JPH09327924A - Nozzle plate - Google Patents
Nozzle plateInfo
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- JPH09327924A JPH09327924A JP15057096A JP15057096A JPH09327924A JP H09327924 A JPH09327924 A JP H09327924A JP 15057096 A JP15057096 A JP 15057096A JP 15057096 A JP15057096 A JP 15057096A JP H09327924 A JPH09327924 A JP H09327924A
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- Japan
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- nozzle plate
- board
- actuator
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンタ用印字ヘッドに用いられるノズルプレートに関
し、特に、その材質が液晶ポリマーであるノズルプレー
トに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nozzle plate used in a print head for an inkjet printer, and more particularly to a nozzle plate whose material is liquid crystal polymer.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、ドロップオンデマンド方式のイン
クジェットヘッドとして、例えば、圧電セラミックスの
変形によってインク流路の容積を変化させ、その容積減
少時にインク流路内のインクをノズルから液滴として噴
射し、容積増大時にインク導入口からインク流路内にイ
ンクを導入するようにしたものがある。そして、所要の
印字データに従って所要の位置のノズルからインク滴を
噴射させることにより、インクジェットヘッドと対向す
る紙面上等に所望する文字や画像を形成するものであ
る。この種のインクジェットヘッドとしては、例えば特
開昭63−247051号公報に記載されているものが
ある。このインクジェットヘッドは、圧電セラミックス
の隔壁によって隔てられた複数の平行なインク流路を形
成し、前記インク流路の一端をノズルプレートの前記ノ
ズルに連通し、他端をインクを供給するインク供給手段
に接続し、前記隔壁の変形によってインク流路の容積を
変化させて前記ノズルからインクを噴射するものであ
る。上述のような複数のインク噴射口を有するインクジ
ェットヘッドのノズルプレートの製造は、射出成形技術
を用いて形成する手法がよく知られている。その製造方
法として、例えば、特開平3−297651号公報に開
示されているように、高分子樹脂材料で射出成形した
後、インク噴射口をエキシマレーザ装置等によりレーザ
加工により形成する方法が知られている。しかし、エキ
シマレーザ装置は非常に高価な装置であり、加工時間、
即ち加工する部分の肉厚に比例してノズルプレートの生
産コストが高くなっていた為、加工部の薄肉化が要求さ
れていた。また、ノズルプレートの材質としては、一般
にPSF(ポリサルフォン)が用いられていた。2. Description of the Related Art Conventionally, as a drop-on-demand type ink jet head, for example, the volume of an ink flow path is changed by deformation of piezoelectric ceramics, and when the volume is reduced, the ink in the ink flow path is ejected as a droplet from a nozzle. In some cases, ink is introduced into the ink flow path from the ink introduction port when the volume is increased. Then, ink droplets are ejected from a nozzle at a required position in accordance with required print data to form a desired character or image on a paper surface facing the inkjet head. As this type of ink jet head, for example, there is one described in JP-A-63-247051. This ink jet head forms a plurality of parallel ink flow paths separated by piezoelectric ceramic partitions, one end of the ink flow path communicates with the nozzle of the nozzle plate, and the other end supplies ink. The ink is ejected from the nozzle by changing the volume of the ink flow path by the deformation of the partition wall. A method of forming a nozzle plate of an inkjet head having a plurality of ink ejection ports as described above using an injection molding technique is well known. As a manufacturing method thereof, for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-297651, there is known a method of forming an ink ejection port by laser processing using an excimer laser device or the like after injection molding with a polymer resin material. ing. However, the excimer laser device is a very expensive device, and the processing time,
That is, since the production cost of the nozzle plate has increased in proportion to the thickness of the portion to be processed, it has been required to reduce the thickness of the processed portion. Further, PSF (polysulfone) is generally used as the material of the nozzle plate.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、PSF
