Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JPH0782043A - Production of ceramic sheet - Google Patents

Production of ceramic sheet

Info

Publication number
JPH0782043A
JPH0782043A JP5188750A JP18875093A JPH0782043A JP H0782043 A JPH0782043 A JP H0782043A JP 5188750 A JP5188750 A JP 5188750A JP 18875093 A JP18875093 A JP 18875093A JP H0782043 A JPH0782043 A JP H0782043A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
weight
ceramic green
ceramic
sheet
green sheet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5188750A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hirotoshi Tanaka
博敏 田中
Makoto Saito
誠 斉藤
Toshiaki Murakami
俊昭 村上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
Priority to JP5188750A priority Critical patent/JPH0782043A/en
Publication of JPH0782043A publication Critical patent/JPH0782043A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent the generation of defective appearance caused by the collapse of stacked ceramic green sheets and troubles such as fusion and deterioration in baking. CONSTITUTION:A ceramic green sheet is punched in circular form and several to several tens pieces of the punched ceramic green sheet 1 are stacked one upon another and placed in a baking capsule 3 made of a ceramic material. The stacked ceramic green sheets 1 is topped with a plate-formed weight 2 made of a sintered material of the ceramic material same as the ceramic green sheet. The baking capsule 3 is closed with a lid 4, introduced into a baking furnace and heat-treated to effect the baking and sintering of the ceramic green sheet 1. The weight of the weight 2 is preferably 6-29 times the weight of one punched ceramic green sheet.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、圧電ブザー用の圧電セ
ラミック素地等の薄いセラミックシートを製造するのに
最適なセラミックシートの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a ceramic sheet suitable for producing a thin ceramic sheet such as a piezoelectric ceramic substrate for a piezoelectric buzzer.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧電ブザー用の圧電セラミック素地等の
焼結体としてのセラミックシートは、セラミック粉末に
バインダーを添加、混合し、湿式押出成形法、ドクター
ブレード法等により薄いセラミックグリーンシートを作
り、これを所定の形状に打ち抜き、その後打ち抜いたセ
ラミックグリーンシートを複数枚積み重ね、これをセラ
ミック製の容器である焼成用サヤに入れ、この焼成用サ
ヤごと焼成炉に導入し、熱処理することにより製造され
る。この熱処理により、セラミックグリーンシートが焼
結され、焼結体としてのセラミックシートが得られる。
2. Description of the Related Art A ceramic sheet as a sintered body such as a piezoelectric ceramic substrate for a piezoelectric buzzer is prepared by adding a binder to a ceramic powder and mixing them, and then forming a thin ceramic green sheet by a wet extrusion molding method, a doctor blade method or the like. It is manufactured by punching this into a predetermined shape, stacking a plurality of punched ceramic green sheets, putting it in a firing container that is a container made of ceramic, introducing it with the firing sheath into a firing furnace, and heat treating it. It By this heat treatment, the ceramic green sheet is sintered and a ceramic sheet as a sintered body is obtained.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとしている課題】例えば、圧電セラ
ミック素地は、25μm〜200μmと非常に薄く、重
量が軽い。しかも、この圧電セラミックは、その焼成時
に、予め脱バインダ処理が必要であり、さらに焼結に至
る焼成時にはPb成分のベーパーが起こる。このため、
脱バインダによるバインダ成分の蒸発やPb成分のベー
パーにより発生する気流により、軽い圧電セラミックが
動かされ、積み重ねたセラミックグリーンシートが崩れ
やすい。
SUMMARY OF THE INVENTION For example, a piezoelectric ceramic substrate is as thin as 25 μm to 200 μm and has a light weight. Moreover, this piezoelectric ceramic requires a binder removal treatment in advance during firing, and vaporization of the Pb component occurs during firing leading to sintering. For this reason,
The light piezoelectric ceramics are moved by the air flow generated by the evaporation of the binder component by the binder removal and the vaporization of the Pb component, and the stacked ceramic green sheets are easily collapsed.

