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JP5515478B2 - 周期磁界発生装置およびそれを用いたリニアモータ、回転型モータ - Google Patents

周期磁界発生装置およびそれを用いたリニアモータ、回転型モータ Download PDF

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JP5515478B2
JP5515478B2 JP2009169227A JP2009169227A JP5515478B2 JP 5515478 B2 JP5515478 B2 JP 5515478B2 JP 2009169227 A JP2009169227 A JP 2009169227A JP 2009169227 A JP2009169227 A JP 2009169227A JP 5515478 B2 JP5515478 B2 JP 5515478B2
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Description

本発明は、発生磁界の方向に磁化された主磁極永久磁石と該主磁極永久磁石の磁極の向きと異なるように磁化された副磁極永久磁石とを交互に隣り合わせになるように直線状もしくは円周上に並べて配置したハルバッハ磁石配列構造の界磁極を備えた周期磁界発生装置およびそれを用いたリニアモータ、回転型モータに関する。
従来、リニアモータ、回転型モータなどに用いるハルバッハ磁石配列構造の永久磁石で構成される界磁極を備えた周期磁界発生装置として、発生磁界の方向に磁化された主磁極永久磁石と該主磁極永久磁石の磁極の向きと異なるように磁化された副磁極永久磁石を有するハルバッハ磁石配列のうち、主磁極永久磁石の磁界発生側の一部を軟磁性材料で置き換えた構造のものが提案されている(特許文献1参照)。
図11は従来の周期磁界発生装置の断面図である。図11において、102は磁化の方向、103はバックヨーク、111は発生磁界方向(Z方向)に磁化された主磁極永久磁石、112は主磁極永久磁石111の磁極の向きと異なるように磁化された副磁極永久磁石、104は主磁極永久磁石111の磁界発生側に配置された軟磁性材料であり、上記の主磁極永久磁石111と副磁極永久磁石112は交互に隣り合わせになるように直線状に並べて配置されている。
このような構成にしたことにより、バックヨーク103の反対側(図の上側)の面に、正弦波またはそれに近い磁束密度波形を有する周期的な磁界を発生させることができる。この周期磁界発生装置は、主磁極永久磁石111の磁界発生側の一部を軟磁性材料104で置き換えたことで、ハルバッハ磁石配列のみで構成された周期磁界発生装置に比べ、磁気回路の磁気飽和の影響を緩和することができ、発生磁界を高めることができる。
また、図12は従来のハルバッハ磁石配列構造の永久磁石で構成される界磁極を備えた周期磁界発生装置を用いたリニアモータの推力発生原理図である。図12において、103はバックヨーク、104は軟磁性材料、111は主磁極永久磁石、112は副磁極永久磁石、105はコイル、106は主磁極永久磁石111、副磁極永久磁石112およびコイル105との間で鎖交する磁束線、107は推力方向を表している。このような周期磁界発生装置を用いたリニアモータは、周期的な発生磁界中にコイル105を配置し、コイル105に通電することによって、コイル105に発生する磁界と周期磁界発生装置の発生磁界との吸引力と反発力により、コイル105を固定子とした場合は可動子となる周期磁界発生装置を、周期磁界発生装置を固定子とした場合は可動子となるコイル105を直線的に移動させることができる。
また、その他、従来のハルバッハ磁石配列構造の永久磁石で構成される界磁極を備えた従来の周期磁界発生装置として、発生磁界の方向に磁化された主磁極永久磁石とそれ以外の磁極である副磁極永久磁石を有するハルバッハ磁石配列を固定するバックヨークの形状を凸凹構造にし、副磁極永久磁石の高さを主磁極永久磁石の高さより低くした構造のものが提案されている(特許文献2参照)。
このような構成にしたことにより、永久磁石の耐減磁性を高め、発生磁界を大きくすることができる。
特開2007−006545号公報(第8頁、図1) 特開2007−110822号公報(第7頁、図1)
しかし、従来のハルバッハ磁石配列構造の永久磁石で構成される界磁極を備えた周期磁界発生装置は、軟磁性材料そのものの飽和磁束密度に限界があり、昨今の永久磁石の特性向上などにより磁気回路中の磁束密度が高まり、磁気回路の磁気飽和により周期磁界発生装置の発生磁界に限界がみられるという問題があった。
