JP5896459B2 - マーキング装置及び方法 - Google Patents

Description

本発明は、ディスプレイ材料や半導体デバイスなどのマーキング対象物に、識別コードや任意のパターンをマーキングする装置及び方法に関し、特に連続搬送されるマーキング対象物に対してマーキングする技術に関する。

ＴＶやパソコン、携帯端末などのディスプレイ材料や、半導体デバイスなどには、生産管理用途や出荷後のトレーサビリティ用途に利用するために、製造ロットや製造年月に関する情報、シリアル番号などの識別コードがマーキングされている。また、製造元や製品の判別を容易にするために、ロゴやマーク、型式、品番などの任意のパターンがマーキングされている。これらの識別コードや任意のパターンは、描画パターンと呼ばれ、複数の描画パターンがマトリクス状に整列された位置にマーキングされている。

前記マーキング対象物にマーキングされる描画パターンは、マーキング装置を用いてマーキングされており、前記マーキング対象物を静止させた状態でマーキングされていた（例えば特許文献１）。

図１１は、従来技術におけるマーキングの様子を示す側面図であり、従来技術におけるマーキング装置を用いて、マーキング対象物上の２箇所に所定の描画パターン１５ａ，１５ｂをマーキングする様子が示されている。
従来のマーキング装置１ｚは、マーキング対象物１０ｚを静止した状態で保持する載置台２０ｚと、マーキング対象物１０ｚに向けて描画パターンに対応したマーキング用光線４７を照射させるマーキングユニット４とを含んで構成されている。

マーキングユニット４は、マーキング対象物１０ｚとｚ方向に所定の間隔を保ったまま、矢印４０ｙに示す方向（ｙ方向）に移動できるように構成されている。さらに、マーキングユニット４は、描画パターン生成部４０と、マーキング位置補正部４５とを含んで構成されている。描画パターン生成部４０から照射された、描画パターンに対応した光線４２は、光学部品４３に入射される。光学部品４３を経た後、描画パターンに対応した光線４４は、マーキング位置補正部４５のミラー４５ｍに照射され、ミラー４５ｍで反射した光がｆθレンズ４６などの光学部品を通過して、マーキング用光線４７としてマーキング対象物１０ｚに向けて照射される。マーキング位置補正部４５は、ミラー４５ｍをθ方向に回転させることができ、マーキング用光線４７の照射方向を変更することができる。

マーキングユニット４は、外部の制御機器と接続されており、マーキングユニット４を矢印４０ｙ（ｙ方向）で示す方向に移動させながら、マーキング位置補正部４５を制御することで、マーキング対象物１０ｚ上の所定の場所に、所定の時間、マーキング用光線４７を照射し続けることができる。

時系列で説明をすると、過去の時刻ｔ１から時刻ｔ２にかけて、マーキングユニット４が破線４０ｔ１から破線４０ｔ２に示す位置に移動しながら、ミラー４５は、破線４５ｍ１から破線４５ｍ２に示す位置に移動する。このとき、マーキング用光線４７は、破線４７ｔ１から破線４７ｔ２に示す位置・方向に変化しながら照射される。そのため、マーキング対象物１０ｚ上には、所定の描画パターン１５ａがマーキングされる。

さらに、過去の時刻ｔ３から現在にかけて、マーキングユニット４が破線４０ｔ３に示す位置から実線で示す現在の位置に移動しながら、ミラー４５は、破線４５ｍ３に示す位置から現在の位置に移動する。このとき、マーキング用光線４７は、破線４７ｔ３に示す位置・方向から実線で示す現在の位置・方向に変化しながら照射される。そのため、マーキング対象物１０ｚ上には、所定の描画パターン１５ｂがマーキングされる。
そのため、マーキング対象物１０ｚ上の２箇所に、所定の描画パターン１５ａ，１５ｂをマーキングすることができる。

特開２００６−２５９５１５号公報

しかし、マーキング対象物１０ｚを静止させた状態でマーキングさせると、マーキング対象物１０ｚを入れ替えたり、間欠的に搬送させたりする必要があり、生産性を上げることができなかった。生産性を上げるために、マーキング対象物１０ｚを連続搬送させながら、従来の技術を用いて所定の描画パターンをマーキングしようとすると、以下に説明する「位置ずれ」や「ぶれ」が生じてしまうという課題があった。

図１２は、従来技術におけるマーキングの様子を示す平面図であり、マーキング対象物１０ｚを前記マーキングユニット４の移動方向と交差する方向（つまりｘ方向）に移動させながらマーキングした場合の、描画パターン１６ａ，１６ｂのマーキング位置を示している。過去の時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３と経過し、現在に至るまで、マーキング対象物１０ｚは矢印１０ｖで示す方向（ｘ方向）に移動しており、マーキング対象物上のとある位置は破線１０ｅ１，１０ｅ２，１０ｅ３で示す位置に移動し、現在は実線１０ｅで示す位置にある。マーキングユニット４は、ｙ方向に移動しながら、ｙ方向のマーキング用光線の照射位置・方向を変化させることができるので、過去の時刻ｔ１からｔ２にかけてマーキングする所定の描画パターン１６ａや、過去の時刻ｔ３から現在にかけてマーキングする所定の描画パターン１６ｂの、ｙ方向の相対移動速度に起因する「ぶれ」は生じない。

一方、マーキングされる描画パターン１６ａ，１６ｂは、マーキングユニット４が移動する方向（つまりｙ方向）と交差する方向（つまりｘ方向）にマーキング対象物が搬送される状態でマーキングされるので、当該描画パターンをマトリクス状に整列した状態で規定された場所にマーキングできない、搬送方向（ｘ方向）の「位置ずれ」が生じる。

さらに、マーキングされる描画パターン１６ａ，１６ｂは、マーキング対象物１０ｚがマーキングユニットに対して搬送方向に相対移動しているため、搬送方向（ｘ方向）相対移動速度に起因する「ぶれ」が生じてしまう。

つまり、過去の時刻ｔ１からｔ２にかけてマーキングする所定の描画パターン１６ａは、マーキング中に、破線１６ｃ１に示す位置から破線１６ｃ２に示す位置に変化し、搬送方向（ｘ方向）の相対移動速度に起因する「ぶれ」が生じた状態となる。同様に、過去の時刻ｔ３から現在にかけてマーキングする所定の描画パターン１６ｂは、マーキング中に、破線１６ｃ３に示す位置から実線１６ｃ４に示す位置に変化し、搬送方向の相対移動速度に起因する「ぶれ」が生じた状態となる。

また、描画パターン１６ａ，１６ｂは、マーキング開始位置時刻が異なるために、搬送方向（ｘ方向）に「位置ずれ」が生じる。

そこで本発明は、連続的に搬送されるマーキング対象物であっても、所定の描画パターンを、「位置ずれ」や「ぶれ」のない状態で連続的にマーキングすることができ、生産性を上げることができる、マーキング装置及び方法を提供することを目的とする。

以上の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
マーキング対象物に描画パターンをマーキングするマーキング装置において、
前記マーキング対象物を第一の方向に連続搬送させる搬送部と、
前記マーキング対象物を前記第一の方向に搬送した量を検出する搬送量検出器と、
前記マーキング対象物に向けて、前記描画パターンに対応するマーキング用光線を照射するマーキングユニットと、
前記マーキングユニットを前記第一の方向に移動させるマーキングユニット第一移動部とを備え、
前記搬送量検出器で検出された単位時間当たりに前記マーキング対象物を搬送した量に基づいて、前記マーキングユニット第一移動部を前記第一の方向と同じ方向に同じ量を移動させる、同期移動制御部とを備え、
前記マーキングユニットを前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させるマーキングユニット第二移動部と、
前記マーキングユニットの第二の方向の位置を検出する位置検出器と、
前記マーキング用光線を照射する位置を変更して前記マーキング対象物上の同じ位置に前記マーキング用光線が照射されるように補正する、マーキング位置補正部とを備え、
前記マーキングユニットが前記第二の方向に移動している間に、
前記位置検出器で検出された前記マーキングユニットの第二の方向の位置に基づいて、
前記マーキング位置補正部におけるずらし量を制御して、前記マーキング対象物上の第二の方向の同じ位置に前記マーキング用光線を所定時間照射させる、
マーキング位置重ね合わせ制御部を備え、
前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御して、
前記マーキング対象物を前記第一の方向に連続搬送しつつ、
前記マーキング対象物上の第一の方向及び第二の方向の同じ位置に、前記マーキング用光線を所定時間照射させる統括制御部を備えた
ことを特徴とするマーキング装置である。