を使用して成形されたノズルプレートには、次のような
問題点があった。 <1>使用するインクの種類によって、例えば、顔料、
染料、その他の溶剤を含むインクなどによっては、ノズ
ルプレートが侵食される場合がある。そのため、ノズル
プレートが割れたり、溶かされたりする恐れがあるた
め、使用できるインクの種類が限定されていた。 <2>また、解像度を良好にする為のノズルの高集積化
に伴い、ノズルを形成する数μmから数十μmの金型の
コアピンが複数行、複数列配置される。一方、PSFは
溶融粘度が高く、金型内での流動性が良くない為、通常
の射出成型法では、射出圧を高くして、ノズル部周辺の
肉厚を厚くしないと充填できない。しかし、肉厚を厚く
すると前記の微細なコアピンの長さが長くなり、加えて
射出圧力が高いとコアピンの破損が多発した。コアピン
の長さを変えずに肉厚のみを厚くしても成形は可能だ
が、エキシマレーザでの加工部が増し、生産コストが高
くなると言う問題があった。すなわち、ノズルプレート
としては、PSFよりさらに薄肉化できる素材が求めら
れていた。[Problems to be Solved by the Invention] However, PSF
The nozzle plate formed by using has the following problems. <1> Depending on the type of ink used, for example, a pigment,
The nozzle plate may be eroded by the ink containing the dye or other solvent. Therefore, the nozzle plate may be broken or melted, so that the types of ink that can be used are limited. <2> Further, as the nozzles are highly integrated to improve the resolution, core pins of a mold for forming the nozzles of several μm to several tens μm are arranged in a plurality of rows and a plurality of columns. On the other hand, since PSF has a high melt viscosity and poor fluidity in the mold, it cannot be filled in the ordinary injection molding method unless the injection pressure is increased and the wall thickness around the nozzle portion is increased. However, if the wall thickness is increased, the length of the fine core pin becomes long, and in addition, if the injection pressure is high, the core pin frequently breaks. Molding is possible even if only the wall thickness is increased without changing the length of the core pin, but there is a problem in that the number of processed parts by the excimer laser increases and the production cost increases. That is, as the nozzle plate, a material that can be made thinner than PSF has been required.
【0004】<3>また、インクジェットプリンタで
は、インクを噴射するためのインクジェットヘッドとし
てピエゾタイプのアクチュエータが広く使用される。ノ
ズルプレートの片面はアクチュエータに接着され、アク
チュエータにより押し出されたインクが、ノズルプレー
トに形成されたノズルから噴射される。ピエゾタイプの
アクチュエータには一般的に、PZT(チタン酸ジルコ
ン酸鉛)が使用される。しかし、PSF(ノズルプレー
ト)はPZT(アクチュエータ)に比べて熱膨張率が大
きい。具体的には、PZTの熱膨張率が0.2〜0.3
×10-5mm/mm/℃であるのに対し、PSFの熱膨
張率は5.6×10-5mm/mm/℃である。すなわ
ち、温度が1℃変化したときの膨張率が5×10-5mm
/mm以上異なる。そのため、長時間の使用により、温
度が大きく上昇したり、または、使用される環境温度の
違いなどにより、ノズルプレートとアクチュエータの大
きさに差異が生じ、接合部分が剥離する恐れがある。<3> Further, in an ink jet printer, a piezo type actuator is widely used as an ink jet head for ejecting ink. One surface of the nozzle plate is adhered to the actuator, and the ink pushed out by the actuator is ejected from the nozzles formed on the nozzle plate. PZT (lead zirconate titanate) is generally used for a piezo type actuator. However, PSF (nozzle plate) has a larger coefficient of thermal expansion than PZT (actuator). Specifically, the coefficient of thermal expansion of PZT is 0.2 to 0.3.
× to 10 -5 in the range of mm / mm / ℃, the thermal expansion coefficient of the PSF is 5.6 × 10 -5 mm / mm / ℃. That is, the expansion coefficient when the temperature changes by 1 ° C. is 5 × 10 −5 mm
/ Mm or more different. Therefore, there is a possibility that the size of the nozzle plate and the size of the actuator may be different due to a large temperature rise due to long-term use, or the size of the nozzle plate and the actuator may be separated due to the difference in the ambient temperature used.