また、当該周期磁界発生装置を用いたリニアモータ、回転型モータは、周期磁界発生装置の発生磁界を大きくできないため、推力やトルクを大きくできないという問題があった。
また、当該周期磁界発生装置に用いられるハルバッハ磁石配列はその構造によって、発生磁界を正弦波分布にできるが、リニアモータなどの推力向上や推力リプルの低減に向けた、発生磁界のさらなる正弦波化に限界があり、改善の余地があった。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、ハルバッハ磁石配列を有する周期磁界発生装置内の軟磁性材料の形状もしくは主磁極永久磁石と副磁極永久磁石の形状を変更することによって、発生磁界を大きく、より正弦波化した周期磁界発生装置およびそれを用いたリニアモータ、回転型モータを提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、発生磁界の方向に磁化された主磁極永久磁石と前記主磁極永久磁石の磁極の向きと異なるように磁化された副磁極永久磁石とを交互に隣り合わせになるように直線状もしくは円周上に並べて配置したハルバッハ配列構造の界磁極を備え、前記主磁極永久磁石の磁界発生側の一部を軟磁性材料で置き換えた周期磁界発生装置において、前記軟磁性材料の発生磁界側における前記界磁の移動方向長さをA、前記主磁極永久磁石のバックヨーク側における前記界磁の移動方向長さをBとした場合に、2≦B/Aとすると共に、前記軟磁性材料のバックヨーク側の移動方向長さと前記主磁極永久磁石の発生磁界側の記界磁の移動方向の長さを異ならしめたことを特徴としている。
請求項2に記載の発明は、請求項1記載の周期磁界発生装置において、前記軟磁性材料における発生磁界側の移動方向長さとバックヨーク側の移動方向長さを等しくすると共に、前記主磁極永久磁石における発生磁界側の移動方向長さとバックヨーク側の移動方向長さを等しくしたことを特徴としている。
請求項3に記載の発明は、請求項記載の周期磁界発生装置において、前記主磁極永久磁石と隣り合う前記副磁極永久磁石は、発生磁界側を2分割し、かつ、斜めに磁化させて構成した2個の永久磁石と、前記バックヨーク側の1個の永久磁石とよりなることを特徴としている。
請求項4に記載の発明は、請求項1に記載の周期磁界発生装置に用いられる界磁極を直線状に形成すると共に、前記界磁極と磁気的空隙を介して電機子を対向配置したことを特徴としている。
請求項5に記載の発明は、請求項1に記載の周期磁界発生装置に用いられる界磁極を円周状に形成すると共に、前記界磁極と磁気的空隙を介して電機子を対向配置したことを特徴としている。
発明によると、従来例と比べ軟磁性材料の発生磁界側の面を狭くすることで、発生磁界を大きくし、正弦波化した周期磁界発生装置を提供することができる
本発明の第1の実施形態を示す周期磁界発生装置の断面図 本発明の第2の実施形態を示す周期磁界発生装置の断面図 本発明の第3の実施形態を示す周期磁界発生装置の断面図 本発明の各実施形態と従来技術における周期磁界発生装置の特性を比較した図であって、(a)は当該装置のZ=5mm地点でのギャップ磁束密度分布、(b)は(a)のギャップ磁束密度分布波形のZ=5mmの位置を表す図 本発明の第1の実施形態を示す周期磁界発生装置のZ=5mm地点でのB/Aに対するギャップ磁束密度最大値分布 本発明の第2の実施形態を示す周期磁界発生装置のZ=5mm地点でのB/Aに対するギャップ磁束密度最大値分布 本発明の第3の実施形態を示す周期磁界発生装置のZ=5mm地点でのB/Aに対するギャップ磁束密度最大値分布 本発明の各実施形態と従来技術における周期磁界発生装置のZ=5mm地点でのギャップ磁束密度分布波形の調波解析結果を比較した図 本発明の第4の実施形態を示すリニアモータの断面図 本発明の第5の実施形態を示す回転型モータの断面図 従来の周期磁界発生装置の断面図 従来のリニアモータの推力発生原理図
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
図1は本発明の第1の実施形態を示す周期磁界発生装置の断面図である。
図1において、周期磁界発生装置がバックヨーク103と、磁化方向が上向き(↑)と下向き(↓)の主磁極永久磁石111と、磁化方向が右向き(→)と左向き(←)の副磁極永久磁石112と、主磁極永久磁石111の磁界発生側に配置された軟磁性材料104とで構成されると共に、発生磁界方向が上方向(Z方向)となっている点は、基本的に図11に示した従来技術と同じである。
