JPH09298330A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPH09298330A JPH09298330A JP13582196A JP13582196A JPH09298330A JP H09298330 A JPH09298330 A JP H09298330A JP 13582196 A JP13582196 A JP 13582196A JP 13582196 A JP13582196 A JP 13582196A JP H09298330 A JPH09298330 A JP H09298330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- discharge
- electrode
- main discharge
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 放電回路内のインダクタンスを低下させ、高
効率のレ−ザ発振を実現できるレ−ザ装置を提供する。 【解決手段】 レ−ザ管内に封入された高気圧のレ−ザ
媒質ガスを対向した予備電離電極間で予備電離を行った
後、レ−ザ光軸に直交する方向に対向して設けられた一
対の主放電電極間にグロ−放電を行い、この放電によっ
て励起されて発生した光を共振光学系により共振増幅し
てレ−ザ光を得る。装置は主放電電極間及び予備放電電
極間に放電を発生させるためのコンデンサを備えてお
り、このコンデンサが持つ電極方向を放電領域の放電方
向に対して横向きとなるように一方の主放電電極の横側
に取り付けることにより、放電部の放電インダクタンス
を低減する。
効率のレ−ザ発振を実現できるレ−ザ装置を提供する。 【解決手段】 レ−ザ管内に封入された高気圧のレ−ザ
媒質ガスを対向した予備電離電極間で予備電離を行った
後、レ−ザ光軸に直交する方向に対向して設けられた一
対の主放電電極間にグロ−放電を行い、この放電によっ
て励起されて発生した光を共振光学系により共振増幅し
てレ−ザ光を得る。装置は主放電電極間及び予備放電電
極間に放電を発生させるためのコンデンサを備えてお
り、このコンデンサが持つ電極方向を放電領域の放電方
向に対して横向きとなるように一方の主放電電極の横側
に取り付けることにより、放電部の放電インダクタンス
を低減する。
Description
【０００１】
【０００１】
【０００２】
【発明の属する技術分野】本発明は、封入された高気圧
のレ−ザ媒質ガスに放電を行って励起し、レ−ザ光を発
振させるレ−ザ装置に関する。
のレ−ザ媒質ガスに放電を行って励起し、レ−ザ光を発
振させるレ−ザ装置に関する。
【０００３】
【０００２】
【０００４】
【従来の技術】エキシマレ−ザ等のレ−ザ装置の励起方
式としては、レ−ザ光軸に直交する方向に設けられ対向
する一対の主放電電極間に放電を行ってレ−ザ媒質ガス
を励起する放電励起方式が知られている。
式としては、レ−ザ光軸に直交する方向に設けられ対向
する一対の主放電電極間に放電を行ってレ−ザ媒質ガス
を励起する放電励起方式が知られている。
【０００５】図５は、従来のエキシマレ−ザ装置におけ
る放電励起の構成のレ−ザ光軸と直交する方向の横断面
を模式的に示した図である。５０ａ，５０ｂは一対の主
放電電極であり、主放電電極５０ａ，５０ｂは導電体板
５１ａ，５１ｂにそれぞれ固定されている。主放電電極
５０ａの両側には、予備電離ピン５２ａ，５２ｂが接続
されたピ−キングコンデンサ５３ａ，５３ｂがその電極
方向を主放電方向と平行になるように導電体板５１ａに
固定配置されている。また、導電体板５１ｂ側には予備
電離ピン５４ａ，５４ｂが、予備電離ピン５２ａ，５２
ｂと所定の間隔を持って対向するようにそれぞれ取り付
けられている。この配置により、ピ−キングコンデンサ
を充電すると、対向する予備電離ピン間にア−ク放電が
発生する。ア−ク放電により予備電極間に生じる紫外線
が主放電電極間のレ−ザガスを予備電離し、これにより
主放電電極間にグロ−放電である主放電が行われて放電
領域のレ−ザガスが励起され、エキシマレ−ザが発生す
る。
る放電励起の構成のレ−ザ光軸と直交する方向の横断面
を模式的に示した図である。５０ａ，５０ｂは一対の主
放電電極であり、主放電電極５０ａ，５０ｂは導電体板
５１ａ，５１ｂにそれぞれ固定されている。主放電電極