【0005】<4>また、PSFの熱変形温度は174
℃であるので、ノズルプレートのインク吐出面をコート
する撥液性膜を形成するNWC(ノンウエットコート)
剤及びノズルプレートとアクチュエータとの接着に使用
される接着剤の選定において、その加熱硬化温度が17
4℃よりも低いものに限定される。特に、撥液性能が良
好な材質であるフッ素系のNWC剤は、加熱硬化温度が
高いものの方が、ノズルプレートとの密着性や耐久性が
良好になる傾向が見られた。すなわち、ノズルプレート
としては、耐熱温度が高い素材が求められていた。<4> The heat distortion temperature of PSF is 174.
Since it is ℃, NWC (non-wet coat) that forms a liquid repellent film that coats the ink ejection surface of the nozzle plate
In the selection of the adhesive agent and the adhesive agent used for adhering the nozzle plate and the actuator, the heat curing temperature is 17
Limited to those below 4 ° C. In particular, the fluorine-based NWC agent, which is a material having good liquid repellency, tends to have better adhesion to the nozzle plate and better durability when the heat curing temperature is higher. That is, a material having a high heat resistant temperature has been required for the nozzle plate.
【0006】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであり、<1>ほとんど全てのインクが使用可
能、<2>薄肉成形可能、<3>アクチュエータと接合
部の剥離が起こりにくい、<4>NWC剤、接着剤の選
択範囲が広い、という優れた素材を使用し、かつ、きれ
いなノズル穴を形成することの出来るノズルプレートを
提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems. <1> Almost all inks can be used, <2> Thin-wall molding is possible, <3> Peeling between an actuator and a joint is less likely to occur. , <4> NWC agent, a wide selection range of the adhesive agent is used, and an object thereof is to provide a nozzle plate capable of forming a clean nozzle hole.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のノズルプレートは、インクを噴射するノズル
孔が形成されたノズルプレートであって、素材が液晶ポ
リマー(LCP)であることを特徴とする。特に、液晶
ポリマーが、半芳香族液晶ポリエステルであるとさらに
よい。To achieve the above object, the nozzle plate of the present invention is a nozzle plate having nozzle holes for ejecting ink, and the material is liquid crystal polymer (LCP). Characterize. In particular, the liquid crystal polymer is more preferably a semi-aromatic liquid crystal polyester.
【0008】液晶ポリマー(LCP)は、溶融状態で液
晶を形成し、溶融状態で応力が加わると分子鎖が一方向
に配向し、溶融粘度が下がる。また、そのまま冷却する
と、分子が配向したまま固化し、安定する。そのため、
成形性に優れ、高強度、高弾性率を有する。そのような
特徴を持つLCPの中でも特に半芳香族ポリエステル
は、結晶性の低いLCPであるため、配向が少なく、成
形性、精密性に特に優れている。LCPをノズルプレー
トの素材として用いる事は、従来のPSFを使用した場
合の問題点に対し以下の様な効果がある。Liquid crystal polymer (LCP) forms a liquid crystal in a molten state, and when stress is applied in a molten state, molecular chains are oriented in one direction and the melt viscosity is lowered. Further, when cooled as it is, the molecules are solidified while being oriented and stabilized. for that reason,
It has excellent moldability, high strength and high elastic modulus. Among the LCPs having such characteristics, the semi-aromatic polyester is an LCP having low crystallinity and therefore has a low orientation and is particularly excellent in moldability and precision. The use of LCP as the material of the nozzle plate has the following effects against the problems when the conventional PSF is used.
【0009】<1>LCPは、ほとんどの有機溶剤に侵
されないのでインクの種類に関わらず使用できる。 <2>また、溶融粘度が低いので、PSFで成形する場
合に比べ、数分の1の圧力で成形できるため、極めて薄
肉の成形品を形成することができる。<1> LCP can be used regardless of the type of ink since it is not affected by most organic solvents. <2> Further, since the melt viscosity is low, the molding can be performed with a pressure of a fraction of that in the case of molding with PSF, so that an extremely thin molded product can be formed.
