Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JPH0793503B2 - Green sheet punching device - Google Patents

Green sheet punching device

Info

Publication number
JPH0793503B2
JPH0793503B2 JP4486589A JP4486589A JPH0793503B2 JP H0793503 B2 JPH0793503 B2 JP H0793503B2 JP 4486589 A JP4486589 A JP 4486589A JP 4486589 A JP4486589 A JP 4486589A JP H0793503 B2 JPH0793503 B2 JP H0793503B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
green sheet
die
punch
mold
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP4486589A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH02222197A (en
Inventor
恒男 山崎
公美 韮崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP4486589A priority Critical patent/JPH0793503B2/en
Publication of JPH02222197A publication Critical patent/JPH02222197A/en
Publication of JPH0793503B2 publication Critical patent/JPH0793503B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Details Of Cutting Devices (AREA)
  • Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
  • Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 セラミックグリーンシートの孔開け加工装置に関し、 孔開けされたグリーンシートの孔の開口端部が脱落しな
い状態で、高精度に孔開け加工できる装置の提供を目的
とし、 複数のダイを有する金型上に設置されたグリーンシート
を、前記ダイに嵌合するポンチで押圧し、該グリーンシ
ートの所定位置に孔開け加工する装置であって、 前記ポンチと嵌合するダイを部分を金型の他の表面より
突出させ、該突出したダイとグリーンシートの空間部に
ガスを供給するガス供給孔を前記金型に設けたことで構
成する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Outline] A ceramic green sheet punching apparatus is provided, which is capable of punching with high precision in a state in which an opening end portion of a hole of a punched green sheet does not fall off. A device for pressing a green sheet installed on a mold having a plurality of dies with a punch fitted to the dies and punching holes at predetermined positions of the green sheet. A part of the die to be fitted is projected from the other surface of the die, and a gas supply hole for supplying gas to the space of the die and the green sheet is provided in the die.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明はグリーンシートの孔開け加工装置に関する。 The present invention relates to a green sheet punching device.

セラミックと溶融せるガラスを主成分としたグリーンシ
ートにビアホールを設け、該ビアホール内、およびグリ
ーンシート上に導体層を形成したプリント基板形成部材
を多層構造に積層後、焼成して形成する多層セラミック
プリント基板は、その絶縁抵抗が従来用いられているエ
ポキシ樹脂を基材として用いたプリント基板に比較して
高抵抗であるので、大電力の半導体素子を搭載し、大型
電子計算機の電子回路を形成するプリント基板に用いら
れている。
A multilayer ceramic print formed by forming via holes in a green sheet containing glass that is fused with ceramics as a main component, and stacking a printed circuit board forming member in which conductor layers are formed in the via holes and on the green sheet into a multilayer structure and then firing the multilayer structure. Since the insulation resistance of the board is higher than that of a conventional printed board using an epoxy resin as a base material, a high-power semiconductor element is mounted to form an electronic circuit of a large-scale computer. Used in printed circuit boards.

このようなセラミック多層プリント基板を製造する工程
として、原料のアルミナと硼珪酸ガラス等を有機溶剤で
混練してスラリー状となし、このスラリー状の材料をポ
リエステルフィルムに挟み込んで圧延してシート状とな
し、このシート状のグリーンシートを所定の寸法に裁断
する。更にこのグリーンシートをポンチとダイを用いて
所定の位置に孔を打ち抜き加工してビアホールを開口し
た後、該ビアホール内にビアホール導体を形成するとと
もに、前記グリーンシート上に所定のパターンの導体層
よりなる回路パターンを形成し、積層して焼成して多層
セラミックプリント基板を形成している。
As a process for producing such a ceramic multilayer printed circuit board, raw materials such as alumina and borosilicate glass are kneaded with an organic solvent to form a slurry, and the slurry-like material is sandwiched between polyester films and rolled into a sheet. None, this green sheet is cut into a predetermined size. Further, this green sheet is punched at a predetermined position using a punch and a die to open a via hole, and then a via hole conductor is formed in the via hole, and a conductor layer having a predetermined pattern is formed on the green sheet. A circuit pattern is formed, laminated and fired to form a multilayer ceramic printed board.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、このようなグリーンシートの所定の位置にビアホ
ールを開口する装置として、第4図に示すように複数個
のダイ1を設けた金型2にグリーンシート3を設置し、
該金型に開口した孔41(ガス供給口)より矢印Aに示す
ように0.1Kg/cm程度に加圧した空気を送り込んでグリー
ンシート3を金型2上より浮上させ、モータおよびカム
(図示せず)等を用いてポンチ4をダイ1に嵌合させて
押圧することでグリーンシート3の所定位置に打ち抜き
加工によりビアホール5を形成していた。
Conventionally, as a device for opening a via hole at a predetermined position of such a green sheet, the green sheet 3 is installed in a mold 2 provided with a plurality of dies 1 as shown in FIG.
Air pressurized to about 0.1 Kg / cm as shown by arrow A is fed from the hole 41 (gas supply port) opened in the mold to float the green sheet 3 above the mold 2, and the motor and the cam (Fig. The punch 4 is fitted into the die 1 and pressed by using a not-shown or the like to form the via hole 5 by punching at a predetermined position of the green sheet 3.

