JP7153448B2 - アクチュエータ、およびその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、各種振動を発生させるアクチュエータ、およびその製造方法に関するものである。

磁気駆動回路によって振動を発生させる機器として、磁石を備えた支持体と、磁石と対向するコイルを備えた可動体とを有し、可動体と支持体との間に弾性部材が配置されたアクチュエータが提案されている（特許文献１参照）。また、特許文献１に記載のアクチュエータでは、第１方向に板厚方向を向けたホルダにおいて、第１方向に直交する第２方向で離間する位置に２つの第１コイルが設けられている一方、第１方向および第２方向に対して直交する第３方向で離間する位置に２つの第２コイルを設けられている。また、支持体には、第１コイルに対して第１方向の両側に第１磁石が配置され、第２コイルに対して第１方向の両側に第２磁石が配置されている。従って、第１コイルおよび第１磁石は、可動体を第２方向に振動させる第１磁気駆動回路を構成し、第２コイルおよび第２磁石は、可動体を第３方向に振動させる第２磁気駆動回路を構成している。それ故、アクチュエータによって、第２方向の振動や第３方向の振動を発生させる。

特開２０１６－１２７７８９号公報

特許文献１に記載のアクチュエータにおいて、可動体では、第１方向に板厚方向を向けたホルダに対して第１コイルおよび第２コイルが平面的に設けられているため、可動体の平面積が大きい。このため、アクチュエータの平面積が大となってしまうという問題点がある。一方、第１磁気駆動回路および第２磁気駆動回路を厚さ方向に重ねた構成では、アクチュエータの平面積を小さくすることができる一方、アクチュエータが厚くなってしまうという問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、厚さ寸法の増大を抑制しつつ、平面積を縮小することのできるアクチュエータ、およびその製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体と、弾性または粘弾性を備えた弾性部材を介して前記支持体に支持され、前記支持体に対して移動可能な可動体と、第１方向で対向する第１コイルおよび第１磁石を備え、前記可動体を前記第１方向に対して直交する第２方向に駆動する第１磁気駆動回路と、前記第１磁気駆動回路に対して前記第１方向で重なる位置に前記第１方向で対向する第２コイルおよび第２磁石を備え、前記可動体を前記第１方向と直交し、前記第２方向に交差する第３方向に駆動する第２磁気駆動回路と、を有し、前記第１磁石および前記第２磁石は、前記支持体および前記可動体の一方側部材に設けられ、前記第１コイルおよび前記第２コイルは、前記支持体および前記可動体の他方側部材に設けられ、前記一方側部材は、前記第１コイルに対して前記第２コイルとは反対側に配置された第１ヨークと、前記第２コイルに対して前記第１コイルとは反対側に配置された第２ヨークと、前記第１コイルと前記第２コイルとの間に配置された第３ヨークと、を有し、前記第１ヨークの前記第１コイル側の面、および前記第
３ヨークの前記第１コイル側の面の少なくとも一方に前記第１磁石が保持され、前記第２ヨークの前記第２コイル側の面、および前記第３ヨークの前記第２コイル側の面の少なくとも一方に前記第２磁石が保持され、前記第３ヨークは、前記第１ヨークおよび前記第２ヨークより前記第１方向の厚さが厚く、前記第１磁石は、前記第１コイルの前記第３方向に延在する第１有効辺部分に前記第１方向で対向し、前記第２磁石は、前記第２コイルの前記第２方向に延在する第２有効辺部分に前記第１方向で対向しており、前記第１ヨークと前記第３ヨークとは、前記第１コイルに対する前記第２方向の一方側、および、前記第１コイルに対する前記第２方向の他方側を通って前記第１方向に延在する２つの第１連結部を介して連結され、前記第２ヨークと前記第３ヨークとは、前記第２コイルに対する前記第３方向の一方側、および、前記第２コイルに対する前記第３方向の他方側を通って前記第１方向に延在する２つの第２連結部を介して連結され、前記第１連結部は、前記第１ヨークにおいて前記第１コイルに前記第１方向で対向する部分から前記第３ヨークに向けて屈曲した板状部分によって構成され、前記第２連結部は、前記第２ヨークにおいて前記第２コイルに前記第１方向で対向する部分から前記第３ヨークに向けて屈曲した板状部分によって構成されていることを特徴とする。

本発明では、第１磁気駆動回路と第２磁気駆動回路とを第１方向（厚さ方向）で重ねて配置したため、アクチュエータの平面積を縮小することができる。また、第１コイルの第１方向の両側、および第２コイルの第１方向の両側にヨークが重ねて配置されているが、第１コイルと第２コイルとの間には、１枚のヨーク（第３ヨーク）が配置されている。このため、アクチュエータの厚さ寸法の増大を抑制することができる。この場合でも、第３ヨークは、他のヨーク（第１ヨークおよび第２ヨーク）より厚いので、磁気飽和が発生しにくい。

また、本発明では、前記第１磁石は、前記第１コイルの前記第３方向に延在する第１有効辺部分に前記第１方向で対向し、前記第２磁石は、前記第２コイルの前記第２方向に延在する第２有効辺部分に前記第１方向で対向しており、前記第１ヨークと前記第３ヨークとは、前記第１コイルに対する前記第２方向の一方側、および、前記第１コイルに対する前記第２方向の他方側を通って前記第１方向に延在する２つの第１連結部を介して連結され、前記第２ヨークと前記第３ヨークとは、前記第２コイルに対する前記第３方向の一方側、および、前記第２コイルに対する前記第３方向の他方側を通って前記第１方向に延在する２つの第２連結部を介して連結されている。従って、第１コイルにおいて無効辺部分が延在する方向（第２方向）の両側に第１連結部が配置され、第２コイルにおいて無効辺部分が延在する方向（第３方向）の両側に第２連結部が配置されているので、空きスペースを利用して第１連結部および第２連結部を配置することができる。従って、アクチュエータの小型化を図ることができる。

さらに、本発明では、前記第１連結部は、前記第１ヨークにおいて前記第１コイルに前記第１方向で対向する部分から前記第３ヨークに向けて屈曲した板状部分によって構成され、前記第２連結部は、前記第２ヨークにおいて前記第２コイルに前記第１方向で対向する部分から前記第３ヨークに向けて屈曲した板状部分によって構成されている。

本発明において、前記他方側部材は、前記第１コイルを保持する第１コイルホルダと、
前記第２コイルを保持する第２コイルホルダと、を有し、前記第１コイルホルダは、前記第１コイルを保持する第１枠部と、前記第１枠部に対して前記第２コイルホルダと反対側に設けられた第１補強枠と、前記第１方向に延在して前記第１枠部と前記第１補強枠とを連結する複数の第１柱状部と、を有し、前記第２コイルホルダは、前記第２コイルを保持する第２枠部と、前記第２枠部に対して前記第１コイルホルダとは反対側に設けられた第２補強枠と、前記第１方向に延在して前記第２枠部と前記第２補強枠とを連結する複数の第２柱状部と、を有し、前記第１ヨークにおいて前記第１コイルと対向する部分は、前記第１方向において前記第１枠部と前記第１補強枠との間に設けられ、前記第２ヨークにおいて前記第２コイルと対向する部分は、前記第１方向において前記第２枠部と前記第２補強枠との間に設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第１コイルホルダの第１枠部と第１補強枠との間の空きスペースを利用して第１ヨークを配置し、第２コイルホルダの第２枠部と第２補強枠との間の空きスペースを利用して第２ヨークを配置することになるので、アクチュエータの小型化を図ることができる。