請求項２に記載の発明は、
前記マーキング対象物には位置決め基準用マークが付与されており、
前記位置決め基準用マークの位置に対するマーキングすべき描画パターンの相対位置をマーキング予定位置として登録しておく描画予定位置登録部と、
前記位置決め基準用マークを撮像するマーク撮像部と
前記マーク撮像部で撮像された前記位置決め基準用マークの位置情報を検出するマーク位置検出部とを備え、
前記統括制御部は、前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
ことを特徴とする、請求項１に記載のマーキング装置である。

請求項３に記載の発明は、
前記マーク撮像部で撮像された前記位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出部をさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに備え、
前記統括制御部は、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、
前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記マーク角度検出部で検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
ことを特徴とする、請求項２に記載のマーキング装置である。

請求項４に記載の発明は、
前記マーキング対象物には複数の位置決め基準用マークが付与されており、
前記マーク位置検出部は前記複数の位置決め基準用マークの位置情報を検出し、
前記マーク撮像部で撮像された前記複数の位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、当該位置決め基準用マークの角度情報を検出する、複数のマーク位置に基づく角度検出部をさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに備え
前記統括制御部は、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットの間隔と、
前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記複数のマーク位置に基づく角度検出部で検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
ことを特徴とする、請求項２に記載のマーキング装置置である。

請求項５に記載の発明は、
前記搬送部の搬送速度を演算する搬送速度演算部をさらに備え、
前記描画予定位置登録部には、
前記複数配列して登録されたマーキング予定位置のうち、
第一の方向の方向に繰り返しマーキングする間隔を送りピッチとして登録する、送りピッチ登録部と、
第二の方向に順次マーキングされる最初の描画パターンと最後の描画パターンとの間隔を両端描画パターン間隔として登録する、両端描画パターン間隔登録部とが備えられており、
前記搬送速度演算部は、
前記送りピッチと、前記両端描画パターン間隔と、
前記マーキングユニット第二移動部における順次マーキングのために要する時間と、
前記マーキングユニット第一移動部における繰り返しマーキングのために要する時間とに基づいて前記搬送部の搬送速度の許容値を算出し、
前記統括制御部は、
当該算出された搬送速度の許容値を前記搬送部の搬送速度として設定し、繰り返しマーキングする機能を備えている
ことを特徴とする、請求項２〜４に記載のマーキング装置である。

請求項６に記載の発明は、
マーキング対象物に描画パターンをマーキングするマーキング方法において、
前記マーキング対象物を第一の方向に連続搬送させる搬送ステップと、
前記マーキング対象物を第一の方向に搬送した量を検出する、搬送量検出ステップとを有し、
前記マーキング対象物に向けて、前記描画パターンに対応するマーキング用光線を照射するマーキングユニットを用い、
前記マーキングユニットを前記第一の方向に移動させるマーキングユニット第一移動ステップとを有し、
前記搬送量検出ステップで検出された単位時間当たりに前記マーキング対象物を搬送した量に基づいて、前記マーキングユニット第一移動ステップにおける前記第一の方向と同じ方向に同じ量を移動させる、同期移動制御ステップとを有し
前記マーキングユニットを前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させるマーキングユニット第二移動ステップと、
前記マーキングユニットの第二の方向の位置を検出する位置検出ステップと、
前記マーキング用光線を照射する位置を変更して前記マーキング対象物上の同じ位置に前記マーキング用光線が照射されるように補正する、マーキング位置補正ステップとを有し、
前記マーキングユニットが前記第二の方向に移動している間に、
前記位置検出ステップで検出された前記マーキングユニットの第二の方向の位置に基づいて、前記マーキング位置補正ステップにおけるずらし量を制御して、前記マーキング対象物上の第二の方向の同じ位置に前記マーキング用光線を所定時間照射させる、
マーキング位置重ね合わせ制御ステップを有し、
前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御して、
前記マーキング対象物が前記第一の方向に連続搬送されている間に、
前記マーキング対象物上の第一の方向及び第二の方向の同じ位置に、前記マーキング用光線を所定時間照射することを特徴とするマーキング方法である。

請求項７に記載の発明は、
前記マーキング対象物には位置決め基準用マークが付与されており、
前記位置決め基準用マークの位置に対するマーキングすべき描画パターンの相対位置をマーキング予定位置として登録しておく描画予定位置登録ステップと、
前記位置決め基準用マークを撮像するマーク撮像ステップと、
前記マーク撮像ステップで撮像された前記位置決め基準用マークの位置情報を検出するマーク位置検出ステップとを有し、
前記マーク撮像ステップで用いられるマーク撮像部とマーキングユニットとの間隔と、前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
ことを特徴とする、請求項６に記載のマーキング方法である。

請求項８に記載の発明は、
前記マーク撮像ステップで撮像された前記位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出ステップをさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに有し、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、
前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記マーク角度検出ステップで検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
ことを特徴とする、請求項７に記載のマーキング方法である。

請求項９に記載の発明は、
前記マーキング対象物には複数の位置決め基準用マークが付与されており、
前記マーク位置検出ステップでは、前記複数の位置決め基準用マークの位置情報を検出し、
前記マーク撮像ステップで撮像された前記複数の位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、当該位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出ステップをさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに有し、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットの間隔と、
前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記マーク角度検出ステップで検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
ことを特徴とする、請求項７に記載のマーキング方法である。

請求項１０に記載の発明は、
前記搬送ステップの搬送速度を演算する搬送速度演算ステップをさらに有し、
前記描画予定位置登録ステップでは、
前記複数配列して登録されたマーキング予定位置のうち、
第一の方向の方向に繰り返しマーキングする間隔を送りピッチとして登録する、送りピッチ登録ステップと、
第二の方向に順次マーキングされる最初の描画パターンと最後の描画パターンとの間隔を両端描画パターン間隔として登録する、両端描画パターン間隔登録ステップとが備えられており、
前記搬送速度演算ステップは、
前記送りピッチと、前記両端描画パターン間隔と、
前記マーキングユニット第二移動ステップにおける順次マーキングのために要する時間と、
前記マーキングユニット第一移動ステップにおける繰り返しマーキングのために要する時間とに基づいて前記搬送ステップの搬送速度の許容値を算出し、
当該算出された搬送速度の許容値を前記搬送ステップの搬送速度として設定し、繰り返しマーキングする機能を備えている
ことを特徴とする、請求項７〜９に記載のマーキング方法である。

連続的に搬送されるマーキング対象物に対して、所定の描画パターンを、「位置ずれ」や「ぶれ」のない状態で連続的にマーキングすることができ、生産性を上げることができる。

本発明を具現化する形態の一例を示す斜視図である。 本発明を具現化する形態の一例に用いられる機器の概略図である。 本発明を具現化する形態の一例を示すシステム構成図である。 本発明を具現化する形態の一例を示すフロー図である。 本発明を具現化する形態の一例におけるマーキング例を示す平面図である。 本発明を具現化する形態の別の一例におけるマーキング例を示す平面図である。 本発明を具現化する形態のさらに別の一例におけるマーキング例を示す平面図である。 本発明を具現化する形態の別の一例を示すフロー図である。 本発明を具現化する形態の別の一例におけるタイムチャート図である。 本発明を具現化する別の形態の一例を示す斜視図である。 従来技術におけるマーキングの様子を示す側面図である。 従来技術におけるマーキングの様子を示す平面図である。

本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。以下の説明では、マーキング対象物１０の一例として、シート状の連続体を用いて説明する。
各図中の直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、ＸＹ平面を水平面、Ｚ方向を鉛直方向とする。特にＺ方向は矢印の方向を上とし、その逆方向を下と表現する。

図１は、本発明を具現化する形態の一例を示す斜視図である。
本発明にかかるマーキング装置１は、搬送部２と、搬送量検出器２２と、マーキングユニット４と、マーキングユニット第一移動部５と、マーキングユニット第二移動部６と、制御部９を含んで構成されている。

搬送部２は、マーキング対象物１０の被マーキング領域を水平に保った状態で、矢印１０ｖで示す第一の方向に、搬送速度ＶＳで連続搬送させるものである。なお本説明においては、矢印１０ｖで示す第一の方向と、図中の直交座標系ｘ方向とは一致させている。
具体的には、マーキング装置１の筐体フレーム１１（図中において点線で示す）に取り付けられた、ｙ方向に所定の長さを有する円筒状のローラ２１と、円筒状のローラ２１を回転させるモータ２１ｍを適宜配置して構成することができる。