５０ａの両側には、予備電離ピン５２ａ，５２ｂが接続
されたピ−キングコンデンサ５３ａ，５３ｂがその電極
方向を主放電方向と平行になるように導電体板５１ａに
固定配置されている。また、導電体板５１ｂ側には予備
電離ピン５４ａ，５４ｂが、予備電離ピン５２ａ，５２
ｂと所定の間隔を持って対向するようにそれぞれ取り付
けられている。この配置により、ピ−キングコンデンサ
を充電すると、対向する予備電離ピン間にア−ク放電が
発生する。ア−ク放電により予備電極間に生じる紫外線
が主放電電極間のレ−ザガスを予備電離し、これにより
主放電電極間にグロ−放電である主放電が行われて放電
領域のレ−ザガスが励起され、エキシマレ−ザが発生す
る。
【０００６】
【０００３】
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このような放電励起に
よるレ−ザ装置では、高出力、高効率のレ−ザを得るた
めに放電インダクタンスをできるだけ小さくすることが
有効であり、主放電時の放電インダクタンスは、主に放
電領域の幾何学的形状や大きさに関係することが知られ
ている。すなわち、図５に示した斜線部領域をできるだ
け小さくすると放電インダクタンスを低減することがで
きる。この斜線部領域を小さくするためには、ピ−キン
グコンデンサを小さくして主放電電極の近くに配置すれ
ば良い。しかし、ピ−キングコンデンサを主放電電極に
近付けすぎると、主放電電極とピ−キングコンデンサと
の間で放電が生じてしまい、予備電離ピン間での予備放
電が得られなくなってしまう。また、ピ−キングコンデ
ンサの小型化にも限度がある。したがって、従来の配置
では放電インダクタンスの低減に限界があり、レ−ザ発
振の高効率化は困難な状態であった。
よるレ−ザ装置では、高出力、高効率のレ−ザを得るた
めに放電インダクタンスをできるだけ小さくすることが
有効であり、主放電時の放電インダクタンスは、主に放
電領域の幾何学的形状や大きさに関係することが知られ
ている。すなわち、図５に示した斜線部領域をできるだ
け小さくすると放電インダクタンスを低減することがで
きる。この斜線部領域を小さくするためには、ピ−キン
グコンデンサを小さくして主放電電極の近くに配置すれ
ば良い。しかし、ピ−キングコンデンサを主放電電極に
近付けすぎると、主放電電極とピ−キングコンデンサと
の間で放電が生じてしまい、予備電離ピン間での予備放
電が得られなくなってしまう。また、ピ−キングコンデ
ンサの小型化にも限度がある。したがって、従来の配置
では放電インダクタンスの低減に限界があり、レ−ザ発
振の高効率化は困難な状態であった。
【０００８】
【０００４】また、エキシマレ−ザのような放電励起に
よるレ−ザ装置では、放電で生じた不純物などを放電領
域から取り除き、常に新しいレ−ザガスを主放電電極間
に高速度で供給する必要がある。放電領域でのレ−ザガ
スの流れが滞留すると、高繰返しのレ−ザ発振が難しく
なる。
よるレ−ザ装置では、放電で生じた不純物などを放電領
域から取り除き、常に新しいレ−ザガスを主放電電極間
に高速度で供給する必要がある。放電領域でのレ−ザガ
スの流れが滞留すると、高繰返しのレ−ザ発振が難しく
なる。
【０００９】本発明は、上記従来技術に鑑み、放電回路
内のインダクタンスを低下させ、高効率のレ−ザ発振を
実現できるレ−ザ装置を提供することを技術課題とす
る。
内のインダクタンスを低下させ、高効率のレ−ザ発振を
実現できるレ−ザ装置を提供することを技術課題とす
る。
【００１０】また、放電領域でのレ−ザガスのフロ−を
良好にして、放電の安定化を行い高繰返しのレ−ザ発振
が可能なレ−ザ装置を提供することを技術課題とする。
良好にして、放電の安定化を行い高繰返しのレ−ザ発振
が可能なレ−ザ装置を提供することを技術課題とする。
【００１１】
【０００５】
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は次のような構成を持つことを特徴とする。 （１） レ−ザ管内に封入された高気圧のレ−ザ媒質ガ
スを対向した予備電離電極間で予備電離を行った後、レ
−ザ光軸に直交する方向に対向して設けられた一対の主
放電電極間にグロ−放電を行ってレ−ザ光を得るレ−ザ
装置において、前記主放電電極間及び予備放電電極間に
放電を発生させるためのコンデンサと、前記主放電電極