【0004】焼成中にセラミックグリーンシートが崩
れ、そのまま焼成されると、得られる焼結体としてのセ
ラミックシートに反りやうねり等の変形が生じ、セラミ
ックシートが外観不良となり、製品として使用できない
という問題がある。そこで従来では、焼成用サヤの形状
と寸法を、積み重ねたセラミックグリーンシートの形状
と寸法に合わせ、積み重ねたセラミックグリーンシート
を焼成用サヤの中に隙間無く収納したり、或はジルコニ
アの棒等で積み重ねたセラミックグリーンシートを囲っ
たりして、セラミックグリーンシートが動かないように
して焼成する試みもなされていた。
When the ceramic green sheet collapses during firing and is fired as it is, the resulting ceramic sheet as a sintered body is deformed such as warping or waviness, resulting in a poor appearance of the ceramic sheet and being unusable as a product. There is. Therefore, in the past, the shape and dimensions of the firing sheath were matched with the shape and dimensions of the stacked ceramic green sheets, and the stacked ceramic green sheets were stored in the firing sheath without any gaps, or with zirconia rods or the like. Attempts have also been made to surround the stacked ceramic green sheets so that the ceramic green sheets do not move during firing.

【0005】しかし、これらの手段では、量産性や作業
性が悪く、高い生産性が得られないばかりでなく、脱バ
インダによるバインダ成分の蒸発やPb成分のベーパー
の逸散が妨げられるため、脱バインダや焼結が円滑に行
えないという欠点がある。そこで本発明は、積み重ねた
セラミックグリーンシートの崩れが起こり難く、しかも
その他の障害が起こらないセラミックシートの焼成方法
を提供することを目的とする。
However, with these means, not only mass productivity and workability are poor and high productivity cannot be obtained, but also the evaporation of the binder component by the debinder and the escape of the vapor of the Pb component are hindered. There is a drawback that the binder and sintering cannot be performed smoothly. Therefore, an object of the present invention is to provide a method for firing a ceramic sheet in which the stacked ceramic green sheets are less likely to collapse and other obstacles do not occur.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明では、
前記目的を達成するため、所定形状のセラミックグリー
ンシートを複数積み重ね、これら積み重ねたセラミック
グリーンシートを焼成炉に導入し、熱処理して焼成する
ことにより、焼結体としてのセラミックシートを製造す
る方法において、積み重ねたセラミックグリーンシート
上に同シートと同じ平面形状或はそれより平面形状が大
きく、かつ同じセラミック材料の焼結体からなる重しを
載せて焼成炉に導入することを特徴とするセラミックシ
ートの製造方法を提供する。なお、重しの重量は、セラ
ミックグリーンシート1枚当り重量の6〜29倍とする
のがよい。
That is, according to the present invention,
In order to achieve the above object, a method for producing a ceramic sheet as a sintered body by stacking a plurality of ceramic green sheets of a predetermined shape, introducing these stacked ceramic green sheets into a firing furnace, and heat-treating them A ceramic sheet having the same planar shape as or a larger planar shape than that of the stacked ceramic green sheets and placing a weight made of a sintered body of the same ceramic material and introducing the weight into a firing furnace. A method for manufacturing the same is provided. The weight of the weight is preferably 6 to 29 times the weight of one ceramic green sheet.

【0007】[0007]

【作用】積み重ねたセラミックグリーンシート上に同シ
ートと同じ平面形状或はそれより平面形状が大きく、か
つ同じセラミック材料の焼結体からなる重しを載せて焼
成炉に導入し、焼成することにより、積み重ねたセラミ
ックグリーンシートを、その全体にわたってそれらが崩
れないように上から重しが押さえる。このため、セラミ
ックグリーンシートが崩れないように安定した状態で焼
成される。また、重しをセラミックグリーンシートの上
に直接載せても、重しが積み重ねたセラミックグリーン
シートと同じセラミック材料の焼結体からなるため、焼
成時にセラミックグリーンシートが変質しない。これに
より、特性変動の無いセラミックシートが得られる。
[Function] By stacking a stack of ceramic green sheets with a weight made of a sintered body of the same ceramic material having the same plane shape or a plane shape larger than that of the sheets and introducing the weight into a firing furnace and firing the sheets. , The weight of the stacked ceramic green sheets is pressed from above so that they do not collapse over the whole. Therefore, the ceramic green sheet is fired in a stable state so as not to collapse. Further, even if the weight is directly placed on the ceramic green sheet, the weight of the weight is made of a sintered body of the same ceramic material as the stacked ceramic green sheets, so that the ceramic green sheet does not deteriorate during firing. As a result, a ceramic sheet having no characteristic fluctuation can be obtained.

