JPH09329259A - バルブアクチュエータ - Google Patents
バルブアクチュエータInfo
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- JPH09329259A JPH09329259A JP14692696A JP14692696A JPH09329259A JP H09329259 A JPH09329259 A JP H09329259A JP 14692696 A JP14692696 A JP 14692696A JP 14692696 A JP14692696 A JP 14692696A JP H09329259 A JPH09329259 A JP H09329259A
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- Japan
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- case
- valve
- teeth
- gear
- shaft
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- Retarders (AREA)
- General Details Of Gearings (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 著しく大きな減速比が得られるとともに、装
置全体の小型、軽量化、低コスト化を図る。 【解決手段】 ケース1に設けたモータ3と、出力部材
32との間に、最小歯数差複合ハイポサイクロイド減速
機構A、すなわち、モータ3により正逆回転させられる
ようにした偏心軸部6を有する主軸4と、主軸4の偏心
軸部6に回転可能として外嵌され、かつ外周面に、歯数
を同一またはわずかに異ならせた第1外歯8a及び第2
外歯8bを有する外歯歯車8と、主軸4と同心状にケー
ス1内に配設され、内面に第1外歯8aと噛合する内歯
10bを有する第1内歯歯車10と、主軸4と同心状に
ケース1内に枢支され、かつ内面に、外歯歯車8の第2
外歯8bと噛合するとともに、歯数を、第1内歯歯車1
0の歯数とわずかに異ならせた内歯34aを有する第2
内歯歯車34とを設ける。
置全体の小型、軽量化、低コスト化を図る。 【解決手段】 ケース1に設けたモータ3と、出力部材
32との間に、最小歯数差複合ハイポサイクロイド減速
機構A、すなわち、モータ3により正逆回転させられる
ようにした偏心軸部6を有する主軸4と、主軸4の偏心
軸部6に回転可能として外嵌され、かつ外周面に、歯数
を同一またはわずかに異ならせた第1外歯8a及び第2
外歯8bを有する外歯歯車8と、主軸4と同心状にケー
ス1内に配設され、内面に第1外歯8aと噛合する内歯
10bを有する第1内歯歯車10と、主軸4と同心状に
ケース1内に枢支され、かつ内面に、外歯歯車8の第2
外歯8bと噛合するとともに、歯数を、第1内歯歯車1
0の歯数とわずかに異ならせた内歯34aを有する第2
内歯歯車34とを設ける。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、バルブに連結さ
れ、バルブをモータの回転力により開閉させるバルブア
クチュエータに関する。
れ、バルブをモータの回転力により開閉させるバルブア
クチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種のバルブアクチュエータと
しては、モータの回転力を、ウオームとウオームホイー
ル及び平歯車列等からなる減速機構を介して、バルブの
弁軸に伝達し、弁軸に連結した弁体を回転させてバルブ
を開閉させるか(ボールバルブ等)、またはモータの回転
力により、上記と同様の減速機構を介して、ステムナッ
トを回転させ、ステムナットに螺合する雄ねじを有する
弁軸を軸線方向に移動させて弁体をリニアに開閉させる
(仕切弁等)ようにしたもの等がある。
しては、モータの回転力を、ウオームとウオームホイー
ル及び平歯車列等からなる減速機構を介して、バルブの
弁軸に伝達し、弁軸に連結した弁体を回転させてバルブ
を開閉させるか(ボールバルブ等)、またはモータの回転
力により、上記と同様の減速機構を介して、ステムナッ
トを回転させ、ステムナットに螺合する雄ねじを有する
弁軸を軸線方向に移動させて弁体をリニアに開閉させる
(仕切弁等)ようにしたもの等がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の構造の
ものでは、減速機構の減速比を大きくするためには、歯
車機構が複雑になり、装置全体が大型かつ大重量化する
とともに、製造コストが高くつくという問題がある。
ものでは、減速機構の減速比を大きくするためには、歯
車機構が複雑になり、装置全体が大型かつ大重量化する
とともに、製造コストが高くつくという問題がある。
【0004】また、非常時等のための手動操作ハンドル
を設ける場合、それと減速機構とを連係させるためのク
ラッチ等の特別の連係手段を設ける必要があり、構造が
さらに複雑化するという問題もある。
を設ける場合、それと減速機構とを連係させるためのク
ラッチ等の特別の連係手段を設ける必要があり、構造が
さらに複雑化するという問題もある。
【0005】さらに、従来のものでは、弁軸を回転させ
る弁軸回転型バルブ用のものと、ステムナットにより弁
軸を軸線方向に移動させるリニア型バルブ用のものとで
は、最適な減速比が著しく異なるため、それらの共用化
を図ることは困難であった。
る弁軸回転型バルブ用のものと、ステムナットにより弁
軸を軸線方向に移動させるリニア型バルブ用のものとで
は、最適な減速比が著しく異なるため、それらの共用化
を図ることは困難であった。
【0006】本発明は、従来の技術が有する上記のよう
な問題点に鑑み、著しく大きな減速比が得られるととも
に、装置全体の小型、軽量化、低コスト化を図ることが
でき、しかも、手動操作ハンドルのためのクラッチ等の
特別な連係手段を必要とせず、さらに、弁軸回転型バル
ブとリニア型バルブとの両方を駆動しうるようにしたバ
ルブアクチュエータを提供することを目的としている。
な問題点に鑑み、著しく大きな減速比が得られるととも
に、装置全体の小型、軽量化、低コスト化を図ることが
でき、しかも、手動操作ハンドルのためのクラッチ等の
