JP5582539B2 - 近傍界ノイズ抑制シート - Google Patents
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Description
図1及び図2に示すように、本発明の近傍界ノイズ抑制シート10は、一方の面に金属薄膜1bが形成されたプラスチックフィルム1aからなる第一のシート1と、一方の面に金属薄膜2bが形成されたプラスチックフィルム2aからなる第二のシート2とを導電性接着剤3を介して接着してなる。
各プラスチックフィルム1a、2aを形成する樹脂は、絶縁性とともに十分な強度、可撓性及び加工性を有する限り特に制限されず、例えばポリエステル(ポリエチレンテレフタレート等)、ポリアリーレンサルファイド(ポリフェニレンサルファイド等)、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、アクリル樹脂、ポリスチレン、ポリオレフィン(ポリエチレン、ポリプロピレン等)等が挙げられる。プラスチックフィルムの厚さは10〜30μm程度で良い。
各金属薄膜1b,2bは磁性金属からなる。磁性金属としてはNi,Fe,Co又はその合金が挙げられる。金属薄膜1bは単層でも異なる磁性金属の多層でも良いが、耐食性を考慮してNiの単層とするのが好ましい。金属薄膜はスパッタリング法、真空蒸着法等の公知の方法により形成することができるが、真空蒸着法が好ましい。
一対の金属薄膜1b,2bを接着する導電性接着剤3は、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド、ポリウレタン等をバインダーとし、銀粉、金粉、銅粉、パラジウム粉、ニッケル粉、カーボン粉等の導電性フィラーを配合してなる。代表的な導電性接着剤の体積抵抗率、及びNiと導電性接着剤との接続抵抗は下記表2及び表3に示す通りである。
このように、非常に薄い目標膜厚で形成された金属薄膜の表面抵抗は大きくばらつくので、金属薄膜を形成した一枚のプラスチックフィルムで所望の表面抵抗の近傍界ノイズ抑制シートとするのは非常に困難である。表面抵抗のバラツキは近傍界ノイズの吸収能のバラツキを引き起す。鋭意研究の結果、一対の金属薄膜1b,2bを導電性接着剤3を介して接着すると、表面抵抗のバラツキが予想以上に低減することが分った。本発明の近傍界ノイズ抑制シートは、かかる発見に基づき得られたものである。
(1) 伝送減衰率の測定
伝送減衰率Rtpは、図7(a) 及び図7(b) に示すように、50ΩのマイクロストリップラインMSL(64.4 mm×4.4 mm)と、マイクロストリップラインMSLを支持する絶縁基板200と、絶縁基板200の下面に接合された接地グランド電極201と、マイクロストリップラインMSLの両端に接続された導電性ピン202,202と、ネットワークアナライザNAと、ネットワークアナライザNAを導電性ピン202,202に接続する同軸ケーブル203,203とで構成されたシステムを用い、マイクロストリップラインMSLにノイズ抑制シートの試験片TPを粘着剤により貼付し、0.1〜6 GHzの入射波に対して、反射波S11の電力及び透過波S12の電力を測定し、下記式:
Rtp=−10×log[10S21/10/(1−10S11/10)]
により求める。
図7(a) 及び図7(b) に示すシステムに入射した電力から反射波S11の電力及び透過波S12の電力を差し引くことにより、電力損失Plossを求め、Plossを入射電力Pinで割ることによりノイズ吸収率Ploss/Pinを求める。
内部減結合率Rdaは、同じプリント基板内での結合がノイズ抑制シートによりどの程度減衰するかを示すもので、図8に示すように、ネットワークアナライザNAに接続した一対のループアンテナ301,302の近傍にノイズ抑制シートの試験片TPを載置し、0〜6 GHzの高周波信号が一方のループアンテナ301から他方のループアンテナ302に送信されるときの減衰率を測定することにより求める。
相互減結合率Rdeは、2つのプリント基板間又は部品間での結合がノイズ抑制シートによりどの程度減衰するかを示すもので、図9に示すように、ネットワークアナライザNAに接続した一対のループアンテナ301,302の間にノイズ抑制シートの試験片TPを載置し、0〜6 GHzの高周波信号が一方のループアンテナ301から他方のループアンテナ302に送信されるときの減衰率を測定することにより求める。
厚さ16μmのPETフィルム1aに真空蒸着法により下記表5に示す厚さのNi薄膜1bを形成し、第一のシート1を得た。同様に厚さ16μmのPETフィルム2aに下記表5に示す厚さのNi薄膜2bを形成し、第二のシート2を得た。第一及び第二のシート1,2を、Ni薄膜1b,2bを内側にして、導電性接着剤として固形分基準で1.5 g/m2の銀ペースト(藤倉化成株式会社製の「ドータイト」)を用いて接着した。得られた積層シートの任意の5箇所から、近傍界ノイズ抑制シートの試験片TPを切り出した。各試験片TPの表面抵抗を図5(a) 及び図5(b) に示す方法により測定した。表面抵抗の範囲及び平均値を、各Ni薄膜の厚さとともに表5に示す。表5から明らかなように、各実施例の表面抵抗のバラツキは小さかった。