本発明において、前記第１ヨークの前記第１コイル側の面、および前記第３ヨークの前記第１コイル側の面の各々に前記第１磁石が保持され、前記第２ヨークの前記第２コイル側の面、および前記第３ヨークの前記第２コイル側の面の各々に前記第２磁石が保持されている態様を採用することができる。

本発明において、前記第１コイルおよび前記第２コイルは、前記支持体の側に設けられ、前記第１磁石、前記第２磁石、前記第１ヨーク、前記第２ヨーク、および前記第３ヨークは、前記可動体の側に設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれ
ば、可動体側にコイルを設けた場合と違って、可動体に配線を接続する必要がない。

本発明において、前記弾性部材は、第１弾性部材および第２弾性部材を備え、前記支持体において前記可動体に前記第１コイルに対して前記第２コイルと反対側で対向する第１板状部材と前記可動体との間に、前記第１弾性部材が配置され、前記第１弾性部材は、前記可動体および前記第１板状部材に接しており、前記支持体において前記可動体に前記第２コイルに対して前記第１コイルと反対側で対向する第２板状部材と前記可動体との間に、前記第２弾性部材が配置され、前記第２弾性部材は、前記可動体および前記第２板状部材に接している態様を採用することができる。

本発明において、前記第１ヨーク、前記第２ヨーク、および前記第３ヨークは、前記可動体に設けられ、前記第１板状部材と前記第１ヨークとの間に、前記第１弾性部材が配置され、前記第１弾性部材は、前記第１板状部材および前記第１ヨークに接しており、前記第２板状部材と前記第２ヨークとの間に、前記第２弾性部材が配置され、前記第２弾性部材は、前記第２板状部材および前記第２ヨークに接している態様を採用することができる。

かかる構成のアクチュエータの製造方法においては、支持部材から前記第１方向に突出した第１位置決めピン、および前記支持部材から前記第１位置決めピンより前記第１方向の先端側に突出した第２位置決めピンを有する治具を準備しておき、前記第１板状部材に前記第１位置決めピン、および前記第２位置決めピンが各々、貫通する複数の第１貫通穴を形成しておき、前記第１ヨークに前記第２位置決めピンが嵌る第２貫通穴を形成しておき、前記第１位置決めピン、および前記第２位置決めピンが各々、前記複数の第１貫通穴を貫通して前記第１板状部材が前記支持部材に当接した状態とする第１工程と、前記第１板状部材に対して前記第１弾性部材を配置した状態で、前記第１位置決めピンの先端部が前記第１ヨークに当接するとともに、前記第２位置決めピンが前記第２貫通穴を貫通した状態とすることにより、前記第１板状部材と前記第１ヨークとを、前記治具を介して前記第２方向、前記第３方向、および前記第１方向において位置決めする第２工程と、を行うことを特徴とする。

また、本発明を適用したアクチュエータの製造方法の別態様では、支持部材から前記第１方向に突出した大径部、および前記大径部の先端部から突出した小径部を備えた位置決めピンを有する治具を準備しておき、前記第１板状部材に前記位置決めピンが貫通する第１貫通穴を形成しておき、前記第１ヨークに前記大径部より内径が小さく、前記小径部より内径が大きい第２貫通穴を形成しておき、前記位置決めピンが、前記第１貫通穴を貫通して前記第１板状部材が前記支持部材に当接した状態とする第１工程と、前記第１板状部材に対して前記第１弾性部材を配置した状態で、前記位置決めピンの前記大径部と前記小径部との間の段部が前記第１ヨークに当接し、前記位置決めピンの前記小径部が前記第２貫通穴を貫通した状態とすることにより、前記第１板状部材と前記第１ヨークとを、前記治具を介して前記第２方向、前記第３方向、および前記第１方向において位置決めする第２工程と、を行うことを特徴とする。

本発明では、第１磁気駆動回路と第２磁気駆動回路とを第１方向（厚さ方向）で重ねて配置したため、アクチュエータの平面積を縮小することができる。また、第１コイルの第１方向の両側、および第２コイルの第１方向の両側にヨークが重ねて配置されているが、第１コイルと第２コイルとの間には、１枚のヨーク（第３ヨーク）が配置されている。このため、アクチュエータの厚さ寸法の増大を抑制することができる。この場合でも、第３ヨークは、他のヨーク（第１ヨークおよび第２ヨーク）より厚いので、磁気飽和が発生しにくい。また、第１コイルにおいて無効辺部分が延在する方向（第２方向）の両側に第１連結部が配置され、第２コイルにおいて無効辺部分が延在する方向（第３方向）の両側に第２連結部が配置されているので、空きスペースを利用して第１連結部および第２連結部を配置することができる。従って、アクチュエータの小型化を図ることができる。

本発明を適用したアクチュエータの斜視図である。 図１に示すアクチュエータを第１方向および第２方向に切断したときの説明図である。 図１に示すアクチュエータを第１方向および第３方向に切断したときの説明図である。 図１に示す拘束部材の第１板状部材および第２板状部材を外した状態のアクチュエータの分解斜視図である。 図１に示すアクチュエータに用いた駆動回路を分解した様子を第１方向の他方側からみたときの分解斜視図である。 図１に示すアクチュエータに用いた駆動回路を分解した様子を第１方向の一方側からみたときの分解斜視図である。 図２および図３に示す第１磁気駆動回路の分解斜視図である。 図２および図３に示す第２磁気駆動回路の分解斜視図である。 本発明を適用したアクチュエータの製造に用いた治具の説明図である。 図９に示す治具によって拘束部材の第１板状部材を位置決めした様子を示す説明図である。 図９に示す治具によって第１板状部材に対して第１ヨークを位置決めした様子を示す説明図である。

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第２方向Ｘ、第３方向Ｙおよび第１方向Ｚとして説明する。第１方向Ｚは第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに対して直交する方向である。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。

（全体構成）
図１は、本発明を適用したアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１を第１方向Ｚおよび第２方向Ｘに切断したときの説明図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１を第１方向Ｚおよび第３方向Ｙに切断したときの説明図である。図４は、図１に示す拘束部材２７の第１板状部材２８および第２板状部材２９を外した状態のアクチュエータ１の分解斜視図である。

図１に示すように、本形態のアクチュエータ１は、略直方体形状を有しており、フレキシブル配線基板９を介して外部から給電される。図１、図２、図３、および図４に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、可動体３と、支持体２と可動体３との間に配置された弾性部材４（第１弾性部材４１、および第２弾性部材４２）とを有しており、可動体３は、弾性部材４を介して第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動可能に支持体２に支持されている。アクチュエータ１は、可動体３を支持体２に対して振動させる駆動回路を有している。本形態において、駆動回路は、可動体３を支持体２に対して第２方向Ｘに駆動して振動させる第１磁気駆動回路６と、可動体３を支持体２に対して第３方向Ｙに駆動して振動させる第２磁気駆動回路７とからなる。従って、可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに振動させることができるので、アクチュエータ１に触れた使用者に第２方向Ｘの振動、第３方向Ｙの振動、第２方向Ｘの振動と第３方向Ｙの振動とを組み合わせた振動を体感させることができる。