特別な連係手段を必要とせず、さらに、弁軸回転型バル
ブとリニア型バルブとの両方を駆動しうるようにしたバ
ルブアクチュエータを提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、減速機構として、最小歯数差複合ハイポ
サイクロイド減速機構を採用し、それとモータ、出力部
材、手動操作ハンドル等とを都合よく連係したことを特
徴としている。すなわち、本発明によると、上記課題は
次のようにして解決される。
め、本発明は、減速機構として、最小歯数差複合ハイポ
サイクロイド減速機構を採用し、それとモータ、出力部
材、手動操作ハンドル等とを都合よく連係したことを特
徴としている。すなわち、本発明によると、上記課題は
次のようにして解決される。
【0008】(1) ケースと、モータにより正逆回転さ
せられるようにしてケース内に枢支され、かつ偏心軸部
を有する主軸と、主軸の偏心軸部に回転可能かつ偏心軸
部とともに偏心運動可能として外嵌され、かつ外周面
に、歯数N1、N2を同一またはわずかに異ならせた第1外
歯及び第2外歯を有する外歯歯車と、主軸と同心状にケ
ース内に配設され、内面に前記第1外歯と噛合する内歯
を有するとともに、常時はケースに固定された第1内歯
歯車と、主軸と同心状にケース内に枢支され、かつ内面
に、前記外歯歯車の第2外歯と噛合するとともに、歯数
N4を、前記第1内歯歯車の歯数をN3としたとき、N2×N3
/N1と同一ではなくかつそれに近い値に定めた内歯を有
する第2内歯歯車と、前記第2内歯歯車と同期回転する
ようにケース内に設けられた出力部材とを備えるものと
する。
せられるようにしてケース内に枢支され、かつ偏心軸部
を有する主軸と、主軸の偏心軸部に回転可能かつ偏心軸
部とともに偏心運動可能として外嵌され、かつ外周面
に、歯数N1、N2を同一またはわずかに異ならせた第1外
歯及び第2外歯を有する外歯歯車と、主軸と同心状にケ
ース内に配設され、内面に前記第1外歯と噛合する内歯
を有するとともに、常時はケースに固定された第1内歯
歯車と、主軸と同心状にケース内に枢支され、かつ内面
に、前記外歯歯車の第2外歯と噛合するとともに、歯数
N4を、前記第1内歯歯車の歯数をN3としたとき、N2×N3
/N1と同一ではなくかつそれに近い値に定めた内歯を有
する第2内歯歯車と、前記第2内歯歯車と同期回転する
ようにケース内に設けられた出力部材とを備えるものと
する。
【0009】(2) ケースと、モータにより正逆回転さ
せられるようにしてケース内に枢支され、かつ偏心軸部
を有する主軸と、主軸の偏心軸部に回転可能かつ偏心軸
部とともに偏心運動可能として外嵌され、かつ外周面
に、歯数N1、N2を同一またはわずかに異ならせた第1外
歯及び第2外歯を有する外歯歯車と、主軸と同心状にケ
ース内に枢支され、内面に前記第1外歯と噛合する内歯
を有するとともに、外周面にウォームホイールが形成さ
れた第1内歯歯車と、主軸と同心状にケース内に枢支さ
れ、かつ内面に、前記外歯歯車の第2外歯と噛合すると
ともに、歯数N4を、前記第1内歯歯車の歯数をN3とした
とき、N2×N3/N1と同一ではなくかつそれに近い値に定
めた内歯を有する第2内歯歯車と、前記第2内歯歯車と
同期回転するようにケース内に設けられた出力部材と、
前記ウォームホイールと噛合するウォームを有するトル
ク検出軸を、中立位置から軸線方向に移動可能として、
かつ前記中立位置に向かって復帰するようにばね付勢し
て、ケース内に収容し、かつトルク検出軸が中立位置か
ら離されたことをリミットスイッチにより検出して、モ
ータの作動を停止するようにしたトルクリミット機構と
を備えるものとする。
せられるようにしてケース内に枢支され、かつ偏心軸部
を有する主軸と、主軸の偏心軸部に回転可能かつ偏心軸
部とともに偏心運動可能として外嵌され、かつ外周面
に、歯数N1、N2を同一またはわずかに異ならせた第1外
歯及び第2外歯を有する外歯歯車と、主軸と同心状にケ
ース内に枢支され、内面に前記第1外歯と噛合する内歯
を有するとともに、外周面にウォームホイールが形成さ
れた第1内歯歯車と、主軸と同心状にケース内に枢支さ
れ、かつ内面に、前記外歯歯車の第2外歯と噛合すると
ともに、歯数N4を、前記第1内歯歯車の歯数をN3とした
とき、N2×N3/N1と同一ではなくかつそれに近い値に定
めた内歯を有する第2内歯歯車と、前記第2内歯歯車と
同期回転するようにケース内に設けられた出力部材と、
前記ウォームホイールと噛合するウォームを有するトル
ク検出軸を、中立位置から軸線方向に移動可能として、
かつ前記中立位置に向かって復帰するようにばね付勢し
て、ケース内に収容し、かつトルク検出軸が中立位置か
ら離されたことをリミットスイッチにより検出して、モ
ータの作動を停止するようにしたトルクリミット機構と
を備えるものとする。
【0010】(3) 上記(1)項において、第1内歯歯車
をケースに回転自在に枢支するとともに、前記第1内歯
歯車を、手動操作ハンドルに連係する。
をケースに回転自在に枢支するとともに、前記第1内歯
歯車を、手動操作ハンドルに連係する。
【0011】(4) 上記(2)項において、トルク検出軸
に、手動操作ハンドルを連結する。
に、手動操作ハンドルを連結する。
【0012】(5) 上記(1)〜(4)項のいずれかにおい
て、ケースの外部から視認できる位置に、出力部材と連
動して回転するようにした弁開度表示装置を設ける。E
る。
て、ケースの外部から視認できる位置に、出力部材と連
動して回転するようにした弁開度表示装置を設ける。E
る。
【0013】(6) 上記(1)〜(5)項のいずれかにおい
て、出力部材に、弁軸を回転させることにより開閉する
ようにした弁装置における前記弁軸を相対回転不能とし
て嵌合しうるとともに、弁軸を軸線方向に移動させるこ
とにより開閉するようにした弁装置における前記弁軸の
外周に形成した雄ねじと螺合するステムナットを相対回
転不能として嵌合しうるようにした嵌合部を設ける。
て、出力部材に、弁軸を回転させることにより開閉する
ようにした弁装置における前記弁軸を相対回転不能とし
て嵌合しうるとともに、弁軸を軸線方向に移動させるこ
とにより開閉するようにした弁装置における前記弁軸の
外周に形成した雄ねじと螺合するステムナットを相対回
転不能として嵌合しうるようにした嵌合部を設ける。
【0014】(7) 上記(1)〜(5)項のいずれかにおい
