JPH0621901B2 - レーザビームの合波方法 - Google Patents
レーザビームの合波方法Info
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- JPH0621901B2 JPH0621901B2 JP58150658A JP15065883A JPH0621901B2 JP H0621901 B2 JPH0621901 B2 JP H0621901B2 JP 58150658 A JP58150658 A JP 58150658A JP 15065883 A JP15065883 A JP 15065883A JP H0621901 B2 JPH0621901 B2 JP H0621901B2
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- laser beam
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、レーザビームの合波方法に関するものであ
る。
る。
近年、レーザビームは、光通信技術、各種測定技術、レ
ーザ溶接、レーザドリルの如き加工技術など、種々の分
野で広く利用されるようになつて来ているが、２本以上
のレーザビームを用いる場合に、これらを合致させるこ
とが要求されることがしばしばある。
ーザ溶接、レーザドリルの如き加工技術など、種々の分
野で広く利用されるようになつて来ているが、２本以上
のレーザビームを用いる場合に、これらを合致させるこ
とが要求されることがしばしばある。
たとえば、印刷用スキヤナーにおいては、He−Neレー
ザ、Ar＋レーザおよびHe−Cdレーザを用いてカラー画像
原稿を読み取り、得られた信号に基づいて感光材料上に
白黒画像を再生記録する際、これら３本のレーザビーム
をカラー画像原稿上の一点に収束させて読取りをおこな
うことが必要となる。更には、特開昭55-12429号、同55
-87970号、同56-11395 号などに開示されている蓄積性
螢光体シートを用いた放射線画像情報読取記録装置にお
いては、放射線画像情報が蓄積記録された蓄積性螢光体
シートをレーザビームで走査して励起し、螢光体シート
から発した輝尽発光光を光電的に検出することにより画
像情報を読み取り、この読み取つた情報に基づき光変調
器によりレーザビームを変調しつつ感光材料上を走査し
て、感光材料に画像情報が記録されるが、この際、読取
速度、記録速度を上げるためには、レーザビームの走査
速度を増大させることが必要である。しかし、レーザビ
ームのパワーが同一のままで走査速度を上げれば、レー
ザビーム走査面（蓄積性螢光体シート面或いはフイルム
面）での単位面積当りのレーザビーム強度が小となつて
しまうため、走査速度を上げると共にレーザパワーを増
大させることが必要となる。レーザビームを得るには誘
導放出によつて電磁波を増幅するメーザ原理を用いた可
視又は赤外領域で動作するレーザ発光器が用いられるか
ら、レーザビームのパワーを増大させるためには、この
レーザ発光器の出力パワーを増大させればよいことなる
が、レーザ発光器の出力パワーを増大させると必然的に
レーザ発光器自体が大きくなつてしまい、放射線画像情
報読取記録装置中にレーザ発光器を組み込むことが不可
能となつたり、或いはこの装置自体を大型化せざるを得
ないという問題があつた。この問題を解決するために
は、２個のレーザ発光器を用い、２本のレーザビームを
偏光ビームスプリッタ、回折格子等の光学的合波手段に
よつて合波させることにより、レーザパワーを増大させ
る方法が考えられる。この方法は、同一のレーザパワー
を得るためには、１個のレーザ発光器を用いる場合に比
べ、２個のレーザ発光器を用い、レーザビームを合波さ
せる方が小型化が可能になるという知見に基づくもので
あるが、この場合にも、２本のレーザビームを合致させ
ることが要求される。同様なことは、レーザ溶接等のレ
ーザ加工装置においてもまた要求される。
ザ、Ar＋レーザおよびHe−Cdレーザを用いてカラー画像
原稿を読み取り、得られた信号に基づいて感光材料上に
白黒画像を再生記録する際、これら３本のレーザビーム
をカラー画像原稿上の一点に収束させて読取りをおこな
うことが必要となる。更には、特開昭55-12429号、同55
-87970号、同56-11395 号などに開示されている蓄積性
螢光体シートを用いた放射線画像情報読取記録装置にお
いては、放射線画像情報が蓄積記録された蓄積性螢光体
シートをレーザビームで走査して励起し、螢光体シート
から発した輝尽発光光を光電的に検出することにより画
像情報を読み取り、この読み取つた情報に基づき光変調
器によりレーザビームを変調しつつ感光材料上を走査し
て、感光材料に画像情報が記録されるが、この際、読取
速度、記録速度を上げるためには、レーザビームの走査
速度を増大させることが必要である。しかし、レーザビ
ームのパワーが同一のままで走査速度を上げれば、レー
ザビーム走査面（蓄積性螢光体シート面或いはフイルム
面）での単位面積当りのレーザビーム強度が小となつて
しまうため、走査速度を上げると共にレーザパワーを増
大させることが必要となる。レーザビームを得るには誘
導放出によつて電磁波を増幅するメーザ原理を用いた可
視又は赤外領域で動作するレーザ発光器が用いられるか
ら、レーザビームのパワーを増大させるためには、この
レーザ発光器の出力パワーを増大させればよいことなる
が、レーザ発光器の出力パワーを増大させると必然的に
レーザ発光器自体が大きくなつてしまい、放射線画像情
報読取記録装置中にレーザ発光器を組み込むことが不可
能となつたり、或いはこの装置自体を大型化せざるを得
ないという問題があつた。この問題を解決するために
は、２個のレーザ発光器を用い、２本のレーザビームを
偏光ビームスプリッタ、回折格子等の光学的合波手段に
よつて合波させることにより、レーザパワーを増大させ
る方法が考えられる。この方法は、同一のレーザパワー
を得るためには、１個のレーザ発光器を用いる場合に比
べ、２個のレーザ発光器を用い、レーザビームを合波さ
せる方が小型化が可能になるという知見に基づくもので
あるが、この場合にも、２本のレーザビームを合致させ
