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JPH06342146A - 画像表示装置、半導体装置及び光学機器 - Google Patents

画像表示装置、半導体装置及び光学機器

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Publication number
JPH06342146A
JPH06342146A JP5320893A JP32089393A JPH06342146A JP H06342146 A JPH06342146 A JP H06342146A JP 5320893 A JP5320893 A JP 5320893A JP 32089393 A JP32089393 A JP 32089393A JP H06342146 A JPH06342146 A JP H06342146A
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JP
Japan
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light
image display
display device
light source
region
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Withdrawn
Application number
JP5320893A
Other languages
English (en)
Inventor
Shunsuke Inoue
俊輔 井上
Tetsunobu Kouchi
哲伸 光地
Mamoru Miyawaki
守 宮脇
Junichi Hoshi
淳一 星
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Priority to EP93309901A priority patent/EP0602895B1/en
Priority to DE69321447T priority patent/DE69321447T2/de
Priority to EP98200296A priority patent/EP0851272A3/en
Publication of JPH06342146A publication Critical patent/JPH06342146A/ja
Priority to US08/833,116 priority patent/US5926238A/en
Priority to US09/264,896 priority patent/US20020067419A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 視線検知機能付ビデオカメラ等に用いられる
画像表示装置を提供する。 【構成】 液晶表示装置が本来具備しているバックライ
トを利用し、このバックライト光の一部を視線検知のた
めに観察者眼へ照射する照明光に用いる画像表示装置。 【効果】 視線検知のための新たな照明光源を設ける必
要がなく、装置全体を小型、軽量化でき、低コストでコ
ンパクトな視線検知機能的ビデオカメラ等の実現に寄与
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子スチルカメラ,ビ
デオカメラ等の表示手段として適用可能な画像表示装
置、各種光学センサー等に適用可能な半導体装置及び前
記画像表示装置及び/又は前記半導体装置を有する光学
機器に関し、更に詳しくは、視線検知や光検出などに好
適に使用することが可能な画像表示装置及び/又は半導
体装置及び前記視線検知や光検出などの機能を有する光
学機器に関する。
【0002】
【従来の技術】画像表示装置には大小さまざまなものが
あり、その用途も、テレビ、事務機のモニター画面、電
子スチルカメラやビデオカメラのモニター画面(ビュー
ファインダー)等、数多い。
【0003】また、画像表示装置は液晶表示装置、CR
T(cathod ray tube)、プラズマディ
スプレー,EL(electro luminesce
nce)ディスプレーなど多くの方式が知られている。
この中でも液晶表示装置は軽量で小型化が図れかつフル
カラー表示も容易に行なえ、さらには消費電力が少ない
等の数多くの利点を有しているので現在画像表示装置と
して多方面に使用されている。
【0004】ところで、銀塩フィルムに光学的に像を焼
きつける装置、即ちカメラは、近年特に自動焦点技術に
おいて進展著しいものがある。その中で、観察者(撮映
者)の視線の方向を検知し、その位置にたとえば自動的
に焦点合わせをおこなう技術が公知である(特開平1−
241511号公報,特開平4−240438号公
報)。
【0005】この発明によれば、『被写体を観察するた
めのファインダー装置と、ファインダー装置で観察する
観察者眼を照明する照明手段と、観察者眼からの反射光
を集光する集光光学系と、集光された反射光を受ける光
電変換手段と、光電変換手段の出力で観察者眼の視線の
方向を演算する演算手段を備え、少なくとも1つのカメ
ラの撮影条件設定手段を演算手段の演算結果に応じて制
御する』ことにより、たとえばより自由度の高い便利な
自動焦点機能を実現しようとしている。
【0006】視線検知装置の概要の一例について図1を
用いて説明する。同図において、赤外線照明光源290
1を点光源とし、集光レンズ2902,ハーフミラー2
903を通して眼球105に照射される。人眼の構造
は、角膜前面106a,角膜後面106b,水晶体前面
108a,水晶体後面108bを接合面もしくは界面と
した接合レンズと見ることができ、虹彩107は水晶体
前面付近にある。各接合面において、それぞれ屈折率変
化が異なり、角膜前面、水晶体前面、水晶体後面、角膜
後面の順の強さで反射される。また平行光束を入射した
時の各界面の反射像の位置は、眼球前方から見ると図2
のようになることが近軸追跡の結果理解される。
【0007】図2に示す様に、各界面の反射像は、角膜
前面106aから測って第1面,第2面…の順にそれぞ
れ3.990(mm),4.017(mm),4.25
1(mm),10.452(mm)の位置に結像する。
なお、この値は、人眼の各部の標準的な形状と値(以下
参照)を用いたときの値である。
【0008】 106aの標準曲率半径=7.98(mm) 106bの標準曲率半径=6.22(mm) 108aの標準曲率半径=10.20(mm) 108bの標準曲率半径=61.7(mm) 106a−106b間の屈折率 n1 =1.376 106b−108a間の屈折率 n2 =1.336 108a−108b間の屈折率 n3 =1.406 108bより右側の屈折率 n4 =1.336
【0009】これらの結像はプルキンエ像と称される。
観察者眼による反射像は逆の経路をたどり、ハーフミラ
ー2904により反射され、光電変換器2905に入射
される。光電変換器2905上で、各界面で反射された
プルキンエ像を結像させる。各プルキンエ像は眼球光軸
上に一直線に点像となって表示されるが、眼球が回転し
ており、左右どちらか片寄った方向に視軸が向いている
と、照明光は眼球光軸から斜めに入射するので、各プル
キンエ像は瞳孔中心から偏心した位置に移動する。プル
キンエ像の移動量及び方向はそれぞれどの面でのプルキ
ンエ像かで異なるので複数のプルキンエ像が認められ
る。これらのプルキンエ像の動き及び必要に応じて瞳孔
中心や虹彩中心を電気的にとらえれば、視線の方向を検
出することができる。
【0010】この点について、図3及び図4を用いて簡
単に説明する。図3において、光電変換素子3101を
2次元に並べた素子上に、虹彩3102,瞳孔310
3,プルキンエ第1像3104,プルキンエ第2像31
05が図のように検出される時、例えば第7行目と第5
列目の素子の光出力は図のとおりとなり、第1のピーク
を与える(x5 ,y7 )を第1像の位置、第2のピーク
を与える(x10,y7 )を第2像として検出し、両者の
像の位置ズレ量(=プルキンエ像移動量)から図4によ
り眼球の回転角を算出することができるという原理に基
づいている。
【0011】先に示した図1の構成図は、このようにし
て検知した注視点の情報をフィードバックして自動焦点
制御を行う視線検出装置の従来の構成例を示したもので
ある。
【0012】ところで、図1に示されるように視線検出
装置は照明光源2901に用いられる発光素子や、光電
変換器2905に用いられる受光素子、を有している。
又、視線検知ではなくとも、対象物に対して光を照射
し、この反射光を検知して対象物の像あるいは位置等を
検出する各種センサー等に用いられるさまざまな発光素
子,受光素子が知られている。
【0013】光を照射して光学像の座標位置を読取る信
号処理系の場合、図5に示されるように、発光源330
1は、その表面で光を乱反射する対象物3302の全体
を均一に照明するものであれば、特にアレー状である必
要はなく、点光源であっても良い。従って、LED等、
主に安価な発光素子が使用される傾向にある。均一な照
明が対象物3302に照射されることによって、システ
ムの光学系3303を通して受光装置3304に位置情
報を含む光が入射される。
【0014】受光装置3304は、受光素子を幾何学的
にスキャンする機構を有さない場合には、少なくとも1
次元以上の受光素子の配列が必要である。受光装置4
は、簡単な位置検出にはフォトダイオードアレー等が使
用され、より高級な画像認識にはCCD等が使用される
のが通例である。
【0015】そして近年、間接遷移型の半導体材料であ
るSiに於いて発光する現象が発見され、興味の対象と
なっている。例えば単結晶シリコンは、mAオーダーの
大電流を流した場合には、欠陥等の結晶の不連続点で発
光する。また、ポリシリコンと単結晶シリコンの界面に
於いても、電流のフォースによって発光させることが可
能である。また、アモルファスシリコンに於いても同様
な発光現象が知られている。一番有名な発光現象は、I
EEE ELECTRON DEVICE LETTE
RS,VOL.12,NO.12,DECEMBER
1991 pp.691−692に掲載の「Curre
nt−Induced Light Emission
from a Porous Silicon De
vice」Axel Richter,et al.で
ある。
【0016】このポーラスシリコンからの発光は赤い光
であり、発光効率も良いことから、今後の発光源として
非常に注目されている。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、先述し
た観察者の視線の方向の検知を、例えばビューファイン
ダー等の画像表示装置に応用する場合、視線検知のため
の新たな照明光光源を必要とし、また、この光をファイ
ンダー内の所定の位置に集光させるための光学系が必要
である。つまり、被写体などから得られる光と独立に所
望の光量を有する、(望ましくは人間の目に見えない)
光が必要になる。
【0018】したがって、視線検知のための光源や光電
変換素子、又、必要に応じて光学系をあらたに設けるた
めのスペースが必要とされ、装置の大型化やコストアッ
プを招いてしまうという問題点が発生し易かった。
【0019】より具体的には、視線検知を行なうための
検知光として用いる赤外又は近赤外光を得るためにLE
D光源2901、或は光を分割するためのハーフミラー
2904等が新たに必要となり、光学設計上装置が大型
化すると同時に、部品点数が増大し、コストを上昇させ
る要因となっていた。
【0020】加えて検知感度を上げようとしてLED光
源の発光強度を増大させると消費電力、発熱量が大きく
なり、機器の小型化、小電力化の障害となるし、必要以
上の光量を眼球内に入射させることはできる限り避けた
いという要求もある。
【0021】このように視線検知のための光電変換手段
及びその駆動手段を、本来の画像表示装置と独立して設
ける場合、視線検知機能を付与するために、本来の機器
に新たな部品,スペース等が必要であり、製品のコスト
アップにつながっていた。
【0022】また一方、図5に示したような光学的な信
号処理系においては、一般に発光源と受光装置は独立し
て構成されており、発光源3301には従来、Ga−A
s等の発光量が取れる半導体デバイス或いは、白熱灯,
蛍光灯といった小型のランプが使用されていた。このよ