搬送量検出器２２は、マーキング対象物１０が矢印１０ｖで示す第一の方向（つまり、ｘ方向）に搬送した量を検出するものであり、本発明における搬送量検出器を構成する。
具体的には、搬送量検出器２２は、円筒状のローラ２１やモータ２１ｍにロータリエンコーダやＦＶカウンタなどを取り付けたものが例示できる。搬送量検出器２２は、マーキング対象物１０が搬送した量に応じたパルス信号を出力するものや、単位時間当たりの搬送速度に比例した電圧信号を出力するものを用いて構成することができる。
あるいは、搬送量検出器２２は、レーザ測長器などの、マーキング対象物１０に設けられた凸凹や端面の位置を検出して、搬送した量を検出するようにしたものでも良い。

マーキングユニット４は、詳細を後述するが、マーキング対象物１０に向けて所定の描画パターンに対応するマーキング用光線を照射するものである。

マーキングユニット第一移動部５は、マーキングユニット４を第一の方向に移動させるものである。本説明においては、第一の方向と、図中の直交座標系ｘ方向とは一致させている。
具体的には、マーキングユニット第一移動部５は、Ｘ軸スライダーユニット５０を含んで構成することができる。Ｘ軸スライダーユニット５０は、マーキング対象物１０の表面と平行であってｘ方向に延びるレールと当該レール上を移動可能に取り付けられた、Ｘ軸スライダー５１を用いて構成することができる。Ｘ軸スライダー５１は、外部からの制御信号に基づいて、当該レール上を所定の速度で移動したり、当該レール上の所定の位置で静止したりすることができる。さらに、Ｘ軸スライダー５１にはマーキングユニット４が取り付けられている。

マーキングユニット第二移動部６は、マーキングユニット４を第一の方向と交差する第二の方向（矢印４０ｙで示す方向）に移動させるものである。なお本説明においては、第二の方向と、図中の直交座標系ｙ方向とは一致させている。
具体的には、マーキングユニット第二移動部６は、筐体フレーム１１の上に配置された一組の支柱１２と、支柱１２の上に取り付けられたＹ軸スライダーユニット６０を含んで構成することができる。Ｙ軸スライダーユニット６０は、マーキング対象物１０の表面と平行であってｙ方向に延びるレールと当該レール上を移動可能に取り付けられた、Ｙ軸スライダー６１を用いて構成することができる。Ｙ軸スライダー６１は、外部からの制御信号に基づいて、当該レール上を所定の速度で移動したり、当該レール上の所定の位置で静止したりすることができる。さらに、Ｙ軸スライダー６１には、Ｘ軸スライダーユニット５０が取り付けられている。

制御部９は、詳細を後述するが、上述の各機器を制御して、マーキング対象物１０上の所定の位置に描画コードをマーキングするものである。

そのため、マーキングユニット４は、マーキング対象物１０とｚ方向に所定の間隔を保ったまま、制御部９からの制御信号に基づいて、ｘ方向及びｙ方向に、それぞれ独立して移動したり静止したりすることができる。
さらに、マーキング装置１は、マーキングユニット４の第二の方向の位置を検出する位置検出器６２を含んで構成されている。具体的には、位置検出器６２は、Ｙ軸スライダーユニット６０に組み込まれたリニアエンコーダで構成することができ、Ｙ軸スライダー６１のｙ方向の位置や移動量に応じた信号を外部機器に出力する形態のものが例示できる。

［マーキングユニット詳細］
図２は、本発明を具現化する形態の一例に用いられる機器の概略図であり、マーキングユニット４の内部の機器レイアウトを示す図である。
マーキングユニット４は、描画パターン生成部４０と、マーキング位置補正部４５とが含まれて構成されている。

描画パターン生成部４０は、光源４０ａと、パターン表示器４０ｍとが含まれて構成されている。また、反射ミラー４０ｃ、ビームエキスパンダ４０ｅ、リレーレンズ４３ａが必要に応じて配置されている。光源４０ａから照射されたレーザビーム４０ｂは、反射ミラー４０ｃで反射され、ビームエキスパンダ４０ｅを通過した後、ビーム幅が拡大されたレーザビーム４０ｆとなる。ビーム幅が拡大されたレーザビーム４０ｆは、パターン表示器４０ｍに照射される。パターン表示器４０ｍの表面で選択的に反射したビーム４２ａは、リレーレンズ４３ａを通過し、描画パターンに対応した光線４２として描画パターン生成部４０から照射される。

描画パターンに対応した光線４２は、必要に応じて、反射ミラー４３ｍで反射され、リレーレンズ４３ｂを通過し、描画パターンに対応した光線４４としてマーキング位置補正部のミラー４５ｍに照射される。描画パターンに対応した光線４４は、ミラー４５ｍに照射され、ｆθレンズ４６を通過し、マーキング用光線４７として、マーキング対象物１０に照射される。ミラー４５ｍは、マーキング位置補正部４５に取り付けられており、外部機器からマーキング位置補正部４５に制御信号を送信することにより、ミラー４５ｍの角度が変更され、マーキング用光線４７の照射方向が変更される。

光源４０ａは、レーザダイオード、レーザ発振器、ＬＥＤ照明、ＵＶランプなどを用いて構成することができ、外部機器から信号を入力してＯＮ／ＯＦＦや出力が制御される。パターン表示器４０ｍは、ＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を用いて構成することができ、外部機器からデータを入力して所定の描画パターンを得ることができる。

マーキング位置補正部４５は、ガルバノメータスキャナを用いて構成することができ、外部機器から信号を入力して、ミラー４５ｍの角度を調節することができる。

［システム構成］
マーキング装置１の制御部９は、マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、同期移動制御部９３と、統括制御部９５とを含んで構成されている。
図３は、本発明を具現化する形態の一例を示すシステム構成図であり、マーキング装置１を構成する各機器がどのように接続されているかを示している。

マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、
マーキングユニット４が第二の方向に移動している間に、
搬送量検出器２２で検出されたマーキングユニット４の、第二の方向の位置に基づいて、マーキング位置補正部４５におけるずらし量を制御して、前記マーキング対象物１０上の第二の方向が同じ位置となるようにマーキング用光線４７を所定時間照射させるものである。

具体的には、マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、制御用コンピュータ及び制御用コンピュータの実行プログラムにおける処理ブロックにて構成されており、以下の動作を具現化するものである。
マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、光源４０ａ、描画パターン表示器４０ｍ、マーキング位置補正部４５と接続されており、光源４０ａ、描画パターン表示器４０ｍを制御して所定の描画パターンに対応した光線４４をミラー４５ｍに照射させることができる。さらに、マーキング位置補正部４５を制御して、マーキング用光線４７の方向を変えることができる。

マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、さらに位置検出器６２と接続されており、位置検出器６２で検出されたマーキングユニット４の第二の方向の位置や移動量に応じた信号を入力する。また、この位置や移動量に応じた信号に基づいて、マーキング位置補正部４５におけるずらし量を制御するように、実行プログラムにおける処理ブロックが構成されている。

マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、詳細を後述する統合制御部９５と接続されており、マーキングユニット４の位置や移動量、並びに、統合制御部９５からの制御指令に基づいて、光源４０ａ、描画パターン表示器４０ｍ、マーキング位置補正部４５を制御することができる。

マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、このような構成をしているので、
マーキングユニット４が第二の方向に移動している間に、前記マーキング対象物１０上の第二の方向の位置を変えず、マーキング対象物１０上の同じ位置に、所定の描画パターンに対応したマーキング用光線４７を所定時間だけ照射し、一列の描画パターン群を所定の位置に整列させた状態でマーキングすることができる。

同期移動制御部９３は、搬送部２と、マーキングユニット第一移動部５と、マーキングユニット第二移動部６と接続されており、搬送量検出器２２で検出された単位時間当たりにマーキング対象物１０を搬送した量に基づいて、マーキングユニット第一移動部５を第一の方向と同じ方向に同じ量を移動させるものである。

具体的には、位置決め制御ユニットを備えたプログラマブルコントローラの、実行プログラムにおける処理ブロックにて構成することができる。
同期移動制御部９３は、搬送部２のモータ２１ｍと接続されており、モータ２１ｍを所定の回転数で回転させたり、停止させたり、回転数を変化させたりすることができる。
同期移動制御部９３は、搬送部２の搬送量検出器２２と接続されており、搬送量検出器２２から出力された信号を入力する。搬送量検出器２２から出力された信号は、現在位置や移動量を示すパルス信号であれば、単位時間当たりの前記パルス信号のカウント数に基づいて、単位時間当たりにマーキング対象物１０を搬送した量を取得する。
さらに、同期移動制御部９３は、Ｘ軸スライダー５１と接続されており、当該単位時間当たりにマーキング対象物１０を搬送した量に基づいて、Ｘ軸スライダー５１に対して制御信号を出力し、Ｘ軸スライダー５１を第一の方向（ｘ方向）に移動させることができる。同様に、同期移動制御部９３は、Ｙ軸スライダー６１と接続されており、Ｙ軸スライダー６１に対して制御信号を出力し、Ｙ軸スライダー６１を第二の方向（ｙ方向）に移動させることができる。