ることが要求される。同様なことは、レーザ溶接等のレ
ーザ加工装置においてもまた要求される。
このような目的で、２本以上の極めて細いレーザビーム
を合致させることは、非常に困難であり、複雑な機構を
必要としたり、或いはその調整に多大な時間を要するの
が一般であつた。
を合致させることは、非常に困難であり、複雑な機構を
必要としたり、或いはその調整に多大な時間を要するの
が一般であつた。
本発明は、前述した印刷用スキヤナー、放射線画像情報
読取記録装置、レーザ加工装置など、レーザビームを被
照射面に収束させるために正のパワーを有するレンズを
用いた装置に使用する２本以上のレーザビームを簡単か
つ短時間に合致させることのできるレーザビームの合波
方法を提供することを目的とするものである。
読取記録装置、レーザ加工装置など、レーザビームを被
照射面に収束させるために正のパワーを有するレンズを
用いた装置に使用する２本以上のレーザビームを簡単か
つ短時間に合致させることのできるレーザビームの合波
方法を提供することを目的とするものである。
本発明のレーザビームの合波方法は、２本以上のレーザ
ビームのそれぞれをレーザビームの方向を二次元的に動
かすことのできる方向補正手段を介した後、光学的合波
手段により合波する方法であって、 前記光学的合波手段を通過した前記２本以上のレーザビ
ームを、正のパワーを有するレンズを介して該レンズの
焦点距離の所に位置するピンホールに照射し、該ピンホ
ールを通過するレーザビームの光量を光検出器で検出し
うるようになし、各レーザビームについて、それぞれの
方向補正手段を動かすことにより前記ピンホールを通過
するレーザ光量が最大となる位置を検出し、この位置に
各レーザビームを設定することを特徴とするものであ
る。
ビームのそれぞれをレーザビームの方向を二次元的に動
かすことのできる方向補正手段を介した後、光学的合波
手段により合波する方法であって、 前記光学的合波手段を通過した前記２本以上のレーザビ
ームを、正のパワーを有するレンズを介して該レンズの
焦点距離の所に位置するピンホールに照射し、該ピンホ
ールを通過するレーザビームの光量を光検出器で検出し
うるようになし、各レーザビームについて、それぞれの
方向補正手段を動かすことにより前記ピンホールを通過
するレーザ光量が最大となる位置を検出し、この位置に
各レーザビームを設定することを特徴とするものであ
る。
なお、上記方法における上記レーザビームの光量検出お
よび位置調整等のレーザビームを合致させるための一連
の操作は、例えば上記２本以上のビームを同時にもしく
は一本ずつ順に点灯させ、その点灯させたビームについ
て行なう。
よび位置調整等のレーザビームを合致させるための一連
の操作は、例えば上記２本以上のビームを同時にもしく
は一本ずつ順に点灯させ、その点灯させたビームについ
て行なう。
本発明は、fθレンズ、Ｆtanθレンズ、Ｆsin-1θレン
ズ等の正のパワーを有するレンズを２本以上のレーザビ
ームを通過させてレーザビームの被照射面上の一点に収
束せしめるためには、２本以上のレーザビームが互いに
平行に当該レンズに入射するように２本以上のレーザビ
ームの方向を調整すればよいという知見に基づくもので
あり、２本以上のレーザビームを中途で取り出し、正の
パワーを有するレンズを介して、このレンズの焦点距離
のところに設けたピンホールを通過する各レーザビーム
の光量が最大となるように各レーザビームの位置を調整
すれば、２本以上のレーザビームを合致させることが可
能となるというものである。
ズ等の正のパワーを有するレンズを２本以上のレーザビ
ームを通過させてレーザビームの被照射面上の一点に収
束せしめるためには、２本以上のレーザビームが互いに
平行に当該レンズに入射するように２本以上のレーザビ
ームの方向を調整すればよいという知見に基づくもので
あり、２本以上のレーザビームを中途で取り出し、正の
パワーを有するレンズを介して、このレンズの焦点距離
のところに設けたピンホールを通過する各レーザビーム
の光量が最大となるように各レーザビームの位置を調整
すれば、２本以上のレーザビームを合致させることが可
能となるというものである。
本発明において、合致させるべきレーザビームの波長が
実質的に等しい場合には、互いの干渉を避けるために両
レーザビームの偏波方向を互いに直交させることを要す
る。２本のレーザビームの偏波方向を互いに直交させる
ためには、一方のレーザビームを1/2波長板を通過させ
る方法、一方のレーザ管を光軸を中心として他方に対し
て９０゜回転させる方法、一方のレーザ管のブリュース
タ窓の取付方向を他方に対して９０゜ずらせる方法など
が利用しうる。
実質的に等しい場合には、互いの干渉を避けるために両
レーザビームの偏波方向を互いに直交させることを要す
る。２本のレーザビームの偏波方向を互いに直交させる
ためには、一方のレーザビームを1/2波長板を通過させ
る方法、一方のレーザ管を光軸を中心として他方に対し
て９０゜回転させる方法、一方のレーザ管のブリュース
タ窓の取付方向を他方に対して９０゜ずらせる方法など
が利用しうる。
本発明において、光学的合波手段としては、偏光ビーム
スプリッタ、回折格子、ハーフミラー、Ｙ字形光フアイ
バーなどが使用され得る。ただし、レーザパワーを増大
させる目的に本発明を利用する場合には、ハーフミラー
は光学的合波手段として適当でない。
スプリッタ、回折格子、ハーフミラー、Ｙ字形光フアイ
バーなどが使用され得る。ただし、レーザパワーを増大
させる目的に本発明を利用する場合には、ハーフミラー
は光学的合波手段として適当でない。
また本発明において、方向補正手段としては、可動プリ
ズム、可動ミラー、音響光学変調器（ＡＯＭ）、電気光
学効果或いは磁気光学効果等により二次元的にビーム方
向を動かすことのできるものであれば、とくに限定され
ることなく、使用されうる。
ズム、可動ミラー、音響光学変調器（ＡＯＭ）、電気光
学効果或いは磁気光学効果等により二次元的にビーム方
向を動かすことのできるものであれば、とくに限定され
ることなく、使用されうる。
以下、添付図面に基づいて、本発明の実施態様について
説明する。
説明する。
第１図は本発明の実施態様であるレーザビームの合波方