うな発光源を前述の受光装置3304と同一チップに集
積することは非常に困難であることが容易に想像され
る。
【0023】また、前記発光源3301から対象物33
02に光を導くための余分な光学系が必要となる。この
ことはシステム全体の容積を増大させる。
【0024】また、光学系3303を含むシステムは、
一般に結像を行わせる必要があることから、光学系33
03に含まれるレンズの焦点距離の数倍の大きさを必要
とする。システムにもよるが、この光学系によるシステ
ム容積の増大は決して好ましいものではない。
【0025】また、コストの面から言っても、Ga−A
s等のIII−V属の半導体素子はSiの半導体素子と
比べると高価であり、また、さほど本質的ではない余分
な光学系を有することによるシステムのコストアップは
避けるべきものである。
【0026】本発明の目的は視線検知機構を装置全体の
小型化,軽量化,低コスト化を達成しつつ有する光学機
器及びそれに好適に使用される画像表示装置と半導体装
置を提供することである。
【0027】また、本発明の目的は、省電力化がはか
れ、また、不要な発熱が抑制され、装置全体の小型化,
省電力設計が可能な画像表示装置とそれを有する光学機
器を提供することである。
【0028】また、本発明の目的は視線検知用の光源及
び/又は受光部をあらたに設ける必要のない光学機器及
びそれに好適に使用される画像表示装置を提供すること
である。
【0029】加えて本発明の目的は、あらたに駆動手段
及び/又は光学系を設けることなく視線検知を行なうこ
とができる画像表示装置を提供することである。
【0030】また、光学機器のセンサーとして使用で
き、コンパクト化,低価格化が可能な半導体装置を提供
することも本発明は目的とする。
【0031】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも画
像表示手段と、該画像表示手段を照明するための光源
と、前記画像表示手段の観察者眼からの反射光を受ける
受光手段と、該受光手段からの出力に基づいて前記観察
者眼の視線を演算する演算手段とを有する光学機器にお
いて、前記光源からの照明光の少なくとも一部を前記観
察者眼を照明する照明光として利用する光学機器にあ
る。
【0032】また、本発明は背面光源と、該背面光源か
らの光を複数の画素を通過させて表示を行う画像表示手
段と、を有する画像表示装置であって、上記光源からの
光が、可視領域成分と可視領域外の長波長成分を有して
いる画像表示装置にある。
【0033】更に本発明は、背面光源と、該背面光源か
らの光を複数の画素を通過させて表示を行なう画像表示
手段と、を有する画像表示装置であって、前記画像表示
手段は受光部を有する画像表示装置にある。
【0034】加えて本発明は、Siを含む発光素子と、
受光素子が同一シリコンチップ上に形成されている半導
体装置及びそれを有する画像表示装置並びに光学機器に
ある。
【0035】本発明を簡単に述べると、画像表示手段用
の光源を視線検知用の光源として併用することにより及
び/又は画像表示手段中に視線検知用の受光部を設ける
ことにより、上記した問題を解決し、上記目的を達成す
るものである。
【0036】また、1つのチップ内に発光部と受光部と
を作り込むことにより、上記した問題を解決し、上記目
的を達成するものである。
【0037】
【実施例及び作用】以下、必要に応じて図面を参照しな
がら、本発明の好適な具体的実施例について説明する。
【0038】尚、本発明は、以下に説明する実施例に限
定されるものではないことはいうまでもなく、以下の実
施例を本発明の趣旨の範囲で適宜組合せあるいは変形可
能である。
【0039】実施例1 まず、本発明の画像表示装置における視線検知機能を図
6の光学機器の模式的構成図を用いて説明する。
【0040】液晶表示パネル102のバックライト光源
101から出る光束は、接眼レンズ103を通して眼球
105に入る。人眼の角膜前面106a,角膜後面10
6b,水晶体前面108a,水晶体後面108bで反射
した光の一部は元の光軸近傍をたどり、光分割器104
により一部がとり出され、集光レンズ109により光電
変換装置110上に集光する。光電変換装置110の電
気出力は出力線111を通して演算手段である制御回路
112に入力され、視線を検出し、自動焦点のための信
号や他の機能のトリガー信号として用いられる。以上か
らわかるとおり、視線検出のための照明光源をバックラ
イトと兼用することで、LED等の付加部品をなくして
いる。
【0041】図7は図6の光学機器に使用され得るアク
ティブマトリクス型の画像表示手段としての液晶表示パ
ネル102の好適な模式的構成図の一例である。透光性
のガラス基板又は半導体基板207上に形成されたスイ
ッチング素子層206は、薄膜トランジスタ(TFT)
と下部電極とを有する。画像信号により各画素に対応す
る前記トランジスタをON/OFFすることにより、下
部電極と上部電極204との間に挟まれた液晶205に
印加する電圧状態を変化させる。液晶205は、印加電
圧により光学的な光路をねじらせ、光を透過させる状態
と透過させない状態を作り出す。この時、パネルの両面
に貼られた偏光フィルター201,208により、人間
の眼で見た白と黒の状態が区別される。最近では、染料
を用いたカラーフィルター層203を有するカラー液晶
表示装置も急速に普及している。
【0042】図8は、カラーフィルター層203部分を
更に拡大図示したものであり、図8(a)は模式的断面
図、図8(b)は模式的平面図である。本実施例では、
R(赤色)、G(緑)、B(青)の3色を用いた所謂加
色フィルター301a,301b,301cを碁盤の目
状にパターニングし、素子分離領域をブラックマトリッ
クス302で構成しているとともに、4画素につき1つ
にIRフィルター(赤外光及び/又は近赤外光透過フィ
ルター)303を形成し、視線検出のための照明光の透
過領域として利用している。IR画素は、本図では4画
素につき1画素であるが、これは図示の便宜上のもので
あって、実際には、数十画素又はそれ以上の画素、たと
えば20画素〜100画素につき1画素でも充分所望の
機能を果たし得る。
【0043】図9は、図8(b)で示したうちの4画素
分を駆動するスイッチング素子層206の等価回路の一
例を示したものである。IR画素は、画像情報の白黒に
無関係に常に光を通過させることが、構成上望ましいの
で、本実施例の様に液晶表示パネルがNormally
whiteタイプ、即ち、画素電極と対向電極間の液
晶R1に印加される電圧が0 Vの時に光が透過するタイ
プの場合、例えば図中でVC =VCOM としている。な
お、VC とVCOM とは、液晶の透過率が大きく変化しな
い範囲で異なる電位に設定することも可能である。
【0044】画素の断面をより詳細に示したのが図10
である。表示のための有効画素501では、ソース領域
503,n型活性領域504,ドレイン領域505,ゲ
ート電極506を有するトランジスタのドレイン領域5
05と接続した画素透明電極514が、上部電極204
と対向し液晶205に電圧を印加可能に構成される。ま
た、画素の階調性の向上やフリッカーの除去のための補
助容量を、もう1つの透明電極512と画素透明電極5
14との間の容量結合で形成している。一方、赤外光透
過のための画素(領域)502では、トランジスタは構
成されていない。赤外光透過領域502では透明電極5
12と対向電極204が液晶205及び層間絶縁膜51
3,515を挟んで対向し、常に光を通している。尚、
上記画素構造と図9で示した等価回路図との対応におい
て、VC は上部電極(対向電極)204の電位を示し、
COM は透明電極512の電位を示す。
【0045】なお、可視光を用いて表示する領域の液晶
層のギャップ厚さに対して、赤外光透過領域のギャップ
厚さを厚くして、より無反射条件とし光透過率を向上さ
せることは望ましい。これによって更なる特性向上を計
ることができる。
【0046】以上をまとめると、本実施例における視線
検知システムは以下の様に作用する。即ち、バックライ
ト光源101より発した光成分のうち、可視成分は、ス
イッチング素子により制御された電圧に従い画像を表示
する。同時に、画像表示手段の一部に設けられたIR画
素の赤外光透過フィルターを通して、視線検知のための
赤外又は近赤外光が一定光量常に液晶表示装置を通過し
人眼に入る。人眼より反射された光は前述のように光電
変換装置上に導かれ、視線検知を行う。
【0047】この視線を検知する方法は、先に図3及び
図4で説明した方法及び原理に基づくものである。
【0048】尚、図6に示したような本実施例におい
て、視線検知システムを構成している光電変換装置及び
制御回路等は特に限定されるものではない。たとえば図
1に示したような視線検知装置の構成を利用することが
できる。
【0049】また、図8に示したIRフィルターを用い
る代りに、可視光カットフィルターを用いることもでき
る。
【0050】本実施例によれば、視線検知のための照明
光源を新たに設ける必要がなくなるため、装置全体を小
型、軽量化できる。その結果、低コストでコンパクトな
視線検知機能付ビデオカメラ等の光学機器実現に寄与で
きる。
【0051】実施例2 本実施例では、Normally black(電圧を
印加していない状態で黒)タイプの液晶表示パネルを用
いた場合の構成を示す。
【0052】視線検知システムの光学系の構成,液晶表
示パネルの概略的な構成はそれぞれ図6と図7のものを
適用可能であるので、ここでの説明は詳略する。回路構
成上は図11に示す様に、赤外光透過画素(IR画素)
の液晶に印加する電圧|VSS−VCOM |>0を得るため
に、本実施例ではVSS側の電位線を別途設けた。
【0053】その画素の断面図を図12に示す。表示の
ための有効画素501は実施例1と同様に、ソース領域
503,n型活性領域504,ドレイン領域505,ゲ
ート電極506を有するトランジスタと、該ドレイン領
域505とポリシリコン容量電極701の間の容量結合
により形成された補助容量と、該ドレイン領域505と
電気的に接続された透明電極514とを有している。一
方、赤外光透過画素502では、VSSが印加される透明
電極703はP+ シリコン層702を介して裏面電極7
04と接続されている。全ての赤外光透過画素の裏面電
極704同士を電気的に接続することで、IR画素に共
通の電位VSSを与えることができる。この配線は、赤外
光の透過を妨げない透明電極や比較的薄いシリコン、又
はポリシリコンとすることが望ましいが、金属配線を上
部の素子分離領域とうまく重ねて構成することも可能で
ある。VSSには液晶の焼き付き現象を考慮して交流電圧
を印加することが望ましい。例えば|VSS−VCOM|が
常に同じになるように画像表示動作の時間の半分をVSS
=VCOM+5(V)、残りの半分の時間をVSS=VCOM
5(V)とすればよい。以上により、実施例1と同様の
効果が得られる。
【0054】更に、本実施例によれば、裏面電極704
の電位を任意に設定することにより、液晶の光透過率を
自由に設定できる点にある。これにより、バックライト
の光量と視線検知のための光量調整を独立に行うことの
でき、自由度の高いシステムを構成できる。また、IR
光を透過する画素の透過率は表示画像の明暗とは無関係
に制御できるので表示画像に係わらず安定した視線検知
を行なうことができる。
【0055】尚、本実施例では、補助容量をポリシリコ
ン容量電極701とP+ ドレイン領域505の間の容量
結合により構成したが、実施例1と同様に透明電極間の
容量結合で構成することも可能である。
【0056】また、スイッチングトランジスタはP型M
OSTrとしたが、n型としても本実施例の効果を何ら
損うものではない。
【0057】実施例3 本実施例では、R.G.Bの各色のフィルターの配列を
夫々の原色が正三角形の頂点に位置するように配列(所
謂デルタ配列)し、素子分離領域を視線検出のための照
明光の透過領域として利用する画像表示手段について説
明する。
【0058】図13は、本実施例の画像表示装置のカラ
ーフィルター層部分を示したものであり、図13(a)
はその模式的断面図、図13(b)はその模式的平面図
である。図からわかる通り、カラー表示を行うR,G,
B画素を分離する領域は赤外光透過フィルター801で
覆われている。一方、画素配列は上記したようにデルタ
配列方式を採用した。この配列は、図13(b)の模式
的平面図に示される通り、一行毎に画素を横方向に0.