ここで、図1中のA、Bはそれぞれ、軟磁性材料104の発生磁界側の長さ、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さを表しており、一例として、軟磁性材料104の発生磁界側の長さAは副磁極永久磁石112のバックヨーク103側の長さB´と同じ長さである。なお、軟磁性材料104の発生磁界側の長さAと主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBの合計は30mmとしている。
本発明の第1の実施形態が従来技術と異なる点は、軟磁性材料104の発生磁界側における界磁の移動方向長さをA、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側における界磁の移動方向長さをBとし、A<Bとなるように軟磁性材料104および主磁極永久磁石111をそれぞれ台形状に形成した点である。
図4は本発明の各実施形態と従来技術における周期磁界発生装置の特性を比較した図であって、(a)は当該装置のZ=5mmの点でのギャップ磁束密度分布、(b)は(a)のギャップ磁束密度分布波形のZ=5mmの位置を表す図である。図4(a)のグラフは、図4(b)中の点線位置(Z=5mm)での磁束密度分布である。図4(b)では、従来の周期磁界発生装置の断面図で図示しているが、第1〜第3の実施形態のグラフも同位置での磁束密度分布を示している。
図4(a)中の第1の実施形態のグラフ(△印)は、一例として、軟磁性材料104の発生磁界側の長さAを10mm、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBを20mmとした場合である。
ここで、本実施形態の周期磁界発生装置が発生する磁束密度を、図4(b)の従来技術の周期磁界発生装置の点線位置(Z=5mm)と同じ位置で測定してみた。従来技術の周期磁界発生装置が発生する磁束密度が、主磁極磁石中心上のP、Qの位置において0.4Tであるのに対し、本発明の第1の実施形態を示す周期磁界発生装置では、0.58Tと大きくなっており、本発明は従来技術に比べ有効であることがわかる。
以上より、軟磁性材料104の発生磁界側の長さをA、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さをBとし、A<Bとなるように台形状に形成し、従来例と比べ軟磁性材料104の発生磁界側の面を狭くすることで、発生磁界を大きくした周期磁界発生装置を提供することができる。
図5は本発明の第1の実施形態を示す周期磁界発生装置のZ=5mm地点でのB/Aに対するギャップ磁束密度最大値分布を示している。図において、横軸は主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBと軟磁性材料104の発生磁界側の長さAの比、縦軸は磁束密度値である。
図5に示したように、本発明の第1の実施形態を示す周期磁界発生装置ではB/A=2.6付近において最もギャップ磁束密度値が大きくなり、B/A=1.5以下になるとギャップ磁束密度値が急激に小さくなることがわかるため、B/Aの下限値を1.5とし、その上限値の設定を下限値1.5におけるギャップ磁束密度値と同じ値を示す3.5とした。以上より、本発明の第1の実施形態を示す周期磁界発生装置では1.5≦B/A≦3.5の領域において周期磁界発生装置を作成することにより、より発生磁界を大きくした周期磁界発生装置を提供することができる。
図8は本発明の各実施形態と従来技術における周期磁界発生装置のZ=5mm地点でのギャップ磁束密度分布波形の調波解析結果を比較した図を示している。図において横軸は調波解析による次数、縦軸は磁束密度波形の調波成分の割合を示しており、ここでは、一例として、軟磁性材料104の発生磁界側の長さAを10mm、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBを20mmとした場合である。
この図8に示したように、本発明の第1の実施形態を示す周期磁界発生装置では1次の成分を大きく出来、3次、5次の成分を従来例より小さく出来る。よって、従来例より発生磁界を大きくし、正弦波化した周期磁界発生装置を提供することができる。
次に本発明の第2の実施形態について説明する。
図2は本発明の第2の実施形態を示す周期磁界発生装置の断面図である。
