JPH08207986A - 半導体ウエハの運搬容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多数の半導体ウエハを積層して収納できるも
のでありながら、搬入搬出をウエハ損傷なく簡単容易に
行うことができて、さらに、帯電防止機能を備えた運搬
容器を提供する。 【解決手段】 四辺に周壁を備えた箱状の容器本体１
と、周壁上端に揺動開閉可能に連設された上蓋２とから
形成されるとともに、容器本体１の前部周壁１ｂを揺動
開閉可能に構成してある。容器Ａ内に積層された半導体
ウエハ３と当接するリブ９，１０の先端部に導電性薄膜
１５をコーティングしてある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、多数の半導体ウエ
ハを収納して運搬する際に用いる運搬容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種の運搬容器としては、
多数の半導体ウエハを一定ピッチで縦姿勢に並べて収納
した容器本体に上蓋を装着するようにしたものや、円筒
状あるいは箱状の容器本体に多数の半導体ウエハを積層
して収納し、この容器本体の上端に上蓋を外嵌装着する
ようにしたものが利用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】半導体ウエハを縦姿勢
に並べて収納する前者の運搬容器は、半導体ウエハが一
定ピッチで並べられているので、容器へのウエハ搬入お
よび搬出が比較的容易に行える利点をゆうしているので
あるが、ウエハのエッジ付近を支える構成上、例えばバ
ックグラインド前のウエハ等の350 〜800 μｍ程度の厚
さを有する強度の大きいものに限られ、150 〜300 μｍ
程度の厚さのウエハに利用すると運搬中の振動等で割れ
が発生しやすいものであった。

【０００４】また、半導体ウエハを積層して収納する後
者の運搬容器は、ウエハを面で支持するので薄いウエハ
でも損傷なく運搬できる利点を有しているが、吸着アー
ム等を用いてウエハを容器本体に搬入および搬出する
際、ウエハを容器本体の上端開口からのみ水平姿勢で出
し入れすることになるので、容器本体内でウエハを上下
動させる時にウエハのエッジを容器内面にぶつけやす
く、薄いウエハが水平姿勢で上下方向に接触すると簡単
に破損あるいは欠損しやすく、ウエハの搬入搬出作動速
度を極低速にしたり、高い精度で吸着アーム等を運転す
る必要が生じて手間取りやすいものであった。特に、深
い容器ほどウエハの上下量が大きくなって接触の危険性
も高くなって、一層上記不具合が発生しやすくなるもの
であった。

【０００５】さらに、従来の運搬容器には、ウエハに帯
電している静電気を放出したり、搬送中に生じる静電気
を予防したりする機能を備えておらず、ウエハ内の素子
が静電破壊されるおそれもあった。

【０００６】本発明は、このような実情に着目してなさ
れたものであって、多数の半導体ウエハを積層して収納
できるものでありながら、搬入搬出をウエハの損傷なく
簡単容易に行うことができる運搬容器を提供することを
目的とする。また、本発明の他の目的は、帯電防止機能
を備えた運搬容器を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために次のような構成をとる。すなわち、請求項
１に係る半導体ウエハの運搬容器は、四辺に周壁を備え
た箱状の容器本体と、容器本体の上部開口を閉塞／開放
する上蓋とから形成されるとともに、容器本体の前部周
壁を揺動開閉可能に構成してある。

【０００８】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の運搬容器において、少なくとも、容器内に積層
された各半導体ウエハと当接する容器部分に導電性部材
を付設したものである。

【０００９】

【作用】請求項１に記載の発明によれば、容器へのウエ
ハ搬入に際しては、上蓋を開いて容器本体の上部を全面
的に開放するとともに、容器本体の前部周壁をも開いて
前方にも大きく開放する。このように上部および前部を
開放された状態で、吸着アームで吸着保持したウエハ
を、先に収納されたウエハより少し高いレベルで開放さ
れた前部から容器本体に差し入れ、吸着アームを下降さ
せて先のウエハ上に積層する。以後、このような操作を
差し入れレベルを少しづつ上げながら順次行うことで、
多数のウエハを能率良く積層収納することができる。従
って、積層が進んでも、容器内での各ウエハの下降移動
量は先のウエハ上に積層に必要な最小限で同じにするこ
とができ、このウエハの下降移動中に容器内面に接触す
る危険性は極めて少なくなる。また、ウエハを前部から
容器本体に差し入れる水平移動中に容器内面に接触する
ことがあったとしても、この接触はウエハ厚さ方向と直
交する方向の接触であるため、破損や欠損に至ることは
ほとんどない。実際の収納に際しては、各ウエハの間に
保護用の合紙を供給してゆくことになる。また、容器か
らのウエハ搬出に際しても、上蓋および前部周壁を大き
く開放した状態で、上記搬入操作と逆に吸着アーム操作
を行い、各ウエハの容器内での上下動をなるべく少なく
しながら１枚づつ前方に搬出してゆく。