支持体２は、第１方向Ｚに重ねて配置された複数の部材と、複数の部材を第１方向Ｚの両側から拘束する拘束部材２７を有している。第１方向Ｚの一方側Ｚ１で拘束部材２７と可動体３とが対向する部分には、弾性または粘弾性を備えた第１弾性部材４１（弾性部材４）が配置されており、第１弾性部材４１は、拘束部材２７および可動体３に接している
。また、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で拘束部材２７と可動体３とが対向する部分に、弾性および粘弾性を備えた第２弾性部材４２（弾性部材４）が配置されており、第２弾性部材４２は、拘束部材２７および可動体３に接している。弾性部材４（第１弾性部材４１および第２弾性部材４２）はいずれも、第１方向Ｚで圧縮された状態にある。

本形態において、弾性部材４は、粘弾性を備えた粘弾性体であり、本形態では、弾性部材４（粘弾性体）として板状のゲル状部材が用いられている。第１弾性部材４１は、第１方向Ｚの両面が各々、可動体３および拘束部材２７に接着等の方法で接続されている場合がある。また、第２弾性部材４２は、第１方向Ｚの両面が各々、可動体３および拘束部材２７に接着等の方法で接続されている場合がある。

ゲル状ダンパー部材は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、板状のゲル状ダンパー部材は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい伸縮特性を備える。また、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合も、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つ。本形態において、可動体３が第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに振動した際、弾性部材４（粘弾性体）は、せん断方向に変形するように構成されている。従って、弾性部材４は、線形性が高い範囲で変形するので、リニアリティが良好な振動特性を得ることができる。

複数の磁気駆動回路（第１磁気駆動回路６および第２磁気駆動回路７）はいずれも、コイルと、コイルの各々に第１方向Ｚで対向する磁石とを有している。コイルは、支持体２および可動体３の一方側部材に設けられ、磁石は、他方側部材に設けられる。本形態では、以下に説明するように、コイル（第１コイル６１および第２コイル７１）、およびコイルホルダ（第１コイルホル６５および第２コイルホルダ７５）が支持体２に設けられている。また、磁石（第１磁石６２１、６２２、および第２磁石７２１、７２２）、およびヨーク（第１ヨーク６４、第２ヨーク７４、および第３ヨーク８４）が可動体３に設けられている。

ここで、第１磁気駆動回路６は、第２磁気駆動回路７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で重ねて配置されている。従って、アクチュエータ１を第１方向Ｚからみたときのサイズ（平面積）が小さい。それ故、本形態のアクチュエータ１は、手に持つコントローラ等の機器に搭載するのに適している。

（第１磁気駆動回路６および第２磁気駆動回路７の概略構成）
図２および図３に示すように、第１磁気駆動回路６と第２磁気駆動回路７とは基本的な構成が同一であって、２つの磁気駆動回路を第１方向Ｚにおいて対称、かつ、第１方向Ｚに延在する中心軸線を中心に９０°回転させて構成になっている。より具体的には、第１磁気駆動回路６は、第１コイル６１と、第１コイル６１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向
する第１磁石６２１と、第１コイル６１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する第１磁石６２２とを有している。これに対して、第２磁気駆動回路７は、第２コイル７１と、第２コイル７１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する第２磁石７２１と、第２コイル７１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する第２磁石７２２とを有しており、第２磁気駆動回路７（第２コイル７１、および第２磁石７２１、７２２）は、第１磁気駆動回路６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で重なる位置に設けられている。

このように構成した第１磁気駆動回路６、および第２磁気駆動回路７を第１方向Ｚに重ねて配置するために、支持体２は、第１コイル６１を保持する第１コイルホルダ６５と、第２コイル７１を保持する第２コイルホルダ７５と有しており、第１コイルホルダ６５、
および第２コイルホルダ７５は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねて配置されている。また、第１コイルホルダ６５、および第２コイルホルダ７５は連結されている。

可動体３は、第１コイル６１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１、第１コイル６１と第２コイル７１との間、および第２コイル７１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された複数のヨーク（第１ヨーク６４、第２ヨーク７４、および第３ヨーク８４）を備えており、第１磁石６２１、６２２、および第２磁石７２１、７２２は各々、複数のヨークのいずれかに保持されている。本形態において、複数のヨークには、第１コイル６１に対して第１方向Ｚに一方側Ｚ１に配置された第１ヨーク６４と、第２コイル７１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された第２ヨーク７４と、第１コイル６１と第２コイル７１との間に配置された第３ヨーク８４とが含まれている。第１ヨーク６４および第３ヨーク８４において第１コイル６１と対向する面には、第１磁石６２１、６２２が保持されている。第２ヨーク７４および第３ヨーク８４において第２コイル６２と対向する面には、第２磁石７２１、７２２が保持されている。

（第１磁気駆動回路６の詳細構成）
図５は、図１に示すアクチュエータ１に用いた駆動回路を分解した様子を第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみたときの分解斜視図である。図６は、図１に示すアクチュエータ１に用いた駆動回路を分解した様子を第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみたときの分解斜視図である。図７は、図２および図３に示す第１磁気駆動回路６の分解斜視図である。

図２、図３、図５、図６および図７に示すように、第１コイルホルダ６５は、第１コイル６１を内側に保持する第１枠部６６と、第１枠部６６に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置された第１補強枠６７と、第１枠部６６の端部と第１補強枠６７の端部とを繋ぐ複数の第１柱状部６９とを備えている。本形態において、第１枠部６６および第１補強枠６７を第１方向Ｚからみたときの外形は四角形であり、４つの角の各々に第１柱状部６９が設けられている。第１柱状部６９は、第１枠部６６から第２コイルホルダ７５に向けて突出している。第１コイルホルダ６５は、樹脂製あるいは金属製である。本形態において、第１コイルホルダ６５は樹脂製である。

第１磁気駆動回路６に用いた第１コイル６１は、第３方向Ｙに延在する第１有効辺部分６１１、６１２（長辺部分）を有する長円形状の空芯コイルである。かかる形状に対応して、第１コイルホルダ６５の第１枠部６６には、第３方向Ｙに長径方向を向けた長円形状の第１開口部６６０が形成されており、第１開口部６６０の内側に第１コイル６１が接着等により固定される。