【0010】<3>また、LCPの熱膨張率がアクチュ
エータの熱膨張率と近いため、アクチュエータとの接合
部分の剥離が起こりにくい。具体的には、LCPの特徴
として、熱膨張率が2.8×10-5mm/mm/℃であ
る。アクチュエータの熱膨張率が0.2〜0.3×10
-5mm/mm/℃であり、従来のPSFの熱膨張率は
5.6×10-5mm/mm/℃である。このため、LC
Pの熱膨張率はPSFの約半分となり、アクチュエータ
の熱膨張率とより近いため、温度が変化しても、接合部
分の剥離が起こりにくい。 <4>さらに、LCPの熱変形温度は180℃と、PS
Fよりも高いので、NWC剤及び接着剤の選定におい
て、PSFよりも使用できる種類の範囲が広くなる。従
って、密着性能や耐久性能を向上させることが可能とな
る。<3> Further, since the thermal expansion coefficient of the LCP is close to the thermal expansion coefficient of the actuator, peeling of the joint portion with the actuator is unlikely to occur. Specifically, as a characteristic of LCP, the coefficient of thermal expansion is 2.8 × 10 −5 mm / mm / ° C. The coefficient of thermal expansion of the actuator is 0.2 to 0.3 × 10
-5 mm / mm / ° C, and the thermal expansion coefficient of the conventional PSF is 5.6 x 10 -5 mm / mm / ° C. Therefore, LC
The coefficient of thermal expansion of P is about half that of PSF, which is closer to the coefficient of thermal expansion of the actuator, so that peeling of the bonded portion does not easily occur even if the temperature changes. <4> Furthermore, the heat distortion temperature of LCP is 180 ° C and PS
Since it is higher than F, in the selection of NWC agent and adhesive, the range of types that can be used is wider than PSF. Therefore, it is possible to improve the adhesion performance and the durability performance.
【0011】以上のように優れた性質を持つLCPであ
るが、以下に述べるように、成形する上での問題点があ
った。まず、一般にLCPでは、フィラーとして強度や
難燃性を上げるためにガラス繊維などの微粉を混入する
ことがある。これをLCPの強化グレードと呼ぶ。しか
し一方、ノズルプレートのノズル穴加工は一般的にレー
ザー加工で形成する。その際には、ノズルプレートの材
料としてのLCPにフィラー等の充填剤が入っている強
化グレードでは、きれいな穴が形成されない。すなわ
ち、レーザー熱がLCPとフィラーで均一に吸収されな
いため、フィラーが残ってしまう場合がある。Although the LCP has excellent properties as described above, it has a problem in molding as described below. First, in general LCP, fine powder such as glass fiber may be mixed as a filler in order to increase strength and flame retardancy. This is called the reinforced grade of LCP. However, on the other hand, the nozzle holes of the nozzle plate are generally formed by laser processing. In that case, a clean hole cannot be formed in the reinforced grade in which the filler such as the filler is contained in the LCP as the material of the nozzle plate. That is, since the laser heat is not uniformly absorbed by the LCP and the filler, the filler may remain.
【0012】一方、LCPの充填剤が入っていない非強
化グレードでは、成形面に力が加わるとケバ立ちしてし
まう。例えば、成形後の超音波洗浄やワイピングの際に
ケバ立ちができやすい。その理由としては、無充填の非
強化グレードでは、強化グレードよりさらに流れ方向の
分子鎖の配向が強いからと思われる。On the other hand, in the case of the non-reinforced grade containing no LCP filler, a force is applied to the molding surface to cause fluffing. For example, fluffing is likely to occur during ultrasonic cleaning or wiping after molding. This is probably because the unfilled non-reinforced grade has a stronger orientation of the molecular chains in the flow direction than the reinforced grade.
【0013】以上の理由により、強化グレードも非強化
グレードもいずれも、ノズルプレートとして使用した場
合、きれいなノズル穴が形成されない。そのため、ノズ
ルから噴射されるインク滴の飛翔方向に液滴曲がりによ
るばらつきが生じたり、インクの噴射タイミングにばら
つきが生じるなどインクが適正に噴射されないため、ノ
ズルプレートとして使用できなかった。For the above reasons, when both the reinforced grade and the non-reinforced grade are used as the nozzle plate, clean nozzle holes cannot be formed. As a result, the ink cannot be ejected properly because the ink droplets ejected from the nozzles may fluctuate in the flight direction due to the bending of the ink droplets, or the ejection timing of the ink may fluctuate.
