JPH0936293A - リードフレームのめっき装置 - Google Patents
リードフレームのめっき装置Info
- Publication number
- JPH0936293A JPH0936293A JP18026695A JP18026695A JPH0936293A JP H0936293 A JPH0936293 A JP H0936293A JP 18026695 A JP18026695 A JP 18026695A JP 18026695 A JP18026695 A JP 18026695A JP H0936293 A JPH0936293 A JP H0936293A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- jig
- base plate
- lead frame
- plating jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ベースプレート上において、めっき治具を容
易に位置決めすることができ、かつめっき治具を容易か
つ確実に固定すること。 【解決手段】 本体フレーム7内にめっき液室5が配設
され、本体フレーム7にベースプレート6が支持されて
いる。ベースプレート6上にめっき治具2が載置され、
めっき治具2はベースプレート6側の位置決めピン9を
ベースプレート6側の位置決め開口10内に挿入するこ
とにより位置決めされる。ベースプレート6上のクラン
プ8により、めっき治具2の両側がクランプされて固定
される。
易に位置決めすることができ、かつめっき治具を容易か
つ確実に固定すること。 【解決手段】 本体フレーム7内にめっき液室5が配設
され、本体フレーム7にベースプレート6が支持されて
いる。ベースプレート6上にめっき治具2が載置され、
めっき治具2はベースプレート6側の位置決めピン9を
ベースプレート6側の位置決め開口10内に挿入するこ
とにより位置決めされる。ベースプレート6上のクラン
プ8により、めっき治具2の両側がクランプされて固定
される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はめっき治具を有する
リードフレームのめっき装置に係り、とりわけめっき治
具の交換を容易かつ精度良くに行うことができるリード
フレームのめっき装置に関する。
リードフレームのめっき装置に係り、とりわけめっき治
具の交換を容易かつ精度良くに行うことができるリード
フレームのめっき装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来からIC用リードフレームのうち、
シリコンチップを搭載するパッド部と、ワイヤーボンデ
ィングを行うリード先端とに金、銀等の貴金属からなる
部分めっきが施されている。このようなリードフレーム
のめっき装置を、図3および図4により説明する。
シリコンチップを搭載するパッド部と、ワイヤーボンデ
ィングを行うリード先端とに金、銀等の貴金属からなる
部分めっきが施されている。このようなリードフレーム
のめっき装置を、図3および図4により説明する。
【0003】図3および図4に示すように、リードフレ
ームのめっき装置は、本体フレーム7と、この本体フレ
ーム7に支持されためっき液室5とを備え、めっき液室
5上にパッキン12を介してガラスエポキシまたは耐熱
塩ビ等からなるベースプレート6が設けられている。ま
たベースプレート6上に、リードフレーム(図示せず)
載置用のシリコンゴム製マスクゴム1が取付けられたガ
ラスエポキシ製めっき治具2が固定されている。
ームのめっき装置は、本体フレーム7と、この本体フレ
ーム7に支持されためっき液室5とを備え、めっき液室
5上にパッキン12を介してガラスエポキシまたは耐熱
塩ビ等からなるベースプレート6が設けられている。ま
たベースプレート6上に、リードフレーム(図示せず)
載置用のシリコンゴム製マスクゴム1が取付けられたガ
ラスエポキシ製めっき治具2が固定されている。
【0004】めっき治具2には、治具取り付け用穴3が
設けられ、この穴3からネジ25を挿入することにより
めっき治具2がベースプレート6に固定されている。
設けられ、この穴3からネジ25を挿入することにより
めっき治具2がベースプレート6に固定されている。
【0005】めっき液室5内には、圧送ポンプ14に連
結された噴出装置15が設けられ、この噴出装置15に
は噴出ノズル15aが突設されている。まためっき治具
2およびマスクゴム1には、噴出ノズル15aに対応す
る位置に開口16が形成されている。
結された噴出装置15が設けられ、この噴出装置15に
は噴出ノズル15aが突設されている。まためっき治具
2およびマスクゴム1には、噴出ノズル15aに対応す
る位置に開口16が形成されている。
【0006】一方、マスクゴム1の上方には、マスクゴ
ム1との間でリードフレームを押圧するプレスブロック
13が昇降自在に設けられている。
ム1との間でリードフレームを押圧するプレスブロック
13が昇降自在に設けられている。
【0007】このような構成からなるリードフレームの
