JP6607175B2 - 移載機 - Google Patents
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Description
本発明は、天井側に設けられるレールに沿って走行する走行部と、前記走行部に設けられ被搬送物を昇降自在に支持する昇降部と、を備える移載機に関するものである。
従来の移載機としては、天井側に設けられるレールに、当該レール上を走行する走行台車（走行部）を設け、走行台車から昇降装置（昇降部）を介して被搬送物を保持して吊り下げるものが知られている。このような移載機における昇降装置には、昇降部本体と、昇降部本体に対して昇降自在で且つ被搬送物を支持するための昇降ケージと、が設けられる。上記昇降ケージには、被搬送物を支持する係合部が設けられ、係合部を動作させることにより被搬送物の把持又は把持の解除を行う。例えば、特許文献１に示す移載機においては、被搬送物を支持する一対のチャック部（係合部）が被搬送物の上方から下降して被搬送物のフランジ部を水平方向から閉じることにより被搬送物を把持する。
しかしながら、上記移載機においては、係合部を被搬送物の外側から内側に移動させて被搬送物を支持するため、係合部の可動域が被搬送物のフランジ部が設けられる位置より外側となる。そのため、被搬送物のフランジ部が設けられる位置より外側において係合部を移動させる必要があり、よって、昇降装置（昇降ケージ）が大型化するという問題があった。
そこで、本発明は、係合部の可動域を被搬送物のフランジ部が設けられる位置より内側として昇降装置（昇降ケージ）の小型化を可能とする移載機を提供することを目的とする。
本発明の解決しようとする課題は以上であり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
即ち、本発明の移載機は、天井側に設けられるレールに沿って走行する走行部と、前記走行部に設けられ被搬送物を昇降自在に支持する昇降部と、を備える移載機であって、前記昇降部は、昇降部本体と、前記昇降部本体に対して昇降自在で且つ被搬送物を支持する昇降ケージと、を備え、前記被搬送物は、前記昇降ケージと係合する複数のフランジ部を備え、前記フランジ部は、前記昇降ケージとの係合部分が前記被搬送物の内側に向けて形成され、前記昇降ケージは、前記フランジ部と係合する係合部を備え、前記係合部は、前記複数のフランジ部毎に設けられるとともに、前記昇降ケージの中心側から前記フランジ部に向けて、前記昇降ケージに対して旋回可能に構成されるものである。
上記構成では、係合部が、昇降ケージの中心側からフランジ部に向けて、昇降ケージに対して旋回することにより、被搬送物の内側に向けて形成されるフランジ部と係合する。
上記構成では、係合部が、昇降ケージの中心側からフランジ部に向けて、昇降ケージに対して旋回することにより、被搬送物の内側に向けて形成されるフランジ部と係合する。
本発明の移載機は、上記移載機において、前記係合部は、前記フランジ部を載置する載置面を有し、前記載置面が前記昇降ケージの中心側から前記フランジ部に向けて旋回可能に構成されるものである。
上記構成では、係合部の載置面が、昇降ケージの中心側からフランジ部に向けて、昇降ケージに対して旋回することにより、被搬送物の内側に向けて形成されるフランジ部と係合する。
上記構成では、係合部の載置面が、昇降ケージの中心側からフランジ部に向けて、昇降ケージに対して旋回することにより、被搬送物の内側に向けて形成されるフランジ部と係合する。
本発明の移載機は、上記移載機において、前記係合部を旋回させる旋回機構を備え、前記旋回機構は、複数の前記係合部のうちの少なくとも一対の係合部を連結して旋回させるものである。
上記構成では、複数の係合部のうちの少なくとも一対の係合部を連結して旋回させることで、一対の結合部を同期させてフランジ部と係合させる。
上記構成では、複数の係合部のうちの少なくとも一対の係合部を連結して旋回させることで、一対の結合部を同期させてフランジ部と係合させる。
本発明の移載機は、上記移載機において、記係合部は、前記昇降ケージに対する前記被搬送物の位置決めを行う位置決め部材を備え、前記位置決め部材は、前記被搬送物の鉛直軸方向に対して直交するＸ軸方向への前記被搬送物の移動を規制するＸ軸方向規制部と、前記被搬送物の鉛直軸方向及び前記Ｘ軸方向に対して直交するＹ軸方向への前記被搬送物の移動を規制するＹ軸方向規制部と、を備え、前記Ｘ軸方向規制部及び前記Ｙ軸方向規制部は、前記係合部の旋回方向から前記フランジ部に当接することにより、前記被搬送物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動を規制するものである。