第１コイルホルダ６５において、第１枠部６６に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１には、第１開口部６６０の第３方向Ｙの両端部と重なる位置に、第１コイル６１の両端部で第２方向Ｘに延在する第１無効辺部分６１３、６１４（短辺部分）を第１方向Ｚの一方側Ｚ１で支持する第１座部６６１、６６２が形成されている。第１座部６６１、６６２は、第１枠部６６から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出し、第１開口部６６０の第３方向Ｙの両端部で第１方向Ｚの一方側Ｚ１の底部を構成している。第１枠部６６の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面には、第１開口部６６０に第３方向Ｙの一方側Ｙ１で隣接する位置に凹部６６５が形成されており、かかる凹部６６５は、第１コイル６１を構成するコイル線の巻き始めの引き出し部分、および巻き終わりの引き出し部分を通すためのガイド部分である。第１枠部６６の厚さ（第１方向Ｚの寸法）は、第１コイル６１の厚さ（第１方向Ｚの寸法）より大である。このため、第１開口部６６０の内側に第１コイル６１が収容された状態で、第１コイル６１は、第１枠部６６から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出していない。第１コイルホルダ６５において、第１枠部６６の外面には、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に突出した凸
部６６６が形成されている。

第１磁石６２１、６２２は各々、長方形の平面形状を有しており、第２方向Ｘに長辺が延在し、第３方向Ｙに短辺が延在している。第１磁石６２１、６２２は各々、第２方向Ｘに分極着磁されており、Ｎ極およびＳ極が各々、第１コイル６１の第１有効辺部分６１１、６１２に対向している。従って、第１コイル６１に通電すると、第１磁気駆動回路６は、可動体３を第２方向Ｘに駆動する駆動力を発生させる。

第１磁気駆動回路６において、第３ヨーク８４は平板状であり、第１磁石６２２を第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面で保持する板部８４０を有している。第１ヨーク６４は、第１磁石６２１を第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面で保持する平板状の磁石保持部６４０と、磁石保持部６４０の第２方向Ｘの両端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がった板状部分からなる一対の第１連結部６４１、６４２とを有しており、第１連結部６４１、６４２は各々、第３ヨーク８４と連結されている。第１連結部６４１、６４２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部には凹部６４１ａ、６４２ａが形成されており、第３ヨーク８４の板部８４０の第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２の端部には、凹部６４１ａ、６４２ａに嵌る凸部８４１、８４２が形成されている。本形態において、第１ヨーク６４の第１連結部６４１、６４２と第３ヨーク８４とは溶接やカシメ等によって連結されている。

第１ヨーク６４は、磁石保持部６４０の第３方向Ｙの両端部から第３方向Ｙの一方側Ｙ１および他方側Ｙ２に突出した板部６４３、６４４を有しており、板部６４３、６４４には貫通穴６４３ａ、６４４ａが形成されている。

このように構成した第１磁気駆動回路６において、第１ヨーク６４のうち、第１コイル６１と対向する磁石保持部６４０、および第１磁石６２１は、第１方向Ｚにおいて第１コイルホルダ６５の第１枠部６６と第１補強枠６７との間に配置され、第１連結部６４１、６４２は、第１枠部６６と第１補強枠６７との間から第３ヨーク８４に向けて突出している。かかる態様によれば、第１コイルホルダ６５の第１枠部６６と第１補強枠６７との間の空きスペースを利用して第１ヨーク６４を配置しているため、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。

（第２磁気駆動回路７の構成）
図８は、図２および図３に示す第２磁気駆動回路７の分解斜視図である。図２、図３、図５、図６および図８に示すように、第２コイルホルダ７５は、第２コイル７１を内側に保持する第２枠部７６と、第２枠部７６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された第２補強枠７７と、第２枠部７６の端部と第２補強枠７７の端部とを繋ぐ複数の第２柱状部７９とを備えている。本形態において、第２枠部７６および第２補強枠７７を第１方向Ｚからみたときの外形は四角形であり、４つの角の各々に第２柱状部７９が設けられている。第２柱状部７９は、第２枠部７６から第１コイルホルダ６５に向けて突出し、第１コイルホルダ６５の第１柱状部６９と先端面同士が当接している。従って、第１コイルホルダ６５と第２コイルホルダ７５との間（第１コイル６１と第２コイル７１）との間に適正な間隔を確保することができる。第２コイルホルダ７５は、樹脂製あるいは金属製である。本形態において、第２コイルホルダ７５は樹脂製である。

第２磁気駆動回路７に用いた第２コイル７１は、第２方向Ｘに延在する第２有効辺部分７１１、７１２（長辺部分）を有する長円形状の空芯コイルである。かかる形状に対応して、第２コイルホルダ７５の第２枠部７６には、第２方向Ｘに長径方向を向けた長円形状の第２開口部７６０が形成されており、第２開口部７６０の内側に第２コイル７１が接着等により固定される。

第２コイルホルダ７５において、第２枠部７６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２には、第２開口部７６０の第２方向Ｘの両端部と重なる位置に、第２コイル７１の両端部で第３方向Ｙに延在する第２無効辺部分７１３、７１４（短辺部分）を第１方向Ｚの他方側Ｚ２で支持する第２座部７６１、７６２が形成されている。第２座部７６１、７６２は、第２枠部７６から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出し、第２開口部７６０の第２方向Ｘの両端部で第１方向Ｚの他方側Ｚ２の底部を構成している。第２枠部７６の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面には、第２開口部７６０に第２方向Ｘの一方側Ｘ１で隣接する位置に凹部７６５が形成されており、かかる凹部７６５は、第２コイル７１を構成するコイル線の巻き始めの引き出し部分、および巻き終わりの引き出し部分を通すためのガイド部分である。第２枠部７６の厚さ（第１方向Ｚの寸法）は、第２コイル７１の厚さ（第１方向Ｚの寸法）より大である。このため、第２開口部７６０の内側に第２コイル７１が収容された状態で、第２コイル７１は、第２枠部７６から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出していない。第２コイルホルダ７５において、第２枠部７６の外面には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に突出した凸部７６６が形成されている。

第２磁石７２１、７２２は各々、長方形の平面形状を有しており、第３方向Ｙに長辺が延在し、第２方向Ｘに短辺が延在している。第２磁石７２１、７２２は各々、第３方向Ｙに分極着磁されており、Ｎ極およびＳ極が各々、第２コイル６２の第２有効辺部分７１１、７１２に対向している。従って、第２コイル７１に通電すると、第２磁気駆動回路７は、可動体３を第３方向Ｙに駆動する駆動力を発生させる。

第２磁気駆動回路７においては、第３ヨーク８４を第１磁気駆動回路６と共通に用いられており、第３ヨーク８４の板部８４０は、第２磁石７２２を第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面で保持している。従って、すなわち、第１コイル６１の第１方向Ｚの両側、および第２コイル７１の第１方向Ｚの両側にヨークが重ねて配置されているが、第１コイル６１と第２コイル７１との間には、１枚のヨーク（第３ヨーク８４）が配置されている。このため、アクチュエータ１の厚さ寸法（第１方向Ｚの寸法）の増大を抑制することができる。

ここで、第３ヨーク８４は、他のヨーク（第１ヨーク６４および第２ヨーク７４）より第１方向Ｚの厚さが厚い。従って、第３ヨーク８４を第１磁気駆動回路６および第２磁気駆動回路７において共通のヨークとして用いても、磁気飽和等が発生しにくい。

