Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP6848385B2 - 三次元形状計測装置 - Google Patents

三次元形状計測装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6848385B2
JP6848385B2 JP2016225090A JP2016225090A JP6848385B2 JP 6848385 B2 JP6848385 B2 JP 6848385B2 JP 2016225090 A JP2016225090 A JP 2016225090A JP 2016225090 A JP2016225090 A JP 2016225090A JP 6848385 B2 JP6848385 B2 JP 6848385B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
dimensional shape
measuring device
pattern
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016225090A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2018081048A (ja
Inventor
幸弘 辻村
幸弘 辻村
政臣 吉田
政臣 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp filed Critical Omron Corp
Priority to JP2016225090A priority Critical patent/JP6848385B2/ja
Priority to DE102017216552.9A priority patent/DE102017216552B4/de
Priority to CN201710860489.3A priority patent/CN108072335B/zh
Publication of JP2018081048A publication Critical patent/JP2018081048A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6848385B2 publication Critical patent/JP6848385B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2513Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object with several lines being projected in more than one direction, e.g. grids, patterns
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

本発明は、三次元形状の計測装置、特に計測対象の高さ情報を取得可能な三次元形状計測装置に関する。
従来から、画像を用いて物体の三次元形状を計測する技術として、計測対象にプロジェクタ等の投影手段から周期性を有するパターンを投影し、該パターンが投影された状態の計測対象をカメラ等の撮影手段により撮影して、撮影された二次元画像を用いて計測対象の立体的形状を求める、位相シフト法が知られている。具体的には、撮影された画像において計測対象表面の形状(凹凸など)に依存して生じるパターンの歪みを解析することで、計測対象の三次元形状を計測する。
ところで、上記の方法においては、検査対象の表面の形状に起因して、パターンが遮られて影が生じ、そのために立体的形状を計測できない場合があるという問題がある。
このような問題に対して、計測対象に対して異なる方向からパターンを投影するように複数の投影手段を配置し、影になる領域を減少させる技術が提示されている(例えば特許文献1、2)。
特開2015−1381号公報 特開2015−21763号公報
しかしながら、従来技術のように装置に投影手段を配置する方法では、影になる領域を十分に減少させるには多数の投影手段を配置する必要があり、これによって計測装置全体が大型化し、コストも増大してしまう。
また、多くの投影手段を配置しようとしても、投影手段同士の物理的な干渉を避けることはできず、全方位から計測対象にパターンを投影することができるだけの投影手段を配置することは不可能であるため、影が生じる領域を十分に減少させることはできない。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、パターンの投影によって物体の三次元形状の計測を行う際に、投影手段の数を増やさなくとも影となる領域が生じることを抑止できる技術を提供することにある。