による放電によって励起されて発生した光を共振増幅す
るための共振光学系とを備え、前記コンデンサが持つ電
極方向を放電領域の放電方向に対して横向きとなるよう
に一方の前記主放電電極の横側に取り付けたことを特徴
とする。
に、本発明は次のような構成を持つことを特徴とする。 （１） レ−ザ管内に封入された高気圧のレ−ザ媒質ガ
スを対向した予備電離電極間で予備電離を行った後、レ
−ザ光軸に直交する方向に対向して設けられた一対の主
放電電極間にグロ−放電を行ってレ−ザ光を得るレ−ザ
装置において、前記主放電電極間及び予備放電電極間に
放電を発生させるためのコンデンサと、前記主放電電極
による放電によって励起されて発生した光を共振増幅す
るための共振光学系とを備え、前記コンデンサが持つ電
極方向を放電領域の放電方向に対して横向きとなるよう
に一方の前記主放電電極の横側に取り付けたことを特徴
とする。
【００１３】
【０００６】（２） （１）のレ−ザ装置において、前
記コンデンサが取り付けられた主放電電極の他方を平面
電極としたことを特徴とする。
記コンデンサが取り付けられた主放電電極の他方を平面
電極としたことを特徴とする。
【００１４】
【０００７】（３） レ−ザ管内に封入された高気圧の
レ−ザ媒質ガスを対向した予備電離電極間で予備電離を
行った後、レ−ザ光軸に直交する方向に対向して設けら
れた一対の主放電電極間にグロ−放電を行ってレ−ザ光
を得るレ−ザ装置において、前記レ−ザ管内のレ−ザ媒
質ガスをレ−ザ光軸に直交する面内の方向に循環させる
ためのガスフロ−手段を備え、該ガスフロ−手段による
ガスフロ−に対してその外周側に位置する一方の前記主
放電電極を平面電極としたことを特徴とする。
レ−ザ媒質ガスを対向した予備電離電極間で予備電離を
行った後、レ−ザ光軸に直交する方向に対向して設けら
れた一対の主放電電極間にグロ−放電を行ってレ−ザ光
を得るレ−ザ装置において、前記レ−ザ管内のレ−ザ媒
質ガスをレ−ザ光軸に直交する面内の方向に循環させる
ためのガスフロ−手段を備え、該ガスフロ−手段による
ガスフロ−に対してその外周側に位置する一方の前記主
放電電極を平面電極としたことを特徴とする。
【００１５】
【０００８】
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１７】図１はエキシマレ−ザ装置の概略構成を示
す図である。１はその詳細を後述するレ−ザ管であり、
レ−ザ管１の前後には反射ミラ−、出力ミラ−が配置さ
れて共振光学系が構成されている。２はレ−ザ管１への
レ−ザ媒質ガスの供給・排気を行うガス供給排気系であ
る。レ−ザ媒質ガスは、例えば、Ａｒ（アルゴン）の希
ガスとＦ2 （フッ素）のハロゲンガスの混合ガスを使用
すると、ＡｒＦのエキシマレ−ザ（発振波長193nm ）を
得ることができる。３はレ−ザ管１に配置される放電電
極間に放電を起こしてレ−ザ管１内のレ−ザ媒質ガスを
励起するための励起回路、４はレ−ザ管１から発振され
たエキシマレ−ザを被照射物に導光する導光光学系であ
る。ガス供給排気系２、励起回路３、導光光学系４は制
御部５に接続され、制御部５はレ−ザ管１によるレ−ザ
発振の動作を制御する。また、制御部５は入力部６から
のレ−ザ照射条件等の入力信号により導光光学系４によ
る被照射物へのレ−ザ照射動作を制御する。
す図である。１はその詳細を後述するレ−ザ管であり、
レ−ザ管１の前後には反射ミラ−、出力ミラ−が配置さ
れて共振光学系が構成されている。２はレ−ザ管１への
レ−ザ媒質ガスの供給・排気を行うガス供給排気系であ
る。レ−ザ媒質ガスは、例えば、Ａｒ（アルゴン）の希
ガスとＦ2 （フッ素）のハロゲンガスの混合ガスを使用
すると、ＡｒＦのエキシマレ−ザ（発振波長193nm ）を
得ることができる。３はレ−ザ管１に配置される放電電
極間に放電を起こしてレ−ザ管１内のレ−ザ媒質ガスを
励起するための励起回路、４はレ−ザ管１から発振され
たエキシマレ−ザを被照射物に導光する導光光学系であ
る。ガス供給排気系２、励起回路３、導光光学系４は制
御部５に接続され、制御部５はレ−ザ管１によるレ−ザ
発振の動作を制御する。また、制御部５は入力部６から
のレ−ザ照射条件等の入力信号により導光光学系４によ
る被照射物へのレ−ザ照射動作を制御する。
【００１８】
【０００９】図２はレ−ザ管１内の要部構成を示す図で