【0008】なお、後述の実施例から明かなように、重
しの重量をセラミックグリーンシート1枚当り重量の6
倍以上としたときに、積み重ねたセラミックグリーンシ
ートの崩れを防止する効果が顕著に表れる。しかし、重
しが主すぎると、積み重ねたセラミックグリーンシート
の表面圧力が高くなるため、焼成時に上下のセラミック
グリーンシートが互いに焼き付く、いわゆる融着現象が
起こりやすくなる。この融着現象は、重しの重量がセラ
ミックグリーンシート1枚当り重量の29倍を越えると
顕著に表れる。従って、重しの重量をセラミックグリー
ンシート1枚当り重量の29倍以下とするのがよい。
As will be apparent from the examples described below, the weight of the ceramic green sheet is 6 times the weight of one ceramic green sheet.
When it is more than doubled, the effect of preventing the collapse of the stacked ceramic green sheets becomes remarkable. However, if the weight is too large, the surface pressure of the stacked ceramic green sheets becomes high, so that the upper and lower ceramic green sheets are likely to stick to each other at the time of firing, so-called a fusion phenomenon easily occurs. This fusion phenomenon is remarkable when the weight of the weight exceeds 29 times the weight of one ceramic green sheet. Therefore, the weight of the ceramic green sheet is preferably 29 times or less.

【0009】[0009]

【実施例】次に、図面を参照しながら、本発明の実施例
について詳細に説明する。既に述べた通り、焼結体とし
てのセラミックシートは、次のようにして作られる。ま
ず、セラミック粉末に、バインダーを添加、混合し、湿
式押出成形法により薄いセラミックグリーンシートを作
り、これを所定の形状に打ち抜く。次に、図1及び図2
に示すように、この打ち抜いたセラミックグリーンシー
ト1を数枚から数十枚積み重ね、これをセラミック製の
容器である焼成用サヤ3に入れる。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. As described above, the ceramic sheet as the sintered body is manufactured as follows. First, a binder is added to and mixed with ceramic powder, a thin ceramic green sheet is produced by a wet extrusion method, and this is punched into a predetermined shape. Next, FIG. 1 and FIG.
As shown in FIG. 5, several to several tens of the punched ceramic green sheets 1 are stacked and placed in a firing sheath 3 which is a ceramic container.

【0010】ここで本発明では、重ねたセラミックグリ
ーンシート1の上に、それと同じセラミック材料の焼結
体である板状の重し2を載せる。この重し2は、例えば
セラミックグリーンシート1が円形シートであれば、そ
れと同じ径の円板状がよいが、載せた時の安定性を失わ
ない範囲で、セラミックグリーンシート1よりやや平面
形状の大きな板状のものであってもよい。
In the present invention, the plate-like weight 2 which is a sintered body of the same ceramic material is placed on the stacked ceramic green sheets 1. For example, if the ceramic green sheet 1 is a circular sheet, the weight 2 may have a disk shape having the same diameter as that of the ceramic green sheet 1. However, the weight 2 is slightly flatter than the ceramic green sheet 1 as long as it does not lose stability when placed. It may be a large plate.

【0011】重し2がそれ単独で充分な重量を有する場
合は、例えば図1に示すように、重し2を1つだけ単独
で使用する。重し2がそれ単独で充分な重量を有しない
場合は、例えば図2に示すように、重し2の上に他の重
し5を載せてもよい。この上の重し5は、セラミックグ
リーンシート1と同じセラミック材料の焼結体である必
要はない。
If the weight 2 alone has sufficient weight, only one weight 2 is used as shown in FIG. 1, for example. If the weight 2 alone does not have sufficient weight, another weight 5 may be placed on top of the weight 2, for example as shown in FIG. The upper weight 5 does not need to be a sintered body of the same ceramic material as the ceramic green sheet 1.