前記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用する。
本発明に係る三次元形状計測装置は、計測対象に対してパターンを投影する投影手段と、前記パターンが投影された前記計測対象を撮影する撮影手段と、前記撮影手段により取得された画像を処理することで、検査対象の三次元形状を計測する計測手段と、前記投影手段を移動させる移動手段と、を有する構成とした。
このような構成により、所定の位置からのパターンの投影で影になる領域が生じた場合
であっても、当該影の領域にパターンが投影されるように投影手段を移動させることによって、当該領域にもパターンが投影された状態で計測対象を撮影することが可能になる。そのために、前記移動手段は、前記撮影手段が、前記計測手段が前記計測対象の三次元形状を計測することが可能なパターンを撮影し得る位置まで、前記投影手段を移動させるものであるとよい。
また、前記移動手段は、前記投影手段を、前記計測対象を内部に含んだ円周上において回転移動させるものであってもよい。このような構成であれば、特に前記計測対象が円の中心付近に位置する場合には、前記撮影手段と前記計測対象との距離の変動を抑えて前記撮影手段を移動させることが可能になる。このため、パターンの焦点を前記計測対象に概ね維持したまま前記計測対象に対するパターンの入射角を変えて影になっていた領域にもパターンを投影することが可能になる。
また、前記三次元形状計測装置は前記画像投影手段を複数有していてもよい。このような構成であると、同時に複数のパターンを前記計測対象に投影することが可能となり、より効率的に計測対象の三次元形状を計測することができる。
また、前記移動手段は、軸方向に開口する中空部を有する円筒状の回転機構であって、前記計測対象の上方に該開口が位置するように配置され、前記撮影手段は、前記計測対象に対して垂直な方向から、前記円筒状の回転機構の開口を通じて、前記計測対象を撮影するものであってもよい。このような構成であると、装置全体の小型化を図りつつ、前記計測対象を直上から撮影することが可能になる。
なお、本発明は、上記構成ないし機能の少なくとも一部を有する三次元形状計測装置として捉えることができる。また、本発明は、かかる三次元形状計測装置を備える検査装置や3次元スキャナや物体認識装置として捉えることもできる。
本発明によれば、パターンの投影によって物体の三次元形状の計測を行う際に、投影手段の数を増やさなくとも、影となる領域が生じることを抑止できる技術を提供することができる。
図1は本発明の第1の実施例に係る三次元形状計測装置のハードウェア構成を示す模式図である。 図2は本発明の第1の実施例に係る三次元形状計測装置の撮影手段、投影手段および移動手段と、計測対象物との配置関係を表す概略図である。 図3は移動手段の内部構造を表す概略図である。 図4は本発明の第1の実施例に係る三次元形状計測装置の計測手段の機能を示すブロック図である。 図5は本発明の第1の実施例に係る三次元形状計測処理の手順を示すフローチャートである。 図6は本発明の第1の実施例に係る三次元形状計測装置の第1の変形例を示す概略図である。 図7は本発明の第1の実施例に係る三次元形状計測装置の第2の変形例を示す概略図である。 図8は本発明の第2の実施例に係る基板外観検査装置を示す概略図である。 図9は移動手段および照明手段の内部構造を表す概略図である。 図10は本発明の第2の実施例に係る基板外観検査装置の主な機能を示すブロック図である。 図11は本発明の第2の実施例に係る基板外観検査装置の検査手順を示すフローチャートである。
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
<実施例1>
(三次元形状計測装置の構成)
まず、図1〜図3を用いて、本実施例に係る三次元形状計測装置1の構成例を説明する。図1は本実施例に係る三次元形状計測装置1のハードウェア構成を示す模式図、図2は第1の実施例に係る三次元形状計測装置の撮影手段、投影手段および移動手段と、計測対象物との配置関係を表す概略図である。図3は、移動手段13の内部構造を示す概略図である。
図1が表すように、本実施例に係る三次元形状計測装置1は、主な構成として投影手段としてのプロジェクタ10、撮影手段としてのカメラ11、計測手段としての制御装置12(例えばコンピュータ)、移動手段としての移動機構13を有している。