【００１０】請求項２に記載の発明によれば、容器内に
積層された各半導体ウエハに帯電している静電気は、ウ
エハと当接する容器部分に付設された導電性部材を介し
て容器外へ放出される。また、搬送中等において静電気
の発生が抑制される。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。 ＜第１実施例＞図１は第１実施例に係る運搬容器の全体
外観を示す斜視図、図２は半導体ウエハを収納した運搬
容器の縦断正面図、図３は上蓋を開放した運搬容器の斜
視図、図４は運搬容器の一部切り欠き平面図、図５は運
搬容器の一部切り欠き正面図、図６は運搬容器の一部切
り欠き側面図と要部の拡大断面図、図７は開放した運搬
容器の全体斜視図、図８は収納あるいは搬出操作を示す
概略側面図である。

【００１２】図１〜図３に示すように、この半導体ウエ
ハの運搬容器Ａは、矩形箱形に形成された容器本体１と
その上端に外嵌装着される上蓋２とからなり、半導体ウ
エハ３（以下、単にウエハと略称する）と保護用の合紙
４とを交互に積層して収容し、上蓋２の内面に貼付けた
スポンジ等の弾性材からなる緩衝用パッド５で積層した
ウエハ３群を押圧して、容器内での上下のがたつきを無
くすように構成されている。

【００１３】前記容器本体１は、底壁１ａ、前部周壁１
ｂ、後部周壁１ｃ、および、左右の側部周壁１ｄを一体
成形した樹脂成型品であり、かつ、前部周壁１ｂは、底
壁１ａの前端辺に薄肉ヒンジ６を介して揺動開閉可能に
連設され、容器前面を閉じる起立姿勢（図３参照）と、
容器前面を大きく開放する倒伏姿勢（図７参照）に切り
換え可能に構成されている。また、図３，図４に示すよ
うに、前部周壁１ｂの左右端には、起立姿勢において側
部周壁１ｄの内面に重複するように嵌入される側片１ｅ
が内向きに突設されるとともに、各側片１ｅの外面に設
けた突起７が各側部周壁１ｄの内面に設けた凹部８に係
合されることで、前部周壁１ｂが容器前面を閉じた起立
姿勢に保持されるようになっている。

【００１４】また、この前部周壁１ｂの内面と後部周壁
１ｃの内面には左右一対の位置決めリブ９，１０がそれ
ぞれ設けられ、各リブ９，１０の先端による四点支持状
態で積層収納したウエハ３群の外周を位置決めするよう
構成されている。

【００１５】図６，図７に示すように、前記上蓋２は、
容器本体１における後部周壁１ｃの上端辺に薄肉ヒンジ
１１を介して揺動開閉可能に一体連設されており、容器
本体１の前部周壁１ｂおよび左右の側部周壁１ｄの上部
に外嵌する裾壁２ａを備えている。そして、裾壁２ａの
前部内面に設けた突起１２を前部周壁１ｂの外面に設け
た凹部１３に係合させることで、上蓋２を閉じ状態に維
持できるよう構成されている。

【００１６】本実施例に係る運搬容器は以上のように構
成されたものであり、容器へのウエハ搬入に際しては、
図８に示すように、上蓋２よび前部周壁１ｂを開いて容
器本体１の上部を全面的に開放するとともに前方にも大
きく開放する。このように上部および前部を開放された
状態で、吸着アーム１４で吸着保持したウエハ３を、先
に収納されたウエハ３より少し高いレベルで開放された
前部から容器本体１に差し入れ、吸着アーム１４を下降
させて先のウエハ上に置かれた合紙の上に積層する。以
後、このような搬入操作を、差し入れレベルを少しづつ
上げながら合紙４の供給と交互に行う。

【００１７】そして、所定枚数の積層収納が終われば、
前部周壁１ｂおよび上蓋２を閉じ、かつ、バンド掛け等
を施こして上蓋２が開かないようにする。

【００１８】また、容器からのウエハ搬出に際しても、
上蓋２および前部周壁１ｂを大きく開放した状態で、上
記搬入操作と逆に吸着アーム操作を行い、各ウエハの容
器内での上下動をなるべく少なくしながら１枚づつ前方
に搬出してゆく。