同期移動制御部９３は、詳細を後述する統合制御部９５と接続されており、搬送量検出器２２から取得したマーキング対象物１０の搬送量と、統合制御部９５からの制御指令に基づいて、マーキング対象物１０のｘ方向の移動と、Ｘ軸スライダー５１のｘ方向の移動とが、互いに移動方向及び移動量とが同じになるように制御しながら、Ｘ軸スライダー５１に対して制御信号を出力する。

統括制御部９５は、
マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、同期移動制御部９３とを制御して、マーキング対象物１０が第一の方向（ｘ方向）に連続搬送されている間に、マーキング対象物上の第一の方向（ｘ方向）及び第二の方向（ｙ方向）の同じ位置に、マーキング用光線４７を所定時間照射するものである。
具体的には、統括制御部９５は、制御用コンピュータを用い、その実行プログラムにおける処理ブロックにて構成され、以下のような処理ができるように構成されている。

統括制御部９５は、予めマーキング位置情報や、マーキング対象物１０の搬送速度、Ｘ軸スライダーやＹ軸スライダーの制御パラメータ、その他マーキングに必要な制御パラメータが設定されている。これらの情報は、マーキング位置重ね合わせ制御部９１や、同期移動制御部９３を通じて各部機器へ出力しておく。各部は、制御指令に基づいてマーキング動作が開始できる、マーキング待機状態にしておく。

統括制御部９５は、搬送量検出器２２から出力された信号に基づいて、現在位置からマーキング対象物１０がどれだけ（例えば、何パルス分）移動した後に、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１の移動を開始させれば、移動中のマーキング対象物１０上の所定の位置に、描画パターン群をマーキングできるか、を演算する。
そして、統括制御部９５は、当該演算結果に基づいて、搬送量検出器２２から出力されるマーキング対象物１０の現在位置情報を参照しながら、同期移動制御部９３を通じてＸ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１とを制御しつつ、マーキング位置重ね合わせ制御部９１を通じてマーキングユニット４の描画パターン生成部４０とマーキング位置補正部４５とを制御して、マーキング対象物１０上の所定の位置に所定の描画パターンがマーキングされるように、統括的な制御を行う。

本発明にかかるマーキング装置１は、上述の様な構成をしているため、連続搬送されるマーキング対象物１０に対して、所定の描画パターンを、「位置ずれ」や「ぶれ」のない状態で連続的にマーキングすることができる。また、マーキング対象物１０を連続的に搬送させながらマーキングするため、間欠送りの場合に必要となる加減速時間や静止時間を省くことができ、生産性を上げることができる。

［フローチャート］
図４は、本発明を具現化する形態の一例を示すフロー図であり、マーキング対象物１０上に所定の描画パターンをマーキングするための一連のフローが、ステップ毎に示されている。

先ず、マーキング対象物１０を搬送部２のローラ２１にセットする（ｓ１０１）。次に、モータ２１ｍを回転させ、所定の速度でマーキング対象物１０を連続搬送させる（ｓ１０２）。そして、搬送量検出器２２から検出されたマーキング対象物１０の搬送量を検出する（ｓ１０４）。

マーキング対象物１０を連続搬送させたまま、マーキングユニット第一移動部を用いて、マーキングユニット４を第一の方向に移動させる（ｓ１１１）。このステップｓ１０２からステップｓ１１１の一連のステップを、同期移動制御ステップ（ｓ１０）という。

一方、マーキング対象物１０を連続搬送させたまま、マーキングユニット４を第一の方向に移動させながら、マーキングユニット第二移動部を用いて、マーキングユニット４を第二の方向に移動させる（ｓ１２１）。このとき、位置検出器６２からマーキングユニット４の第二の方向の位置を検出する（ｓ１２２）。そして、マーキングユニット４の第二の方向の位置に基づいて、ミラー４５の角度を調整する（ｓ１２３）。このとき、ミラー４５ｍの角度は、マーキング用光線２７を照射する位置を変更し、マーキング対象物１０上の同じ位置にマーキング用光線２７が照射されるように補正している。つまり、マーキングユニット４が移動する方向とは逆向きにマーキング用光線２７を照射する角度を変更し、ｙ方向の相対速度が無い状態となるように補正している。そのようにして、所定時間、同じ場所にマーキング用光線２７をマーキング対象物１０上に照射している（ｓ１２４）。

そして、一列の描画パターン群に対してマーキングが完了したかどうかを判断する（ｓ１２５）。ステップｓ１２５で、一列の描画パターン群に対してマーキングが完了していないと判断されれば、上記ステップｓ１２１〜ｓ１２５を繰り返す。一方、ステップｓ１２５で、一列の描画パターン群に対してマーキングが完了していると判断されれば、次のステップへ進む。このステップｓ１２１からステップｓ１２５までの一連のステップ（つまり、一列の描画パターン群を順次マーキングする動作）を、マーキング位置重ね合わせ制御ステップ（ｓ２０）という。

そして、同期移動制御ステップ（ｓ１０）と、マーキング位置重ね合わせ制御ステップ（ｓ２０）とを連携させながら制御して、マーキング対象物１０が第一の方向に連続搬送されている間に、マーキング対象物上の第一の方向及び第二の方向の同じ位置に、マーキング用光線２７を所定時間照射する。

マーキングユニット４が第二の方向に移動し終われば、マーキングユニット４をｘ方向と逆向きに動かし、元のｘ位置に戻す（ｓ１３１）。そして、マーキングが終了したかどうかを判断し（ｓ１３２）、マーキングが終了していると判断されれば、一連のフローが完了する。一方、マーキングが終了していないと判断されれば、上述のステップｓ１０４以降の動作が繰り返し行われ、複数列の描画パターン群に対して繰り返しマーキングが行われる。

［マーキング例１］
図５は、本発明を具現化する形態の一例におけるマーキング例を示す平面図であり、マーキング対象物１０上に、所定の描画パターンが良好にマーキングされている様子が示されている。
マーキング対象物１０は、矢印１０ｖに示す方向に、所定の速度ＶＳで搬送されており、
マーキングユニット４は、矢印４０ｖ１に示す方向に相対移動しながら、マーキング対象物１０上の所定の位置に、描画パターン１７ａ〜１７ｄを順次マーキングする。
その後、マーキングユニット４は、矢印４０ｖ２に示す方向に相対移動しながら、マーキング対象物１０上の所定の位置に、描画パターン１７ｅ〜１７ｈを順次マーキングする。

なお、１７ａ〜１７ｄを一列の描画パターン群、１７ｅ〜１７ｈを次の一列の描画パターン群とし、これらの列の間隔を、送りピッチＰＸと呼ぶ。つまり、一列の描画パターン群は、順次マーキングされるが、その動作が繰り返し行われ、送りピッチＰＸ毎に、順次マーキングが繰り返し行われる。
また、一列の描画パターン群の両端（１７ａと１７ｄ）の描画パターンの間隔や、次の一列の描画パターン群の両端（１７ｅと１７ｈ）の描画パターンの間隔は、第二の方向に順次マーキングされる最初の描画パターンと最後の描画パターンとの間隔であり、両端ピッチＬＹと呼ぶ。

このとき、マーキングユニット４のマーキング可能エリアの中心位置に着目し、当該中心位置が、前記描画パターン１７ａ〜１７ｈをマーキングする際に通過した軌跡（以下、マーキングユニットの動作軌跡と呼ぶ）を、破線４０ｋとして、図に示す。
以下、マーキングユニット４の当該中心位置について、Ｘ軸スライダー５１，Ｙ軸スライダー６１などの動作と併せて説明をする。なお、ｙ方向の矢印の方向を往路、その逆方向を復路と呼ぶ。

最初、マーキング開始前の当該中心位置は、往路マーキング前待機位置４８ｚ１にある。
その後、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１が移動し、矢印４８ｖ１で示す方向に移動する。
その後、地点４８ａの前後で描画パターン１７ａが、地点４８ｂの前後で描画パターン１７ｂが、地点４８ｃの前後で描画パターン１７ｃが、地点４８ｄの前後で描画パターン１７ｄが、描画される。
その後、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダーが減速し、往路マーキング後停止位置４８ｚ２で停止する。
その後、Ｘ軸スライダー５１が矢印４８ｖ２で示す方向に移動し、復路マーキング前待機位置４８ｚ３で停止する。
その後、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１が矢印４８ｖ３で示す方向に移動する。その後、地点４８ｅの前後で描画パターン１７ｅが、地点４８ｆの前後で描画パターン１７ｆが、地点４８ｇの前後で描画パターン１７ｇが、地点４８ｈの前後で描画パターン１７ｈが、マーキングされる。
その後、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダーが減速し、復路マーキング後停止位置４８ｚ４で停止する。
その後、Ｘ軸スライダー５１が矢印４８ｖ４で示す方向に移動し、往路マーキング前待機位置４８ｚ５で停止する。
その後、再びＸ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１が移動し、矢印４８ｖ１で示す方向に移動し、上記と同様の動作が繰り返される。このような動作を繰り返すことで、マーキングユニット４は、図５に示す破線４０ｋのような軌跡を描きながら、所定の位置に描画パターンをマーキングする。

