着層の表面に形成する工程、前記バリアリブ
を焼成する工程、このバリアリブの形成された前面透明
基板または背面基板のバリアリブ上に背面基板または前
面透明基板をその放電電極が対向するように重ね合わせ
る工程からなることを特徴とするプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。18. A step of forming a discharge electrode on a front transparent substrate and a rear substrate, and forming an adhesive layer having a softening point temperature lower than that of a material of a barrier rib on the surface of the front transparent substrate or the rear substrate on which the discharge electrode is formed. Step, the barrier ribs in the form of grids or stripes, which are provided in the gaps and partition the light emission due to the discharge of the light emitting gas enclosed between the front transparent substrate and the rear substrate as display pixels, are bonded by using a thermosetting material. From the step of forming on the surface of the layer, the step of firing the barrier ribs, and the step of superposing the rear substrate or the front transparent substrate on the barrier ribs of the front transparent substrate or the rear substrate on which the barrier ribs are formed so that their discharge electrodes face each other. A method of manufacturing a plasma display panel, comprising:
極を形成する工程、放電電極が形成された前面透明基板
または背面基板の表面に、電荷を蓄積するための誘電体
層を形成する工程、この誘電体層の表面にバリアリブの
材質に比べ軟化点温度の低い接着層を形成する工程、前
面透明基板および背面基板の間に封入される発光ガスの
放電による発光を表示用の画素として区画する前記間隙
に設けられる格子状またはストライプ状のバリアリブ
を、熱硬化材料を使って前記接着層の表面に形成する工
程、前記バリアリブを焼成する工程、このバリアリブの
形成された前面透明基板または背面基板のバリアリブ上
に背面基板または前面透明基板をその放電電極が対向す
るように重ね合わせる工程からなることを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法。19. A step of forming discharge electrodes on a front transparent substrate and a rear substrate, a step of forming a dielectric layer for accumulating charges on the surface of the front transparent substrate or the rear substrate on which the discharge electrodes are formed, The step of forming an adhesive layer having a lower softening point temperature than the material of the barrier rib on the surface of the dielectric layer, and partitioning the light emission due to the discharge of the light emitting gas enclosed between the front transparent substrate and the rear substrate as display pixels A step of forming a lattice-shaped or stripe-shaped barrier rib provided on the gap on the surface of the adhesive layer using a thermosetting material, a step of firing the barrier rib, and a front transparent substrate or a rear substrate on which the barrier rib is formed. A plasma display comprising a step of stacking a rear substrate or a front transparent substrate on barrier ribs so that their discharge electrodes face each other. Method of manufacturing a panel.
えて感光性材料を使うことを特徴とする請求項18また
は請求項19に記載のプラズマディスプレイパネルの製
造方法。20. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 18, wherein a photosensitive material is used as the material of the barrier ribs instead of the thermosetting material.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7191945A JPH0945249A (en) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | Plasma display panel and manufacture of it |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7191945A JPH0945249A (en) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | Plasma display panel and manufacture of it |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0945249A true JPH0945249A (en) | 1997-02-14 |
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ID=16283081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP7191945A Pending JPH0945249A (en) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | Plasma display panel and manufacture of it |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0945249A (en) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998020512A1 (en) * | 1996-11-07 | 1998-05-14 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing back plate of plasma display panel |
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-
1995
- 1995-07-27 JP JP7191945A patent/JPH0945249A/en active Pending
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