【0014】上記問題点を解決するため、本発明のノズ
ルプレートは、外面にフッ素樹脂製撥液性膜が形成され
ていることを特徴とする。特に、フッ素樹脂製撥液性膜
が、ヘテロ環を有する溶剤可溶性フッ化ポリマーである
とさらによい。さらに、フッ素樹脂製撥液性膜の厚みが
0.1μm以上、3μm以下であるとよい。In order to solve the above problems, the nozzle plate of the present invention is characterized in that a fluororesin liquid repellent film is formed on the outer surface thereof. In particular, it is more preferable that the fluororesin liquid-repellent film is a solvent-soluble fluoropolymer having a heterocycle. Furthermore, the thickness of the fluororesin liquid repellent film is preferably 0.1 μm or more and 3 μm or less.
【0015】ノズルプレートの素材としては、無充填の
非強化グレードを使用する。それにより、レーザー加工
による穴加工はきれいな穴が形成される。さらに、ノズ
ルプレートの穴加工前に予めノズルプレートの一面にフ
ッ素樹脂製撥液性膜を形成しておくことにより、ノズル
穴加工後のケバ立ちを防ぐ。他の一面はアクチュエータ
との接着のための接着剤が使用されるため、ケバ立ちを
防ぐことができる。また、フッ素樹脂製撥液性膜が、ヘ
テロ環を有する溶剤可溶性フッ化ポリマーであれば、接
着性がよいので、ノズルプレートが変形する事なく、よ
り薄い膜を形成することが出来る。具体的には、0.1
〜1μmの厚さに形成できる。0.1μmより薄く形成
することは、撥液性膜としての効果が失われるため、望
ましくない。ほかには、フッ素もしくはシリコン系の撥
液性膜を使用することもでき、その場合には2〜3μm
の厚さでも構わない。3μmより厚く形成することは、
不要なだけでなく、穴加工時のノズルへの入り込み等が
生じ、きれいなノズルを形成できなくなる。As a material for the nozzle plate, an unfilled non-reinforced grade is used. As a result, a clear hole is formed by laser processing. Furthermore, by forming a fluororesin liquid-repellent film on one surface of the nozzle plate in advance before forming holes in the nozzle plate, it is possible to prevent fluffing after forming the nozzle holes. Since the other surface uses an adhesive for adhering to the actuator, it is possible to prevent fluffing. Further, if the fluororesin liquid-repellent film is a solvent-soluble fluoropolymer having a heterocycle, since the adhesiveness is good, it is possible to form a thinner film without deforming the nozzle plate. Specifically, 0.1
It can be formed to a thickness of 1 μm. Forming a film thinner than 0.1 μm is not desirable because the effect as a liquid repellent film is lost. Alternatively, a fluorine- or silicon-based liquid-repellent film can be used, in which case 2 to 3 μm.
Can be any thickness. Forming thicker than 3 μm
Not only is it unnecessary, but it also becomes difficult to form a clean nozzle due to penetration into the nozzle during hole processing.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施の
一形態を図面を参照して説明する。図1(a)は本発明
のノズルプレートを示す正面図、(b)は同じく正面方
向からみた斜視図である。図1(a)及び(b)に示す
ように、ノズルプレート1は、LCPで形成された基板
2の一面に撥液性膜3が塗布され、適所にインク5を噴
射するための多数のノズル4が複数列に形成されてい
る。基板2の他の一面には、アクチュエータ6が接着剤
7で接着されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1A is a front view showing the nozzle plate of the present invention, and FIG. 1B is a perspective view of the same as seen from the front direction. As shown in FIGS. 1A and 1B, a nozzle plate 1 has a liquid-repellent film 3 applied to one surface of a substrate 2 formed of LCP, and has a large number of nozzles for ejecting an ink 5 at appropriate places. 4 are formed in a plurality of rows. The actuator 6 is bonded to the other surface of the substrate 2 with an adhesive 7.
