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JP5404108B2 - 固体撮像装置及びその駆動方法 - Google Patents

固体撮像装置及びその駆動方法 Download PDF

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Description

本発明は、固体撮像装置及びその駆動方法に関する。
下記の特許文献1には、光電荷が蓄積されている間に光電変換部から溢れた出た電荷が転送ゲートを介して浮遊拡散部(フローティングディフュージョン:FD)に流入する固体撮像装置が記載されており、ダイナミックレンジ拡大の方法が開示されている。この場合、光信号を読み出した後にリセット信号を読み出すこととなる。
特許文献2には、画素に蓄積された電荷を、複数配列された画素の各列に配置された増幅器により読み出す固体撮像装置が開示されている。各列に増幅器を配した読み出し回路は列アンプ方式と呼ばれ、ランダムノイズを低減できることが知られている。特許文献2には、画素をリセットしたことに対応するリセット信号を読み出した後に、光電変換部に蓄積された電荷に基づく光信号を読み出すことが記載されている。
米国特許第6307195号明細書 特開2004−297546号公報
特許文献1に記載されているダイナミックレンジを拡大する手法と、特許文献2に記載されている列アンプ方式とを一つのセンサで両立しようとした際に、列アンプのダイナミックレンジが圧迫されるという課題がある。以下詳細に説明する。
特許文献2で開示されている複数配列された画素の各列に配置された増幅器(以降列アンプと称する)が反転アンプであれば、リセット信号を読み出した後に光信号を読み出す場合、アンプの出力は低い電圧から高い電圧に変化する。列アンプでゲインをかけている場合、その変化量は、入力電圧がゲイン倍された信号が生じる。アンプの出力レンジを一杯に使うため、列アンプのクランプ動作は、リセット出力が列アンプの出力レンジの下限になるように設定することが考えられる。
このような設定において、特許文献1に開示されるような手法を適用した場合、光信号を読み出した後にリセット信号を読み出すため、出力電圧は高い電圧から低い電圧に変化する。しかしながら、クランプ動作において、列アンプの出力は出力レンジの下限になるように設定されているため、光信号が入力された際、列アンプは更に低い出力を出そうとするため、出力が飽和してしまう。
また、クランプ動作時に列アンプが出力レンジの中間レベルになるように設定した場合、夫々の読み出しにおいては、その出力レンジは半減してしまう。
本発明の目的は、複数の動作モードにおいて、高S/N比を実現することができる固体撮像装置及びその駆動方法を提供することである。
本発明の固体撮像装置は、各々が光電変換により電荷を生成し、前記電荷を蓄積する光電変換部を有する複数の画素と、複数の前記画素と接続されると共に、前記画素から出力された信号を増幅する増幅器とを有し、前記増幅器は、少なくとも2種類のオフセット電圧を設定することができるオフセット電圧設定手段を有し、前記画素は、前記光電変換部から溢れた電荷を蓄積する電荷蓄積部を有し、前記オフセット電圧設定手段は、前記光電変換部に蓄積された電荷を読み出す動作モードと前記光電変換部から溢れた前記電荷蓄積部の電荷を読み出す動作モードとで異なるオフセット電圧を設定することを特徴とする。
また、本発明の固体撮像装置の駆動方法は、各々が光電変換により電荷を生成し、前記電荷を蓄積する光電変換部を有する複数の画素と、複数の前記画素と接続されると共に、前記画素から出力された信号を増幅する増幅器とを有する固体撮像装置の駆動方法であって、前記駆動方法は、オフセット電圧を前記増幅器に設定するオフセット電圧設定ステップを有し、前記撮像装置は、前記光電変換部に蓄積された電荷を読み出す第1の動作モードと、前記光電変換部から溢れた電荷を読み出す第2の動作モードとのいずれかで動作し、前記オフセット電圧設定ステップにおいて、前記第1の動作モードと前記第2の動作モードとで異なる電圧の前記オフセット電圧を設定することを特徴とする。