法を実施するための装置を備えた放射線画像情報読取装
置の概略図である。
法を実施するための装置を備えた放射線画像情報読取装
置の概略図である。
２個のレーザ発光器１，２からそれぞれレーザビーム１
ａ，２ａが発せられ、このうちレーザビーム１ａは第１
方向補正手段４により方向を補正された後、ミラー６に
より方向を変えられて光学的合波手段である偏光ビーム
スプリツタ７に入射する。レーザビーム2aは、レーザ発
光器２から発せられた時はＰ波であるこれが1/2波長板
３によつてＳ波に変えられ第２方向補正手段５により方
向を補正された後、偏光ビームスプリツタ７に入射す
る。偏光ビームスプリツタ７に入射する２本のレーザビ
ーム１ａ，２ａはこの偏光ビームスプリツタ７により合
波されるのであるが、異なる入射角を有するレーザビー
ム１ａ，２ａのうちレーザビーム１ａはそのまま通過
し、レーザビーム２ａは方向を変えられてレーザビーム
１ａと同方向に発光される。このため、レーザ発光器１
から発せられたＰ波のままのレーザビーム１ａと、レー
ザ発光器２から発せられた後1/2波長板３によつてＳ波
に変えられたレーザビーム２ａとが偏光ビームスプリツ
タ７によつて合波され、直交する２つの偏波面を有する
レーザビーム７ａが発せられる。この場合、レーザビー
ム７ａはＰ波とＳ波の合波で偏波面が直交しているため
互いに干渉することがなく、レーザビーム１ａのパワー
とレーザビーム２ａのパワーがそのまま合成されたもの
がレーザビーム７ａのパワーとなる。このレーザビーム
７ａはハーフミラー８によつて、その一部のレーザビー
ム８ａが２本のレーザビームを合致を検出するため凸レ
ンズ９の方へ反射され、残りのレーザビーム８ｂはその
まま通過しミラー12によつてガルバノメータミラー２０
の方向へ反射される。
ａ，２ａが発せられ、このうちレーザビーム１ａは第１
方向補正手段４により方向を補正された後、ミラー６に
より方向を変えられて光学的合波手段である偏光ビーム
スプリツタ７に入射する。レーザビーム2aは、レーザ発
光器２から発せられた時はＰ波であるこれが1/2波長板
３によつてＳ波に変えられ第２方向補正手段５により方
向を補正された後、偏光ビームスプリツタ７に入射す
る。偏光ビームスプリツタ７に入射する２本のレーザビ
ーム１ａ，２ａはこの偏光ビームスプリツタ７により合
波されるのであるが、異なる入射角を有するレーザビー
ム１ａ，２ａのうちレーザビーム１ａはそのまま通過
し、レーザビーム２ａは方向を変えられてレーザビーム
１ａと同方向に発光される。このため、レーザ発光器１
から発せられたＰ波のままのレーザビーム１ａと、レー
ザ発光器２から発せられた後1/2波長板３によつてＳ波
に変えられたレーザビーム２ａとが偏光ビームスプリツ
タ７によつて合波され、直交する２つの偏波面を有する
レーザビーム７ａが発せられる。この場合、レーザビー
ム７ａはＰ波とＳ波の合波で偏波面が直交しているため
互いに干渉することがなく、レーザビーム１ａのパワー
とレーザビーム２ａのパワーがそのまま合成されたもの
がレーザビーム７ａのパワーとなる。このレーザビーム
７ａはハーフミラー８によつて、その一部のレーザビー
ム８ａが２本のレーザビームを合致を検出するため凸レ
ンズ９の方へ反射され、残りのレーザビーム８ｂはその
まま通過しミラー12によつてガルバノメータミラー２０
の方向へ反射される。
ハーフミラー８により反射されたレーザビーム８ａは凸
レンズ９を通過した後、この凸レンズ９の焦点位置に設
けられたピンホール板１０のピンホール１０ａに当た
り、ピンホール１０ａを通過するレーザビーム８ａの光
量が光量検出器で検出される。ここで、ピンホール１０
ａを通過してくるレーザビーム8aの光量が最大になるよ
うに、後述の方法により、すなわちレーザビーム８ａの
うち、レーザ発光器１から発せられたレーザビーム成分
とレーザ発光器２から発せられたレーザビーム成分の両
方が共にピンホール１０ａに焦点を結ぶように、第１お
よび第２方向補正手段によりレーザビームの方向補正を
おこなう。こうして、２本のレーザビーム１ａ，２ａが
合致せしめられた後に蓄積性螢光体シート２５が読取装
置に送られる。ガルバノメータミラー２０に入射したレ
ーザビーム８ｂは、このガルバノメータ２０ａにより駆
動されるガルバノメータミラー２０によつてこのミラー
２０の下方の放射線画像情報を蓄積記録した蓄積性螢光
体シート（以下、シートと称す）２５の幅方向に主走査
（矢印Ａ方向の走査）される。この時、ガルバノメータ
ミラー２０を出たビームは正のパワーを有するfθレン
ズによりシート２５上に焦点が合うように調整される。
ここに、レーザビーム８ｂはすでに前述のようにfθレ
ンズ２１に２つのレーザビーム成分が平行に入射するよ
うに調整されているので、レーザビーム１ａのパワーと
レーザビーム２ａのパワーが合成され、パワーのレーザ
ビーム８ｂによりシート２５は走査されることになる。
シート２５は、例えばエンドレスベルト装置２４上に吸
着されていて、矢印Ｂ方向へ搬送される（副走査され
る）ため、副走査と直交する角度で主走査が繰り返さ
れ、シート２５上の全面にわたるレーザビームによる２
次元的走査がなされる。このレーザビームによる走査に
従つてレーザビームの照射されたシートの個所は蓄積記
録された画像情報に応じた強度で輝尽発光し、この発光
光がシート近くで主走査線に平行に全端面２２ａが配さ
れた透明な集光体２２の前端面２２ａから集光体２２に
入る。集光体２２に入つた輝尽発光光は集光体２２の後
端部に集められ、後端部と結合するフオトマル２３に伝
えられて電気信号に変換された後、画像情報読取回路
（図示せず）に送られる。
レンズ９を通過した後、この凸レンズ９の焦点位置に設
けられたピンホール板１０のピンホール１０ａに当た
り、ピンホール１０ａを通過するレーザビーム８ａの光
量が光量検出器で検出される。ここで、ピンホール１０
ａを通過してくるレーザビーム8aの光量が最大になるよ
うに、後述の方法により、すなわちレーザビーム８ａの
うち、レーザ発光器１から発せられたレーザビーム成分
とレーザ発光器２から発せられたレーザビーム成分の両
方が共にピンホール１０ａに焦点を結ぶように、第１お
よび第２方向補正手段によりレーザビームの方向補正を