て、出力部材と、ケースの外部から視認できる位置に設
けた弁開度表示装置とを、最小歯数差複合ハイポサイク
ロイド減速機構を介して連係する。
て、出力部材と、ケースの外部から視認できる位置に設
けた弁開度表示装置とを、最小歯数差複合ハイポサイク
ロイド減速機構を介して連係する。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を、添付
図面を参照して説明する。図1〜図4において、(1)は
ケース、(2)は、ケース(1)の上部を覆うカバー、(3)
は、ケース(1)の右端に設けられた正逆回転可能なモー
タで、その回転軸(4)はケース(1)内に向かって水平に
延出している。
図面を参照して説明する。図1〜図4において、(1)は
ケース、(2)は、ケース(1)の上部を覆うカバー、(3)
は、ケース(1)の右端に設けられた正逆回転可能なモー
タで、その回転軸(4)はケース(1)内に向かって水平に
延出している。
【0016】モータ(3)の回転軸(3)には、バランスウ
エイト(5)と、偏心筒(6)とが外嵌され、スプリングピ
ン(7)によりそれぞれ回り止めされている。
エイト(5)と、偏心筒(6)とが外嵌され、スプリングピ
ン(7)によりそれぞれ回り止めされている。
【0017】本実施例においては、モータ(3)の回転軸
(4)と偏心筒(6)とにより主軸が形成され、偏心筒(6)
が主軸の偏心軸部をなしている。
(4)と偏心筒(6)とにより主軸が形成され、偏心筒(6)
が主軸の偏心軸部をなしている。
【0018】この主軸の偏心軸部である偏心筒(6)に
は、歯数N1、N2を同一またはわずかに異ならせた第1外
歯(8a)と第2外歯(8b)とを有する外歯歯車(8)が、偏心
筒(6)とともに偏心運動可能として、かつ軸受(9)を介
して、偏心筒(6)と相対回転可能として、外嵌されてい
る。
は、歯数N1、N2を同一またはわずかに異ならせた第1外
歯(8a)と第2外歯(8b)とを有する外歯歯車(8)が、偏心
筒(6)とともに偏心運動可能として、かつ軸受(9)を介
して、偏心筒(6)と相対回転可能として、外嵌されてい
る。
【0019】第1外歯(8a)には、回転軸(4)と同心状に
ケース(1)内に枢支され、かつ外周面にウォームホイー
ル(10a)が形成された第1内歯歯車(10)の内歯(10b)が噛
合している。
ケース(1)内に枢支され、かつ外周面にウォームホイー
ル(10a)が形成された第1内歯歯車(10)の内歯(10b)が噛
合している。
【0020】(11)(12)は、第1内歯歯車(10)を回転可能
かつ左右方向に移動不能として挾むようにしてケース
(1)内に設けられたスペーサ、(13)は、それらの抜け止
め用の止め輪である。
かつ左右方向に移動不能として挾むようにしてケース
(1)内に設けられたスペーサ、(13)は、それらの抜け止
め用の止め輪である。
【0021】図2に示すように、ウォームホイール(10
a)は、ケース(1)に上下方向に移動自在かつ回転自在に
枢支されたトルク検出軸(14)の一部の外周面に形成され
たウォーム(15)に噛合している。
a)は、ケース(1)に上下方向に移動自在かつ回転自在に
枢支されたトルク検出軸(14)の一部の外周面に形成され
たウォーム(15)に噛合している。
【0022】トルク検出軸(14)は、ウォーム(15)が形成
された大径部(14a)と、その上方に順次連設された中径
部(14b)、雄ねじ部(14c)及び小径部(14d)と、大径部(14
a)の下端に連設された小径の連結軸部(14e)とからなっ
ている。
された大径部(14a)と、その上方に順次連設された中径
部(14b)、雄ねじ部(14c)及び小径部(14d)と、大径部(14
a)の下端に連設された小径の連結軸部(14e)とからなっ
ている。
【0023】大径部(14a)と中径部(14b)との間の段部(1
4f)と、雄ねじ部(14c)に螺合したナット(16)の下方に設
けた円板状の鍔板(17)との間には、多数の皿ばね(18)
と、それらを上下より挾む1対のばね座金(19)とが、中
径部(14b)に外嵌するようにして縮設されている。
4f)と、雄ねじ部(14c)に螺合したナット(16)の下方に設
けた円板状の鍔板(17)との間には、多数の皿ばね(18)
と、それらを上下より挾む1対のばね座金(19)とが、中
径部(14b)に外嵌するようにして縮設されている。
【0024】(20)は、ケース(1)の上端にボルト(21)を
もって固着され、かつ上方のばね座金(19)の上端外周面
に当接する内向きフランジ(20a)を有するほぼ円筒状の
押え部材である。
もって固着され、かつ上方のばね座金(19)の上端外周面
に当接する内向きフランジ(20a)を有するほぼ円筒状の
押え部材である。
【0025】トルク検出軸(14)は、常時は図2に示す中
立位置に維持されているが、ウォームホイール(10a)に
所要強さの回転力が作用すると、一方のばね座金(19)
を、ケース(1)または押え部材(20)に当接して停止して
いる他方のばね座金(19)に向かって移動し、皿ばね(18)
を圧縮させて上方または下方へ若干移動することができ
るようになっている。
立位置に維持されているが、ウォームホイール(10a)に
所要強さの回転力が作用すると、一方のばね座金(19)
を、ケース(1)または押え部材(20)に当接して停止して
いる他方のばね座金(19)に向かって移動し、皿ばね(18)
を圧縮させて上方または下方へ若干移動することができ
るようになっている。
【0026】トルク検出軸(14)の小径部(14d)には、上
下1対の円板状の作動板(22)(23)が、止めねじ(24)をも
って、上下位置調節可能として止着され、トルク検出軸
(14)が上下動したとき、各作動板(22)(23)が、ケース
(1)上の適宜の高さに保持された(その保持手段は図示
略)トルクリミットスイッチ(25)(26)の作動部に当接す
ることにより、ウォームホイール(10a)のトルクが予め
定めた設定値に達したことを検知し、モータ(3)の作動
を停止させるようになっている。
下1対の円板状の作動板(22)(23)が、止めねじ(24)をも
って、上下位置調節可能として止着され、トルク検出軸
(14)が上下動したとき、各作動板(22)(23)が、ケース
(1)上の適宜の高さに保持された(その保持手段は図示
略)トルクリミットスイッチ(25)(26)の作動部に当接す