異なるオフセット電圧を設定することにより、動作モードに応じて適切なダイナミックレンジを利用し、各動作モードにおいて高S/N比を実現することができる。
本発明の第1の実施形態による固体撮像装置の構成例を示す回路図である。 本発明の第1の実施形態のダイナミックレンジ拡大動作モードの駆動タイミングチャートである。 本発明の第1の実施形態の通常動作モードの駆動タイミングチャートである。 本発明の第2の実施形態の駆動タイミングチャートである。 本発明の第2の実施形態の画素等価回路図である。 本発明の第2の実施形態による固体撮像装置の構成例を示す回路図である。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態による固体撮像装置の構成例を示す回路図であり、2次元状に画素が配列された固体撮像装置のうち、ある列の2画素分の回路と、これら2画素の共通の信号出力線14に接続された読み出し回路を示している。
1はワイドダイナミックレンジ対応の画素(センサ及び画素回路)である。画素1は、光電変換部PD、出力ソースフォロワトランジスタSF、ワイドダイナミックレンジ用コンデンサ11、スイッチWD、画素信号転送スイッチTX、画素リセットスイッチRES、行選択スイッチSELを有する。14は信号出力線である。19は電流源である。光電変換部PDは、例えばフォトダイオードであり、光電変換により電荷を生成し、その電荷を蓄積する。FDは、浮遊拡散部であり、電荷を蓄積することができる。画素1は、行列状に配列される。
2は増幅器(列アンプ)である。増幅器2は、複数の画素に対して信号出力線14を介して共通に接続され、画素1により生成された電荷を増幅する。22はオペアンプである。OUTはオペアンプ2の出力端子である。CFは帰還容量である。SW1は少なくとも2種類のオフセット電圧を設定することができるオフセット電圧設定スイッチ(オフセット電圧設定手段)である。ここでは、電源VL又はVHに接続できるように構成された例を示す。SWは帰還容量CFのリセットスイッチである。C0は入力容量である。
3は信号保持部であり、リセット時の信号を保持する容量CTN、光信号を保持する容量CTS、及び増幅器2の出力をサンプルホールドするスイッチTS,TNを有する。容量CTS及びCTNに蓄積された電荷は、スイッチSRを介して出力アンプ4に出力される。スイッチSRは、走査回路により制御される。出力アンプ4は、容量CTS及びCTNの電圧を差動増幅し、出力端子Chip−OUTから出力する。
本実施形態は、特にクランプ容量C0を含む増幅器2を有し、複数の読み出しモードを有する固体撮像装置に適している。本実施形態においては、光電変換部PDに蓄積した電荷を読み出す通常動作モードと、光電変換部PDから溢れた電荷をダイナミックレンジ拡大信号として用いるダイナミックレンジ拡大動作モードに適応した場合について説明する。本実施形態の固体撮像装置は、通常動作モード及びダイナミックレンジ拡大動作モードを選択することができる。
本実施形態について、さらに詳しく説明する。本実施形態に係る増幅器2は、オペアンプ22と帰還容量CFを含むと共に、スイッチSW1により、帰還容量CFの一方の端子と高電圧VH又は低電圧VLとを選択的に接続できるように構成されている。オペアンプ22の正入力電極(+入力端子)には、基準となる電圧Vrが与えられる。
本実施形態に係る特徴的な動作としては、まず、帰還容量CFを初期化(リセット)する際に出力端子OUTを負入力電極(−入力端子)にショートさせると共に、帰還容量CF端を高電圧VH、もしくは低電圧VLのノードにショートさせる。その後、帰還容量CF端を出力端子OUTへショートさせる。
以上のようにすることで、オペアンプ22はオフセット電圧を可変とすることが可能となり、リセット直後の電圧を高電圧VH、もしくは低電圧VLに設定する事が出来、ダイナミックレンジ拡大動作モード時、通常動作モード時とも良好な動作をする事が出来る。本実施形態によれば、簡便な回路であるオペアンプ22を用いつつ、複数の動作モードに対して好適に動作できる動作点にて信号出力を行うことが可能となる。