上記構成では、係合部がフランジ部と係合する際に、位置決め部材が係合部の旋回方向からフランジ部に当接することにより、被搬送物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動を規制する。
上記構成では、係合部がフランジ部と係合する際に、位置決め部材が係合部の旋回方向からフランジ部に当接することにより、被搬送物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動を規制する。
本発明の移載機は、上記移載機において、前記係合部は、前記昇降ケージに対する前記被搬送物の位置決めを行う位置決め部材を備え、前記位置決め部材は、前記被搬送物の鉛直軸方向に対して直交するＸ軸方向への前記被搬送物の移動を規制するＸ軸方向規制部と、前記被搬送物の鉛直軸方向及び前記Ｘ軸方向に対して直交するＹ軸方向への前記被搬送物の移動を規制するＹ軸方向規制部と、を備え、前記Ｘ軸方向規制部と、前記Ｙ軸方向規制部と、を前記載置面上で直角に配置して平面視Ｌ字状に形成され、前記Ｘ軸方向規制部及び前記Ｙ軸方向規制部は、前記係合部の旋回方向から前記フランジ部に当接することにより、前記被搬送物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動を規制するものである。
上記構成では、係合部がフランジ部と係合する際に、平面視Ｌ字状の位置決め部材が係合部の旋回方向からフランジ部に当接することにより、被搬送物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動を規制する。
上記構成では、係合部がフランジ部と係合する際に、平面視Ｌ字状の位置決め部材が係合部の旋回方向からフランジ部に当接することにより、被搬送物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動を規制する。
本発明の移載機によれば、係合部を昇降ケージの中心側からフランジ部に向けて旋回させることで係合部がフランジ部と係合するため、係合部の可動域が被搬送物においてフランジ部が設けられる位置より内側となり、係合部とフランジ部との係合を被搬送物の内側で行うことができる。そのため、昇降装置（昇降ケージ）を小型化することができる。
本発明に係る移載機１０について説明する。なお、以下においては、移載機１０の車体走行方向（移載機１０の長手方向）を前後方向、移載機１０の車体走行方向に対して水平方向に直交する方向（移載機１０の幅方向）を左右方向、移載機１０の車体走行方向に対して鉛直方向に直交する方向（移載機１０の高さ方向）を上下方向、として説明する。
図１及び図２に示すように、移載機１０は、例えば、半導体基板の製造工場内に設けられ、当該製造工場内に設けられる走行レールに沿って走行する天井搬送車（図示なし）と、半導体基板に対して所定の処理を行う処理装置（図示なし）と、の間で、半導体基板を収納したカセット８０（「被搬送物」の一例）を移載するものである。
移載機１０は、天井９０に設けられるレール９１に沿って走行する。レール９１は、天井９０側から吊り下げボルト９２等により吊り下げられた状態で支持され、移載機１０が上記天井搬送車からカセット８０を受け取る受け取り位置と、移載機１０がカセット８０を昇降させて上記処理装置に移載する昇降位置と、の間で直線状に延設される。レール９１には移載機１０に電力を供給するための給電線（図示せず）が設けられている。
移載機１０は、レール９１に沿って走行する走行部２０と、カセット８０を昇降自在に支持する昇降部３０と、から主に構成されている。
走行部２０は、レール９１を走行するための左右両側の走行車輪２１を一体的に回転するように備え、当該左右両側の走行車輪２１が前後に一対設けられている。走行部２０は、前後一方側の走行車輪２１を駆動する駆動モータ（図示せず）を備え、前後一方側の走行車輪２１を駆動輪とし、前後他方側の走行車輪２１を従動輪として、上記駆動モータの駆動により前後一方側の走行車輪２１を回転させて、レール９１に沿って走行するように構成されている。
走行部２０は、レール９１を走行するための左右両側の走行車輪２１を一体的に回転するように備え、当該左右両側の走行車輪２１が前後に一対設けられている。走行部２０は、前後一方側の走行車輪２１を駆動する駆動モータ（図示せず）を備え、前後一方側の走行車輪２１を駆動輪とし、前後他方側の走行車輪２１を従動輪として、上記駆動モータの駆動により前後一方側の走行車輪２１を回転させて、レール９１に沿って走行するように構成されている。
昇降部３０は、走行部２０の下方に設けられ、昇降部本体３１と、昇降ケージ３４と、から主に構成されている。
昇降部本体３１は、昇降部３０の本体部分であり、走行部２０に対して吊り下げられた状態で支持される。昇降部本体３１は、昇降ベルト３２により昇降ケージ３４を吊り下げた状態で支持する。昇降ベルト３２は、移載機１０の左右両側（移載機１０の幅方向の両側）の昇降ベルト３２を一体的に巻き取り及び巻き出すように備え、移載機１０の左右両側の昇降ベルト３２が移載機１０の前後（移載機１０の長手方向）に一対設けられている。