第２ヨーク７４は、第２磁石７２１を第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面で保持する平板状の磁石保持部７４０と、磁石保持部７４０の第３方向Ｙの両端部から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に折れ曲がった板状部分からなる一対の第２連結部７４１、７４２とを有しており、第２連結部７４１、７４２は各々、第３ヨーク８４と連結されている。第２連結部７４１、７４２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部には凹部７４１ａ、７４２ａが形成されており、第３ヨーク８４の板部８４０の第３方向Ｙの一方側Ｙ１および他方側Ｙ２の端部には、凹部７４１ａ、７４２ａに嵌る凸部８４３、８４４が形成されている。本形態において、第２ヨーク７４の第２連結部７４１、７４２と第３ヨーク８４とは溶接やカシメ等によって連結されている。

第２ヨーク７４は、磁石保持部６４０の第２方向Ｘの両端部から第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２に突出した板部７４３、７４４を有しており、板部７４３、７４４には貫通穴７４３ａ、７４４ａが形成されている。

このように構成した第２磁気駆動回路７において、第２ヨーク７４のうち、第２コイル７１と対向する磁石保持部７４０、および第２磁石７２１は、第１方向Ｚにおいて第２コイルホルダ７５の第２枠部７６と第２補強枠７７との間に配置され、第２連結部７４１、７４２は、第２枠部７６と第２補強枠７７との間から第３ヨーク８４に向けて突出している。かかる態様によれば、第２コイルホルダ７５の第２枠部７６と第２補強枠７７との間の空きスペースを利用して第２ヨーク７４を配置しているため、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。

このように、第１ヨーク６４および第２ヨーク７４は、第３ヨーク８４を介して連結されているため、複数のヨーク（第１ヨーク６４、第２ヨーク７４、および第３ヨーク８４）を一体のヨークとして可動体３に用いることができる。また、第１ヨーク６４と第３ヨーク８４とは、第１コイル６１に対する第２方向Ｘの両側の各々を通って第１連結部を介して連結され、第１連結部は、第１コイル６１において無効辺部分が延在する方向（第２方向）の両側に位置する。また、第２ヨーク７４と第３ヨーク８４とは、第２コイル７１に対する第３方向Ｙの両側の各々を通って第２連結部を介して連結され、第２連結部は、第２コイル７１において無効辺部分が延在する方向（第２方向）の両側に位置する。従って、空きスペースを利用して第１連結部および第２連結部を配置することができるので、アクチュエータの小型化を図ることができる。

（第１コイルホルダ６５と第２コイルホルダ７５と連結構造）
図５および図６に示すように、第１コイルホルダ６５および第２コイルホルダ７５には、第１方向Ｚで互いに対向する部分で開口する有底の複数の穴６９０、７９０が形成されており、第１コイルホルダ６５と第２コイルホルダ７５とは、複数の穴６９０、７９０の各々に嵌るピンによって位置決めされている。本形態では、第１コイルホルダ６５の複数の第１柱状部６９と第２コイルホルダ７５の複数の第２柱状部７９は各々、先端面同士が当接する。従って、複数の第１柱状部６９と複数の第２柱状部７９のうち、互いに当接する２組以上の第１柱状部６９および第２柱状部７９の各々に穴６９０、７９０が形成されている。本形態では、第１コイルホルダ６５の４つの第１柱状部６９、および４つの第２柱状部７９のうち、第２方向Ｘの一方側Ｘかつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第１柱状部６９および第２柱状部７９を除く３組の第１柱状部６９および第２柱状部７９の各々に穴６９０、７９０が形成されており、穴６９０、７９０にピン２０が嵌っている。本形態において、ピン２０は金属製の丸棒からなる。

かかる構成によれば、第１方向Ｚに対して直交する方向からの衝撃に対する第１コイルホルダ６５と第２コイルホルダ７５との繋ぎ目の強度を高めることができる。また、本形態では、第１コイルホルダ６５の第１柱状部６９、および第２コイルホルダ７５の第２柱状部７９に穴６９０、７９０が形成されているため、穴６９０、７９０を深く形成することができる。従って、第１コイルホルダ６５と第２コイルホルダ７５との繋ぎ目の強度を高めることができる。

ここで、ピン２０は、穴６９０、７９０に嵌っているだけの状態、あるいは穴６９０、７９０の内部に接着された状態のいずれであってもよい。また、第１柱状部６９および第２柱状部７９は、先端部同士が当接しているだけの状態、あるいは接着されている状態のいずれであってもよい。いずれの場合も、第１コイルホルダ６５と第２コイルホルダ７５とは第１方向Ｚで重なった状態で、拘束部材２７によって第１方向Ｚの両側から拘束される。

（拘束部材２７および弾性部材４の詳細構成）
図４に示すように、拘束部材２７は、第１コイルホルダ６５に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なる第１端板部２８１を備えた第１板状部材２８と、第２コイルホルダ７５に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２端板部２９１を備えた第２板状部材２９とからなる。第１端板部２８１には、第３方向Ｙで離間する２つの貫通穴２８６、２８７と、第２方向Ｘで離間する２つの貫通穴２８８、２８９とが形成されており、貫通穴２８６、２８７は、第１ヨーク６４に形成した貫通穴６４３ａ、６４４ａと重なっている。第２端板部２９
１には、第２方向Ｘで離間する２つの貫通穴２９６、２９７と、第３方向Ｙで離間する２つの貫通穴２９８、２９９とが形成されており、貫通穴２９６、２９７は、第２ヨーク７４に形成した貫通穴７４３ａ、７４４ａと重なっている。本形態において、第１板状部材２８および第２板状部材２９はいずれも、金属板からなる。

第１板状部材２８は、第１端板部２８１の第３方向Ｙの両端から第１方向Ｚの他方側Ｚ２（第２弾性部材４２が位置する側）に折れ曲がって、第２板状部材２９の第２端板部２９１に溶接等により結合された２つの第１側板部２８２を備えている。第２板状部材２９は、第２端板部２９１の第２方向Ｘの両端から第１方向Ｚの一方側Ｚ１（第１弾性部材４１が位置する側）に折れ曲がって、第１板状部材２８の第１端板部２８１に溶接等により結合された２つの第２側板部２９２を備えている。

この状態で、第１コイルホルダ６５と第２コイルホルダ７５とは第１方向Ｚで重なった状態で、拘束部材２７によって第１方向Ｚの両側から押圧された状態で拘束されている。ここで、第１端板部２８１は、可動体３の第１ヨーク６４と第１方向Ｚで対向していることから、第１端板部２８１と第１ヨーク６４との間には、第１弾性部材４１が第１方向Ｚで圧縮された状態で配置されている。また、第２端板部２９１は、可動体３の第２ヨーク７４と第１方向Ｚで対向していることから、第２端板部２９１と第２ヨーク７４との間には、第２弾性部材４２が第１方向Ｚで圧縮された状態で配置されている。

かかる態様によれば、支持体２において第１方向Ｚに重ねて配置され複数の部材（第１コイルホルダ６５および第２コイルホルダ７５）は、拘束部材２７によって第１方向Ｚの両側から拘束されているため、支持体２の第１方向Ｚの寸法が安定する。また、拘束部材２７と可動体３との間に第１弾性部材４１および第２弾性部材４２が配置されているため、第１弾性部材４１および第２弾性部材４２の第１方向Ｚの寸法が安定する。従って、第１弾性部材４１および第２弾性部材４２が適正な状態に配置される。また、第１弾性部材４１および第２弾性部材４２は各々、第１方向Ｚで圧縮された状態で配置されているため、第１弾性部材４１および第２弾性部材４２が可動体３および拘束部材２７の双方に接するように確実に配置することができる。