本実施形態は、通常動作モード、ダイナミックレンジ拡大動作モードを通常のオペアンプ22にて対応する。各々図2、図3のタイミングチャートを用いて説明する。
図2中のinは可変基準アンプ2の入力端子である。入力端子inの波形は、画素1の出力である信号出力線14の波形と同じである。図2中のOUTは可変基準アンプ2の出力端子である。その他の波形は、図1中の各トランジスタのゲート電圧のパルスを示している。ダイナミックレンジ拡大動作モードにおいては、光電変換部PDから溢れた電荷を浮遊拡散部FDに保持するため、蓄積期間中に浮遊拡散部FDの電圧に対応する図2の入力端子inの電圧は降下する。
図2は、ダイナミックレンジ拡大動作モードにおける本実施形態の固体撮像装置の駆動方法を示すタイミングチャートである。転送スイッチTXはリセット動作時にオン状態になるのを除いては、常にオフ状態である。具体的には、リセット動作は、時刻T205後の、スイッチTNがオフになってから行選択スイッチSELがオフになるまでの期間に行う。ダイナミックレンジ拡大動作モードでは、スイッチWDはオンであり、容量11は浮遊拡散部FDに接続された状態となる。
時刻T201において、スイッチSWをオンさせると、オペアンプ22はリセット状態となり、オペアンプ22の仮想接地により電圧Vrを出力する。同時に、スイッチSW1を用いて帰還容量CFを電圧VHのノードに接続する。これにより、帰還容量CFの両端にVr−VHの電位差を記憶させる。
時刻T202において、スイッチSWをオフとした後、時刻T203においてスイッチSW1を出力端子OUTに接続することで、帰還容量CFを増幅器2の出力端子OUTに接続する。これにより、帰還容量CFの保持機能によりオペアンプ22の出力端子OUTは高電圧VHになる。時刻T204において、スイッチTSをオンし、増幅器2の出力端子OUTの露光時画素信号を容量CTSに一時蓄積する。
次に、リセット時信号の出力を行う。時刻T205において、画素リセットスイッチRESをオンし、画素1の浮遊拡散部FDをリセットする。増幅器2の入力端子inはダークレベル(Dark Level)まで上昇し、増幅器2の出力端子OUTはダークレベル(Dark Level)まで下降する。同時に、出力端子OUTのリセット信号(ノイズ信号)をスイッチTNを通じて容量CTNに一時蓄積する。
上記時刻T201〜T205の期間中、行選択スイッチSELはオンしており、読み出している行の画素1はオペアンプ22と繋がっている。
最後に、時刻T206において、走査回路を用いてスイッチSRをオンさせ、容量CTS及びCTNに一時蓄積した信号を容量分割にて出力アンプ4へ出力する。出力アンプ4は、容量CTSの電圧から容量CTNの電圧を減算し、出力する。これにより、リセット信号(ノイズ信号)が除去された画素信号(光信号)が得られる。
以上により、ダイナミックレンジ拡大動作モードでは、先に光信号すなわちライト(Light Level)を読み出す際に、高いオフセット電圧VHが出力される。その後、リセット信号すなわちダークレベル(Dark Level)を読む際には、光量に応じて、予め帰還容量CFに記憶されていた電圧分だけ低い電位を出力させることで、出力のダイナミックレンジを有効に活用できる。
図3は、通常動作モードにおける本実施形態の固体撮像装置の駆動方法を示すタイミングである。通常動作モードにおいては、スイッチWDをオフさせている為、ワイドダイナミックレンジ用容量11は浮遊拡散部FDに繋がっていない。タイミングチャートの表記は図2と同等である。
ダイナミックレンジ拡大動作モードとは異なり、通常動作モードでは、リセット信号(ノイズ信号)を読み出した後に光信号を読み出す。帰還容量CFと直列に挿入したスイッチSW1は、低電圧VLに接続される状態と、増幅器2の出力端子OUTに接続される状態の2つの状態に切り替えられる。
時刻T301において、画素リセットスイッチRESをオンし、浮遊拡散部FDをリセットする。同時に、スイッチSWをオンし、スイッチSW1を低電圧VLのノードに接続し、オペアンプ22をリセットし、帰還容量CFに低電圧VLを印加する。増幅器2の入力端子inはダークレベル(Dark Level)へと上昇、増幅器2の出力端子OUTは電圧Vrとなる。これにより、帰還容量CFにVr−VLの電位差を記憶させる。