おこなう。こうして、２本のレーザビーム１ａ，２ａが
合致せしめられた後に蓄積性螢光体シート２５が読取装
置に送られる。ガルバノメータミラー２０に入射したレ
ーザビーム８ｂは、このガルバノメータ２０ａにより駆
動されるガルバノメータミラー２０によつてこのミラー
２０の下方の放射線画像情報を蓄積記録した蓄積性螢光
体シート（以下、シートと称す）２５の幅方向に主走査
（矢印Ａ方向の走査）される。この時、ガルバノメータ
ミラー２０を出たビームは正のパワーを有するfθレン
ズによりシート２５上に焦点が合うように調整される。
ここに、レーザビーム８ｂはすでに前述のようにfθレ
ンズ２１に２つのレーザビーム成分が平行に入射するよ
うに調整されているので、レーザビーム１ａのパワーと
レーザビーム２ａのパワーが合成され、パワーのレーザ
ビーム８ｂによりシート２５は走査されることになる。
シート２５は、例えばエンドレスベルト装置２４上に吸
着されていて、矢印Ｂ方向へ搬送される（副走査され
る）ため、副走査と直交する角度で主走査が繰り返さ
れ、シート２５上の全面にわたるレーザビームによる２
次元的走査がなされる。このレーザビームによる走査に
従つてレーザビームの照射されたシートの個所は蓄積記
録された画像情報に応じた強度で輝尽発光し、この発光
光がシート近くで主走査線に平行に全端面２２ａが配さ
れた透明な集光体２２の前端面２２ａから集光体２２に
入る。集光体２２に入つた輝尽発光光は集光体２２の後
端部に集められ、後端部と結合するフオトマル２３に伝
えられて電気信号に変換された後、画像情報読取回路
（図示せず）に送られる。
第２図および第３図は前記実施態様におけるピンホール
板１０を凸レンズ９の方から視た正面図であり、この図
を用いてピンホール１０ａを通過するレーザビームの光
量が最大になる位置の検出方法を説明する。
板１０を凸レンズ９の方から視た正面図であり、この図
を用いてピンホール１０ａを通過するレーザビームの光
量が最大になる位置の検出方法を説明する。
まず、レーザ発光器１もしくは２のいずれか一方のみか
らレーザビームを発光させて、ピンホール板１０のピン
ホール１０ａを通過する光量を検出する。この時、例え
ば図中破線で示す円３０ａがレーザビームが当たる範囲
であると仮定し、便宜上紙面、上下方向をｙ軸、左右方
向をｘ軸とする。次に、このレーザビームを方向補正手
段によりｘ軸方向に移動させてピンホール１０ａを通過
する光量が最大になる位置を捜す。光量で最大になるの
は、レーザビームが当たる範囲とピンホール１０ａとの
重なりが最大になる時で、図中破線で示すレーザビーム
が当たる円３０ｂの中心がｙ軸上にある時である。次に
光量が最大になつた位置から、レーザビームをｙ軸方向
に移動させてピンホール１０ａを通過する光量が最大に
なる位置を捜す。ここで、光量が最大になるのは、レー
ザビームの当たる範囲とピンホールが完全に重なる時、
すなわち円３０ｃで示すように円３０ｃの中心とピンホ
ール１０ａの中心が一致する時である。このようにし
て、レーザビームをピンホールに合致させることがで
き、もう一方のレーザ発光器についても同様にしてレー
ザビームをピンホールに合致させると、両方のレーザビ
ームを合致させることができる。
らレーザビームを発光させて、ピンホール板１０のピン
ホール１０ａを通過する光量を検出する。この時、例え
ば図中破線で示す円３０ａがレーザビームが当たる範囲
であると仮定し、便宜上紙面、上下方向をｙ軸、左右方
向をｘ軸とする。次に、このレーザビームを方向補正手
段によりｘ軸方向に移動させてピンホール１０ａを通過
する光量が最大になる位置を捜す。光量で最大になるの
は、レーザビームが当たる範囲とピンホール１０ａとの
重なりが最大になる時で、図中破線で示すレーザビーム
が当たる円３０ｂの中心がｙ軸上にある時である。次に
光量が最大になつた位置から、レーザビームをｙ軸方向
に移動させてピンホール１０ａを通過する光量が最大に
なる位置を捜す。ここで、光量が最大になるのは、レー
ザビームの当たる範囲とピンホールが完全に重なる時、
すなわち円３０ｃで示すように円３０ｃの中心とピンホ
ール１０ａの中心が一致する時である。このようにし
て、レーザビームをピンホールに合致させることがで
き、もう一方のレーザ発光器についても同様にしてレー
ザビームをピンホールに合致させると、両方のレーザビ
ームを合致させることができる。
第２図により説明した方法は、レーザビームがピンホー
ル板に当たる範囲とピンホール１０ａとが一部分オーバ
ーラツプする場合は有効であるが、全くオーバーラップ
しない時は、レーザビームをｘ軸方向或いはｙ軸方向に
移動させても常に光量が零となることがあるので使えな
いことがある。このため、第３図に示すように、ピンホ
ール板１０上においてレーザビームのズレによりビーム
の当たる個所がばらつく最大範囲１０ｂ（１点鎖線で囲
む範囲）を予め設定しておき、この範囲１０ｂ内で、例
えば線１０ｃで示すようにレーザビームを往復走査させ
てピンホール10aを通過する光量が最大になる位置を検
出するようにすることが好ましい。
ル板に当たる範囲とピンホール１０ａとが一部分オーバ
ーラツプする場合は有効であるが、全くオーバーラップ
しない時は、レーザビームをｘ軸方向或いはｙ軸方向に
移動させても常に光量が零となることがあるので使えな
いことがある。このため、第３図に示すように、ピンホ
ール板１０上においてレーザビームのズレによりビーム
の当たる個所がばらつく最大範囲１０ｂ（１点鎖線で囲
む範囲）を予め設定しておき、この範囲１０ｂ内で、例
えば線１０ｃで示すようにレーザビームを往復走査させ
てピンホール10aを通過する光量が最大になる位置を検
出するようにすることが好ましい。
第４図は本発明の他の実施態様を示すものであり、カラ
ー原稿読取装置に適用した例を示す。
ー原稿読取装置に適用した例を示す。
第４図において、３個のレーザ発光器１０１，１０２，
１０３からそれぞれHe−Neレーザビーム１０１ａ、Ar＋
レーザ１０２ａ、He−Cdレーザ１０３ａが発せられ、こ
のうちHe−Neレーザビーム１０１ａは第１方向補正手段
１０４により方向を補正された後ミラー１０５によつて