プロジェクタ10は、計測対象に対してパターンを投影する手段である。ここで、パターンとは、例えば輝度の変化が周期性を示す縞模様であり、時間的に位相を変化させることが可能なものである。このパターンにより、計測対象の三次元形状を計測する処理については公知であるので詳細な説明は割愛する。なお、プロジェクタ10の数は本実施例のように1つであってもよいし、2つ以上であってもよい。
カメラ11は、パターンが投影された状態の計測対象を撮影し、デジタル画像を出力する手段である。カメラ11は例えば、光学系とイメージセンサを有して構成される。三次元形状の計測を行う際は、プロジェクタ10から投影するパターンの位相を変えながら、複数枚の画像を取り込む。
図2及び図3に示すように、本実施例においては、カメラ11は、移動機構13の一部である中空円筒状の回転機構131の中空部分に収まっており、同じく移動機構13の一部である基準板132の中央部に設けられた円形の開口を通して計測対象物Oを撮影する。即ち、本実施例では、計測時には計測対象物Oがカメラ11の真下に位置するように配置される。
なお、本明細書では、撮影手段によって撮影された画像を「観測画像」という。
制御装置12は、プロジェクタ10、カメラ11及び後述する移動機構13の制御、カメラ11から取り込まれた画像に対する処理、三次元形状の計測などの機能を有しており、特許請求の範囲における計測手段に該当する。制御装置12は、CPU(プロセッサ)、メモリ、不揮発性の記憶装置(例えば、ハードディスクやフラッシュメモリ)、入力装置(例えば、キーボード、マウス、タッチパネルなど)、表示装置(例えば、液晶ディスプレイなど)を備えるコンピュータにより構成することができる。後述する制御装置12の機能は、不揮発性の記憶装置に格納されたプログラムをメモリにロードし、CPUが当該プログラムを実行することにより実現することができる。ただし、制御装置12の機能の全部又は一部を、専用のハードウェアで代替しても構わない。また、分散コンピューティングやクラウドコンピューティングの技術を利用し、制御装置12の機能を複数のコンピュータの協働により実現しても構わない。
移動機構13はプロジェクタ10を、計測対象物Oに対して相対的に移動させる手段である。図2及び図3に示すように、本実施例における移動機構13は、モータ(図示せず)によって駆動される中空円筒状の回転機構131と、該回転機構131に組み付けられてプロジェクタ10を支持する基準板132と、を備えている。回転機構131は、筐体131aと回転体131bからなり、筐体131aの上部が三次元形状計測装置1のフレーム14に固定されている。
回転機構131は、例えばギアによってモータの回転が伝達されることにより、Z軸方向に延びる回転軸を中心として360度の範囲内で回転体131bが回転するように構成されている。この回転体131bが回転すると、回転機構131に組み付けられた基準板132も回転し、これによって基準板132に係止されているプロジェクタ10は、円筒状の回転機構131の回転軸を中心とした円周上を回転移動することになる。すなわち、回転機構131の回転軸と同軸上に計測対象物Oが配置されている場合、プロジェクタ10は計測対象物Oを中心として、XY軸により定義される平面上を回転移動する。
(制御部の機能)
続いて、図4に基づいて制御装置12の三次元形状計測に関わる機能を説明する。制御装置12は、三次元形状計測に関わる機能として、画像取得部20、三次元形状計測部21、投影手段位置制御部22、影領域判定部23を有している。
画像取得部20はカメラ11から三次元形状計測に用いる複数の観測画像を取り込む機能であり、例えば計測対象物Oに投影されるパターンの位相が4分の1πずつ異なる画像4枚を取得する。
三次元形状計測部21は取得された複数の観測画像に基づいて、計測対象物Oの三次元形状を算出する機能である。本実施例では、取得した4枚の画像間における計測対象物Oの表面上の一点の位置を表す画素の二次元の位相差に基づいて、当該点の三次元位置を求め、取得された二次元画像から計測対象物Oの三次元形状を計測する。
投影手段位置制御部22は、入力された投影手段位置情報に基づいて、当該位置に投影手段を移動させるように移動機構13を制御するための信号を出力する。本実施例では、ユーザーが入力装置を用いて任意の投影手段位置情報を入力すると、プロジェクタ10を当該位置に移動させるように回転機構131を駆動させるための信号を出力する。なお、投影手段位置情報は、特定の位置を基準点とした絶対値であってもよいし、位置情報入力時点のプロジェクタ10の位置を基準として、相対的な位置を示す値であってもよい。
影領域判定部23は、画像取得部20によって取得された観測画像にパターンの投影されていない影の領域が存在するか否かを判定する機能である。判定のための基準は特に限定されず、例えば、観測画像の輝度値に対して所定の閾値を基準として設定しておき、観測画像の輝度値が該閾値を下回る部分があればそれを影の領域であると判定するようにしてもよい。また、投影されるパターンと観測画像のパターンを対比して、観測画像においてパターンの欠落部分を検出できた場合には、影の領域が存在すると判断してもよい。