5画素ずらし、いずれの画素も最近接画素と同じ色のフ
ィルターを有さない構成をとることにより、斜め方向の
特定の色の線を見えにくくしている。このデルタ配列に
より、画像の鮮明度を高めることができる。
【0059】図14は、図13(b)で示したうちの4
画素分を駆動するスイッチング素子層206の等価回路
を示したものである。図14に示されている様に、全て
の画素は画像情報を表示する有効画素として用いること
ができる。一般には、図8で示した通り、画素と画素を
分離するためのブラックマトリックス302を必要とす
るが、本実施例では、このブラックマトリックスを省
き、素子分離領域の赤外光透過フィルターを通して故意
に光を透過させている。この赤外光透過フィルターによ
り、人間の目にはあたかも遮光領域が存在するかの様に
見える訳である。この構成により、ブラックマトリック
スを不要とするとももに、画像情報を1bitたりとも
損うことなく、視線検知光を得ることができる。その結
果、新たな照明光源を設けることなく安価で高精細の表
示装置に視線検知機能の構成要素を付加することができ
る。
【0060】尚、本実施例の応用は、液晶表示装置のみ
ならず、画素を分離する領域が赤外又は近赤外を透過さ
せることのできるあらゆる表示装置に適用することが可
能である。また、デルタ配列でない構造でも何ら特性を
変えることなく適用できることは言うまでもない。
【0061】以下、本発明に適用可能な光源の好適な例
について説明する。
【0062】図26は背面光源101の発光スペクトル
の一例を示している。本光源はカラー表示用であり、波
長450nm付近にピークを持つ青色光、550nm付
近にピークを持つ緑色(G)光、670nm付近にピー
クを持つ赤色光を有すると同時に、850〜900nm
付近にピークを持つ赤外(IR)光を有している。B,
G,Rのピーク巾は、液晶パネル102のカラーフィル
ターの分光特性の各色のピーク巾より狭くし、表示カラ
ーが光源の特性で決まる様に設定することにより、安定
で優れた色再現性が得られる。本発明においてIR光の
ピーク波長は人間の目に感じられない850nm以上
で、検出装置をシリコン半導体とした場合に充分感度が
とれる950nm以下であることが望ましい。
【0063】図27(a),図27(b)は、夫々背面
光源101の詳細な実施例を説明するための模式的説明
図である。
【0064】発光する光源としては、蛍光ランプ、光ダ
イオード、ブラウン管の電子線による発光源又はプラズ
マ表示管、EL(エレクトロルミネセンス)管などが可
能である。本実施例では、R,G,B,IRを全て一本
の管で発光させることが可能な蛍光ランプを用いた。
【0065】図27(a)は模式的斜視図であり、図2
7(b)はその模式的側断面図である。蛍光ランプ40
4より四方に出射した光は反射板403により光カーテ
ン402へ集光される。光カーテン402は光源である
蛍光ランプ404に近く光束が多い部分で反射率が大き
く、光源から遠く光束が少ない部分では反射率が小さく
なる様にアルミニウムを蒸着した光半透過反射板であ
る。
【0066】光カーテン402で反射した光は反射板4
03で反射し、光カーテンを透過した後、拡散板401
で錯乱し、均一な平面光に変換され、液晶パネル102
に入射する。
【0067】図28は蛍光ランプ404の詳細な構造で
ある。真空管601中に封入されたアノード602、グ
リッド603、フィラメント604は外部回路のバイア
ス電源605、バイアス抵抗606、フィラメント交流
電源607、カットオフバイアス電源608で所望の電
位に保たれる。動作は以下の様になる。フィラメント交
流電源607により熱されたフィラメント604から熱
電子が放出される、グリッド選択スイッチ609がON
されると、グリッド603は熱電子を引き寄せ、熱電子
はグリッドのすき間を通り、アノード602に衝突す
る。アノード602上には電子線で励起され発光する蛍
光体が塗ってあり、光を発する。
【0068】本実施例においては、図26の様な発光ス
ペクトルを得るために、R,G,B,IRの4種の蛍光
体をブレンドしたものが用いられている。尚、カットオ
フバイアス電源608は、グリッド選択スイッチ609
がOFFの場合にフィラメント604がグリッド603
より必らず高電位にある様にすることにより、OFF時
の不要な発光を抑制するためのものである。
【0069】また、本実施例に適用可能な別の光源の例
を図29(a),図29(b)を用いて説明する。図2
9は集光部405を側面に有する平面型光源の図であ
り、蛍光ランプ404から発した光は反射板407aに
より導光板406に導かれる。導光板中で散乱された光
は、上方へ均一な光を発する。下方へもれた光を有効利
用するために反射板407bが設けられている。尚、反
射板406a,407bは可視光のみならず赤外光もほ
ぼ100%反射する材質を用いた。なお、更に均一性を
高めるために反射板,蛍光ランプを反対側にもう1組み
設けた構成とすることは望ましい。
【0070】このような構成をとることにより、光源を
先に説明した構成と比較してよりコンパクトにして、装
置全体を小型化できる。
【0071】図30、図31の模式的側断面図を用いて
本発明に適用可能な光源の他の例を説明する。
【0072】本例の光源の特徴は、光源ユニット内に可
視光発光ランプ904と赤外光発光ランプ905を組み
込み、それぞれを独立に制御できる様にした点である。
図30は、図27で説明した形態の光源に適用した場合
であり、図31は図29の形態の光源に適用した場合の
それぞれの模式的側断面図であり、各部の役割は先に説
明した通りである。もちろん可視光、赤外光共に液晶パ
ネル102面内を均一な光量で照射できる様、ランプを
配置してある。
【0073】図30及び図31に示される構成とするこ
とによって、画像表示に用いる可視光源の光量と、視線
検知に用いる赤外光源の光量を独立に制御することがで
きるために、それぞれを最適化できる。即ち、可視光源
の光量は観察者の意図に合わせて、或いは、外光の強弱
により調整できる一方、赤外光光量が、視線検知用セン
サーの感度、光学設計等に応じて、最適値に設定でき
る。従って、装置全体としてより自由度の高い設計がで
き、現実性の高い装置となる。
【0074】もちろん、画像表示装置のIR画素の透過
率のコントロールを組合せることによって、より一層幅
広い範囲で光量調整することが可能となる。
【0075】また、図30,図31に示される構成の場
合はIR画素あるいはIR透過領域の透過率を可変にす
る必要が必ずしもないため、制御系を含めてより構成を
簡略化することができる。
【0076】尚、各色(R,G,B)のフィルターの透
過率特性を適宜選択することによって、あらためてIR
フィルターを設けずとも本発明を実施することは可能で
ある。
【0077】つまり、本例で用いるフィルター構成は図
13(a),図13(b)のIRフィルターをブラック
マトリクスとし、図32に示されるような透過率特性を
有する各色フィルターを用いることによっても良い。図
32は本例に適したR,G,Bフィルター各々の光透過
率の波長依存性である。本例では、色フィルターの間は
ブラックマトリクス801で覆われ全ての画素はR,
G,Bのいずれかのフィルターにより覆われ、画像表示
に用いられている。しかし、フィルターの分光特性は、
いずれの色も赤外光領域(>80nm)を透過されるた
め、全ての画素を通して検知用の赤外光が透過する。
【0078】本例の効果は、全ての画素を表示に用いて
いるため、画質の劣化を全く伴わずに、視線検知のため
の赤外光を充分の光量で透過させることができることで
ある。
【0079】本発明において、光源の形状、形態は上記
実施例で示した以外にも数多く考えられる。それらが、
視線検知に用いることのできる波長の光を充分に有すれ
ば本発明において十分に用いることができる。
【0080】またR,G,B,IR各フィルターの配置
も種々に考えられるが、表示パネル上に赤外光を有効に
透過させる領域が充分確保されていれば良い。
【0081】実施例4 次に示す例は、視線検知を行なうための受光素子を液晶
パネル上に一体化した例である。図40に本実施例の光
学機器の模式的構成図を示す。図中4001は受光素子
を一体化した液晶パネルである。尚、図6と同じ番号の
部材は図6と同じ部材を示している。
【0082】図15は本実施例の画像表示装置の好適な
回路構成図の一例を示している。同図中、1001は液
晶セルによる容量、1002はその液晶セルに信号電位
を印加する、もしくはフォトダイオードなどの光電変換
素子1018と信号線1003とを接続するスイッチン
グTFT(画素TFT)、1004は第一のトランスフ
ァゲート、1005は第一のバッファ容量、1006は
外部信号パルスを対応する第一のバッファ容量1005
に蓄積するスイッチングTFT、1007はスイッチン
グTFT1006を駆動するための第一の水平シフトレ
ジスタ、1008はスイッチングTFT1002を駆動
するための垂直シフトレジスタ、1009は外部信号入
力端、1010は第二のバッファ容量、1011は光電
変換素子1018からのセンサ出力を対応する第二のバ
ッファ容量1010に蓄積する第二のトランスファゲー
ト、1012は第二のバッファ容量1010に保持され
た光電変換素子からのセンサ出力信号を出力線1013
に順次出力するためのスイッチングTFT、1014は
スイッチングTFT1012を駆動するための第二の水
平シフトレジスタ、1015はセンサ出力信号を外部に
出力する出力端、1016は第二のバッファ容量101
0をリセットするためのリセットTFT、1017はリ
セット信号線、1019は選択トランジスタ、1020
は第2のリセット信号入力端、1021は映像信号入力