昇降部本体３１は、昇降ケージ３４を昇降するための昇降モータ３３を備え、昇降モータ３３の駆動により昇降ベルト３２を昇降部本体３１に対して巻き取り及び巻き出しすることで、昇降ケージ３４を昇降させる。
昇降部本体３１は、昇降部３０の本体部分であり、走行部２０に対して吊り下げられた状態で支持される。昇降部本体３１は、昇降ベルト３２により昇降ケージ３４を吊り下げた状態で支持する。昇降ベルト３２は、移載機１０の左右両側（移載機１０の幅方向の両側）の昇降ベルト３２を一体的に巻き取り及び巻き出すように備え、移載機１０の左右両側の昇降ベルト３２が移載機１０の前後（移載機１０の長手方向）に一対設けられている。
昇降部本体３１は、昇降ケージ３４を昇降するための昇降モータ３３を備え、昇降モータ３３の駆動により昇降ベルト３２を昇降部本体３１に対して巻き取り及び巻き出しすることで、昇降ケージ３４を昇降させる。
昇降ケージ３４は、昇降部本体３１に対して昇降自在に設けられてカセット８０を支持する部分である。
図１及び図３に示すように、昇降ケージ３４が支持するカセット８０は、その内部に半導体基板を収納可能な箱体である。カセット８０はその上面に昇降ケージ３４と係合するフランジ部８１が設けられる。カセット８０は、フランジ部８１が昇降ケージ３４と係合することで昇降ケージ３４により吊り下げられた状態で支持される。
フランジ部８１は、カセット８０の上面の外縁に沿って複数（図３では４個）設けられている。具体的には、フランジ部８１は、カセット８０の上面の四隅近傍のそれぞれに設けられる。すなわち、カセット８０は、その上面の四隅４点において昇降ケージ３４により支持される。フランジ部８１は、昇降ケージ３４との係合部分がカセット８０の内側（中央側）を向けて形成される。具体的には、フランジ部８１は、その対向するフランジ部８１における昇降ケージ３４との係合部分と向き合うように昇降ケージ３４との係合部分が形成される。
図３に示すように、フランジ部８１は、側面視略Ｚ字状の部材により形成される。フランジ部８１は、昇降ケージ３４と係合する平面状の係合部分８４を有する。係合部分８４は、水平方向にカセット８０の内側（中央側）に向けて突出して形成され、その下面部分で昇降ケージ３４と係合する。
図１及び図３に示すように、昇降ケージ３４が支持するカセット８０は、その内部に半導体基板を収納可能な箱体である。カセット８０はその上面に昇降ケージ３４と係合するフランジ部８１が設けられる。カセット８０は、フランジ部８１が昇降ケージ３４と係合することで昇降ケージ３４により吊り下げられた状態で支持される。
フランジ部８１は、カセット８０の上面の外縁に沿って複数（図３では４個）設けられている。具体的には、フランジ部８１は、カセット８０の上面の四隅近傍のそれぞれに設けられる。すなわち、カセット８０は、その上面の四隅４点において昇降ケージ３４により支持される。フランジ部８１は、昇降ケージ３４との係合部分がカセット８０の内側（中央側）を向けて形成される。具体的には、フランジ部８１は、その対向するフランジ部８１における昇降ケージ３４との係合部分と向き合うように昇降ケージ３４との係合部分が形成される。
図３に示すように、フランジ部８１は、側面視略Ｚ字状の部材により形成される。フランジ部８１は、昇降ケージ３４と係合する平面状の係合部分８４を有する。係合部分８４は、水平方向にカセット８０の内側（中央側）に向けて突出して形成され、その下面部分で昇降ケージ３４と係合する。
図１及び図３に示すように、昇降ケージ３４は、昇降ケージ本体３５と、係合部３６と、旋回機構３７と、から主に構成されている。
昇降ケージ本体３５は、昇降ケージ３４の本体部分であり、昇降部本体３１に対して昇降可能に支持される。昇降ケージ本体３５は箱体により形成され、その内部に支持部材３８を備える。
図３に示すように、支持部材３８は四角形に形成される枠体であり、係合部３６及び旋回機構３７を支持する。支持部材３８は、その下面に係合部３６が設けられるとともに、その上面に旋回機構３７が設けられる。
図１に示すように、昇降ケージ本体３５はその上面に昇降部本体３１と昇降ケージ３４との位置合わせを行う位置合わせ手段７０を備える。位置合わせ手段７０は、昇降ケージ３４が昇降部本体３１に対して上昇して昇降部本体３１と昇降ケージ３４とが接近した際に、昇降ケージ３４を昇降部本体３１に対して所定の位置で保持するための位置合わせ機構である。位置合わせ手段７０は、昇降ケージ３４側に設けられて上方に向けて突出する凸状の突出部７１と、昇降部本体３１側に設けられて突出部７１の凸状部分を受ける凹状の受け部７２と、から構成される。位置合わせ手段７０は、昇降ケージ３４が昇降部本体３１に対して上昇して昇降部本体３１と昇降ケージ３４とが接近した際に、突出部７１の凸状部分が受け部７２の凹状部分から若干外れた位置にあっても、突出部７１の凸状部分を受け部７２の凹状部分に誘い込むように構成され、突出部７１と受け部７２とが係合することにより、昇降部本体３１に対する昇降ケージ３４の位置を合わせる。