時刻T302において、スイッチSWをオフとした後、時刻T303において、スイッチSW1を出力端子OUTに接続することで、帰還容量CFの保持機能によりオペアンプ22の出力端子OUTは低電圧VLになる。
時刻T303において、画素リセットスイッチRESをオフし、浮遊拡散部FDをフローティグ状態にする。スイッチTNをオンすることで、出力端子OUTのダークレベル(Dark Level)を容量CTNにサンプルホールドする。
時刻T304において、転送スイッチTXをオンし、読み出したい画素1の光電変換部PDと浮遊拡散部FDを接続し、光電変換部PDの信号を浮遊拡散部FDに転送する。次に、時刻T305において、スイッチTSをオンすることにより、転送終了後の出力端子OUTのライトレベル(Light Level)を容量CTSにサンプルホールドする。
時刻T306において、走査回路を用いてスイッチSRをオンさせ、容量CTS及びCTNに一時蓄積した信号を容量分割にて出力アンプ4へ出力する。出力アンプ4は、容量CTSの電圧から容量CTNの電圧を減算し、出力する。これにより、リセット信号(ノイズ信号)が除去された画素信号(光信号)が得られる。
以上のように、通常動作モードでは、リセット信号すなわち図3のダークレベル(Dark Level)を先に読む。その際に、リセット電圧をVrより低い電圧VLにすることで、その後に光信号すなわち図3のライトレベル(Light Level)を読む際に広いダイナミックレンジが得られる駆動方法となっている。
以上のように、本実施形態では、ダイナミックレンジ拡大動作モードと通常動作モードで、増幅器2のリセット電圧を異なるように設定することで、増幅器2の出力ダイナミックレンジを広くとることができる。
(第2の実施形態)
第1の実施形態では、ダイナミックレンジ拡大動作と通常動作とを個別に説明した。これに対し、本発明の第2の実施形態では、ダイナミックレンジ拡大動作に続けて、光電変換部PDに蓄積された電荷を読み出す通常動作を行う例を示す。
図5は本発明の第2の実施形態の画素等価回路図であり、図6は本発明の第2の実施形態による固体撮像装置の構成例を示す回路図である。画素は図5に示す通りであり、第1の実施形態とはスイッチWD及び容量11を持たない点で異なる。固体撮像装置は図6に示す通りであり、ダイナミックレンジ拡大動作による信号を保持するための容量CTSWとCTNWと光電変換部PDに蓄積された信号を通常動作として読み出した信号を保持するための容量CTSとCTNの2セットを用意する。
図4は、本実施形態の固体撮像装置の動作例を示すタイミングチャートである。基本的な動作は、第1の実施形態と同じである。FDは、画素1の浮遊拡散部FDの電圧を表し、OUTは増幅器2の出力端子OUTの電圧を示す。
ダイナミックレンジ拡大信号は光電変換部PDが一杯になり、光電変換部PDから溢れ出した電荷が転送スイッチTXを介して浮遊拡散部FDに蓄積される。なお、光の照射量が少ない画素1では電荷が光電変換部PDから溢れ出さない。ソースフォロワトランジスタSFは、n型の画素ソースフォロワであり、溢れた光信号(電子)が多いほど出力される電圧は低い値となる。スイッチSW1は、t2〜t4の期間では高電圧VHのノードに、t11〜t13の期間では低電圧VLのノードに接続され、それ以外は帰還容量CFと出力端子OUTを短絡している。
時刻t1〜t4で、画素ソースフォロワトランジスタSFの出力値で増幅器2をクリップする。その際、スイッチSW1を高電圧VHのノードに接続することで、増幅器2に高いオフセット電圧VHを設定し、増幅器2の出力端子OUTを高い状態に設定する。時刻t5〜t6では、ダイナミックレンジ拡大動作モードにおいて、スイッチTS_Wをオンにし、増幅器2の出力端子OUTの画素信号を容量CTSWに蓄積させる。その後、時刻t7〜t8において、リセットスイッチRESをオンし、浮遊拡散部FDをリセットする。