あり、図３は図２のＡ−Ａ断面図を図を示す図である。
あり、図３は図２のＡ−Ａ断面図を図を示す図である。
【００１９】１０は主放電電極の陰極側をなす一様な平
面の平板電極であり、平板電極１０はレ−ザ管１に取付
け部材１１を介して取り付けられている。１２は平板電
極１０に植設された予備電離ピンであり、予備電離ピン
１２は後述するピ−キングコンデンサ側に取り付けられ
た予備電離ピンと所定の間隔を持って対向するようにレ
−ザ光軸を中心にして並列に複数個配置されている。平
板電極１０には四隅の支柱１３により保持板１４が支持
されており、保持板１４の下側には固定ブロック１５を
介して主放電電極の陽極側をなすレ−ル状のエルンスト
型電極１７が取り付けられている。エルンスト型電極１
７の横断面は、平板電極１０との間で一様なグロ−放電
を行うに適した蒲鉾状の形状を呈している。
面の平板電極であり、平板電極１０はレ−ザ管１に取付
け部材１１を介して取り付けられている。１２は平板電
極１０に植設された予備電離ピンであり、予備電離ピン
１２は後述するピ−キングコンデンサ側に取り付けられ
た予備電離ピンと所定の間隔を持って対向するようにレ
−ザ光軸を中心にして並列に複数個配置されている。平
板電極１０には四隅の支柱１３により保持板１４が支持
されており、保持板１４の下側には固定ブロック１５を
介して主放電電極の陽極側をなすレ−ル状のエルンスト
型電極１７が取り付けられている。エルンスト型電極１
７の横断面は、平板電極１０との間で一様なグロ−放電
を行うに適した蒲鉾状の形状を呈している。
【００２０】
【００１０】１８は円筒型のピ−キングコンデンサであ
り、各ピ−キングコンデンサ１８はそれ自身が持つ電極
方向を主放電電極（平板電極１０、エルンスト型電極１
７）の向きに対して横向きにし、かつエルンスト電極１
７の両横に導電性のネジ等により直接取り付けられてい
る。この配置により、エルンスト型電極１７に対してピ
−キングコンデンサ１８が持つ陰極側は外側を向くの
で、ピ−キングコンデンサ１８をエルンスト型電極１７
に接近させて配置してもその間に放電を起こさせない十
分な間隔を取ることができる。各ピ−キングコンデンサ
１８の陰極側には予備電離ピン１９が取り付けられてお
り、予備電離ピン１９はその先端が下側の予備電離ピン
１２に対向して所定の間隔になるように屈曲させてい
る。
り、各ピ−キングコンデンサ１８はそれ自身が持つ電極
方向を主放電電極（平板電極１０、エルンスト型電極１
７）の向きに対して横向きにし、かつエルンスト電極１
７の両横に導電性のネジ等により直接取り付けられてい
る。この配置により、エルンスト型電極１７に対してピ
−キングコンデンサ１８が持つ陰極側は外側を向くの
で、ピ−キングコンデンサ１８をエルンスト型電極１７
に接近させて配置してもその間に放電を起こさせない十
分な間隔を取ることができる。各ピ−キングコンデンサ
１８の陰極側には予備電離ピン１９が取り付けられてお
り、予備電離ピン１９はその先端が下側の予備電離ピン
１２に対向して所定の間隔になるように屈曲させてい
る。
【００２１】
【００１１】２０はレ−ザ管１内に封入されるレ−ザ媒
質ガスを循環させるためのガスフロ−ファンであり、保
持板１４上で両端の支持部材２１により回転可能に支持
されている。ガスフロ−ファン２０の回転は、レ−ザ管
１の外部に設けられたモ−タ等からなる回転駆動機構２
２によりマグネティックカップリング２３を介して行わ
れるようになっている。２４は保持板１４の一端に取り
付けられたガスフロ−ガイドであり、図３上のガスフロ
−ファン２０の時計回りの回転によるガスの流れを電極
間に導く。なお、レ−ザ管１内にはガス供給排気系２に
接続された供給管２５からレ−ザ媒質ガスが供給されて
封入され、使用されたガスは排気管２６から排気され
る。
質ガスを循環させるためのガスフロ−ファンであり、保
持板１４上で両端の支持部材２１により回転可能に支持
されている。ガスフロ−ファン２０の回転は、レ−ザ管
１の外部に設けられたモ−タ等からなる回転駆動機構２
２によりマグネティックカップリング２３を介して行わ
れるようになっている。２４は保持板１４の一端に取り
付けられたガスフロ−ガイドであり、図３上のガスフロ
−ファン２０の時計回りの回転によるガスの流れを電極
間に導く。なお、レ−ザ管１内にはガス供給排気系２に
接続された供給管２５からレ−ザ媒質ガスが供給されて