なお、第１弾性部材４１については、第１方向Ｚの両面が各々、第１端板部２８１および第１ヨーク６４に接着剤によって固定された状態で第１端板部２８１および第１ヨーク６４に接している態様、および第１端板部２８１および第１ヨーク６４に接着されずに第１端板部２８１および第１ヨーク６４に接している態様のいずれを採用してもよい。また、第２弾性部材４２についても、第１弾性部材４１と同様、第１方向Ｚの両面が各々、第２端板部２９１および第２ヨーク７４に接着されて接している態様、および第２端板部２９１および第２ヨーク７４に接着されずに接している態様のいずれを採用してもよい。

（フレキシブル配線基板９の構成）
図１および図２に示すように、可動体３には、フレキシブル配線基板９が固定されている。本形態において、フレキシブル配線基板９は、図７および図８に示す第１コイル６１および第２コイル７１より第３方向Ｙの一方側Ｙ１に設けられた第１部分９１と、第１部分９１から第３方向Ｙの他方側Ｙ２に屈曲した屈曲部９０と、屈曲部９０から延在して第１コイル６１および第２コイル７１より第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第２部分９２とを有している。第１部分９１および第２部分９２のうちの一方には、第１コイル６１を構成するコイル線が接続された第１端子９６が設けられ、第１部分９１および第２部分９２のうちの他方には、第２コイル７１を構成するコイル線が接続された第２端子９７が設けられ、第２部分９２には外部接続用の複数の第３端子９８が設けられている。

本形態では、図７に示す第１コイル６１では、コイル線の端部が、第１有効辺部分６１
１、６１２が延在する第３方向Ｙの一方側Ｙ１に向けて第１コイルホルダ６５の凹部６６５を介して引き出されている。また、図８に示す第２コイル７１では、コイル線の端部が、第２有効辺部分７１１、７１２が延在する第２方向Ｘの一方側Ｘ１に向けて第２コイルホルダ７５の凹部７６５を介して引き出されている。従って、本形態では、第１部分９１に第１端子９６が設けられ、第２部分９２に第２端子９７が設けられている。

ここで、第１部分９１は、第１方向Ｚのうち、第１コイル６１に第３方向Ｙの一方側Ｙ１で隣り合う位置で第２方向Ｘに帯状に延在した形状を有しており、第１部分９１では、第１端子９６が第２方向Ｘに沿って複数設けられている。第１部分９１には、第１コイルホルダ６５の凸部６６６が嵌った穴９１６が形成されている。

第２部分９２は、屈曲部９０から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に延在する第３部分９３と、第３部分９３から延在して、第１方向Ｚのうち、第２コイル７１に第２方向Ｘの一方側Ｘ１で隣り合う位置で第３方向Ｙに帯状に延在する第４部分９４とを有しており、第４部分９４では、第２端子９７が第３方向Ｙに沿って複数設けられている。

フレキシブル配線基板９では、第１部分９１が第１コイルホルダ６５の外側の面に接着等の方法で固定され、第４部分９４が第２コイルホルダ７５の外側の面に接着等の方向で固定されている。また、第３部分９３は、第１コイルホルダ６５の第１柱状部６９の外面、および第２コイルホルダ７５の第２柱状部７９の外面に跨るように接着等の方法で固定されている。従って、アクチュエータ１には、フレキシブル配線基板９を固定する部材を別途、設ける必要がない。

第３部分９３では、第３端子９８は第１方向Ｚに配列されており、第３端子９８は、拘束部材２７から露出している。従って、第３端子９８に対して、フレキシブル配線基板やリード線等の給電用の配線部材を接続することができる。

第４部分９４には、第２コイルホルダ７５の凸部７６６が嵌った穴９４６が形成されている。ここで、穴９１６、９４６のうち、一方は円形状であり、他方な長円形状である。従って、フレキシブル配線基板９は、フレキシブル配線基板９の延在方向（第２方向Ｘまたは第３方向Ｙ）において長円の長さ分だけ、調整可能である。本形態では、穴９１６が長円形状であり、穴９４６は、円形状である。

（磁気駆動回路の磁気的中心と可動体３の重心との位置関係）
このように構成したアクチュエータ１において、第１コイル６１、第２コイル７１、第１コイルホルダ６５、および第２コイルホルダ７５は、可動体３の第２方向Ｘの中心を通って第３方向Ｙに延在する仮想線の中心とする線対称、かつ、第３方向Ｙの中心を通って第２方向Ｘに延在する仮想線の中心とする線対称に構成されている。また、第１磁石６２１、６２２、第２磁石７２１、７２２、第１ヨーク６４、および第２ヨーク７４は、可動体３の第２方向Ｘの中心を通って第３方向Ｙに延在する仮想線の中心とする線対称、かつ、第３方向Ｙの中心を通って第２方向Ｘに延在する仮想線の中心とする線対称に構成されている。

従って、第１磁気駆動回路６の磁気的中心位置（駆動中心）は、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙにおいて可動体３の重心と一致する位置、またはほぼ一致する位置にある。また、第２磁気駆動回路７の磁気的中心位置（駆動中心）は、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙにおいて可動体３の重心と一致する位置、またはほぼ一致する位置にある。

（基本動作）
本形態のアクチュエータ１において、第１コイル６１に交流を印加する一方、第２コイ
ル７１への通電を停止すると、可動体３は、第２方向Ｘに振動するため、アクチュエータ１における重心が第２方向Ｘに変動する。このため、利用者は、第２方向Ｘの振動を体感することができる。その際、第１コイル６１に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。また、第２コイル７１に交流を印加する一方、第１コイル６１への通電を停止する。その結果、可動体３は、第３方向Ｙに振動するため、アクチュエータ１における重心が第３方向Ｙに変動する。このため、利用者は、第３方向Ｙの振動を体感することができる。その際、第２コイル７１に印加する交流波形を調整して、可動体３が第３方向Ｙの一方側Ｙ１に移動する加速度と、可動体３が第３方向の他方側Ｙ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第３方向Ｙにおいて方向性を有する振動を体感することができる。

また、第１コイル６１と第２コイル７１への通電とを組み合わせれば、利用者は、第２方向Ｘでの振動と第３方向Ｙでの振動とを組み合わせた体感を得ることができる。

（ストッパ機構）
本形態のアクチュエータ１では、可動体３が支持体２に対して過度に移動した際、強度の弱い個所が当接しないように、図２および図３に示すストッパ機構が設けられている。より具体的には、図３に示すように、第１磁石６２１に対して第３方向Ｙの一方側Ｙ１で所定の間隔を介して対向する位置には、第１コイルホルダ６５の第１座部６６１が位置し、第１磁石６２１に対して第３方向Ｙの他方側Ｙ２で所定の間隔を介して対向する位置には、第１コイルホルダ６５の第１座部６６２が位置している。従って、第２磁気駆動回路７によって可動体３を第３方向Ｙに駆動した際の可動体３の第３方向Ｙへの可動範囲は、第１磁気駆動回路６の第１磁石６２１と第１コイルホルダ６５の第１座部６６１、６６２（第１ストッパ部６８３、６８４）とによって構成された第１ストッパ機構によって規制されている。