端、1022はサンプリング容量、1023はサンプリ
ングトランジスタである。
【0083】なお、図示されていないが、パネルの画質
を向上させるために各画素に補助容量を設けることもで
きる。
【0084】この具体的な動作として、フォトダイオー
ドを有するTN型液晶を用いたアクティブマトリクス型
素子の駆動を図16に示したタイミング図を用いて説明
する。
【0085】まず、1ライン分の映像信号が外部信号入
力端1009から順次入力される(図16(a)参
照)。その映像信号に同期したパルスによって駆動して
いる第一の水平シフトレジスタ1007により、スイッ
チングTFT1006をONする。これにより、各画素
の映像信号をバッファ容量1005に転送する。この
時、光電変換素子1018が配置されている画素に対応
するバッファ容量1005中の映像信号には、選択トラ
ンジスタ1019の切換により光電変換素子のリセット
信号に相当するビット信号がリセット信号入力端102
1から転送されている。1ラインの最終ビットのバッフ
ァ容量1005への信号転送が終了した後、次のライン
の映像信号が外部信号入力端1009に入力される前、
いわゆるブランキング期間に、まず所望行の画素TFT
1002をONする(図16(b)参照)。次に、リセ
ットTFT1016をONし、第二のバッファ容量10
10の電位をリセットする(図16(c)参照)。次
に、リセットTFT1016をOFFし、第二のトラン
スファゲート1011をONして、観察者眼からの反射
光を検出する光電変換素子1018からのセンサ出力を
第二のバッファ容量1010に読出す(図16(d)参
照)。
【0086】この時、光電変換素子として、例えばフォ
トダイオードなどの非増幅型の素子を用いた場合、第二
のバッファ容量1010に読出される信号振幅は、信号
電荷を蓄積しているフォトダイオードの容量とバッファ
容量1010との容量分割比で決まり、フォトダイオー
ドの容量と比較してバッファ容量1010が小さい程大
きくなる。更に、センサ信号出力端1015に読出され
る信号振幅は、バッファ容量1010と、信号出力線1
013に付加している容量との容量分割比で決まり、信
号出力線1013の付加容量に比較してバッファ容量1
010が大きい程大きくなる。従って、センサ信号出力
端1015に読出される信号振幅がもっとも大きくなる
ように、バッファ容量1010の値を決定するのが望ま
しい。尚、バッファ容量1010としては図示されるよ
うに独自に設けても良いし、配線の寄生容量を用いても
良い。
【0087】センサ出力信号を読出した後に、第二のト
ランスファゲート1011をOFFし、第一のトランス
ファゲート1004をONし、第一のバッファ容量10
05に転送された映像信号を各画素に転送する。この
時、光電変換素子1018にはリセット信号が転送さ
れ、センサ電位はリセットされる(図16(e)参
照)。これら一連の、センサ出力信号の読出し、映像信
号の各画素への転送、光電変換素子のリセットは、ブラ
ンキング期間を使って行われる。
【0088】次に、このような状況下での光電変換素子
1018の電位変化の一例を考えると、図16(f)の
様になる。同図(e)のタイミングでブランキング期間
に光電変換素子のリセットが行われた後から、1フレー
ム後に同画素のスイッチングTFT1002がONする
まで、光電変換素子1018は光によって発生したキャ
リアを蓄積する。同図(d)のタイミングで画素TFT
1002と、第二のトランスファゲート1011がON
すると、蓄積された信号電荷が第二のバッファ容量10
10に読出され、光電変換素子1018の電位は、第二
のバッファ容量1010との容量分割比で決まる値に落
ち着く。次いで、光電変換素子1018はリセットさ
れ、次フレームに相当する信号の蓄積を開始する。
【0089】また、液晶表示装置として働く表示画素の
電位変化を考えると、図16(g)の様になる。同図
(e)のタイミングで1ラインごとに映像信号電圧が転
送され、1フレームの間保持される。その信号電圧に応
じて液晶セルの透過率が変化し、所望の濃淡を有した映
像を表示する。
【0090】映像信号の印加形式としては、直流電流成
分による液晶分子の焼き付きなどの問題を解決するため
に、フレーム反転駆動、1H反転駆動、ドット反転駆動
などが提案されているが、本発明においてはこれら信号
印加方式のいずれにも限定されるものではない。センサ
出力信号の読出しは図16(h)に示したように、ブラ
ンキング期間に第二のバッファ容量1010に転送され
たセンサ出力信号は、一水平走査期間に第二の水平シフ
トレジスタ1014によってONするスイッチングTF
T1012によって、バッファ容量1010のそれぞれ
の信号が信号出力端1015に読出される。光電変換素
子の配置形態により、隣接した表示素子に保持されてい
る映像信号もバッファ容量1016に読出される場合が
ある。この時、光電変換素子からの信号が転送されるタ
イミングに同期してサンプリング容量1022にサンプ
リングする事で、センサ出力信号のみを取出すことがで
きる。また、シフトレジスタ1014でON/OFFす
るスイッチを切換えてセンサ出力信号のみを取出すよう
にしても良い。
【0091】この時、シフトレジスタ1014の動作
は、シフトレジスタ1007と同期しても非同期でもい
ずれでもよい。また、これらのシフトレジスタを同期さ
せて、シフトレジスタ1014とシフトレジスタ100
7とを同一のクロックで駆動することも構成上可能であ
る。また、センサ出力信号の読み出し部であるところの
1010〜1017は、光電変換素子1018と接続し
ている信号線1003とのみ接続しても良いし、信号線
全てと接続してセンサ出力信号を読出し、センサ信号出
力端1015以後の信号処理でセンサ信号を抽出しても
良い。
【0092】図17に本実施例で用いている映像表示用
画素及び光電変換素子の模式断面図を示す。同図におい
て、1201は透明絶縁基板、1202はスイッチング
TFT1002のゲート電極であり、本装置を駆動する
水平配線に接続している。1203はスイッチングTF
T1002のソース領域であり、垂直配線(信号線10
03)に接続している。1204はスイッチングTFT
1002のチャネル領域、1205はスイッチングTF
T1002のドレイン領域であり、1206は層間絶縁
膜である。1210は絶縁層で、一部はゲート電極12
02と半導体層(1203,1204,1205)との
間を電気的に絶縁するゲート絶縁層として機能する。ま
た、TFT部及び光電変換部を形成する半導体層(12
03,1204,1205,1208)は遮光手段12
11により基板1201側からの光入射が半導体層に達
しないよう遮光することが望ましい。
【0093】映像表示用画素においては、このドレイン
領域1205の直上に設けられたコンタクトホールを介
して、例えばITO(Indium Tin Oxid
e)などの材料を用いて形成された透明画素電極120
7が接続される。透明画素電極1207に印加される信
号に応じて透明画素電極上の液晶の透過率が変化し、所
望の映像を表示する。
【0094】遮光手段は光の入射方向から最も好適な位
置に配置されるべきである。たとえば、TFTの半導体
層の側壁をおおうように遮光手段を配置することはさら
に効果的な遮光を行なうことができ好ましい。
【0095】また、光電変換素子においては、ドレイン
領域1205の中にドレイン領域と反対導電型の半導体
領域1208が設けられており、この半導体領域120
8の直上に設けられたコンタクトホールを介して電極1
209が接続される。光電変換素子部のドレイン領域1
205と反対導電型の半導体領域1208とが、まず、
逆バイアス状態になる様に、ブランキング期間にリセッ
ト電圧が印加される。次いで、スイッチングTFT10
02をOFFし、ドレイン領域1205を電気的にフロ
ーテイング状態にする。ドレイン領域1205と半導体
領域1208との間には空乏層が広がっており、光励起
により発生した電子・正孔対は、空乏層に捕らえられる
とその電界にひかれ、一方は電極1209で消滅し、他
方は空乏層容量に蓄積し光信号となる。
【0096】光電変換素子の構造,構成は上記説明した
ものに限られるものではない。ショットキ接合や半導体
層にSiGe層を用いたり、素子の裏面に高反射率を有
する膜を配置し更に光利用効率を用いた構造のものでも
良い。また、光電変換素子は透明基板上に必ずしも設け
る必要もない。
【0097】以上説明したような構成及び駆動法を実施
することにより、
【0098】(1)視線検知用センサであるところの光
電変換素子を画像表示装置と別個に配置する必要がな
く、システムの小型化、コストダウンを計ることができ
る。
【0099】(2)画像表示装置本来の駆動回路を視線
検知用センサの駆動回路と併用しているため、視線検知
用センサの駆動回路を新たに設ける必要がない、もしく
は大幅に簡略化できる。
【0100】もちろん、光電変換素子は画像性に影響の
ない範囲内で分布させ、数を決めることができるが、そ
の個数や配置の仕方は、視線検知用のセンサとして使用
する必要充分な視線情報が得られるように決められるべ
きである。
【0101】実施例5 図18は本実施例における画像表示装置の好適な別の回
路構成図の一例を示している。同図において、図15と
同一符号のものは同一部材を示しており再度の説明は省
略する。
【0102】本実施例では、図15で示した外部信号パ
ルスを対応する第一のバッファ容量1005に蓄積する
スイッチングTFT1006と、第二のバッファ容量1
010に保持された光電変換素子1018からのセンサ
出力信号を出力線1013に順次出力されるためのスイ
ッチングTFT1012とが、一つの水平シフトレジス
タ1007で駆動される。駆動タイミングは図16に示