本実施形態のアンプ22が反転アンプであるため、増幅器2の出力端子OUTはこの動作により、低い電圧に変化する。従来技術では、この出力が飽和してしまったり、、出力レンジが狭まったりするという問題が生じるが、本発明によれば増幅器2の出力レンジを有効に利用することができるようになる。
時刻t9〜t10において、ダイナミックレンジ拡大動作モードにおいて、スイッチTN_Wをオンにし、増幅器2の出力端子OUTのリセット信号(ノイズ信号)を容量CTNWに蓄積させる。
次に、画素ソースフォロワトランジスタSFをリセットし、その状態で再び、時刻t11〜t13において、増幅器2のクランプ動作を行う。この時、スイッチSW1を低電圧VLに接続することで、増幅器2に小さいオフセット電圧VLを設定し、増幅器2の出力端子OUTを低い状態に設定する。
また、この時、スイッチSW1を増幅器2の出力端子OUTに接続することで、単純に帰還容量CFの両端をショートしてもよい。その後、時刻t14〜t15において、スイッチTNをオンし、出力端子OUTのリセット信号を容量CTNに保持する。時刻t16〜t17において、転送スイッチTXをオンする。次に、時刻t18〜t19において、スイッチTSをオンし、出力端子OUTの光信号を容量CTSに保持する。その後、時刻t20〜t21において、リセットスイッチRES及び転送スイッチTXをオンし、光電変換部PDをリセットし、再度、電荷蓄積を開始する。その後、容量CTS、CTNと容量CTSW、CTNWに保持されている信号を走査回路によって順次読み出す。
ダイナミックレンジ拡大動作モードから通常動作モードへ数マイクロ秒という短時間に切り替わる場合でも、本実施形態では容易に対応でき、その結果、両動作モードにおいて、増幅器2の出力レンジを一杯に利用することができる。
本実施形態の特徴的な点は、増幅器2にオフセット電圧設定手段SW1を有することで、動作モードに応じて出力レンジを有効に利用できるようにした点であり、オフセット電圧設定手段SW1は他の方法でもよい。例えば、図6の増幅器2の正入力端子の電圧Vrを変化させても、同様の効果を得ることができる。
本実施形態は、電圧Vrを変動させる例に対し、本実施形態は短時間でオフセット電圧の値を切り替えるのに好適である。特に、本実施形態のようなダイナミックレンジを拡大する固体撮像装置においては、数マイクロ秒という短時間に動作モードが切り替わるために、有効である。
第1及び第2の実施形態によれば、オペアンプ22はオフセット電圧を可変とすることが可能となり、リセット直後の電圧を高電圧VH、もしくは低電圧VLに設定する事が出来る。また、オペアンプ22のような簡便な回路を利用しながら、ダイナミックレンジ拡大動作モード時、通常動作モード時とも良好な動作をする事が出来る。
その結果、ダイナミックレンジを拡大させる固体撮像装置において、増幅器2の出力レンジを有効に利用することができ、高S/N比を維持しつつ、ゲインを変えることができる。
以上のように、第1及び第2の実施形態の固体撮像装置は、光電変換により電荷を生成し、その電荷を蓄積する光電変換部PDを有する1次元又は2次元に配列される画素1と、画素1により生成された電荷を増幅する1次元に配列される増幅器2とを有する。増幅器2は、少なくとも2種類のオフセット電圧VH及びVL等を設定することができるオフセット電圧設定手段SW1を有する。オフセット電圧設定手段SW1は、ダイナミックレンジ拡大動作モード及び通常動作モード等の動作モードに応じて異なるオフセット電圧を設定する。
画素1は、光電変換部PDから溢れた電荷を蓄積する電荷蓄積部(浮遊拡散部FD及び/又は容量11)を有する。オフセット電圧設定手段SW1は、光電変換部PDに蓄積された電荷を読み出す動作モードと光電変換部PDから溢れた電荷蓄積部FDの電荷を読み出す動作モードとで異なるオフセット電圧を設定する。
増幅器2は、増幅を行うオペアンプ22と、画素1の信号出力線14及びオペアンプ22の負入力端子間に接続される入力容量C0と、オペアンプ22の出力端子及びオペアンプ22の負入力端子間に接続可能な帰還容量CFとを有する。オフセット電圧設定手段SW1は、帰還容量CFに少なくとも2種類のオフセット電圧VH及びVL等のノードを選択的に接続可能である。