【0017】基板2は充填剤の入っていない、非強化グ
レードのLCPを用いる。ここでは、半芳香族ポリエス
テルであり、ユニチカ株式会社の製品で商標『ロッドラ
ン』シリーズより、LC−5000を用いている。この
基板2の成形には、射出成形を行なうかあるいは、フィ
ルム状のLCP製品を使用してもよい。The substrate 2 uses a non-reinforced grade LCP without filler. Here, it is a semi-aromatic polyester, and LC-5000 is used as a product of Unitika Ltd. under the trademark "Rod Run" series. The substrate 2 may be molded by injection molding or using a film-like LCP product.
【0018】撥液性膜3は、基板2の成形後、そのイン
ク吐出面に180℃以下の温度で焼き付け可能なフッ素
樹脂をコーティングしてある。180℃は、LCPの熱
変形温度である。コーティング法としては、スピンコー
ト、あるいはディップコート等の方法を用い、アクチュ
エータとの接着面をマスキングして行われる。なお、こ
こでは撥液性膜3としては、ヘテロ環を有する溶剤可溶
性フッ化ポリマーを、0.1〜1μmの厚さにコーティ
ングして使用する。図1(b)において、Wは撥液性膜
3の厚さを表し、ここでは、W=0.1〜1μmであ
る。これ以外にも、フッ素系あるいはシリコン系の撥液
性膜を1〜3μmの厚さにコーティングして使用しても
よい。The liquid repellent film 3 is formed by coating the substrate 2 with a fluororesin which can be baked at a temperature of 180 ° C. or less after the substrate 2 is formed. 180 ° C. is the heat distortion temperature of LCP. As a coating method, a method such as spin coating or dip coating is used, and the adhesion surface with the actuator is masked. Here, as the liquid-repellent film 3, a solvent-soluble fluoropolymer having a heterocycle is coated to a thickness of 0.1 to 1 μm and used. In FIG. 1B, W represents the thickness of the liquid repellent film 3, and here W = 0.1 to 1 μm. In addition to this, a fluorine-based or silicon-based liquid repellent film may be coated to a thickness of 1 to 3 μm and used.
【0019】この後、エキシマレーザー等を用いたレー
ザー加工により、基板2、撥液性膜3を貫通する微小な
穴開けを行う。これがノズル4となる。そして、基板2
の他の一面には、アクチュエータ6との接着のための接
着剤7がコーティングされ、アクチュエータ6と接着さ
れる。また、これ以外に次にような工程であってもよ
い。基板2に撥液性膜3を形成後、基板2の他の一面を
アクチュエータ6と接着剤7により接着される。その
後、エキシマレーザー等を用いたレーザー加工により、
撥液性膜3、基板2、接着剤7を貫通する微小な穴開け
を行い、ノズル4を形成する。この時、基板2は無充填
LCPを用いているので、ノズル4部分に充填剤が残る
ことなく、きれいな穴が形成される。穴開け後は超音波
洗浄をしてカスなどを洗い流す。この時、基板2の両面
に撥液性膜3と接着剤7をコーティングしているので、
超音波洗浄やワイピングにおけるケバ立ちを防ぐことが
出来る。After that, by laser processing using an excimer laser or the like, minute holes are formed to penetrate the substrate 2 and the liquid repellent film 3. This becomes the nozzle 4. And the substrate 2
An adhesive 7 for adhering to the actuator 6 is coated on the other surface thereof to adhere to the actuator 6. Other than this, the following steps may be performed. After forming the liquid-repellent film 3 on the substrate 2, the other surface of the substrate 2 is bonded to the actuator 6 with the adhesive 7. After that, by laser processing using an excimer laser,
A small hole is formed through the liquid repellent film 3, the substrate 2, and the adhesive 7 to form the nozzle 4. At this time, since the substrate 2 uses the unfilled LCP, the filler is not left in the nozzle 4 portion and a clean hole is formed. After making a hole, ultrasonically clean it to wash away debris. At this time, since the liquid repellent film 3 and the adhesive 7 are coated on both surfaces of the substrate 2,
It is possible to prevent fluffing in ultrasonic cleaning and wiping.