方向を変えられてハーフミラー１０７に入射する。他
方、Ar＋レーザ１０２ａはやはり第２方向補正手段１０
６により方向が補正された後ハーフミラー１０７により
He−Neレーザ１０１ａと合波せしめられると共に方向を
変えられて、ハーフミラー１０９に入射する。He−Cdレ
ーザ１０３ａは、第３方向補正手段１０８により方向が
補正された後、ハーフミラー１０９により、He−Neレー
ザ１０１ａ、Ar＋レーザ１０２ａと合波せしめられ方向
を変えられる。このようにしてHe−Neレーザビーム１０
１ａ、Ar＋レーザビーム１０２ａ、He−Cdレーザビーム
１０３ａが合波せしめられた合波レーザビーム１１０は
ハーフミラー１１１に入射し、その一部が凸レンズ１１
２の方へ反射せしめられ、前記実施態様と同様にしてピ
ンホール１１３ａを備えたピンホール板１１３と光量検
出器１１４を用いてレーザビーム１０１ａ，１０２ａ，
１０３ａが合致せしめられる。
１０３からそれぞれHe−Neレーザビーム１０１ａ、Ar＋
レーザ１０２ａ、He−Cdレーザ１０３ａが発せられ、こ
のうちHe−Neレーザビーム１０１ａは第１方向補正手段
１０４により方向を補正された後ミラー１０５によつて
方向を変えられてハーフミラー１０７に入射する。他
方、Ar＋レーザ１０２ａはやはり第２方向補正手段１０
６により方向が補正された後ハーフミラー１０７により
He−Neレーザ１０１ａと合波せしめられると共に方向を
変えられて、ハーフミラー１０９に入射する。He−Cdレ
ーザ１０３ａは、第３方向補正手段１０８により方向が
補正された後、ハーフミラー１０９により、He−Neレー
ザ１０１ａ、Ar＋レーザ１０２ａと合波せしめられ方向
を変えられる。このようにしてHe−Neレーザビーム１０
１ａ、Ar＋レーザビーム１０２ａ、He−Cdレーザビーム
１０３ａが合波せしめられた合波レーザビーム１１０は
ハーフミラー１１１に入射し、その一部が凸レンズ１１
２の方へ反射せしめられ、前記実施態様と同様にしてピ
ンホール１１３ａを備えたピンホール板１１３と光量検
出器１１４を用いてレーザビーム１０１ａ，１０２ａ，
１０３ａが合致せしめられる。
こうして、３本のレーザビーム１０１ａ，１０２ａ，１
０３ａが合致せしめられた後、カラー原稿１１５が読取
装置１１６へ送られる。ハーフミラー１１１を通過した
合波レーザビーム１１０はミラー１１７により方向を変
換せしめられた後、ビームエクスパンダー１１８を経
て、ガルバノメータミラー１１９に入射し、ガルバノメ
ータ１２０により駆動されるガルバノメータミラー１１
９によつてカラー原稿１１５上を幅方向に走査せしめら
れる。この時、ガルバノメータミラー１１９を出た合波
レーザビーム１１０は正のパワーを有するfθレンズ１
２１によりカラー原稿１１５上に焦点が合うように調整
される。カラー原稿１１５は幅方向と直角の方向に搬送
せしめられているため、その全面にわたつて合波レーザ
ビーム１１０によつて走査がなされることになる。カラ
ー原稿１１５の被走査面には反射光が効率良く集光しう
るように複数のオプテイカルフアイバー１２２が設けら
れており、カラー原稿１１５の反射光はオプテイカルフ
アイバー１２２を経てフオトマル１２３に伝達され、画
像信号に変換される。こうして得られた画像信号に対し
て、種々の信号処理が施され、感光材料上に白黒画像が
再生記録せしめられる。
０３ａが合致せしめられた後、カラー原稿１１５が読取
装置１１６へ送られる。ハーフミラー１１１を通過した
合波レーザビーム１１０はミラー１１７により方向を変
換せしめられた後、ビームエクスパンダー１１８を経
て、ガルバノメータミラー１１９に入射し、ガルバノメ
ータ１２０により駆動されるガルバノメータミラー１１
９によつてカラー原稿１１５上を幅方向に走査せしめら
れる。この時、ガルバノメータミラー１１９を出た合波
レーザビーム１１０は正のパワーを有するfθレンズ１
２１によりカラー原稿１１５上に焦点が合うように調整
される。カラー原稿１１５は幅方向と直角の方向に搬送
せしめられているため、その全面にわたつて合波レーザ
ビーム１１０によつて走査がなされることになる。カラ
ー原稿１１５の被走査面には反射光が効率良く集光しう
るように複数のオプテイカルフアイバー１２２が設けら
れており、カラー原稿１１５の反射光はオプテイカルフ
アイバー１２２を経てフオトマル１２３に伝達され、画
像信号に変換される。こうして得られた画像信号に対し
て、種々の信号処理が施され、感光材料上に白黒画像が
再生記録せしめられる。
本発明は以上の実施態様に限定されることなく、種々の
変更が可能であることは言うまでもない。
変更が可能であることは言うまでもない。
たとえば、前記実施態様において、手動操作によりピン
ホール１０ａを通過するレーザ光量が最大となるように
方向補正手段４，５を調整するのではなく、光量検出器
１１の出力を第１および第２方向補正手段４，５にフイ
ードバックしてサーボ機構を形成し、ピンホール１０ａ
を通過するレーザ光量が最大となるように各レーザビー
ムの位置を自動的に設定してもよいし、また各レーザビ
ームを方向補正手段を用いて一定範囲にわたり走査し、
走査中にピンホール１０ａを通過するレーザ光量が最大
となる位置をマイコンを用いて検出し、その方向補正手
段位置信号をメモリに入力し、各レーザビームについて
かかる操作をおこなつた後、メモリの位置信号を読み出
してその位置に方向補正手段を固定することにより、各
レーザビームの位置を自動的に設定してもよい。かよう
な方法によれば、手動操作に比し短時間に２本以上のレ
ーザビームを合致させることができ、好ましい。
ホール１０ａを通過するレーザ光量が最大となるように
方向補正手段４，５を調整するのではなく、光量検出器
１１の出力を第１および第２方向補正手段４，５にフイ
ードバックしてサーボ機構を形成し、ピンホール１０ａ
を通過するレーザ光量が最大となるように各レーザビー
ムの位置を自動的に設定してもよいし、また各レーザビ
ームを方向補正手段を用いて一定範囲にわたり走査し、
走査中にピンホール１０ａを通過するレーザ光量が最大
となる位置をマイコンを用いて検出し、その方向補正手
段位置信号をメモリに入力し、各レーザビームについて
かかる操作をおこなつた後、メモリの位置信号を読み出
