JP5441840B2 - 3次元形状測定装置 - Google Patents
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Description
また、本発明の解決しようとする他の課題は、製造コストの低減、照明部の小型化、検査精度の向上、および制御の単純化を図ることのできる基板検査装置を提供することにある。
また、本発明の解決しようとする更に他の課題は、前記基板検査装置を用いて基板を検査する基板検査方法を提供することにある。
θ2=90−θproj−2・θmir2・・・(2)
θ1−θmir1=θmir1+θ2→
θ1=2・θmir1+θ2・・・・・・・・・(3)
続いて、数式(2)を数式(3)に適用すると、下記の数式(4)を導出することができる。
θ1=2・θmir1+90−θproj−2・θmir2・・・(4)
続いて、数式(4)を数式(1)に適用して整理すると、下記の数式(5)を導出することができる。
<数5>θgrat+θproj=2・(θmir1−θmir2)・・・・(5)
θmir1−θmir2=(θgrat+θproj)/2・・・・(6)
よって、前記投射レンズ1410と前記第1および第2反射鏡(1140、1150)は上記数式(6)のような関係を有する。
θmir1−θmir2=K(常数)・・・・・(6−1)
b=S2・tan(θproj)・・・・・・(9)
30 格子ユニット
32 格子パターン
50 四角錐
100 測定ステージ部
200 画像撮影部
300 第1照明部
320 第1格子ユニット
322 第1格子パターン
400 第2照明部
420 第2格子ユニット
422、424 第2格子パターン
500、502 格子移送ユニット
600 第2照明ユニット
700 画像取得部
800 モジュール制御部
900 中央制御部
1100 照明部
1110 光源ユニット
1120 格子ユニット
1130 投射レンズ
1140 第1反射鏡
1150 第2反射鏡
1200 格子連結ユニット
1300 格子移送ユニット
1400 撮像モジュール
1410 結像レンズ
1420 カメラ
PD 格子パターン方向
MD 格子移送方向
RP 格子平面
Claims (10)
- 光を発生する第1光源ユニットおよび前記第1光源ユニットから発生された光を第1格子パターンを有する第1格子パターン光に変更する第1格子ユニットを含み、前記第1格子パターン光を第1方向から測定対象物上に照射する第1照明部と、
前記第1格子ユニットを前記第1格子パターンの延長方向に対して前記第1格子パターンの配置方向側に第1角度傾いた第1傾斜方向である格子移送方向に移送させる格子移送ユニットと、を含むことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 光を発生する第2光源ユニットおよび前記第2光源ユニットから発生された光を第2格子パターンを有する第2格子パターン光に変更する第2格子ユニットを含み、前記第2格子パターン光を前記第1方向と異なる第2方向から前記測定対象物上に照射する第2照明部を更に含み、
前記格子移送ユニットは、前記第2格子ユニットを前記第2格子パターンの延長方向に対して前記第2格子パターンの配置方向側に第3角度傾いた第2傾斜方向である前記格子移送方向に前記第1格子ユニットと同時に移送させることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。 - 前記第1および第2格子ユニットは、それぞれ前記第1および第2傾斜方向の傾斜角度を調節する傾斜角調節部を含み、および/または、前記第1および第2格子ユニットは、前記傾斜角を調節するために交換可能であることを特徴とする請求項2に記載の3次元形状測定装置。
- 前記第1格子ユニットの第1格子パターンおよび前記第2格子ユニットの第2格子パターンは、平面から見た時、前記測定対象物に対して互いに平行な延長方向及び互いに平行な配置方向を有するか、または前記測定対象物に対して互いに対称な延長方向及び互いに対称な配置方向を有することを特徴とする請求項2に記載の3次元形状測定装置。
- 前記第1格子パターン光および前記第2格子パターン光は、前記測定対象物上に直接照射
されることを特徴とする請求項2に記載の3次元形状測定装置。 - 前記第1格子ユニットの第1等価格子移送方向および前記第2格子ユニットの第2等価格子移送方向は、前記格子移送方向と異なることを特徴とする請求項2に記載の3次元形状測定装置。
- 前記第1格子パターンの配置方向と前記格子移送方向との間の角度がθであり、前記第1格子移送ユニットの移送距離はdである時、等価格子移送距離はd/tanθであることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
- 前記第1光源ユニットは、前記第1格子パターンが配置された面の法線方向に光を発生することを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
- 光を発生する第1光源ユニットおよび前記第1光源ユニットから発生された光を第1格子パターンを有する第1格子パターン光に変更する第1格子ユニットを含み、前記第1格子パターン光を第1方向から測定対象物上に照射する第1照明部と、
光を発生する第2光源ユニットおよび前記第2光源ユニットから発生された光を第2格子パターンを有する第2格子パターン光に変更する第2格子ユニットを含み、前記第2格子パターン光を前記第1方向と異なる第2方向から前記測定対象物上に照射する第2照明部と、
前記第1格子ユニットおよび前記第2格子ユニットをN角錐の角を定義する隣接した2つの傾斜面上にそれぞれ配置し、前記第1格子ユニットおよび第2格子ユニットを前記2つの傾斜面上で移動するように、前記第1格子ユニットを前記第1格子パターンの延長方向および前記第1格子パターンの配置方向に対して第1傾斜方向の格子移送方向に移送させ、前記第2格子ユニットを前記第2格子パターンの延長方向および前記第2格子パターンの配置方向に対して第2傾斜方向の前記格子移送方向に前記第1格子ユニットと同時に移送させる格子移送ユニットと、を含むことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 前記格子移送ユニットは、前記第1格子ユニットおよび前記第2格子ユニットが配置された前記2つの傾斜面によって定義される前記角に沿って移動することを特徴とする請求項9に記載の3次元形状測定装置。
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