このようにグリーンシート3を空気によって金型2の表
面より浮上させている理由は、金型2にグリーンシート
3が接触することで該グリーンシート3の表面に傷が発
生するのを防止するために行っている。
The reason why the green sheet 3 is floated above the surface of the mold 2 by air is to prevent the surface of the green sheet 3 from being scratched by the contact of the green sheet 3 with the mold 2. Have been to.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

然し、上記のような従来の装置では、グリーンシート3
は硬度が小さく、軟らかいために、変形して反りやす
く、ポンチ4で押圧する際に、ポンチ4の下部に巻き込
まれるようになって、シャープに打ち抜き加工ができ
ず、第5図に示すようにポンチ4とダイ1が嵌合して開
口されるビアホール5の開口端部6に於けるグリーンシ
ート3の一部が脱落して剥離する欠点があり、高精度な
寸法で孔加工ができない問題がある。
However, in the conventional device as described above, the green sheet 3
Since it has a small hardness and is soft, it is easily deformed and warped, and when it is pressed by the punch 4, it becomes caught in the lower part of the punch 4 and cannot be punched sharply, as shown in FIG. There is a drawback that a part of the green sheet 3 at the opening end portion 6 of the via hole 5 which is opened by fitting the punch 4 and the die 1 is detached and peeled off, and there is a problem that the hole cannot be drilled with high precision. is there.

そのため、上記グリーンシート3を浮上する空気の圧力
を低下させてポンチでグリーンシートを押圧した際に、
グリーンシートが反らないようにしている。然し、この
方法を採るとこの脱落したグリーンシートの抜き屑が、
グリーンシートの表面に付着して、打ち抜き後のグリー
ンシートをダイより取り外す時に、この打ち抜き屑がグ
リーンシートに接触してグリーンシートに傷を発生させ
る問題がある。
Therefore, when the pressure of the air floating above the green sheet 3 is reduced and the punch presses the green sheet,
I try not to warp the green sheet. However, when this method is adopted, the scraps of the dropped green sheet are
There is a problem that when the green sheet that has adhered to the surface of the green sheet and is punched out is removed from the die, the punching scraps contact the green sheet and scratch the green sheet.

本発明は上記した問題点を除去し、前記した開口された
孔の開口端部でグリーンシートの脱落が無いようにし、
高精度な寸法で孔開け加工が可能なプリント基板の孔開
け加工装置の提供を目的とする。
The present invention eliminates the above-mentioned problems, and prevents the green sheet from falling off at the opening end of the opened hole,
An object of the present invention is to provide a device for punching a printed circuit board, which is capable of punching with high precision.

〔課題を解決するための手段〕[Means for Solving the Problems]

上記目的を達成する本発明のプリント基板の孔開け加工
装置は、第1図に示すように、ポンチ4と嵌合するダイ
1を部分的に金型2の他の表面より上部に突出させ、該
突出したダイ1とグリーンシート3の空間部11にガスを
供給するガス供給孔13を前記ダイ1に設けることであ
る。
As shown in FIG. 1, a printed circuit board perforating apparatus of the present invention that achieves the above-mentioned object causes a die 1 which is fitted with a punch 4 to partially protrude above the other surface of a mold 2, The die 1 is provided with a gas supply hole 13 for supplying a gas to the protruding die 1 and the space 11 of the green sheet 3.

〔作 用〕[Work]

本発明の装置は第1図に示すようにポンチ4と嵌合する
ダイ1が部分的に突出しているため、グリーンシート3
のダイ1に接触する接触面積が小さく、打ち抜き加工す
る際のポンチの押圧力に対する反作用の力がポンチ側に
掛かるために、グリーンシートの表面および裏面側より
均等に力が掛かるためにたわみが少なくなり、そのため
グリーンシート3の打ち抜き加工時に反ることが無くな
るので、ポンチ4にグリーンシート3を巻き込むことが
なくなり、ビアホール5の開口端部6でのグリーンシー
トの脱落といった事故がなくなり、高精度な寸法で孔加
工ができる。
In the apparatus of the present invention, as shown in FIG. 1, since the die 1 that fits into the punch 4 partially projects, the green sheet 3
The contact area with the die 1 is small, and the reaction force against the pressing force of the punch at the time of punching is applied to the punch side, so that the force is evenly applied from the front surface and the back surface side of the green sheet, so there is little deflection. Therefore, the punching process of the green sheet 3 is prevented, so that the green sheet 3 is not wound around the punch 4, and the accident such as the dropping of the green sheet at the opening end 6 of the via hole 5 is eliminated, and the precision is high. Holes can be drilled according to dimensions.