［マーキング例２］
上述説明では、Ｘ軸スライダー５１、Ｙ軸スライダー６１の双方が停止後に、Ｘ軸スライダー５１が戻る形態について説明した。しかし、時間短縮のためにマーキング位置通過後に、Ｙ軸スライダー６１が減速中に、Ｘ軸スライダー５１が減速完了後、すぐに逆方向に移動を開始する場合もある。この場合、前記マーキング可能エリアの中心位置は、図５を用いて説明した前記位置４８ｚ２，４８ｚ４には到達せず、異なる軌跡で移動する。

図６は、本発明を具現化する形態の別の一例におけるマーキング例を示す平面図であり、図５と異なる軌跡で移動する例が、図６（ａ）に示されている。

図６（ａ）に示す形態の場合、マーキングユニット４は、地点４８ｄの前後で描画パターン１７ｄをマーキングするまでは、図５を用いて上述した形態と同じ動きであり、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１は、描画パターン１７ｄをマーキングした後に減速を開始する。
しかし、Ｘ軸スライダー５１は、停止後直ぐに、復路マーキング前待機位置４８ｚ３に向かって移動を開始し、その移動中に、Ｙ軸スライダー６１が停止状態となる。
その後、Ｘ軸スライダー５１、Ｙ軸スライダー６１は、復路マーキング前待機位置４８ｚ３で停止状態となる。

その後、マーキングユニット４は、再び図５を用いて上述した形態と同じ動きで、描画パターン１７ｅ〜１７ｈをマーキングする。そして、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１は、描画パターン１７ｅをマーキングした後に減速を開始する。
しかし、Ｘ軸スライダー５１は、停止後直ぐに、復路マーキング前待機位置４８ｚ５に向かって移動を開始し、その移動中に、Ｙ軸スライダー６１が停止状態となる。
その後、Ｘ軸スライダー５１、Ｙ軸スライダー６１は、往路マーキング前待機位置４８ｚ５で停止状態となる。
上述の動作を繰り返すことで、マーキングユニット４は、図６（ａ）に示す破線４０ｋ１のような軌跡を描きながら、所定の位置に描画パターンをマーキングする。

［マーキング例３］
図６（ｂ）には、マーキングユニット４の前記中心位置が、図５，図６（ａ）と異なる軌跡で移動する例が示されている。
この形態では、Ｙ軸スライダー６１が停止状態となった後、Ｘ軸スライダー５１が停止する前に、Ｙ軸スライダー６１は、次の列のマーキングをするために移動し始める。
上述の動作を繰り返すことで、マーキングユニット４は、図６（ｂ）に示す破線４０ｋ２のような軌跡を描きながら、所定の位置に描画パターンをマーキングする。

［アライメント］
マーキング対象物１０上に予め準備されているマーキング用エリアの配列は、ｘ方向やｙ方向にずれている場合がある。これは、前工程で形成される主回路パターンなどが、マーキング対象物の搬送速度方向や幅方向に位置ずれした状態で、形成されてしまったためである。このように位置ずれしたマーキング用エリアの配列に対しても、所定の場所にマーキングすることが求められる。そのため、マーキング装置１は、さらにマーク撮像部７と、描画予定位置登録部９４と、マーク位置検出部９７とを含んで構成することが好ましい。

マーク撮像部７は、マーキング対象物１０に付与された、位置決め基準用マークを撮像するものである。具体的には、マーク撮像部７は、撮像カメラ７１、レンズ、照明などで構成し、図１に示すような場所に配置することができる。

描画予定位置登録部９４は、マーキング対象物１０上の、位置決め基準用マークの位置に対するマーキングすべき描画パターンの相対位置を、マーキング予定位置として登録しておくものである。

マーク位置検出部９７は、マーク撮像部７で撮像された前記位置決め基準用マークの位置情報を検出するものである。具体的には、マーク位置検出部９７は、市販の画像処理ユニットを用い、当該画像処理ユニットの実行プログラムにおける処理ブロックにて構成することができ、マーク観察部７の視野内のどの位置に当該マークの中心位置又は基準位置があるか、画像処理を行って検出する。さらに、図３に示すように、マーク位置検出部９７は、統括制御部９５と接続して用い、検出された前記位置決め基準用マークの位置情報を、統括制御部９５に出力する。

統括制御部９５は、予め登録された、撮像カメラ７１とマーキングユニット４の間隔（つまり、ｘ方向の距離と、ｙ方向の距離）と、検出された前記位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、マーキング対象物１０上のどの位置にマーキングすべきかを演算し、その演算結果に基づいて、マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、同期移動制御部９３とを制御して、所定の位置にマーキングを行う。

そうすることで、本発明にかかるマーキング装置及び方法により、マーキング対象物１０上に予め準備されているマーキング用エリアの配列が、ｘ方向やｙ方向にずれていても、所定の場所にマーキングすることができる。

［マーキング位置シフト機能］
マーキング対象物１０上に予め準備されているマーキング用エリアの配列が、ｘ方向及びｙ方向のずれのみならず、ローテート（いわゆる、θずれ）している場合がある。ここで、θ方向とは、ｚ方向を回転中心とた回転方向（紙面に向かって時計回り）をいい、θずれとは、図７に示すような例が示される。

図７は、本発明を具現化する形態のさらに別の一例におけるマーキング例を示す平面図であり、前記θずれが無い場合の配置として設定し、登録された、破線で示すマーキング用エリア１９ａ〜１９ｄ，１９ｅ〜１９ｈと、それらに対応する位置決め基準用マーク７６ａ，７７ａが図示されている。そして、実際のマーキング対象物１０上に付された位置決め基準用マーク７６ａ’，７７ａ’を撮像し、位置情報と角度情報とから、実際にマーキングすべきエリア１９ａ’〜１９ｄ’，１９ｅ’〜１９ｈ’の位置を演算し、一連のマーキング動作を行う。

このとき、矢印４０ｖ１’，４０ｖ２’の方向にマーキングユニット４を相対移動させてしまうと、マーキング対象物１０とマーキングユニット４との間に、ｘ方向の相対移動速度が発生してしまう。この状態で一連のマーキング動作を行うと、マーキングされる描画パターンは、所定の位置に「位置ずれ」なくマーキングされるが、搬送方向の相対移動速度に起因する「ぶれ」のある状態でマーキングされるおそれがある。

そのために、本発明にかかるマーキング装置１は、マーク角度検出部９８と、マーキング位置シフト機能とをさらに備えて構成することが好ましい。
マーク角度検出部９８は、マーク撮像部で撮像された前記位置決め基準用マークの角度情報を検出するものであり、位置決め基準用マークの形状や特徴点を抽出して、角度情報を取得するものである。
具体的には、マーク角度検出部９８は、マーク位置検出部９７を構成する画像処理ユニットと共通の機器を用い、当該画像処理ユニットの実行プログラムにおける処理ブロックにて構成することができる。当該画像処理ユニットでは、撮像カメラ７１で撮像されたマークの、位置や角度を検出することができるように、当該処理ブロックが構成されている。

マーク位置検出部９７で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、マーク角度検出部９８で検出された位置決め基準用マークの角度情報は、統括制御部９５へ出力される。

マーキング位置シフト機能は、予め設定登録されたマーキング予定位置に対して、マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するものである。
具体的には、マーキングユニット４は、マーキング対象物１０に対して矢印４０ｖ１，４０ｖ２の方向に相対移動するものとし、ｘ方向の相対移動速度が無い状態で、一連のマーキング動作を行う。このとき、統括制御部９５は、マーク撮像部７の撮像カメラ７１とマーキングユニット４との間隔と、マーク位置検出部９７で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、マーク角度検出部９８で検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向にシフトさせる所定量を決定し、当該シフトさせる所定量をマーキングユニット４に出力する。そして、実際に描画パターンをマーキングする際のＹ軸スライダー６１の位置情報に基づいて、描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向（ｘ方向、ｙ方向の一方或いは双方）に所定量シフトさせるとともに、マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、前記同期移動制御部９３と制御し、一連のマーキング動作を行う。