【0012】このように焼成用サヤ3内にセラミックグ
リーンシート1を積み重ねた状態で、焼成用サヤ3に蓋
4をし、これを焼成炉に導入し、熱処理することによ
り、セラミックグリーンシート1を焼成し、セラミック
グリーンシートを焼結させる。その後、焼成用サヤ2を
焼成炉から取り出し、蓋4を開けて、その中から焼結し
たセラミックシートを取り出すことにより、工程が完了
する。なお、図1と図2では、便宜上、積み重ねたセラ
ミックグリーンシート1を焼成用サヤ3に1積みだけ収
納した状態を示したが、実際には、1つの焼成用サヤ3
に数積みから数十積みのセラミックグリーンシート1を
収納する。
With the ceramic green sheets 1 stacked in the firing sheath 3 as described above, the lid 4 is placed on the firing sheath 3, and the lid 4 is introduced into a firing furnace and heat-treated to obtain the ceramic green sheet 1. Baking to sinter the ceramic green sheets. After that, the firing sheath 2 is taken out of the firing furnace, the lid 4 is opened, and the sintered ceramic sheet is taken out of the lid 4, thereby completing the process. 1 and 2, for the sake of convenience, only one stack of the stacked ceramic green sheets 1 is stored in the firing sheath 3, but in reality, one firing sheath 3 is used.
A few to several tens of ceramic green sheets 1 are stored in the.

【0013】次に、本発明のより具体的な実施例につい
て説明する。 (実施例1)チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電
セラミック原料粉末に、メチルセルロースを主成分とす
るバインダーを添加、混合し、湿式押出成形法により厚
さ60μmの圧電セラミックグリーンシートを作り、こ
れを直径31mmの円形に裁断して円形シート状のセラ
ミックグリーンシートを作った。このセラミックグリー
ンシートを30枚積み重ねたものを50組用意して焼成
用サヤの中に収納し、その上に前記圧電セラミックの焼
結体からなる直径31mmの円板状の重しを載せ、焼成
用サヤの蓋をして、焼成炉に導入し、焼成した。
Next, a more specific embodiment of the present invention will be described. Example 1 A piezoelectric ceramic green sheet having a thickness of 60 μm was prepared by a wet extrusion method by adding and mixing a binder containing methyl cellulose as a main component to a piezoelectric ceramic raw material powder containing lead zirconate titanate as a main component. This was cut into a circle having a diameter of 31 mm to produce a circular green sheet-shaped ceramic green sheet. Fifty sets of thirty stacked ceramic green sheets are prepared and housed in a firing sheath, and a disc-shaped weight having a diameter of 31 mm made of a sintered body of the piezoelectric ceramic is placed thereon and fired. The sheath of the sword was put on the lid, introduced into a firing furnace, and fired.

【0014】ここで、重しは1.00g〜6.25gま
で異なる重量の5つの重しを各々使用し、また比較のた
め、重しを載せないもの(重し重量=0g)も焼成し
た。焼成後、崩れによる外観不良と融着による不良を調
べ、使用した重しの重量ごとに、その結果を表1に示し
た。なお、表1における重し重量の欄の右側の数字は、
重しのセラミックグリーンシート1枚当に対する重量比
を示している。
Here, five weights each having a different weight from 1.00 g to 6.25 g were used, and for comparison, those without a weight (weight weight = 0 g) were also fired. . After firing, appearance defects due to collapse and defects due to fusion were examined, and the results are shown in Table 1 for each weight of the weight used. In addition, the number on the right side of the weight column in Table 1 is
The weight ratio of one weight of the ceramic green sheet is shown.

【0015】[0015]

【表1】 [Table 1]

【0016】(実施例2)前記実施例1と同じセラミッ
クグリーンシートを10枚積み重ね、これに重しを載せ
ないもの、2.00gの重しを載せたもの、6.30g
の重しをのせたものを、各々前記実施例1と同様にして
焼成した。焼成後、崩れによる外観不良と融着による不
良を調べ、使用した重しの重量ごとに、その結果を表2
に示した。なお、表2における重し重量の欄の右側の数
字は、表1と同様に、重しのセラミックグリーンシート
1枚当に対する重量比を示している。
(Embodiment 2) 10 sheets of the same ceramic green sheets as in the above-mentioned Embodiment 1 were stacked and no weight was placed on them, 2.00 g of weight was placed on them, 6.30 g
Each of the weighted products was fired in the same manner as in Example 1 above. After firing, the appearance defect due to collapse and the defect due to fusion were examined, and the results are shown for each weight of the weight used.
It was shown to. The number on the right side of the weight column in Table 2 indicates the weight ratio of the weight to one ceramic green sheet, as in Table 1.