ることにより、ウォームホイール(10a)のトルクが予め
定めた設定値に達したことを検知し、モータ(3)の作動
を停止させるようになっている。
【0027】かくして、トルク検出軸(14)、皿ばね(1
8)、作動板(22)(23)、トルクリミットスイッチ(25)(26)
等により、トルクリミット機構(A)が形成されている。
8)、作動板(22)(23)、トルクリミットスイッチ(25)(26)
等により、トルクリミット機構(A)が形成されている。
【0028】トルク検出軸(14)の連結軸部(14e)の中位
部には、水平のスプリングピン(27)が貫着されており、
このスプリングピン(27)の両端部が、ケース(1)の下端
部に回転自在に設けられたハンドル軸(28)の上端部の筒
部(28a)に形成したスリット(29)に係合することによ
り、ハンドル軸(28)の下端に設けた手動操作ハンドル(3
0)の回転により、トルク検出軸(14)が回転させられるよ
うになっている。
部には、水平のスプリングピン(27)が貫着されており、
このスプリングピン(27)の両端部が、ケース(1)の下端
部に回転自在に設けられたハンドル軸(28)の上端部の筒
部(28a)に形成したスリット(29)に係合することによ
り、ハンドル軸(28)の下端に設けた手動操作ハンドル(3
0)の回転により、トルク検出軸(14)が回転させられるよ
うになっている。
【0029】図1に示すように、ケース(1)の左半部の
中央には、回転軸(4)と同一軸線方向を向くほぼ円筒状
の出力部材(32)が回転自在に枢支されている。
中央には、回転軸(4)と同一軸線方向を向くほぼ円筒状
の出力部材(32)が回転自在に枢支されている。
【0030】出力部材(32)の右端と主軸である回転軸
(4)の左端との間には、軸受(33)が設けられている。ま
た、出力部材(32)の右端には、外歯歯車(8)の第2外歯
(8b)と噛合する内歯(34a)を有するほぼ円筒状の第2内
歯歯車(34)が外嵌され、かつスプリングピン(35)により
結合されている。
(4)の左端との間には、軸受(33)が設けられている。ま
た、出力部材(32)の右端には、外歯歯車(8)の第2外歯
(8b)と噛合する内歯(34a)を有するほぼ円筒状の第2内
歯歯車(34)が外嵌され、かつスプリングピン(35)により
結合されている。
【0031】内歯(34a)の歯数N4は、第1内歯歯車(10)
の内歯(10b)の歯数をN3としたとき、N2×N3/N1と同一
ではなく、かつそれに近い値となるように定めてある。
例えば、N2=35、N2=37、N3=37、N4=35等とすること
ができる。また、N1とN2とを同一とし、N3とN4とを1ま
たはわずかに異ならせたり、N3とN4とを同一とし、N1と
N2とを1またはわずかだけ異ならせたりすることもでき
る。
の内歯(10b)の歯数をN3としたとき、N2×N3/N1と同一
ではなく、かつそれに近い値となるように定めてある。
例えば、N2=35、N2=37、N3=37、N4=35等とすること
ができる。また、N1とN2とを同一とし、N3とN4とを1ま
たはわずかに異ならせたり、N3とN4とを同一とし、N1と
N2とを1またはわずかだけ異ならせたりすることもでき
る。
【0032】かくして、回転軸(4)、偏心筒(6)、外歯
歯車(8)、第1内歯歯車(10)、第2内歯歯車(34)等によ
り、減速比が著しく小さい最小歯数差複合ハイポサイク
ロイド減速機構(B)が形成され、モータ(3)の回転力を
著しく減速して、出力部材(32)に伝達することができる
ようになっている。
歯車(8)、第1内歯歯車(10)、第2内歯歯車(34)等によ
り、減速比が著しく小さい最小歯数差複合ハイポサイク
ロイド減速機構(B)が形成され、モータ(3)の回転力を
著しく減速して、出力部材(32)に伝達することができる
ようになっている。
【0033】出力部材(32)の右端部における第2内歯歯
車(34)の左方には、かさ歯車(36)が外嵌され、かつスプ
リングピン(37)により回り止めされている。このかさ歯
車(36)は、ケース(1)の上端にボルト(38)をもって固着
された軸受(39)により枢支された上下方向を向く弁開度
検出軸(40)の下端部に固嵌されたかさ歯車(41)に噛合
し、弁開度検出軸(40)を、出力部材(32)と同期して回転
させることができるようになっている。
車(34)の左方には、かさ歯車(36)が外嵌され、かつスプ
リングピン(37)により回り止めされている。このかさ歯
車(36)は、ケース(1)の上端にボルト(38)をもって固着
された軸受(39)により枢支された上下方向を向く弁開度
検出軸(40)の下端部に固嵌されたかさ歯車(41)に噛合
し、弁開度検出軸(40)を、出力部材(32)と同期して回転
させることができるようになっている。
【0034】弁開度検出軸(40)の上半部には、複数のカ
ム板(42)が止めねじ(43)により取付け角度調節可能とし
て止着され、弁開度検出軸(40)の回転に伴って、各カム
板(42)が、それに対向する位置に設けた開度検出リミッ
トスイッチ(44)を作動させることにより、弁開度が設定
値に達したことを検出しうるようになっている。
ム板(42)が止めねじ(43)により取付け角度調節可能とし
て止着され、弁開度検出軸(40)の回転に伴って、各カム
板(42)が、それに対向する位置に設けた開度検出リミッ
トスイッチ(44)を作動させることにより、弁開度が設定
値に達したことを検出しうるようになっている。
【0035】また、弁開度検出軸(40)の上端には、開度
表示板(45)が止めねじ(46)により止着されており、この
開度表示板(45)を、カバー(2)に設けたガラス板等より
なるのぞき窓(47)から視認することにより、弁開度を知
ることができるようになっている。
表示板(45)が止めねじ(46)により止着されており、この
開度表示板(45)を、カバー(2)に設けたガラス板等より
なるのぞき窓(47)から視認することにより、弁開度を知
ることができるようになっている。
【0036】かくして、かさ歯車(36)(41)、弁開度検出
軸(40)、カム(42)、開度検出リミットスイッチ(44)、開
度表示板(45)等により、弁開度表示装置(C)が形成され
ている。
軸(40)、カム(42)、開度検出リミットスイッチ(44)、開
度表示板(45)等により、弁開度表示装置(C)が形成され