厚さ200μmの市販のノイズ抑制シートNSS(大同特殊鋼株式会社製の「HyperShield」)(比較例1)、及び厚さ100μmの市販のノイズ抑制シートNSS(NECトーキン株式会社製のバスタレイド)(比較例2)に対して、実施例1と同様にしてノイズ吸収率Ploss/Pin、内部減結合率Rda及び相互減結合率Rdeを求めた。ノイズ吸収率Ploss/Pinを図14に示し、内部減結合率Rdaを図15に示し、相互減結合率Rdeを図16に示す。図14から明らかなように、比較例1及び2のノイズ抑制シートのノイズ吸収率Ploss/Pinは実施例1のものより劣っていた。また図15及び図16から明らかなように、比較例1及び2のノイズ抑制シートの内部減結合率Rda及び相互減結合率Rdeはいずれも劣っていた。
厚さ16μmのPETフィルム1aに真空蒸着法により下記表6に示す厚さのNi薄膜1bを形成し、第一のシート1を得た。同様に厚さ16μmのPETフィルム2aに下記表6に示す厚さのNi薄膜2bを形成し、第二のシート2を得た。第一及び第二のシート1,2を、Ni薄膜1b,2bを内側にして、実施例1と同じ導電性接着剤を用いて接着した。得られた積層シートの任意の5箇所から、近傍界ノイズ抑制シートの試験片TPを切り出した。各試験片TPの表面抵抗を図5(a) 及び図5(b) に示す方法により測定した。表面抵抗の範囲及び平均値を、各Ni薄膜の厚さとともに表6に示す。表6から明らかなように、各実施例の表面抵抗のバラツキは小さかった。
厚さ16μmのPETフィルム1aに真空蒸着法により下記表7に示す厚さのNi薄膜1bを形成し、第一のシート1を得た。同様に厚さ16μmのPETフィルム2aに下記表7に示す厚さのNi薄膜2bを形成し、第二のシート2を得た。第一及び第二のシート1,2を、Ni薄膜1b,2bを内側にして、実施例1と同じ導電性接着剤を用いて接着した。得られた積層シートの任意の5箇所から、近傍界ノイズ抑制シートの試験片TPを切り出した。各試験片TPの表面抵抗を図5(a) 及び図5(b) に示す方法により測定した。表面抵抗の範囲及び平均値を、各Ni薄膜の厚さとともに表7に示す。表7から明らかなように、実施例6の表面抵抗のバラツキは小さかった。比較例3及び4の表面抵抗はほとんどバラツキがなかったが、約4Ω/□と小さかったので、後述の通り近傍界ノイズの吸収能が著しく劣っていた。
厚さ16μmのPETフィルム1aに真空蒸着法により下記表8に示す厚さのNi薄膜1bを形成し、第一のシート1を得た。同様に厚さ16μmのPETフィルム2aに下記表6に示す厚さのNi薄膜2bを形成し、第二のシート2を得た。第一及び第二のシート1,2を、Ni薄膜1b,2bを内側にして、実施例1と同じ導電性接着剤を用いて接着した。得られた積層シートの任意の5箇所から、近傍界ノイズ抑制シートの試験片TPを切り出した。各試験片TPの表面抵抗を図5(a) 及び図5(b) に示す方法により測定した。表面抵抗の範囲及び平均値を、各Ni薄膜の厚さとともに表8に示す。表8から明らかなように、各実施例の表面抵抗のバラツキは小さかった。
厚さ16μmのPETフィルム1aに真空蒸着法により下記表9に示す厚さのNi薄膜1bを形成し、第一のシート1のみからなる比較例5及び7の近傍界ノイズ抑制シートの試験片TPを作製した。また、厚さ16μmのPETフィルム1aに真空蒸着法により下記表10に示す厚さのNi薄膜1bを形成してなる第一のシート1と、厚さ16μmのPETフィルム2aに下記表9に示す厚さのNi薄膜2bを形成してなる第二のシート2とを、Ni薄膜1b,2bを内側にして、実施例1と同じ導電性接着剤を用いて接着し、比較例6の近傍界ノイズ抑制シートの試験片TPを作製した。各試験片TPの表面抵抗を図5(a) 及び図5(b) に示す方法により測定した。結果を表9に示す。
1,2・・・第一及び第二のシート
1a,2a・・・プラスチックフィルム
1b,2b・・・金属薄膜
3・・・導電性接着剤
Claims (6)
- 一方の面に金属薄膜が形成された一対のプラスチックフィルムを前記金属薄膜を内側にして導電性接着剤で接着してなり、各金属薄膜は磁性金属からなり、かつ接着された一対の金属薄膜の表面抵抗が20〜150Ω/□となるように各金属薄膜の膜厚が調整されていることを特徴とする近傍界ノイズ抑制シート。
- 請求項1に記載の近傍界ノイズ抑制シートにおいて、前記磁性金属がNi,Fe,Co又はその合金であることを特徴とする近傍界ノイズ抑制シート。
- 請求項1又は2のいずれかに記載の近傍界ノイズ抑制シートにおいて、前記金属薄膜がNiからなることを特徴とする近傍界ノイズ抑制シート。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の近傍界ノイズ抑制シートにおいて、両金属薄膜の膜厚が10〜30 nmの範囲内にあることを特徴とする近傍界ノイズ抑制シート。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の近傍界ノイズ抑制シートにおいて、接着された一対の金属薄膜の表面抵抗が30〜80Ω/□であることを特徴とする近傍界ノイズ抑制シート。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の近傍界ノイズ抑制シートにおいて、前記金属薄膜が真空蒸着法により形成されたものであることを特徴とする近傍界ノイズ抑制シート。
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