昇降ケージ本体３５は、昇降ケージ３４の本体部分であり、昇降部本体３１に対して昇降可能に支持される。昇降ケージ本体３５は箱体により形成され、その内部に支持部材３８を備える。
図３に示すように、支持部材３８は四角形に形成される枠体であり、係合部３６及び旋回機構３７を支持する。支持部材３８は、その下面に係合部３６が設けられるとともに、その上面に旋回機構３７が設けられる。
図１に示すように、昇降ケージ本体３５はその上面に昇降部本体３１と昇降ケージ３４との位置合わせを行う位置合わせ手段７０を備える。位置合わせ手段７０は、昇降ケージ３４が昇降部本体３１に対して上昇して昇降部本体３１と昇降ケージ３４とが接近した際に、昇降ケージ３４を昇降部本体３１に対して所定の位置で保持するための位置合わせ機構である。位置合わせ手段７０は、昇降ケージ３４側に設けられて上方に向けて突出する凸状の突出部７１と、昇降部本体３１側に設けられて突出部７１の凸状部分を受ける凹状の受け部７２と、から構成される。位置合わせ手段７０は、昇降ケージ３４が昇降部本体３１に対して上昇して昇降部本体３１と昇降ケージ３４とが接近した際に、突出部７１の凸状部分が受け部７２の凹状部分から若干外れた位置にあっても、突出部７１の凸状部分を受け部７２の凹状部分に誘い込むように構成され、突出部７１と受け部７２とが係合することにより、昇降部本体３１に対する昇降ケージ３４の位置を合わせる。
図３に示すように、係合部３６は、フランジ部８１と係合する部分であり、昇降ケージ本体３５の支持部材３８の下面における四隅近傍のそれぞれに設けられる。すなわち、昇降ケージ３４は、４つの係合部３６がカセット８０の４つのフランジ部８１とそれぞれ係合することにより、カセット８０を支持する。係合部３６は昇降ケージ本体３５の支持部材３８に対して旋回ことにより、フランジ部８１と係合する係合状態と、フランジ部８１との係合を解除する係合解除状態と、にフランジ部８１との係合状態を切り換える。
係合部３６は、側面視略Ｚ字状の部材により形成される。係合部３６は、フランジ部８１と係合する平面状の載置部分４１を有する。載置部分４１は、水平方向にカセット８０の外側（外縁側）に向けて突出して形成され、その上面部分を載置面としてフランジ部８１の係合部分８４を載置することでフランジ部８１と係合する。
係合部３６は、側面視略Ｚ字状の部材により形成される。係合部３６は、フランジ部８１と係合する平面状の載置部分４１を有する。載置部分４１は、水平方向にカセット８０の外側（外縁側）に向けて突出して形成され、その上面部分を載置面としてフランジ部８１の係合部分８４を載置することでフランジ部８１と係合する。
係合部３６は、昇降ケージ３４に対するカセット８０の位置決めを行う位置決め部材４３を備える。位置決め部材４３は、係合部３６の載置部分４１の上面に設けられる。位置決め部材４３は、カセット８０の鉛直軸方向に対して直交するＸ軸方向６０（以下、Ｘ軸方向６０とする）へのカセット８０の移動と、カセット８０の鉛直軸方向及びＸ軸方向６０に対して直交するＹ軸方向６１（以下、Ｙ軸方向６１とする）へのカセット８０の移動と、を規制する。ここで、Ｘ軸方向６０とは、カセット８０の高さ方向（上下方向）に対して垂直な平面上において一方向を規定するものであり、Ｙ軸方向６１とは、同平面上においてＸ軸方向６０に直交する方向を規定するものである。具体的には、カセット８０の平面視において、カセット８０の中心Ｐと、カセット８０の四辺のうちの一辺の中点とを結ぶ直線の方向をＸ軸方向６０とし、当該直線とカセット８０の中心で直交する直線の方向をＹ軸方向６１とする。なお、Ｘ軸方向６０及びＹ軸方向６１は、正負両方向を含む方向である。
位置決め部材４３は、Ｘ軸方向６０へのカセット８０の移動を規制するＸ軸方向規制部４４と、Ｙ軸方向６１へのカセット８０の移動を規制するＹ軸方向規制部４５と、から構成される。
Ｘ軸方向規制部４４は、係合部３６の載置部分４１の上面から上方に突出して設けられる平面状のブロック部材であり、Ｘ軸方向６０からフランジ部８１の係合部分８４の側面に当接することによりカセット８０のＸ軸方向６０への移動を規制する。
Ｙ軸方向規制部４５は、係合部３６の載置部分４１の上面から上方に突出して設けられる平面状の部材であり、Ｙ軸方向６１からフランジ部８１の係合部分８４の側面に当接することによりカセット８０のＹ軸方向６１への移動を規制する。
Ｘ軸方向規制部４４とＹ軸方向規制部４５とは平面視Ｌ字状に直角に接するように係合部３６の載置部分４１の上面（載置面）に配置される。具体的には、Ｘ軸方向規制部４４は平面視でその長手方向がＹ軸方向６１となるように配置され、Ｙ軸方向規制部４５は、その一端部がＸ軸方向規制部４４と直角に接するように、平面視でその長手方向がＸ軸方向６０となるように配置される。