ている。
【0037】出力部材(32)の左端部内面には、めねじ(4
8)とそれに続くスプライン溝(49)とを有する嵌合部(50)
が形成されている。
8)とそれに続くスプライン溝(49)とを有する嵌合部(50)
が形成されている。
【0038】ボールバルブ等のように、弁軸を回転させ
ることにより開閉するようにした弁装置を駆動する場合
には、図4に示すように、弁軸(51)の先端部外周にスプ
ライン(52)を形成しておき、それがスプライン溝(49)に
係合するようにして、弁軸(51)の先端部を嵌合部(50)に
嵌合し、ケース(1)を弁装置の本体(図示略)に結合す
る。
ることにより開閉するようにした弁装置を駆動する場合
には、図4に示すように、弁軸(51)の先端部外周にスプ
ライン(52)を形成しておき、それがスプライン溝(49)に
係合するようにして、弁軸(51)の先端部を嵌合部(50)に
嵌合し、ケース(1)を弁装置の本体(図示略)に結合す
る。
【0039】その状態で、モータ(3)を作動させて、そ
の回転軸(4)を予め定めた正転方向、またはその反対の
逆転方向に回転させると、外歯歯車(8)が偏心筒(6)と
ともに偏心運動して、第1内歯歯車(10)内を内サイクロ
イド運動する。このとき、第1内歯歯車(10)に掛るトル
クが小さいと、第1内歯歯車(10)はほとんど回転するこ
とはなく、外歯歯車(8)の回転数は、N1/N3、上記の例
では35/37である。
の回転軸(4)を予め定めた正転方向、またはその反対の
逆転方向に回転させると、外歯歯車(8)が偏心筒(6)と
ともに偏心運動して、第1内歯歯車(10)内を内サイクロ
イド運動する。このとき、第1内歯歯車(10)に掛るトル
クが小さいと、第1内歯歯車(10)はほとんど回転するこ
とはなく、外歯歯車(8)の回転数は、N1/N3、上記の例
では35/37である。
【0040】外歯歯車(8)が偏心運動しつつN1/N3だけ
回転すると、第2内歯歯車(34)と出力部材(32)は、1/
i=1−(N1×N4)/(N3×N2)だけ、上記の例では、1/i
=1−(35×35)/(37×33)=1/305.25だけ回転する。
回転すると、第2内歯歯車(34)と出力部材(32)は、1/
i=1−(N1×N4)/(N3×N2)だけ、上記の例では、1/i
=1−(35×35)/(37×33)=1/305.25だけ回転する。
【0041】このように、出力部材(32)は、きわめて大
きな減速比でモータ(3)により正逆回転され、それに結
合された弁軸(51)を介して、弁体(図示略)を強力に開
閉することができる。
きな減速比でモータ(3)により正逆回転され、それに結
合された弁軸(51)を介して、弁体(図示略)を強力に開
閉することができる。
【0042】出力部材(32)の回転と同期して、弁開度検
出軸(40)が回転するので、のぞき窓(47)を通して開度表
示板(45)を視認したり、カム板(42)により作動させられ
る開閉度検出リミットスイッチの作動等により、弁開度
を正確に制御することができる。
出軸(40)が回転するので、のぞき窓(47)を通して開度表
示板(45)を視認したり、カム板(42)により作動させられ
る開閉度検出リミットスイッチの作動等により、弁開度
を正確に制御することができる。
【0043】モータ(3)の作動途中で、例えば異物の噛
み込み等により、出力部材(32)の回転に大きな抵抗力が
発生し、第1内歯歯車(10)に大きなトルクが掛ると、そ
れと一体のウォームホイール(10a)が噛合しているウォ
ーム(15)とトルク検出軸(14)が、皿ばね(18)を圧縮させ
つつ上方または下方に移動し、上記トルクが設定値を超
えると、いずれかの作動板(22)(23)によりトルクリミッ
トスイッチ(25)(26)が作動させられて、モータ(3)の作
動が停止させられ、モータ(3)の焼きつき等が防止され
る。
み込み等により、出力部材(32)の回転に大きな抵抗力が
発生し、第1内歯歯車(10)に大きなトルクが掛ると、そ
れと一体のウォームホイール(10a)が噛合しているウォ
ーム(15)とトルク検出軸(14)が、皿ばね(18)を圧縮させ
つつ上方または下方に移動し、上記トルクが設定値を超
えると、いずれかの作動板(22)(23)によりトルクリミッ
トスイッチ(25)(26)が作動させられて、モータ(3)の作
動が停止させられ、モータ(3)の焼きつき等が防止され
る。
【0044】万一のモータ(3)の故障や停電等の場合に
は、手動操作ハンドル(30)を回転させることにより、ト
ルク検出軸(14)、そのウォーム(15)が噛合しているウォ
ームホイール(10a)と一体の第1内歯歯車(10)を順次回
転させ、それによって外歯歯車(8)を回転させて、出力
部材(32)を手動で回転させることもできる。
は、手動操作ハンドル(30)を回転させることにより、ト
ルク検出軸(14)、そのウォーム(15)が噛合しているウォ
ームホイール(10a)と一体の第1内歯歯車(10)を順次回
転させ、それによって外歯歯車(8)を回転させて、出力
部材(32)を手動で回転させることもできる。
【0045】図5〜図7は、上述の実施例のものの弁開
度表示装置(C)及びカバー(2)を、構造の若干異なる弁
開度表示装置(C')及びカバー(2')と交換し、他は同じ
として、リニア型バルブ用のアクチュエータとして用い
た場合の例を示す。
度表示装置(C)及びカバー(2)を、構造の若干異なる弁
開度表示装置(C')及びカバー(2')と交換し、他は同じ
として、リニア型バルブ用のアクチュエータとして用い
た場合の例を示す。
【0046】図5に示すように、上述と同様の出力部材
(32)の嵌合部(50)には、内面にめねじ(53a)を刻設した
ステムナット(53)が、その外周に形成したスプライン(5
3b)をスプライン溝(44)に係合させて嵌合され、かつそ
の外側から2個の押えリング(54)(54)をめねじ(48)に螺
合させることにより、ステムナット(53)は出力部材(32)
内に固定されている。
(32)の嵌合部(50)には、内面にめねじ(53a)を刻設した
ステムナット(53)が、その外周に形成したスプライン(5
3b)をスプライン溝(44)に係合させて嵌合され、かつそ
の外側から2個の押えリング(54)(54)をめねじ(48)に螺
合させることにより、ステムナット(53)は出力部材(32)
内に固定されている。