【0017】[0017]

【表2】 [Table 2]

【0018】(実施例3)前記実施例1と同じセラミッ
クグリーンシートを30枚積み重ね、これに重しを載せ
ないもの、圧電セラミックの重しの上にジルコニアの重
しを載せ、その総重量を2.00g、6.30gとした
ものを、各々前記実施例1と同様にして焼成した。焼成
後、崩れによる外観不良と融着による不良を調べ、使用
した重しの重量ごとに、その結果を表3に示した。な
お、表3における重し重量の欄の右側の数字は、表1と
同様に、重しの総重量のセラミックグリーンシート1枚
当に対する重量比を示している。
(Embodiment 3) The same ceramic green sheets as in Embodiment 1 are stacked 30 sheets, and no weight is placed on this, or a weight of zirconia is placed on the weight of piezoelectric ceramic, and the total weight is 2.00 g and 6.30 g were fired in the same manner as in Example 1 above. After firing, appearance defects due to collapse and defects due to fusion were examined, and the results are shown in Table 3 for each weight of the weight used. The number on the right side of the weight column in Table 3 indicates the weight ratio of the total weight of the weight to one ceramic green sheet, as in Table 1.

【0019】[0019]

【表3】 [Table 3]

【0020】以上の結果から明らかなように、セラミッ
クグリーンシートを積み重ねる枚数に殆ど関係なく、重
しの重量をセラミックグリーンシート1枚当り重量の6
倍以上としたときに、積み重ねたセラミックグリーンシ
ートの崩れを防止する効果が急に顕著になる。一方、焼
成時に上下のセラミックグリーンシートが互いに焼き付
く、いわゆる融着現象は、重しの重量がセラミックグリ
ーンシート1枚当り重量の29倍を越えると顕著にな
る。従って、重しの重量をセラミックグリーンシート1
枚当り重量の6〜29倍とするのがよいことがわかる。
As is clear from the above results, the weight of the ceramic green sheets is about 6 times the weight of one ceramic green sheet, regardless of the number of stacked ceramic green sheets.
When it is more than doubled, the effect of preventing the collapse of the stacked ceramic green sheets suddenly becomes remarkable. On the other hand, the so-called fusion bonding phenomenon, in which the upper and lower ceramic green sheets are burned together during firing, becomes remarkable when the weight of the weight exceeds 29 times the weight of one ceramic green sheet. Therefore, the weight of the ceramic green sheet 1
It can be seen that the weight per sheet is preferably 6 to 29 times.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、積
み重ねたセラミックグリーンシートの崩れが起こり難
く、従って、セラミックシートの反りやうねり等による
外見不良の発生を防止することができ、しかも焼成時の
融着やセラミックシートの変質等の障害が起こらず、特
性の安定したセラミックシートを歩留りよく製造できる
という効果が得られる。
As described above, according to the present invention, the stacked ceramic green sheets are unlikely to collapse, so that it is possible to prevent appearance defects such as warpage and undulation of the ceramic sheets, and to perform firing. It is possible to obtain an effect that a ceramic sheet having stable characteristics can be manufactured with a high yield without causing problems such as fusion at the time and deterioration of the ceramic sheet.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例において、積み重ねたセラミッ
クグリーンシートを焼成用サヤに収納した状態の略示断
面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a stacked ceramic green sheet housed in a firing sheath in an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例において、積み重ねたセラ
ミックグリーンシートを焼成用サヤに収納した状態の略
示断面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a stacked ceramic green sheet housed in a firing sheath in another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 セラミックグリーンシート 2 重し 3 焼成用サヤ 4 焼成用サヤの蓋 5 重し 1 Ceramic green sheet 2 Stack 3 Sinter for burning 4 Saya lid for sintering 5 Stack

Claims (2)