(三次元形状計測処理の流れ)
次に、図5を参照して、本実施例における三次元形状計測の手順について説明する。まず、計測対象物Oに対して、プロジェクタ10から、パターンが投影される(ステップS11)。次に、撮影手段12によってパターンが投影されている状態の計測対象物Oが撮影され、制御装置12が、画像取得部20によって当該画像を取得する(ステップS12)。
そしてステップS13において、ステップS12で取得された画像に、パターンが投影されていない影の領域が存在するか否かを判断する。ここで、観測画像に影の領域が存在する場合には、ステップS14に進み、ユーザーに対して観測画像に影の領域が存在することを通知する警告を出力する。警告は、例えば表示装置にエラーメッセージを表示させるものであってもよいし、音声により警告音を発するものであってもよい。また、これらを組み合わせたものであっても構わない。
ステップS15において、警告を受けたユーザーは、制御装置12に任意の投影手段位置情報を入力し、プロジェクタ10を移動させる。その上で再び計測対象物Oに対してパターンを投影し、撮影を行い、観測画像に影の領域がなくなるまで、ステップS11〜S15の処理を繰り返し行う。
一方、ステップS13において、観測画像に影の領域がないと判断された場合には、制御部12の三次元形状計測部21によって、計測対象物Oの三次元形状が算出され(ステップS16)、三次元形状計測の処理を終える。
以上のような本実施例の三次元形状計測装置1の構成により、一つのプロジェクタ10によって、計測対象物Oを中心とした円周上のいずれの位置からでも計測対象物Oに対してパターンを投影することが可能になる。このため、多数の投影手段を配置することなく、精度の高い三次元形状計測ができ、装置の大型化、高コスト化を抑えることができる。
<変形例>
なお、本実施例に係る三次元形状計測装置1では、プロジェクタ10を一つのみ配置していたが、必ずしもこのようにする必要はなく、二つ以上の投影手段を設けてもよい。例えば、図6に示すように、二つのプロジェクタ10a、10bを、基準版132の対向する位置に配置し、計測対象物Oに同時にパターンを投影するようにしてもよい。この場合には、回転機構131の駆動(回転)角度は180度とすることができる。
複数の投影手段によりパターンを投影すると、それだけ計測対象物Oに影の領域が生じにくくなるため、計測の効率を高めることができる。また、投影手段を移動させる場合にも、移動手段の回転角度を小さくすることができ、移動のための時間を短縮することが可能になる。このため、計測の効率化とコスト低減等のバランスを勘案して、任意の数の投影手段を配置することができる。
また、図7に示すように、本実施例における三次元形状計測装置1に、斜視カメラ112を設けて、計測対象物Oを斜め上から撮影した斜視画像を取得し、該画像を三次元形状計測に用いてもよい。このようにすれば、計測対象物Oを直上から撮影した場合には死角となってしまう位置についても、斜視画像により観測可能であるため、精度の高い三次元形状計測が可能になる。
なお、本実施例における三次元形状計測処理では、ステップS13において、観測画像に影の領域が有るか否かの判断を制御部12で行っていたが、この判断は観測画像を表示装置に表示させたうえで、ユーザーが目視により行ってもよい。
また、本実施例では、ステップS13で影の領域があるか否かの判断を行っていたが、これを、観測画像に基づいて計測対象物Oの三次元形状が計測できるか否かを判断するステップとしてもよい。即ち、影の領域によって計測対象物Oの三次元形状が計測不可能と判断された場合にステップS14に進むようにしてもよい。影の領域があったとしても、計測対象物Oの三次元形状が計測できるのであれば、プロジェクタ10を移動させる必要は無いからである。
<実施例2>
次に、本発明に係る他の実施例である基板外観検査装置5について説明する。基板外観検査装置5は、実施例1の三次元形状計測装置1にいわゆるカラーハイライト方式による外観検査を組み合わせた、基板の外観検査装置である。このため、三次元形状計測装置1の三次元形状の計測に関する部分については、実施例1と同様の構成であるから、実施例1と同一の符号を付して説明を省略する。
図8は本発明の第2の実施例に係る基板外観検査装置5を示す概略図、図9は照明装置51の内部構造を表す概略図である。図8に示すように、本実施例に係る基板外観検査装置5は、三次元形状計測装置1の基準板132の底面に照明装置51が組み付けられた構成となっている。また、図9に示すように、照明装置51は、環状の赤色照明(R)511、緑色照明(G)512、青色照明(B)513が異なる高さに配置された中空の照明手段である。