した通りであり、1水平走査期間にセンサ出力信号の読
出し、次フレームの光信号の蓄積、第一のバッファ容量
1005への映像信号の転送が行われ、ブランキング期
間にセンサ出力信号の第二のバッファ容量1010への
転送、光電変換素子1018のリセット、液晶セル10
01への映像信号の転送が行われる。
【0103】本実施例においても、センサ出力信号の読
出し部1010〜1017は、光電変換素子1018と
接続している信号線とのみ接続しても良いし、信号線全
てと接続してセンサ出力信号を読出し、センサ信号出力
端1015以後の信号処理でセンサ信号を抽出しても良
い。
【0104】本実施例では、実施例4で得られる効果に
加えて、水平シフトレジスタが1系統のみですむことか
ら、より一層のパネルサイズの縮小、駆動回路の簡略
化、プロセス歩留りの向上をはかることができる。
【0105】実施例6 図19は本実施例における画像表示装置の好適な更に別
の回路構成図の一例を示している。同図において、図1
5と同一符号のものは同一部材を示しており、再度の説
明は省略する。
【0106】本実施例では、映像信号を1ラインごとに
一括して転送するのではなく、水平走査期間に各画素に
順次転送してゆくものである。
【0107】本実施例の具体的な動作を図20に示した
タイミング図を用いて説明する。ここで、n行目に接続
するスイッチングTFTを1002,n+1行目に接続
するTFTを1002’とする。
【0108】まず、1ライン分の映像信号が外部信号入
力端1009から順次入力される(図20(a)参
照)。その映像信号の周波数に同期したパルスによって
駆動している第一の水平シフトレジスタ1007によっ
てONするスイッチングTFT1006、及び垂直シフ
トレジスタ1008によってONするスイッチングTF
T1002(図20(b))によって、映像信号を1ラ
インの各画素に順次転送する。この時、光電変換素子1
018が配置されている画素にはリセット信号が転送さ
れる。1ラインの最終ビットの画素への信号転送が終了
した後、スイッチングTFT1002はOFFする(図
20(b)参照)。次に、リセットTFT1016をO
Nしてバッファ容量1010の電位をリセットする(図
20(c)参照)。次に、リセットTFT1016をO
FFし、スイッチングTFT1002’をONし、第二
のトランスファゲート1011をONして、光電変換素
子1018からのセンサ出力信号をバッファ容量101
0に転送する(図20(d)参照)。センサ出力信号を
読出した後に、トランスファゲート1011をOFFし
た後、次フレームの映像信号がスイッチングTFT10
06,1002’を通して転送される。
【0109】次に、このような状況下での光電変換素子
1018の電位変化を考えると、図20(e)の様にな
る。同図(a)のタイミングで光電変換素子のリセット
が行われた後から、1フレーム後に同画素のスイッチン
グTFT1002,スイッチングTFT1011がON
するまで、光電変換素子は光によって発生したキャリア
を蓄積する。この時、各画素の蓄積時間は1ライン内で
最大1水平期間分の差が生じるが、このずれ時間は画素
数,駆動タイミングで一意に決まるものであり、外部補
正が可能である。蓄積したキャリアは図20(d)のタ
イミングでバッファ容量1010に読出される。
【0110】また、液晶表示装置として働く表示画素の
電位変化を考えると、図20(f)の様になる。スイッ
チングTFT1002がONした後、同図(a)のタイ
ミングで順次映像が転送され1フレームの間保持され
る。その信号電圧に応じて液晶セルの透過率が変化し、
所望の映像を表示する。センサ出力信号の読出しは、図
20(g)に示したように、バッファ容量1010に転
送されたセンサ出力信号は、第二の水平シフトレジスタ
1014によってONするスイッチングTFT1012
によって、順次、信号出力端1015に読み出される。
本実施例では、実施例4で得られる効果に加えて、さら
にパネルサイズの縮小、駆動回路の簡略化を行なうこと
ができる。
【0111】また、本実施例と実施例5とを組み合わせ
て、一組の水平シフトレジスタで駆動することも当然可
能である。
【0112】実施例7 図21は本実施例における画像表示装置の好適な別の回
路構成図の一例を示している。同図において、図15と
同一符号のものは同一部材を示しており、再度の説明は
省略する。
【0113】本実施例では、映像信号を1ラインごとに
一括して転送するものではなく、水平走査期間に各画素
に順次転送してゆくものであり、また光電変換素子10
18からの出力を1ラインごとに一括して転送,出力す
るのではなく、1水平走査期間に各画素から順次読出す
ものである。
【0114】本実施例の具体的な動作を図22に示した
タイミング図を用いて説明する。
【0115】まず、ブランキング期間に信号出力端10
15につながる信号出力線1013を、リセットTFT
1016をONしてリセットする(図22(a)参
照)。次に、リセットTFT1016をOFFし、ある
ラインのスイッチングTFT1002をONする。そし
て、1水平走査期間に水平シフトレジスタ1014と1
007とを交互に動作させ、各信号線1003につなが
るスイッチングTFT1012,1006を交互にO
N,OFFさせる。そして、第二の水平シフトレジスタ
1014によって、ある信号線1003につながるスイ
ッチングTFT1012がONし、光電変換素子101
8からのセンサ出力信号が信号出力端1015に読出さ
れる(図22(b)参照)。スイッチングTFT101
2がOFFした後、水平シフトレジスタ1007によっ
て、ある信号線1003につながるスイッチングTFT
1006がONし、外部信号入力端1009より入力さ
れた映像信号がスイッチングTFT1006,スイッチ
ングTFT1002を通して画素に転送される。この
時、光電変換素子1018が配置されている画素には図
15を用いて説明されたようにリセット信号に相当する
信号が転送されている(図22(c)参照)。続いて、
各信号線につながるスイッチングTFT1012と10
06とが順次ON,OFFしてゆき、センサ出力信号の
読出しと映像信号の書込みが行われる。
【0116】尚、この時の光電変換素子の電位変化を図
22(d)に、液晶表示装置として働く表示画素の電位
変化を図22(e)に示している。
【0117】本実施例においては、実施例6と比べ、さ
らにパネルサイズの縮小,駆動回路の簡略化をはかるこ
とが可能になる。
【0118】実施例8 図23は本実施例における画像表示装置の別の模式的な
回路構成図を示している。本実施例の駆動は実施例7と
ほぼ同様であり、センサ出力の読出し用のスイッチング
TFT1012と外部映像信号転送用のスイッチングT
FT1006のON/OFF信号を、1つのシフトレジ
スタ1007と、ANDロジック1803と、2つの制
御信号1801,1802によって発生させているもの
である。
【0119】これにより、ただ1つのシフトレジスタ
で、本発明の効果を実現することができる。本実施例で
は、ANDロジックと2つの制御信号という組み合わせ
で上記の制御を行っているが、この組み合わせに限るも
のではなく、他の構成においても同様に作用させられる
ことは言うまでもない。
【0120】実施例9 本実施例では、実施例5〜8で示したような回路構成を
有する画像表示装置に適用可能な映像表示用画素及び光
電変換素子構造の異なる例を示す。
【0121】図24は本実施例における装置の模式断面
図である。同図において、1901はデバイスを支持す
るための透明絶縁基板であり、接着層1902を介して
デバイス基板1905と接続されている。ドレイン領域
1205下の透明絶縁基板1201に設けられたコンタ
クトホールを介して、基板裏面側に裏面取りだし電極1
903が設けられ、これを介して透明画素電極1207
がTFTのドレイン領域1205に接続される。190
4は光電変換素子部のTFTへの光の漏れこみを防ぐた
めの遮光層であり、本実施例では裏面取りだし電極19
03の形成時に同時に形成される。また望ましくは光キ
ャリアを発生する半導体領域全体を覆うように形成され
る。本実施例のような構成をとれば、画素電極1207
が、より平坦に形成でき、液晶の配向乱れを低減して、
表示品質を向上できると共に、光電変換素子を裏面から
遮光でき、液晶表示用のバックライト等からの漏れ光を
低減して、高S/Nの光検出を行うことができる。
【0122】また、図25に示されるように、基板裏面
側より反対導電型の半導体領域1208を設け、裏面側
より電極1209を取り出す様な構成も取り得ることは
言うまでもない。この場合もTFT領域全体を充分遮光
することが望ましい。
【0123】上記実施例4〜9では光電変換手段として
PN−Photo Diodeを用いて説明してきた
が、光電変換手段はこれに限るものではない。例えば、
増幅型の光電変換素子を用いれば、センサ出力信号の読
出し時のゲイン低下を低減することができ、観察者の視
線の検出をより高感度で行うことが可能となる。
【0124】また、一般に視線検知用の照明には、観察
者が認知しないように、可視領域外、主に赤外光が用い
られる。そのため通常、光電変換手段の手前に可視カッ
トフィルターをおき、迷光を低減しているが、主に赤外
域に感度を有する光電変換手段、例えば、PtSiショ
ットキー接合(IEEE ED MAY 1991.P
1094〜)やHgCdTe(IEEE ED MAY
1991.P1104〜)などを用いれば、特にフィ
ルター手段を設ける必要がなくなる。
【0125】以上、光電変換素子を表示域に分布させる
例について説明してきたが、素子の配置はこれに限るも
のではなく、表示領域の周囲部に光電変換素子を配置し
ても良い。