図５に示すように、Ｘ軸方向規制部４４及びＹ軸方向規制部４５は、係合部３６の載置部分４１の上面であって、係合部３６の旋回中心と反対側の対角位置に設けられる。すなわち、Ｘ軸方向規制部４４及びＹ軸方向規制部４５は、係合部３６の旋回中心より外側であって、係合部３６の旋回方向からフランジ部８１に当接可能な位置に設けられる。
位置決め部材４３は、Ｘ軸方向６０へのカセット８０の移動を規制するＸ軸方向規制部４４と、Ｙ軸方向６１へのカセット８０の移動を規制するＹ軸方向規制部４５と、から構成される。
Ｘ軸方向規制部４４は、係合部３６の載置部分４１の上面から上方に突出して設けられる平面状のブロック部材であり、Ｘ軸方向６０からフランジ部８１の係合部分８４の側面に当接することによりカセット８０のＸ軸方向６０への移動を規制する。
Ｙ軸方向規制部４５は、係合部３６の載置部分４１の上面から上方に突出して設けられる平面状の部材であり、Ｙ軸方向６１からフランジ部８１の係合部分８４の側面に当接することによりカセット８０のＹ軸方向６１への移動を規制する。
Ｘ軸方向規制部４４とＹ軸方向規制部４５とは平面視Ｌ字状に直角に接するように係合部３６の載置部分４１の上面（載置面）に配置される。具体的には、Ｘ軸方向規制部４４は平面視でその長手方向がＹ軸方向６１となるように配置され、Ｙ軸方向規制部４５は、その一端部がＸ軸方向規制部４４と直角に接するように、平面視でその長手方向がＸ軸方向６０となるように配置される。
図５に示すように、Ｘ軸方向規制部４４及びＹ軸方向規制部４５は、係合部３６の載置部分４１の上面であって、係合部３６の旋回中心と反対側の対角位置に設けられる。すなわち、Ｘ軸方向規制部４４及びＹ軸方向規制部４５は、係合部３６の旋回中心より外側であって、係合部３６の旋回方向からフランジ部８１に当接可能な位置に設けられる。
図３及び図４に示すように、旋回機構３７は、係合部３６を昇降ケージ本体３５の支持部材３８に対して旋回する機構であり、支持部材３８の上面に設けられる。旋回機構３７は、２つ（一対）の係合部３６の間に設けられ、その２つ（一対）の係合部３６を連結するように構成される。すなわち、昇降ケージ３４においては、４つの係合部３６に対して２つの旋回機構３７が設けられる。
旋回機構３７は、支持部材３８の一端縁側に沿って配置される２つ（一対）の係合部３６を、平面視略へ字状に屈曲するアーム４６を介して連結して旋回させることにより、２つ（一対）の係合部３６を同期させてカセット８０のフランジ部８１と係合させる。これにより、係合部３６を旋回させる機構を係合部３６毎に設ける必要がなく（４つの係合部３６に対して４つの旋回機構を設ける必要がなく）、旋回機構の部品点数を削減でき、昇降ケージ３４の構成を簡素化することができる。
旋回機構３７は、支持部材３８の一端縁側に沿って配置される２つ（一対）の係合部３６を、平面視略へ字状に屈曲するアーム４６を介して連結して旋回させることにより、２つ（一対）の係合部３６を同期させてカセット８０のフランジ部８１と係合させる。これにより、係合部３６を旋回させる機構を係合部３６毎に設ける必要がなく（４つの係合部３６に対して４つの旋回機構を設ける必要がなく）、旋回機構の部品点数を削減でき、昇降ケージ３４の構成を簡素化することができる。
次に、昇降ケージ３４の係合部３６の旋回動作について説明する。
図５（ａ）に示すように、昇降ケージ３４は、カセット８０を支持（把持）する際には、係合部３６の先端部分を昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）に向けた状態でカセット８０に近接する。図５（ｂ）に示すように、昇降ケージ３４がカセット８０に近接すると、旋回機構３７の駆動により係合部３６が旋回する。この時、係合部３６は、昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）からカセット８０のフランジ部８１に向けて旋回する。ここで、旋回機構３７に連結される一対の係合部３６は、旋回機構３７の駆動により同期して旋回する。この時、一対の係合部３６は、対向する係合部３６の載置部分４１同士を昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）からカセット８０のフランジ部８１に向けて観音開き式に開いた状態となるように回動する。係合部３６がフランジ部８１に向けて旋回することで、４つの係合部３６のそれぞれが４つのフランジ部８１と係合し、昇降ケージ３４がカセット８０を支持（把持）する。