図10は、基板外観検査装置5の主な機能を示すブロック図である。図10に示すように、本実施例における基板外観検査装置5では、制御部12に、実施例1の機能に加えて、三次元形状判定部24と、はんだ状態計測部25、はんだ状態判定部26が備わっている。
三次元形状判定部24は、計測された計測対象物Oの三次元形状が、所定の検査基準を満たしているか否かを判定する機能である。はんだ状態計測部25は、撮影装置11によって撮影された画像に基づいて、計測対象物O上のはんだ面の状態を計測する機能である。はんだ状態判定部26は、計測されたはんだ面の状態が、所定の検査基準を満たしているか否かを判定する機能である。
次に、本実施例における基板外観検査装置5を用いた基板外観検査の処理の流れを説明する。図11は基板外観検査装置5の検査手順を示すフローチャートである。図11に示すように、基板外観装置5はまず計測対象物Oの三次元形状を計測する(ステップS21)。なお、三次元形状の計測処理の詳細は、実施例1において説明した処理の流れ(図5参照)と同様であるため説明を省略する。
そして、ステップS22において、当該形状が所定の検査基準を満たしているか否かを判断する。ここで、当該形状が所定の検査基準を満たしていない場合には、計測対象物Oは不良品であると判定して処理を終える(ステップS23)。
一方、ステップ22において、所定の検査基準を満たしていると判断された場合には、ステップS24に進み、カラーハイライト方式におけるはんだ状態の計測を行う。なお、カラーハイライト方式によるはんだ状態の計測については公知の技術であるため、詳細は省略するが、概略以下のような方法により行われる。
即ち、基板外観検査装置5の、R照明511、G照明512、B照明513から、それぞれ計測対象物Oのはんだ面に照明光が照射され、計測対象物O上のはんだ面の角度に応じて、それぞれ異なる角度で入射したRGBの3色の照明の反射光が撮影装置11によって撮影される。はんだの状態(形状)に応じて赤、緑、青の各色の反射の仕方が決まるため、撮影された画像における3色の割合や位置を特定することで、はんだの状態を計測することができる。
そして、次にステップS25において、上記のように計測されたはんだの状態が、所定の検査基準を満たしているか否かを判断する。ここで、はんだの状態が検査基準を満たし
ている場合には、計測対象物Oは良品であると判定して(ステップS26)、処理を終了する。一方、はんだの状態が検査基準を満たしていないと判断された場合には、計測対象物Oは、不良品であると判定して(ステップS23)、処理を終了する。
以上のように、投影手段の数を少なくしつつ精度の高い三次元形状計測が可能な、位相シフト方式による外観検査と、カラーハイライト方式によるはんだ状態の計測を、多くの要素を共通にした一つの装置で実施するようにした、本実施例の基板外観検査装置5のような構成により、装置の大型化を抑え、かつ高い検査精度をもった検査装置を提供することが可能になる。
<変形例>
なお、本実施例に係る基板外観検査装置5では、位相シフト方式による検査の後に、カラーハイライト方式の検査を行うようにしていたが、この順序が逆であっても構わない。また、それぞれの検査を並行して実施し、検査結果を最終的に照合して、良不良の判定を行うようにしてもよい。
<その他>
上記各実施例は、本発明を例示的に説明するものに過ぎず、本発明は上記の具体的な形態には限定されない。本発明はその技術的思想の範囲内で種々の変形が可能である。例えば、上記実施例においては、移動機構13はモータとモータの回転により駆動する円筒状の回転機構及び基準板による構成であったが、必ずしもこのような構成に限る必要はない。例えば、モータとしては、回転モータの他リニアモータを使用してもよい。また、モータの代わりに他の手段(例えば空圧や油圧を用いたアクチュエータ)を用いてもよい。さらに、回転機構は円筒状でなくてもよいし、基準板を用いない構成であってもよい。
また、投影手段10の移動についても、上記実施例ではXY軸により定義される平面上で回転移動するものであったが、これに限る必要はなく、例えば、ZX軸により定義される平面上を回転移動するものであってもよいし、これらを組み合わせたものであってもよい。また、移動の方法も回転移動のみに限定されず、直線状や円弧以外の曲線状に移動するものであってもよい。
1・・・三次元形状計測装置
5・・・基板外観検査装置
10・・・プロジェクタ
11・・・カメラ
12・・・制御装置
13・・・移動機構
20・・・画像取得部
21・・・三次元形状計測部、
22・・・投影手段位置制御部、
23・・・影領域判定部
51・・・照明装置
O・・・計測対象物