そうすることで、θずれに起因して、予め設定されるマーキング用エリアが、Ｘ方向，Ｙ方向の一方又は双方に位置ずれしていたとしても、所定のエリア内に整列させた「位置ずれ」も「ぶれ」もない状態で、所定の場所にマトリクス状に整列させた状態で描画パターンをマーキングすることができる。

［２マークアライメント］
前述では一列の描画コード群をマーキングするために、対応する１つのマークを撮像してアライメントする形態を述べた。１つのアライメントマークを撮像する場合、θずれの角度が検出しづらい。

そのために、本発明にかかるマーキング装置１は、マーキング対象物に予め付与された複数の位置決め基準用マークを撮像するマーク撮像部と、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂと、マーキング位置シフト機能とをさらに備え、前記θずれを補正するように構成することが好ましい。

２マークアライメントに用いるマーク撮像部７は、図１に示すように、複数の撮像カメラ７１，７２を用いて構成する。或いは、マーク撮像部７は、それ以外の形態でも良く、１つの撮像カメラ７１を用いて、複数の位置決め基準用マークを観察し、それぞれの撮像位置情報を取得する形態でも良い。
例えば、図７を用いて説明すると、マーキング用エリア１９ａ〜１９ｄに対しては、位置決め基準用マーク７６ａ，７６ｂを設定し、マーキング用エリア１９ｅ〜１９ｈに対しては、位置決め基準用マーク７７ａ，７７ｂを設定しておく。

２マークアライメントの場合、描画予定位置登録部９４には、マーキング対象物１０上の、複数の位置決め基準用マーク位置に対応するマーキングすべき描画パターンの相対位置を、マーキング予定位置として設定し、登録しておく。

マーク位置検出部９７は、マーク撮像部７の撮像カメラ７１，７２とマーキングユニット４との間隔と、前記撮像された複数の位置決め基準用マークの撮像位置情報を検出し、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂに当該位置情報を出力する。

複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂは、マーク撮像部７で撮像された複数の位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、角度情報を取得するものである。
具体的には、マーク角度検出部９８ｂは、マーク位置検出部９７を構成する画像処理ユニットと共通の機器を用い、当該画像処理ユニットの実行プログラムにおける処理ブロックにて構成することができる。

当該画像処理ユニットでは、撮像カメラ７１，７２で撮像された複数のマークの位置情報を、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂに出力する。そして、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂは、当該複数のマークの位置情報に基づいて、角度を検出するための演算が行われるように当該処理ブロックが構成されている。マーク位置検出部９７で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂで検出された位置決め基準用マークの角度情報とは、統括制御部９５へ出力される。

マーキング位置シフト機能は、予め設定登録されたマーキング予定位置に対して、マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するものである。
具体的には、マーキングユニット４は、マーキング対象物１０に対して矢印４０ｖ１，４０ｖ２の方向に相対移動するものとし、ｘ方向の相対移動速度が無い状態で、一連のマーキング動作を行う。このとき、統括制御部９５は、マーク撮像部７の撮像カメラ７１，７２とマーキングユニット４との間隔と、マーク位置検出部９７で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂで検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向にシフトさせる所定量を決定し、当該シフトさせる所定量をマーキングユニット４に出力する。そして、実際に描画パターンをマーキングする際のＹ軸スライダー６１の位置情報に基づいて、描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向（ｘ方向、ｙ方向の一方或いは双方）に所定量シフトさせるとともに、マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、前記同期移動制御部９３と制御し、一連のマーキング動作を行う。

そうすることで、マーキング対象物１０上に予め準備されている、マーキング用エリアが、θ方向に位置ずれした状態であっても、離れた位置にある複数の位置決め基準用マークを観察するので、θずれの補正精度を高めることができる。

［搬送速度許容値計算］
生産性を上げるために、マーキング対象物１０を第一の方向に連続搬送する搬送速度ＶＳをなるべく速くすることが求められる。しかし、マーキング対象物の搬送速度ＶＳを上げすぎると、Ｘ軸スライダー５１の繰り返し動作やＹ軸スライダー６１の動作が間に合わず、所定の位置にマーキングできないおそれがある。例えば、以下のケースに示すような状態が例示できる。
（ケース１）送りピッチＰＸが狭く、一列の描画パターンをマーキングするためにＹ軸スライダー６１が往路又は復路を移動する間に、次のマーキング位置が過ぎてしまう。
（ケース２）送りピッチＰＸが狭く、一列の描画パターンをマーキングするためにＸ軸スライダー５１が往復移動する間に、次のマーキング位置が過ぎてしまう。

このような状態になることを防ぎ、なるべく早い搬送速度ＶＳで運用するためには、搬送速度ＶＳは、Ｘ軸スライダー５１の繰り返し動作やＹ軸スライダー６１の動作が確実に行える、搬送速度の許容値を算出し、その値に設定する必要がある。

そのため、本発明にかかるマーキング装置１は、搬送速度の許容値を算出する、搬送速度演算部９９をさらに含んで構成することが好ましい。
搬送速度演算部９９は、送りピッチＰＸと、両端ピッチＬＹと、
Ｙ軸スライダー６１が一列の描画パターン群を順次マーキングするために要する時間と、
Ｘ軸スライダー５１が一列の描画パターン群を繰り返しマーキングするために要する（つまり、往復移動のための）時間と
に基づいて前記搬送部の搬送速度の許容値を算出するものである。

さらに統括制御部９５は、
当該算出された搬送速度の許容値を、搬送部の搬送速度ＶＳとして設定し、複数配列して登録されたマーキング予定位置に基づいて、マーキング対象物１０を連続搬送させながら、
マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、同期移動制御部９３とを制御して、複数配列して登録された描画パターンを、繰り返しマーキングを行うものである。

具体的には、搬送速度演算部９９では、以下の手順で前記搬送部の搬送速度の許容値が算出される。
図８は、本発明を具現化する形態の別の一例を示すフロー図であり、マーキング対象物１０上に所定の描画パターンを繰り返しマーキングするための、搬送速度の許容値を算出する一連のフローが、ステップ毎に示されている。

先ず、仮の搬送速度Ｖｐを設定する（ｓ２０１）。
次に、送りピッチＰＸと、仮の搬送速度Ｖｐから、繰り返しマーキングに費やせる時間ＴＳを算出する（ｓ２０２）。この時間ＴＳは、繰り返しマーキングのインターバル時間（いわゆる、タクトタイム）となり、この時間毎に繰り返しマーキング動作が実行される。
次に、マーキングユニット４が一列の描画パターン群を順次マーキングするために必要な時間ＴＹを算出する（ｓ２０３）。この時間ＴＹは、Ｙ軸スライダー６１が停止状態から加速し、等速移動し、減速し、停止するまでの合計時間である。

併せて、マーキングユニット４が一列の描画パターン群を繰り返しマーキングするために必要な時間ＴＸを算出する（ｓ２０４）。この時間ＴＸは、Ｘ軸スライダー５１が停止状態から加速し、等速移動し、減速し、停止するまでの合計時間ＴＸ１と、元の位置に戻るための時間ＴＸ２とを合算した時間となる。

次に、上記ステップで算出した時間ＴＸ，ＴＹが、前記時間ＴＳより小さいかどうかを比較し、インターバル時間内に各マーキング動作が完了するかどうかを判断する（ｓ２０５）。

そして、ステップｓ２０５で、前記時間ＴＸ，ＴＹが、前記時間ＴＳより小さいと判断されれば、その時の仮の搬送速度Ｖｐの値を、搬送速度の許容値とし、実際の搬送速度ＶＳとして設定する。

一方、前記時間ＴＸ，ＴＹのいずれかが前記時間ＴＳより大きいと判断されれば、仮の搬送速度Ｖｐを小さい値に変更し（ｓ２１１）、前記ステップｓ２０２〜ｓ２０５を繰り返す。

図９は、本発明を具現化する形態の別の一例におけるタイムチャート図である。図９は、横軸を時間ｔとし、縦軸をＹ軸スライダー６１の速度、Ｘ軸スライダー５１の速度とし、マーキングユニット４のマーキング可能エリアの中心位置が図６（ａ）に示す軌跡を描くように移動する場合の、Ｙ軸スライダー６１の動作と、Ｘ軸スライダー５１の動作が示されている。図９に示すタイムチャートは、図６（ａ）を用いて上述した形態に対応するものである。マーキング対象物１０の搬送速度をＶＳとすると、Ｘ軸スライダーと、Ｙ軸スライダーとは、下記の様に制御される。