めっき装置において、マスクゴム1上にリードフレーム
を載置した後、リードフレームがマスクゴム1とプレス
ブロック13との間で押圧される。このとき、プレスブ
ロック内に設置された陰極がリードフレームに押し当て
られる。次に圧送ポンプ14からめっき液が噴出装置1
5に流入し、噴出ノズル15aからめっき液が噴出され
る。噴出ノズル15aから噴出されためっき液は、マス
クゴム1およびめっき治具2に形成された開口16から
リードフレームに対して噴出する。
めっき装置において、マスクゴム1上にリードフレーム
を載置した後、リードフレームがマスクゴム1とプレス
ブロック13との間で押圧される。このとき、プレスブ
ロック内に設置された陰極がリードフレームに押し当て
られる。次に圧送ポンプ14からめっき液が噴出装置1
5に流入し、噴出ノズル15aからめっき液が噴出され
る。噴出ノズル15aから噴出されためっき液は、マス
クゴム1およびめっき治具2に形成された開口16から
リードフレームに対して噴出する。
【0008】この間、リードフレームと噴出ノズル15
a間に電気が流れ、リードフレームに対してめっき作業
が施される。
a間に電気が流れ、リードフレームに対してめっき作業
が施される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、リードフレ
ームの品種を変更する場合、マスクゴム1を有するめっ
き治具2をベースプレート6から取外し、新たなめっき
治具2をベースプレート6に取付ける必要がある。しか
しながら、めっき治具2はベースプレート6に対してネ
ジ25により固着されているため、めっき治具2の交換
作業を行う際は、ネジ25を緩めたり締め付ける作業を
行う必要があり、交換作業に時間を要してしまう。また
ベースプレート6に対するめっき治具2の位置決めは熟
練を要するので交換作業はより煩雑となっている。
ームの品種を変更する場合、マスクゴム1を有するめっ
き治具2をベースプレート6から取外し、新たなめっき
治具2をベースプレート6に取付ける必要がある。しか
しながら、めっき治具2はベースプレート6に対してネ
ジ25により固着されているため、めっき治具2の交換
作業を行う際は、ネジ25を緩めたり締め付ける作業を
行う必要があり、交換作業に時間を要してしまう。また
ベースプレート6に対するめっき治具2の位置決めは熟
練を要するので交換作業はより煩雑となっている。
【0010】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、めっき治具の交換作業を容易に行うことが
できるリードフレームのめっき装置を提供することを目
的とする。
ものであり、めっき治具の交換作業を容易に行うことが
できるリードフレームのめっき装置を提供することを目
的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は、本体フレーム
と、この本体フレーム内に配設されためっき液室と、リ
ードフレームを載置するマスクゴムが取付けられためっ
き治具と、めっき治具を載置するとともにめっき液室の
上方に位置するベースプレートと、めっき治具とベース
プレートとの間に設けられ、めっき治具をベースプレー
トの所定位置に位置決めする位置決め装置と、めっき治
具をベースプレートに固定する固定装置と、を備えたこ
とを特徴とするリードフレームのめっき装置である。
と、この本体フレーム内に配設されためっき液室と、リ
ードフレームを載置するマスクゴムが取付けられためっ
き治具と、めっき治具を載置するとともにめっき液室の
上方に位置するベースプレートと、めっき治具とベース
プレートとの間に設けられ、めっき治具をベースプレー
トの所定位置に位置決めする位置決め装置と、めっき治
具をベースプレートに固定する固定装置と、を備えたこ
とを特徴とするリードフレームのめっき装置である。
【0012】本発明によれば、ベースプレート上にめっ
き治具を位置決め装置により位置決めしながら載置した
後、固定装置によりめっき治具をベースプレート上に固
定する。
き治具を位置決め装置により位置決めしながら載置した
後、固定装置によりめっき治具をベースプレート上に固
定する。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例について説明する。図1および図2は本発明による
リードフレームのめっき装置の一実施例を示す図であ
る。
施例について説明する。図1および図2は本発明による
リードフレームのめっき装置の一実施例を示す図であ
る。
【0014】図1および図2に示すように、リードフレ
ームのめっき装置は鋼鉄製の本体フレーム7と、この本
体フレーム7内に配設された耐熱塩ビ製のめっき液室5
と、本体フレーム7に支持されるとともにめっき液室5
の上方に位置するステンレス(SUS)製のベースプレ
ート6とを備えている。
ームのめっき装置は鋼鉄製の本体フレーム7と、この本
体フレーム7内に配設された耐熱塩ビ製のめっき液室5
と、本体フレーム7に支持されるとともにめっき液室5
の上方に位置するステンレス(SUS)製のベースプレ
ート6とを備えている。
【0015】ベースプレート6上には、リードフレーム