してその位置に方向補正手段を固定することにより、各
レーザビームの位置を自動的に設定してもよい。かよう
な方法によれば、手動操作に比し短時間に２本以上のレ
ーザビームを合致させることができ、好ましい。
また、第１図においてハーフミラー８の代わりに着脱自
在なミラーを設け、レーザビーム合致検出を行なう場合
のみミラーを使用し、その他の時は偏光ビームスプリツ
タ７からの出力ビームをそのままミラー１２に入射させ
るようにしてもよい。
在なミラーを設け、レーザビーム合致検出を行なう場合
のみミラーを使用し、その他の時は偏光ビームスプリツ
タ７からの出力ビームをそのままミラー１２に入射させ
るようにしてもよい。
更には、前記実施態様においては、放射線画像読取操作
の開始前にレーザビームの合致をおこなつているが、本
発明は操作前にレーザビームの合致をおこなう場合に限
定されるものでないことは言うまでもなく、レーザビー
ムを用いた操作中において２本以上のレーザビームにズ
レが生じた場合など、操作中にもおこなうことができ
る。
の開始前にレーザビームの合致をおこなつているが、本
発明は操作前にレーザビームの合致をおこなう場合に限
定されるものでないことは言うまでもなく、レーザビー
ムを用いた操作中において２本以上のレーザビームにズ
レが生じた場合など、操作中にもおこなうことができ
る。
また、前記実施態様において、２本又は３本のレーザビ
ームを合致せしめているが、４本以上のレーザビームに
も適用しうることはもとよりである。
ームを合致せしめているが、４本以上のレーザビームに
も適用しうることはもとよりである。
第１図は本発明のレーザビーム合波方法を実施するため
の装置を有する放射線画像情報読取装置の概略図、 第２図および第３図は、ピンホール板を凸レンズ側から
視た正面図、 第４図は本発明の他の実施態様であるレーザビーム合致
装置を備えたカラー原稿読取装置の概略図である。 1,2,101,102,103……レーザ発光器 4,5,104,106,108……方向補正手段 7……偏光ビームスプリッタ 8,107,109,111……ハーフミラー 9,112……凸レンズ、10,113……ピンホール板 10a,113a……ピンホール、21,121……f θレンズ 11……光量検出器
の装置を有する放射線画像情報読取装置の概略図、 第２図および第３図は、ピンホール板を凸レンズ側から
視た正面図、 第４図は本発明の他の実施態様であるレーザビーム合致
装置を備えたカラー原稿読取装置の概略図である。 1,2,101,102,103……レーザ発光器 4,5,104,106,108……方向補正手段 7……偏光ビームスプリッタ 8,107,109,111……ハーフミラー 9,112……凸レンズ、10,113……ピンホール板 10a,113a……ピンホール、21,121……f θレンズ 11……光量検出器
Claims (1)
- 【請求項１】２本以上のレーザビームのそれぞれをレー
ザビームの方向を二次元的に動かすことのできる方向補
正手段を介した後、光学的合波手段により合波する方法
であって、 前記光学的合波手段を通過した前記２本以上のレーザビ
ームを、正のパワーを有するレンズを介して該レンズの
焦点距離の所に位置するピンホールに照射し、該ピンホ
ールを通過するレーザビームの光量を光検出器で検出し
うるようになし、各レーザビームについて、それぞれの
方向補正手段を動かすことにより前記ピンホールを通過
するレーザ光量が最大となる位置を検出し、この位置に
各レーザビームを設定することを特徴とするレーザビー
ムの合波方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58150658A JPH0621901B2 (ja) | 1983-08-18 | 1983-08-18 | レーザビームの合波方法 |
| CA000461258A CA1246372A (en) | 1983-08-18 | 1984-08-17 | Method of coalescing laser beams |
| US06/641,689 US4655590A (en) | 1983-08-18 | 1984-08-17 | Method of coalescing laser beams |
| DE8484305605T DE3467073D1 (en) | 1983-08-18 | 1984-08-17 | Method of coalescing laser beams |
| EP84305605A EP0140508B1 (en) | 1983-08-18 | 1984-08-17 | Method of coalescing laser beams |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58150658A JPH0621901B2 (ja) | 1983-08-18 | 1983-08-18 | レーザビームの合波方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6042731A JPS6042731A (ja) | 1985-03-07 |
| JPH0621901B2 true JPH0621901B2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=15501659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58150658A Expired - Lifetime JPH0621901B2 (ja) | 1983-08-18 | 1983-08-18 | レーザビームの合波方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4655590A (ja) |
| EP (1) | EP0140508B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0621901B2 (ja) |
| CA (1) | CA1246372A (ja) |