時刻ｔ１にて、アライメントマークを読み取り、アライメントマークの現在位置と、基準位置との距離を測定する。
時刻ｔ２からＹ軸スライダーをＹ方向に加速させ、時刻ｔ４で等速移動に切り替える。
時刻ｔ４から時刻ｔ５まで、Ｙ軸スライダーを等速移動させる。
時刻ｔ５からＹ軸スライダーを減速させ、時刻ｔ７で停止させる。
時刻ｔ７から次のマーク観察時刻ｔ１１まで、Ｙ軸スライダーを待機させる。
一方、時刻ｔ３からＸ軸スライダーを加速させ、時刻ｔ４で等速移動に切り替える。
時刻ｔ５からＸ軸スライダーを減速させ、時刻ｔ６で停止させる。
その後、Ｘ軸スライダーを逆方向に移動させ、時刻ｔ８で待機位置に戻して停止させる。
次のマーク観察時刻ｔ１１の後、時刻ｔ１２からＹ軸スライダーを逆方向に加速させ、時刻ｔ１３で等速移動に切り替える。
一方、時刻ｔ１２からＸ軸スライダーを加速させ、時刻ｔ１４で等速移動に切り替える。
なお、時刻ｔ４から時刻ｔ５の間に、マーキングユニットにて、マーキング対象物にマーキングが行われる。

なお、時刻ｔ８，ｔ１１のタイミングは、実際の運用においては、同時でも良いし、前後しても良い。例えば、時刻ｔ７の直後に時刻ｔ１２に示したＹ軸スライダー６１の加速を開始させ、時刻ｔ８の直後に時刻ｔ１３に示したＸ軸スライダー５１の加速を開始させる形態が例示できる。この形態の場合、マーキングユニット４は、当該中心位置が図６（ｂ）に示すような軌跡を描くように移動を繰り返し、連続搬送されるマーキング対象物１０上の所定の位置に、描画パターンをマーキングできる。

一方、時刻ｔ６に示す、Ｘ軸スライダー５１の戻り移動のための加速を、時刻ｔ７に示すＹ軸スライダー６１の減速完了後に開始させ、時刻ｔ８に示すＸ軸スライダー５１の戻り移動のための減速完了まで、Ｙ軸スライダー６１を静止状態にさせる形態が例示できる。この形態の場合、マーキングユニット４は、当該中心位置が図５に示すような軌跡を描くように移動を繰り返し、連続搬送されるマーキング対象物１０上の所定の位置に、描画パターンをマーキングできる。

いずれの場合も、一列の描画パターン群をマーキングする間、マーキングユニット４は、マーキング対象物１０の搬送方向に相対移動速度がないので「ぶれ」が生じない。

［バリエーション］
図１０は、本発明を具現化する別の形態の一例を示す斜視図である。図１０に示すマーキング装置１ａは、マーキングユニット４をｘ方向及びｙ方向に移動させる、マーキングユニット第一移動部５と、マーキングユニット第二移動部６とが、図１に示すマーキング装置１と形態が異なる。マーキング装置１ａにおけるマーキングユニット第一移動部５ａは、筐体フレーム１１の上に取り付けられたＸ軸スライダーユニット５０ａと、Ｘ軸スライダー５１ａとを含んで構成されている。

マーキングユニット第一移動部５ａは、Ｘ軸スライダーユニット５０ａと平行となるように、筐体フレーム１１の上に取り付けられたＸ軸補助スライダーユニット５０ｂと、Ｘ軸補助スライダー５１ｂとを含んで構成されている。

マーキングユニット第二移動部６は、Ｘ軸スライダー５１ａと、Ｘ軸補助スライダー５１ｂの上に取り付けられたＹ軸スライダーユニット６０と、Ｙ軸スライダー６１とを含んで構成されている。
Ｙ軸スライダーユニット６０は、Ｘ軸スライダー５１ａとＸ軸補助スライダー５１ｂ上に支柱１３を介して取り付けられており、マーキング対象物１０とｚ方向の距離を一定に保ちながら、ｘ方向に移動できるように取り付けられている。Ｙ軸スライダーユニット６０は、ｙ方向に移動可能なＹ軸スライダー６１が含まれて構成されており、外部からの制御信号に基づいて、Ｙ軸スライダー６１を所定の位置に移動・静止させることができる。
マーキングユニット４は、マーキングユニット第二移動部６のＹ軸スライダー６１に取り付けられている。そのため、マーキングユニット４は、ｘ方向とｙ方向の一方又は双方に、独立して移動することができる。

その他の機器や、システム構成は、図１及び図２を用いて示した形態と同じである。そのため、マーキング装置１ａは、上述のマーキング装置１と同様に、連続的に搬送されるマーキング対象物１０に対して、所定の描画パターンを、搬送方向の相対移動速度に起因する「ぶれ」のない状態で連続的にマーキングすることができる。

［別のマーキングユニット例］
上述の説明においては、マーキングユニット４に用いる描画パターン生成部４１は、パターン表示器４０ｍとして、ＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を用いて構成する例を示して説明した。しかし、パターン表示器４０ｍは、他の方式でも良く、例えば透過式液晶マスク方式のパターン表示器を用いることができる。この場合、Ｙ軸スライダー６１とマーキングユニットの間に、もう１つＹ軸スライダー６１ｂを配置し、マーキング中にもう１つのＹ軸スライダー６１ｂをＹ軸スライダー６１と逆方向に同じ速度で移動させてマーキングするような、マーキング位置補正部を構成する。そうすることで、マーキング対象物１０上の同じ場所に所定時間、描画パターンに対応したエネルギーを照射し続けるように位置補正し、本発明を適用したマーキングを行うことができる。

１ マーキング装置
１ａ マーキング装置
２ 搬送部（ｘ方向）
４ マーキングユニット
５ マーキングユニット第一移動部（ｘ方向）
６ マーキングユニット第二移動部（ｙ方向）
７ マーク撮像部
９ 制御部
１０ マーキング対象物
１０ｖ 搬送方向
１０ｚ マーキング対象物
１１ 筐体フレーム
１２ 支柱
１３ 支柱
１５ 描画パターン（従来：静止ＯＫ）
１６ 描画パターン（従来：搬送中ＮＧ）
１７ 描画パターン（本願：搬送中ＯＫ）
１８ 描画パターン（本願：搬送速すぎ：ＮＧ）

２０ｚ 載置台
２１ ローラ
２１ｍ モータ
２２ 搬送量検出器
４０ 描画パターン生成部
４０ａ 光源
４０ｂ レーザビーム
４０ｃ ＤＭＤミラー
４０ｖ１ 矢印（マーキングユニットの相対移動方向・往路）
４０ｖ２ 矢印（マーキングユニットの相対移動方向・復路）
４１ 描画パターン生成部
４１ａ ＵＶランプ
４１ｂ ＵＶ光線
４１ｃ 液晶マスク
４２ 描画パターンに対応した光線
４３ 光学部品
４３ｍ ミラー
４３ａ リレーレンズ
４３ｂ リレーレンズ
４４ 描画パターンに対応した光線
４５ マーキング位置補正部（ガルバノミラー等）
４６ ｆθレンズ
４７ マーキング用光線
４７ａ
４８ｖ１ 矢印（往路マーキング）
４８ｖ２ 矢印（復路待機位置へ移動）
４８ｖ３ 矢印（復路マーキング）
４８ｖ４ 矢印（往路待機位置へ移動）
４８ｚ１ 往路マーキング前待機位置
４８ｚ２ 往路マーキング後停止位置
４８ｚ３ 復路マーキング前待機位置
４８ｚ４ 復路マーキング後停止位置
５０ Ｘ軸スライダーユニット
５１ Ｘ軸スライダー
５０ａ Ｘ軸スライダーユニット
５１ａ Ｘ軸スライダー
５０ｂ Ｘ軸補助スライダーユニット
５１ｂ Ｘ軸補助スライダー
６０ Ｙ軸スライダーユニット
６１ Ｙ軸スライダー
６２ 位置検出器
７１ 撮像カメラ
７２ 撮像カメラ
７６ａ 位置決め基準用マーク
７６ｂ 位置決め基準用マーク（２マークアライメント用）
７７ａ 位置決め基準用マーク
７７ｂ 位置決め基準用マーク（２マークアライメント用）
９１ マーキング位置重ね合わせ制御部
９３ 同期移動制御部
９４ 描画予定位置登録部
９５ 統括制御部
９７ マーク位置検出部
９８ マーク角度検出部
９９ 搬送速度演算部
９８ｂ 複数のマーク位置に基づく角度検出部
ＰＸ 送りピッチ
ＬＹ 両端ピッチ
ＴＳ 繰り返しマーキングに費やせる時間
ＴＸ 一列の描画パターン群を繰り返しマーキングするために必要な時間
ＴＹ 一列の描画パターン群を順次マーキングするために必要な時間
Ｖｐ 仮の搬送速度
ＶＳ マーキング対象物の搬送速度
ＶＸ マーキングユニットの移動速度（ｘ方向）
ＶＹ マーキングユニットの移動速度（ｙ方向）