Claims (4)

  1. 計測対象である基板に対してパターンを投影する投影手段と、
    前記基板を中心とする円環状に配置されるとともに、前記基板に対して赤色光、緑色光、青色光、の各波長の照明光を照射する光源を備える照明手段と、
    前記パターンが投影された前記基板、及び、前記照明光が照射された前記基板を、基板面に対して垂直な方向から撮影する撮影手段と、
    前記撮影手段により取得された画像を処理することで、前記基板の三次元形状を計測する計測手段と、
    軸方向に円形に開口する中空部を有する円筒状の回転機構と、前記回転機構の前記開口の外周側に取り付けられ、前記軸方向に対して垂直な方向に延びてその外周端において前記投影手段が組付けられるとともに、その底面側において前記照明手段が組付けられる板状部と、を備え、前記回転機構が前記開口の円周方向に回転することによって前記板状部の外周端に組み付けられた前記投影手段を円周上で移動させる移動手段と、を有しており、
    前記移動手段は前記基板の上方に前記開口が位置するように配置され、前記撮影手段は、前記基板に対して垂直な方向から前記開口を通じて、前記基板を撮影する、
    ことを特徴とする、三次元形状計測装置。
  2. 前記移動手段は、
    前記撮影手段が、前記計測手段が前記基板の三次元形状を計測することが可能なパターンを撮影し得る位置に、前記投影手段を移動させる
    ことを特徴とする、請求項1に記載の三次元形状計測装置。
  3. 前記移動手段は、
    前記投影手段を、前記基板を内部に含んだ円周上において回転移動させる
    ことを特徴とする、請求項1又は2に記載の三次元形状計測装置。
  4. 前記投影手段を複数有することを特徴とする、請求項1から3のいずれか1項に記載の三次元形状計測装置。
JP2016225090A 2016-11-18 2016-11-18 三次元形状計測装置 Active JP6848385B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016225090A JP6848385B2 (ja) 2016-11-18 2016-11-18 三次元形状計測装置
DE102017216552.9A DE102017216552B4 (de) 2016-11-18 2017-09-19 Messvorrichtung für dreidimensionale gestalt
CN201710860489.3A CN108072335B (zh) 2016-11-18 2017-09-21 三维形状测量装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016225090A JP6848385B2 (ja) 2016-11-18 2016-11-18 三次元形状計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018081048A JP2018081048A (ja) 2018-05-24
JP6848385B2 true JP6848385B2 (ja) 2021-03-24