また、図２に示すように、第２磁気駆動回路７の第２磁石７２１に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１で所定の間隔を介して対向する位置には、第２コイルホルダ７５の第２座部７８１が位置し、第２磁石７２１に対して第２方向Ｘの他方側Ｘ２で所定の間隔を介して対向する位置には、第２コイルホルダ７５の第２座部７６２が位置している。従って、第１磁気駆動回路６によって可動体３を第２方向Ｘに駆動した際の可動範囲は、第２磁気駆動回路７の第１磁石７２１と第２コイルホルダ７５の第２座部７６１、７６２（第２ストッパ部７８３、７８４）とよって構成された第２ストッパ機構によって規制されている。

このように、第１コイル６１を支持する第１コイルホルダ６５の第１座部６６１、６６２を利用して第１ストッパ機構を構成し、第２コイル７１を支持する第２コイルホルダ７５の第２座部７６１、７６２を利用して第２ストッパ機構を構成している。このため、第
１コイルホルダ６５、および第２コイルホルダ７５に第１座部６６１、６６２、および第２座部７６１、７６２とは別の凸部（ストッパ部）を設ける必要がない。それ故、第１コイルホルダ６５、および第２コイルホルダ７５の構成を簡素化することができる。

（アクチュエータ１の製造方法）
図９は、本発明を適用したアクチュエータ１の製造に用いた治具１００の説明図である。図１０は、図９に示す治具１００によって拘束部材２７の第１板状部材２８を位置決めした様子を示す説明図である。図１１は、図９に示す治具１００によって第１板状部材２８に対して第１ヨーク６４を位置決めした様子を示す説明図である。

アクチュエータ１を製造する際、図９に示すように、板状の支持部材１５０から第１方
向Ｚに突出した複数の第１位置決めピン１１０、および支持部材１５０から複数の第１位置決めピン１１０より第１方向Ｚに突出した複数の第２位置決めピン１２０を有する治具１００を準備しておく。本形態において、治具１００には、第２方向Ｘに離間する２つの第１位置決めピン１１０が設けられ、第３方向Ｙに離間する２つの第２位置決めピン１２０が設けられている。

ここで、第２位置決めピン１２０は、支持部材１５０から第１方向Ｚに突出した大径部１２１と、大径部１２１より小さい外径をもって大径部１２１の先端部から突出した小径部１２２とを備えている。

一方、支持体２において最も第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する拘束部材２７の第１板状部材２８には、第１端板部２８１に、計４つの貫通穴２８６、２８７、２８８、２８９（第１貫通穴）を設けておく。４つの貫通穴２８６、２８７、２８８、２８９のうち、第２方向Ｘに離間する２つの貫通穴２８８、２８９の内径は、第１位置決めピン１１０の外径よりわずかに大であり、第３方向Ｙに離間する２つの貫通穴２８６、２８７の内径は、第２位置決めピン１２０の大径部１２１の外径よりわずかに大である。

また、可動体３において最も第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１ヨーク６４には第３方向Ｙで離間する２つの貫通穴６４３ａ、６４４ａ（第２貫通穴）を設けておく。貫通穴６４３ａ、６４４ａの内径は、第２位置決めピン１２０の小径部１２２よりわずかに大きく、大径部１２１の外径より小である。また、第１ヨーク６４には第１磁石６２１を固定しておく。

治具１００を用いてアクチュエータ１を組み立てる際には、まず、図１０に示すように、第１工程では、第１板状部材２８の貫通穴２８８、２８９に第１位置決めピン１１０を通し、貫通穴２８６、２８７に第２位置決めピン１２０を通す。その結果、第１板状部材２８は、治具１００に当接して位置決めされる。

次に、図１１に示すように、第１板状部材２８の第１端板部２８１に第１弾性部材４１を重ねた後、第１ヨーク６４の貫通穴６４３ａ、６４４ａに第２位置決めピン１２０を通す。その結果、第１位置決めピン１１０は、第１ヨーク６４に当接する。また、第２位置決めピン１２０の大径部１２１と小径部１２２との間の段部１２３が第１ヨーク６４に当接し、小径部１２２が第１ヨーク６４から突出する。

その後、第１板状部材２８および第１ヨーク６４を基準に支持体２および可動体３を完成させる。かかる方法によれば、第１板状部材２８と第１ヨーク６４とは、第２方向Ｘ、第３方向Ｙ、および第１方向Ｚにおいて適正に位置決めされるため、第１板状部材２８および第１ヨーク６４を基準に支持体２および可動体３を完成させた状態で、アクチュエータ１を構成する各部材が第２方向Ｘ、第３方向Ｙ、および第１方向Ｚにおいて適正に位置決めされる。

［他の実施の形態］
上記実施の形態では、弾性部材４としてゲル状ダンパー部材を用いたが、ゴムやバネ等を弾性部材４として用いてもよい。

上記実施の形態では、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に向かって、第１ヨーク６４、第１磁石６２１、第１コイル６１、第１磁石６２２、第３ヨーク８４、第２磁石７２１、第２コイル７１、第２磁石７２２、および第２ヨーク７４が順に配置されていた。但し、第１磁気駆動回路６および第２磁気駆動回路７の各々に磁石が１つずつ用いられている場合に本発明を適用してもよい。例えば、第１ヨーク６４、第１コイル６１、第１磁
石６２２、第３ヨーク８４、第２磁石７２１、第２コイル７１、および第２ヨーク７４が順に配置されたアクチュエータ１に本発明を適用してもよい。また、第１ヨーク６４、第１磁石６２１、第１コイル６１、第３ヨーク８４、第２コイル７１、第２磁石７２２、および第２ヨーク７４が順に配置されたアクチュエータ１に本発明を適用してもよい。

上記実施の形態では、コイルおよびコイルホルダが支持体２に設けられ、磁石およびヨークが可動体３に設けられていたが、コイルおよびコイルホルダが可動体３に設けられ、磁石およびヨークが支持体２に設けられている場合に本発明を適用してもよい。

１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、４…弾性部材、６…第１磁気駆動回路、７…第２磁気駆動回路、２７…拘束部材、２８…第１板状部材、２９…第２板状部材、４１…第１弾性部材、４２…第２弾性部材、６１…第１コイル、６４…第１ヨーク、６５…第１コイルホルダ、７１…第２コイル、７４…第２ヨーク、７５…第２コイルホルダ、８４…第３ヨーク、６１１、６１２…第１有効辺部分、６２１、６２２…第１磁石、７１１、７１２…第２有効辺部分、７２１、７２２…第２磁石、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向

Claims (8)