【００１９】本実施例は、以下のような形態に変形して
実施することもできる。 前部周壁１ｂおよび上蓋２をそれぞれ別体構成とし
て、ヒンジを介して底壁１ａおよび後部周壁１ｃに連結
する。 前部周壁１ｂを側部周壁１ｄの前端に一体薄肉ヒン
ジあるいは別体ヒンジを介して横開き開閉可能に連結す
る。 後部周壁１ｃを側部周壁１ｄに揺動開閉可能に連設
あるいは連結する。 上蓋２の内面に取り付ける緩衝用パッド５を、図９
および図１０に示すように、大径リング５ａと小径リン
グ５ｂとを弾性変形可能なアーム５ｃ群で連結した樹脂
製のものにする。 上蓋２を容器本体１から分離したキャップ状に形成
する。

【００２０】＜第２実施例＞図１１は第２実施例に係る
開放した運搬容器の全体斜視図である。図１２は半導体
ウエハを収納した運搬容器の要部縦断面図である。ただ
し、第１実施例と共通の構成要素については第１実施例
の各図と同一符号で示し、ここでの説明は省略する。

【００２１】図１１，図１２に示すように、前部周壁１
ｂの内面と後部周壁１ｃの内面に設けられた左右一対の
位置決めリブ９，１０の先端には、例えばＩＴＯ（イン
ジウムとすずの酸化物）等の導電性薄膜１５がコーティ
ングされている。また、容器本体１の容器前面を閉じる
起立姿勢において、このリブ９，１０の先端に付設した
導電性薄膜１５の直下で連接される底壁１ａ部分には孔
が設けられており、そこに例えばＣｕ、Ａｌ等の導電性
材料１６が埋設されている。

【００２２】上記の構成によって、容器内に積層収納さ
れたウエハ３群とリブ９，１０の先端にコーティングさ
れた導電性薄膜１５とが四点支持状態で当接することに
よって、ウエハ３群に帯電されている静電気が導電性薄
膜１５に導かれ、さらに、この直下で連接する導電性材
料１６を介して、容器を載置している受け台等に放出さ
れる。

【００２３】本実施例は、以下のような形態に変形して
実施することもできる。 容器本体１全体をカーボンや界面活性剤などを含有
した導電性樹脂を用いて形成する。 ウエハ３群と接触する容器本体１の一部（例えば、
リブ９，１０）を導電性樹脂で形成する。

【００２４】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１記載の発明の半導体ウエハの運搬容器によれば次のよ
うな効果が得られる。容器本体の上部および前部を大き
く開放した状態でウエハの搬入および搬出が行えるの
で、吸着アーム等で水平姿勢に保持したウエハを容器本
体の前部開口から出し入れすることができ、容器内面に
ウエハを上下方向からぶつけて破損させてしまうおそれ
が極めて少なくなり、それだけウエハ搬入搬出を容易に
行えるようになった。

【００２５】さらに、請求項２記載の発明によれば、ウ
エハと当接する容器部分に付設された導電性部材を介し
て、ウエハに帯電している静電気を容器外へ放出し、ま
た、搬送中等において静電気の発生を抑制するので、ウ
エハ内の素子が静電破壊されるおそれがなく、信頼性の
高いウエハの運搬を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る運搬容器の全体外観
を示す斜視図である。

【図２】ウエハを収納した運搬容器の縦断正面図であ
る。

【図３】上蓋を開放した運搬容器の斜視図である。

【図４】運搬容器の一部切り欠き平面図である。

【図５】運搬容器の一部切り欠き正面図である。

【図６】運搬容器の一部切り欠き側面図と要部の拡大断
面図である。

【図７】開放した運搬容器の全体斜視図である。

【図８】収納あるいは搬出操作を示す概略側面図であ
る。

【図９】緩衝用パッドの別実施例を示す斜視図である。

【図１０】別実施例の緩衝用パッドを使用した要部の縦
断面図である。

【図１１】第２実施例に係る開放した運搬容器の全体斜
視図である。

【図１２】半導体ウエハを収納した運搬容器の要部縦断
面図である。

【符号の説明】

１ … 容器本体 １ｂ … 前部周壁 ２ … 上蓋 ３ … 半導体ウエハ １５ … 導電性薄膜 １６ … 導電性材料

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 四辺に周壁を備えた箱状の容器本体と、
   容器本体の上部開口を閉塞／開放する上蓋とから形成さ
   れるとともに、容器本体の前部周壁を揺動開閉可能に構
   成してあることを特徴とする半導体ウエハの運搬容器。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の運搬容器において、少
   なくとも、容器内に積層された各半導体ウエハと当接す
   る容器部分に導電性部材を付設したことを特徴とする半
   導体ウエハの運搬容器。