【整理番号】 0050101−01 【特許請求の範囲】[Reference number] 0050101-01 [Claims] 【請求項1】 所定形状のセラミックグリーンシートを
複数積み重ね、これら積み重ねたセラミックグリーンシ
ートを焼成炉に導入し、熱処理して焼成することによ
り、焼結体としてのセラミックシートを製造する方法に
おいて、積み重ねたセラミックグリーンシート上に同シ
ートと同じ平面形状或はそれより平面形状が大きく、且
つ同じセラミック材料の焼結体からなる重しを載せて焼
成炉に導入することを特徴とするセラミックシートの製
造方法。
1. A method for producing a ceramic sheet as a sintered body by stacking a plurality of ceramic green sheets of a predetermined shape, introducing the stacked ceramic green sheets into a firing furnace, and heat-treating them to obtain a ceramic sheet as a sintered body. A ceramic sheet characterized by having the same plane shape as that of the same sheet or a plane shape larger than that and placing a weight made of a sintered body of the same ceramic material and introducing the weight into a firing furnace. Method.
【請求項2】 重しの重量がセラミックグリーンシート
1枚当り重量の6〜29倍である請求項1に記載のセラ
ミックシートの製造方法。
2. The method for producing a ceramic sheet according to claim 1, wherein the weight of the weight is 6 to 29 times the weight of one ceramic green sheet.
JP5188750A 1993-06-30 1993-06-30 Production of ceramic sheet Pending JPH0782043A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5188750A JPH0782043A (en) 1993-06-30 1993-06-30 Production of ceramic sheet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5188750A JPH0782043A (en) 1993-06-30 1993-06-30 Production of ceramic sheet

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0782043A true JPH0782043A (en) 1995-03-28

Family

ID=16229121

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5188750A Pending JPH0782043A (en) 1993-06-30 1993-06-30 Production of ceramic sheet

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0782043A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6001761A (en) * 1994-09-27 1999-12-14 Nippon Shokubai Co., Ltd. Ceramics sheet and production method for same
JP2004338977A (en) * 2003-05-13 2004-12-02 Kyocera Corp Firing tool
CN102012161A (en) * 2010-09-20 2011-04-13 徐平 Heat treatment device with stacked ceramic thin plates and using method thereof

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6001761A (en) * 1994-09-27 1999-12-14 Nippon Shokubai Co., Ltd. Ceramics sheet and production method for same
JP2004338977A (en) * 2003-05-13 2004-12-02 Kyocera Corp Firing tool
JP4614636B2 (en) * 2003-05-13 2011-01-19 京セラ株式会社 A firing jig for firing piezoelectric ceramics for ink jet printer heads containing Pb or Bi and having a thickness of 100 μm or less, and a piezoelectric ceramics and ink jet printer heads for ink jet printer heads containing Pb or Bi and containing Pb or Bi having a thickness of 100 μm or less Method of manufacturing piezoelectric actuator
CN102012161A (en) * 2010-09-20 2011-04-13 徐平 Heat treatment device with stacked ceramic thin plates and using method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0782043A (en) Production of ceramic sheet
JPH059076A (en) Production of aluminum nitride substrate
JP3089922B2 (en) Manufacturing method of ceramic laminated electronic component
JPS6048115B2 (en) Method of manufacturing piezoelectric ceramic substrate
JPS63136677A (en) Manufacture of piezoelectric ceramics thin plate
JPH10218672A (en) Baking for ceramic sheet
JPH05262570A (en) Production of sintered piezoelectric ceramic
JPS6131361A (en) Manufacture of ceramic wafer
KR20240086968A (en) Piezoelectric ceramic sintering jig and piezoelectric ceramic sintering unit including the same
JPH0297468A (en) Production of thin ceramic sheet and calcination tool utilized for method thereof
JPS62255786A (en) Holding plate for baking ceramic sheet and method of baking ceramic sheet
JPH04325465A (en) Method for burning piezoelectric ceramics
JPH0791114B2 (en) Ceramic thin plate manufacturing method
JPH0442442B2 (en)
JP3044879B2 (en) Method for firing ceramic molded body
JPH02311371A (en) Sintering of ceramic substrate
JPH01172277A (en) Production of ceramic substrate
JPH03285876A (en) Roasting method for piezoelectric ceramics
JPS6110075A (en) Method of burning green ceramic
JP3484872B2 (en) Heat treatment method of ceramics and heat treatment sheath used for it
JPH0585835A (en) Production of ceramic substrate
JPH01266774A (en) Manufacture of piezoelectric thin board
JPH05178672A (en) Production of ceramics
JPS6214955B2 (en)
JPS5918163A (en) Manufacture of light permeable ceramics

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19991116