封入され、使用されたガスは排気管２６から排気され
る。
【００２２】３０、３１はレ−ザ光軸Ｌ上に配置され共
振光学系を構成する全反射ミラ−及び出力ミラ−であ
り、全反射ミラ−３０は波長193nm の光を全反射し、出
力ミラ−３１は波長193nm の光を一部透過する特性をそ
れぞれ持つ。
振光学系を構成する全反射ミラ−及び出力ミラ−であ
り、全反射ミラ−３０は波長193nm の光を全反射し、出
力ミラ−３１は波長193nm の光を一部透過する特性をそ
れぞれ持つ。
【００２３】
【００１２】図４は励起回路３の構成を示す図である。
４０は高圧電源であり、４１は外部のトリガ信号により
所定の繰返しスイッチ動作を行うサイラトロン、４２は
充電用の外部コンデンサ、４３は外部コンデンサ４２を
充電するための抵抗である。
４０は高圧電源であり、４１は外部のトリガ信号により
所定の繰返しスイッチ動作を行うサイラトロン、４２は
充電用の外部コンデンサ、４３は外部コンデンサ４２を
充電するための抵抗である。
【００２４】
【００１３】次に、以上のような装置のレ−ザ発振動作
を説明する。
を説明する。
【００２５】レ−ザ管１内にはガス供給排気系２により
高気圧のレ−ザ媒質ガスを供給して封入する。電源４０
を作動させると、外部コンデンサ４２に高電圧が印加さ
れる。外部信号を入力してサイラトロン４１のスイッチ
を瞬間的に閉じると、外部コンデンサ４２はア−スに接
続されて蓄積された電荷がエルンスト型電極１７を経て
ピ−キングコンデンサ１８に移行するようになる。ピ−
キングコンデンサ１８の電荷が十分に高くなると、予備
電離ピン１９と予備電離ピン１２との間でア−ク放電が
生じる。このア−ク放電によって発生した紫外線が主放
電電極であるエルンスト電極１７と平板電極１０との間
のレ−ザ媒質ガスを予備的に電離する。また、ア−ク放
電によりピ−キングコンデンサ１８が充電されて主放電
電極間が放電破壊電圧に達すると、予備電離により電離
した電子によってグロ−放電である主放電が短時間に発
生するようになる。
高気圧のレ−ザ媒質ガスを供給して封入する。電源４０
を作動させると、外部コンデンサ４２に高電圧が印加さ
れる。外部信号を入力してサイラトロン４１のスイッチ
を瞬間的に閉じると、外部コンデンサ４２はア−スに接
続されて蓄積された電荷がエルンスト型電極１７を経て
ピ−キングコンデンサ１８に移行するようになる。ピ−
キングコンデンサ１８の電荷が十分に高くなると、予備
電離ピン１９と予備電離ピン１２との間でア−ク放電が
生じる。このア−ク放電によって発生した紫外線が主放
電電極であるエルンスト電極１７と平板電極１０との間
のレ−ザ媒質ガスを予備的に電離する。また、ア−ク放
電によりピ−キングコンデンサ１８が充電されて主放電
電極間が放電破壊電圧に達すると、予備電離により電離
した電子によってグロ−放電である主放電が短時間に発
生するようになる。
【００２６】
【００１４】このような主放電の発生過程において、主
放電電極（エルンスト型電極１７及び平板電極１０）、
ピ−キングコンデンサ１８及び予備電離ピンで囲まれる
放電部の断面形状を見てみると、図３に示す斜線部領域
はピ−キングコンデンサ１８の電極方向を横向きにして
エルンスト電極１７の横に直接取り付けたことにより、
図５の配置のものよりも小さくなっている。また、主放
電電極の一方を平板電極にしたことにより、さらに斜線
部領域が縮まっている。したがって、放電部の放電イン
ダクタンスを低減することができるので、急峻な立上が
りの電流波形を形成して強力な放電のエネルギを得るこ
とができる。この強力な放電のエネルギによりレ−ザ媒
質ガスが効率良く励起され、放出された光が共振器光学
系間を往復して増幅し、エキシマレ−ザがレ−ザ管１か
ら発振される。
放電電極（エルンスト型電極１７及び平板電極１０）、
ピ−キングコンデンサ１８及び予備電離ピンで囲まれる
放電部の断面形状を見てみると、図３に示す斜線部領域
はピ−キングコンデンサ１８の電極方向を横向きにして
エルンスト電極１７の横に直接取り付けたことにより、
図５の配置のものよりも小さくなっている。また、主放
電電極の一方を平板電極にしたことにより、さらに斜線
部領域が縮まっている。したがって、放電部の放電イン
ダクタンスを低減することができるので、急峻な立上が
りの電流波形を形成して強力な放電のエネルギを得るこ