【0126】実施例10 本実施例は、半導体装置に関するものである。
【0127】図33は本実施例の半導体装置の主要断面
図である。本実施例の半導体装置の製造方法を図34を
用いて説明する。
【0128】本実施例は視線検知に利用可能な発光源と
人眼等からの反射光を受光する受光素子を一体化する半
導体装置の例である。
【0129】発光源はパネル等の照明手段と合わせて用
いることができる。また、発光源は表示部の形状を文
字,画像等の所望の形状とし、観察者が直接見る表示体
としても用いることができる。
【0130】まず、抵抗率が1Ω・cmのN(100)
Si基板2101上にフィールド酸化膜2102を1μ
m厚形成する。次いで、バッファ酸化膜2103を50
0Å厚形成し、前記フィールド酸化膜2102をマスク
としてP型不純物であるボロンをイオン注入、熱処理
し、深さ1μmのP型拡散層2104を形成する(図3
4(a)参照)。
【0131】次いで、レジストマスクによりN型不純物
であるヒ素を注入し、深さ0.3μmのN型拡散層21
05を前記P型拡散層2104中に形成する(図34
(b)参照)。この両者はダイオードを構成し、後述す
るようにホトダイオードとして働く。
【0132】次いで、他方のP型拡散層2104上のバ
ッファ酸化膜2103の一部分に4μm□程度の開口を
開け、Siを0.5μmエピタキシャル成長させる。前
記開口上のSiは下地Siの影響を受けて単結晶シリコ
ン2106となるが、酸化膜2103上のSiはポリシ
リコン2107となる(図34(c)参照)。
【0133】続いて、ヨウ化カリウム等のポリシリコン
のみを選択的にエッチングするエッチング液により、ポ
リシリコン2107を除去し、陽極酸化に耐え得る窒化
2108を1500Åデポし、陽極酸化を行う単結晶シ
リコン2106上に開口部を設ける。その後、35%H
Fアルコール溶液を用いて25mA/cm2 程度の電流
を流して、単結晶シリコン2106部分を陽極酸化し、
多孔質化する(図34(d)参照)。
【0134】次いで、各電極のコンタクトホールを開
け、Si表面を露出させる。また、発光部に相当する所
には、周囲に光が漏れるのを防止する遮光部を設けるた
めに、耐熱性の高いポリイミド樹脂等で柱2109を形
成する(図34(e)参照)。
【0135】その後、ステップカバレッジの良いAl等
の金属2110をデポし、平坦化材であるレジスト21
11を全面に厚く塗布する。そして、前記柱部のAl2
110のみが露出するまでレジスト2111をエッチバ
ックする(図34(f)参照)。
【0136】最後に、柱2109の頭部Alをエッチン
グし、続いて、平坦化材のレジスト2111を除去し、
次いでポリイミド樹脂等の柱2109を除去する。そし
て、Al電極のパターニングを通常の方法で行い、発光
部2112と受光部2113を形成する(図34(g)
参照)。その際、遮光部2110aの覆いに注意する必
要がある。もしレジストによる遮光部2110aの保護
がうまく行かない場合には、遮光部2110aと電極2
110bのレイヤーを分け、電極2110bを形成後、
遮光部2110aを別途形成しても良い。
【0137】半導体基板上に同時に形成されたポーラス
シリコンから成る発光部2112と、受光部2113の
機能を図33を用いて説明する。発光部2112の電極
をも兼ねる遮光部2110aとP型拡散層2104の電
極2110b間に数ボルトの電圧を印加することによっ
て、両電極間に電流が流れ、多孔質層から成る発光部2
112が発光する。発光した光は遮光部2110aによ
って拡散することなく導光され、図示しない光学系によ
って対象物2114に導かれる。尚、Si基板中に向か
う光はSi自体、あるいは逆バイアスされたSi基板2
101とP型拡散層2104間の空乏層によって速やか
に吸収されるため、Si基板中を遠くまで迷う迷光とは
ならない。
【0138】対象物2114によって散乱した光は光路
2115を通り受光部2113のホトダイオードに入射
する。前記光は前記光学系によって充分に収束されてい
るため、隣接する他の受光部に入射する光は非常に少な
い。
【0139】前記光の入射する位置は、前記発光部,光
学系,対象物等によって一義的に決まるので、発光部ス
キャンによる対象の位置検出、光学系スキャンによる対
象の位置検出、受光部スキャンによる対象の位置検出等
が可能である。
【0140】図35は本実施例の半導体装置の駆動回路
の一部を示したものである。同図中に示した発光部21
12とホトダイオードから成る受光部2113は、図示
しない光学系に対して各々光学対称の位置にある。発光
部2112はφV1 とφH1にON電圧を印加すること
によって発光する。
【0141】その際、前記ホトダイオード2113に
は、上記発光による光を反射する対象物が存在する場合
に限って光電流が流れ、それはアンプされて出力端子2
401に出力される。本実施例では、上記回路をφV1
〜φVm ,φH1 〜φHn によるm×nのマトリックス
を形成しており、前記対象物2114の位置の2次元検
出が可能である。
【0142】本発明に用いる受光部は上記ホトダイオー
ドに限るものではなく、公知の例えば、ホトトランジス
タ,CCD等が利用可能である。
【0143】このように、本発明の半導体装置は、同一
チップに発光源と受光部を搭載しているため、対象物の
像あるいは位置等を検出する各種センサー等に用いる場
合、そのシステムを簡素化できると共に、安価に製作す
ることができる。特に、対象物を装置の近傍に配置する
コンタクトセンサーに用いる場合には、レンズ等を含む
光学系が不要な光学装置を構成することが可能となり、
部品点数を大幅に削減でき、装置全体の容積を非常に小
さくすることができると共に、より一層、製作コストを
低減できる。
【0144】実施例11 本実施例は、発光部を実施例10のポーラスシリコンの
代わりにポリシリコン・単結晶シリコン界面を用いて構
成したものである。
【0145】図36は本実施例の発光部の断面図であ
り、2501がN+ ポリシリコンである。ポリシリコン
の不要な部分は除去あるいは酸化されているのは実施例
10のポーラスシリコンと同様である。電極2110a
と電極2110b間に電圧を印加すると両電極間に電流
が流れ、N+ ポリシリコン2501と単結晶シリコンで
あるN型拡散層2502の界面で発光する。同様にして
アモルファスシリコンも発光源として使用可能である。
【0146】実施例12 本実施例は、発光部として実施例10のポーラスシリコ
ンの代わりに単結晶シリコン中の結晶欠陥を用いたもの
である。
【0147】図37は本実施例の発光部の断面図であ
り、2601が上記結晶欠陥である。シリコン中の結晶
欠陥は、例えばプロセス工程途中で酸素をイオン注入す
ることで得られる。結晶欠陥はP−N接合を横切ると接
合リークが増大するので、電気的分離のためのN型拡散
層2602は、欠陥2601よりも深めに作る必要があ
る。本実施例の場合は比較的高電圧の場合にしか充分な
発光は得られない。従って、無駄な消費電力を減らすと
いう意味からは拡散層2602のシート抵抗は高い方が
良い。
【0148】本実施例はその性質から、高耐圧,高出力
デバイスとの共存に向いている。
【0149】実施例13 本実施例では、図38に示されるように、実施例10〜
12で示したような発光素子をアレー状に配列し、駆動
方法を変えて位置検出力を増強するものである。即ち、
単一セル中に含まれる発光源の全てを同時に発光させ、
受光部のみをスキャンする方式である。
【0150】本実施例によれば、対象物に入射する光量
が飛躍的に増加するため、検出される信号は増強され
る。
【0151】図38において、2701は基板、270
2は受光部のx−yマトリックスであり、2703はア
レー状に配列した一様な発光部である。ただし光学系
は、光を対象物に集光できる様、発光部と受光部を別に
する必要がある。本実施例は対象が暗く(反射率が低
く)照明に大量の光を要するシステムに向いている。
【0152】実施例14 本実施例は、図39に示されるように、実施例10で示
したような受光素子をアレー状に配列し、駆動方法を変
えて位置検出力を増強するものである。同図中、280
1は基板、2802は発光部の1次元マトリックスであ
り、2803はアレー状に配列した一様な受光部であ
る。位置検出は、実施例14とは逆に発光部のみをスキ
ャンして行う。本実施例は対象が乱反射するシステムに
向いている。
【0153】尚、発光素子と受光素子の配置は本実施例
及び実施例13の配置に限定されるものではなく、シス
テムに応じて最適化すれば良い。
【0154】更に、公知の技術によりオンチップレンズ
を発光部又は受光部に積層することによって、更に発
光、受光効率を高め、位置検出の感度及びS/Nを向上
させることができる。
【0155】また、他の公知のシリコンプロセス技術を
応用した例も容易に考えられ、システムに応じた幅広い
設計を保証することができる。
【0156】また、上記実施例10〜14に示される半
導体装置を図1に示されるLED2901及び光電変換
器2905に置き換えることによりハーフミラー290
4も不要となりスペース的,コスト的にもすぐれた光学
機器を提供できる。
【0157】更に、実施例4〜9に示されるように画像
表示装置中に実施例10〜12に示される半導体装置の
思想を取り入れることによって、すなわち、画像表示装
置中に、画像表示のための画素部,光電変換素子(受光
部),及び発光部を設けることで、更に一層の光学機器
の小型化、低コスト化を達成することができる。
【0158】この場合、発光部は連続発光させてもよい
が、視線検知のタイミングに合わせて断続的に発光させ
ても良い。後者の場合、消費電力がより少なくなるた
め、ビデオカメラ等の小型の光学機器に適用すれば大き