またダイの突出した部分と金型の表面との空間部に加圧
したガスを供給することで、打ち抜き加工後のグリーン
シートの表面に付着した抜き屑も上記加圧ガスで排出さ
れるので、グリーンシートの表面に傷が発生する事故も
無くなる。
Further, by supplying a pressurized gas to the space between the protruding portion of the die and the surface of the die, the scraps adhering to the surface of the green sheet after punching are also discharged by the pressurized gas, There will be no accident of scratches on the surface of the green sheet.

〔実 施 例〕〔Example〕

以下、図面を用いて本発明の一実施例につき詳細に説明
する。
An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図は本発明の装置を用いた孔加工の説明図、第2図
は本発明のダイを設けた金型の平面図、第3図は第2図
のII−II′線に沿った断面図である。
1 is an explanatory view of hole drilling using the apparatus of the present invention, FIG. 2 is a plan view of a die provided with the die of the present invention, and FIG. 3 is taken along line II-II 'in FIG. FIG.

第1図、第2図および第3図に示すように、本発明の装
置に於ける金型2は、例えば2.5mmのピッチlで直径が1
00μm程度の抜き孔12を有し、直径が1mmφで上部に金
型2の表面より0.2mmの厚さtに突出したダイ1が複数
個設けられている。
As shown in FIGS. 1, 2, and 3, the mold 2 in the apparatus of the present invention has a pitch 1 of 2.5 mm and a diameter of 1, for example.
A plurality of dies 1 each having a hole 12 of about 00 μm and having a diameter of 1 mmφ and protruding to a thickness t of 0.2 mm from the surface of the mold 2 are provided on the upper portion.

またこの金型2には金型表面と突出したダイ1との空間
部11に加圧空気を供給するためのガス供給口13が複数個
設けられている。
The mold 2 is also provided with a plurality of gas supply ports 13 for supplying pressurized air to the space 11 between the mold surface and the protruding die 1.

また上記ダイ1と対応した数量のポンチ4が設置され、
このダイ1上に厚さ0.3mmのグリーンシート3を設置
し、上記ポンチ4を図示しないが、カムおよびモータを
用いて加圧することで所定の位置にビアホール5が開口
される。
In addition, punch 4 of the quantity corresponding to the die 1 is installed,
A green sheet 3 having a thickness of 0.3 mm is installed on the die 1, and the punch 4 (not shown) is pressed by a cam and a motor to open a via hole 5 at a predetermined position.

このように装置に於いては、グリーンシート3がダイ1
と接触する接触面積が小さいために、ポンチ4でグリー
ンシート3を押圧した時、この押圧力によってグリーン
シート3が、反って撓むことが無くなり、開口されたビ
アホール5の開口端部6がグリーンシート3の一部が脱
落する事故が無くなる。
Thus, in the device, the green sheet 3 is the die 1
When the green sheet 3 is pressed by the punch 4, the pressing force of the green sheet 3 prevents the green sheet 3 from warping and bending, and the opening end 6 of the opened via hole 5 is green. There is no accident that part of the seat 3 falls off.