とができる。この強力な放電のエネルギによりレ−ザ媒
質ガスが効率良く励起され、放出された光が共振器光学
系間を往復して増幅し、エキシマレ−ザがレ−ザ管１か
ら発振される。
【００２７】
【００１５】また、レ−ザ管１内に封入されたレ−ザ媒
質ガスはガスフロ−ファン２０の回転により循環され
る。ガスの放電領域の流れに際して、ガスフロ−の外周
側を平板電極にしているので、主放電電極間のガスの流
れは抵抗が少なく、極めてスム−スな流れとなる。した
がって、放電領域からは放電で生じた不純物など取り除
かれ、常に新しいガスが高速度で効率良く供給される。
これにより、放電の安定化が図られるようになり、サイ
ラトロン４１の繰返しスイッチ動作による主放電の発生
によって高繰返しのレ−ザ発振を行うことができる。
質ガスはガスフロ−ファン２０の回転により循環され
る。ガスの放電領域の流れに際して、ガスフロ−の外周
側を平板電極にしているので、主放電電極間のガスの流
れは抵抗が少なく、極めてスム−スな流れとなる。した
がって、放電領域からは放電で生じた不純物など取り除
かれ、常に新しいガスが高速度で効率良く供給される。
これにより、放電の安定化が図られるようになり、サイ
ラトロン４１の繰返しスイッチ動作による主放電の発生
によって高繰返しのレ−ザ発振を行うことができる。
【００２８】
【００１６】
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
放電インダクタンスを低減化させることができたので、
高効率のレ−ザ発振を実現できた。
放電インダクタンスを低減化させることができたので、
高効率のレ−ザ発振を実現できた。
【００３０】また、放電領域におけるレ−ザ媒質ガスの
流れを極めて良好にすることができたので、高繰返しの
レ−ザ発振が実現できた。
流れを極めて良好にすることができたので、高繰返しの
レ−ザ発振が実現できた。
【図１】実施例のエキシマレ−ザ装置の概略構成を示す
図である。
図である。
【図２】レ−ザ管１内の要部構成を示す図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図を図を示す図である。
【図４】実施例の装置の励起回路３の構成を示す図であ
る。
る。
【図５】従来のエキシマレ−ザ装置における放電励起の
構成のレ−ザ光軸と直交する方向の横断面を模式的に示
した図である。
構成のレ−ザ光軸と直交する方向の横断面を模式的に示
した図である。
１ レ−ザ管 １０ 平板電極 １２，１９ 予備電離ピン １７ エルンスト型電極 １８ ピ−キングコンデンサ ２０ ガスフロ−ファン
Claims (3)
- 【請求項１】 レ−ザ管内に封入された高気圧のレ−ザ
媒質ガスを対向した予備電離電極間で予備電離を行った
後、レ−ザ光軸に直交する方向に対向して設けられた一
対の主放電電極間にグロ−放電を行ってレ−ザ光を得る
レ−ザ装置において、前記主放電電極間及び予備放電電
極間に放電を発生させるためのコンデンサと、前記主放
電電極による放電によって励起されて発生した光を共振
増幅するための共振光学系とを備え、前記コンデンサが
持つ電極方向を放電領域の放電方向に対して横向きとな
るように一方の前記主放電電極の横側に取り付けたこと
を特徴とするレ−ザ装置。 - 【請求項２】 請求項１のレ−ザ装置において、前記コ
ンデンサが取り付けられた主放電電極の他方を平面電極
としたことを特徴とするレ−ザ装置。 - 【請求項３】 レ−ザ管内に封入された高気圧のレ−ザ
媒質ガスを対向した予備電離電極間で予備電離を行った
後、レ−ザ光軸に直交する方向に対向して設けられた一
対の主放電電極間にグロ−放電を行ってレ−ザ光を得る
レ−ザ装置において、前記レ−ザ管内のレ−ザ媒質ガス
をレ−ザ光軸に直交する面内の方向に循環させるための
ガスフロ−手段を備え、該ガスフロ−手段によるガスフ
ロ−に対してその外周側に位置する一方の前記主放電電
極を平面電極としたことを特徴とするレ−ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13582196A JPH09298330A (ja) | 1996-05-01 | 1996-05-01 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13582196A JPH09298330A (ja) | 1996-05-01 | 1996-05-01 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09298330A true JPH09298330A (ja) | 1997-11-18 |