な容量のバッテリーも不要になり好ましい。
【0159】もちろん、画像表示手段の照明用光源を視
線検知のための光源として使用する場合もより少容量の
バッテリーでの駆動が可能になるため好ましいものとな
るのは言うまでもない。
【0160】更に、多孔質シリコンを発光部として用い
る場合、多孔質の孔径や密度を制御することにより所望
の波長の光を発光することができ、1つの半導体チップ
上で種々の色表示を行なわせることが可能となり、表示
の色彩,用途を広げることができる。
【0161】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば以
下の効果を奏する。
【0162】(1)表示装置が本来具備しているバック
ライトを視線検知用の照明光源に用いていることで、新
たな照明光源を設けることなく視線検知機能を付加で
き、装置全体を小型、軽量化できると共に、低コストで
コンパクトな視線検知機能付ビデオカメラ等の光学機器
の実現に寄与できる。また、部品点数の減少が可能にな
り、より低コスト化できる。さらに、赤外光光源のため
の電力消費・発熱が制御され、機器の小型設計、省電力
設計に寄与することができる。
【0163】(2)画像表示のための駆動回路と光電変
換手段の駆動回路とを共用することにより、視線検知機
能を付加した画像表示装置において、新たな独立した光
電変換手段やその駆動手段を設ける必要がないため、装
置全体を小型化,簡略化できると共に、低コストで実現
できる。
【0164】(3)発光部と受光部を同一シリコンチッ
プに集積でき、対象物の像あるいは位置等を検出する各
種光学機器のセンサー等に用いる場合、そのシステムを
非常にコンパクトに形成することができると共に、安価
に製作することができる。
【0165】特に、対象物を装置の近傍に配置するコン
タクトセンサーに用いる場合には、レンズ等を含む光学
系が不要な光学装置を構成することが可能となり、部品
点数を大幅に削減でき、装置全体の容積を非常に小さく
することができる。
【0166】また、その構成の単純さから複写機のコン
タクトセンサー、各種ハンディ機器の光学センサーとし
て、更には医療機器等、人体に付着して用いる小型機器
の光学センサーとして種々の用途に応用することができ
る。
【0167】もちろん、上述の実施例中に述べた様な様
々な効果を有することは言うまでもない。
【0168】尚、本発明は上記した説明に限定されるこ
となく本発明の趣旨の範囲内で適宜変形可能であること
は言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】視線検知機構を説明するための模式的構成図で
ある。
【図2】眼球の各界面の反射像(プルキンエ像)を示す
図である。
【図3】視線検知の方法の一例を説明するための図であ
る。
【図4】視線検知システムにおける人眼のプルキンエ像
の移動量と眼球の回転角の関係を示す図である。
【図5】光学像の信号処理系を説明するための図であ
る。
【図6】本発明の光学機器の一例を説明する模式的構成
図である。
【図7】本発明に適用可能な画像表示手段の一例の模式
的斜視図である。
【図8】本発明の画像表示手段の模式的構成図である。
【図9】本発明の駆動回路の一例を説明するための回路
構成図である。
【図10】本発明の画像表示手段の模式的断面図であ
る。
【図11】本発明の駆動回路の一例を説明するための回
路構成図である。
【図12】本発明の画像表示手段の模式的断面図であ
る。
【図13】本発明の画像表示手段の模式的構成図であ
る。
【図14】本発明の駆動回路の一例を説明するための回
路構成図である。
【図15】本発明の駆動回路の一例を説明するための回
路構成図である。
【図16】動作タイミングを説明するためのタイミング
図である。
【図17】画像表示手段の一部分の模式的断面図であ
る。
【図18】本発明の駆動回路の一例を説明するための回
路構成図である。
【図19】本発明の駆動回路の一例を説明するための回
路構成図である。
【図20】動作タイミングを説明するためのタイミング
図である。
【図21】本発明の駆動回路の一例を説明するための回
路構成図である。
【図22】動作タイミングを説明するためのタイミング
図である。
【図23】本発明の駆動回路の一例を説明するための回
路構成図である。
【図24】画像表示手段の一部分の模式的断面図であ
る。
【図25】画像表示手段の一部分の模式的断面図であ
る。
【図26】背面光源のスペクトル分布の一例を示すスペ
クトル分布図である。
【図27】光源の一例を説明するための模式的構成図で
ある。
【図28】光源の発光源を説明するための模式的切断面
図である。
【図29】光源の一例を説明するための模式的構成図で
ある。
【図30】光源の一例を説明するための模式的構成図で
ある。
【図31】光源の一例を説明するための模式的構成図で
ある。
【図32】フィルターの透過率特性の一例を説明するた
めのスペクトル分布図である。
【図33】本発明の半導体装置の一例を説明するための
模式的切断面図である。
【図34】本発明の半導体装置の製造工程の一例を説明
するための模式的工程図である。
【図35】本発明の半導体装置の駆動回路の一例を説明
するための回路図である。
【図36】本発明の半導体装置の一例を説明するための
模式的切断面図である。
【図37】本発明の半導体装置の一例を説明するための
模式的切断面図である。
【図38】受光部と発光部の配置の一例を説明するため
の模式的平面図である。
【図39】受光部と発光部の配置の一例を説明するため
の模式的平面図である。
【図40】本発明の光学機器の一例を説明するための模
式的構成図である。
【符号の説明】
101 光源 102 液晶表示パネル 103 接眼レンズ 104 光分割器 105 眼球 106a 角膜前面 106b 角膜後面 107 虹彩 108a 水晶体前面 108b 水晶体後面 109 集光レンズ 110 光電変換装置 111 光電変換信号出力線 112 制御回路 201 偏光フィルター 202 ガラス基板 203 カラーフィルター層 204 上部電極 205 液晶 206 スイッチング素子層 207 ガラス基板又は半導体基板 208 偏光フィルター 301a 絶色フィルター 301b 赤色フィルター 301c 青色フィルター 302 ブラックマトリクス 303 赤外光透過フィルター 401 拡散板 402 光カーテン 403 反射板 404 蛍光ランプ 405 集光部 406 導光板 407 反射板 501 有効画素部 502 赤外光透過画素部 503 P+ソース 504 n型活性層 505 P+ドレイン 506 ポリシリコンゲート 507 ポリシリコンゲート 508 素子分離絶縁膜 509 金属電極 510 金属電極 511 第1の層間絶縁膜 512 第1層透明電極 513 第2の層間絶縁膜 514 第2層透明電極 515 第3の層間絶縁膜 516 配向膜 601 真空管 602 アノード 603 グリッド 604 フィラメント 605 バイアス電源 606 バイアス抵抗 607 フィラメント交流電源 608 カットオフバイアス電源 609 グリッド選択スイッチ 701 ポリシリコン容量電極 702 P+シリコン層 703 透明電極 704 赤外光透明画素の裏面電極 705 絶縁膜 706 下地絶縁膜 707 素子分離絶縁膜 708 第1の層間絶縁膜 709 第2の層間絶縁膜 801 赤外光透過フィルター 904 可視光発光ランプ 905 赤外光発光ランプ 1001 液晶セルによる容量 1002 スイッチングTFT(画素TFT) 1003 信号線 1004 第一のトランスファゲート 1005 第一のバッファ容量 1006 スイッチングTFT 1007 第一の水平シフトレジスタ 1008 垂直シフトレジスタ 1009 外部信号入力端 1010 第二のバッファ容量 1011 第二のトランスファゲート 1012 スイッチングTFT 1013 出力線 1014 第二の水平シフトレジスタ 1015 センサ信号出力断面 1016 リセットTFT 1017 リセット信号線 1018 光電変換素子 1019 選択トランジスタ 1020 第二のリセット信号入力端 1021 映像信号入力端 1023 サンプリングトランジスタ 1201 透明絶縁基板 1202 ゲート電極 1203 ソース領域 1204 チャネル領域 1205 ドレイン領域 1206 層間絶縁膜 1207 透明画素電極 1208 反対導電型の半導体領域 1209 電極 1210 絶縁層 1211 遮光手段 1801 制御信号線 1802 制御信号線 1803 ANDロジック 1901 透明絶縁基板 1902 接着層 1903 裏面取りだし電極 1904 遮光層 1905 デバイス基板 2101 基板 2102 フィールド酸化膜 2103 バッファ酸化膜 2104 P型拡散層 2105 N型拡散層 2108 窒化膜 2110a 遮光部 2110b 電極 2112 発光部 2113 受光部 2114 対象物 2115 反射光の光路 2501 N+ポリシリコン 2502 N型拡散層 2601 結晶欠陥 2901 赤外線照明光源 2902 集光レンズ 2903 ハーフミラー 2904 ハーフミラー 2905 光電変換器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 33/00 L 7376−4M N 7376−4M (72)発明者 星 淳一 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内

Claims (56)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも画像表示手段と、該画像表示