【0047】このようにして、出力部材(32)を、上述と
同様にしてモータ(3)の作動または手動操作ハンドル(3
0)の回転により回転させることによって、ステムナット
(53)のめねじ(53a)に螺合させた弁軸(55)の雄ねじ部(55
a)を軸線方向に移動させ、リニア型バルブの弁体(図示
略)を強力な力で開閉させることができる。
同様にしてモータ(3)の作動または手動操作ハンドル(3
0)の回転により回転させることによって、ステムナット
(53)のめねじ(53a)に螺合させた弁軸(55)の雄ねじ部(55
a)を軸線方向に移動させ、リニア型バルブの弁体(図示
略)を強力な力で開閉させることができる。
【0048】このときの出力部材(32)の1回転当たりの
弁軸(55)の軸線方向の移動量は、ステムナット(53)のめ
ねじ(53a)の1ピッチ分にしか過ぎず、弁体を全開から
全閉まで移動させるのに、出力部材(32)を数十回転させ
る必要あるので、上述の弁開度表示装置(C)をそのまま
用いたのでは、弁開度検出軸(40)の回転数が大き過ぎ
て、弁の開度を表示することはできない。
弁軸(55)の軸線方向の移動量は、ステムナット(53)のめ
ねじ(53a)の1ピッチ分にしか過ぎず、弁体を全開から
全閉まで移動させるのに、出力部材(32)を数十回転させ
る必要あるので、上述の弁開度表示装置(C)をそのまま
用いたのでは、弁開度検出軸(40)の回転数が大き過ぎ
て、弁の開度を表示することはできない。
【0049】そのため、図5〜図7に示す例では、上述
の最小歯数差複合ハイポサイクロイド減速機構(B)と同
様の最小歯数差複合ハイポサイクロイド減速機構(B')
を、弁開度表示装置(C')に減速機構として組み込み、
出力部材(32)の回転を著しく減速して、弁開度検出軸(4
0')に伝達し、弁の開閉と開度表示板(45)の回転とを同
期させるようにしてある。
の最小歯数差複合ハイポサイクロイド減速機構(B)と同
様の最小歯数差複合ハイポサイクロイド減速機構(B')
を、弁開度表示装置(C')に減速機構として組み込み、
出力部材(32)の回転を著しく減速して、弁開度検出軸(4
0')に伝達し、弁の開閉と開度表示板(45)の回転とを同
期させるようにしてある。
【0050】具体的には、最小歯数差複合ハイポサイク
ロイド減速機構(B')は、ケース(1)の上端にボルト(3
8)をもって固定された上下2段の軸受(56)(57)の下方の
軸受(57)に、上下方向を向く主軸(58)を枢支し、その下
端に、かさ歯車(36)と噛合するかさ歯車(59)を固嵌し、
主軸(58)の偏心軸部(60)に、第1外歯(61a)と第2外歯
(61b)とを有する外歯歯車(61)を回転自在に外嵌し、第
1外歯(61a)と噛合する第1内歯歯車(62)を、軸受(57)
に固着するとともに、第2外歯(61b)と噛合する第2内
歯歯車(63)を、上方の軸受(56)に枢支された中間軸(64)
の下端に固着し、外歯歯車(61)の第1外歯(61a)と第2
外歯(61b)の歯数、及び第1内歯歯車(62)と第2内歯歯
車(63)の内歯の歯数とを、上記と同様に定めることによ
り、上記と同様の原理で、出力部材(32)の回転を著しく
減速して、中間軸(64)に伝達しうるようになっている。
ロイド減速機構(B')は、ケース(1)の上端にボルト(3
8)をもって固定された上下2段の軸受(56)(57)の下方の
軸受(57)に、上下方向を向く主軸(58)を枢支し、その下
端に、かさ歯車(36)と噛合するかさ歯車(59)を固嵌し、
主軸(58)の偏心軸部(60)に、第1外歯(61a)と第2外歯
(61b)とを有する外歯歯車(61)を回転自在に外嵌し、第
1外歯(61a)と噛合する第1内歯歯車(62)を、軸受(57)
に固着するとともに、第2外歯(61b)と噛合する第2内
歯歯車(63)を、上方の軸受(56)に枢支された中間軸(64)
の下端に固着し、外歯歯車(61)の第1外歯(61a)と第2
外歯(61b)の歯数、及び第1内歯歯車(62)と第2内歯歯
車(63)の内歯の歯数とを、上記と同様に定めることによ
り、上記と同様の原理で、出力部材(32)の回転を著しく
減速して、中間軸(64)に伝達しうるようになっている。
【0051】中間軸(64)と、中間軸(64)より後方に回転
自在に配設した上下方向を向く弁開度検出軸(40')と
は、互いに噛合する1対の平歯車(65)(66)により互いに
連係されている。
自在に配設した上下方向を向く弁開度検出軸(40')と
は、互いに噛合する1対の平歯車(65)(66)により互いに
連係されている。
【0052】カバー(2')は、弁開度検出軸(40')の伝達
を、上述の図2及び図3に示す弁開度検出軸(40)より後
方にずらしたことに伴って、のぞき窓(47')の位置をそ
れに整合するように後方にずらしたものである。
を、上述の図2及び図3に示す弁開度検出軸(40)より後
方にずらしたことに伴って、のぞき窓(47')の位置をそ
れに整合するように後方にずらしたものである。
【0053】このように、弁開度表示装置(C')とカバ
ー(2')とを、上述のものと交換するだけで、他の構成
部材はそのままとして、リニア型バルブの駆動に用いる
ことができる。
ー(2')とを、上述のものと交換するだけで、他の構成
部材はそのままとして、リニア型バルブの駆動に用いる
ことができる。
【0054】なお、上記実施例において、トルクリミッ
ト機構(A)と手動操作ハンドル(30)とを設ける必要がな
い場合は、第1内歯歯車(10)をケース(1)内に固定して
おけばよく、またトルクリミット機構(A)は不要で手動
操作ハンドル(30)が必要な場合は、第1内歯歯車(10)と
手動操作ハンドル(30)とを、例えば平歯車機構等に何ら
かの連係手段により連係させればよい。
ト機構(A)と手動操作ハンドル(30)とを設ける必要がな
い場合は、第1内歯歯車(10)をケース(1)内に固定して
おけばよく、またトルクリミット機構(A)は不要で手動
操作ハンドル(30)が必要な場合は、第1内歯歯車(10)と
手動操作ハンドル(30)とを、例えば平歯車機構等に何ら
かの連係手段により連係させればよい。
【0055】また、本発明のバルブアクチュエータは、
本来のバルブの駆動だけでなく、バルブ以外の物を回転
駆動する場合にも用いることができるとともに、トルク
リミット機構を設けたものは、トルクリミッターとし
て、また手動操作ハンドルを設けたものは、手動操作ハ