一方で、昇降ケージ３４がカセット８０の支持（把持）を解除する際には、係合部３６がカセット８０のフランジ部８１から昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）に向けて旋回する。ここで、旋回機構３７に連結される一対の係合部３６は、昇降ケージ３４（カセット８０）の外側に向いた係合部３６の載置部分４１同士をカセット８０のフランジ部８１から昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）に向けて観音開き式に閉じた状態となるように回動する。係合部３６が昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）に向けて旋回することで、４つの係合部３６のそれぞれが４つのフランジ部８１との係合を解除し、昇降ケージ３４がカセット８０の支持（把持）を解除する。
このように、昇降ケージ３４は、係合部３６の旋回域が、カセット８０においてフランジ部８１が設けられている位置より内側（カセット８０の中心側）になるように構成されている。また、昇降ケージ３４は、カセット８０を支持（把持）する際には、係合部３６の載置部分４１を昇降ケージ３４（カセット８０）の外側に向けた姿勢（観音開き式開状態）とし、カセット８０の支持（把持）を解除する際には、係合部３６の載置部分４１を昇降ケージ３４（カセット８０）の内側に向けた姿勢（観音開き式閉状態）として、係合部３６の姿勢を係合部３６の旋回により切り替える。
図５（ａ）に示すように、昇降ケージ３４は、カセット８０を支持（把持）する際には、係合部３６の先端部分を昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）に向けた状態でカセット８０に近接する。図５（ｂ）に示すように、昇降ケージ３４がカセット８０に近接すると、旋回機構３７の駆動により係合部３６が旋回する。この時、係合部３６は、昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）からカセット８０のフランジ部８１に向けて旋回する。ここで、旋回機構３７に連結される一対の係合部３６は、旋回機構３７の駆動により同期して旋回する。この時、一対の係合部３６は、対向する係合部３６の載置部分４１同士を昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）からカセット８０のフランジ部８１に向けて観音開き式に開いた状態となるように回動する。係合部３６がフランジ部８１に向けて旋回することで、４つの係合部３６のそれぞれが４つのフランジ部８１と係合し、昇降ケージ３４がカセット８０を支持（把持）する。
一方で、昇降ケージ３４がカセット８０の支持（把持）を解除する際には、係合部３６がカセット８０のフランジ部８１から昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）に向けて旋回する。ここで、旋回機構３７に連結される一対の係合部３６は、昇降ケージ３４（カセット８０）の外側に向いた係合部３６の載置部分４１同士をカセット８０のフランジ部８１から昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）に向けて観音開き式に閉じた状態となるように回動する。係合部３６が昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）に向けて旋回することで、４つの係合部３６のそれぞれが４つのフランジ部８１との係合を解除し、昇降ケージ３４がカセット８０の支持（把持）を解除する。
このように、昇降ケージ３４は、係合部３６の旋回域が、カセット８０においてフランジ部８１が設けられている位置より内側（カセット８０の中心側）になるように構成されている。また、昇降ケージ３４は、カセット８０を支持（把持）する際には、係合部３６の載置部分４１を昇降ケージ３４（カセット８０）の外側に向けた姿勢（観音開き式開状態）とし、カセット８０の支持（把持）を解除する際には、係合部３６の載置部分４１を昇降ケージ３４（カセット８０）の内側に向けた姿勢（観音開き式閉状態）として、係合部３６の姿勢を係合部３６の旋回により切り替える。
次に、係合部３６の位置決め部材４３による昇降ケージ３４に対するカセット８０の位置決め動作について説明する。
図５に示すように、係合部３６がフランジ部８１と係合する際には、係合部３６が昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）からカセット８０のフランジ部８１に向けて旋回する。同様に、位置決め部材４３は、昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）からカセット８０のフランジ部８１に向けて移動する。そして、位置決め部材４３は、昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）からフランジ部８１の係合部分８４の側面に当接する。具体的には、位置決め部材４３のＸ軸方向規制部４４が、フランジ部８１の係合部分８４の側面のうちＸ軸方向６０に向いている側面に当接し、位置決め部材４３のＹ軸方向規制部４５が、フランジ部８１の係合部分８４の側面のうちＹ軸方向６１に向いている側面に当接する。すなわち、位置決め部材４３は、フランジ部８１の係合部分８４におけるカセット８０の中心側（中央側）の角部側面に当接する。