1. 支持体と、
   弾性または粘弾性を備えた弾性部材を介して前記支持体に支持され、前記支持体に対して移動可能な可動体と、
   第１方向で対向する第１コイルおよび第１磁石を備え、前記可動体を前記第１方向に対して直交する第２方向に駆動する第１磁気駆動回路と、
   前記第１磁気駆動回路に対して前記第１方向で重なる位置に前記第１方向で対向する第２コイルおよび第２磁石を備え、前記可動体を前記第１方向と直交し、前記第２方向に交差する第３方向に駆動する第２磁気駆動回路と、を有し、
   前記第１磁石および前記第２磁石は、前記支持体および前記可動体の一方側部材に設けられ、
   前記第１コイルおよび前記第２コイルは、前記支持体および前記可動体の他方側部材に設けられ、
   前記一方側部材は、
   前記第１コイルに対して前記第２コイルとは反対側に配置された第１ヨークと、
   前記第２コイルに対して前記第１コイルとは反対側に配置された第２ヨークと、
   前記第１コイルと前記第２コイルとの間に配置された第３ヨークと、
   を有し、
   前記第１ヨークの前記第１コイル側の面、および前記第３ヨークの前記第１コイル側の面の少なくとも一方に前記第１磁石が保持され、
   前記第２ヨークの前記第２コイル側の面、および前記第３ヨークの前記第２コイル側の面の少なくとも一方に前記第２磁石が保持され、
   前記第３ヨークは、前記第１ヨークおよび前記第２ヨークより前記第１方向の厚さが厚く、
   前記第１磁石は、前記第１コイルの前記第３方向に延在する第１有効辺部分に前記第１方向で対向し、
   前記第２磁石は、前記第２コイルの前記第２方向に延在する第２有効辺部分に前記第１方向で対向しており、
   前記第１ヨークと前記第３ヨークとは、前記第１コイルに対する前記第２方向の一方側、および、前記第１コイルに対する前記第２方向の他方側を通って前記第１方向に延在する２つの第１連結部を介して連結され、
   前記第２ヨークと前記第３ヨークとは、前記第２コイルに対する前記第３方向の一方側、および、前記第２コイルに対する前記第３方向の他方側を通って前記第１方向に延在する２つの第２連結部を介して連結され、
   前記第１連結部は、前記第１ヨークにおいて前記第１コイルに前記第１方向で対向する部分から前記第３ヨークに向けて屈曲した板状部分によって構成され、
   前記第２連結部は、前記第２ヨークにおいて前記第２コイルに前記第１方向で対向する部分から前記第３ヨークに向けて屈曲した板状部分によって構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記他方側部材は、
   前記第１コイルを保持する第１コイルホルダと、
   前記第２コイルを保持する第２コイルホルダと、
   を有し、
   前記第１コイルホルダは、前記第１コイルを保持する第１枠部と、前記第１枠部に対して前記第２コイルホルダと反対側に設けられた第１補強枠と、前記第１方向に延在して前記第１枠部と前記第１補強枠とを連結する複数の第１柱状部と、を有し、
   前記第２コイルホルダは、前記第２コイルを保持する第２枠部と、前記第２枠部に対して前記第１コイルホルダとは反対側に設けられた第２補強枠と、前記第１方向に延在して前記第２枠部と前記第２補強枠とを連結する複数の第２柱状部と、を有し、
   前記第１ヨークにおいて前記第１コイルと対向する部分は、前記第１方向において前記第１枠部と前記第１補強枠との間に設けられ、
   前記第２ヨークにおいて前記第２コイルと対向する部分は、前記第１方向において前記第２枠部と前記第２補強枠との間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記第１ヨークの前記第１コイル側の面、および前記第３ヨークの前記第１コイル側の面の各々に前記第１磁石が保持され、
   前記第２ヨークの前記第２コイル側の面、および前記第３ヨークの前記第２コイル側の面の各々に前記第２磁石が保持されていることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。
4. 前記第１コイルおよび前記第２コイルは、前記支持体に設けられ、
   前記第１磁石、前記第２磁石、前記第１ヨーク、前記第２ヨーク、および前記第３ヨークは、前記可動体に設けられていることを特徴とする請求項１から３までの何れか一項に記載のアクチュエータ。
5. 前記弾性部材は、第１弾性部材および第２弾性部材を備え、
   前記支持体において前記可動体に前記第１コイルに対して前記第２コイルと反対側で対向する第１板状部材と前記可動体との間に、前記第１弾性部材が配置され、前記第１弾性部材は、前記可動体および前記第１板状部材に接しており、
   前記支持体において前記可動体に前記第２コイルに対して前記第１コイルと反対側で対向する第２板状部材と前記可動体との間に、前記第２弾性部材が配置され、前記第２弾性部材は、前記可動体および前記第２板状部材に接していることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
6. 前記第１ヨーク、前記第２ヨーク、および前記第３ヨークは、前記可動体に設けられ、
   前記第１板状部材と前記第１ヨークとの間に、前記第１弾性部材が配置され、前記第１弾性部材は、前記第１板状部材および前記第１ヨークに接しており、
   前記第２板状部材と前記第２ヨークとの間に、前記第２弾性部材が配置され、前記第２弾性部材は、前記第２板状部材および前記第２ヨークに接していることを特徴とする請求
   項５に記載のアクチュエータ。
7. 請求項６に記載のアクチュエータの製造方法において、
   支持部材から前記第１方向に突出した第１位置決めピン、および前記支持部材から前記第１位置決めピンより前記第１方向の先端側に突出した第２位置決めピンを有する治具を準備しておき、
   前記第１板状部材に前記第１位置決めピン、および前記第２位置決めピンが各々、貫通する複数の第１貫通穴を形成しておき、
   前記第１ヨークに前記第２位置決めピンが嵌る第２貫通穴を形成しておき、
   前記第１位置決めピン、および前記第２位置決めピンが各々、前記複数の第１貫通穴を貫通して前記第１板状部材が前記支持部材に当接した状態とする第１工程と、
   前記第１板状部材に対して前記第１弾性部材を配置した状態で、前記第１位置決めピンの先端部が前記第１ヨークに当接するとともに、前記第２位置決めピンが前記第２貫通穴を貫通した状態とすることにより、前記第１板状部材と前記第１ヨークとを、前記治具を介して前記第２方向、前記第３方向、および前記第１方向において位置決めする第２工程と、
   を行うことを特徴とするアクチュエータの製造方法。
8. 請求項５に記載のアクチュエータの製造方法において、
   支持部材から前記第１方向に突出した大径部、および前記大径部の先端部から突出した小径部を備えた位置決めピンを有する治具を準備しておき、
   前記第１板状部材に前記位置決めピンが貫通する第１貫通穴を形成しておき、
   前記第１ヨークに前記大径部より内径が小さく、前記小径部より内径が大きい第２貫通穴を形成しておき、
   前記位置決めピンが、前記第１貫通穴を貫通して前記第１板状部材が前記支持部材に当接した状態とする第１工程と、
   前記第１板状部材に対して前記第１弾性部材を配置した状態で、前記位置決めピンの前記大径部と前記小径部との間の段部が前記第１ヨークに当接し、前記位置決めピンの前記
   小径部が前記第２貫通穴を貫通した状態とすることにより、前記第１板状部材と前記第１ヨークとを、前記治具を介して前記第２方向、前記第３方向、および前記第１方向において位置決めする第２工程と、
   を行うことを特徴とするアクチュエータの製造方法。

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