(図示せず)を載置するマスクゴム1が取付けられため
っき治具2が支持されている。めっき治具2はガラスエ
ポキシ製の治具本体2aと、治具本体2aの裏面に設け
られたSUS製またはセラミック製の裏張り体11とか
らなっている。このうち、裏張り体11は耐熱性を有
し、めっき治具2全体の剛性を高めている。なお、めっ
き治具2はめっき液室5の上端にパッキン12を介して
当接している。
(図示せず)を載置するマスクゴム1が取付けられため
っき治具2が支持されている。めっき治具2はガラスエ
ポキシ製の治具本体2aと、治具本体2aの裏面に設け
られたSUS製またはセラミック製の裏張り体11とか
らなっている。このうち、裏張り体11は耐熱性を有
し、めっき治具2全体の剛性を高めている。なお、めっ
き治具2はめっき液室5の上端にパッキン12を介して
当接している。
【0016】またベースプレート6には、めっき治具2
を両側から押えるための一対のクランプ8が設けられて
いる。さらにベースプレート6には位置決めピン9が突
設され、めっき治具2には位置決めピン9と係合してめ
っき治具2をベースプレート6上の所定位置に位置決め
する位置決め開口10が形成されている。
を両側から押えるための一対のクランプ8が設けられて
いる。さらにベースプレート6には位置決めピン9が突
設され、めっき治具2には位置決めピン9と係合してめ
っき治具2をベースプレート6上の所定位置に位置決め
する位置決め開口10が形成されている。
【0017】めっき液室5内には圧送ポンプ14に連結
された噴出装置15が設けられ、この噴出装置15には
噴出ノズル15aが突設されている。まためっき治具2
およびマスクゴム1には、噴出ノズル15aに対応する
位置に、開口16が形成されている。
された噴出装置15が設けられ、この噴出装置15には
噴出ノズル15aが突設されている。まためっき治具2
およびマスクゴム1には、噴出ノズル15aに対応する
位置に、開口16が形成されている。
【0018】一方、マスクゴム1の上方には、マスクゴ
ム1との間でリードフレームを押圧するプレスブロック
13が昇降自在に設けられている。
ム1との間でリードフレームを押圧するプレスブロック
13が昇降自在に設けられている。
【0019】次にこのような構成からなる本実施例の作
用について説明する。まずマスクゴム1上にリードフレ
ームが載置され、その後リードフレーム1がマスクゴム
1とプレスブロック13との間で押圧される。このと
き、プレスブロック内に設置された陰極がリードフレー
ムに押し当てられる。
用について説明する。まずマスクゴム1上にリードフレ
ームが載置され、その後リードフレーム1がマスクゴム
1とプレスブロック13との間で押圧される。このと
き、プレスブロック内に設置された陰極がリードフレー
ムに押し当てられる。
【0020】次に圧送ポンプ14からめっき液が噴出装
置15に圧送され、噴出ノズル15aからめっき液が噴
出される。噴出ノズル15aから噴出されためっき液
は、マスクゴム1およびめっき治具2に形成された開口
16からリードフレームに対して噴出される。この間、
リードフレームと噴出ノズル15aとの間に電気が流
れ、リードフレームの所定箇所(開口16に対応する部
分)に対してめっき作業が施される。
置15に圧送され、噴出ノズル15aからめっき液が噴
出される。噴出ノズル15aから噴出されためっき液
は、マスクゴム1およびめっき治具2に形成された開口
16からリードフレームに対して噴出される。この間、
リードフレームと噴出ノズル15aとの間に電気が流
れ、リードフレームの所定箇所(開口16に対応する部
分)に対してめっき作業が施される。
【0021】リードフレームに対して噴出されためっき
液は、その後めっき液室5内に溜められ、次にめっき液
室5の下端に設けられた出口5aから排出される。
液は、その後めっき液室5内に溜められ、次にめっき液
室5の下端に設けられた出口5aから排出される。
【0022】次にリードフレームの品種に対応してマス
クゴム1を有するめっき治具2を交換する場合、めっき
治具2からクランプ8を外してめっき治具2をベースプ
レート6から取外す。次に新しいめっき治具をベースプ
レート6上に載置する。この場合、ベースプレート6の
位置決めピン9をめっき治具2の位置決め開口10内に
係合することにより、めっき治具2をベースプレート6
上の所定位置に位置決めすることができる。次にめっき
治具2に対してクランプ8を装着してめっき治具2をベ
ースプレート6上で堅固に固定する。
クゴム1を有するめっき治具2を交換する場合、めっき
治具2からクランプ8を外してめっき治具2をベースプ
レート6から取外す。次に新しいめっき治具をベースプ
レート6上に載置する。この場合、ベースプレート6の
位置決めピン9をめっき治具2の位置決め開口10内に
係合することにより、めっき治具2をベースプレート6
上の所定位置に位置決めすることができる。次にめっき
治具2に対してクランプ8を装着してめっき治具2をベ
ースプレート6上で堅固に固定する。
【0023】このように本実施例によれば、ベースプレ
ート6の位置決めピンをめっき治具2の位置決め開口1