    手段を照明するための光源と、前記画像表示手段の観察
    者眼からの反射光を受ける受光手段と、該受光手段から
    の出力に基づいて前記観察者眼の視線を演算する演算手
    段とを有する光学機器において、前記光源からの照明光
    の少なくとも一部を前記観察者眼を照明する照明光とし
    て利用することを特徴とする光学機器。
  2. 【請求項2】 前記光源は前記画像表示手段を背面より
    照射するバックライトである請求項1に記載の光学機
    器。
  3. 【請求項3】 前記観察者眼を照明する照明光は赤外光
    又は近赤外光を有する請求項1又は2に記載の光学機
    器。
  4. 【請求項4】 前記画像表示手段は液晶表示装置を有す
    る請求項1乃至3いずれかに記載の光学機器。
  5. 【請求項5】 前記赤外光又は近赤外光がフィルターを
    介して得られた光である請求項3に記載の光学機器。
  6. 【請求項6】 前記観察者眼を照明する照明光は前記画
    像表示手段に設けられたフィルターを介して得られた光
    である請求項1に記載の光学機器。
  7. 【請求項7】 前記フィルターは前記画像表示装置の画
    素部分以外の領域に設けられている請求項6に記載の光
    学機器。
  8. 【請求項8】 前記画素部分以外の領域は画素間を含む
    領域である請求項7に記載の光学機器。
  9. 【請求項9】 前記フィルターは所望の可視光域と赤外
    光又は近赤外光を透過するフィルターである請求項6に
    記載の光学機器。
  10. 【請求項10】 前記所望の可視光域は少なくとも赤色
    光,緑色光,青色光から成る群から選択される少なくと
    も1つの可視光域である請求項9に記載の光学機器。
  11. 【請求項11】 前記画素部分以外の領域は前記画像表
    示装置の画素と実質的に同じ構成を有する請求項7に記
    載の光学機器。
  12. 【請求項12】 前記画素部分以外の領域は前記画像表
    示装置の画像表示領域内に有する請求項7に記載の光学
    機器。
  13. 【請求項13】 前記画素部分以外の領域は複数の領域
    に分離されてなる請求項12に記載の光学機器。
  14. 【請求項14】 前記光源は可視光領域成分と該可視光
    領域成分より長波長成分を有する請求項1に記載の光学
    機器。
  15. 【請求項15】 前記長波長成分は赤外光又は近赤外光
    を有する請求項14に記載の光学機器。
  16. 【請求項16】 前記光源は少なくとも可視光領域成分
    を主として含む光を発する第1の光源と、該可視光領域
    成分より長波長の成分を主として含む第2の光源を有す
    る請求項14に記載の光学機器。
  17. 【請求項17】 前記光源は蛍光ランプ,光ダイオー
    ド,ブラウン管の電子線による発光源,プラズマ表示管
    及びエレクトロルミネセンス管から成る群より少なくと
    も一つ選択された光源である請求項1に記載の光学機
    器。
  18. 【請求項18】 前記光源は赤色光,緑色光,青色光,
    赤外光及び/又は近赤外光を発生する蛍光体を有する蛍
    光ランプである請求項1に記載の光学機器。
  19. 【請求項19】 前記赤色光,緑色光,青色光,赤外光
    及び/又は近赤外光は少なくとも一つの蛍光ランプから
    発生される請求項18に記載の光学機器。
  20. 【請求項20】 前記赤外光又は近赤外光は850nm
    〜950nmの波長の光を有する請求項3に記載の光学
    機器。
  21. 【請求項21】 前記長波長の成分は850nm〜95
    0nmの波長の成分を有する請求項14に記載の光学機
    器。
  22. 【請求項22】 前記受光部は光電変換素子である請求
    項1に記載の光学機器。
  23. 【請求項23】 前記受光部は前記画像表示手段が有す
    る請求項1に記載の光学機器。
  24. 【請求項24】 前記受光部は前記画像表示手段の画像
    表示領域内に有する請求項23に記載の光学機器。
  25. 【請求項25】 前記受光部は複数の光電変換素子を有
    する請求項23又は24に記載の光学機器。
  26. 【請求項26】 前記画像表示手段は液晶表示装置を有
    する請求項22乃至25いずれかに記載の光学機器。
  27. 【請求項27】 前記観察者眼からの反射光を集光する
    ための光学系を更に有する請求項1乃至26いずれかに
    記載の光学機器。
  28. 【請求項28】 前記画像表示手段はシフトレジスタを
    介して駆動される請求項1乃至27いずれかに記載の光
    学機器。
  29. 【請求項29】 前記受光部はシフトレジスタを介して
    駆動される請求項1乃至28いずれかに記載の光学機
    器。
  30. 【請求項30】 前記画像表示手段と前記受光部は共通
    のシフトレジスタを介して駆動される請求項1乃至29
    いずれかに記載の光学機器。
  31. 【請求項31】 背面光源と、該背面光源からの光を複
    数の画素を通過させて表示を行う画像表示手段と、を有
    する画像表示装置であって、上記光源からの光が、可視
    領域成分と可視領域外の長波長成分を有していることを
    特徴とする画像表示装置。
  32. 【請求項32】 前記可視領域外の長波長成分が850
    nm〜950nmを有する請求項31に記載の画像表示
    装置。
  33. 【請求項33】 前記画像表示装置は少なくとも前記可
    視領域外の長波長成分を透過するフィルターを有する請
    求項31に記載の画像表示装置。
  34. 【請求項34】 前記フィルターは実質的に可視領域成
    分を透過しないフィルターである請求項33に記載の画
    像表示装置。
  35. 【請求項35】 前記フィルターは更に可視領域成分の
    波長の光を透過するフィルターを有する請求項33に記
    載の画像表示装置。
  36. 【請求項36】 前記可視領域成分は赤色光,緑色光,
    青色光から選択される色光である請求項31に記載の画
    像表示装置。
  37. 【請求項37】 前記光源は前記可視領域成分を主とし
    て発する第1の光源と前記可視領域外の長波長成分を主
    として発する第2の光源を有する請求項31に記載の画
    像表示装置。
  38. 【請求項38】 前記可視領域成分と前記可視領域外の
    長波長成分は少なくとも一つの蛍光ランプから発生され
    る請求項31に記載の画像表示装置。
  39. 【請求項39】 前記蛍光ランプは赤色光,緑色光,青
    色光,赤外光及び/又は近赤外光を発生する蛍光体を有
    する蛍光ランプである請求項38に記載の画像表示装
    置。
  40. 【請求項40】 前記光源は光導体を有する請求項31
    に記載の画像表示装置。
  41. 【請求項41】 前記フィルターは少なくとも画素間に
    有する請求項33に記載の画像表示装置。
  42. 【請求項42】 前記フィルターは少なくとも画像表示
    手段の画像表示領域内に有する請求項33に記載の画像
    表示装置。
  43. 【請求項43】 前記フィルターは画素と実質的に同じ
    構成を有する請求項33に記載の画像表示装置。
  44. 【請求項44】 前記画像表示手段は更に受光部を有す
    る請求項31乃至43いずれかに記載の画像表示装置。
  45. 【請求項45】 更に受光部を有する請求項31乃至4
    3いずれかに記載の画像表示装置。
  46. 【請求項46】 前記画像表示手段は液晶表示手段であ
    る請求項31乃至45いずれかに記載の画像表示装置。
  47. 【請求項47】 背面光源と、該背面光源からの光を複
    数の画素を通過させて表示を行なう画像表示手段と、を
    有する画像表示装置であって、前記画像表示手段は受光
    部を有することを特徴とする画像表示装置。
  48. 【請求項48】 前記受光部は光電変換素子である請求
    項47に記載の画像表示装置。
  49. 【請求項49】 前記受光部は前記画像表示手段の画素
    間に有する請求項47に記載の画像表示装置。
  50. 【請求項50】 前記画像表示手段は液晶表示手段であ
    る請求項47乃至49いずれかに記載の画像表示装置。
  51. 【請求項51】 Siを含む発光素子と、受光素子が同
    一シリコンチップ上に形成されていることを特徴とする
    半導体装置。
  52. 【請求項52】 前記Siを含む発光素子が、単結晶シ
    リコン中の結晶欠陥、アモルファスシリコン、ポリシリ
    コン・単結晶シリコン界面、ポーラスシリコンのいずれ
    かに於ける発光現象を用いた素子であることを特徴とす
    る請求項51に記載の半導体装置。
  53. 【請求項53】 請求項51又は52に記載の半導体装
    置において、複数の発光素子及び/または受光素子がア
    レー状に配列していることを特徴とする半導体装置。
  54. 【請求項54】 請求項51乃至53いずれかに記載の
    半導体装置において、発光素子及び/または受光素子上
    にオンチップレンズが搭載されていることを特徴とする
    半導体装置。
  55. 【請求項55】 請求項51乃至54いずれかに記載の
    半導体装置を具備する光学機器。
  56. 【請求項56】 請求項51乃至54いずれかに記載の
    半導体装置を具備する画像表示装置。
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