【0020】このようにして、本発明のノズルプレート
1は、基板2に半芳香族ポリエステルであるLCPを使
用しているので、ほとんど全てのインクを使用できる。
さらに、解像度を良好にする為のノズルの高集積化を行
っても、薄肉に成形できる為、金型のコアピン破損が極
めて少なくなり、レーザ加工費も低減してコストダウン
できる。また、アクチュエータ6との熱膨張率が近いの
でアクチュエータ6との剥離が起こりにくい。また、耐
熱温度が高いので撥液性膜3や接着剤7として使用でき
る素材の選択範囲が広くなる。As described above, since the nozzle plate 1 of the present invention uses LCP which is a semi-aromatic polyester for the substrate 2, almost all inks can be used.
Further, even if the nozzles are highly integrated to improve the resolution, the molding can be performed with a thin wall, the damage to the core pin of the mold is extremely reduced, and the laser processing cost can be reduced to reduce the cost. Further, since the coefficient of thermal expansion of the actuator 6 is close to that of the actuator 6, peeling from the actuator 6 is unlikely to occur. Further, since the heat resistant temperature is high, the selection range of materials that can be used as the liquid repellent film 3 and the adhesive 7 is widened.
【0021】さらに、本発明のノズルプレート1はその
一面に撥液性膜3としてヘテロ環を有する溶剤可溶性フ
ッ化ポリマーを、他の一面に接着剤7をコーティングし
ているので、レーザーによる穴開け加工によりきれいな
穴を形成することが出来、さらに超音波洗浄や使用時の
ワイピングによるケバ立ちが生じることもない。そのた
め、ノズル形状がきれいなので、ノズルから噴射される
インク滴の飛翔方向に液滴曲がりによるばらつきが生じ
たり、インクの噴射タイミングにばらつきが生じること
がない。したがって、インクが適正に噴射されるので高
印字品質が得られる。Further, since the nozzle plate 1 of the present invention is coated with a solvent-soluble fluoropolymer having a heterocycle as the liquid-repellent film 3 on one surface thereof and an adhesive 7 on the other surface thereof, holes are drilled by a laser. A clean hole can be formed by processing, and there is no fluffing caused by ultrasonic cleaning or wiping during use. Therefore, since the nozzle shape is clean, there is no variation in the flight direction of the ink droplets ejected from the nozzles due to the bending of the droplets or variation in the ink ejection timing. Therefore, the ink is properly ejected, and high print quality can be obtained.
【0022】[0022]
【発明の効果】以上説明した通り本発明のノズルプレー
トは、その素材に液晶ポリマーを使用しているので、イ
ンクの溶剤にノズルプレートが侵食されることがなく、
インクジェットプリンタにほとんど全てのインクを使用
できる。さらに、本発明のノズルプレートは、その素材
に液晶ポリマーを使用しているので、解像度を良好にす
る為のノズルの高集積化を行っても、薄肉に成形できる
為、金型のコアピン破損が極めて少なくなり、レーザ加
工費も低減してコストダウンできる。さらに、本発明の
ノズルプレートは、その素材に液晶ポリマーを使用して
いるので、アクチュエータの素材であるPZTとの熱膨
張率の違いが小さくなり、温度変化によるアクチュエー
タとの接合部の剥離が起こりにくい。As described above, since the nozzle plate of the present invention uses the liquid crystal polymer as its material, the nozzle plate is not eroded by the ink solvent,
Almost any ink can be used in an inkjet printer. Furthermore, since the nozzle plate of the present invention uses liquid crystal polymer as its material, it can be molded thin even if the nozzles are highly integrated to improve the resolution, so that the core pin of the mold is not damaged. The number is extremely small, and the laser processing cost is also reduced, so that the cost can be reduced. Furthermore, since the nozzle plate of the present invention uses a liquid crystal polymer as its material, the difference in the coefficient of thermal expansion from PZT, which is the material of the actuator, becomes small, and peeling of the joint with the actuator due to temperature change occurs. Hateful.