0内に係合することにより、めっき治具2をベースプレ
ート6上の所定位置に容易かつ確実に位置決めすること
ができる。また、めっき治具2に対してクランプ8を装
着したり取外すことにより、めっき治具2の交換を簡単
に行うことができる。さらにまた、ベースプレート6は
SUS製となっており、かつ鋼鉄製の本体フレーム7に
支持されているので、例えばベースプレート6が塩ビ製
のめっき液室5上に支持されている場合に比べて、めっ
き治具2の取付け精度を向上させることができる。ま
た、マスク治具2は耐熱性および剛性に優れた裏張り体
11を有しているので、マスク治具2が温度および経年
変化により変形することはない。
ート6の位置決めピンをめっき治具2の位置決め開口1
0内に係合することにより、めっき治具2をベースプレ
ート6上の所定位置に容易かつ確実に位置決めすること
ができる。また、めっき治具2に対してクランプ8を装
着したり取外すことにより、めっき治具2の交換を簡単
に行うことができる。さらにまた、ベースプレート6は
SUS製となっており、かつ鋼鉄製の本体フレーム7に
支持されているので、例えばベースプレート6が塩ビ製
のめっき液室5上に支持されている場合に比べて、めっ
き治具2の取付け精度を向上させることができる。ま
た、マスク治具2は耐熱性および剛性に優れた裏張り体
11を有しているので、マスク治具2が温度および経年
変化により変形することはない。
【0024】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ベースプ
レート上にめっき治具を位置決め装置により位置決めし
ながら載置し、その後固定装置によりめっき治具をベー
スプレート上に固定する。このようにベースプレート上
において、めっき治具の位置決めおよび固定作用を容易
かつ簡単に行うことができる。
レート上にめっき治具を位置決め装置により位置決めし
ながら載置し、その後固定装置によりめっき治具をベー
スプレート上に固定する。このようにベースプレート上
において、めっき治具の位置決めおよび固定作用を容易
かつ簡単に行うことができる。
【図1】本発明によるリードフレームのめっき装置の一
実施例を示す斜視図。
実施例を示す斜視図。
【図2】本発明によるリードフレームのめっき装置の一
実施例を示す側断面図。
実施例を示す側断面図。
【図3】従来のリードフレームのめっき装置の一実施例
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図4】従来のリードフレームのめっき装置の一実施例
を示す側断面図。
を示す側断面図。
1 マスクゴム 2 めっき治具 5 めっき液室 6 ベースプレート 7 本体フレーム 8 クランプ 9 位置決めピン 10 位置決め開口
Claims (3)
- 【請求項1】本体フレームと、 この本体フレーム内に配設されためっき液室と、 リードフレームを載置するマスクゴムが取付けられため
っき治具と、 めっき治具を載置するとともにめっき液室の上方に位置
するベースプレートと、 めっき治具とベースプレートとの間に設けられ、めっき
治具をベースプレートの所定位置に位置決めする位置決
め装置と、 めっき治具をベースプレートに固定する固定装置と、 を備えたことを特徴とするリードフレームのめっき装
置。 - 【請求項2】前記ベースプレートは、本体フレームに支
持されていることを特徴とする請求項1記載のリードフ
レームのめっき装置。 - 【請求項3】前記めっき治具は、ガラスエポキシ製の治
具本体と、この治具本体の裏面に設けられたSUSまた
はセラミック製の裏張り体とからなることを特徴とする
請求項1記載のリードフレームめっき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18026695A JPH0936293A (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | リードフレームのめっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18026695A JPH0936293A (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | リードフレームのめっき装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0936293A true JPH0936293A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16080239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18026695A Pending JPH0936293A (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | リードフレームのめっき装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0936293A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006152348A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 部分めっき装置 |