| DE (1) | DE3467073D1 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60220308A (ja) * | 1984-04-17 | 1985-11-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光ビ−ム走査装置 |
| JPS61230467A (ja) * | 1985-04-03 | 1986-10-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 連続調画像記録方法 |
| US4778693A (en) * | 1986-10-17 | 1988-10-18 | Quantronix Corporation | Photolithographic mask repair system |
| US4820899A (en) * | 1987-03-03 | 1989-04-11 | Nikon Corporation | Laser beam working system |
| US4847823A (en) * | 1987-06-19 | 1989-07-11 | Siscan Systems, Inc. | Method and apparatus for reading or measuring magneto-optical storage media using pinhole aperture |
| DE68924286T2 (de) * | 1988-02-18 | 1996-02-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | Verfahren und Apparat zum Lesen und zur Reproduktion von Bildern und Lichtquelleneinrichtung mehrerer Halbleiterlaser dazu. |
| US5083023A (en) * | 1988-09-16 | 1992-01-21 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Composite light source unit and scanning device |
| US5048911A (en) * | 1988-11-15 | 1991-09-17 | Universiti Malaya | Coupling of multiple laser beams to a single optical fiber |
| US4982166A (en) * | 1989-03-01 | 1991-01-01 | Morrow Clifford E | Method and apparatus for combining two lower power laser beams to produce a combined higher power beam |
| JPH0395543A (ja) * | 1989-09-07 | 1991-04-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線画像情報読取装置 |
| US5059795A (en) * | 1990-08-23 | 1991-10-22 | Eastman Kodak Company | Multiple beam radiation image reading apparatus |
| EP0574686A2 (en) * | 1992-05-13 | 1993-12-22 | The Spectranetics Corporation | Linear scan method and system for cloupling energy into an optical fiber bundle |
| DE69730562T2 (de) * | 1996-06-18 | 2005-10-13 | Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara | Bildlesegerät |
| US6331692B1 (en) * | 1996-10-12 | 2001-12-18 | Volker Krause | Diode laser, laser optics, device for laser treatment of a workpiece, process for a laser treatment of workpiece |
| US6624382B2 (en) * | 1997-01-30 | 2003-09-23 | Anvik Corporation | Configured-hole high-speed drilling system for micro-via pattern formation, and resulting structure |
| US20040021101A1 (en) * | 2000-06-29 | 2004-02-05 | Essex Electro Engineers, Inc. | Method and apparatus for radiographic imaging |
| US6696698B2 (en) * | 2000-06-29 | 2004-02-24 | Essex Electro Engineers, Inc. | Method and apparatus for radiographic imaging |
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| FR2822235B1 (fr) * | 2001-03-19 | 2004-10-22 | Pellenc Sa | Dispositif et procede d'inspection automatique d'objets defilant en flux sensiblement monocouche |
| TWI275439B (en) * | 2003-05-19 | 2007-03-11 | Mitsubishi Electric Corp | Laser processing apparatus |
