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JPH0735478A - エアーナイフ装置 - Google Patents

エアーナイフ装置

Info

Publication number
JPH0735478A
JPH0735478A JP19991093A JP19991093A JPH0735478A JP H0735478 A JPH0735478 A JP H0735478A JP 19991093 A JP19991093 A JP 19991093A JP 19991093 A JP19991093 A JP 19991093A JP H0735478 A JPH0735478 A JP H0735478A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air knife
dried
air
substance
mist
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19991093A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiharu Ikeda
敏治 池田
Yasuyuki Ochiai
保之 落合
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SPC Electronics Corp
Original Assignee
SPC Electronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SPC Electronics Corp filed Critical SPC Electronics Corp
Priority to JP19991093A priority Critical patent/JPH0735478A/ja
Publication of JPH0735478A publication Critical patent/JPH0735478A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 水滴のミストを確実に吸引して排出する。 【構成】 被乾燥物１に対して傾斜した状態で反搬送側
に開口したエアーナイフ２を設置し、エアーナイフ２の
搬送側及び反搬送側に吸気を行う排気ダクト３をエアー
ナイフ２と平行して設けたエアーナイフ装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エアーナイフ装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の此種装置は図４に示すように液晶
用基板等の被乾燥物１の上方に傾斜させたエアーナイフ
２を設置し、噴射気体の方向に位置した被乾燥物１の側
面に、吸気ダクト３を設置して、被乾燥物１に付着して
いる水滴４等を噴射気体で吹き飛ばし急速乾燥させる。
この時発生したミストを吸気ダクト３で吸気して排気さ
せていた。尚、図中５は気体配管、６は排気配管で排風
機７と連通させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の装置にあっ
ては、吸気ダクト３が被乾燥物１の搬送方向における側
面に設置されているため、エアーナイフから比較的、距
離をおいて配設されているため、ミストの吸気を十分に
行うことができず、被乾燥物に再付着し、ウォータマー
クが発生するという欠点があった。そこで、本発明はエ
アーナイフの近傍に吸気ダクトを設置してミストを確実
に吸引して排出させることができる装置を提供しようと
するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、被乾燥物に対して傾斜した状態で反搬送側
に開口したエアーナイフを設置し、エアーナイフの反搬
送側に吸気を行う吸気ダクトをエアーナイフと平行して
設け、更にエアーナイフの搬送側に吸気を行う吸気ダク
トをエアーナイフと平行して設けたエアーナイフ装置。
【０００５】
【作用】本発明は前記のように構成したもので、エアー
ナイフから噴射した噴射気体で被乾燥物上の水滴を吹き
飛ばして急速乾燥させる。この時発生したミストを反搬
送側の吸気ダクトで吸引し、更にエアーナイフ通過後は
搬送側の吸気ダクトで吸引してミスト再付着を防止す
る。
【０００６】
【実施例】本発明の第１実施例を図１，２に基いて詳細
に説明する。被乾燥物１の搬送方向に対して傾斜させた
状態で気体配管５と連通したエアーナイフ２を被乾燥物
１の上方に設置する。このエアーナイフ２は反搬送方向
に微小の間隔を有する噴射用スリット８を設け、エアー
ナイフ２と平行して搬送方向側の前後でエアーナイフ２
の近傍に吸気ダスト３，９を被乾燥物１の上方に設置し
ている。吸気ダクト３，９は夫々エアーナイフ２側に吸
気口１０，１１を開口している。
【０００７】そして、エアーナイフ２及び吸気ダクト
３，９の両側を各々取付金具１２，１２に固定して。配
置関係を保持するようになっている。又、吸気ダクト３
は排気配管６を介して排風機７に、吸気ダクト９は排気
配管１３を介して排風機１４に接続している。
【０００８】第１実施例は前記のように構成したもの
で、エアーナイフ２の噴射用スリット８からエアー又は
窒素ガス等の噴射気体を矢印方向に噴射させ、被乾燥物
１上の水滴４を吹き飛ばし、急速乾燥させる。一方、両
側の吸気ダクト３、９は各々排風機７，１４によって吸
気口１０，１１から吸気を行っている。したがって、吸
気ダクト３の吸気口１０からミストを吸気するが吸気口
１０の近傍は負圧となり、エアーナイフ２からの噴射用
スリット７８より噴射する噴射気体の圧力は減圧された
状態での効果と同じとなり、噴射する気体量の減量とな
り、気体に対する約５％のコストの削減を行うことがで
きる。
【０００９】又、エアーナイフ通過後の被乾燥物１の表
面上に、吸気洩れの極く僅かのミストの再付着を吸気ダ
クト９で吸気すると共に、被乾燥物１の表面上を負圧に
して乾燥の促進を計る。
【００１０】次に、第２実施例を図３に基いて説明する
と、本実施例は被乾燥部１の幅が広い場合で、エアーナ
イフ２をＶ字型に形成し、吸気ダクト３，９も同様にＶ
字型に形成したものである。他は全て第１実施例と同様
なので、同一符号を付し説明を省略する。
【００１１】
【発明の効果】本発明は前記のように構成、作用を有す
るもので、噴射気体で水滴を飛ばし、急速乾燥させる。
この時発生するミストを近傍に開口した吸気ダクトで吸
気するので、ミストの再付着を防止し、ウォータマーク
が発生するようなことがない。又、エアーナイフを通過
した後にも吸気を行ってミストを吸引するので乾燥を確
実に行うことができる。
【００１２】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例の平面図
【図２】その縦断面図。
【図３】第２実施例の平面図。
【図４】従来装置の平面図。
【符号の説明】
１ 被乾燥物 ２ エアーナイフ ３ 吸気ダクト ４ 水滴 ５ 気体配管 ６ 排気配管 ７ 排風機 ８ 噴射用スリット ９ 吸気ダクト １０ 吸気口 １１ 吸気口 １２ 取付金具

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被乾燥物に対して傾斜した状態で反搬送
    側に開口したエアーナイフを設置し、エアーナイフの反
    搬送側に吸気を行う吸気ダクトをエアーナイフと平行し
    て設けたことを特徴とするエアーナイフ装置。
  2. 【請求項２】 エアーナイフの搬送側に吸気を行う吸気
    ダクトをエアーナイフと平行して設けた請求項１記載の
    エアーナイフ装置。
JP19991093A 1993-07-20 1993-07-20 エアーナイフ装置 Pending JPH0735478A (ja)

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