CN107385491A (zh) * | 2017-07-11 | 2017-11-24 | 宁波启谱自动化科技有限公司 | Ic引线框架片式电镀镀银机 |
CN112663122A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-04-16 | 铜陵蓝盾丰山微电子有限公司 | 一种多通道引线框架用片式电镀夹具 |
KR102593415B1 (ko) * | 2023-01-13 | 2023-10-25 | (주)수 | 멀티탭의 소화액 도포용 지그 |
-
1995
- 1995-07-17 JP JP18026695A patent/JPH0936293A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006152348A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 部分めっき装置 |
JP4644473B2 (ja) * | 2004-11-26 | 2011-03-02 | 新光電気工業株式会社 | 部分めっき装置 |
CN107385491A (zh) * | 2017-07-11 | 2017-11-24 | 宁波启谱自动化科技有限公司 | Ic引线框架片式电镀镀银机 |
CN107385491B (zh) * | 2017-07-11 | 2019-02-01 | 宁波启谱自动化科技有限公司 | Ic引线框架片式电镀镀银机 |
CN112663122A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-04-16 | 铜陵蓝盾丰山微电子有限公司 | 一种多通道引线框架用片式电镀夹具 |
CN112663122B (zh) * | 2020-12-24 | 2023-06-30 | 铜陵蓝盾丰山微电子有限公司 | 一种多通道引线框架用片式电镀设备 |
KR102593415B1 (ko) * | 2023-01-13 | 2023-10-25 | (주)수 | 멀티탭의 소화액 도포용 지그 |
WO2024150892A1 (ko) * | 2023-01-13 | 2024-07-18 | 주식회사 수 | 멀티탭의 소화액 도포용 지그 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0936293A (ja) | リードフレームのめっき装置 | |
JP2628886B2 (ja) | 電解メッキ装置 | |
JPH07211724A (ja) | メッキ装置およびメッキ方法と被メッキ処理基板 | |
JPS6214235B2 (ja) | ||
JP2617637B2 (ja) | 部分めっき装置および半導体装置用リードフレーム | |
KR100215120B1 (ko) | 리이드 프레임 도금 장치 및 그에 의한 리이드 프레임 도금 방법 | |
JP2004183073A (ja) | リードフレームの部分メッキ方法 | |
JPH07211723A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3286064B2 (ja) | ウエーハのめっき用ラック及びそれを用いためっき方法 | |
JP2593638Y2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JPH08167683A (ja) | リードフレームのめっき装置 | |
JPH0964263A (ja) | リードフレームのめっき装置およびリードフレームのめっき方法 | |
US4404079A (en) | Plating mask support | |
JPH10189854A (ja) | 半導体装置用リードフレームの薄めっき方法 | |
JP3823590B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
JPH0252458A (ja) | 半導体装置用リードフレームのめっき方法 | |
JPH04256348A (ja) | 冷却モジュール構造 | |
KR0125862Y1 (ko) | 와이어 본더의 리드프레임 고정장치 | |
JP3339927B2 (ja) | 部分めっき装置 | |
JP3387208B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JPS614260A (ja) | 部分めつき装置 | |
JP3343062B2 (ja) | 部分メッキ装置 | |
JPH0375394A (ja) | メッキ装置 | |
JP3081340B2 (ja) | Pga型パッケージ用めっき治具およびこれを用いたpga型パッケージのめっき方法 | |
JPH11340621A (ja) | 噴流半田の測定治具 |