Family

ID=62068694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016225090A Active JP6848385B2 (ja) 2016-11-18 2016-11-18 三次元形状計測装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6848385B2 (ja)
CN (1) CN108072335B (ja)
DE (1) DE102017216552B4 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6907277B2 (ja) * 2018-08-30 2021-07-21 コグネックス・コーポレイション 歪みが低減された物体の3次元再構成を生成するための方法及び装置
CN109341576B (zh) * 2018-10-09 2020-10-27 广东奥普特科技股份有限公司 一种快速测量物体表面三维形貌及颜色的方法
CN109900221A (zh) * 2019-04-12 2019-06-18 杭州思看科技有限公司 一种手持式三维扫描系统
JP7459525B2 (ja) 2020-01-28 2024-04-02 オムロン株式会社 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及びプログラム
JP7424074B2 (ja) * 2020-01-28 2024-01-30 オムロン株式会社 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及びプログラム
JP7404941B2 (ja) * 2020-03-10 2023-12-26 オムロン株式会社 三次元形状計測装置
JP7540170B2 (ja) * 2020-03-12 2024-08-27 オムロン株式会社 三次元形状計測装置
JP7530763B2 (ja) * 2020-08-06 2024-08-08 Towa株式会社 切断装置、及び、切断品の製造方法
CN112894133B (zh) * 2021-01-27 2023-08-04 浙江广合智能科技有限公司 一种激光焊接系统和焊点位置提取方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08285552A (ja) * 1995-04-13 1996-11-01 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 曲率方向測定方法及び装置
CN1437000A (zh) 2002-02-09 2003-08-20 沈阳同联集团高新技术有限公司 投影栅线测量物体三维表面形状的方法和装置
DE10219054B4 (de) 2002-04-24 2004-08-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der räumlichen Koordinaten eines Gegenstandes
CN100338434C (zh) * 2003-02-06 2007-09-19 株式会社高永科技 三维图像测量装置
KR20080043047A (ko) * 2006-11-13 2008-05-16 주식회사 고영테크놀러지 새도우 모아레를 이용한 3차원형상 측정장치
JP2010071782A (ja) * 2008-09-18 2010-04-02 Omron Corp 3次元計測装置およびその方法
JP5765651B2 (ja) * 2011-02-01 2015-08-19 Jukiオートメーションシステムズ株式会社 3次元測定装置
CN102364299B (zh) * 2011-08-30 2015-01-14 西南科技大学 一种多个结构光投影三维型面测量头的标定技术
CN103376071B (zh) * 2012-04-20 2017-06-30 德律科技股份有限公司 三维测量系统与三维测量方法
US9163938B2 (en) 2012-07-20 2015-10-20 Google Inc. Systems and methods for image acquisition
JP2014178233A (ja) * 2013-03-15 2014-09-25 Azbil Corp 形状測定装置及び形状測定方法
JP5780659B2 (ja) * 2013-06-13 2015-09-16 ヤマハ発動機株式会社 3次元形状測定装置
JP2015021763A (ja) 2013-07-16 2015-02-02 株式会社キーエンス 三次元画像処理装置、三次元画像処理方法及び三次元画像処理プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体
CN203893824U (zh) * 2014-03-29 2014-10-22 淮安普瑞精仪科技有限公司 一种在线锡膏厚度测量仪
JP6256249B2 (ja) * 2014-08-08 2018-01-10 オムロン株式会社 計測装置、基板検査装置、及びその制御方法
JP2016099257A (ja) * 2014-11-21 2016-05-30 キヤノン株式会社 情報処理装置及び情報処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018081048A (ja) 2018-05-24
DE102017216552A1 (de) 2018-05-24
CN108072335A (zh) 2018-05-25
CN108072335B (zh) 2020-09-18
DE102017216552B4 (de) 2019-05-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6848385B2 (ja) 三次元形状計測装置
US10508902B2 (en) Three-dimensional measurement device
KR101591854B1 (ko) 모바일 패턴 투사를 위한 장치 및 그 이용
US20080130016A1 (en) Method and an apparatus for the determination of the 3D coordinates of an object
JP2009031150A (ja) 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法、三次元形状計測プログラム、および記録媒体
JP6504274B2 (ja) 三次元形状データおよびテクスチャ情報生成システム、撮影制御プログラム、及び三次元形状データおよびテクスチャ情報生成方法並びに情報記録媒体
US10095003B2 (en) Autofocus apparatus, autofocus method, and program
JP2015001381A (ja) 3次元形状測定装置
JP2007235470A (ja) 映像表示装置
JP2010122273A (ja) 投写光学系のズーム比測定方法、そのズーム比測定方法を用いた投写画像の補正方法及びその補正方法を実行するプロジェクタ
TWI510052B (zh) 掃描裝置
JP6506098B2 (ja) 測距装置及び測距方法
JP2016099306A (ja) 画像測定装置及び測定装置
JP2005195335A (ja) 3次元画像撮影装置および方法
JP2014106094A (ja) 形状測定装置
JP2012189479A (ja) 形状計測装置
JP2014059164A (ja) 形状計測装置及び形状計測方法
JP2006084286A (ja) 3次元計測方法とその計測装置
JP4141874B2 (ja) 焦点距離及び/又は画角算出方法ならびに焦点距離算出用光投射装置
JP2014115179A (ja) 測長装置、書画カメラおよび測長方法
JP2003202296A (ja) 画像入力装置、三次元測定装置および三次元画像処理システム
US20240112321A1 (en) Three-dimensional shape data generation apparatus
US20220414922A1 (en) Method of compensating data and system for compensating data using same
JP7083282B2 (ja) 測定装置
JP2018197683A (ja) 面形状歪測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190905

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200623

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200731

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200929

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20201027

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201130

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210202

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210215

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6848385

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150