スイッチSWは、オペアンプ22の出力端子及びオペアンプ22の負入力端子を接続するためのスイッチである。帰還容量CFは、一端がオペアンプ22の負入力端子に接続される。オフセット電圧設定手段SW1は、帰還容量CFの他端を、オペアンプ22の出力端子及び少なくとも2種類のオフセット電圧VH及びVL等のノードのうちのいずれかに接続する。
図2〜図4において、スイッチSWがオンし、かつ、オフセット電圧設定手段SW1が帰還容量CFの他端を少なくとも2種類のオフセット電圧VH及びVL等のノードのいずれかに接続した後に、スイッチSWがオフする。その後、オフセット電圧設定手段SW1が帰還容量CFの他端をオペアンプ22の出力端子に接続する。
オフセット電圧設定手段SW1は、光電変換部PDに蓄積された電荷を読み出す動作モードと光電変換部PDから溢れた電荷蓄積部FDの電荷を読み出す動作モードとで異なるオフセット電圧VH,VL等のノードに接続する。
以上のように、第1及び第2の実施形態によれば、異なるオフセット電圧を設定することにより、動作モードに応じて適切なダイナミックレンジを利用し、各動作モードにおいて高S/N比を実現することができる。
なお、上記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
1 画素
2 増幅器
3 信号保持部
4 出力アンプ
11 ダイナミックレンジ拡大信号保持容量
14 信号出力線
19 電流源
22 オペアンプ
SW1 オフセット電圧設定手段
CF 帰還容量
SW クランプスイッチ
C0 クランプ容量
PD 光電変換部(フォトダイオード)
SF 画素ソースフォロワトランジスタ
TX 画素転送スイッチ
RES 画素リセットスイッチ
SEL 画素選択スイッチ

Claims (10)

  1. 各々が光電変換により電荷を生成し、前記電荷を蓄積する光電変換部を有する複数の画素と、
    複数の前記画素と接続されると共に、前記画素から出力された信号を増幅する増幅器とを有し、
    前記増幅器は、少なくとも2種類のオフセット電圧を設定することができるオフセット電圧設定手段を有し、
    前記画素は、前記光電変換部から溢れた電荷を蓄積する電荷蓄積部を有し、
    前記オフセット電圧設定手段は、前記光電変換部に蓄積された電荷を読み出す動作モードと前記光電変換部から溢れた前記電荷蓄積部の電荷を読み出す動作モードとで異なるオフセット電圧を設定することを特徴とする固体撮像装置。
  2. 前記増幅器は、
    増幅を行うオペアンプと、
    前記画素の信号出力線及び前記オペアンプの負入力端子間に接続される入力容量と、
    前記オペアンプの出力端子及び前記オペアンプの負入力端子間に接続可能な帰還容量とを有し、
    前記オフセット電圧設定手段は、前記帰還容量に前記少なくとも2種類のオフセット電圧を供給可能に構成されていることを特徴とする請求項記載の固体撮像装置。
  3. さらに、前記オペアンプの出力端子及び前記オペアンプの負入力端子を接続するためのスイッチを有し、
    前記帰還容量は、一端が前記オペアンプの負入力端子に接続され、
    前記オフセット電圧設定手段は、前記帰還容量の他端、前記オペアンプの出力端子及び前記少なくとも2種類のオフセット電圧うちのいずれかを供給することを特徴とする請求項記載の固体撮像装置。
  4. 前記スイッチがオンし、かつ、前記オフセット電圧設定手段が前記帰還容量の他端前記少なくとも2種類のオフセット電圧いずれかを供給した後に、前記スイッチがオフし、その後、記帰還容量の他端を前記オペアンプの出力端子に接続することを特徴とする請求項記載の固体撮像装置。
  5. 前記オフセット電圧設定手段は、前記光電変換部に蓄積された電荷を読み出す動作モードでは、前記帰還容量に前記少なくとも2種類のオフセット電圧を供給し、前記光電変換部から溢れた電荷蓄積部の電荷を読み出す動作モードでは、前記帰還容量に前記少なくとも2種類のオフセット電圧を供給することを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  6. 前記光電変換部は、前記電荷として電子を蓄積し、