図2において、周期磁界発生装置がバックヨーク103と、磁化方向が上向き(↑)と下向き(↓)の主磁極永久磁石111と、磁化方向が右向き(→)と左向き(←)の副磁極永久磁石112と、主磁極永久磁石111の磁界発生側に配置された軟磁性材料104とで構成されると共に、発生磁界方向が上方向(Z方向)となっている点は、基本的に図11に示した第1実施形態と同じである。
図中のA、Bはそれぞれ、軟磁性材料104の発生磁界側の長さ、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さを表しており、ここでは一例として、軟磁性材料104の発生磁界側の長さAは副磁極永久磁石112のバックヨーク103側の長さB´と同じ長さである。なお、軟磁性材料104の発生磁界側の長さAと主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBの合計は30mmとしている。
本発明の第2の実施形態が第1の実施形態と異なる点は、軟磁性材料104の発生磁界側の移動方向長さAと主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の移動方向長さBとの関係を、A<Bとなるように形成し、かつ、軟磁性材料104のバックヨーク103側の移動方向長さと主磁極永久磁石111の発生磁界側の移動方向の長さを異ならしめた点である。具体的には、軟磁性材料104における発生磁界側の移動方向長さAとバックヨーク103側の移動方向長さを等しくすると共に、主磁極永久磁石111における発生磁界側の移動方向長さとバックヨーク103側の移動方向長さBを等しくしたことを特徴としている。
ここで、本発明の各実施形態と従来技術における周期磁界発生装置の特性を比較した図4に示すように、図4(a)中の第2の実施形態のグラフ(○印)は、一例として、軟磁性材料104の発生磁界側の長さAを10mm、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBを20mmとした場合である。
図4に示したように、従来の周期磁界発生装置が発生する磁束密度が、主磁極磁石中心上のP、Qの位置において0.4Tであるのに対し、本発明の第2の実施形態を示す周期磁界発生装置では、0.6Tと大きくなっており、本発明は有効であることがわかる。
以上より、軟磁性材料104の発生磁界側の長さをA、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さをBとし、A<Bとなるように形成するとともに、副磁極永久磁石112を、主磁極永久磁石111と軟磁性材料104のそれぞれと同じ厚みの2種類の幅の磁石で構成した構造とし、従来例と比べ軟磁性材料104の発生磁界側の面を狭くすることで、発生磁界を大きくした周期磁界発生装置を提供することができる。
図6は本発明の第2の実施形態を示す周期磁界発生装置のZ=5mm地点でのB/Aに対するギャップ磁束密度最大値分布を示している。図において、横軸は主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBと軟磁性材料104の発生磁界側の長さAの比、縦軸は磁束密度値である。
図6に示したように、本発明の第2の実施形態を示す周期磁界発生装置ではB/A=5.2付近において最もギャップ磁束密度値が大きくなり、B/A=2以下になるとギャップ磁束密度値が急激に小さくなることがわかる。以上より、本発明の第2の実施形態を示す周期磁界発生装置では2≦B/Aの領域において周期磁界発生装置を作成することにより、より発生磁界を大きくした周期磁界発生装置を提供することができる。
ここで、本発明の各実施形態と従来技術における周期磁界発生装置のZ=5mm地点でのギャップ磁束密度分布波形の調波解析結果を比較した図8に示したように、本発明の第2の実施形態を示す周期磁界発生装置(軟磁性材料104の発生磁界側の長さAを10mm、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBを20mm)では、1次の成分を大きく出来、3次、5次の成分を従来例より小さく出来る。よって、従来例より発生磁界を大きくし、正弦波化した周期磁界発生装置を提供することができる。
次に本発明の第3の実施形態について説明する。
図3は本発明の第3の実施形態を示す周期磁界発生装置の断面図である。
図3において、102は磁化の方向である。発生磁界方向は上方向であり、磁化方向が上向き(↑)と下向き(↓)の111は主磁極永久磁石、磁化方向が右向き(→)と左向き(←)と斜め向きの矢印112は副磁極永久磁石、103はバックヨーク、104は主磁極永久磁石111の磁界発生側に配置された軟磁性材料である。