ンドルを有する回転駆動手段として用いることもでき
る。
本来のバルブの駆動だけでなく、バルブ以外の物を回転
駆動する場合にも用いることができるとともに、トルク
リミット機構を設けたものは、トルクリミッターとし
て、また手動操作ハンドルを設けたものは、手動操作ハ
ンドルを有する回転駆動手段として用いることもでき
る。
【0056】
【発明の効果】本発明によると、次のような効果を奏す
ることがができる。 (a) 請求項1記載の発明によると、簡単な構造で著し
く大きな減速比を得ることができ、小型で低出力のモー
タを用いることができるとともに、装置全体の小型、軽
量化、低コスト化を図ることができる。また、ウォーム
とウォームホイールを用いた減速機構のように、作動時
に大きな摩擦が生じることがなく、軽快にかつ静かに作
動することができ、作動時の騒音の発生を小さくするこ
とができる。
ることがができる。 (a) 請求項1記載の発明によると、簡単な構造で著し
く大きな減速比を得ることができ、小型で低出力のモー
タを用いることができるとともに、装置全体の小型、軽
量化、低コスト化を図ることができる。また、ウォーム
とウォームホイールを用いた減速機構のように、作動時
に大きな摩擦が生じることがなく、軽快にかつ静かに作
動することができ、作動時の騒音の発生を小さくするこ
とができる。
【0057】(b) 請求項2記載の発明によると、最小
歯数差複合ハイポサイクロイド減速機構の構造をうまく
利用して、すなわち、その第1内歯歯車に掛るトルクを
取り出してトルクリミット機構を構成することにより、
モータに掛る負荷を正確に、かつ簡単な構造で検出する
ことができる。
歯数差複合ハイポサイクロイド減速機構の構造をうまく
利用して、すなわち、その第1内歯歯車に掛るトルクを
取り出してトルクリミット機構を構成することにより、
モータに掛る負荷を正確に、かつ簡単な構造で検出する
ことができる。
【0058】(c) 請求項3記載の発明によると、第1
内歯歯車に連係した手動操作ハンドルを回転させること
により、万一の電気系統の故障等の場合にも、適度の減
速比をもって手動で開閉させることができる。
内歯歯車に連係した手動操作ハンドルを回転させること
により、万一の電気系統の故障等の場合にも、適度の減
速比をもって手動で開閉させることができる。
【0059】また、従来のバルブアクチュエータにおい
ては、手動操作ハンドルと、モータとを、クラッチ等を
介することなく、ともに、減速機構に連係させておいた
り、またはその状態でそれらを同時に作動させるような
ことは、故障や歯車の破損の原因となるので、考えられ
なかったことであるが、請求項3記載の発明によると、
第1内歯歯車と手動操作ハンドルとを、クラッチ等を介
することなく、常時直結しておくことができるととも
に、その状態で、手動操作ハンドルとモータとを同時に
作動させても、それらの回転力が合成されて出力部材に
伝達されるだけで、何らかの支障が生じるようなことは
全くなく、安全である。
ては、手動操作ハンドルと、モータとを、クラッチ等を
介することなく、ともに、減速機構に連係させておいた
り、またはその状態でそれらを同時に作動させるような
ことは、故障や歯車の破損の原因となるので、考えられ
なかったことであるが、請求項3記載の発明によると、
第1内歯歯車と手動操作ハンドルとを、クラッチ等を介
することなく、常時直結しておくことができるととも
に、その状態で、手動操作ハンドルとモータとを同時に
作動させても、それらの回転力が合成されて出力部材に
伝達されるだけで、何らかの支障が生じるようなことは
全くなく、安全である。
【0060】(d) 特に、請求項4記載の発明のよう
に、手動操作ハンドルを、請求項2のトルク検出軸に連
係すれば、手動操作のための特別な歯車等を設ける必要
がなく、好都合である。
に、手動操作ハンドルを、請求項2のトルク検出軸に連
係すれば、手動操作のための特別な歯車等を設ける必要
がなく、好都合である。
【0061】(e) 請求項5記載の発明のように、出力
部材と連動するようにした弁開度表示装置を設けること
により、弁開度を正確に知ることができる。
部材と連動するようにした弁開度表示装置を設けること
により、弁開度を正確に知ることができる。
【0062】(f) 請求項6記載の発明によると、単一
のバルブアクチュエータにより、弁軸回転型バルブと、
弁軸を軸線方向に移動させて弁体を開閉させるリニア型
バルブとの両方を駆動することができ、凡用性を高める
ことができる。
のバルブアクチュエータにより、弁軸回転型バルブと、
弁軸を軸線方向に移動させて弁体を開閉させるリニア型
バルブとの両方を駆動することができ、凡用性を高める
ことができる。
【0063】(g) 請求項7記載の発明によると、リニ
ア型バルブを駆動する場合に、その出力部材の回転を著
しく減速して弁開度表示装置に伝達することができ、大
型のリニア型バルブを駆動するアクチュエータとして最
適である。
ア型バルブを駆動する場合に、その出力部材の回転を著
しく減速して弁開度表示装置に伝達することができ、大
型のリニア型バルブを駆動するアクチュエータとして最
適である。
【図1】本発明の一実施例の弁軸回転型バルブの駆動用
として用いた場合の縦断正面図である。
として用いた場合の縦断正面図である。
【図2】同じく縦断側面図である。
【図3】同じくカバーを外した状態の平面図である。
【図4】同じく弁軸と出力部材との結合部を示す分解縦
断正面図である。
断正面図である。
【図5】リニア型バルブの駆動用として用いた場合の縦
断正面図である。
断正面図である。
【図6】同じく縦断側面図である。
【図7】同じくカバーを外した状態の平面図である。