    前記オペアンプは基準電圧が供給される正入力端子をさらに有し、
    前記光電変換部に蓄積された電荷を読み出す動作モードでは、前記オフセット電圧設定手段が前記帰還容量に前記基準電圧よりも電圧値の小さいオフセット電圧を供給し、
    前記光電変換部から溢れた前記電荷蓄積部の電荷を読み出す動作モードでは、前記オフセット電圧設定手段が前記帰還容量に前記基準電圧よりも電圧値の大きいオフセット電圧を供給することを特徴とする請求項2〜5のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  7. 各々が光電変換により電荷を生成し、前記電荷を蓄積する光電変換部と、前記光電変換部の電荷を保持する浮遊拡散部と、容量素子と、前記浮遊拡散部と前記容量素子とを接続するスイッチとを有する複数の画素と、
    前記複数の画素と接続されると共に、前記画素から出力された信号を増幅する増幅器とを有し、
    前記増幅器は、少なくとも2種類のオフセット電圧を設定することができるオフセット電圧設定手段を有し、
    前記スイッチをオフとした状態で前記浮遊拡散部が前記光電変換部の電荷を保持し、前記浮遊拡散部が保持した電荷を読み出す動作モードと、前記スイッチをオンとした状態で前記浮遊拡散部と前記容量素子とが前記光電変換部の電荷を保持し、前記浮遊拡散部と前記容量素子とが保持した電荷を読み出す動作モードとで、前記オフセット電圧設定手段が、互いに電圧の異なるオフセット電圧を前記増幅器に設定することを特徴とする固体撮像装置。
  8. 各々が光電変換により電荷を生成し、前記電荷を蓄積する光電変換部を有する複数の画素と、
    複数の前記画素と接続されると共に、前記画素から出力された信号を増幅する増幅器とを有する固体撮像装置の駆動方法であって、
    前記駆動方法は、オフセット電圧を前記増幅器に設定するオフセット電圧設定ステップを有し、
    前記撮像装置は、前記光電変換部に蓄積された電荷を読み出す第1の動作モードと、前記光電変換部から溢れた電荷を読み出す第2の動作モードとのいずれかで動作し、
    前記オフセット電圧設定ステップにおいて、前記第1の動作モードと前記第2の動作モードとで異なる電圧の前記オフセット電圧を設定することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
  9. 前記増幅器は、
    増幅を行うオペアンプと、
    前記画素の信号出力線及び前記オペアンプの負入力端子間に接続される入力容量と、
    前記オペアンプの出力端子及び前記オペアンプの負入力端子間に接続可能な帰還容量と、
    前記オペアンプの出力端子及び前記オペアンプの負入力端子を接続するスイッチと、
    を有し、
    前記オフセット電圧設定ステップにおいて、前記スイッチをオンとするとともに、前記帰還容量に前記オフセット電圧を供給した後に前記スイッチをオフとし、その後、前記帰還容量を前記オペアンプの出力端子に接続することを特徴とする請求項8記載の固体撮像装置の駆動方法。
  10. 各々が光電変換により電荷を生成し、前記電荷を蓄積する光電変換部と、前記光電変換部の電荷を保持する浮遊拡散部と、容量素子と、前記浮遊拡散部と前記容量素子とを接続するスイッチとを有する複数の画素と、
    前記複数の画素と接続されると共に、前記画素から出力された信号を増幅する増幅器とを有する固体撮像装置の駆動方法であって、
    前記スイッチをオフとした状態で前記浮遊拡散部が前記光電変換部の電荷を保持し、前記浮遊拡散部が保持した電荷を読み出すモードと、前記スイッチをオンとした状態で前記浮遊拡散部と前記容量素子とが前記光電変換部の電荷を保持し、前記浮遊拡散部と前記容量素子の保持した電荷を読み出すモードとで、互いに電圧の異なるオフセット電圧を前記増幅器に設定することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
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