またダイ1と金型2表面との空間部に充分加圧空気が供
給しても、ポンチの押圧力に対して部分的に突出したダ
イの反作用の力が働くために、グリーンシート3が上部
に持ち上げられることが少なくなるので、充分加圧空気
が供給でき、抜き屑14が十分除去できる。そのため抜き
屑14によって孔開け加工後のグリーンシート3をダイ1
より取り外す際に、この抜き屑がグリーンシート3の表
面を摩擦して、該グリーンシートの表面に傷が発生する
事故も無くなる。そのためグリーンシートの孔開け加工
精度が向上するとともに、表面に傷が発生しない高品質
な多層セラミックプリント基板が得られる。
Further, even if sufficient pressurized air is supplied to the space between the die 1 and the surface of the mold 2, the partially protruding reaction force of the die acts against the pressing force of the punch, so that the green sheet 3 is placed above. Since it is less likely to be lifted up, the compressed air can be sufficiently supplied, and the scrap 14 can be sufficiently removed. Therefore, the green sheet 3 after punching with the scrap 14 is die 1
Further, at the time of removal, the scraps rub against the surface of the green sheet 3 so that the surface of the green sheet is not scratched. As a result, the precision of punching the green sheet is improved, and a high-quality multilayer ceramic printed circuit board without scratches on the surface can be obtained.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上の説明から明らかなように本発明によれば、打ち抜
き加工時にグリーンシートがダイ上で撓むことが少なく
なるので、打ち抜き加工した孔の開口端部にグリーンシ
ートの脱落が発生し難くなるので、高精度に孔加工がで
きる効果がある。
As is clear from the above description, according to the present invention, since the green sheet is less likely to bend on the die during the punching process, the green sheet is less likely to fall off at the opening end of the punched hole. There is an effect that the hole can be drilled with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の装置を用いた孔加工の説明図、 第2図は本発明のダイを設けた金型の平面図、 第3図は第2図のII−II′線に沿った断面図、 第4図は従来の装置に於ける孔加工の説明図、 第5図は従来の装置で加工したグリーンシートの不都合
な状態図を示す。 図に於いて、 1はダイ、2は金型、3はグリーンシート、4はポン
チ、5はビアホール、11は空間部、12は抜き孔、13はガ
ス供給口、14は抜き屑を示す。
FIG. 1 is an explanatory view of hole drilling using the apparatus of the present invention, FIG. 2 is a plan view of a die provided with a die of the present invention, and FIG. 3 is taken along line II-II ′ of FIG. A cross-sectional view, FIG. 4 is an explanatory view of hole processing in a conventional apparatus, and FIG. 5 is an inconvenient state diagram of a green sheet processed by a conventional apparatus. In the figure, 1 is a die, 2 is a mold, 3 is a green sheet, 4 is a punch, 5 is a via hole, 11 is a space portion, 12 is a vent hole, 13 is a gas supply port, and 14 is a scrap.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数のダイ(1)を有する金型(2)上に
設置されたグリーンシート(3)を、前記ダイ(1)に
嵌合するポンチ(4)で押圧し、該グリーンシート
(3)の所定位置に孔開け加工する装置であって、 前記ポンチ(4)と嵌合するダイ(1)部分を金型
(2)の他の表面より突出させ、該突出したダイ(1)
とグリーンシート(3)の空間部にガスを供給するガス
供給孔(13)を金型(2)に設けたことを特徴とするグ
リーンシートの孔開け加工装置。
1. A green sheet (3) set on a mold (2) having a plurality of dies (1) is pressed by a punch (4) fitted to the dies (1) to obtain the green sheet. A device for making a hole at a predetermined position in (3), wherein a die (1) part fitted with the punch (4) is made to project from the other surface of the mold (2), and the projected die (1) )
And a green sheet perforating apparatus characterized in that a gas supply hole (13) for supplying gas to the space of the green sheet (3) is provided in the mold (2).
JP4486589A 1989-02-22 1989-02-22 Green sheet punching device Expired - Lifetime JPH0793503B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4486589A JPH0793503B2 (en) 1989-02-22 1989-02-22 Green sheet punching device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4486589A JPH0793503B2 (en) 1989-02-22 1989-02-22 Green sheet punching device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02222197A JPH02222197A (en) 1990-09-04
JPH0793503B2 true JPH0793503B2 (en) 1995-10-09

Family

ID=12703391

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4486589A Expired - Lifetime JPH0793503B2 (en) 1989-02-22 1989-02-22 Green sheet punching device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0793503B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5588232B2 (en) * 2010-06-01 2014-09-10 株式会社 ベアック Drilling device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH02222197A (en) 1990-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6663740B2 (en) Manufacturing method and manufacturing apparatus of thin-film laminate
JPH05167254A (en) Manufacture of ceramic multilayer electronic component
US20060226566A1 (en) Imprinting apparatus, system and method
US5382404A (en) Method of cutting out a portion of a weak sheet
EP1042803B1 (en) Method of manufacturing a multi-layered ceramic substrate
US20080012168A1 (en) Method for manufacturing printed circuit board
US20080034581A1 (en) Method for manufacturing printed circuit board
US4802945A (en) Via filling of green ceramic tape
EP1209734B1 (en) Multilayered ceramic substrate and production method therefor
JPH0793503B2 (en) Green sheet punching device
US5855803A (en) Template type cavity-formation device for low temperature cofired ceramic (LTCC) sheets
US4959116A (en) Production of metal base laminate plate including applying an insulator film by powder coating
JPH11179697A (en) Automatic positioning method, device and plate-shaped material
JPH0817961A (en) Forming method and device of ceramic electronic circuit substrate
CN221067233U (en) Fixing die for circuit board processing
US4280977A (en) Method of working ceramic green sheet
JPH0569394A (en) Method and device for via fill formation
JPH01124284A (en) Manufacture of printed-circuit board
JPH04211195A (en) Manufacture of ceramic multilayered wiring board
JPS6355237B2 (en)
JPS6127696Y2 (en)
JPH09270580A (en) Manufacture of multilayer ceramic board
JPS6310588A (en) Manufacture of printed wiring board
JPH06252557A (en) Manufacture of multilayered substrate of ceramics and jig for green sheet carrier
JPS5955095A (en) Method of punching ceramic board