図中のA、Bはそれぞれ、軟磁性材料104の発生磁界側の長さ、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さを表しており、ここでは一例として、軟磁性材料104の発生磁界側の長さAは副磁極永久磁石112のバックヨーク103側の長さと同じ長さである。なお、軟磁性材料104の発生磁界側の長さAと主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBの合計は30mmとしている。
本発明の第3実施形態が第2実施形態と異なる点は、軟磁性材料104の発生界側の長さをA、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さをBとし、A<Bとなるように形成すると共に、第2の実施形態における主磁極永久磁石111と隣り合う副磁極永久磁石112を、発生磁界側を2分割し、斜め方向(45°)に磁化させた2個の永久磁石と、バックヨーク103側の1個の永久磁石とより構成した点である。
ここで、本発明の各実施形態と従来技術における周期磁界発生装置の特性を比較した図4に示すように、図4(a)中の第3の実施形態のグラフ(◇印)は、一例として、軟磁性材料104の発生磁界側の長さAを10mm、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBを20mmとした場合である。
図4に示したように、従来の周期磁界発生装置が発生する磁束密度が、主磁極磁石中心上のP、Qの位置において0.4Tであるのに対し、本発明の第3の実施形態を示す周期磁界発生装置では、0.5Tと大きくなっており、本発明は有効であることがわかる。
以上より、軟磁性材料104の発生磁界側の長さをA、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さをBとし、A<Bとなるように形成するとともに、第2の実施形態において、発生磁界側の副磁極永久磁石112を2分割し、斜めに磁化させ、副磁極永久磁石112を3つの磁石で構成した永久磁石で構成した構造とし、従来例と比べ軟磁性材料104の発生磁界側の面を狭くすることで、発生磁界を大きくした周期磁界発生装置を提供することができる。
図7は本発明の第3の実施形態を示す周期磁界発生装置のZ=5mm地点でのB/Aに対するギャップ磁束密度最大値分布を示している。図において、横軸は主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBと軟磁性材料104の発生磁界側の長さAの比、縦軸は磁束密度値である。
図7に示したように、本発明の第3の実施形態を示す周期磁界発生装置ではB/A=2以下になるとギャップ磁束密度値が急激に小さくなることがわかる。以上より、本発明の第3の実施形態を示す周期磁界発生装置では2≦B/Aの領域において周期磁界発生装置を作成することにより、より発生磁界を大きくした周期磁界発生装置を提供することができる。
ここで、本発明の各実施形態と従来技術における周期磁界発生装置のZ=5mm地点でのギャップ磁束密度分布波形の調波解析結果を比較した図8に示したように、本発明の第3の実施形態を示す周期磁界発生装置(軟磁性材料104の発生磁界側の長さAを10mm、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さBを20mm)では、1次の成分を大きく出来、3次、5次の成分は従来例より小さく出来る。よって、従来例より発生磁界を大きくし、正弦波化した周期磁界発生装置を提供することができる。
次に本発明の第4の実施形態について説明する。
図9は本発明の第4の実施形態を示すリニアモータの断面図である。
本発明の周期磁界発生装置(図2)をその発生磁界が対向するように配置し、その間にコイル105を配置してリニアモータを構成している。このような構成にしたことにより、コイル105に通電することによって、コイル105に発生する磁界と周期磁界発生装置の発生磁界との吸引力と反発力により、コイル105を固定子とした場合は可動子となる周期磁界発生装置を、周期磁界発生装置を固定子とした場合は可動子となるコイル105を直線的に移動させることができる。
従来の周期磁界発生装置が発生する磁束密度に対し、本発明の第2の実施形態を示す周期磁界発生装置が発生する磁束密度が50%(0.4T→0.6T)増加したことによって、リニアモータの推力が周期磁界発生装置の発生磁界の増大にほぼ比例して大きくなる。以上より、本発明は有効である。