(A)トルクリミット機構 (B)(B')最小歯数差複合ハイポサイクロイド減速機構 (C)(C')弁開度表示装置 (1)ケース (2)(2')カバー (3)モータ (4)回転軸(主軸) (5)バランスウエイト (6)偏心筒(偏心軸部) (7)スプリングピン (8)外歯歯車 (8a)第1外歯 (8b)第2外歯 (9)軸受 (10)第1内歯歯車 (10a)ウォームホイール (10b)内歯 (11)(12)スペーサ (13)止め輪 (14)トルク検出軸 (14a)大径部 (14b)中径部 (14c)雄ねじ部 (14d)小径部 (14e)連結軸部 (14f)段部 (15)ウォーム (16)ナット (17)鍔板 (18)皿ばね (19)ばね座金 (20)押え部材 (20)内向きフランジ (21)ボルト (22)(23)作動板 (24)止めねじ (25)(26)トルクリミットスイッチ (27)スプリングピン (28)ハンドル軸 (29)スリット (30)手動操作ハンドル (32)出力部材 (33)軸受 (34)第2内歯歯車 (34a)内歯 (35)スプリングピン (36)かさ歯車 (37)スプリングピン (38)ボルト (39)軸受 (40)(40')弁開度検出軸 (41)かさ歯車 (42)カム板 (43)止めねじ (44)開度検出リミットスイッチ (45)開度表示板 (46)止めねじ (47)(47')のぞき窓 (48)めねじ (49)スプライン溝 (50)嵌合部 (51)弁軸 (52)スプライン (53)ステムナット (53a)めねじ (53b)スプライン (54)押えリング (55)弁軸 (55a)雄ねじ部 (56)(57)軸受 (58)主軸 (59)かさ歯車 (60)偏心軸部 (61)外歯歯車 (61a)第1外歯 (61b)第2外歯 (62)第1内歯歯車 (63)第2内歯歯車 (64)中間軸 (65)(66)平歯車
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // F16H 1/32 F16H 1/32 A
Claims (7)
- 【請求項1】 ケースと、 モータにより正逆回転させられるようにしてケース内に
枢支され、かつ偏心軸部を有する主軸と、 主軸の偏心軸部に回転可能かつ偏心軸部とともに偏心運
動可能として外嵌され、かつ外周面に、歯数N1、N2を同
一またはわずかに異ならせた第1外歯及び第2外歯を有
する外歯歯車と、 主軸と同心状にケース内に配設され、内面に前記第1外
歯と噛合する内歯を有するとともに、常時はケースに固
定された第1内歯歯車と、 主軸と同心状にケース内に枢支され、かつ内面に、前記
外歯歯車の第2外歯と噛合するとともに、歯数N4を、前
記第1内歯歯車の歯数をN3としたとき、N2×N3/N1と同
一ではなくかつそれに近い値に定めた内歯を有する第2
内歯歯車と、 前記第2内歯歯車と同期回転するようにケース内に設け
られた出力部材とを備えることを特徴とするバルブアク
チュエータ。 - 【請求項2】 ケースと、 モータにより正逆回転させられるようにしてケース内に
枢支され、かつ偏心軸部を有する主軸と、 主軸の偏心軸部に回転可能かつ偏心軸部とともに偏心運
動可能として外嵌され、かつ外周面に、歯数N1、N2を同
一またはわずかに異ならせた第1外歯及び第2外歯を有
する外歯歯車と、 主軸と同心状にケース内に枢支され、内面に前記第1外
歯と噛合する内歯を有するとともに、外周面にウォーム
ホイールが形成された第1内歯歯車と、 主軸と同心状にケース内に枢支され、かつ内面に、前記
外歯歯車の第2外歯と噛合するとともに、歯数N4を、前
記第1内歯歯車の歯数をN3としたとき、N2×N3/N1と同
一ではなくかつそれに近い値に定めた内歯を有する第2
内歯歯車と、 前記第2内歯歯車と同期回転するようにケース内に設け
られた出力部材と、 前記ウォームホイールと噛合するウォームを有するトル
ク検出軸を、中立位置から軸線方向に移動可能として、
かつ前記中立位置に向かって復帰するようにばね付勢し
て、ケース内に収容し、かつトルク検出軸が中立位置か
ら離されたことをリミットスイッチにより検出して、モ
ータの作動を停止するようにしたトルクリミット機構と
を備えることを特徴とするバルブアクチュエータ。 - 【請求項3】 第1内歯歯車をケースに回転自在に枢支
するとともに、前記第1内歯歯車を、手動操作ハンドル
に連係した請求項1記載のバルブアクチュエータ。 - 【請求項4】 トルク検出軸に、手動操作ハンドルを連
結した請求項2記載のバルブアクチュエータ。 - 【請求項5】 ケースの外部から視認できる位置に、出
力部材と連動して回転するようにした弁開度表示装置を
設けた請求項1〜4のいずれかに記載のバルブアクチュ
エータ。 - 【請求項6】 出力部材に、弁軸を回転させることによ
り開閉するようにした弁装置における前記弁軸を相対回
転不能として嵌合しうるとともに、弁軸を軸線方向に移
動させることにより開閉するようにした弁装置における
前記弁軸の外周に形成した雄ねじと螺合するステムナッ
トを相対回転不能として嵌合しうるようにした嵌合部を
設けた請求項1〜5のいずれかに記載のバルブアクチュ
エータ。 - 【請求項7】 出力部材と、ケースの外部から視認でき
る位置に設けた弁開度表示装置とを、最小歯数差複合ハ
イポサイクロイド減速機構を介して連係した請求項1〜
6のいずれかに記載のバルブアクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14692696A JPH09329259A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | バルブアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14692696A JPH09329259A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | バルブアクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09329259A true JPH09329259A (ja) | 1997-12-22 |
Family
ID=15418705
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14692696A Pending JPH09329259A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | バルブアクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09329259A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1996
- 1996-06-10 JP JP14692696A patent/JPH09329259A/ja active Pending
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