| CN102298250B (zh) * | 2006-11-14 | 2014-06-25 | 奥斯兰姆有限公司 | 具有改进的投影特征的投影方法和投影设备 |
| US20090116518A1 (en) * | 2007-11-02 | 2009-05-07 | Pranalytica, Inc. | Multiplexing of optical beams using reversed laser scanning |
| NO336441B1 (no) * | 2012-01-24 | 2015-08-17 | Tomra Sorting As | Anordning, system og fremgangsmåte for optisk detektering av materie |
| JP2014235351A (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-15 | 富士フイルム株式会社 | 走査光学系、光走査装置および放射線画像読取装置 |
| JP6369454B2 (ja) * | 2015-12-24 | 2018-08-08 | トヨタ自動車株式会社 | レーザー溶接装置 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3432240A (en) * | 1966-03-28 | 1969-03-11 | Atomic Energy Commission | Laser optical aligning method and apparatus |
| FR1561258A (ja) * | 1968-01-15 | 1969-03-28 | ||
| US4027330A (en) * | 1973-03-27 | 1977-05-31 | Ted-Bildplatten Aktiengesellschaft, Aeg-Telefunken, Teldec | Disc recording |
| JPS5426179B2 (ja) * | 1974-04-27 | 1979-09-03 | ||
| US3902036A (en) * | 1974-05-02 | 1975-08-26 | Western Electric Co | Control system using multiplexed laser beams |
| JPS5182601A (ja) * | 1975-01-17 | 1976-07-20 | Sony Corp | |
| US4174150A (en) * | 1976-02-23 | 1979-11-13 | Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. | System for combining laser beams of diverse frequencies |
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| US4346295A (en) * | 1978-12-26 | 1982-08-24 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Radiation image read out device |
| DE3013498A1 (de) * | 1979-04-09 | 1980-10-30 | Crosfield Business Mach | Optischer modulator sowie laser-graviervorrichtung mit einem derartigen modulator |
| JPS5611395A (en) * | 1979-07-11 | 1981-02-04 | Fuji Photo Film Co Ltd | Radiation image writeereading device |
| US4319839A (en) * | 1980-03-27 | 1982-03-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Beam alignment system |
| US4408602A (en) * | 1981-01-14 | 1983-10-11 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Laser knife device |
-
1983
- 1983-08-18 JP JP58150658A patent/JPH0621901B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1984
- 1984-08-17 EP EP84305605A patent/EP0140508B1/en not_active Expired
- 1984-08-17 CA CA000461258A patent/CA1246372A/en not_active Expired
- 1984-08-17 US US06/641,689 patent/US4655590A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-08-17 DE DE8484305605T patent/DE3467073D1/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0140508A1 (en) | 1985-05-08 |
| CA1246372A (en) | 1988-12-13 |
| US4655590A (en) | 1987-04-07 |
| DE3467073D1 (en) | 1987-12-03 |
| JPS6042731A (ja) | 1985-03-07 |
| EP0140508B1 (en) | 1987-10-28 |
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