さらに、位置決め部材４３は、係合部３６の旋回によりフランジ部８１に当接した状態で移動することで、昇降ケージ３４に対するフランジ部８１のＸ軸方向６０及びＹ軸方向６１の移動を規制する。この時、位置決め部材４３は、フランジ部８１のＸ軸方向６０及びＹ軸方向６１の移動を同時に規制する。
このように、位置決め部材４３は、係合部３６の旋回により、フランジ部８１の係合部分８４におけるカセット８０の中心側（中央側）の角部側面に当接した状態で移動することで、昇降ケージ３４に対するカセット８０の位置決めを行う。
図５に示すように、係合部３６がフランジ部８１と係合する際には、係合部３６が昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）からカセット８０のフランジ部８１に向けて旋回する。同様に、位置決め部材４３は、昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）からカセット８０のフランジ部８１に向けて移動する。そして、位置決め部材４３は、昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）からフランジ部８１の係合部分８４の側面に当接する。具体的には、位置決め部材４３のＸ軸方向規制部４４が、フランジ部８１の係合部分８４の側面のうちＸ軸方向６０に向いている側面に当接し、位置決め部材４３のＹ軸方向規制部４５が、フランジ部８１の係合部分８４の側面のうちＹ軸方向６１に向いている側面に当接する。すなわち、位置決め部材４３は、フランジ部８１の係合部分８４におけるカセット８０の中心側（中央側）の角部側面に当接する。
さらに、位置決め部材４３は、係合部３６の旋回によりフランジ部８１に当接した状態で移動することで、昇降ケージ３４に対するフランジ部８１のＸ軸方向６０及びＹ軸方向６１の移動を規制する。この時、位置決め部材４３は、フランジ部８１のＸ軸方向６０及びＹ軸方向６１の移動を同時に規制する。
このように、位置決め部材４３は、係合部３６の旋回により、フランジ部８１の係合部分８４におけるカセット８０の中心側（中央側）の角部側面に当接した状態で移動することで、昇降ケージ３４に対するカセット８０の位置決めを行う。
以上のように、移載機１０においては、係合部３６を昇降ケージ３４の中心側からフランジ部８１に向けて旋回させることで係合部３６がフランジ部８１と係合するため、係合部３６の可動域がカセット８０においてフランジ部８１が設けられる位置より内側となり、係合部３６とフランジ部８１との係合をカセット８０の内側で行うことができる。そのため、昇降部３０（昇降ケージ３４）を小型化することができる。
移載機１０においては、位置決め部材４３がカセット８０の内側からカセット８０のＸ軸方向６０及びＹ軸方向６１への移動を規制することができるため、小型化した昇降ケージ３４によってカセット８０を確実に所定の位置で保持することができる。
移載機１０においては、位置決め部材４３がカセット８０の内側からカセット８０のＸ軸方向６０及びＹ軸方向６１への移動を規制することができるため、小型化した昇降ケージ３４によってカセット８０を確実に所定の位置で保持することができる。
なお、本実施の形態においては、４つの係合部３６に対して２つの旋回機構３７を備えた構成になっているが、これに限定されるものではなく、４つの係合部３６のそれぞれが昇降ケージ３４の中心Ｐ側（中央側）からカセット８０のフランジ部８１に向けて旋回する構成であれば、例えば、４つの係合部３６に対して１つの旋回機構を備えた構成でも良く、また、４つの係合部３６のそれぞれに対して旋回機構を備えた構成であっても構わない。
本実施の形態においては、位置決め部材４３を平面状のブロック部材により構成しているが、これに限定されるものではなく、カセット８０のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動を規制可能な構成であれば、例えば、位置決め部材を丸型のブロック部材により構成しても構わない。また、本実施の形態においては、位置決め部材４３を４つの係合部３６毎に設けているが、これに限定されるものではなく、カセット８０のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動を規制可能な構成であれば、例えば、位置決め部材４３をカセット８０の対角に位置する一対の係合部３６のみに設けても構わない。