Claims (10)

1. マーキング対象物に描画パターンをマーキングするマーキング装置において、
   前記マーキング対象物を第一の方向に連続搬送させる搬送部と、
   前記マーキング対象物を前記第一の方向に搬送した量を検出する搬送量検出器と、
   前記マーキング対象物に向けて、前記描画パターンに対応するマーキング用光線を照射するマーキングユニットと、
   前記マーキングユニットを前記第一の方向に移動させるマーキングユニット第一移動部とを備え、
   前記搬送量検出器で検出された単位時間当たりに前記マーキング対象物を搬送した量に基づいて、前記マーキングユニット第一移動部を前記第一の方向と同じ方向に同じ量を移動させる、同期移動制御部とを備え、
   前記マーキングユニットを前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させるマーキングユニット第二移動部と、
   前記マーキングユニットの第二の方向の位置を検出する位置検出器と、
   前記マーキング用光線を照射する位置を変更して前記マーキング対象物上の同じ位置に前記マーキング用光線が照射されるように補正する、マーキング位置補正部とを備え、
   前記マーキングユニットが前記第二の方向に移動している間に、
   前記位置検出器で検出された前記マーキングユニットの第二の方向の位置に基づいて、
   前記マーキング位置補正部におけるずらし量を制御して、前記マーキング対象物上の第二の方向の同じ位置に前記マーキング用光線を所定時間照射させる、
   マーキング位置重ね合わせ制御部を備え、
   前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御して、
   前記マーキング対象物を前記第一の方向に連続搬送しつつ、
   前記マーキング対象物上の第一の方向及び第二の方向の同じ位置に、前記マーキング用光線を所定時間照射させる統括制御部を備えた
   ことを特徴とするマーキング装置。
2. 前記マーキング対象物には位置決め基準用マークが付与されており、
   前記位置決め基準用マークの位置に対するマーキングすべき描画パターンの相対位置をマーキング予定位置として登録しておく描画予定位置登録部と、
   前記位置決め基準用マークを撮像するマーク撮像部と
   前記マーク撮像部で撮像された前記位置決め基準用マークの位置情報を検出するマーク位置検出部とを備え、
   前記統括制御部は、前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
   ことを特徴とする、請求項１に記載のマーキング装置。
3. 前記マーク撮像部で撮像された前記位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出部をさらに備え、
   前記マーキングユニットは、
   前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに備え、
   前記統括制御部は、
   前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、
   前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
   前記マーク角度検出部で検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
   描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
   ことを特徴とする、請求項２に記載のマーキング装置。
4. 前記マーキング対象物には複数の位置決め基準用マークが付与されており、
   前記マーク位置検出部は前記複数の位置決め基準用マークの位置情報を検出し、
   前記マーク撮像部で撮像された前記複数の位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、当該位置決め基準用マークの角度情報を検出する、複数のマーク位置に基づく角度検出部をさらに備え、
   前記マーキングユニットは、
   前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに備え
   前記統括制御部は、
   前記マーク撮像部と前記マーキングユニットの間隔と、
   前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
   前記複数のマーク位置に基づく角度検出部で検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
   描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
   ことを特徴とする、請求項２に記載のマーキング装置。
5. 前記搬送部の搬送速度を演算する搬送速度演算部をさらに備え、
   前記描画予定位置登録部には、
   前記複数配列して登録されたマーキング予定位置のうち、
   第一の方向の方向に繰り返しマーキングする間隔を送りピッチとして登録する、送りピッチ登録部と、
   第二の方向に順次マーキングされる最初の描画パターンと最後の描画パターンとの間隔を両端描画パターン間隔として登録する、両端描画パターン間隔登録部とが備えられており、
   前記搬送速度演算部は、
   前記送りピッチと、前記両端描画パターン間隔と、
   前記マーキングユニット第二移動部における順次マーキングのために要する時間と、
   前記マーキングユニット第一移動部における繰り返しマーキングのために要する時間とに基づいて前記搬送部の搬送速度の許容値を算出し、
   前記統括制御部は、
   当該算出された搬送速度の許容値を前記搬送部の搬送速度として設定し、繰り返しマーキングする機能を備えている
   ことを特徴とする、請求項２〜４に記載のマーキング装置。
6. マーキング対象物に描画パターンをマーキングするマーキング方法において、
   前記マーキング対象物を第一の方向に連続搬送させる搬送ステップと、
   前記マーキング対象物を第一の方向に搬送した量を検出する、搬送量検出ステップとを有し、
   前記マーキング対象物に向けて、前記描画パターンに対応するマーキング用光線を照射するマーキングユニットを用い、
   前記マーキングユニットを前記第一の方向に移動させるマーキングユニット第一移動ステップとを有し、
   前記搬送量検出ステップで検出された単位時間当たりに前記マーキング対象物を搬送した量に基づいて、前記マーキングユニット第一移動ステップにおける前記第一の方向と同じ方向に同じ量を移動させる、同期移動制御ステップとを有し
   前記マーキングユニットを前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させるマーキングユニット第二移動ステップと、
   前記マーキングユニットの第二の方向の位置を検出する位置検出ステップと、
   前記マーキング用光線を照射する位置を変更して前記マーキング対象物上の同じ位置に前記マーキング用光線が照射されるように補正する、マーキング位置補正ステップとを有し、
   前記マーキングユニットが前記第二の方向に移動している間に、
   前記位置検出ステップで検出された前記マーキングユニットの第二の方向の位置に基づいて、前記マーキング位置補正ステップにおけるずらし量を制御して、前記マーキング対象物上の第二の方向の同じ位置に前記マーキング用光線を所定時間照射させる、
   マーキング位置重ね合わせ制御ステップを有し、
   前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御して、
   前記マーキング対象物が前記第一の方向に連続搬送されている間に、
   前記マーキング対象物上の第一の方向及び第二の方向の同じ位置に、前記マーキング用光線を所定時間照射することを特徴とするマーキング方法。
7. 前記マーキング対象物には位置決め基準用マークが付与されており、
   前記位置決め基準用マークの位置に対するマーキングすべき描画パターンの相対位置をマーキング予定位置として登録しておく描画予定位置登録ステップと、
   前記位置決め基準用マークを撮像するマーク撮像ステップと、
   前記マーク撮像ステップで撮像された前記位置決め基準用マークの位置情報を検出するマーク位置検出ステップとを有し、
   前記マーク撮像ステップで用いられるマーク撮像部とマーキングユニットとの間隔と、前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
   ことを特徴とする、請求項６に記載のマーキング方法。
8. 前記マーク撮像ステップで撮像された前記位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出ステップをさらに備え、
   前記マーキングユニットは、
   前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに有し、
   前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、
   前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
   前記マーク角度検出ステップで検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
   描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
   ことを特徴とする、請求項７に記載のマーキング方法。
9. 前記マーキング対象物には複数の位置決め基準用マークが付与されており、
   前記マーク位置検出ステップでは、前記複数の位置決め基準用マークの位置情報を検出し、
   前記マーク撮像ステップで撮像された前記複数の位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、当該位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出ステップをさらに備え、
   前記マーキングユニットは、
   前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに有し、
   前記マーク撮像部と前記マーキングユニットの間隔と、
   前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
   前記マーク角度検出ステップで検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
   描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
   ことを特徴とする、請求項７に記載のマーキング方法。
10. 前記搬送ステップの搬送速度を演算する搬送速度演算ステップをさらに有し、
    前記描画予定位置登録ステップでは、
    前記複数配列して登録されたマーキング予定位置のうち、
    第一の方向の方向に繰り返しマーキングする間隔を送りピッチとして登録する、送りピッチ登録ステップと、
    第二の方向に順次マーキングされる最初の描画パターンと最後の描画パターンとの間隔を両端描画パターン間隔として登録する、両端描画パターン間隔登録ステップとが備えられており、
    前記搬送速度演算ステップは、
    前記送りピッチと、前記両端描画パターン間隔と、
    前記マーキングユニット第二移動ステップにおける順次マーキングのために要する時間と、
    前記マーキングユニット第一移動ステップにおける繰り返しマーキングのために要する時間とに基づいて前記搬送ステップの搬送速度の許容値を算出し、
    当該算出された搬送速度の許容値を前記搬送ステップの搬送速度として設定し、繰り返しマーキングする機能を備えている
    ことを特徴とする、請求項７〜９に記載のマーキング方法。

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