ここで、図9に示したリニアモータの構成はあくまで一例に過ぎず、本発明の周期磁界発生装置(第1〜第3の実施形態)のどの周期磁界発生装置を用いても同様の結果が得られる。また、全てのリニアモータの構造においても有効であり、リニアモータの構造に限定されるものではない。
次に本発明の第5の実施形態について説明する。
図10は本発明の第5の実施形態を示す回転型モータの断面図である。
図10は、本発明の周期磁界発生装置(図2)を磁界発生方向が円形状の内側となるように配置し、その内側にコイル105を配置して回転型モータを構成したものである。このような構成にしたことにより、コイル105に通電することによって、コイル105に発生する磁界と周期磁界発生装置の発生磁界との吸引力と反発力により、コイル105を固定子とした場合は回転子となる周期磁界発生装置を、周期磁界発生装置を固定子とした場合は回転子となるコイル105を回転させることができる。
回転型モータにおいては、第1〜第3の実施形態で規定したA、Bを軟磁性材料104の発生磁界側の長さ、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さとせず、それぞれ、軟磁性材料104の発生磁界側の長さに対する中心角、主磁極永久磁石111のバックヨーク103側の長さに対する中心角で規定する。
従来の周期磁界発生装置が発生する磁束密度に対し、本発明の第3の実施形態を示す周期磁界発生装置が発生する磁束密度が50%(0.4T→0.6T)増加したことによって、回転型モータのトルクが周期磁界発生装置の発生磁界の増大にほぼ比例して大きくなる。以上より、本発明は有効である。
ここで、図10に示した回転型モータの構成はあくまで一例に過ぎず、本発明の周期磁界発生装置(第1〜第3の実施形態)のどの周期磁界発生装置を用いても同様の結果が得られる。また、全ての回転型モータの構造においても有効であり、回転型モータの構造に限定されるものではない。
以上、リニアモータ、回転型モータを例として取り上げ説明したが、本発明は磁気回路の形状や適用するモータの種類に限定されるものではない。
本発明の周期磁界発生装置は、軟磁性材料の形状もしくは、主磁極永久磁石と副磁極永久磁石の形状を変更することによって、発生磁界を正弦波化、もしくは発生磁界を大きくすることができるので、リニアモータ、回転型モータを使用した機器という用途に適用できる。
本発明のリニアモータ、回転型モータは、推力やトルクを大きくすることができるため、半導体/液晶製造装置や電子部品実装機、工作機械、金属加工機械、産業用ロボットなどの装置に適用できる。
102 磁化の方向
103 バックヨーク
104 軟磁性材料
105 コイル
106 磁束線
107 推力方向
111 主磁極永久磁石
112 副磁極永久磁石

Claims (5)

  1. 発生磁界の方向に磁化された主磁極永久磁石と前記主磁極永久磁石の磁極の向きと異なるように磁化された副磁極永久磁石とを交互に隣り合わせになるように直線状もしくは円周上に並べて配置したハルバッハ配列構造の界磁極を備え、
    前記主磁極永久磁石の磁界発生側の一部を軟磁性材料で置き換えた周期磁界発生装置において、
    前記軟磁性材料の発生磁界側における前記界磁の移動方向長さをA、前記主磁極永久磁石のバックヨーク側における前記界磁の移動方向長さをBとした場合に、2≦B/Aとすると共に、前記軟磁性材料のバックヨーク側の移動方向長さと前記主磁極永久磁石の発生磁界側の記界磁の移動方向の長さを異ならしめたことを特徴とする周期磁界発生装置。
  2. 前記軟磁性材料における発生磁界側の移動方向長さとバックヨーク側の移動方向長さを等しくすると共に、前記主磁極永久磁石における発生磁界側の移動方向長さとバックヨーク側の移動方向長さを等しくしたことを特徴とする請求項記載の周期磁界発生装置。
  3. 前記主磁極永久磁石と隣り合う前記副磁極永久磁石は、発生磁界側を2分割し、かつ、斜めに磁化させて構成した2個の永久磁石と、前記バックヨーク側の1個の永久磁石とよりなることを特徴とする請求項記載の周期磁界発生装置。
  4. 請求項に記載の周期磁界発生装置に用いられる界磁極を直線状に形成すると共に、前記界磁極と磁気的空隙を介して電機子を対向配置したことを特徴とするリニアモータ。
  5. 請求項1に記載の周期磁界発生装置に用いられる界磁極を円周状に形成すると共に、前記界磁極と磁気的空隙を介して電機子を対向配置したことを特徴とする回転型モータ。
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