【0023】さらに、本発明のノズルプレートは、その
素材に液晶ポリマーを使用しているので、耐熱温度が高
く、撥液性膜剤、接着剤の選択範囲が広い。さらに、ノ
ズルプレートの外面にフッ素樹脂製撥液性膜を0.1〜
3μm厚でコーティングしているので、きれいなケバ立
ちの無いノズル穴を形成することが出来る。それによ
り、適正なインク噴射が得られ、高印字品質な印字ヘッ
ドを形成できる。Furthermore, since the nozzle plate of the present invention uses a liquid crystal polymer as its material, it has a high heat resistance temperature and a wide selection range of liquid repellent film agents and adhesives. Further, a fluororesin liquid-repellent film is formed on the outer surface of the nozzle plate by 0.1
Since the coating is 3 μm thick, it is possible to form a clean nozzle hole without fluffing. Thereby, proper ink ejection can be obtained and a print head with high print quality can be formed.
【図1】(a)は本発明の実施の一形態によるノズルプ
レートの正面図、(b)は正面方向から見た斜視図であ
る。FIG. 1A is a front view of a nozzle plate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a perspective view seen from the front direction.
1 ノズルプレート 2 基板 3 撥液性膜 4 ノズル 7 接着剤 1 Nozzle plate 2 Substrate 3 Liquid repellent film 4 Nozzle 7 Adhesive
Claims (5)
ノズルプレートにおいて、 素材が液晶ポリマー(LCP)であることを特徴とする
ノズルプレート。1. A nozzle plate in which nozzle holes for ejecting ink are formed, wherein the material is liquid crystal polymer (LCP).
ことを特徴とするノズルプレート。2. The nozzle plate according to claim 1, wherein the liquid crystal polymer is a semi-aromatic liquid crystal polyester.
において、 前記ノズルプレートの外面にフッ素樹脂製撥液性膜が形
成されていることを特徴とするノズルプレート。3. The nozzle plate according to claim 1, wherein a liquid repellent film made of a fluororesin is formed on the outer surface of the nozzle plate.
溶性フッ化ポリマーであることを特徴とするノズルプレ
ート。4. The nozzle plate according to claim 3, wherein the liquid repellent film made of fluororesin is a solvent-soluble fluoropolymer having a hetero ring.
において、 前記フッ素樹脂製撥液性膜の厚みが0.1μm以上、3
μm以下であることを特徴とするノズルプレート。5. The method according to claim 3 or 4, wherein the fluororesin liquid repellent film has a thickness of 0.1 μm or more and 3 or more.
A nozzle plate having a diameter of not more than μm.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15057096A JPH09327924A (en) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | Nozzle plate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP15057096A JPH09327924A (en) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | Nozzle plate |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09327924A true JPH09327924A (en) | 1997-12-22 |
Family
ID=15499786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15057096A Pending JPH09327924A (en) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | Nozzle plate |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09327924A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6359056B1 (en) | 2000-01-27 | 2002-03-19 | Kodak Polychrome Graphics Llc | Printing plate and method to prepare a printing plate |
JP2009513397A (en) * | 2006-03-03 | 2009-04-02 | シルバーブルック リサーチ ピーティワイ リミテッド | Pulse damping fluid system |
US8033635B2 (en) | 2006-03-03 | 2011-10-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printer with ink pressure regulator |
-
1996
- 1996-06-12 JP JP15057096A patent/JPH09327924A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6359056B1 (en) | 2000-01-27 | 2002-03-19 | Kodak Polychrome Graphics Llc | Printing plate and method to prepare a printing plate |
JP2009513397A (en) * | 2006-03-03 | 2009-04-02 | シルバーブルック リサーチ ピーティワイ リミテッド | Pulse damping fluid system |
JP4681654B2 (en) * | 2006-03-03 | 2011-05-11 | シルバーブルック リサーチ ピーティワイ リミテッド | Inkjet printer |
US8033635B2 (en) | 2006-03-03 | 2011-10-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printer with ink pressure regulator |
US8376534B2 (en) | 2006-03-03 | 2013-02-19 | Zamtec Limited | Ink reservoir with automatic air vent |
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