Family
ID=15160594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13582196A Pending JPH09298330A (ja) | 1996-05-01 | 1996-05-01 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09298330A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020096139A (ja) * | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 住友重機械工業株式会社 | ガスレーザ装置 |
-
1996
- 1996-05-01 JP JP13582196A patent/JPH09298330A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020096139A (ja) * | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 住友重機械工業株式会社 | ガスレーザ装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101493807B1 (ko) | 단일 챔버 이중 전극 형태의 방전 챔버 및 엑시머 레이저 기기 | |
| JP3353253B2 (ja) | 気体パルスレーザーのプレイオン化装置 | |
| US6847670B1 (en) | Gas laser apparatus emitting ultraviolet radiation | |
| JPH09298330A (ja) | レ−ザ装置 | |
| JP2000077754A (ja) | レーザ装置 | |
| JP4129969B2 (ja) | 放電励起レーザ装置 | |
| JP3190084B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JP3819181B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JP2874350B2 (ja) | エキシマレーザー装置 | |
| JP3432854B2 (ja) | パルスガスレーザ発振装置 | |
| JP2734191B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JP4312395B2 (ja) | 軸励起式ガスレーザ装置及び注入同期式ガスレーザ装置 | |
| JP2002151768A (ja) | 露光用フッ素レーザ装置 | |
| JPS61168973A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JP2831807B2 (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JP3159528B2 (ja) | 放電励起エキシマレーザ装置 | |
| JP2002076489A (ja) | フッ素レーザ装置及びこれを用いた露光装置 | |
| JPH0535585B2 (ja) | ||
| JPH07162060A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JP2004273816A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH04105378A (ja) | 放電励起エキシマレーザ装置 | |
| JPH04346280A (ja) | 放電励起ガスレーザ装置 | |
| JPH057041A (ja) | 放電励起ガスレーザ装置 | |
| JPH04237176A (ja) | エキシマレーザー装置 | |
| JPH04322478A (ja) | 放電励起ガスレーザ装置 |