本実施の形態においては、位置決め部材４３を平面状のブロック部材により構成しているが、これに限定されるものではなく、カセット８０のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動を規制可能な構成であれば、例えば、位置決め部材を丸型のブロック部材により構成しても構わない。また、本実施の形態においては、位置決め部材４３を４つの係合部３６毎に設けているが、これに限定されるものではなく、カセット８０のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動を規制可能な構成であれば、例えば、位置決め部材４３をカセット８０の対角に位置する一対の係合部３６のみに設けても構わない。
１０ 移載機
２０ 走行部
３０ 昇降部
３１ 昇降部本体
３４ 昇降ケージ
３６ 係合部
３７ 旋回機構
４３ 位置決め部材
４４ Ｘ軸方向規制部
４５ Ｙ軸方向規制部
８０ カセット（被搬送物）
８１ フランジ部
９０ 天井
９１ レール
２０ 走行部
３０ 昇降部
３１ 昇降部本体
３４ 昇降ケージ
３６ 係合部
３７ 旋回機構
４３ 位置決め部材
４４ Ｘ軸方向規制部
４５ Ｙ軸方向規制部
８０ カセット（被搬送物）
８１ フランジ部
９０ 天井
９１ レール
Claims (5)
- 天井側に設けられるレールに沿って走行する走行部と、前記走行部に設けられ被搬送物を昇降自在に支持する昇降部と、を備える移載機であって、
前記昇降部は、
昇降部本体と、
前記昇降部本体に対して昇降自在で且つ被搬送物を支持する昇降ケージと、
を備え、
前記被搬送物は、前記昇降ケージと係合する複数のフランジ部を備え、
前記フランジ部は、前記昇降ケージとの係合部分が前記被搬送物の内側に向けて形成され、
前記昇降ケージは、前記フランジ部と係合する係合部を備え、
前記係合部は、前記複数のフランジ部毎に設けられるとともに、前記昇降ケージの中心側から前記フランジ部に向けて、前記昇降ケージに対して旋回可能に構成されること
を特徴とする移載機。 - 前記係合部は、
前記フランジ部を載置する載置面を有し、
前記載置面が前記昇降ケージの中心側から前記フランジ部に向けて旋回可能に構成されること
を特徴とする請求項１に記載の移載機。 - 前記係合部を旋回させる旋回機構を備え、
前記旋回機構は、複数の前記係合部のうちの少なくとも一対の係合部を連結して旋回させること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の移載機。 - 前記係合部は、前記昇降ケージに対する前記被搬送物の位置決めを行う位置決め部材を備え、
前記位置決め部材は、
前記被搬送物の鉛直軸方向に対して直交するＸ軸方向への前記被搬送物の移動を規制するＸ軸方向規制部と、
前記被搬送物の鉛直軸方向及び前記Ｘ軸方向に対して直交するＹ軸方向への前記被搬送物の移動を規制するＹ軸方向規制部と、
を備え、
前記Ｘ軸方向規制部及び前記Ｙ軸方向規制部は、前記係合部の旋回方向から前記フランジ部に当接することにより、前記被搬送物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動を規制すること
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の移載機。 - 前記係合部は、前記昇降ケージに対する前記被搬送物の位置決めを行う位置決め部材を備え、
前記位置決め部材は、
前記被搬送物の鉛直軸方向に対して直交するＸ軸方向への前記被搬送物の移動を規制するＸ軸方向規制部と、
前記被搬送物の鉛直軸方向及び前記Ｘ軸方向に対して直交するＹ軸方向への前記被搬送物の移動を規制するＹ軸方向規制部と、
を備え、
前記Ｘ軸方向規制部と、前記Ｙ軸方向規制部と、を前記載置面上で直角に配置して平面視Ｌ字状に形成され、
前記Ｘ軸方向規制部及び前記Ｙ軸方向規制部は、前記係合部の旋回方向から前記フランジ部に当接することにより、前記被搬送物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動を規制すること
を特徴とする請求項２に記載の移載機。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12139176B2 (en) | 2020-03-13 | 2024-11-12 | Murata Machinery, Ltd. | Gripper device, conveyance vehicle, and conveyance method |
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